KR101624689B1 - 접속용 커넥터 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 접속용 커넥터에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 접속용 커넥터에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 두께방향으로 신장하는 다수의 도전성 입자가 배열되는 복수의 도전부와, 각각의 도전부들 사이에 마련되어 각각의 도전부들을 지지하면서 도전부들을 서로 절연시키는 절연지지부를 포함하는 이방 도전성 시트; 및 상기 이방 도전성 시트의 상면과 하면의 사이에 배치되되 상기 이방 도전성 시트 내에 삽입되어 있으며 다수의 공극이 마련되는 다공성 시트와, 상기 도전부와 대응되는 위치마다 배치되고 상기 다공성 시트에 일체로 결합되어 있는 복수의 전극으로 구성된 시트형 커넥터;를 포함하되, 각 전극은 금속소재로 이루어지고 각 도전부와 전기적으로 접속되는 접속용 커넥터에 대한 것이다.

Description

접속용 커넥터{Electrical connecting connector}
본 발명은 접속용 커넥터에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 빈번한 사용에도 전기적 특성이 저하되는 일이 없이 장기간 사용가능한 접속용 커넥터에 대한 것이다.
일반적으로 제조가 완료된 반도체 디바이스와 같은 피검사 디바이스의 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시한다. 구체적으로는 검사장치로부터 소정의 테스트신호를 피검사 디바이스로 흘려보내 그 기판의 단락여부를 판정하게 된다. 이러한 검사장치와 피검사 디바이스는 서로 직접 접촉되는 것이 아니라, 소위 접속용 커넥터라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접촉된다.
그 이유는 검사장치의 단자에 피검사 디바이스의 단자가 직접 접촉하는 경우에는 반복적인 테스트과정에서 검사장치의 단자가 마모 또는 파손이 발생하게 된다. 이와 같이 검사장치의 단자가 파손되면 전체적인 검사장치를 교체해야 하므로 전체적으로 많은 비용이 발생될 요인이 되기 때문이다. 따라서 접속용 커넥터를 매개부재로 사용하게 되면 피검사 디바이스는 검사장치에 장착된 접속용 커넥터에 접촉하게 되고 이에 따라 접속용 커넥터가 반복적인 접촉에 의하여 마모 또는 파손되면 그 접속용 커넥터만을 교체함으로서 전체적인 교체비용을 절약할 수 있게 된다.
이러한 접속용 커넥터의 일예로서 공개특허 제10-2006-0013429호에 개시된 이방 도전성 커넥터 장치가 알려져 있다.
도 1 및 도 2의 이방 도전성 커넥터 장치(10)는 직사각형의 이방 도전막(10A)과, 이 이방 도전막(10A)의 일면 상에 일체적으로 설치된 시트형 커넥터(20)와, 이방 도전막(10A)을 지지하는 직사각형의 판 형상인 지지 부재(30)에 의해 구성되어 있다. 이 이방 도전성 커넥터 장치(10)에서의 이방 도전막(10A)은, 각각 두께 방향으로 신장하는 복수의 원주형의 도전로 형성부(11)와, 이들 도전로 형성부(11)를 서로 절연하는 절연부(14)에 의해 구성되어 있고, 본 예에서는 도전로 형성부(11)가 격자점 위치에 따라서 일정한 피치로 배치되어 있다.
시트형 커넥터(20)는 상기 이방 도전막(10A)의 상면 측에 배치되는 것으로서, 유연한 절연성 시트(21)를 갖고, 이 절연성 시트(21)에는 당해 절연성 시트(21)의 두께 방향으로 신장하는 금속으로 이루어지는 복수의 전극 구조체(22)가, 접속 대상 전극의 패턴과 대응하는 패턴을 따라서, 당해 절연성 시트(21)의 면 방향으로 서로 떨어져 배치되어 있다. 또한, 절연성 시트(21)에는 이방 도전막(10A)의 연결용 돌출부(15)에 대응하여 복수의 연결용 관통 구멍(26)이 형성되어 있다.
도 3의 실시예는 도 1 및 도 2의 실시예와 유사하지만, 시트형 커넥터(20)가 절연 시트의 양면에 연통하는 공극이 형성된 메쉬, 부직포, 또는 다공성 시트로 이루어지는 절연성 시트(21)를 갖고, 이 절연성 시트(21)에는 당해 절연성 시트(21)의 두께 방향으로 신장하는 금속으로 이루어지는 복수의 전극 구조체(22)가, 접속 대상 전극의 패턴에 대응하는 패턴을 따라서, 당해 절연성 시트(21)의 면방향으로 서로 떨어져 배치되어 있는 점에서 다소 차이가 있다.
이러한 종래기술에 따른 접속용 커넥터는 피검사 디바이스의 단자와 전극구조체 간의 접촉과정에서 단자 내지 전극구조체의 표면이 손상을 받는 문제점이 있다. 특히, 금속소재로 이루어진 피검사 디바이스의 단자가 금속소재로 이루어진 전극구조체와 직접 접촉함에 의하여 상호간의 표면손상이 발생되는 문제점이 발생한다는 단점이 있게 된다.
이와 같이 표면손상은 종국적으로는 전체적인 접속용 커넥터의 수명을 단축시키는 것은 물론 전기적 전도성 측면에서도 바람직하지 못한 결과를 유발하게 된다는 단점이 있게 된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 빈번한 사용에도 전기적 특성이 저하되는 일이 없이 장기간 사용가능한 접속용 커넥터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 접속용 커넥터는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 접속용 커넥터에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 두께방향으로 신장하는 다수의 도전성 입자가 배열되는 복수의 도전부와,
각각의 도전부들 사이에 마련되어 각각의 도전부들을 지지하면서 도전부들을 서로 절연시키는 절연지지부를 포함하는 이방 도전성 시트; 및
상기 이방 도전성 시트의 상면과 하면의 사이에 배치되되 상기 이방 도전성 시트 내에 삽입되어 있으며 다수의 공극이 마련되는 다공성 시트와,
상기 도전부와 대응되는 위치마다 배치되고 상기 다공성 시트에 일체로 결합되어 있는 복수의 전극으로 구성된 시트형 커넥터;를 포함하되,
각 전극은 금속소재로 이루어지고 각 도전부와 전기적으로 접속된다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 각 전극은 도전부의 상단과 도전부의 하단 사이에 위치할 수 있다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 각 전극은 각 도전부의 수평단면과 대응되는 단면을 가지는 판형태로 이루어질 수 있다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 도전부는,
상기 전극의 상측에 배치되며 피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있고 제1도전성 입자로 이루어지는 제1도전부와,
상기 전극의 하측에 배치되며 제2도전성 입자로 이루어지는 제2도전부를 포함할 수 있다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 제1도전부에서의 제1도전성 입자는, 제2도전부에서의 제2도전성 입자보다 단위면적당 고밀도로 배치될 수 있다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 제1도전부에서의 제1도전성 입자의 평균입경은, 상기 제2도전부에서의 제1도전성 입자의 평균입경보다 작을 수 있다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 시트형 커넥터는 상기 이방 도전성 시트의 상면과 하면 사이의 중간위치보다 위쪽에 배치되는 것이 가능하다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 시트형 커넥터는 상기 이방 도전성 시트의 상면과 하면 사이의 중간위치에 배치될 수 있다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 이방 도전성 시트의 상면에는, 상기 도전부와 대응되는 위치마다 관통구멍이 형성되어 상기 피검사 디바이스가 상기 도전부에 접촉하는 것을 안내하는 가이드 시트가 마련될 수 있다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 다공성 시트는, 메쉬 또는 부직포로 이루어지되, 상기 다공성 시트의 공극 내에는 탄성 절연물질이 채워질 수 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 접속용 커넥터는, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 접속용 커넥터에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 두께방향으로 신장하는 다수의 도전성 입자가 배열되는 복수의 도전부를 포함하는 이방 도전성 시트; 및
상기 이방 도전성 시트의 상면과 하면의 사이에 배치되되 상기 이방 도전성 시트 내에 삽입되어 있는 다공성 시트와,
상기 다공성 시트에 일체로 결합되어 있으며 상기 도전부와 대응되는 위치마다 배치되고 도전부 내에 묻혀 있는 복수의 금속전극으로 구성된 시트형 커넥터;를 포함한다.
상기 접속용 커넥터에서,
상기 금속전극은 자성을 나타내는 소재로 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 접속용 커넥터는, 금속소재로 이루어진 전극의 상측에 탄성이 있는 도전부가 마련되어 있어 피검사 디바이스의 단자 및 전극의 손상을 방지할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 접속용 커넥터는 메쉬형태의 시트형 커넥터가 이방 도전성 시트 내부에 배치되어 있어 전체적인 이방 도전성 시트의 내구성을 증진시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 접속용 커넥터의 일예를 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 일부 확대도면.
도 3은 종래기술에 따른 접속용 커넥터의 다른 예를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 접속용 커넥터를 나타내는 도면.
도 5는 도 4의 작동예.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 접속용 커넥터를 나타내는 도면.
이하, 본 발명에 따른 접속용 커넥터를 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
본 발명에 따른 접속용 커넥터(100)는, 피검사 디바이스(140)와 검사장치(150)의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 검사장치(150)의 패드(151)를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 것으로서, 이방 도전성 시트(110), 시트형 커넥터(120) 및 가이드 시트(130)를 포함하여 구성된다.
상기 이방 도전성 시트(110)는, 가압되었을 때 두께방향으로만 도전성을 나타내는 것으로서 복수의 도전부(111)와 절연지지부(114)를 포함하여 구성된다.
상기 도전부(111)는, 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 두께방향으로 신장하는 다수의 도전성 입자가 배열되는 것이다. 이러한 탄성 절연물질은, 가교 구조를 갖는 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 탄성 절연물질을 얻기 위해서 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 여러가지 것을 사용할 수 있고, 그 구체예로서는, 폴리부타디엔 고무, 천연 고무, 폴리이소프렌 고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무 등의 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블록 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 등의 블록 공중합체 고무 및 이들 수소 첨가물, 클로로프렌 고무, 우레탄 고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다.
이상에 있어서, 얻어지는 이방 도전성 시트(110)에 내후성이 요구되는 경우에는, 공액 디엔계 고무 이외의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 특히 성형 가공성 및 전기 특성 측면에서, 실리콘 고무를 이용하는 것이 바람직하다.
상기 도전성 입자(112a, 113a)는 자성을 나타내는 것이 이용될 수 있다. 이러한 도전성 입자(112a, 113a)의 구체예로서는, 철, 코발트, 니켈 등의 자성을 갖는 금속의 입자 또는 이들의 합금의 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여, 상기 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐 등의 도전성이 양호한 금속의 도금을 실시한 것, 또는 비자성 금속 입자 또는 유리 비드 등의 무기 물질 입자 또는 중합체 입자를 코어 입자로 하여, 상기 코어 입자의 표면에 니켈, 코발트 등의 도전성 자성 금속의 도금을 실시한 것 등을 들 수 있다.
이 중에서는, 니켈 입자를 코어 입자로 하여, 그 표면에 도전성이 양호한 금의 도금을 실시한 것을 이용하는 것이 바람직하다.
코어 입자의 표면에 도전성 금속을 피복하는 수단으로서는, 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면 화학 도금 또는 전해 도금법, 스퍼터링법, 증착법 등이 이용되고 있다.
도전성 입자(112a, 113a)로서, 코어 입자의 표면에 도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 경우에는, 양호한 도전성이 얻어지는 점에서, 입자 표면에서의 도전성 금속의 피복률(코어 입자의 표면적에 대한 도전성 금속의 피복 면적의 비율)이 40％ 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 45％ 이상, 특히 바람직하게는 47 내지 95％이다.
또한, 도전성 금속의 피복량은, 코어 입자의 0.5 내지 50 질량％인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2 내지 30 질량％, 더욱 바람직하게는 3 내지 25 질량％, 특히 바람직하게는 4 내지 20 질량％이다. 피복되는 도전성 금속이 금인 경우에는, 그 피복량은 코어 입자의 0.5 내지 30 질량％인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 2 내지 20 질량％, 더욱 바람직하게는 3 내지 15 질량％이다.
이러한 도전부(111)는 후술하는 시트형 커넥터(120)의 전극(122)에 의하여 제1도전부(112)와 제2도전부(113)로 구성된다. 이때 제1도전부(112)는 상기 전극(122)의 상측에 배치되며 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 접촉될 수 있고 제1도전성 입자(112a)로 이루어지는 것이며, 제2도전부(113)는 상기 전극(122)의 하측에 배치되며 제2도전성 입자(113a)로 이루어지는 것이다. 제1도전부(112)와 제2도전부(113)에서의 탄성 절연물질 및 도전성 입자의 소재는 동일하다. 다만 상기 제1도전부(112)에서의 제1도전성 입자(112a)는, 제2도전부(113)에서의 제2도전성 입자(113a)보다 단위면적당 고밀도로 배치되고, 상기 제1도전부(112)에서의 제1도전성 입자(112a)의 평균입경은, 상기 제2도전부(113)에서의 제1도전성 입자(112a)의 평균입경보다 작을 수 있다. 즉, 전극(122)의 상측에 배치된 제1도전부(112)는 작은 크기의 입자들이 고밀도로 배치되도록 구성되는 것이 바람직한데, 이는 전극(122) 위에서 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 접촉되면서 전극(122)과 단자(141)간의 전기적 전달을 보다 확실하게 할 수 있도록 하기 위함이다.
상기 시트형 커넥터(120)는, 다공성 시트(121)와 전극(122)으로 구성된다.
상기 다공성 시트(121)는 상기 이방 도전성 시트(110)의 상면과 하면의 사이에 배치되되 상기 이방 도전성 시트(110) 내에 삽입되어 있으며 다수의 공극이 마련되는 것이다. 이러한 다수의 공극에는 탄성 절연물질이 채워져 있어 상기 이방 도전성 시트(110)와 확고하게 일체로 결합하게 한다. 이러한 다공성 시트(121)를 구성하는 재료로는 메쉬 혹은 부직포가 사용될 수 있다. 이러한 메쉬 혹은 부직포로서는, 유기 섬유에 의해 형성된 것을 적합하게 이용할 수 있다. 이러한 유기 섬유로서는, 폴리테트라플루오로에틸렌 섬유 등의 불소 수지 섬유, 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 폴리아릴레이트 섬유, 나일론 섬유, 폴리 에스테르 섬유 등을 들 수 있다. 또한, 유기 섬유로서, 그 선열 팽창 계수가 접속 대상 부재를 형성하는 재료의 선열 팽창 계수와 동등 혹은 근사한 것, 구체적으로는 선열 팽창 계수가 30 ㅧ 10-6 내지 -5 ㅧ 10-6/K, 특히 10 ㅧ 10-6 내지 -3 ㅧ 10-6/K인 것을 이용함으로써, 당해 이방 도전막의 열팽창이 억제되므로, 온도 변화에 의한 열이력을 받은 경우에도, 접속 대상 부재에 대한 양호한 전기적 접속 상태를 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 유기 섬유로서는, 그 직경이 10 내지 200 ㎛인 것을 이용하는 것이 바람직하다.
상기 전극(122)은, 상기 도전부(111)와 대응되는 위치마다 배치되고 상기 다공성 시트(121)에 일체로 결합되어 있는 것이다. 각각의 전극(122)은 다공성 시트(121)를 두께방향으로 관통하여 다공성 시트(121)에 결합된다. 이러한 전극(122)은 금속소재로 이루어지는 다공성 시트(121)의 공극을 금속소재가 채우면서 상기 다공성 시트(121)에 견고하게 고정되어 있게 된다. 상기 전극(122)은 도전부(111)와 대응되는 원형단면을 가지는 판형태(원판)로 이루어진다. 이러한 전극(122)은 상기 도전부(111)의 상단과 하단 사이에 배치되어 도전부(111)를 제1도전부(112)와 제2도전부(113)로 구분시키게 한다.
이러한 전극(122)은 금속으로서는 니켈, 구리, 금, 은, 팔라듐, 철 등을 이용할 수 있고, 전체가 단일의 금속으로 이루어지는 것이거나, 2종 이상의 금속의 합금으로 이루어지는 것 또는 2종 이상의 금속이 적층되어 이루어지는 것이라도 좋다.
또한, 전극(122)의 표면에는 산화를 방지하는 동시에, 접촉 저항이 작은 전극(122)을 얻기 위해, 금, 은, 팔라듐 등의 화학적으로 안정되고 도전성을 갖는 금속 피막이 형성되어 있어도 좋다.
상기 가이드 시트(130)는, 이방 도전성 시트(110)의 상면에 배치되는 것으로서 상기 도전부(111)와 대응되는 위치마다 관통구멍(131)이 형성되어 상기 피검사 디바이스(140)가 상기 도전부(111)에 접촉하는 것을 안내한다.
이러한 가이드 시트(130)는 유연성이 있으면서 성형성이 좋은 합성수지소재라면 무엇이나 가능하나, 폴리이미드 수지, 에폭시 수지 등의 열경화성 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리부티렌테레프탈레이트 수지 등의 폴리에스테르 수지, 폴리염화비닐 수지, 폴리스티렌 수지, 폴리아크릴니트릴 수지, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 아크릴 수지, 폴리부타디엔 수지, 폴리페닐렌에테르, 폴리페닐렌설파이드, 폴리아미드, 폴리옥시메틸렌 등의 열가소성 수지를 이용할 수 있다.
상기 접속용 커넥터(100)는 다음과 같은 작용효과를 가진다.
먼저, 도전부(111)를 검사장치(150)의 패드(151)에 접촉시킨 상태에서 상기 접속용 커넥터(100)를 검사장치(150)에 탑재시킨다. 이후에 피검사 디바이스(140)를 하강시켜 가면서 상기 피검사 디바이스(140)의 단자(141)가 접속용 커넥터(100)의 도전부(111)에 접촉하게 한다. 상기 피검사 디바이스(140)를 추가로 하강시켜가면서 상기 접속용 도전부(111)를 두께방향으로 가압시키면 도전부(111)의 도전성 입자들(112a, 113a)이 서로 접촉되면서 도전부(111)를 전기적 도통 가능한 상태로 만들게 된다.
이 상태에서 검사장치(150)로부터 소정의 전기적 신호를 인가시키면 상기 신호가 도전부(111) 및 전극(122)을 지나면서 피검사 디바이스(140)로 전달되어 전기적 검사가 수행된다.
이러한 본 발명에 따른 접속용 커넥터(100)는, 시트형 커넥터(120)가 이방 도전성 시트(110)의 내부에 배치되어 있어 이방 도전성 시트(110)의 내구성을 전체적으로 증진시킬 수 있는 장점이 있다. 즉, 메쉬, 또는 부직포로 이루어진 시트형 커넥터(120)가 실리콘 고무로 이루어진 이방 도전성 시트(110) 내부에 배치되어 있어 이방 도전성 시트(110)의 내구성을 증진시킬 수 있다.
특히, 이방 도전성 시트(110)가 과도하게 두께방향과 직각인 면방향으로 팽창되는 것을 방지하도록 하여 이방 도전성 시트(110)의 도전부(111)가 파손되는 것을 방지할 수 있다.
이와 함께 시트형 커넥터(120)의 전극(122)은 도전부(111) 내부에 파묻혀 있기 때문에 전극(122)이 직접 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 접촉하는 일이 없게 되어 전극(122) 및 단자(141)의 손상을 방지할 수 있게 된다. 즉, 금속소재로 이루어진 전극(122)과 단자(141)가 직접 접촉하는 경우 단자(141) 또는 전극(122)의 표면이 손상될 염려가 있으나 본 발명에서는 전극(122)의 상측에 탄성변형되는 도전부(111)가 마련되어 있기 때문에 전극(122) 및 단자(141)의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 전극(122)의 상측에 배치된 도전부(111)도 빈번한 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와의 접촉으로 인하여 파손될 염려가 있으나, 그 아래에 비교적 견고한 시트형 커넥터(120)가 있기 때문에 도전부(111)의 상측이 파손되는 경우라도 전극(122)이 직접 피검사 디바이스(140)의 단자(141)와 접촉함으로서 전기적 전도성의 기능을 계속 수행할 수 있다는 장점이 있다.
상술한 실시예에서는 상기 시트형 커넥터는 전극의 상측에 배치된 제1도전부의 제1도전성 입자의 크기가 제2도전부의 제2도전성 입자의 크기보다 작고, 제1도전성 입자가 제2도전성 입자에 비하여 고밀도로 배치된 것을 예시하였다.
그러나 도 6의 접속용 커넥터(200)에서와 같이 제1도전부(212)와 제2도전부(213)의 제1도전성 입자(212a)와 제2도전성 입자(213a)의 크기 및 밀도분포가 서로 동일한 것도 가능하다. 즉, 이방 도전성 시트(210)의 내부에 시트형 커넥터(220)가 배치된 구성에서, 제1도전부(212) 및 제2도전부(213)가 전극의 상측 및 하측에 위치된 상태에서, 제1도전부(212) 및 제2도전부(213)의 제1, 2도전성 입자(212a, 213a)의 크기 및 밀도가 동일한 것도 가능하다.
또한, 도 4 및 도 5의 실시예에서는 시트형 커넥터가 상기 이방 도전성 시트의 상면과 하면 사이의 중간위치보다 위쪽에 배치되는 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 도 7에 도시된 바와 같이 변형되는 것도 가능하다.
예를 들어, 도 7의 접속용 커넥터(300)에서는, 상기 시트형 커넥터(320)는 상기 이방 도전성 시트(310)의 상면과 하면 사이의 중간위치에 배치되는 것이 예시되어 있다.
또한, 다른 변형예로서 도 8의 접속용 커넥터(400)에서는, 시트형 커넥터(420)가 상기 이방 도전성 시트(410)의 상면과 하면 사이의 중간위치보다 위쪽 및 아래쪽에 각각 배치되는 것을 예시한다.
또 다른 실시예로서, 도면에 도시하지 않았으나, 도전부의 상단이 돌출형으로 이루어지는 것도 가능하다. 즉, 도 4 및 5의 실시예에서는 도전부의 상단과 절연지지부의 상단이 동일 높이에 있는 것을 예시하였으나, 도전부의 상단이 절연지지부의 상단보다 상측으로 돌출되어 있는 것도 가능함은 물론이다.
이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명의 접속용 커넥터를 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.
100...접속용 커넥터 110..이방 도전성 시트
111...도전부 112...제1도전부
112a...제1도전성 입자 113...제2도전부
113a...제2도전성 입자 114...절연지지부
120...시트형 커넥터 121...다공성 시트
122...전극 130...가이드 시트
131...관통구멍 140...피검사 디바이스
141...단자 150...검사장치
151...패드

Claims (12)

  1. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시키기 위한 접속용 커넥터에 있어서,
    상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 두께방향으로 신장하는 다수의 도전성 입자가 배열되는 복수의 도전부와,
    각각의 도전부들 사이에 마련되어 각각의 도전부들을 지지하면서 도전부들을 서로 절연시키는 절연지지부를 포함하는 이방 도전성 시트; 및
    상기 이방 도전성 시트의 상면과 하면의 사이에 배치되되 상기 이방 도전성 시트 내에 삽입되어 있으며 다수의 공극이 마련되는 다공성 시트와,
    상기 도전부와 대응되는 위치마다 배치되고 상기 다공성 시트에 일체로 결합되어 있는 복수의 전극으로 구성된 시트형 커넥터;를 포함하되,
    각 전극은 금속소재로 이루어지고 각 도전부와 전기적으로 접속되되,
    상기 절연지지부는 상기 다공성 시트의 내부에 침투되어 상기 다공성 시트와 일체로 결합되어 있고,
    상기 도전부는,
    상기 전극의 상측에 배치되며 피검사 디바이스의 단자와 접촉될 수 있고 제1도전성 입자로 이루어지는 제1도전부와,
    상기 제1도전부와 동일한 직경을 가지고 있고, 상기 전극의 하측에 배치되며 제2도전성 입자로 이루어지는 제2도전부를 포함하고, 상기 제1도전부에서의 제1도전성 입자는, 제2도전부에서의 제2도전성 입자보다 단위면적당 고밀도로 배치되는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 각 전극은 도전부의 상단과 도전부의 하단 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 각 전극은 각 도전부의 수평단면과 대응되는 단면을 가지는 판형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1도전부에서의 제1도전성 입자의 평균입경은, 상기 제2도전부에서의 제2도전성 입자의 평균입경보다 작은 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 시트형 커넥터는 상기 이방 도전성 시트의 상면과 하면 사이의 중간위치보다 위쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 시트형 커넥터는 상기 이방 도전성 시트의 상면과 하면 사이의 중간위치에 배치되는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 이방 도전성 시트의 상면에는, 상기 도전부와 대응되는 위치마다 관통구멍이 형성되어 상기 피검사 디바이스가 상기 도전부에 접촉하는 것을 안내하는 가이드 시트가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 다공성 시트는, 메쉬 또는 부직포로 이루어지되, 상기 다공성 시트의 공극 내에는 탄성 절연물질이 채워져 있는 것을 특징으로 하는 접속용 커넥터.
  11. 삭제
  12. 삭제
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