KR102359547B1 - 테스트 소켓 및 이를 포함하는 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 테스트 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 두께 방향으로 관통하는 복수의 하우징 홀을 구비한 비탄성 도전성 소재로 이루어지는 비탄성 도전 하우징과, 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배향되는 형태로 이루어지고, 상기 하우징 홀에 배치된 접지용 도전부와, 상기 하우징 홀에 절연층으로 절연되게 배치되는 신호용 도전부 및 전력용 도전부를 포함하여 이루어지는 테스트 소켓에 있어서, 상기 접지용 도전부가 배치되는 상기 하우징 홀의 상면과 하면 사이에는 상기 하우징 홀의 내면에서 상기 비탄성 도전 하우징이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부가 구비되어 있다.

Description

테스트 소켓 및 이를 포함하는 테스트 장치{TEST SOCKET AND TEST APPARATUS HAVING THE SAME}
본 발명은 테스트 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 테스터를 전기적으로 연결하는 테스트 소켓 및 이를 포함하는 테스트 장치에 관한 것이다.
피검사 디바이스(예를 들면, 반도체 패키지)는 미세한 전자회로가 고밀도로 집적되어 형성되어 있으며, 제조공정 중에 각 전자회로의 정상 여부에 대한 테스트 공정을 거치게 된다. 테스트 공정은 피검사 디바이스가 정상적으로 동작하는지 여부를 테스트하여 양품과 불량품을 선별하는 공정이다.
피검사 디바이스의 테스트에는 피검사 디바이스의 단자와 테스트 신호를 인가하는 테스터의 패드를 전기적으로 연결하는 테스트 장치가 이용된다. 테스트 장치는 테스트 대상이 되는 피검사 디바이스의 종류에 따라 다양한 구조를 갖는다. 테스트 장치와 피검사 디바이스는 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 테스트 소켓을 통해 간접적으로 접속된다.
테스트 소켓으로는 대표적으로 포고 소켓과 러버 소켓이 있다. 이 중에서 러버 소켓은 실리콘 등 탄성력을 갖는 소재의 내부에 다수의 도전성 입자가 포함되어 있는 형태의 도전부가 실리콘 등 탄성력을 갖는 소재로 이루어지는 절연부 안쪽에 서로 절연되도록 배치된 구조를 갖는다. 이러한 러버 소켓은 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있고, 짧은 도전 경로를 구현할 수 있는 장점이 있어 최근 많이 사용되고 있다.
러버 소켓 타입의 테스트 소켓을 포함하는 테스트 장치에 있어, 테스트 소켓의 컨택 스트로크(contact stroke) 양은 반도체 패키지를 눌러주는 푸셔의 가압부 외곽에 위치하는 스트로크 제한부와, 테스트 소켓의 도전부 외곽에 위치하는 스토퍼부의 수직 두께와, 반도체 패키지의 두께, 테스트 소켓의 높이 등에 따라 결정된다.
그런데 종래의 테스트 장치는 스트로크 제한부의 두께 공차나, 스토퍼부의 두께 공차, 테스트 소켓의 높이 공차, 반도체 패키지의 두께 공차들이 더해져서 정밀한 스트로크 제어에 어려움이 있었다.
또한, 종래의 러버 소켓 타입의 테스트 소켓은 짧은 도전 경로를 구현하고 있지만, 절연부가 비도전성 소재로 이루어지므로 도전부 간의 고주파 신호 간섭을 피할 수 없으며, 최근 들어 도전부의 밀도가 증가하고 피치가 작아지면서 신호 손실이 더욱 증가하고 있지만 이를 차단하는 수단이 마땅히 없어 고주파 신호 전송 특성이 저하되는 문제점이 있었다.
공개특허공보 제2006-0062824호 (2006. 06. 12)
본 발명은 상술한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로, 피검사 디바이스의 두께 공차 등으로 인한 스트로크 제어의 어려움이 적고, 스트로크의 정밀한 제어가 가능하며, 고주파 신호 전송 특성이 우수한 테스트 소켓 및 이를 포함하는 테스트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명에 따른 테스트 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 두께 방향으로 관통하는 복수의 하우징 홀을 구비한 비탄성 도전성 소재로 이루어지는 비탄성 도전 하우징과, 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배향되는 형태로 이루어지고, 상기 하우징 홀에 배치된 접지용 도전부와, 상기 하우징 홀에 절연층으로 절연되게 배치되는 신호용 도전부 및 전력용 도전부를 포함하여 이루어지는 테스트 소켓에 있어서, 상기 접지용 도전부가 배치되는 상기 하우징 홀의 상면과 하면 사이에는 상기 하우징 홀의 내면에서 상기 비탄성 도전 하우징이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부가 구비되어 있다.
상기 접지 연결단부는 상기 하우징 홀의 중심 방향으로 연장하는 판 형상일 수 있다.
상기 접지 연결단부는 상기 하우징 홀을 가로지르는 판 형상일 수 있다.
상기 하우징 홀을 가로지르는 판 형상의 접지 연결단부의 중앙에는 관통홀이 형성될 수 있다.
상기 접지 연결단부의 상면에는 상기 접지 연결단부 상측의 하우징 홀 내면에서부터 하측으로 경사진 상부 경사면이 형성될 수 있다.
상기 접지 연결단부의 하면에는 상기 접지 연결단부 하측의 하우징 홀 내면에서부터 상측으로 경사진 하부 경사면이 형성될 수 있다.
상기 접지 연결단부의 상면에는 상기 접지 연결단부 상측의 하우징 홀 내면에서부터 하측으로 경사진 상부 경사면이 형성되고, 상기 접지 연결단부의 하면에는 상기 접지 연결단부 하측의 하우징 홀 내면에서부터 상측으로 경사진 하부 경사면이 형성될 수 있다.
상기 비탄성 도전 하우징의 상면과 하면에는 상기 절연층이 형성될 수 있다.
한편, 상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 테스트 소켓은, 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 두께 방향으로 관통하는 복수의 하우징 홀을 구비한 비탄성 도전성 소재로 이루어지는 비탄성 도전 하우징과, 상기 하우징 홀에 대응하는 위치에 절연시트 홀을 구비하고, 상기 비탄성 도전 하우징의 상면과 하면에 각각 결합되는 상부 절연시트와 하부 절연시트 및 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배향되는 형태로 이루어지고, 상기 하우징 홀과 절연시트 홀을 관통하여 배치되는 접지용 도전부와, 내면에 절연부가 형성된 상기 하우징 홀과 상기 절연시트 홀을 관통하여 배치되는 신호용 도전부 및 전력용 도전부를 포함하여 이루어지는 테스트 소켓에 있어서, 상기 접지용 도전부가 배치되는 상기 하우징 홀에는 상기 하우징 홀의 내면에서 상기 비탄성 도전 하우징이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부가 구비되어 있다.
상기 접지 연결단부는 상기 하우징 홀의 상면에 접하여 형성될 수 있다.
상기 접지 연결단부는 상기 하우징 홀의 하면에 접하여 형성될 수 있다.
상기 절연부는 탄성 절연물질로 이루어질 수 있다.
상기 비탄성 도전 하우징의 하면에는 비탄성 도전 하우징과 연결된 접지 단자가 배치되어 있을 수 있다.
상기 접지 단자는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 포함되어 있는 형태로 이루어질 수 있다.
한편, 상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명에 따른 테스트 장치는, 단자를 갖는 피검사 디바이스를 테스트 신호를 발생하는 테스터에 접속시켜 상기 피검사 디바이스를 테스트하기 위한 테스트 장치에 있어서, 상기 테스터의 테스트 신호가 상기 피검사 디바이스에 전달될 수 있도록 상기 테스터와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 매개하는 테스트 소켓; 및 상기 테스터 측으로 접근하거나 상기 테스터로부터 멀어질 수 있도록 움직여 상기 테스트 소켓 위에 놓이는 상기 피검사 디바이스를 상기 테스터 측으로 가압할 수 있는 가압력을 제공하는 푸셔;를 포함하고, 상기 테스트 소켓은 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 두께 방향으로 관통하는 복수의 하우징 홀을 구비한 비탄성 도전성 소재로 이루어지는 비탄성 도전 하우징과, 상기 비탄성 도전 하우징의 상면과 하면에 형성되는 절연층과, 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배향되는 형태로 이루어지고, 상기 하우징 홀에 배치된 접지용 도전부와, 상기 하우징 홀에 절연층으로 절연되게 배치되는 신호용 도전부 및 전력용 도전부를 포함하고, 상기 접지용 도전부가 배치되는 상기 하우징 홀의 상면과 하면 사이에는 상기 하우징 홀의 내면에서 상기 비탄성 도전 하우징이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부가 구비되어 있을 수 있다.
한편, 상술한 바와 같은 목적을 해결하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 테스트 장치는, 단자를 갖는 피검사 디바이스를 테스트 신호를 발생하는 테스터에 접속시켜 상기 피검사 디바이스를 테스트하기 위한 테스트 장치에 있어서, 상기 테스터의 테스트 신호가 상기 피검사 디바이스에 전달될 수 있도록 상기 테스터와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 매개하는 테스트 소켓; 및 상기 테스터 측으로 접근하거나 상기 테스터로부터 멀어질 수 있도록 움직여 상기 테스트 소켓 위에 놓이는 상기 피검사 디바이스를 상기 테스터 측으로 가압할 수 있는 가압력을 제공하는 푸셔;를 포함하고, 상기 테스트 소켓은 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 두께 방향으로 관통하는 복수의 하우징 홀을 구비한 비탄성 도전성 소재로 이루어지는 비탄성 도전 하우징과, 상기 하우징 홀에 대응하는 위치에 절연시트 홀을 구비하고, 상기 비탄성 도전 하우징의 상면과 하면에 각각 결합되는 상부 절연시트와 하부 절연시트 및 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배향되는 형태로 이루어지고, 상기 하우징 홀과 절연시트 홀을 관통하여 배치되는 접지용 도전부와, 내면에 절연부가 형성된 상기 하우징 홀과 상기 절연시트 홀을 관통하여 배치되는 신호용 도전부 및 전력용 도전부를 포함하고, 상기 접지용 도전부가 배치되는 상기 하우징 홀에는 상기 하우징 홀의 내면에서 상기 비탄성 도전 하우징이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부가 구비되어 있을 수 있다.
본 발명에 따른 테스트 장치는 복수의 도전부를 지지하는 비탄성 도전성 소재의 비탄성 도전 하우징을 포함하는 테스트 소켓을 이용하여 테스터와 피검사 디바이스를 전기적으로 연결시킴으로써, 푸셔의 가압력이 피검사 디바이스와 테스트 소켓 사이 및 테스트 소켓과 테스터 사이에 고르게 인가될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 테스트 장치는 비탄성 도전성 소재의 비탄성 도전 하우징이 스토퍼 역할을 하므로, 러버 소켓 타입의 테스트 소켓을 이용하는 종래 기술과 같이 스트로크 제한부의 두께 공차나, 테스트 소켓의 스토퍼부 두께 공차, 테스트 소켓의 높이 공차, 피검사 디바이스의 두께 공차 등으로 인한 스트로크 제어의 어려움이 적고, 스트로크의 정밀한 제어가 가능하다.
또한, 본 발명에 따른 테스트 소켓은 신호를 전송하는 도전부를 절연부가 감싸고, 절연부의 둘레를 비탄성 도전 하우징이 감싸고 있으므로, 동축 케이블 구조를 취하게 된다. 따라서, 고주파 신호 전송 특성이 우수하고, 도전부 간의 고주파 신호 간섭이 적어 신호 전송 손실이 최소화될 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 테스트 소켓은 도전부의 직경이나, 도전부와 비탄성 도전 하우징 간의 거리 조절을 통해 특성 임피던스 매칭이 가능하므로, 고속 신호 전달에 유리하다.
또한, 본 발명에 따른 테스트 소켓은 접지용 도전부가 금속 소재의 비탄성 도전 하우징에서 돌출하는 접지 연결단부와 직접 접촉하므로 더 향상된 고주파 신호 전송과 전원 공급 특성을 가진다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 장치를 나타낸 정면도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 장치에 구비되는 테스트 소켓을 나타낸 정단면도이다.
도 3 내지 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 장치에 구비되는 테스트 소켓을 나타낸 정단면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 장치의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 장치에 구비되는 테스트 소켓의 일부분을 나타낸 평단면도이다.
도 9는 도 5에 도시된 테스트 소켓에서 신호용 도전부, 전력용 도전부와 접지용 도전부가 각각 한 개씩 배치되고, 본 발명에 따른 접지 연결단부가 형성된 것을 예시적으로 도시한 도면이다.
도 10 내지 도 13은 다양한 구조 및 위치에 형성되는 판 형상의 접지 연결단부를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 테스트 소켓 및 이를 포함하는 테스트 장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 이 때 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의해야 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 장치를 나타낸 정면도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 장치에 구비되는 테스트 소켓을 나타낸 정면도이고, 도 3 내지 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 테스트 장치에 구비되는 테스트 소켓을 나타낸 정단면도이다. 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 장치의 작용을 설명하기 위한 것이고, 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 테스트 장치에 구비되는 테스트 소켓의 일부분을 나타낸 평단면도이다.
도면에 나타낸 것과 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 제1 테스트 소켓(110)을 구비한 테스트 장치(100)는, 단자(11)를 갖는 피검사 디바이스(10)를 테스트 신호를 발생하는 테스터(20)에 접속시켜 피검사 디바이스(10)를 테스트하기 위한 것으로, 테스터(20)와 피검사 디바이스(10)를 전기적으로 매개하는 제1 테스트 소켓(110)과, 제1 테스트 소켓(110) 위에 놓이는 피검사 디바이스(10)를 테스터(20) 측으로 가압하기 위한 푸셔(130)를 포함한다.
제1 테스트 소켓(110)은 복수의 하우징 홀(113)을 갖는 비탄성 도전 하우징(112)과, 비탄성 도전 하우징(112)의 하우징 홀(113) 둘레에 형성되는 절연층(116)과, 비탄성 도전 하우징(112)을 두께 방향으로 관통하도록 복수의 하우징 홀(113) 속에 배치되는 복수의 도전부(120)와, 비탄성 도전 하우징(112)의 하면에 배치되는 접지 단자(124)를 포함한다.
도전부(120)는 다수 개의 신호를 전달하는 신호용 도전부(121)와 파워를 공급하는 전력용 도전부(122) 및 접지를 위한 접지용 도전부(123)를 포함하여 이루어진다. 본 명세서에서는 이들 각각의 도전부를 칭할 때는 신호용, 전원용 또는 접지용 도전부로 구분하여 표시하고, 전체를 칭할 때는 도전부(120)로 표시한다.
비탄성 도전 하우징(112)은 비탄성 도전성 소재로 이루어진다. 비탄성 도전 하우징(112)을 이루는 비탄성 도전성 소재로는 알루미늄, 구리, 황동, SUS, 철, 니켈 등의 도전성 금속, 또는 도전성을 가지면서 비탄성 특성을 갖는 다양한 소재가 이용될 수 있다. 비탄성 도전 하우징(112)에 구비되는 복수의 하우징 홀(113)은 비탄성 도전 하우징(112)을 두께 방향으로 관통하도록 형성된다. 도시된 것과 같이, 비탄성 도전 하우징(112)에는 지지 프레임(114)이 결합될 수 있다.
절연층(116)은 비탄성 도전 하우징(112)의 신호용 도전부(121)와 전력용 도전부(122)가 형성되는 하우징 홀(113) 둘레에 형성된다. 하우징 홀(113) 둘레에 형성된 절연층(116) 내에는 하우징 홀(113)과 평행한 절연층 홀(119)이 마련된다.
다만, 접지용 도전부(123)가 형성되는 하우징 홀(113) 둘레에는 절연층(116)이 형성되어 있지 않다. 이는 접지용 도전부(123)가 도전성을 갖는 비탄성 도전 하우징(112)과 직접 접촉하도록 하여 접지 기능을 향상시키기 위한 것이다.
절연층(116)은 비탄성 도전 하우징(112)의 상면과 하면에도 형성될 수 있다. 비탄성 도전 하우징(112)의 상면에 배치된 절연층(116)은 비탄성 도전 하우징(112)과 그 위에 놓이는 피검사 디바이스(10) 사이를 절연시킬 수 있고, 비탄성 도전 하우징(112)의 하면에 배치되는 절연층(116)은 테스터(20)와 비탄성 도전 하우징(112) 사이를 절연시킨다. 그리고 비탄성 도전 하우징(112)의 하우징 홀(113) 둘레에 형성되는 절연층(116)은 하우징 홀(113) 속에 배치되는 신호용 도전부(121)와 전력용 도전부(122)를 비탄성 도전 하우징(112)과 절연시킨다.
이러한 절연층(116)은 비탄성 도전 하우징(112)에 고른 두께로 얇은 막 형태로 코팅되는 절연 코팅층으로 형성될 수 있다. 절연 코팅층으로 형성되는 경우 절연층(116)은 페럴린 코팅, 아노다이징 처리, 테프론 코팅, 액상 실리콘 코팅 중에서 선택되는 코팅 방법에 의해 비탄성 도전 하우징(112)에 코팅될 수 있다.
도전부(120)는 테스터(20)의 패드(21) 및 피검사 디바이스(10)의 단자(11)와 접속할 수 있도록 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 포함되어 있는 형태로 이루어질 수 있다. 도전부(120)는 기둥 형상으로 그 단면이 원형, 사각형, 다각형 등 다양한 다른 형상으로 이루어질 수 있다. 도전부(120)를 구성하는 도전성 입자로는 소정의 균일한 형상으로 이루어진 정형 도전성 입자와 랜덤하게 울퉁불퉁한 형상의 비정형 도전성 입자로 형성될 수 있다.
신호용 도전부(121)와 전력용 도전부(122)는 절연층 홀(119) 속에 배치되어 비탄성 도전 하우징(112)을 두께 방향으로 관통한다. 신호용 도전부(121)와 전력용 도전부(122)는 하우징 홀(113) 둘레에 배치되는 절연층(116)과 접하고, 절연층(116)에 의해 비탄성 도전 하우징(112)과 절연된다.
이에 반해, 접지용 도전부(123)는 하우징 홀(113) 둘레에 절연층이 형성되지 않고 도전성을 갖는 비탄성 도전 하우징(112)과 직접 접촉하도록 배치되어 비탄성 도전 하우징(112)과 통전되도록 형성된다.
도전부(120)는 하우징 홀(113)과 절연층 홀(119) 속에 배치됨으로써, 하단부가 비탄성 도전 하우징(112)의 하측에 놓이는 테스터(20)의 패드(21)과 접속하고, 상단부가 비탄성 도전 하우징(112)의 상측에 놓이는 피검사 디바이스(10)의 단자(11)와 접속할 수 있다.
접지 단자(124)는 테스터(20)에 구비되는 접지 전극(22)에 접촉할 수 있도록 비탄성 도전 하우징(112)의 하면에 형성된 절연층(116)을 관통하여 비탄성 도전 하우징(112)과 연결되도록 배치된다. 접지 단자(124)는 도전부(120)의 하면과 같은 하면 높이를 갖는 것이 바람직하며, 비탄성 도전 하우징(112)과 테스터(20)에 구비되는 접지 전극(22)과 전기적으로 연결된다.
접지 단자(124)는 도전부(120)와 같이 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 포함되어 있는 형태로 이루어지거나, 또는 다른 도전성 소재로 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 제2 테스트 소켓(210)은 도전부(120)가 비탄성 도전 하우징(112)의 하면으로 돌출하는 돌출부(125)을 가지는 것으로 나머지 구성은 제1 테스트 소켓(110)과 동일하다.
도전부(120)의 하부로 돌출된 돌출부(125)는 비탄성 도전 하우징(112)이 잡아주는 부분이 없어 상대적으로 자유도가 높기 때문에 도전부의 돌출부(125)의 길이를 적절한 길이로 설계하면 피검사 디바이스(10)가 접촉될 때 테스트 소켓의 미세한 움직임을 유도할 수 있다. 그리고 피검사 디바이스(10)가 접촉될 때 테스트 소켓이 사방으로 미세하게 움직이게 되면, 피검사 디바이스(10)의 접촉에 따른 하중이 분산되고 충격이 완충되는 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 제3 테스트 소켓(310)은 비탄성 도전 하우징(112)의 상면에 절연층(116) 대신에 상부 절연시트(242)가 결합되고, 비탄성 도전 하우징(112)의 하면에도 절연층(116) 대신에 하부 절연시트(226)가 결합된 것과, 신호용 도전부(121) 및 전력용 도전부(122)와 이들을 비탄성 도전 하우징(112)과 절연시키는 절연부(216)가 동시에 형성되는 점에서 차이가 있고, 나머지 구성은 제1 테스트 소켓(110)과 동일하다.
비탄성 도전 하우징(112)을 두께 방향으로 관통하도록 절연부(216)에 의해 지지되는 복수의 신호용 도전부(121) 및 전력용 도전부(122)는, 탄성 절연물질에 도전성 입자가 함유된 도전성 입자 혼합물을 복수의 하우징 홀(113) 속에 채우고, 각각의 하우징 홀(113)에 대응하는 위치에 하우징 홀(113)의 폭보다 작은 마그네트를 배치하여 도전성 입자 혼합물에 자기장을 인가함으로써 신호용 도전부(121)와 전력용 도전부(122)를 만들 수 있다. 즉, 마그네트의 자기장에 의해 도전성 입자 혼합물 속의 도전성 입자들이 하우징 홀(113)의 중심으로 모여 비탄성 도전 하우징(112)의 두께 방향으로 정렬됨으로써 신호용 도전부(121) 및 전력용 도전부(122)가 형성되고, 신호용 도전부(121) 및 전력용 도전부(122)의 둘레로는 탄성 절연물질만 남게 되며, 이러한 탄성 절연물질이 경화되어 절연부(216)가 형성되는 것이다.
하부 절연시트(226)는 절연성 소재로 이루어지고 비탄성 도전 하우징(112)의 하면을 덮는다. 하부 절연시트(226)는 비탄성 도전 하우징(112)의 하면과 테스터(20)의 패드(21)가 접촉하게 되는 쇼트 불량을 방지하는 역할을 한다. 하부 절연시트(226)에는 도전부(120)나 접지 단자(124)가 삽입되는 복수의 하부 절연시트 홀(227)이 형성된다. 또한, 하부 절연시트(226)에는 하부 절연시트(226)를 두께 방향으로 관통하는 하부 절연시트 가이드 홀(228)이 구비된다. 하부 절연시트 가이드 홀(228)에는 제3 테스트 소켓(310)을 다른 부재와 결합하기 위한 가이드 핀이 삽입될 수 있다. 가이드 핀을 하부 절연시트 가이드 홀(228)에 삽입하는 방식으로 제3 테스트 소켓(310)과 가이드 하우징 등의 다른 부재를 정렬된 상태로 결합할 수 있다.
하부 절연시트(226)의 일면에는 지지 프레임(114)이 결합된다. 지지 프레임(114)에는 하부 절연시트 가이드 홀(228)과 연결되는 지지 프레임 가이드 홀(115)이 마련된다.
상부 절연시트(242)는 절연성 소재로 이루어지고, 복수의 도전부(120)에 대응하는 위치에 형성되는 복수의 상부 절연시트 홀(243)을 구비한다. 상부 절연시트(242)는 비탄성 도전 하우징(112)과 그 위에 놓이는 피검사 디바이스(10) 사이를 절연시킬 수 있다.
따라서 본 발명에 따른 제3 테스트 소켓(310)은 도전부(120)와 절연부(216)를 하나의 제조 공정에서 동시에 형성할 수 있으므로 제조 공정이 단순화되고, 상부 절연시트 홀(243)은 피검사 디바이스(10)의 단자(11)를 도전부(120)로 안내하는 가이드 기능을 수행하므로 접촉 안정성이 향상된다. 물론 상부 절연시트 홀(243)을 피검사 디바이스(10)의 단자(11) 방향으로 직경이 넓어지는 테이퍼 형상을 갖도록 하면 보다 용이하게 단자(11)를 가이드할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 제4 테스트 소켓(410)은 위에서 설명한 제3 테스트 소켓(310)에서 도전부(120)가 비탄성 도전 하우징(112)의 하면으로 돌출하는 돌출부(125)을 가지는 것으로 나머지 구성은 제3 테스트 소켓(310)과 동일하다.
따라서 제4 테스트 소켓(410)은 피검사 디바이스(10)의 접촉에 따른 하중이 분산되고 충격이 완충되는 효과를 가진다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 제5 테스트 소켓(510)은 위에서 설명한 제4 테스트 소켓(410)에서 도전부(120)가 상부 절연시트(242)의 상부 절연시트 홀(243)에도 배치된 것으로, 나머지 구성은 제4 테스트 소켓(410)과 동일하다.
이러한 본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)은 테스터(20)의 패드(21)과 피검사 디바이스(10)의 단자(11)를 전기적으로 연결하는 복수의 도전부(120)를 비탄성 도전 하우징(112)이 지지함으로써, 푸셔(130)에 의해 테스터(20) 측으로 가압될 때 비탄성 도전 하우징(112)이 테스터(20)에 접하여 스토퍼 기능을 할 수 있다.
도 7에 나타낸 것과 같이(도 7은 제1 테스트 소켓(110)이 테스터(20)에 장착된 것을 예시적으로 도시하고 있다), 푸셔(130)가 가압부(140) 및 완충부(150)를 통해 피검사 디바이스(10)를 테스트 소켓(110) 측으로 가압하면, 피검사 디바이스(10)의 단자(11)가 도전부(120)의 상단부에 압착되고, 도전부(120)의 하단부가 테스터(20)의 패드(21)에 압착된다. 이때, 테스터(20)에서 발생하는 신호가 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)을 통해 피검사 디바이스(10)에 전달되어 피검사 디바이스(10)에 대한 전기적 테스트가 이루어질 수 있다.
피검사 디바이스(10)의 단자(11)가 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)의 도전부(120)에 압착될 때, 도전부(120)는 탄성력이 있으므로, 단자(11)가 도전부(120)를 탄성 변형시키면서 하우징 홀(113) 안쪽까지 진입할 수 있다. 이때, 피검사 디바이스(10)의 하면이 비탄성 도전 하우징(112)의 상면에 닿을 수 있다. 그리고 피검사 디바이스(10)가 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)을 가압하는 가압력에 의해 비탄성 도전 하우징(112)의 하면이 테스터(20)의 상면에 닿게 된다. 비탄성 도전 하우징(112)의 하면이 테스터(20)의 상면에 닿음으로써 스트로크가 더 증가하지 않게 된다.
이와 같이, 피검사 디바이스(10)의 하면이 비탄성 도전 하우징(112)의 상면에 닿아 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)을 테스터(20) 측으로 가압함으로써, 피검사 디바이스(10)에 가해지는 가압력이 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510) 전체에 고르게 전달될 수 있고, 복수의 도전부(120)가 복수의 패드(21) 및 복수의 단자(11)와 전체적으로 고른 밀착력으로 접촉 상태를 유지할 수 있다. 따라서, 복수의 패드(21) 및 복수의 단자(11)가 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)을 통해 안정적인 접속 상태를 유지할 수 있어 신호 전송 손실이 발생하지 않고 안정적인 테스트가 가능하다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 테스트 장치(100)는 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)의 비탄성 도전 하우징(112)이 스토퍼 역할을 하게 된다. 따라서, 러버 소켓 타입의 테스트 소켓을 이용하는 종래 기술과 같이 스트로크 제한부의 두께 공차나, 테스트 소켓의 스토퍼부 두께 공차, 테스트 소켓의 높이 공차, 피검사 디바이스의 두께 공차 등으로 인한 스트로크 제어의 어려움이 적고, 스트로크의 정밀한 제어가 가능하다. 그리고 스트로크의 정밀한 제어에 의해 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)의 수명 특성이 향상될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)은 도 8에 나타낸 것과 같이, 신호를 전송하는 신호용 도전부(121)를 절연층(116) 또는 절연부(216)가 감싸고, 절연층(116) 또는 절연부(216)의 둘레를 비탄성 도전 하우징(112)이 감싸고 있으므로, 동축 구조를 취하게 된다. 따라서, 고주파 신호 전송 특성이 우수하고, 신호용 도전부(121) 간의 고주파 신호 간섭이 적어 신호 전송 손실이 최소화될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)은 신호용 도전부(121)의 직경이나, 신호용 도전부(121)와 비탄성 도전 하우징(112) 간의 거리 조절을 통해 특성 임피던스 매칭이 가능하므로, 고속 신호 전달에 유리하다. 또한, 본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)은 전력용 도전부(122)를 절연층(116) 또는 절연부(216)가 감싸고 있으므로 전기적 쇼트가 발생하는 것이 방지된다.
본 발명의 실시예에 따른 테스트 소켓(110, 210, 310, 410, 510)은 고주파 신호 전송에 유리한 동축 구조를 형성하기 위하여 신호용 도전부(121), 전력용 도전부(122) 및 접지용 도전부(123)를 비탄성 도전 하우징(112)이 둘러싸는 구조로 형성되어 있다. 동축 구조를 형성하기 위해서는 비탄성 도전 하우징(112)의 하면에 형성된 접지 단자(124)가 테스터(20)의 접지 전극(22)과 연결이 되어 접지된다. 그러나 더 향상된 고주파 신호 전송과 전원 공급 특성을 가지기 위해서는 접지용 도전부(123)를 형성하여 테스터(20)의 패드(21)와 연결되도록 하고, 접지용 도전부(123)가 금속 소재의 비탄성 도전 하우징(112)과 접촉되도록 하는 것이 필요하다.
본 발명에서 접지용 도전부(123)는 다수의 도전성 입자가 포함된 탄성 절연물질에 비탄성 도전 하우징(112)의 두께 방향으로 자장을 가하여 도전성 입자를 두께 방향으로 배향한 후 경화시켜 형성되는 것으로, 피검사 디바이스(10)의 단자(11)가 접지용 도전부(123)를 가압하면 접지용 도전부(123) 내의 도전성 입자들이 두께 방향으로 연결되면서 도전 경로가 형성되는 구조를 가지고 있다.
이와 같이 접지용 도전부(123)는 탄성 절연물질에 다수의 도전성 입자가 형성되어 있으므로 두께 방향으로 정렬되는 도전성 입자들과 비탄성 도전 하우징(112) 사이에는 탄성 절연물질이 개재될 수 있으므로 두께 방향으로 정렬되는 도전성 입자들과 비탄성 도전 하우징(112)이 제대로 연결되지 않을 수 있고, 또한 접지용 도전부(123)가 가압되면 도전성 입자들이 두께 방향 즉, 상하 방향으로 정렬되면서 도전 경로가 형성되므로 측면에 위치하는 비탄성 도전 하우징(112)과의 접촉이 잘 안되는 경우가 발생한다. 또한 접지용 도전부(123)가 가압되면 상하 방향으로 정렬되는 도전 경로가 중간에서 측면으로 벌어지면서 연결이 끊어질 수 있으며, 특히 도전 경로가 길어지면 이러한 현상이 더욱 자주 발생하는 문제가 있다.
따라서 본 발명에서는 접지용 도전부(123)가 배치되는 하우징 홀(113)의 상면과 하면 사이에 하우징 홀(113)의 내면에서 비탄성 도전 하우징(112)이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부(1121)를 형성하여 접지용 도전부(123)가 비탄성 도전 하우징(112)과 확실히 접촉되도록 하고 있다.
도 9는 도 5에 도시된 제4 테스트 소켓(410)에서 설명의 편의를 위하여 신호용 도전부(121), 전력용 도전부(122)와 접지용 도전부(123)가 각각 한 개씩 배치되고, 본 발명의 접지 연결단부(1121)가 형성된 것을 도시하고 있다. 본 발명에서는 편의상 구형 도전성 입자를 예시적으로 도시하고 있지만, 본 발명의 도전성 입자는 구형 또는 다른 정형 도전성 입자일 수도 있고, 울퉁불퉁한 비정형 도전성 입자일 수도 있음에 유의해야 한다.
도 9 내지 도 13에는 다양한 구조 및 위치에 형성되는 판 형상의 접지 연결단부(1121)를 도시하고 있다. 비탄성 도전 하우징(112)에 형성된 하우징 홀(113)은 상면과 하면이 없는 관통 홀의 형상이지만 하우징 홀(113)의 위치 관계를 설명하기 위해 본 발명에서는 하우징 홀(113)의 상부와 하부를 덮는 면을 각각 하우징 홀(113)의 상면과 하면으로 정의한다. 도 9는 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)의 중심 방향으로 연장하는 판 형상으로 형성된 것을 도시하고 있다.
접지용 도전부(123)의 상부와 하부 사이에 비탄성 도전 하우징(112)에서 돌출하는 접지 연결단부(1121)를 형성함으로써, 피검사 디바이스(10)의 단자(11)가 접지용 도전부(123)를 상측에서 하측으로 가압할 때 도전성 입자가 비탄성 도전 하우징(112)이 돌출되어 형성된 접지 연결단부(1121)와 연결될 뿐만 아니라 접지 연결단부(1121)의 외곽에는 탄성 절연물질 내의 도전성 입자들이 상하 방향으로 정렬된 도전 경로도 동시에 형성되므로 피검사 디바이스(10) 단자(11)의 가압력이 하측의 테스터(20)의 패드(21)에 안정적으로 전달되므로 테스터(20)와의 연결이 보다 안정적으로 이루어질 수 있다.
도 10은 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)을 가로지르는 판 형상으로 형성된 것을 도시하고 있다. 만일 접지용 도전부(123)가 원기둥 형상으로 형성된다면 도 10의 접지 연결단부(1121)는 원판 형상을 가지고, 사각 기둥 형상이라면 사각 판의 형상을 가지는 것으로, 접지용 도전부(123)의 단면 형상에 따라 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
접지용 도전부(123)의 상부와 하부 사이에 하우징 홀(113)을 가로지르는 비탄성 도전 하우징(112)에서 돌출하는 접지 연결단부(1121)를 형성함으로써, 피검사 디바이스(10)의 단자(11)가 접지용 도전부(123)를 상측에서 하측으로 가압할 때 접지 연결단부(1121) 상하에 도전성 입자들이 연결되므로 피검사 디바이스(10) 단자(11)의 가압력에도 접지용 도전부(123)와 비탄성 도전 하우징(112)의 연결이 확실히 되는 효과를 가진다.
도 11은 도 10에 도시된 접지 연결단부(1121)의 중앙에 관통홀이 형성된 것이다. 따라서 도 11의 접지 연결단부(1121)는 도 10에 도시된 접지 연결단부(1121)가 갖는 장점과 함께 관통홀을 통해 탄성 절연물질 내의 도전성 입자들이 상하 방향으로 정렬된 도전 경로도 동시에 형성되므로 피검사 디바이스(10) 단자(11)의 가압력이 하측의 테스터(20)의 패드(21)에 안정적으로 전달될 수 있어, 테스터(20)와의 연결도 안정적으로 이루어지는 구조를 가지고 있다.
한편, 도 9 내지 도 11에 도시된 형태의 접지 연결단부(1121)의 상면에는 접지 연결단부(1121)가 형성된 하우징 홀(113) 보다 상측의 하우징 홀(113) 내면에서부터 하측으로 경사진 상부 경사면(1122)이 형성될 수도 있고, 또는 접지 연결단부(1121)의 하면에는 접지 연결단부(1121)가 형성된 하우징 홀(113) 보다 하측의 하우징 홀(113) 내면에서부터 상측으로 경사진 하부 경사면(1123)이 형성될 수도 있다. 물론 접지 연결단부(1121)의 상면과 하면에 상부 경사면(1122)과 하부 경사면(1123)이 동시에 형성될 수도 있다.
도 12는 도 9 내지 도 11에 도시된 형태의 접지 연결단부(1121)의 상면과 하면에 상부 경사면(1122)과 하부 경사면(1123)이 동시에 형성된 것을 도시하고 있다.
이와 같이 접지 연결단부(1121)에 상부 경사면(1122) 또는 하부 경사면(1123)을 형성하면 피검사 디바이스(10)의 단자(11)가 접지용 도전부(123)를 상측에서 하측으로 가압할 때 상측의 도전성 입자는 상부 경사면(1122)의 하부를 향해 미끄러지고, 하측의 도전성 입자는 하부 경사면(1123)의 상측을 향해 미끄러지기 때문에 접지 연결단부(1121)과의 연결이 보다 더 안정적으로 이루어질 수 있다. 따라서 접지 연결단부(1121)의 한면에만 경사면을 설치한 것보다 양면에 경사면을 형성하면 훨씬 더 안정적인 연결이 가능하므로, 접지 연결단부(1121)의 상면과 하면에 상부 경사면(1122)과 하부 경사면(1123)이 동시에 형성한 것이 보다 바람직하다.
그리고 비탄성 도전 하우징(112)의 하우징 홀(113)의 상부 또는 하부에 탄성 절연물질 내에 도전성 입자가 함유된 접지용 도전부(123)의 일부가 배치되는 경우에는 하우징 홀(113)의 상면 또는 하면에 접하는 위치에도 접지 연결단부(1121)를 형성할 수 있다. 하우징 홀(113)의 상부 또는 하부에 탄성 절연물질 내에 도전성 입자가 함유된 접지용 도전부(123)의 일부가 배치되지 않은 경우에는 피검사 디바이스(10)의 단자(11)가 접지용 도전부(123)를 상측에서 하측으로 가압할 때 피검사 디바이스(10)의 단자(11)나 테스터(20)의 패드(21)가 비탄성 도전 하우징(112)에서 돌출된 접지 연결단자(11)와 직접 접촉됨으로써 단자나 패드가 손상될 수 있으므로, 접지용 도전부(123)에 탄성적으로 접촉할 수 있는 경우에만 하우징 홀(113)의 상면 또는 하면에 접하는 위치에 접지 연결단부(1121)를 형성하는 것이 바람직하다.
도 13은 본 발명에 따른 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)의 상면 또는 하면에 접하는 위치에 형성된 것을 도시하고 있다.
도 13(a)는 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)의 중심 방향으로 연장하는 판 형상으로 형성된 도 9의 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)의 하면과 접하는 위치에 형성된 것을 나타내고, 도 13(b)는 하우징 홀(113)의 상면과 접하는 위치에 형성된 것을 나타내고 있다.
위 도면에 도시된 바와 같이, 하우징 홀(113)의 상면 또는 하면에 접하는 위치에 접지 연결단부(1121)를 배치하는 경우에는 피검사 디바이스(10)의 단자(11)나 테스터(20)의 패드(21)가 탄성적으로 접촉할 수 있는 부분을 충분히 보장하기 위하여 피검사 디바이스(10)의 단자(11)나 테스터(20)의 패드(21)와 대응되는 접지 연결단부(1121)의 면상에는 경사면을 설치하지 않고, 그 반대면에만 경사면을 형성하는 것이 좋다.
또한 하우징 홀(113)의 상면 또는 하면에 접하는 위치에 접지 연결단부(1121)를 배치하는 경우에는 그 상측의 상부 절연시트(242)의 상부 절연시트 홀(243)에 접지용 도전부(123)의 일부가 배치되고, 그 하측의 하부 절연시트(226)의 하부 절연시트 홀(227)에 접지용 도전부(123)의 일부가 배치되고 있음을 알 수 있다. 즉, 비탄성 도전 하우징(112)의 하우징 홀(113)의 상부나 하부에 접지용 도전부(123)의 일부가 배치되지 않은 테스트 소켓의 경우에는 비탄성 도전 하우징(112)의 하우징 홀(113)의 상면에 접하는 위치나 하면에 접하는 위치에 접지 연결단부(1121)가 형성되지 않는다.
도 13(c)는 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)을 가로지르는 판 형상으로 형성된 도 10의 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)의 하면과 접하는 위치에 형성된 것을 나타내고, 도 13(d)는 하우징 홀(113)의 상면과 접하는 위치에 형성된 것을 나타내고 있다.
도 13(e)는 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)을 가로지르는 판 형상으로 형성되고, 중앙에 관통홀이 형성된 도 11의 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)의 하면과 접하는 위치에 형성된 것을 나타내고, 도 13(f)는 하우징 홀(113)의 상면과 접하는 위치에 형성된 것을 나타내고 있다.
도 13에서는 접지 연결단부(1121)가 하우징 홀(113)의 상면 또는 하면에 접하는 어느 한 곳에만 형성된 것을 도시하고 있으나, 하우징 홀(113)의 상면과 하면에 접하는 양쪽에 접지 연결단부(1121)를 모두 형성할 수도 있고, 하우징 홀(113)의 상면 또는 하면에 접하는 어느 한 곳과 상면과 하면 사이에 접지 연결단부(1121)를 형성할 수도 있다.
따라서 본 발명에 따른 테스트 소켓은 접지용 도전부(123)가 금속 소재의 비탄성 도전 하우징(112)에서 돌출된 접지 연결단부(1121)와 직접 접촉하면서 테스터(20)의 패드(21)와 연결되므로 전자파 차폐 기능과 접지 기능이 향상되어, 고주파에 대한 노이즈에 강하고 고주파 특성이 향상된 신호 전송과 전원 공급 특성을 가질 수 있다.
이상 본 발명에 대해 바람직한 예를 들어 설명하였으나 본 발명의 범위가 앞에서 설명되고 도시되는 형태로 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 비탄성 도전 하우징에 코팅되는 절연층은 비탄성 도전 하우징의 신호용 도전부와 전력용 도전부가 형성된 하우징 홀 둘레에만 형성되고, 비탄성 도전 하우징의 상면과 하면에는 절연층 대신에 상부 절연시트와 하부 절연시트가 결합될 수 있다. 또한, 비탄성 도전 하우징의 하부로 돌출하는 돌출부를 가지는 도전부를 도시하고 있으나, 비탄성 도전 하우징의 상부로 돌출하는 돌출부를 가지는 도전부가 형성될 수도 있고, 하부 돌출부와 함께 상부 돌출부를 갖는 도전부가 이용될 수도 있다.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려 첨부된 청구범위의 사상 및 범위를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
100 : 테스트 장치 110, 210, 310, 410, 510 : 테스트 소켓
112 : 비탄성 도전 하우징 113: 하우징 홀 114: 지지 프레임
116 : 절연층 120 : 도전부
121: 신호용 도전부 122: 전력용 도전부
123: 접지용 도전부 125: 돌출부 130 : 푸셔
140 : 가압부 150 : 완충부 216 : 절연부
226 : 하부 절연시트 242 : 상부 절연시트
1121: 접지 연결단부 1122: 상부 경사면 1123: 하부 경사면

Claims (16)

  1. 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 두께 방향으로 관통하는 복수의 하우징 홀을 구비한 비탄성 도전성 소재로 이루어지는 비탄성 도전 하우징과,
    탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배향되는 형태로 이루어지고, 상기 하우징 홀에 배치된 접지용 도전부와, 상기 하우징 홀에 절연층으로 절연되게 배치되는 신호용 도전부 및 전력용 도전부를 포함하여 이루어지는 테스트 소켓에 있어서,
    상기 접지용 도전부가 배치되는 상기 하우징 홀의 상면과 하면 사이에는 상기 하우징 홀의 내면에서 상기 비탄성 도전 하우징이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 접지 연결단부는 상기 하우징 홀의 중심 방향으로 연장하는 판 형상인 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 접지 연결단부는 상기 하우징 홀을 가로지르는 판 형상인 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 접지 연결단부의 중앙에는 관통홀이 형성된 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접지 연결단부의 상면에는 상기 접지 연결단부 상측의 하우징 홀 내면에서부터 하측으로 경사진 상부 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  6. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접지 연결단부의 하면에는 상기 접지 연결단부 하측의 하우징 홀 내면에서부터 상측으로 경사진 하부 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  7. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 접지 연결단부의 상면에는 상기 접지 연결단부 상측의 하우징 홀 내면에서부터 하측으로 경사진 상부 경사면이 형성되고, 상기 접지 연결단부의 하면에는 상기 접지 연결단부 하측의 하우징 홀 내면에서부터 상측으로 경사진 하부 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 비탄성 도전 하우징의 상면과 하면에는 상기 절연층이 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  9. 피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 두께 방향으로 관통하는 복수의 하우징 홀을 구비한 비탄성 도전성 소재로 이루어지는 비탄성 도전 하우징과,
    상기 하우징 홀에 대응하는 위치에 절연시트 홀을 구비하고, 상기 비탄성 도전 하우징의 상면과 하면에 각각 결합되는 상부 절연시트와 하부 절연시트 및
    탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배향되는 형태로 이루어지고, 상기 하우징 홀과 절연시트 홀을 관통하여 배치되는 접지용 도전부와, 내면에 절연부가 형성된 상기 하우징 홀과 상기 절연시트 홀을 관통하여 배치되는 신호용 도전부 및 전력용 도전부를 포함하여 이루어지는 테스트 소켓에 있어서,
    상기 접지용 도전부가 배치되는 상기 하우징 홀에는 상기 하우징 홀의 내면에서 상기 비탄성 도전 하우징이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 접지 연결단부는 상기 하우징 홀의 상면에 접하여 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 접지 연결단부는 상기 하우징 홀의 하면에 접하여 형성되는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 절연부는 탄성 절연물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  13. 제1항 또는 제9항에 있어서,
    상기 비탄성 도전 하우징의 하면에는 비탄성 도전 하우징과 연결된 접지 단자가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 접지 단자는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 포함되어 있는 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 테스트 소켓.
  15. 단자를 갖는 피검사 디바이스를 테스트 신호를 발생하는 테스터에 접속시켜 상기 피검사 디바이스를 테스트하기 위한 테스트 장치에 있어서,
    상기 테스터의 테스트 신호가 상기 피검사 디바이스에 전달될 수 있도록 상기 테스터와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 매개하는 테스트 소켓; 및
    상기 테스터 측으로 접근하거나 상기 테스터로부터 멀어질 수 있도록 움직여 상기 테스트 소켓 위에 놓이는 상기 피검사 디바이스를 상기 테스터 측으로 가압할 수 있는 가압력을 제공하는 푸셔;를 포함하고,
    상기 테스트 소켓은
    피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 두께 방향으로 관통하는 복수의 하우징 홀을 구비한 비탄성 도전성 소재로 이루어지는 비탄성 도전 하우징과,
    상기 비탄성 도전 하우징의 상면과 하면에 형성되는 절연층과,
    탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배향되는 형태로 이루어지고, 상기 하우징 홀에 배치된 접지용 도전부와, 상기 하우징 홀에 절연층으로 절연되게 배치되는 신호용 도전부 및 전력용 도전부를 포함하고,
    상기 접지용 도전부가 배치되는 상기 하우징 홀의 상면과 하면 사이에는 상기 하우징 홀의 내면에서 상기 비탄성 도전 하우징이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
  16. 단자를 갖는 피검사 디바이스를 테스트 신호를 발생하는 테스터에 접속시켜 상기 피검사 디바이스를 테스트하기 위한 테스트 장치에 있어서,
    상기 테스터의 테스트 신호가 상기 피검사 디바이스에 전달될 수 있도록 상기 테스터와 상기 피검사 디바이스를 전기적으로 매개하는 테스트 소켓; 및
    상기 테스터 측으로 접근하거나 상기 테스터로부터 멀어질 수 있도록 움직여 상기 테스트 소켓 위에 놓이는 상기 피검사 디바이스를 상기 테스터 측으로 가압할 수 있는 가압력을 제공하는 푸셔;를 포함하고,
    상기 테스트 소켓은
    피검사 디바이스의 단자와 대응하는 위치에 두께 방향으로 관통하는 복수의 하우징 홀을 구비한 비탄성 도전성 소재로 이루어지는 비탄성 도전 하우징과,
    상기 하우징 홀에 대응하는 위치에 절연시트 홀을 구비하고, 상기 비탄성 도전 하우징의 상면과 하면에 각각 결합되는 상부 절연시트와 하부 절연시트 및
    탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배향되는 형태로 이루어지고, 상기 하우징 홀과 절연시트 홀을 관통하여 배치되는 접지용 도전부와, 내면에 절연부가 형성된 상기 하우징 홀과 상기 절연시트 홀을 관통하여 배치되는 신호용 도전부 및 전력용 도전부를 포함하고,
    상기 접지용 도전부가 배치되는 상기 하우징 홀에는 상기 하우징 홀의 내면에서 상기 비탄성 도전 하우징이 돌출되어 형성되는 접지 연결단부가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.
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