KR101522624B1 - 전기적 검사소켓 - Google Patents

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KR101522624B1
KR101522624B1 KR1020130154835A KR20130154835A KR101522624B1 KR 101522624 B1 KR101522624 B1 KR 101522624B1 KR 1020130154835 A KR1020130154835 A KR 1020130154835A KR 20130154835 A KR20130154835 A KR 20130154835A KR 101522624 B1 KR101522624 B1 KR 101522624B1
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윤용희
정호영
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주식회사 아이에스시
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    • H01R2201/20—Connectors or connections adapted for particular applications for testing or measuring purposes

Abstract

본 발명은 전기적 검사소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 상기 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하기 위한 전기적 검사소켓에 있어서, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 배치되며 다수의 제1도전성 입자가 절연성 물질 내에 두께방향으로 분포되어 있는 도전부와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치 이외의 위치로서 도전부의 주변에 배치되며 각각의 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하는 탄성 도전시트; 및 상기 탄성 도전시트의 윗면에 상기 탄성 도전시트와 일체화되어 결합하고 있으며, 상기 절연부보다 경질의 소재로 이루어지고, 상기 도전부와 대응되는 위치에 제1관통구멍이 형성되어 있는 절연성 시트와, 상기 도전부로부터 상측으로 돌출되어 상기 제1관통구멍 내에 마련되어 있고 두께방향으로 도전성을 가지는 돌출도전부를 구비한 시트형 커넥터를 포함하되, 상기 절연성 시트에는, 상기 제1관통구멍으로부터 상기 절연성 시트의 면방향을 따라서 상기 제1관통구멍으로부터 멀어지도록 연장되는 슬릿이 마련되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓에 대한 것이다.

Description

전기적 검사소켓{Electrical test socket}
본 발명은 전기적 검사소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 접촉시 절연성 시트에 의하여 지지되는 돌출도전부에 가해지는 가압력이 효과적으로 분산될 수 있는 전기적 검사소켓에 대한 것이다.
일반적으로 피검사 디바이스의 전기적 특성 검사를 위해서는 피검사 디바이스와 검사장치와의 전기적 연결이 안정적으로 이루어져야 한다. 통상 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 위한 장치로서 전기적 검사소켓이 사용된다.
이러한 전기적 검사소켓의 역할은 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 연결시켜 전기적인 신호가 양방향으로 교환 가능하게 하는 것이다. 이를 위하여 전기적 검사소켓의 내부에 사용되는 접촉수단으로 또는 탄성 도전시트 또는 포고핀이 사용된다. 이러한 탄성 도전시트는 탄성을 가지는 도전부를 피검사 디바이스의 단자와 접속시키는 것이며, 포고핀은 내부에 스프링이 마련되어 있어서 피검사 디바이스와 검사장치와의 연결을 원활하게 하고, 연결시 발생할 수 있는 기계적인 충격을 완충할 수 있어 대부분의 전기적 검사소켓에 사용되고 있다.
이러한 전기적 검사소켓에 대한 종래기술로서는, 본 출원인에 의하여 출원되어 등록된 등록특허 제1266124호에 개시되어 있다.
도 1에 개시된 전기적 검사소켓(100)은, 탄성 도전시트(110), 지지시트(120) 및 제2도전부(130)를 포함하여 구성된다. 상기 탄성 도전시트(110)는, 두께방향으로는 전기적인 흐름을 가능하게 하고 두께방향과 직각인 면방향으로는 전기적인 흐름을 불가하게 하는 것으로서, 탄성적으로 압축되면서 피검사 디바이스(900)의 단자(910)로부터 가해지는 충격력을 흡수할 수 있도록 설계된 것이다. 이러한 탄성 도전시트(110)는, 제1도전부(111)와 절연성 지지부(112)를 포함하여 구성된다.
상기 제1도전부(111)는, 피검사 디바이스(900)의 단자(910)와 대응되는 위치에 배치되되 탄성물질 내에 다수의 제1도전성 입자(111a)가 두께방향으로 일렬 배치되는 것이다. 상기 절연성 지지부(112)는 상기 도전부를 지지하면서 도전부 간에 절연성을 유지시키는 기능을 수행한다. 상기 지지시트(120)는, 상기 탄성 도전시트(110)의 상면측에 부착될 수 있다. 이러한 지지시트(120)에는 상기 피검사 디바이스(900)의 단자(910)와 대응되는 위치마다 관통공(121)이 형성될 수 있다. 상기 제2도전부(130)는, 상기 지지시트(120)의 관통공(121) 내에 배치되되, 탄성물질 내에 다수의 제2도전성 입자(131)가 두께방향으로 배열되어 있는 것이다.
이러한 종래기술에 따른 전기적 검사소켓은, 피검사 디바이스의 단자가 지지시트(121)에 의하여 지지되는 제2도전부(130)에 접촉하는 경우 제2도전부(130)에 가해지는 가압력을 충분하게 흡수하지 못하는 일이 있어, 제2도전부(130)의 파손을 유발하거나 또는 제2도전부(130)가 충분하게 면방향으로 팽창되지 못하기 때문에 피검사 디바이스의 단자가 돌기형 전극으로 이루어지는 경우 돌기형 전극의 높이차이(각 피검사 디바이스의 단자들은 높이가 동일하지 못한데, 어느 돌기형 전극에는 제2도전부가 접촉하나 다른 돌기형 전극에는 접촉하지 못하는 경우)를 충분하게 흡수하지 못하게 되는 일이 있다.
특히, 피검사 디바이스의 단자들이 제2도전부의 정중앙에 접촉하지 못하게 지지시트(120)에 일부 걸쳐서 접촉하는 경우에는 제2도전부와의 확실한 접촉이 어렵게 되는 문제점이 있게 된다.
한편, 종래기술에 따른 전기적 검사소켓에 있어서, 도 2에서는 도 1의 전기적 검사소켓의 이러한 문제점을 해결하기 위한 형태가 개시되어 있다. 구체적으로 전기적 검사소켓에서, 지지시트(220)에 서로 인접한 제2도전부(230)가 서로 독립적으로 작동할 수 있도록 분리부(22)가 형성되는 구성이 개시되어 있다. 이러한 분리부(222)는 레이져 또는 커팅기구에 의하여 상기 지지시트(220)의 일부를 절개한 절단홈 또는 절단홀일 수 있다. 이와 같이 지지시트(220)가 분리부(222)에 의하여 분리되어 있는 경우에는 서로 인접한 제2도전부(230)가 서로 독립적으로 상하이동할 수 있다. 즉, 어느 한 제2도전부(230)가 인접한 제2도전부(230)에 의하여 같은 높이 또는 동등한 높이로 하강하는 일이 없게 되고 독립적으로 위치 이동할 수 있게 되는 것이다.
그러나, 도 2에 개시된 분리부(222)의 경우에도 피검사 디바이스의 단자에 의한 가압력을 확실하게 분산시키는 것이 어렵다는 문제점이 있다. 즉, 분리부(222)는 지지시트(220)이 관통공(221)로부터 일정간격 이격되어 있기 때문에 피검사 디바이스의 단자에 의하여 가해지는 가압력을 일부 흡수할 수 있는 있지만, 그 가압력 분산효과가 미흡하여 전체적으로 제2도전부와 피검사 디바이스의 단자와의 확실한 접촉을 효과적으로 달성하지 못하는 일이 있게 된다.
1. 대한민국 등록특허 제1266124호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자에 의하여 가해지는 가압력을 충분하게 흡수하여 전기적 접속력을 극대화할 수 있는 전기적 검사소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 전기적 검사소켓은, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 상기 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하기 위한 전기적 검사소켓에 있어서,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 배치되며 다수의 제1도전성 입자가 절연성 물질 내에 두께방향으로 분포되어 있는 도전부와,
상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치 이외의 위치로서 도전부의 주변에 배치되며 각각의 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하는 탄성 도전시트; 및
상기 탄성 도전시트의 윗면에 상기 탄성 도전시트와 일체화되어 결합하고 있으며, 상기 절연부보다 경질의 소재로 이루어지고, 상기 도전부와 대응되는 위치에 제1관통구멍이 형성되어 있는 절연성 시트와,
상기 도전부로부터 상측으로 돌출되어 상기 제1관통구멍 내에 마련되어 있고 두께방향으로 도전성을 가지는 돌출도전부를 구비한 시트형 커넥터를 포함하되,
상기 절연성 시트에는, 상기 제1관통구멍으로부터 상기 절연성 시트의 면방향을 따라서 상기 제1관통구멍으로부터 멀어지도록 연장되는 슬릿이 마련된다.
상기 전기적 검사소켓에서, 상기 슬릿은, 각 제1관통구멍에 적어도 둘 이상 마련되어 있으며, 상기 제1관통구멍의 원주방향을 따라서 등간격으로 이격되어 배치될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 슬릿은 직선형, 곡선형 중 어느 하나의 형상을 가질 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 슬릿 내에는, 상기 절연부와 일체로 연결되어 있는 삽입부가 마련되어 있으며, 상기 삽입부는 절연성 물질로 구성될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 삽입부 내에는 도전성 입자가 거의 존재하지 않을 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 삽입부 내에는 단위체적당 도전성 입자의 수가 상기 돌출도전부에 비하여 적을 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 슬릿 내에는, 상기 절연부와 일체로 연결되어 있는 삽입부가 마련되어 있으며, 상기 삽입부에는, 절연성 물질 내에 제2도전성 입자가 분포될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 돌출도전부는, 상기 제1관통구멍의 내주면에 일체화될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 돌출도전부는, 절연성 물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자의 평균입경은 상기 제1도전성 입자의 평균입경보다 작을 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 돌출도전부는, 절연성 물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자는 상기 제1도전성 입자보다 고밀도로 배치될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 돌출도전부는, 절연성 물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자의 평균입경은, 상기 제1도전성 입자의 평균입경과 동등할 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 절연성 시트의 상측에는, 상기 절연성 시트보다 탄력성이 좋은 소재로 이루어지는 탄성시트가 더 배치되어 있으며, 상기 탄성시트에는 절연성 시트의 제1관통구멍과 대응되는 위치에 제2관통구멍이 형성될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 탄성시트의 제2관통구멍 내에는 상기 돌출도전부가 삽입될 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 돌출도전부의 상면은 상기 탄성시트의 상면과 동일높이를 가질 수 있다.
상기 전기적 검사소켓에서,
상기 탄성시트는, 상기 절연성 시트의 상면에 일체화되어 부착될 수 있다.
본 발명에 따른 전기적 검사소켓은, 돌출도전부를 지지하는 절연성 시트에서 제1관통구멍으로부터 연장되는 슬릿이 형성되어 있어 피검사 디바이스의 단자로 인한 가압력을 충분하게 흡수하여 돌출도전부의 파손 등의 문제점을 해결할 수 있음은 물론 돌출도전부와 피검사 디바이스의 단자가 확실하게 접촉할 수 있도록 하는 효과가 있게 된다.
도 1은 종래기술의 일 실시예에 따른 전기적 검사소켓의 도면.
도 2는 종래기술의 다른 실시예에 따른 전기적 검사소켓의 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사소켓의 평면도.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 단면도.
도 5는 도 3의 전기적 검사소켓의 제조방법을 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 전기적 검사소켓의 평면도.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ 단면도.
도 8은 도 6의 전기적 검사소켓의 제조방법을 나타내는 도면.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기적 검사소켓의 평면도.
도 10은 도 9의 Ⅹ-Ⅹ 단면도.
도 11은 도 9의 전기적 검사소켓의 제조방법을 나타내는 도면.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 전기적 검사소켓의 평면도.
도 13은 도 12의 ⅩⅢ - ⅩⅢ 단면도.
도 14는 도 12의 전기적 검사소켓의 제조방법을 나타내는 도면.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사소켓을 첨부된 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사소켓(1)은, 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 상기 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하기 위한 것으로서, 탄성 도전시트(10) 및 시트형 커넥터(20)를 포함한다.
상기 탄성 도전시트(10)는, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 배치되며 다수의 제1도전성 입자(11a)가 절연성 물질 내에 두께방향으로 분포되어 있는 도전부(11)와, 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치 이외의 위치로서 도전부(11)의 주변에 배치되며 각각의 도전부(11)를 지지하면서 절연시키는 절연부(12)를 포함한다.
상기 도전부(11)를 형성하는 절연성 물질로서는 가교 구조를 갖는 내열성의 고분자 물질이 바람직하다. 이러한 가교 고분자 물질을 얻기 위해 이용할 수 있는 경화성의 고분자 물질 형성 재료로서는, 다양한 것을 이용할 수 있지만, 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 부가형의 것이라도 축합형의 것이라도 좋지만, 성형성과 탄성변형이 용이하다는 측면에서 부가형 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 도전부(11)를 액상 실리콘 고무의 경화물(이하,「실리콘 고무 경화물」이라 함)에 의해 형성하는 경우에 있어서, 상기 실리콘 경화물은 그 150 ℃에 있어서의 압축 영구 왜곡이 10 ％ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 8 ％ 이하, 더욱 바람직하게는 6 ％ 이하이다. 이 압축 영구 왜곡이 10 ％를 넘는 경우에는, 얻을 수 있는 탄성 도전시트(10)를 고온 환경 하에 있어서 반복해서 사용하였을 때에는 접속용 도전부(11)에 있어서의 도전성 입자의 연쇄에 흐트러짐이 생기는 결과, 소요의 도전성을 유지하는 것이 곤란해진다.
상기 제1도전성 입자(11a)로는 자성을 나타내는 코어 입자(이하,의 표면에 고도전성 금속이 피복되어 이루어지는 것을 이용하는 것이 바람직하다. 여기서,「고도전성 금속」이라 함은, 0 ℃에 있어서의 도전율이 5 ×106 Ω1m-1 이상인 것을 말한다. 도전성 입자(P)를 얻기 위한 자성 코어 입자는 그 수평균 입자 직경이 3 내지 40 ㎛인 것이 바람직하다. 여기서, 자성 코어 입자의 수평균 입자 직경은 레이저 회절 산란법에 의해 측정된 것을 말한다. 자성 코어 입자를 구성하는 재료로서는 철, 니켈, 코발트, 이들 금속을 구리, 수지에 코팅한 것 등을 이용할 수 있지만, 그 포화 자화가 0.1 ㏝/㎡ 이상인 것을 바람직하게 이용할 수 있고, 보다 바람직하게는 0.3 ㏝/㎡ 이상, 특히 바람직하게는 0.5 ㏝/㎡ 이상인 것이고, 구체적으로는 철, 니켈, 코발트 또는 그들 합금을 들 수 있다.
자성 코어 입자의 표면에 피복되는 고도전성 금속으로서는 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등을 이용할 수 있고, 이들 중에서는 화학적으로 안정되고 또한 높은 도전율을 갖는 점에서 금을 이용하는 것이 바람직하다.
상기 절연부(12)는 상기 도전부(11)를 지지하면서 도전부(11) 간에 절연성을 유지시키는 기능을 수행한다. 이러한 절연부(12)는 상기 도전부(11) 내의 절연성 물질과 동일한 소재가 사용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 탄성력이 좋으면서 절연성이 우수한 소재라면 무엇이나 사용될 수 있음은 물론이다.
상기 시트형 커넥터(20)는, 절연성 시트(21)와, 돌출도전부(22)를 포함하여 구성된다.
상기 절연성 시트(21)는, 상기 탄성 도전시트(10)의 윗면에 상기 탄성 도전시트(10)와 일체화되어 결합하고 있으며, 상기 절연부(12)보다 경질의 소재로 이루어지고, 상기 도전부(11)와 대응되는 위치에 제1관통구멍(21a)이 형성되어 있는 것이다. 이러한 절연성 시트(21)는 제1관통구멍(21a) 내에 배치되어 있는 돌출도전부(22)를 지지하는 기능을 수행한다. 또한, 상기 절연성 시트(21)는 실리콘 고무와 같은 열팽창이 잘되는 탄성 도전시트(10)의 일면에 일체화되어 있어 상기 탄성 도전시트(10)의 열팽창을 억제할 수 있는 기능을 수행한다.
이러한 절연성 시트(21)를 구성하는 재료로는, 액정 폴리머, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리아미드 수지 등의 수지 재료, 글래스 섬유 보강형 에폭시 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리에스테르 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리이미드 수지 등의 섬유 보강형 수지 재료, 에폭시 수지 등에 알루미나, 붕소 나이트라이드 등의 무기 재료를 필러로서 함유한 복합 수지 재료 등을 이용할 수 있다. 이 중에서 치수안정성이 우수하며 내열성이 좋은 폴리이미드 수지가 바람직하다.
상기 제1관통구멍(21a) 내에는 돌출도전부(22)가 일체화되어 있어서 상기 돌출도전부(22)를 확고하게 지지할 수 있다. 한편, 상기 절연성 시트(21)에는, 상기 제1관통구멍(21a)으로부터 상기 절연성 시트(21)의 면방향을 따라서 제1관통구멍(21a)으로부터 멀어지도록 연장되는 복수의 슬릿(23)이 마련되어 있다. 이러한 슬릿(23)은, 상기 각 제1관통구멍(21a)에 적어도 둘 이상 마련되어 있으며 상기 제1관통구멍(21a)의 원주방향을 따라서 등간격으로 이격되어 배치되어 있게 된다. 상기 슬릿(23)은 직선형인 것이 바람직하나, 필요에 따라서는 곡선형이 사용될 수 있음은 물론이다.
상기 돌출도전부(22)는, 상기 도전부(11)로부터 상측으로 돌출되어 상기 제1관통구멍(21a) 내에 마련되는 것으로서, 두께방향으로 도전성을 나타내는 것이다. 이러한 돌출도전부(22)는, 제1관통구멍(21a)의 내주면에 일체화되어 있는 것으로서, 절연성 물질 내에 제2도전성 입자(22a)가 두께방향으로 분포되어 있는 것이다. 상기 돌출도전부(22)에서 상기 제2도전성 입자(22a)의 평균입경은 상기 도전부(11) 내의 제1도전성 입자(11a)의 평균입경보다 작은 것이 바람직하다. 또한, 상기 제2도전성 입자(22a)는 상기 제1도전성 입자(11a)보다 고밀도로 배치되는 것이 좋다. 또한, 상기 돌출도전부(22)를 구성하는 절연성 물질은 상기 도전부(11)를 구성하는 절연성 물질보다 경질인 것이 좋으나, 이에 한정되는 것은 아니며 동일한 탄성력을 가질 수 있다.
한편, 상기 슬릿(23) 내에는 상기 절연부(12) 및 상기 돌출도전부(22)와 일체로 연결되어 있는 삽입부(24)가 마련될 수 있다. 상기 삽입부(24)는 절연성 물질 내에 다수의 제2도전성 입자(22a)가 분포되어 있는 것으로서, 제2도전성 입자(22a)의 분포정도(밀도)는 상기 돌출도전부(22) 내의 분포정도와 균등한 것일 수 있다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사소켓(1)의 제조방법을 도 5를 참조하면서 상세하게 설명한다.
먼저, 얇은 판 형태의 절연성 시트(21)를 준비한다.(도 5a)
이후, 상기 절연성 시트(21)에 제1관통구멍(21a)을 형성하고(도 5b), 그 이후 상기 절연성 시트(21)에 상기 제1관통구멍(21a)으로부터 외측으로 연장되는 슬릿(23)을 형성한다.(도 5c) 제1관통구멍(21a) 및 슬릿(23)의 형성은 기계적인 커팅공정 내지 레이저 등에 의하여 이루어질 수 있다. 이후에, 상기 제1관통구멍(21a)과 슬릿(23)에 절연성 물질 내에 제2도전성 입자(22a)가 함유되어 있는 제2 액상 성형재료를 충전시키고 상기 제2 액상 성형재료를 경화시킨다.(도 5d). 이후에, 상기 절연성 시트(21)를 금형 내에 삽입한다. 이때 금형(800)은 상금형(810) 및 상기 상금형(810)과 쌍을 이루는 하금형(820)이 대향하도록 배치되어 구성되며, 상기 상금형(810)과 하금형(820)이 협동하여 구성하는 내부공간에는 캐비티가 형성되어 있게 된다.
상기 상금형(810)에는, 기판(811)의 하면에 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 강자성체층(812)이 형성되고 상기 강자성체층(812) 이외의 부분에는 비자성체층(813)이 형성되어 있다. 또한, 상기 하금형에는, 기판(821)의 상면에 상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 강자성체층(822)이 형성되고, 상기 강자성체층(822) 이외의 부분에는 비자성체층(823)이 형성되어 있게 된다. 한편, 상기 비자성체층(823)의 가장자리 측에는 한 쌍의 스페이서(830)가 배치된다.
이러한 금형(800) 내에 상기 절연성 시트(21)를 배치하게 된다. 구체적으로는 금형(800)의 캐비티 내에 상기 절연성 시트(21)를 안착시키는데, 상기 절연성 시트(21)의 제1관통구멍(21a)이 상기 강자성체층(812)과 대응될 수 있도록 위치시킨다. 이후에, 절연성 물질 내에 제1도전성 입자(11a)가 분포된 제1액상 성형재료(11')를 상기 금형(800)의 내부공간인 캐비티에 충전한다. (도 5e 참조) 이후에는 미도시된 전자석을 통하여 자장을 가하게 되고 이에 따라서 자장이 상하 서로 마주보는 강자성체층(812)(822) 사이를 지나도록 하면서 그 자장이 지나는 사이에 제1도전성 입자(11a)가 일렬 배치될 수 있도록 한다(도 5f) 이후에는 상기 제1액상 성형재료(11')를 가열에 의하여 경화시킴으로서 전기적 검사소켓(1)의 제작을 완료하게 되는 것이다.
이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 전기적 검사소켓(1)은 다음과 같은 작용효과를 가진다.
본 발명에 따른 전기적 검사소켓(1)은, 돌출도전부(22)에 피검사 디바이스의 단자가 접촉되었을 때 상기 돌출도전부(22) 주위의 절연성 시트(21)가 상기 돌출도전부(22)를 확고하게 지지함은 물론, 상기 절연성 시트(21)의 슬릿(23)은 상기 돌출도전부(22)에 가해지는 피검사 디바이스의 단자에 의한 가압력을 충분하게 흡수할 수 있다. 즉, 슬릿(23)의 간격이 서로 벌어지면서 가압력을 흡수하게 되는 것이다. 이에 따라서 피검사 디바이스의 단자들 간의 높이단차, 예를 들어 피검사 디바이스의 단자 높이가 서로 다른 경우에도 상기 슬릿(23)은 피검사 디바이스의 단자간 높이불균형을 흡수할 수 있다. 또한, 피검사 디바이스의 단자가 상기 돌출도전부(22)의 중앙에 접촉하지 않고 돌출도전부(22)의 중앙에서 다소 벗어난 위치에 접촉하는 경우에는 상기 슬릿(23)이 피검사 디바이스의 가압력을 충분하게 흡수하여 돌출도전부(22)의 파손을 방지함은 물론 돌출도전부(22)와 상기 피검사 디바이스의 단자 간 접촉을 확실하게 달성할 수 있게 한다.
이러한 본 발명에 따른 전기적 검사소켓(3)은, 도 6 내지 8에 도시된 바와 같이 변형되는 것도 가능하다.
상술한 실시예에서는, 절연성 시트(41)의 슬릿(43) 내에 제2도전성 입자(42a)가 돌출도전부(42)와 대응되는 정도로 분포되어 있는 삽입부(44)를 개시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 삽입부(44)는 거의 또는 전부 실리콘 고무와 같은 절연성 물질로만 이루어지도록 구성하는 것도 가능하다. 즉, 삽입부(44) 내에서는 도전성 입자가 거의 존재하지 않거나, 적어도 단위체적당 도전성 입자의 수가 돌출도전부(42)에 비하여 적게 분포할 수 있다. 이와 같이 삽입부(44) 내에 도전성 입자가 거의 없거나 또는 약간만 존재함에 따라서 슬릿(43)에 의한 하중 분산효과를 극대화할 수 있다. 즉, 비교적 강성재료로 구성된 도전성 입자가 슬릿(23) 내에 거의 존재하지 않음에 따라서 삽입부(24)의 탄성력 내지 하중분산효과를 극대화할 수 있게 되는 것이다. 이외에, 탄성 도전시트(30), 도전부(31), 절연부(32)에 대해서는 상술한 실시예와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
이러한 도 6 및 7에 개시된 전기적 검사소켓(3)은, 도 8에 도시된 바와 같이 제작될 수 있다.
먼저, 폴리이미드로 이루어진 절연성 시트(41)를 준비하고(도 8a), 상기 절연성 시트(41)에 제1관통구멍(41a)을 형성한다.(도 8b) 이후, 상기 절연성 시트(41)의 제1관통구멍(41a) 내에 절연성 물질에 제2도전성 입자(42a)가 분포되어 있는 제2액상 성형재료(42')를 충전시킨다. 이후에, 기계적인 커팅공정 내지 레이저에 의하여 제1관통구멍(41a)으로부터 연장된 슬릿(43)을 절연성 시트(41)에 형성한다.(도 8c) 이후에, 상기 절연성 시트(41)를 금형 내에 삽입하고, 제1액상 성형재료(31')를 금형 내 캐비티에 충전시킨다.(도 8d) 이후에는 미도시된 전자석을 통하여 자장을 가하게 되고 이에 따라서 자장이 상하 서로 마주보는 강자성체층(812) 사이를 지나도록 하면서 그 자장이 지나는 사이에 제1도전성 입자(31a)가 일렬 배치될 수 있도록 한다(도 5f) 이후에는 상기 제1액상 성형재료(31')를 가열에 의하여 경화시킴으로서 전기적 검사소켓(3)의 제작을 완료하게 되는 것이다.
본 발명의 전기적 검사소켓(5)은 도 9 내지 11에 도시된 바와 같이 변형되는 것도 가능하다.
상술한 도 6 내지 도 8에 개시된 실시예에서는 돌출도전부(42) 내에 배치되는 제2도전성 입자(42a)가 도전부(31) 내에 배치되는 제1도전성 입자(31a)에 비하여 평균입경이 작은 것을 예시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 제2도전성 입자(42a)의 평균입경이 상기 제1도전성 입자(31a)의 평균입경과 동일 내지 동등한 것도 가능하다. 또한, 돌출도전부(42)를 구성하는 절연성 물질과 도전부(31)를 구성하는 절연성 물질이 동일한 소재로 이루어지는 것도 가능하다. 이외에, 탄성 도전시트(50), 도전부(51), 절연부(52)에 대해서는 상술한 실시예와 동일하므로 구체적인 설명은 생략한다.
이러한 도 9 및 도 10의 실시예에 따른 전기적 검사소켓(5)은 도 11에 도시된 바와 같이 제작될 수 있다.
먼저, 폴리이미드로 이루어진 절연성 시트(61)를 준비하고(도 11a), 상기 절연성 시트(61)에 제1관통구멍(61a)을 형성한다.(도 11b), 이후, 기계적인 커팅공정 내지 레이저에 의하여 제1관통구멍(61a)으로부터 연장된 슬릿(63)을 절연성 시트(61)에 형성한다.(도 11c) 이후에, 상기 절연성 시트(61)를 금형(800) 내에 삽입하고, 액상 성형재료를 금형 내 캐비티에 충전시킨다.(도 8d) 이후에는 미도시된 전자석을 통하여 자장을 가하게 되고 이에 따라서 자장이 상하 서로 마주보는 강자성체층(812)(822) 사이를 지나도록 하면서 그 자장이 지나는 사이에 도전성 입자가 일렬 배치될 수 있도록 한다(도 5f) 이후에는 상기 액상 성형재료를 가열에 의하여 경화시킴으로서 제작을 완료하게 되는 것이다.
이와 같이 제작된 전기적 검사소켓(5)에서 슬릿(63) 내의 삽입부(64)에는 도전성 입자가 거의 존재하지 않거나, 적은 양만이 존재하게 되어 슬릿(63)에 의한 하중 분산효과를 충분하게 달성할 수 있게 된다.
본 발명에 따른 전기적 검사소켓(7)은 이에 한정되는 것은 아니며, 도 12 내지 도 14에 개시된 바와 같이 변형되는 것도 가능하다.
본 발명의 도 12 내지 도 14에 개시된 전기적 검사소켓(7)은, 절연성 시트(81)의 상측에 별도의 탄성시트(90)가 더 배치되는 것을 특징으로 한다. 구체적으로, 상기 절연성 시트(81)의 상측에는, 상기 절연성 시트(81)보다 탄력성이 좋은 소재로 이루어지는 탄성시트(90)가 배치된다. 이러한 탄성시트(90)에는 절연성 시트(81)의 제1관통구멍(81a)과 대응되는 위치에 제2관통구멍(91)이 형성되어 있게 되며, 상기 탄성시트(90)의 제2관통구멍(91) 내에는 상기 돌출도전부(82)가 삽입되어 있다. 이러한 돌출도전부(82)의 상면은 상기 탄성시트의 상면과 동일높이를 가질 수 있다. 한편, 절연성 시트(81)의 슬릿(83) 내에 마련된 삽입부(84)에는 도전성 입자가 거의 존재하지 않거나 약간만 존재하게 되어 슬릿(83)에 의한 하중의 분산효과를 극대화할 수 있게 된다.
이러한 도 12 및 도 13에 개시된 전기적 검사소켓(7)은, 도 14에 개시된 바와 같이 제조될 수 있다.
먼저, 폴리이미드로 이루어진 절연성 시트(81)를 준비하고(도 14a), 상기 절연성 시트(81)에 제1관통구멍(81a)을 형성한다.(도 14b), 이후, 기계적인 커팅공정 내지 레이저에 의하여 제1관통구멍(81a)으로부터 연장된 슬릿(83)을 절연성 시트(81)에 형성한다.(도 14c) 이후, 상기 절연성 시트(81)의 상면 측에 연질의 액상 절연물질을 도포한다. 이러한 액상 절연물질은 상기 제1관통구멍(81a)과 슬릿(83)을 채우게 된다.(도 14d) 이후에, 상기 제1관통구멍(81a)과 대응되는 위치를 홀가공하여 절연성 시트(81)에는 제1관통구멍(81a)이 형성되도록 하고, 액상 절연물질이 경화된 탄성시트(90)에는 제2관통구멍(91)이 형성되도록 한다. 이후에, 상기 제1관통구멍(81a)과 제2관통구멍(91)에 절연성 물질 내에 제2도전성 입자(82a)가 분포되어 있는 제2액상 성형물질을 도포하고, 상기 제2액상 성형물질을 경화시킨다. (도 14f) 이후에, 상기 절연성 시트(81)를 금형 내에 삽입하고, 액상 성형재료를 금형 내 캐비티에 충전시킨다.(도 14g) 이후에 이후에는 미도시된 전자석을 통하여 자장을 가하게 되고 이에 따라서 자장이 상하 서로 마주보는 강자성체층(812)(822) 사이를 지나도록 하면서 그 자장이 지나는 사이에 도전성 입자가 일렬 배치될 수 있도록 한다(도 14h) 이후에는 상기 액상 성형재료를 가열에 의하여 경화시킴으로서 제작을 완료하게 되는 것이다.
이러한 본 발명에 따른 전기적 검사소켓(7)은, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 돌출도전부가 금속소재로 이루어지는 것도 가능하다. 즉, 돌출도전부가 금속소재로 이루어진 전극일 수 있다.
이상에서 다양한 실시예를 들어 본 발명의 전기적 검사소켓을 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 권리범위로부터 합리적으로 해석될 수 있는 것이라면 무엇이나 본 발명의 권리범위에 속하는 것은 당연하다.
1...전기적 검사소켓 10...탄성 도전시트
11...도전부 11a...제1도전성 입자
12...절연부 20...시트형 커넥터
21...절연성 시트 21a...제1관통구멍
22..돌출도전부 22a...제2도전성 입자
23...슬릿 24...삽입부
800...금형 810...상금형
811..기판 812..강자성체층
813...비자성체층 820...하금형
821...기판 822...강자성체층
823...비자성체층 830...스페이서
840...금속 프레임

Claims (15)

  1. 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 상기 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하기 위한 전기적 검사소켓에 있어서,
    상기 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치에 배치되며 다수의 제1도전성 입자가 절연성 물질 내에 두께방향으로 분포되어 있는 도전부와,
    상기 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치 이외의 위치로서 도전부의 주변에 배치되며 각각의 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하는 탄성 도전시트; 및
    상기 탄성 도전시트의 윗면에 상기 탄성 도전시트와 일체화되어 결합하고 있으며, 상기 절연부보다 경질의 소재로 이루어지고, 상기 도전부와 대응되는 위치에 제1관통구멍이 형성되어 있는 절연성 시트와,
    상기 도전부로부터 상측으로 돌출되어 상기 제1관통구멍 내에 마련되어 있고 두께방향으로 도전성을 가지는 돌출도전부를 구비한 시트형 커넥터를 포함하되,
    상기 절연성 시트에는, 상기 제1관통구멍으로부터 상기 절연성 시트의 면방향을 따라서 상기 제1관통구멍으로부터 멀어지도록 연장되는 슬릿이 마련되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 슬릿은, 각 제1관통구멍에 적어도 둘 이상 마련되어 있으며, 상기 제1관통구멍의 원주방향을 따라서 등간격으로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 슬릿은 직선형, 곡선형 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 슬릿 내에는, 상기 절연부와 일체로 연결되어 있는 삽입부가 마련되어 있으며, 상기 삽입부는 절연성 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 삽입부 내에는 도전성 입자가 존재하지 않는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 삽입부 내에는 단위체적당 도전성 입자의 수가 상기 돌출도전부에 비하여 적은 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 슬릿 내에는, 상기 절연부와 일체로 연결되어 있는 삽입부가 마련되어 있으며, 상기 삽입부에는, 절연성 물질 내에 제2도전성 입자가 분포되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 소켓.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 돌출도전부는, 상기 제1관통구멍의 내주면에 일체화되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 돌출도전부는, 절연성 물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자의 평균입경은 상기 제1도전성 입자의 평균입경보다 작은 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 돌출도전부는, 절연성 물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자는 상기 제1도전성 입자보다 고밀도로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 돌출도전부는, 절연성 물질 내에 제2도전성 입자가 두께방향으로 분포되어 있는 것으로서, 상기 제2도전성 입자의 평균입경은, 상기 제1도전성 입자의 평균입경과 동등한 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 절연성 시트의 상측에는, 상기 절연성 시트보다 탄력성이 좋은 소재로 이루어지는 탄성시트가 더 배치되어 있으며, 상기 탄성시트에는 절연성 시트의 제1관통구멍과 대응되는 위치에 제2관통구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 검사 소켓.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 탄성시트의 제2관통구멍 내에는 상기 돌출도전부가 삽입되는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 돌출도전부의 상면은 상기 탄성시트의 상면과 동일높이를 가지는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
  15. 제12항에 있어서,
    상기 탄성시트는, 상기 절연성 시트의 상면에 일체화되어 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 전기적 검사소켓.
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