CN113169495A - 用于电连接的连接器 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种通过位于检查装置与受检设备之间来使检查装置和受检设备电连接的连接器。连接器包括多个弹性导电部和弹性绝缘部。多个弹性导电部能够沿着上下方向导电。弹性绝缘部用于沿着水平方向隔开多个弹性导电部并实现绝缘。弹性绝缘部包括多个电磁波屏蔽部，多个电磁波屏蔽部包括沿着上下方向分布及排列并具有磁性的多个碳纳米管。

Description

用于电连接的连接器

技术领域

本公开涉及通过与两个电子设备相接触来使两个电子设备电连接的连接器。

背景技术

为了对受检设备进行电检查，在所属技术领域中使用通过与受检设备和检查装置相接触来使受检设备与检查装置电连接的连接器。连接器向受检设备传输检查装置的电信号，向检查装置传输受检设备的电信号。作为这种连接器，所属技术领域中已知的有导电性橡胶片(conductive rubber sheet)。

导电性橡胶片可因施加于受检设备的外力而产生弹性变形。导电性橡胶片包括：多个导电部，用于电连接受检设备与检查装置并传输电信号；以及绝缘部，用于隔开多个导电部并实现绝缘。绝缘部可由固化而成的硅橡胶制成。

为了对受检设备进行高可靠性检查，应屏蔽有可能施加于导电部的电磁波。作为一例，韩国公开专利公报第10-2010-0020793号中公开了将由不锈钢等的金属材料制成的接地板埋设在绝缘部的技术。

发明内容

技术问题

在上述文献中，由于需要进行将由金属材料制成的接地板埋设在绝缘部的工序和对接地板进行接地处理的工序，因此，将造成连接器的制造工序数量及制造成本增加。为了实现受检设备与连接器之间的稳定接触，需要将连接器的弹性维持在规定水平以上，但是，埋设在绝缘部的接地板将使得连接器的弹性明显下降。

随着导电部之间的距离微小化，在导电部之间产生串扰(crosstalk)的可能性及电磁波给导电部带来的影响逐渐增加。因此，需要在导电性橡胶片等的连接器中设置对于导电部的高标准电磁波屏蔽结构。尤为重要的是，这种电磁波屏蔽结构应在不会降低连接器的弹性的情况下，以低成本、简单的结构设置在连接器中。但是，现有技术的连接器的电磁波屏蔽结构不仅导致连接器的制造工序数量增加，而且将导致连接器的弹性变差。

本公开的一实施例提供用于电连接两个电子设备并具有电磁波屏蔽结构的连接器。本公开的一实施例提供用于电连接两个电子设备并具有同时成型的导电部支撑结构和电磁波屏蔽结构的连接器。

技术方案

本公开的实施例涉及位于两个电子设备之间并用于电连接两个电子设备的连接器。一实施例的连接器包括多个弹性导电部和弹性绝缘部。多个弹性导电部能够沿着上下方向导电。弹性绝缘部用于沿着水平方向隔开多个弹性导电部并实现绝缘。弹性绝缘部包括多个电磁波屏蔽部。多个电磁波屏蔽部包括沿着上下方向分布及排列并具有磁性的多个碳纳米管。

根据一实施例，弹性绝缘部包括多个第一隔开部，上述多个第一隔开部分别包围多个弹性导电部，沿着上下方向延伸，用于沿着水平方向隔开多个弹性导电部与多个电磁波屏蔽部。

根据一实施例，多个电磁波屏蔽部形成沿着上述上下方向延伸的圆筒形状，多个第一隔开部分别位于多个电磁波屏蔽部各自的内侧。

根据一实施例，弹性绝缘部包括第二隔开部，上述第二隔开部配置在各个电磁波屏蔽部的上端或下端。

根据一实施例，连接器包括绝缘部件。绝缘部件包括多个贯通孔并附着在弹性绝缘部，上述贯通孔与多个弹性导电部相对应。

根据一实施例，多个碳纳米管分别包括多个磁性粒子。多个碳纳米管通过多个磁性粒子在磁场内因磁力而排列的力来沿着上下方向分布及排列。

根据一实施例，多个磁性粒子分别位于多个碳纳米管各自的内部。

根据一实施例，多个磁性粒子分别在多个碳纳米管各自的外侧与碳原子化学键合。

根据一实施例，多个碳纳米管分别具有多个六角孔，多个六角孔中的一部分六角孔分别具有多个磁性粒子中的一个。

根据一实施例，多个磁性粒子由镍、钴、铬、铁、碳化铁、氧化铁、氧化铬、氧化镍、氧化钴镍、钴铁及单分子磁性物质中的一种组成。

根据一实施例，两个电子设备中的一个为检查装置，两个电子设备中的另一个为由检查装置进行检查的受检设备。

根据一实施例，弹性绝缘部与多个电磁波屏蔽部一同由第一液态成型材料制成，上述第一液态成型材料包括：多个碳纳米管，分别包括多个磁性粒子；以及第一液态硅成型材料，分散有多个碳纳米管。多个电磁波屏蔽部沿着上下方向对第一液态成型材料施加磁场，通过磁性粒子在磁场内因磁力而排列的力来使得多个碳纳米管沿着上下方向分布及排列。多个弹性导电部沿着上下方向对第二液态成型材料施加磁场，上述第二液态成型材料包括：多个导电性金属粒子；以及第二液态硅橡胶材料，分散有多个导电性金属粒子，多个导电性金属粒子以能够沿着上下方向导电的方式相互接触。

根据一实施例，可通过环状的磁铁部沿着上下方向对第一液态成型材料施加磁场来使得多个电磁波屏蔽部分别形成圆筒形状，上述磁铁部以相向的方式在上下方向上配置成一对。

发明的效果

本公开一实施例的连接器包括内置有电磁波屏蔽部的弹性绝缘部。当弹性绝缘部成型时，可形成电磁波屏蔽部，因此，一实施例的连接器能够以简单的结构形成电磁波屏蔽结构，而无需额外的制造工序。根据一实施例，内置在弹性绝缘部的电磁波屏蔽部由多个碳纳米管制成，因此并不会降低弹性绝缘部的弹性。根据一实施例，弹性绝缘部的电磁波屏蔽部由沿着上下方向分布及排列并具有磁性的多个碳纳米管组成。一实施例的连接器可通过上述结构的电磁波屏蔽部获得进一步提高的电磁波屏蔽效果及防止串扰效果。根据一实施例，具有磁性的碳纳米管分别包括多个磁性粒子，具有磁性粒子的碳纳米管具有比纯碳纳米管更优秀的电磁波屏蔽效果。并且，具有磁性粒子的碳纳米管可利用沿着上下方向施加的磁场来配置在连接器内所期望的区域。并且，可通过调节施加磁场的磁铁尺寸来改变电磁波屏蔽部的尺寸，从而可将电磁波屏蔽性改变成多种水平。

附图说明

图1为简要示出一实施例的连接器适用例的剖视图。

图2为简要示出一实施例的连接器的俯视图。

图3为简要示出一实施例的连接器的局部剖视图。

图4为简要示出多个碳纳米管沿着上下方向分布及排列的另一例的剖视图。

图5为简要示出制造图2所示的连接器的一例的剖视图。

图6为简要示出制造图2所示的连接器的一例的剖视图，示出对应于连接器的材料。

图7为在图6所示的材料中形成与弹性导电部相对应的贯通孔的例示图。

图8为向图7所示的贯通孔注入液态成型材料来使一实施例的连接器成型的例示图。

图9为简要示出一实施例的连接器的变形例的剖视图。

图10为简要示出另一实施例的连接器的剖视图。

图11为简要示出制造图10所示的连接器的一例的剖视图。

图12为简要示出制造图10所示的连接器的一例的剖视图，示出对应于连接器的材料。

图13为在图12所示的材料中形成与弹性导电部相对应的贯通孔的例示图。

图14为向图13所示的贯通孔注入液态成型材料来使另一实施例的连接器成型的例示图。

图15为简要示出另一实施例的连接器的局部立体图。

图16为简要示出另一实施例的连接器的局部剖视图。

图17为简要示出制造图15所示的连接器的一例的剖视图。

图18为在材料中形成与弹性导电部相对应的贯通孔的例示图。

图19为简要示出另一实施例的连接器的变形例的剖视图。

图20为示出包括磁性粒子的碳纳米管的一例的图。

图21为简要示出形成图20中例示的碳纳米管的一例的图。

图22为简要示出形成图20中例示的碳纳米管的再一例的图。

图23为简要示出形成图20中例示的碳纳米管的另一例的图。

图24为简要示出形成图20中例示的碳纳米管的还有一例的图。

图25为简要示出形成图20中例示的碳纳米管的又一例的图。

图26为简要示出具有封闭端部的碳纳米管的图。

图27为示出包括磁性粒子的碳纳米管的再一例的图。

图28为简要示出形成图27中例示的碳纳米管的一例的图。

图29为简要示出形成图27中例示的碳纳米管的再一例的图。

图30为示出包括磁性粒子的碳纳米管的另一例的图。

图31为简要示出形成图30中例示的碳纳米管的一例的图。

具体实施方式

本公开的实施例以说明本公开的技术思想为目的而例示。本公开的发明要求保护范围并不限定于以下公开的实施例或实施例的具体说明。

除非另有定义，否则在本公开中所使用的所有技术术语及科学术语具有本公开所属技术领域的普通技术人员通常所理解的含义。在本公开中使用的所有术语用于进一步明确说明本公开，并非用于限制本公开的发明要求保护范围。

除非在包括以下表达方式的句子或文章中另有说明，否则在本公开中所使用的“包括”、“设置”、“具有”等表达方式应以开放性术语(open-ended terms)加以理解，具有包括其他实施例的可能性。

除非另有定义，否则在本公开中所记述的单数的表达可包括复数的含义，这也同样适用于在发明要求保护范围中所记载的单数的表达。

在本公开中所使用的“第一”、“第二”等表达方式用于相互区分多个结构要素，并不限定相应结构要素的顺序或重要性。

在本公开中，当某结构要素与另一结构要素相“连接”或相“结合”时，应当理解为上述某结构要素可直接连接或结合在上述另一结构要素，或者，以新的其他结构要素为介质相连接或相结合。

在本公开中所使用的方向指示语“上方”基于连接器相对于检查装置所处的方向，而方向指示语“下方”是指与上方相反的方向。虽然在本公开中所使用的方向指示语“上下方向”包括上方方向和下方方向，但应当理解的是，并不表示上方方向和下方方向中的特定的一个方向。

以下，参照附图所示出的例说明实施例。在附图中，对于相同或相对应的结构要素赋予了相同的附图标记。并且，在说明以下实施例的过程中，省略了对于相同或相对应的结构要素的说明。但即使省略了对于有关结构要素的记述，也并不意味着这种结构要素不属于某实施例。

以下说明的实施例和附图所示出的例涉及通过配置在两个电子设备之间来电连接上述两个电子设备的连接器。在实施例的连接器的适用例中，虽然上述两个电子设备中的一个可以为检查装置且上述两个电子设备中的另一个可以为由检查装置进行检查的受检设备，但连接器的适用例并不限定于此。实施例的连接器可为了通过与需要电连接的任意两个电子设备相接触来实现电连接而使用。当实施例的连接器适用于检查装置和受检设备时，实施例的连接器可在对受检设备进行电检查的情况下为了与检查装置、受检设备电连接而使用。作为一例，在半导体设备的制造工序中的后段工序中，实施例的连接器可用于受检设备的最终电检查。但是，适用实施例连接器进行检查的例并不限定于上述检查。

图1示出一实施例的连接器的适用例。为了说明实施例，图1示出连接器、配置有连接器的电子设备、与连接器相接触的电子设备的例示形状。

参照图1，一实施例的连接器100配置在两个电子设备之间，通过接触实现两个电子设备之间的电连接。在图1示出的例中，两个电子设备中的一个可以为检查装置10，另一个可以为由检查装置10进行检查的受检设备20。当对受检设备20进行电检查时，连接器100通过分别与检查装置10和受检设备20相接触来使检查装置10与受检设备20电连接。

作为一例，连接器100作为片(sheet)形状的结构物，可以与测试插口30相结合。测试插口30可具有用于维持并支撑连接器100的框架31，可通过框架31来以能够装拆的方式附着在插口外壳40。插口外壳40能够以可装拆的方式安装在检查装置10。插口外壳40用于在其内部收容通过搬运装置搬运到检查装置10的受检设备20并使得受检设备20位于检查装置10。

虽然受检设备20可以为半导体封装体，但并不限定于此。半导体封装体是指使用树脂材料以六面体形态封装半导体集成电路(IC)芯片、多个引线框架(lead frame)及多个端子的半导体设备。上述半导体集成电路芯片可以为存储集成电路芯片或非存储集成电路芯片。作为上述端子，可使用销或锡球(solder ball)。图1示出的受检设备20在其下侧具有半球形的多个端子21。

检查装置10可检查受检设备20的电特性、功能特性、工作速度等。检查装置10可在执行检查的板内具有多个端子11，上述端子11可输出电测试信号并接收响应信号。连接器100可通过测试插口30和插口外壳40与检查装置10的端子11相接触。受检设备20的端子21通过连接器100来与对应的检查装置10的端子11电连接。即，连接器100以上下方向VD电连接受检设备的端子21及与之相对应的检查装置的端子11，由此，通过检查装置10执行对受检设备20的检查。

连接器100的大部分可由弹性高分子物质组成，连接器100可沿着上下方向VD和水平方向HD具备弹性。若外力从上下方向VD中的下方施加于连接器100，则连接器100可沿着下方方向和水平方向HD弹性变形。上述外力可因推动装置向检查装置10侧挤压受检设备20而产生。可通过这种外力来使得受检设备的端子21与连接器100沿着上下方向VD接触，可使得连接器100和检查装置的端子11沿着上下方向VD接触。若消除上述外力，则连接器100可复原至其原来形状。

参照图1，连接器100包括多个弹性导电部110和弹性绝缘部120。多个弹性导电部110位于上下方向VD，具有能够沿着上下方向VD导电的结构。弹性绝缘部120沿着水平方向HD隔开多个弹性导电部110并使得多个弹性导电部110相互绝缘。

弹性导电部110在其上端与受检设备的端子21相接触并在其下端与检查装置的端子11相接触。由此，在与一个弹性导电部110相对应的端子11与端子21之间，以弹性导电部110为介质来形成上下方向的导电路径。因此，检查装置的测试信号可通过弹性导电部110来从端子11传输到受检设备20的端子21，受检设备20的响应信号可通过弹性导电部110来从端子21传输到检查装置10的端子11。弹性导电部110的上端和下端可形成与弹性绝缘部120的上表面及下表面相同的平面或相比较而言略微突出。

多个弹性导电部110的平面排列可根据受检设备20的端子21的平面排列而变成多种方式。例如，多个弹性导电部110可在四边形的弹性绝缘部120内排列成一个行列形态或一对行列形态。并且，多个弹性导电部110可沿着四边形弹性导电部120的各个边排列成多个列。

在实施例的连接器中，弹性绝缘部120在其内部包括多个电磁波屏蔽部121，多个电磁波屏蔽部121配置在多个弹性导电部110之间并沿着上下方向VD延伸。即，弹性绝缘部120内置有多个电磁波屏蔽部121，同时沿着水平方向HD隔开多个弹性导电部110并实现绝缘。多个电磁波屏蔽部121包括具有磁性的屏蔽物质，用于屏蔽从各个弹性导电部110产生的电磁波并防止在相邻的弹性导电部110之间产生串扰(crosstalk)。

参照图2至图19，说明连接器的实施例。图2至图19简要示出连接器的形状、弹性导电部的形状、弹性导电部的结构要素的形状、弹性绝缘部的形状、电磁波屏蔽部的结构要素的形状，但这些仅为用于理解实施例而选择的例。

图2为示出一实施例的连接器的俯视图，图3为简要示出一实施例的连接器的局部剖视图。参照图2及图3，一实施例的连接器100包括上述弹性导电部110和上述弹性绝缘部120。

各个弹性导电部110在检查装置与受检设备之间起到导电部的作用，用于执行上下方向VD的信号传输。弹性导电部110可形成沿着上下方向VD延伸的圆柱形状。在这种圆柱形状中，中间的直径可小于上端及下端的直径。

各个弹性导电部110包括以能够沿着上下方向VD导电的方式相互接触的多个导电性金属粒子111。以能够沿着上下方向导电的方式相互接触的多个导电性金属粒子111在弹性导电部110内形成用于沿着上下方向VD传输信号的导电路径。可在导电性金属粒子111之间填充有形成弹性绝缘部120的弹性高分子材料。并且，各个弹性导电部110包括粒子维持部112，上述粒子维持部112用于维持沿着上下方向VD接触的导电性金属粒子111。粒子维持部112可由组成弹性绝缘部120的弹性高分子材料制成，多个导电性金属粒子111可维持弹性导电部110的形状。因此，弹性导电部110沿着上下方向VD和水平方向HD1、HD2具备弹性。当弹性导电部110因受检设备的端子而沿着上下方向VD的下方被挤压时，弹性导电部110可沿着水平方向HD1、HD2略微膨胀，弹性绝缘部120可允许弹性导电部110的这种膨胀。

导电性金属粒子111可通过由高导电性金属覆盖芯粒子的表面而成。芯粒子可由铁、镍、钴等金属材料组成，或者，可由具备弹性的树脂材料组成。作为覆盖在芯粒子的表面的高导电性金属可使用金、银、铑、铂、铬等。

弹性绝缘部120可形成连接器100的四边形的弹性区域。多个弹性导电部110通过弹性绝缘部120沿着水平方向HD1、HD2以留有相同间隔或不同间隔的方式相互隔开并绝缘。弹性绝缘部120可形成为一个弹性体，多个弹性导电部110沿着弹性绝缘部120的厚度方向(上下方向VD)埋在弹性绝缘部120。弹性绝缘部120由弹性高分子材料制成，因此，沿着上下方向VD和水平方向HD具备弹性。弹性绝缘部120不仅维持弹性导电部110的形状，而且沿着上下方向维持弹性导电部110。

弹性绝缘部120可由固化的硅橡胶材料制成。例如，可向用于使连接器100成型的成型模具内注入液态的硅橡胶并通过固化来形成弹性绝缘部120。作为用于使弹性绝缘部120成型的液态的硅橡胶材料，可使用添加型液态硅橡胶、缩合型液态硅橡胶、包含乙烯基或羟基的液态硅橡胶等。作为具体一例，上述液态硅橡胶材料可包括天然二甲基硅橡胶、天然甲基乙烯基硅橡胶、天然甲基苯基乙烯基硅橡胶等。

弹性绝缘部120包括多个电磁波屏蔽部121，用于屏蔽从弹性导电部110产生的电磁波并防止在弹性导电部110之间产生串扰。多个电磁波屏蔽部121与各个弹性导电部110至少沿着水平方向HD1、HD2隔开。

在一实施例中，弹性绝缘部120包括分别包围多个弹性导电部110的多个第一隔开部124。第一隔开部124大致呈圆筒形状，可在弹性绝缘部120的上端及下端之间沿着上下方向VD延伸。弹性导电部110位于第一隔开部124内。在弹性绝缘部120内，多个电磁波屏蔽部121位于一个第一隔开部124的外侧。第一隔开部124沿着水平方向HD1、HD2隔开弹性导电部110与电磁波屏蔽部121，从而使得弹性导电部110与电磁波屏蔽部121相互隔开。第一隔开部124由与组成弹性绝缘部120的上述弹性高分子材料相同的材料制成。

在一实施例中，电磁波屏蔽部121沿着上下方向VD分布及排列，包括具有磁性的多个碳纳米管122。电磁波屏蔽部121通过具有磁性的碳纳米管122来实现电磁波屏蔽功能。作为一例，电磁波屏蔽部121可使用扶手椅型碳纳米管、单壁碳纳米管或多壁碳纳米管作为碳纳米管。并且，根据一实施例，由于纯碳纳米管包括由能够在无外部磁场的状态下磁化的强磁性体物质构成的磁性粒子，因此，碳纳米管122具有磁性。即，碳纳米管122包括具有磁性的多个磁性粒子。

如图2所示，包括多个碳纳米管122的电磁波屏蔽部121可沿着水平方向HD1、HD2以留有不同间隔的方式随机配置在弹性绝缘部120内。多个电磁波屏蔽部121可具有互不相同的形状和尺寸。图2示出的电磁波屏蔽部121的平面配置为示例。相比于图2示出的排列，多个电磁波屏蔽部121以更为紧凑的方式配置在多个第一隔开部124各自的外侧，能够以几乎没有间隙的方式相邻。

多个碳纳米管122通过组成弹性绝缘部120的弹性高分子材料得以维持成电磁波屏蔽部121的形状。因此，电磁波屏蔽部121可由多个碳纳米管122和上述弹性高分子材料制成。如图3所示，在电磁波屏蔽部121内，多个碳纳米管122沿着上下方向VD均匀地分布及排列。并且，在沿着上下方向VD均匀地分布及排列的多个碳纳米管122中，相邻的至少两个碳纳米管122可在上下方向VD、水平方向HD或上下方向与水平方向之间的倾斜方向相互接触。其中，多个碳纳米管沿着上下方向均匀地分布及排列的情况可包括一个电磁波屏蔽部所包括的多个碳纳米管122沿着上下方向VD或相对于上下方向VD略微倾斜的方向或与上下方向VD正交的方向分布并排列的情况。

如图3所示，在一个电磁波屏蔽部121内，多个碳纳米管122可沿着上下方向、水平方向、倾斜方向中的一种方向定位并沿着上下方向分布及排列。例如，以如上所述的方式定位的多个碳纳米管122可在连接器100的成型过程中通过固化的液态的硅橡胶得以维持。即，液态的硅橡胶通过固化来形成弹性绝缘部120，同时使得多个碳纳米管122沿着上下方向扩张，各个碳纳米管122可沿着上下方向、水平方向及倾斜方向中的一种方向定位。通过在各个碳纳米管122所包括的多个上述磁性粒子在磁场内排列的力，可使得多个碳纳米管122沿着上下方向VD分布及排列。例如，当沿着上下方向VD施加磁场时，可借助上述磁性粒子因在磁场内通过磁力沿着磁力线排列的力，使得多个碳纳米管122沿着上下方向分布及排列并接触。并且，在上述碳纳米管122的移动过程中，随着多个碳纳米管122沿着上下方向、水平方向或倾斜方向定位，可沿着上下方向均匀地分布及排列。与此关联地，碳纳米管中的磁性粒子的位置、碳纳米管所包括的磁性粒子的量、包括磁性粒子的碳纳米管的量、液态硅橡胶材料的粘度等可对碳纳米管的移动产生影响。

参照图3，多个碳纳米管122可在电磁波屏蔽部121内沿着上下方向VD排列成直线形状。例如，当碳纳米管的长度相对较短且碳纳米管所包括的磁性粒子的量相对较多时，碳纳米管可在电磁波屏蔽部121内形成直线形状。

图4为多个碳纳米管沿着上下方向分布及排列的另一例。如图4所示，多个碳纳米管122可沿着上下方向VD排列成曲线形状。例如，当碳纳米管的长度相对较长且碳纳米管所包括的磁性粒子的量相对较少时，多个碳纳米管122可在电磁波屏蔽部121内形成曲线形状。形成曲线形状的多个碳纳米管122可沿着上下方向、水平方向或倾斜方向定位。

借助上述磁性粒子通过磁力沿着磁力线排列的力，可使得多个碳纳米管122沿着上下方向VD分布及排列。有关电磁波屏蔽部根据上述碳纳米管的分布及排列形成的内容，可参照图5至图8示出的一实施例的连接器的制造例。

图5简要示出一实施例的连接器的制造例。参照图5，一实施例的连接器可通过成型模具411和在成型模具411上下配置的磁场施加部421、422成型。可向成型模具411的成型空腔412注入作为形成连接器的弹性高分子材料的第一液态成型材料413。第一液态成型材料413包括第一液态硅橡胶材料和上述多个碳纳米管122，多个碳纳米管分散在第一液态硅橡胶材料内。第一液态硅橡胶材料可以为以上例示的液态硅橡胶材料中的一种。各个碳纳米管122包括上述多个磁性粒子。

向成型空腔412注入第一液态成型材料413后，通过第一磁性施加部421及第二磁场施加部422沿着上下方向VD施加磁场。第一磁场施加部421和第二磁场施加部422沿着成型模具411的上下方向(即，连接器的上下方向)相向配置。第一磁场施加部421及第二磁场施加部422包括用于施加磁场的磁铁部423、424和未施加有磁场的多个孔部425、426。磁铁部423、424和孔部425、426可形成在四边形的平板贯通有孔的形态。多个孔部425、426分别沿着上下方向位于连接器的每个弹性导电部。因此，无法沿着上下方向VD向上下定位的孔部425、426施加磁场。

若通过磁铁部423、424施加磁场，则各个碳纳米管122所包括的上述磁性粒子被磁场的磁力所吸引并在磁场内沿着磁力线排列。通过上述磁性粒子在磁场内沿着磁力线排列的力，多个碳纳米管122可沿着上下方向VD均匀地分布及排列。如上所述，通过磁性粒子移动的多个碳纳米管122形成电磁波屏蔽部121。由于沿着上下方向配置的孔部425、426未施加有磁场，因此，在成型空腔412内上下相向的孔部425、426中几乎不存在碳纳米管122。

上述第一液态硅橡胶材料的粘度可对多个碳纳米管的移动施加阻力。因此，可选择具有如下粘度的第一液态硅橡胶材料，即，使得碳纳米管以所期望水平沿着上下方向定位。例如，考虑到碳纳米管的方向的电磁波屏蔽部的屏蔽性，可选择具有适当粘度的液态硅橡胶材料。

并且，可通过调节设置在磁场施加部421、422的孔部425、426的尺寸来调节多个碳纳米管122聚集的尺寸。由此，可调节电磁波屏蔽部的尺寸及屏蔽性。

在多个碳纳米管122沿着上下方向分布及排列后，第一液态成型材料413的第一液态硅橡胶材料被固化。在此情况下，如图6所示，可使得与连接器相对应的材料(workpiece)430成型。这种材料430通过与连接器的弹性导电部相对应的孔部425、426来使得仅由硅橡胶材料组成的硅橡胶部431沿着上下方向形成。在材料430中，除硅橡胶部431的部分可成为弹性绝缘部，上述弹性绝缘部包括形成有沿着上下方向VD分布及排列的碳纳米管的电磁波屏蔽部。因此，连接器的弹性绝缘部可包括电磁波屏蔽部并与电磁波屏蔽部一同形成。

参照图7，材料430的每个硅橡胶部431沿着上下方向VD形成有贯通孔432。作为一例，若沿着上下方向VD向材料430照射激光，则可形成贯通孔432。在硅橡胶部431中，除贯通孔432之外的部分可成为上述弹性绝缘部的第一隔开部。

参照图8，通过向贯通孔432注入第二液态成型材料来填充贯通孔432。第二液态成型材料414包括第二液态硅橡胶材料和多个导电性金属粒子111，多个导电性金属粒子111分散在第二液态硅橡胶材料内。第二液态硅橡胶材料可以为以上例示的液态硅橡胶材料中的一种，可以与第一液态硅橡胶材料相同。随后，若沿着上下方向VD向填充在贯通孔432的第二液态成型材料414施加磁场，则随着在第二液态成型材料414内的多个导电性金属粒子111排列在磁场内，以能够沿着上下方向VD导电的方式相互接触。由此，沿着上下方向VD相互接触的多个导电性金属粒子111可形成连接器的弹性导电部。并且，除第二液态成型材料414中的导电性金属粒子111之外的液态硅橡胶材料可在贯通孔432内形成上述弹性导电部的粒子维持部。之后，随着贯通孔432内的液态硅橡胶材料被固化，可使得图2示出的连接器100成型。

如上所述，一实施例的连接器100可通过第一液态成型材料413和第二液态成型材料414成型。第一液态成型材料413包括：多个碳纳米管122，分别包括多个磁性粒子；以及第一液态硅橡胶材料，分散有多个碳纳米管122。第二液态成型材料414包括：多个导电性金属粒子111；以及第二液态硅橡胶材料，分散有多个导电性金属粒子111。弹性绝缘部120从第一液态成型材料413形成，可以与多个电磁波屏蔽部121一同形成。多个电磁波屏蔽部121可沿着上下方向VD对第一液态成型材料413施加磁场，可通过上述磁性粒子在上述磁场内因磁力而排列的力来使得多个碳纳米管122沿着上下方向VD分布及排列。即，多个电磁波屏蔽部121可通过磁场的施加和被施加的磁场内的磁性粒子的移动来使得多个碳纳米管122沿着上下方向VD分布及排列。在形成由多个碳纳米管122组成的多个电磁波屏蔽部121后，随着在第一液态成型材料413内的上述第一液态硅橡胶材料被固化，从而可形成连接器100的弹性绝缘部120。多个弹性导电部110可沿着上下方向VD对第二液态成型材料414施加磁场，上述第二液态成型材料414包括：多个导电性金属粒子111；以及第二液态硅橡胶材料，分散有多个导电性金属粒子111，多个导电性金属粒子111以能够沿着上下方向VD导电的方式相互接触。在多个弹性导电部110的成型过程中，在使弹性绝缘部120通过第一液态成型材料413成型后，可分别向在弹性绝缘部120所形成的多个弹性导电部110的多个贯通孔452注入第二液态成型材料414。

图9示出一实施例的连接器的变形例。参照图9，弹性绝缘部120包括分别配置在电磁波屏蔽部121的上端及下端的第二隔开部125。第二隔开部125可沿着上下方向VD配置在电磁波屏蔽部121的上端上方和电磁波屏蔽部121的下端下方。位于上侧的第二隔开部125的上表面可成为弹性绝缘部120的上表面的一部分，位于下侧的第二隔开部125的下表面可成为弹性绝缘部120的下表面的一部分。第二隔开部125未暴露电磁波屏蔽部121的上端和下端，当检查受检设备(参照图1)时，可防止受检设备的端子21与电磁波屏蔽部121的接触。第二隔开部125在弹性导电部110的成型过程中可覆盖电磁波屏蔽部121的上端和下端。例如，如图8所示，在向贯通孔注入第二液态成型材料来使弹性导电部成型的工序中，第二液态成型材料的第二液态硅橡胶材料可覆盖材料430的上表面及下表面。由此，随着位于电磁波屏蔽部121的上端上方及下端下方的第二液态硅橡胶材料被固化，从而可形成第二隔开部125。

如图9所示的例，第二隔开部125配置在电磁波屏蔽部121的上端上方及下端下方。作为另一例，第二隔开部125也可仅配置在电磁波屏蔽部121的上端上方或下端下方。

图10为简要示出另一实施例的连接器的剖视图。图10示出的连接器200包括用于覆盖弹性绝缘部120的绝缘部件230，绝缘部件230可附着在弹性绝缘部120的上表面和下表面，以分别覆盖弹性绝缘部120的上表面和下表面。由于绝缘部件230覆盖弹性绝缘部120的上表面和下表面，因此，电磁波屏蔽部121的上端和下端将位于绝缘部件230的内侧。

绝缘部件230可形成薄片形状。绝缘部件230包括沿着上下方向VD贯通的多个贯通孔231。多个贯通孔231分别与多个弹性导电部110相对应。各个弹性导电部110的上端部或下端部填充贯通孔231。各个弹性导电部110的上端部和下端部可位于与绝缘部件230的上侧表面或下侧表面相同的平面。作为另一例，各个弹性导电部110的上端部和下端部也可以比绝缘部件230的上侧表面或下侧表面更为突出。

作为一例，绝缘部件230可包括具有绝缘性的聚酰亚胺膜或由具有绝缘性的聚合物组成的膜。当检查受检设备时，受检设备的端子21(参照图1)与弹性导电部110的上端相接触。但是，由于插入在贯通孔231的弹性导电部110的上端部与电磁波屏蔽部121通过绝缘部件230相互隔开，因此，绝缘部件230可防止受检设备的端子21与电磁波屏蔽部121之间接触。

在图10示出的例中，绝缘部件230均存在于弹性绝缘部120的上表面及下表面。作为另一例，绝缘部件230也可仅存在于与受检设备相向的弹性绝缘部120的上表面。

绝缘部件230的贯通孔231可在连接器200的成型过程中形成。根据另一实施例，也可附着在使得贯通有贯通孔231的绝缘部件230已成型的连接器200的弹性绝缘部120的上表面和下表面。如图10所示，贯通孔231的内周面可形成垂直状。作为另一例，贯通孔231的内周面可相对于上下方向VD倾斜规定角度。

图11至图14示出使图10所示的实施例的连接器成型的例。参照图11，绝缘部件230可以与第一液态成型材料413一同注入于成型空腔412内。在图11示出的绝缘部件230中未形成有上述贯通孔。由于碳纳米管122通过与参照图5说明的方法相同的方法来因被施加磁场而沿着上下方向VD分布及排列，因此，将形成本实施例的连接器的电磁波屏蔽部。如图12所示，在第一液态成型材料413的第一液态硅橡胶材料固化后，将使得材料430A成型。绝缘部件230可覆盖材料430A的上表面和下表面。如图13所示，通过激光加工来在材料430A形成贯通孔432。贯通孔432可通过激光加工来形成。并且，随着通过激光加工来形成贯通孔432，将使得绝缘部件230的一部分被去除，由此将在绝缘部件230形成上述贯通孔231。并且，在硅橡胶部431中，除贯通孔432之外的部分可成为弹性绝缘部的第一隔开部。如图14所示，第二液态成型材料414将注入于贯通孔432。随着填充贯通孔432的第二液态成型材料414沿着上下方向被施加磁场，从而使得导电性金属粒子111通过磁场的磁力来以能够沿着上下方向VD导电的方式相互接触。随后，贯通孔432内的第二液态硅橡胶材料被固化。由此，可使得图10示出的连接器200成型。

图15为简要示出另一实施例的连接器的局部立体图，图16为简要示出另一实施例的连接器的局部剖视图。

参照图15及图16，本实施例的连接器300的电磁波屏蔽部121形成圆筒形状或环形状，沿着上下方向VD在弹性绝缘部120的上端与下端之间延伸。弹性绝缘部120的第一隔开部124位于电磁波屏蔽部121的内侧。即，电磁波屏蔽部121可形成围绕第一隔开部124的圆筒形状或环形状。并且，在本实施例中，电磁波屏蔽部121形成完全包围一个弹性导电部110的一个结构物。并且，在本实施例中，圆筒形状或环形状的多个电磁波屏蔽部121可在水平方向HD1或水平方向HD2以留有相同间隔的方式隔开。

图17及图18示出使得图15及图16所示的连接器成型的一例。图15及图16所示的连接器300的成型与上述实施例相同，即，通过因施加磁场而沿着上下方向分布及排列的多个碳纳米管形成电磁波屏蔽部，在所成型的材料形成用于形成弹性导电部的贯通孔，使得导电性金属粒子通过施加磁场来以能够导电的方式相互接触。

参照图17，第一磁场施加部421及第二磁场施加部422包括磁铁部463、464，在每个弹性导电部的位置，上述磁铁部463、464沿着上下方向VD相向配置。磁铁部463、464形成圆筒形状或环形状，在这种环形状的内部形成有圆形的孔部465、466。在每个弹性导电部的位置沿着上下方向VD相向配置的磁铁部463、464形成一对。若每对磁铁部463、464沿着上下方向VD施加磁场，则第一液态成型材料413内的碳纳米管122因其磁性粒子而以圆筒形状或环形状聚向各个磁铁部463、464。并且，随着聚集成圆筒形状，碳纳米管122沿着上下方向VD均匀地分布及排列，从而形成图15所示的圆筒形状的电磁波屏蔽部121。即，根据本实施例，通过沿着上下方向VD相向配置的圆筒形状的磁铁部463、464来沿着上下方向VD对第一液态成型材料413施加磁场，从而可使得电磁波屏蔽部形成圆筒形状或环形状。并且，可通过调节磁铁部463、464的直径和孔部465、466的大小来使得电磁波屏蔽部的尺寸及屏蔽性变成多种方式。

参照图18，在与本实施例的连接器相对应的材料430B形成有圆筒形状或环形状的电磁波屏蔽部121，在电磁波屏蔽部121的内部可形成有硅橡胶部431。通过激光加工来在硅橡胶部431形成用于使弹性导电部成型的贯通孔432。在硅橡胶部431中，除贯通孔432之外的部分可成为弹性绝缘部的第一隔开部。随后，向贯通孔432注入上述第二液态成型材料，使得导电性金属粒子通过施加磁场来以能够沿着上下方向VD导电的方式相互接触，使得第二液态成型材料内的第二液态硅橡胶材料固化。由此，可使得图15示出的连接器300成型。

图19简要示出另一实施例的连接器的变形例。参照图19，本实施例的连接器300可包括图10所示的绝缘部件230。在此情况下，可通过参照图11至图14说明的成型方法来使得包括绝缘部件的连接器300成型。

通过沿着上下方向均匀地分布及排列来形成电磁波屏蔽部的碳纳米管可使磁性粒子形成多种形态，作为上述磁性粒子，可使用由在无外部磁场的状态下磁化的强磁性体物质构成的粒子。例如，上述磁性粒子可由镍、钴、铬、铁、碳化铁、氧化铁、氧化铬、氧化镍、氧化钴镍、钴铁及单分子磁性物质中的一种组成。作为上述碳化铁，可使用一碳化三铁(Fe₃C)。作为上述氧化铁，可使用三氧化二铁(Fe₂O₃)、四氧化三铁(Fe₃O₄)、铁素体(ferrite)。作为上述单分子磁性物质，可使用Mn12单分子磁铁、乙酰丙酮酸镝(III)水合物(Dysprosium(III)acetylacetonate hydrate)、铽(III)双酞菁(Terbium(III)bis-phthalocyanine)。

参照图20至图31，对实施例的连接器中的包括磁性粒子的碳纳米管的多个例进行说明。参照图20至图31说明的碳纳米管的例中的磁性粒子仅为用于例示性地说明包括磁性粒子的碳纳米管而选择的例。碳纳米管能够以参照图20至图31说明的形态包括基于上述磁性粒子的例中的一个例的磁性粒子。

图20示出包括磁性粒子的碳纳米管的一例。参照图20，多个磁性粒子123可位于一个碳纳米管122的内部。即，能够以磁性粒子123插入在碳纳米管122的内部空间的形态来使得碳纳米管122包括磁性粒子123。有关磁性粒子插入在碳纳米管内部的空间的例，参照图21至图25。

碳纳米管可通过化学气相沉积(CVD，chemical vapor deposition)生成及成长。在碳纳米管通过化学气相沉积生成及成长的过程中，上述磁性粒子可被用作催化剂插入在碳纳米管的内部空间。作为一例，使用化学气相沉积的碳纳米管的生成和成长可通过向用于化学气相沉积的反应器供给作为移送气体的碳氢化合物气体并使得碳纳米管从设置在反应器内的基板沿着垂直方向成长来实现。图21至图23为简要示出随着碳纳米管通过化学气相沉积生成及成长而使得磁性粒子插入在碳纳米管内部空间的例。

参照图21，磁性粒子123或磁性粒子123的集群微弱地结合在由硅或铝制成的基板511的表面。作为移送气体供给的碳氢化合物在磁性粒子123的上部因发热分解而分解成碳和氢。因发热分解而导致在磁性粒子123的上端的温度和碳浓度增加，磁性粒子123从基板511分离。随着碳扩散并沉淀在更冷的区域，碳纳米管122可从基板511沿着上下方向形成并在内部包括磁性粒子123。

参照图22，磁性粒子集群513蒸镀在基板511的表面。基板511的表面的磁性粒子集群513暴露在碳氢化合物。碳氢化合物在集群513的表面因催化热分解而分解为氢和碳。所分解的碳从更高浓度的高温区域扩散并沉淀在集群513的冷区域，碳纳米管122可包括磁性粒子集群513并从基板511沿着上下方向形成。

参照图23，当碳纳米管通过化学气相沉积成长时，碳纳米管的内部可被磁性粒子填充。当碳纳米管122以缓慢的速度成长时，坩埚包括的磁性粒子的集群可被气化并注入到正在成长的碳纳米管。磁性粒子的集群附着在碳纳米管122的开放端部，由此，碳纳米管122可快速成长。集群513通过在磁性粒子的集群513周围快速成长的碳纳米管的力产生变形。若作为催化物质的磁性粒子的集群513的供给被终止，则碳纳米管122可再次缓慢成长。

磁性粒子插入于内部空间的碳纳米管可通过将附着有磁性粒子的导热石墨片(graphine sheet)卷绕成碳纳米管来形成。图24简要示出通过卷绕附着有磁性粒子的导热石墨片来形成碳纳米管的一例。参照图24，使用电弧放电将磁性粒子123附着在导热石墨片521，并且，可通过卷绕上述导热石墨片521来形成插入磁性粒子的碳纳米管122。例如，可向具有由石墨形成的阴极电极和阳极电极的容器投入包括磁性粒子的溶液并通过向阴极电极和阳极电极供给直流电来在阴极电极与阳极电极之间产生电弧放电。容器内部的温度可通过电弧放电上升至约3000摄氏度。在这种温度条件下，磁性粒子因离子化而成为纳米粒子，从由石墨形成的电极形成导热石墨片，磁性粒子可附着在导热石墨片。

磁性粒子插入于内部空间的碳纳米管可通过毛细管作用形成。图25示出通过毛细现象向碳纳米管的内部插入磁性粒子的一例。参照图25，碳纳米管532可通过化学气相沉积成长在由氧化铝制成的基板531的孔表面。将包括上述磁性粒子的搬运流体533滴落在碳纳米管532。由此，搬运流体533通过毛细管作用填充在碳纳米管532。搬运流体533可整体或部分填充有碳纳米管532。随后，若对搬运流体533进行干燥，则将向碳纳米管532内部投入磁性粒子123。由此，可形成磁性粒子123插入于内部空间的碳纳米管122。若将由氧化铝制成的基板531溶解在氢氧化钠(NaOH)溶液，则可获得磁性粒子123插入于内部空间的碳纳米管122。作为另一例，通过将基板531溶解在氢氧化钠(NaOH)溶液来从基板531中分离通过化学气相沉积生成及成长在由氧化铝制成的基板531的碳纳米管532。接着，向碳纳米管532滴落上述搬运流体533并通过毛细管作用向碳纳米管532的内部填充搬运流体533。随后，可通过对搬运流体533进行干燥来获得磁性粒子123插入于内部空间的碳纳米管122。

在参照图21至图25说明碳纳米管的例中，碳纳米管122可具有封闭的端部。图26示出插入有磁性粒子且一侧端部被封闭的碳纳米管。参照图26，一侧端部被封闭的碳纳米管122可防止插入在其内部空间的磁性粒子123从碳纳米管122脱离。

图27示出包括磁性粒子的碳纳米管的再一例。参照图27，在一个碳纳米管122的外侧，磁性粒子123可以与碳纳米管122相结合。详细地，各个磁性粒子123可通过化学键合与碳纳米管122的碳原子相结合。图28和图29简要示出磁性粒子通过化学键合来与碳纳米管的碳原子相结合的例。

参照图28，若用硝酸(HNO₃)处理纯碳纳米管541，则羟基(OH)和羧基(COOH)将附着在碳纳米管541的碳原子。接着，将作为前体的镍和钴附着于具有羟基(OH)和羧基(COOH)的碳纳米管541。随后，通过水热(hydrothermal)处理及退火(annealing)处理来获得图27所示的碳纳米管122，即，可获得磁性粒子123通过化学键合来与碳纳米管的碳原子相结合的碳纳米管122。此时的磁性粒子123可以为氧化钴镍(NiCo₂O₄)。

图29示出磁性粒子通过化学键合与碳纳米管的碳原子相结合的另一例，换言之，示出了磁性粒子通过点击化学反应来与碳纳米管的碳原子相结合的图。如图29的左侧所示，结合通过炔改性的碳纳米管542与具有包括磁性粒子123(图29中的氧化铁的磁性粒子)的叠氮化物的聚合物。在此情况下，向以3：1的比例混合四氢叶酸(tetrahydrofolic acid)和水(H₂O)的溶液一同投入碳纳米管542、上述聚合物、抗坏血酸钠(sodium ascorbate)以及硫酸铜(CuSO₄)并进行反应。由此，如图29的右侧所示，可获得向碳纳米管122的碳原子结合有磁性粒子123的碳纳米管122，即，在碳纳米管的外侧表面结合有磁性粒子123的碳纳米管122。

图30示出包括磁性粒子的碳纳米管的另一例。参照图30，碳纳米管122在石墨壁(graphitic wall)具有由6个碳原子构成的多个六角孔。多个六角孔中的一部分六角孔分别具有多个磁性粒子123中的一个。多个磁性粒子123分别无规律地位于多个六角孔中的一个。在图30示出的碳纳米管中，磁性粒子并未位于碳纳米管的内部空间或碳纳米管的外部，磁性粒子123位于碳纳米管的六角孔并困在六角孔内。即，图30示出的碳纳米管122具有无粒子表面(particle-free surface)结构，因此，并不会对碳纳米管122之间的接触产生影响。

图31简要示出磁性粒子位于碳纳米管的六角孔的碳纳米管的例。如图31的左侧所示，可使用如下的基板551，即，包括由铝制成的板552和由阳极氧化铝(anodic aluminumoxide)制成且在板552上方具有多个孔554的模板553。碳纳米管可沿着模板553的孔554的圆筒形壁面555生成。圆筒形壁面555被上述磁性粒子(例如，四氧化三铁(Fe₃O₄))涂敷。圆筒形壁面555被磁性粒子涂敷的基板551配置在用于化学气相沉积的反应器内。通过反应器内的加热，使四氧化三铁(Fe₃O₄)还原为铁合金(Fe₃C)。如图31的右侧所示，碳纳米管122通过化学气相沉积来沿着圆筒形壁面555生成及成长。由于圆筒形壁面555与碳纳米管122之间未形成有空间，因此，磁性粒子无法向碳纳米管122的外部移动，从而困在碳纳米管122的六角孔内。

以上，虽然通过一部分实施例和附图所示的例说明了本公开的技术思想，但应当理解的是，本公开所属技术领域的普通技术人员可在不脱离本公开的技术思想及范畴内进行多种修改、变形及变更。并且，这种修改、变形及变更均属于所附的发明要求保护范围内。

Claims (14)

1.一种连接器，位于两个电子设备之间并用于电连接上述两个电子设备，其特征在于，包括：

多个弹性导电部，能够沿着上下方向导电；以及

弹性绝缘部，用于沿着水平方向隔开上述多个弹性导电部并实现绝缘，

上述弹性绝缘部包括多个电磁波屏蔽部，上述多个电磁波屏蔽部包括沿着上述上下方向分布及排列并具有磁性的多个碳纳米管。

2.根据权利要求1所述的连接器，其特征在于，上述弹性绝缘部包括多个第一隔开部，上述多个第一隔开部分别包围上述多个弹性导电部，沿着上述上下方向延伸，用于沿着上述水平方向隔开上述多个弹性导电部与上述多个电磁波屏蔽部。

3.根据权利要求2所述的连接器，其特征在于，上述多个电磁波屏蔽部形成沿着上述上下方向延伸的圆筒形状，上述多个第一隔开部分别位于上述多个电磁波屏蔽部各自的内侧。

4.根据权利要求1所述的连接器，其特征在于，上述弹性绝缘部包括第二隔开部，上述第二隔开部配置在各个电磁波屏蔽部的上端或下端。

5.根据权利要求1所述的连接器，其特征在于，

上述连接器还包括绝缘部件，

上述绝缘部件包括多个贯通孔并附着在上述弹性绝缘部，上述贯通孔与上述多个弹性导电部相对应。

6.根据权利要求1所述的连接器，其特征在于，上述多个碳纳米管分别包括多个磁性粒子。

7.根据权利要求6所述的连接器，其特征在于，上述多个碳纳米管通过上述多个磁性粒子在磁场内因磁力而排列的力来沿着上述上下方向分布及排列。

8.根据权利要求6所述的连接器，其特征在于，上述多个磁性粒子分别位于上述多个碳纳米管各自的内部。

9.根据权利要求6所述的连接器，其特征在于，上述多个磁性粒子分别在上述多个碳纳米管各自的外侧与碳原子化学键合。

10.根据权利要求6所述的连接器，其特征在于，上述多个碳纳米管分别具有多个六角孔，上述多个六角孔中的一部分六角孔分别具有上述多个磁性粒子中的一个。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的连接器，其特征在于，上述多个磁性粒子由镍、钴、铬、铁、碳化铁、氧化铁、氧化铬、氧化镍、氧化钴镍、钴铁及单分子磁性物质中的一种组成。

12.根据权利要求1所述的连接器，其特征在于，上述两个电子设备中的一个为检查装置，上述两个电子设备中的另一个为由上述检查装置进行检查的受检设备。

13.一种连接器，位于检查装置与受检设备之间并用于电连接上述检查装置与上述受检设备，其特征在于，包括：

多个弹性导电部，能够沿着上下方向导电；以及

弹性绝缘部，用于沿着水平方向隔开上述多个弹性导电部并实现绝缘，具有多个电磁波屏蔽部，上述多个电磁波屏蔽部位于上述多个弹性导电部之间，

上述弹性绝缘部与上述多个电磁波屏蔽部一同由第一液态成型材料制成，上述第一液态成型材料包括：多个碳纳米管，分别包括多个磁性粒子；以及第一液态硅成型材料，分散有上述多个碳纳米管，

上述多个电磁波屏蔽部沿着上述上下方向对上述第一液态成型材料施加磁场，通过上述磁性粒子在上述磁场内因磁力而排列的力来使得上述多个碳纳米管沿着上述上下方向分布及排列，

上述多个弹性导电部沿着上述上下方向对第二液态成型材料施加磁场，上述第二液态成型材料包括：多个导电性金属粒子；以及第二液态硅橡胶材料，分散有上述多个导电性金属粒子，上述多个导电性金属粒子以能够沿着上述上下方向导电的方式相互接触。

14.根据权利要求13所述的连接器，其特征在于，通过环状的磁铁部沿着上述上下方向对上述第一液态成型材料施加磁场来使得上述多个电磁波屏蔽部分别形成圆筒形状，上述磁铁部以相向的方式在上述上下方向上配置成一对。

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