JP2002158051A

JP2002158051A - 異方導電性シート

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Publication number: JP2002158051A
Application number: JP2000351329A
Authority: JP
Inventors: Hisao Igarashi; 久夫五十嵐; Kazuo Inoue; 和夫井上; Ryoji Sedaka; 良司瀬高
Original assignee: JSR Corp
Current assignee: JSR Corp
Priority date: 2000-11-17
Filing date: 2000-11-17
Publication date: 2002-05-31
Anticipated expiration: 2020-11-17
Also published as: JP4474767B2

Abstract

(57)【要約】【課題】無加圧の状態若しくは小さい力で厚み方向に
加圧した状態で導電性を示すと共に大きい力で厚み方向
に加圧した状態では、無加圧の状態若しくは小さい力で
厚み方向に加圧した状態よりも高い導電性を示し、しか
も、面方向に張力が作用しても、厚み方向の導電性の変
化がなくまたは少なく、更に、容易に破断することがな
い異方導電性シートを提供すること。【解決手段】上記の課題は、少なくとも一部において
両面間が電気的に導通された支持シート体と、この支持
シート体上に一体的に設けられた異方導電性シート本体
とよりなり、前記異方導電性シート本体は、無加圧の状
態で少なくとも厚み方向に導電性を示す弾性を有するシ
ート基体中に、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶ
よう配向した状態で含有されてなることを特徴とする異
方導電性シートによって解決される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、厚み方向に導電性
を示す異方導電性シートに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】異方導電性エラストマーシートは、厚み
方向にのみ導電性を示すもの、または厚み方向に加圧さ
れたときに厚み方向にのみ導電性を示す加圧導電性導電
部を有するものであり、ハンダ付けあるいは機械的嵌合
などの手段を用いずにコンパクトな電気的接続を達成す
ることが可能であること、機械的な衝撃やひずみを吸収
してソフトな接続が可能であることなどの特長を有する
ため、このような特長を利用して、例えば電子計算機、
電子式デジタル時計、電子カメラ、コンピューターキー
ボードなどの分野において、回路装置、例えばプリント
回路基板とリードレスチップキャリアー、液晶パネルな
どとの相互間の電気的な接続を達成するためのコネクタ
ーとして広く用いられている。

【０００３】また、プリント回路基板や半導体集積回路
などの回路装置の電気的検査においては、検査対象であ
る回路装置の一面に形成された被検査電極と、検査用回
路基板の表面に形成された検査用電極との電気的な接続
を達成するために、回路装置の被検査電極領域と検査用
回路基板の検査用電極領域との間に異方導電性エラスト
マーシートを介在させることが行われている。

【０００４】従来、このような異方導電性エラストマー
シートとしては、種々の構造のものが知られている。例
えば無加圧の状態で導電性を示す異方導電性エラストマ
ーシートとしては、絶縁性ゴムよりなるシート基体中
に、導電性繊維が厚み方向に伸びるよう配向した状態で
配列されてなるもの、カーボンブラックや金属粉末が配
合されてなる導電性ゴムと絶縁性ゴムとが面方向に沿っ
て交互に積層されてなるもの（特開昭５０−９４４９５
号公報参照）などが知られている。一方、厚み方向に加
圧した状態で導電性を示す異方導電性エラストマーシー
トとしては、金属粒子をエラストマー中に均一に分散し
て得られるもの（特開昭５１−９３３９３号公報参
照）、導電性磁性体粒子をエラストマー中に不均一に分
布させることにより、厚み方向に伸びる多数の導電路形
成部と、これらを相互に絶縁する絶縁部とが形成されて
なるもの（特開昭５３−１４７７７２号公報参照）導電
路形成部の表面と絶縁部との間に段差が形成されてなる
もの（特開昭６１−２５０９０６号公報参照）などが知
られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、電子部
品あるいは電子部品応用機器の分野においては、無加圧
の状態若しくは小さい力で厚み方向に加圧した状態で、
厚み方向にある程度の導電性（例えば体積固有抵抗が１
×１０⁷〜１×１０¹²Ω・ｍ）を示し、大きい力で厚み
方向に加圧した状態では、無加圧の状態若しくは小さい
力で加圧した状態よりも高い導電性（例えば体積固有抵
抗が１×１０^-2〜１×１０⁷Ω・ｍ）を示す異方導電性
エラストマーシートが望まれているが、このような異方
導電性エラストマーシートは現在まで知られていない。

【０００６】また、異方導電性エラストマーシートは、
一般に、平面な表面を有するもの例えば回路基板などの
当該表面に載置されて使用されている。然るに、異方導
電性エラストマーシートを、例えばロールなどの表面に
巻き付けた状態で使用した場合には、当該異方導電性エ
ラストマーシートにその面方向に張力が作用するため、
無加圧時または加圧時における厚み方向の導電性が変化
して所期の導電性が得られない、という問題がある。更
に、異方導電性エラストマーシートにその面方向に張力
が作用すると、容易に破断してしまう、という問題があ
る。

【０００７】本発明は、以上のような事情に基づいてな
されたものであって、その目的は、無加圧の状態若しく
は小さい力で厚み方向に加圧した状態で導電性を示すと
共に大きい力で厚み方向に加圧した状態では、無加圧の
状態若しくは小さい力で厚み方向に加圧した状態よりも
高い導電性を示し、しかも、面方向に張力が作用して
も、厚み方向の導電性の変化がなくまたは少なく、更
に、容易に破断することがない異方導電性シートを提供
することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の異方導電性シー
トは、少なくとも一部において両面間が電気的に導通さ
れた支持シート体と、この支持シート体上に一体的に設
けられた異方導電性シート本体とよりなり、前記異方導
電性シート本体は、無加圧の状態で少なくとも厚み方向
に導電性を示す弾性を有するシート基体中に、磁性を示
す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有
されてなることを特徴とする。

【０００９】本発明の異方導電性シートにおいては、前
記異方導電性シート本体におけるシート基体は、絶縁性
のエラストマー中に非磁性の導電性付与物質が含有され
てなるものであることが好ましい。また、前記導電性付
与物質は、それ自体導電性を示す物質および吸湿するこ
とによって導電性が発現される物質から選ばれる少なく
とも１種の物質であることが好ましい。

【００１０】また、本発明の異方導電性シートにおいて
は、前記異方導電性シート本体は、導電性粒子がシート
基体の面方向に分散された状態で含有されてなるもので
あってもよい。このような異方導電性シートは、異方導
電性シート本体におけるシート基体は、絶縁性のエラス
トマー中に当該シート体の厚み方向に伸びるよう配列さ
れた導電性繊維が含有されてなるものであってもよい。

【００１１】また、本発明の異方導電性シートは、前記
異方導電性シート本体は、シート基体の厚み方向に伸
び、当該シート基体の面方向に互いに離間した状態で形
成された、導電性粒子が密に含有されてなる多数の導電
路形成部と、これらの導電路形成部の間に介在された定
常導電部とを有してなるものであってもよい。このよう
な異方導電性シートにおいては、前記異方導電性シート
本体における定常導電部は、その表面が導電路形成部の
表面から突出した状態に形成されていてもよい。

【００１２】また、本発明の異方導電性シートは、少な
くとも一部において両面間が電気的に導通された支持シ
ート体と、この支持シート体上に一体的に設けられた異
方導電性シート本体とよりなり、前記異方導電性シート
本体は、絶縁性のエラストマー中に導電性付与物質が含
有されてなり、表面に多数の突出部を有することを特徴
とする。

【００１３】また、本発明の異方導電性シートにおいて
は、前記支持シート体は、その厚み方向に貫通して伸び
る導電部によって両面間が電気的に導通されていてもよ
く、この導電部は、エラストマー中に導電性粒子が含有
されてなるものであってもよい。また、前記支持シート
体の表面には、プリント配線が形成されていてもよい。
また、前記支持シート体と前記異方導電性シート本体と
の界面が粗面であることが好ましい。また、前記異方導
電性シート本体は、その裏面から突出して支持シート体
を貫通して伸びる固定部を有し、当該固定部と支持シー
ト体との界面が粗面であることが好ましい。また、前記
支持シート体および前記異方導電性シート本体は、それ
ぞれ無端ベルト状に形成されていてもよい。

【００１４】

【作用】本発明の異方導電性シートによれば、異方導電
性シート本体における弾性を有するシート基体が無加圧
の状態で少なくとも厚み方向に導電性を示すものである
ため、無加圧の状態または若しくは小さい力で厚み方向
に加圧した状態においては、当該シート基体の電気特性
に応じた導電性を示し、しかも、シート基体中には、そ
の厚み方向に並ぶよう配向した状態で導電性粒子が含有
されているため、大きい力で厚み方向に加圧した状態に
おいては、導電性粒子によってシート基体の厚み方向に
伸びる導電路が形成されるので、これにより、無加圧の
状態または若しくは小さい力で厚み方向に加圧した状態
よりも高い導電性を示す。また、異方導電性シート本体
は、支持シート体上に支持されているため、当該異方導
電性シートにその面方向に張力が作用しても、当該異方
導電性シート本体に作用する張力は支持シート体によっ
て抑制される結果、厚み方向の導電性の変化がなくまた
は少なく、更に、容易に破断することがない。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。〔第１の実施の形態〕図１は、本発明の第１の実施の形
態に係る異方導電性シートの構成を示す平面図であり、
図２は、図１に示す異方導電性シートの構成を示す説明
用断面図である。この異方導電性シートにおいては、支
持シート体１０上に、異方導電性シート本体２０が一体
的に積層されて設けられており、支持シート体１０の両
側縁部には、複数の位置決め用孔１５が当該支持シート
体１０の両側縁に沿って並ぶよう形成されている。

【００１６】支持シート体１０としては、少なくとも一
部において両面間が電気的に導通されており、所要の強
度を有するものであれば特に限定されるものではなく、
例えば金属などの導電性材料よりなるシート、樹脂など
の絶縁性材料よりなるシートにその厚み方向に伸びる導
電部が形成されてなるもの、またはこれらの複合シート
を用いることができる。このような支持シート体１０の
具体例としては、以下のようなものを挙げることができ
る。金属よりなるシートとしては、アルミニウム、銅、
真鍮等の銅合金、ステンレスなどよりなるシートを挙げ
ることができる。樹脂シートとしては、ポリエチレン、
ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデ
ン、ＡＢＳ樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合
体、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート
（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリテトラ
フルオロエチレン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエ
ーテルスルフォン、ポリイミドよりなるシート、これら
のアロイシートおよび後述するメッシュ状材料によって
補強されたシートなどが挙げられる。金属と樹脂との複
合シートとしては、銅薄層が積層されたガラスエポキシ
樹脂シート、銅薄層が積層されたポリイミド樹脂シート
などの市販の複合シート、上記の樹脂シートに、電解ま
たは無電解メッキ、蒸着、スパッター等の処理によって
金属薄層が形成されたものなどが挙げられる。これら以
外のシートとしては、ステンレス繊維、スチール繊維、
アモルファス合金繊維などの金属繊維、テトロン繊維、
ナイロン繊維、アラミド繊維などの有機繊維、カーボン
繊維、ガラス繊維、またはこれらの繊維にニッケル等の
金属を被覆した繊維から得られるメッシュ状シートなど
を挙げることができる。また、これらのシートには、両
面間の電気的導通を得ることを目的として、開口が形成
されていてもよい。シートに開口を形成する手段として
は、エッチング、レーザー加工等の化学的または物理的
手段、ドリル、パンチング、カッティング等の機械的手
段を利用することができる。また、支持シート体１０の
厚みは、例えば０．０１〜１ｍｍ、好ましくは０．０２
５〜０．３ｍｍである。

【００１７】異方導電性シート本体２０は、弾性を有す
るシート基体２１中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが当該
シート基体２１の厚み方向に並ぶよう配向した状態でか
つ当該シート基体２１の面方向に分散した状態で含有さ
れて構成されている。シート基体２１の厚みは、例えば
０．０２〜２ｍｍ、好ましくは０．０５〜０．５ｍｍで
ある。

【００１８】シート基体２１は、少なくとも厚み方向に
導電性を示すものである。この例におけるシート基体２
１は、絶縁性のエラストマー中に非磁性の導電性付与物
質が含有されて構成されている。シート基体２１を構成
するための絶縁性のエラストマーとしては、架橋構造を
有する高分子物質が好ましい。架橋高分子物質を得るた
めの硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のもの
を用いることができ、その具体例としては、ポリブタジ
エンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−
ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエ
ン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの
水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共
重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体な
どのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、
クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エ
ピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プ
ロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン
共重合体ゴムなどが挙げられる。以上において、得られ
る異方導電性シート本体に耐候性が要求される場合に
は、共役ジエン系ゴム以外のものを用いることが好まし
く、特に、成形加工性および電気特性の観点から、シリ
コーンゴムを用いることが好ましい。

【００１９】シリコーンゴムとしては、液状シリコーン
ゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコ
ーンゴムは、その粘度が歪速度１０^-1ｓｅｃで１０⁵ポ
アズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のも
の、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのい
ずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン
生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニ
ルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。

【００２０】これらの中で、ビニル基を含有する液状シ
リコーンゴム（ビニル基含有ポリジメチルシロキサン）
は、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチルジア
ルコキシシランを、ジメチルビニルクロロシランまたは
ジメチルビニルアルコキシシランの存在下において、加
水分解および縮合反応させ、例えば引続き溶解−沈殿の
繰り返しによる分別を行うことにより得られる。また、
ビニル基を両末端に含有する液状シリコーンゴムは、オ
クタメチルシクロテトラシロキサンのような環状シロキ
サンを触媒の存在下においてアニオン重合し、重合停止
剤として例えばジメチルジビニルシロキサンを用い、そ
の他の反応条件（例えば、環状シロキサンの量および重
合停止剤の量）を適宜選択することにより得られる。こ
こで、アニオン重合の触媒としては、水酸化テトラメチ
ルアンモニウムおよび水酸化ｎ−ブチルホスホニウムな
どのアルカリまたはこれらのシラノレート溶液などを用
いることができ、反応温度は、例えば８０〜１３０℃で
ある。このようなビニル基含有ポリジメチルシロキサン
は、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量平均分
子量をいう。以下同じ。）が１００００〜４００００の
ものであることが好ましい。また、得られる異方導電性
シート本体の耐熱性の観点から、分子量分布指数（標準
ポリスチレン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレ
ン換算数平均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。
以下同じ。）が２以下のものが好ましい。

【００２１】一方、ヒドロキシル基を含有する液状シリ
コーンゴム（ヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキサ
ン）は、通常、ジメチルジクロロシランまたはジメチル
ジアルコキシシランを、ジメチルヒドロクロロシランま
たはジメチルヒドロアルコキシシランの存在下におい
て、加水分解および縮合反応させ、例えば引続き溶解−
沈殿の繰り返しによる分別を行うことにより得られる。
また、環状シロキサンを触媒の存在下においてアニオン
重合し、重合停止剤として、例えばジメチルヒドロクロ
ロシラン、メチルジヒドロクロロシランまたはジメチル
ヒドロアルコキシシランなどを用い、その他の反応条件
（例えば、環状シロキサンの量および重合停止剤の量）
を適宜選択することによっても得られる。ここで、アニ
オン重合の触媒としては、水酸化テトラメチルアンモニ
ウムおよび水酸化ｎ−ブチルホスホニウムなどのアルカ
リまたはこれらのシラノレート溶液などを用いることが
でき、反応温度は、例えば８０〜１３０℃である。この
ようなヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキサンは、
その分子量Ｍｗが１００００〜４００００のものである
ことが好ましい。また、得られる導電路素子の耐熱性の
観点から、分子量分布指数が２以下のものが好ましい。
本発明においては、上記のビニル基含有ポリジメチルシ
ロキサンおよびヒドロキシル基含有ポリジメチルシロキ
サンのいずれか一方を用いることもでき、両者を併用す
ることもできる。

【００２２】本発明においては、高分子物質形成材料を
硬化させるために適宜の硬化触媒を用いることができ
る。このような硬化触媒としては、有機過酸化物、脂肪
酸アゾ化合物、ヒドロシリル化触媒などを用いることが
できる。硬化触媒として用いられる有機過酸化物の具体
例としては、過酸化ベンゾイル、過酸化ビスジシクロベ
ンゾイル、過酸化ジクミル、過酸化ジターシャリーブチ
ルなどが挙げられる。硬化触媒として用いられる脂肪酸
アゾ化合物の具体例としては、アゾビスイソブチロニト
リルなどが挙げられる。ヒドロシリル化反応の触媒とし
て使用し得るものの具体例としては、塩化白金酸および
その塩、白金−不飽和基含有シロキサンコンプレック
ス、ビニルシロキサンと白金とのコンプレックス、白金
と１，３−ジビニルテトラメチルジシロキサンとのコン
プレックス、トリオルガノホスフィンあるいはホスファ
イトと白金とのコンプレックス、アセチルアセテート白
金キレート、環状ジエンと白金とのコンプレックスなど
の公知のものが挙げられる。硬化触媒の使用量は、高分
子物質形成材料の種類、硬化触媒の種類、その他の硬化
処理条件を考慮して適宜選択されるが、通常、高分子物
質形成材料１００重量部に対して３〜１５重量部であ
る。

【００２３】シート基体２１を構成するための非磁性の
導電性付与物質としては、それ自体導電性を示す物質
（以下、「自己導電性物質」ともいう。）、吸湿するこ
とによって導電性が発現される物質（以下、「吸湿導電
性物質」ともいう。）などを用いることができ、これら
の自己導電性物質および吸湿導電性物質は、いずれか一
方を使用することも両者を併用することもできる。

【００２４】自己導電性物質としては、一般的には、金
属結合における自由電子により導電性を示す物質、余剰
電子の移動によって電荷の移動が起こるもの、空孔の移
動によって電荷の移動が起こるもの、主鎖に沿ってπ結
合を有し、その相互作用により導電性を示す有機高分子
物質、側鎖にある基の相互作用によって電荷の移動を起
こす物質などから選択して用いることができる。具体的
には、白金、金、銀、銅、アルミウニム、マンガン、亜
鉛、錫、鉛、インジウム、モリブデン、ニオブ、タンタ
ル、クロムなどの非磁性金属；二酸化銅、酸化亜鉛、酸
化錫、酸化チタンなどの非磁性導電性金属酸化物；ウィ
スカ、チタン酸カリウム、カーボンなどの導電性繊維物
質；ゲルマニウム、珪素、インジウム燐、硫化亜鉛など
の半導電性物質；カーボンブラック、グラファイトなど
の炭素系物質；ポリアセチレン系ポリマー、ポリフェニ
レン系ポリマー、チオフェニレン系ポリマー等の複素環
ポリマーなどの導電性高分子物質などを用いることがで
き、これらは、単独でまたは２種以上を組み合わせて導
電性付与物質として用いることができる。

【００２５】吸湿導電性物質としては、イオンを生成
し、そのイオンによって電荷を運ぶ物質、水酸基やエス
テル基などの極性の大きい基を有する物質などから選択
して用いることができる。具体的には、第四級アンモニ
ウム塩、アミン系化合物などの陽イオンを生成する物
質；脂肪族スルホン酸塩、高級アルコール硫酸エステル
塩、高級アルコールエチレンオキサイド付加硫酸エステ
ル塩、高級アルコール燐酸エステル塩、高級アルコール
エチレンオキサイド付加燐酸エステル塩などの陰イオン
を生成する物質；ベダイン化合物などの陽イオンおよび
陰イオンの両方を生成する物質；クロルポリシロキサ
ン、アルコキシシラン、アルコキシポリシラン、アルコ
キシポリシロキサン等の珪素化合物、導電性ウレタン、
ポリビニルアルコールまたはその共重合体等の高分子物
質、高級アルコールエチレンオキサイド、ポリエチレン
グリコール脂肪酸エステル、多価アルコール脂肪酸エス
テル等のアルコール系界面活性剤、多糖類などの極性の
大きい基を有する物質などを用いることができ、これら
は、単独でまたは２種以上を組み合わせて導電性付与物
質として用いることができる。

【００２６】また、上記の吸湿導電性物質の中では、高
い耐熱性を有し、弾性高分子物質との相溶性が良好で、
弾性高分子物質の形成において重合阻害を引き起こさな
い点で、脂肪族スルホン酸塩が好ましい。かかる脂肪族
スルホン酸塩としては、１−デカンスルホン酸塩、１−
ウンデカンスルホン酸塩、１−ドデカンスルホン酸塩、
１−トリデカンスルホン酸塩、１−テトラデカンスルホ
ン酸塩、１−ペンタデカンスルホン酸塩、１−ヘキサデ
カンスルホン酸塩、１−ヘプタデカンスルホン酸塩、１
−オクタデカンスルホン酸塩、１−ノナデカンスルホン
酸塩、１−エイコサンデカスルホン酸塩またはこれらの
異性体などの炭素数が５〜２０のアルキル基を有するも
のが好ましい。また、塩としては、リチウム、ナトリウ
ム、カリウムなどのアルカリ金属塩が好ましく、特に、
一層高い耐熱性を有する点で、ナトリウム塩が好まし
い。

【００２７】シート基体２１における非磁性の導電性付
与物質の割合は、導電性付与物質の種類や目的とする導
電性の程度などに応じて適宜設定されるが、通常、導電
性付与物質として非磁性金属よりなるものを単独で用い
る場合には、１〜１０重量％、好ましくは２〜８重量
％、導電性付与物質として非磁性導電性金属酸化物より
なるものを単独で用いる場合には、１０〜４０重量％、
好ましくは２０〜３０重量％、導電性付与物質として導
電性繊維物質よりなるものを単独で用いる場合には、５
〜３０重量％、好ましくは８〜１５重量％、導電性付与
物質としてカーボンブラックよりなるものを単独で用い
る場合には、１０〜４０重量％、好ましくは２０〜３０
重量％、導電性付与物質として導電性高分子物質よりな
るものを単独で用いる場合には、１０〜３０重量％、好
ましくは１５〜２５重量％、導電性付与物質として吸湿
導電性物質を単独で用いる場合には、２〜４０重量％、
好ましくは３〜３０重量％の範囲から設定される。ま
た、上記の種々の導電性付与物質を組み合わせて用いる
場合には、その割合は上記の範囲を考慮して設定され
る。

【００２８】また、シート基体２１中には、必要に応じ
て、通常のシリカ粉、コロイダルシリカ、エアロゲルシ
リカ、アルミナなどの無機充填材を含有させることがで
きる。このような無機充填材を含有させることにより、
シート基体２１を形成するための材料のチクソトロピー
性が確保され、その粘度が高くなり、しかも、導電性粒
子の分散安定性が向上すると共に、高い強度を有するシ
ート基体２１が得られる。このような無機充填材の使用
量は、特に限定されるものではないが、多量に使用する
と、磁場による導電性粒子の配向を十分に達成すること
ができなくなるため、好ましくない。

【００２９】シート基体２１中に含有される導電性粒子
Ｐとしては、磁場を作用させることによって容易にシー
ト基体２１の厚み方向に並ぶよう配向させることができ
る観点から、磁性を示す導電性粒子が用いられる。

【００３０】このような導電性粒子Ｐの具体例として
は、ニッケル、鉄、コバルトなどの磁性を示す金属より
なる粒子若しくはこれらの合金よりなる粒子またはこれ
らの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子
とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウ
ムなどの酸化しにくい導電性金属のメッキを施したも
の；ＺｒＦｅ₂、ＦｅＢｅ₂、ＦｅＲｈ、ＭｎＺｎ、Ｎ
ｉ₃Ｍｎ、ＦｅＣｏ、ＦｅＮｉ、Ｎｉ₂Ｆｅ、ＭｎＰｔ
₃、ＦｅＰｄ、ＦｅＰｄ₃、Ｆｅ₃Ｐｔ、ＦｅＰｔ、Ｃ
ｏＰｔ、ＣｏＰｔ₃、Ｎｉ₃Ｐｔなどの強磁性金属間化
合物からなる粒子、またはこの粒子を芯粒子とし、当該
芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの酸
化しにくい導電性金属のメッキを施したもの；化学式：
Ｍ¹Ｏ・Ｆｅ₂Ｏ₃（但し、Ｍ¹は、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｎ
ｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｃｏ、Ｌｉなどの金属を示
す。）で表されるフェライト、若しくはこれらの混合物
（例えばＭｎ−Ｚｎフェライト、Ｎｉ−Ｚｎフェライ
ト、Ｍｇ−Ｚｎフェライトなど）、ＦｅＭｎ₂Ｏ₄など
のマンガナイト、化学式：Ｍ²Ｏ・Ｃｏ ₂Ｏ₃（但し、
Ｍ²は、Ｆｅ、Ｎｉなどの金属を示す。）で表されるコ
バルタイト、Ｎｉ_0.5Ｚｎ_0.5Ｆｅ₂Ｏ₄、Ｎｉ_0.35Ｚ
ｎ_0.65Ｆｅ₂Ｏ₄、Ｎｉ_0.7Ｚｎ _0.2Ｆｅ_0.1Ｆｅ₂Ｏ
₄、Ｎｉ_0.5Ｚｎ_0.4Ｆｅ_0.1Ｆｅ₂Ｏ₄などの強磁性
金属酸化物よりなる粒子、カルボニルＦｅ、カルボニル
Ｎｉなどの強磁性金属のカルボニル錯体よりなる粒子、
またはこの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、
銀、パラジウム、ロジウムなどの酸化しにくい導電性金
属のメッキを施したもの；非磁性金属粒子、ガラスビー
ズ、カーボンなどの無機物質よりなる粒子、またはポリ
スチレン、ジビニルベンゼンによって架橋されたポリス
チレンなどのポリマーよりなる粒子を芯粒子とし、当該
芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性
体のメッキを施したもの、あるいは芯粒子に、導電性磁
性体および酸化しにくい導電性金属の両方を被覆したも
のなどが挙げられる。また、これらの導電性粒子は、そ
の導電性を調整することを目的として、表面に絶縁被膜
が形成されたものであってもよい。ここで、絶縁被膜と
しては、金属酸化物、ＳｉＯ₂等の酸化珪素化合物など
の無機材料、樹脂、カップリング剤などの有機材料を用
いることができる。

【００３１】また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、上
記の範囲の粒子抵抗率ρが得られやすい点で、１〜１０
００μｍであることが好ましく、より好ましくは２〜５
００μｍ、さらに好ましくは５〜３００μｍ、特に好ま
しくは１０〜２００μｍである。また、得られる異方導
電性シートにおいて、導電性粒子Ｐによって厚み方向に
形成される導電路間の間隔が小さいものであること、す
なわち分解能の高い異方導電特性が要求される場合に
は、導電性粒子Ｐとして、数平均粒子径が小さいものを
用いることが好ましく、具体的には、数平均粒子径が１
〜２０μｍ、特に１〜１０μｍのものを用いることが好
ましい。また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄ
ｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましく
は１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に
好ましくは１．１〜４である。このような条件を満足す
る導電性粒子を用いることにより、得られる異方導電性
シートは、加圧変形が容易なものとなり、また、当該導
電性粒子間に十分な電気的接触が得られる。また、導電
性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高
分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点
で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集し
た２次粒子による塊状のものであることが好ましい。

【００３２】また、導電性粒子Ｐの含水率は、５％以下
であることが好ましく、より好ましくは３％以下、さら
に好ましくは２％以下、とくに好ましくは１％以下であ
る。このような条件を満足する導電性粒子を用いること
により、高分子物質形成材料を硬化処理する際に気泡が
生ずることが防止または抑制される。

【００３３】シート基体２１中における導電性粒子Ｐの
割合は、当該異方導電性シートの使用目的および用いら
れる導電性粒子の種類に応じて適宜選択されるが、体積
分率で、通常３〜５０％、好ましくは５〜３０％となる
範囲から選択されることが好ましい。この割合が３％未
満である場合には、十分に電気抵抗の小さい導電路を形
成することが困難となることがある。一方、この割合が
５０％を超える場合には、得られる異方導電性シート本
体２０は脆弱なものとなることがある。

【００３４】このような異方導電性シート本体２０にお
いては、弾性を有するシート基体２１が無加圧の状態で
導電性を示すものであるため、当該異方導電性シート本
体２０が無加圧の状態または若しくは小さい力で厚み方
向に加圧した状態では、当該シート基体２１の電気特性
に応じた導電性を示す。この導電性の程度は、当該異方
導電性シートの使用目的に応じて適宜設定されるが、具
体的には、異方導電性シート本体２０が無加圧の状態お
よび歪み率がＳ ₀〔但し、Ｓ₀は０〜５（％）の範囲か
ら選ばれた値〕％以下の値となるよう厚み方向に加圧さ
れた状態においては、当該異方導電性シート本体２０の
厚み方向の体積固有抵抗Ｒ₀が、１×１０⁷〜１×１０
¹²Ω・ｍの範囲にあることが好ましく、より好ましくは
１×１０⁸〜１×１０¹⁰Ω・ｍの範囲である。このよう
な導電性を得るためには、用いられる非磁性の導電性付
与物質の種類を選択し、当該導電性付与物質の含有割合
を調整すればよい。また、異方導電性シート本体２０
を、１ｃｍ²当たり０〜５ｇ、好ましくは０〜２ｇ荷重
で厚み方向に加圧することにより、上記の歪み率Ｓ
₀（％）の値が得られればよい。

【００３５】一方、シート基体２１中には、その厚み方
向に並ぶよう配向した状態で導電性粒子Ｐが含有されて
いるため、当該異方導電性シート本体２０が大きい力で
厚み方向に加圧した状態では、導電性粒子Ｐの連鎖によ
ってシート基体２１の厚み方向に伸びる導電路が形成さ
れるので、これにより、無加圧の状態または若しくは小
さい力で厚み方向に加圧した状態よりも高い導電性を示
す。この導電性の程度は、当該異方導電性シートの使用
目的に応じて適宜設定されるが、具体的には、異方導電
性シート本体２０が歪み率がＳ₀％よりもΔＳ〔但し、
ΔＳは１０〜３０（％）の範囲から選ばれた値〕％以上
大きい値となるよう厚み方向に加圧された状態において
は、当該異方導電性シート本体２０の厚み方向の体積固
有抵抗Ｒ₁に対する前記体積固有抵抗Ｒ₀の比（Ｒ₀／
Ｒ₁）が１×１０²〜１×１０¹⁰の範囲にあることが好
ましく、より好ましくは１×１０³〜１×１０⁹の範囲
である。このような導電性を得るためには、用いられる
導電性粒子Ｐの種類を選択し、当該導電性粒子の含有割
合を調整すればよい。また、異方導電性シート本体２０
を、１ｃｍ²当たり５〜１０００ｇ、好ましくは１０〜
５００ｇの荷重で厚み方向に加圧することにより、上記
の歪み率Ｓ₀＋ΔＳ（％）の値が得られればよい。

【００３６】以上において、異方導電性シート本体２０
の厚み方向の体積固有抵抗は、以下のようにして測定す
ることができる。無加圧の状態の体積固有抵抗：異方導電性シート本体２
０の一面に、スパッター装置により金属膜を形成し、こ
の金属膜の表面に導電性接着剤により、絶縁抵抗計に接
続された配線を接着する。そして、前記絶縁抵抗計に接
続された電極径が５０ｍｍの測定用電極によって、異方
導電性シート本体２０の他面を加圧することにより、異
方導電性シート本体２０の他面に測定用電極の表面が充
分に密着させ、その後、異方導電性シート本体２０の他
面に測定用電極の表面が接触した状態すなわち無加圧の
状態とする。そして、この状態において、適宜の電圧値
または電流値の電流を測定用電極と金属膜との間に供給
し、１分間経過後、異方導電性シート本体２０の厚み方
向の体積固有抵抗を測定する。厚み方向に加圧された状態の体積固有抵抗：異方導電性
シート本体２０を、それぞれ絶縁抵抗計に接続された電
極径が５０ｍｍの測定用電極および加圧用電極との間に
配置し、加圧用電極によって異方導電性シート本体２０
が所要の歪み率となるまで加圧し、この状態で、異方導
電性シート本体２０の厚み方向の体積固有抵抗を測定す
る。

【００３７】以上のような異方導電性シートは、例えば
以下の方法によって製造することができる。先ず、硬化
処理によって絶縁性のエラストマーとなる液状の高分子
物質形成材料中に、磁性を示す導電性粒子および非磁性
の導電性付与物質が分散されてなる流動性の成形材料を
調製する。そして、図３に示すように、金型３０におけ
る下型３６の上面に支持シート体１０を載置し、この支
持シート体１０上に、矩形の枠状のスペーサー３５を配
置すると共に、当該スペーサー３５によって囲まれた領
域に成形材料を塗布して成形材料層２０Ａを形成し、更
に、成形材料層２０Ａ上に上型３１を配置する。ここ
で、金型３０における上型３１および下型３６は、それ
ぞれ強磁性体により構成されている。

【００３８】次いで、上型３１の上面および下型３２の
下面に、例えば電磁石または永久磁石を配置し、金型３
０内の成形材料層１０Ａにその厚み方向に平行磁場を当
該成形材料層２０Ａの厚み方向に作用させる。その結
果、成形材料層２０Ａにおいては、当該成形材料層２０
Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、図４に示すよう
に、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に
並ぶよう配向する。一方、成形材料層２０Ａ中の導電性
付与物質は、平行磁場が作用しても当該成形材料層２０
Ａ中に分散されたままの状態である。そして、この状態
において、成形材料層２０Ａを硬化処理することによ
り、絶縁性のエラストマー中に非磁性の導電性付与物質
が分散されてなるシート基体２１中に、導電性粒子Ｐが
厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなる異方
導電性シート本体２０が、支持シート体１０上に一体的
に設けられた異方導電性シートが得られる。

【００３９】以上において、成形材料層２０Ａに作用さ
れる平行磁場の強度は、平均で０．０２〜１．５Ｔとな
る大きさが好ましい。永久磁石によって成形材料層２０
Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる場合において、当
該永久磁石としては、上記の範囲の平行磁場の強度が得
られる点で、アルニコ（Ｆｅ−Ａｌ−Ｎｉ−Ｃｏ系合
金）、フェライトなどよりなるものを用いることが好ま
しい。成形材料層２０Ａの硬化処理は、平行磁場を作用
させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作
用を停止させた後に行うこともできる。成形材料層２０
Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定され
るが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱
温度および加熱時間は、成形材料層２０Ａを構成する高
分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要す
る時間などを考慮して適宜設定される。

【００４０】上記の構成の異方導電性シートによれば、
異方導電性シート本体２０は、シート基体２１が導電性
付与物質が含有されることによって無加圧の状態で導電
性を示すものであるため、無加圧の状態または若しくは
小さい力で厚み方向に加圧した状態においては、当該シ
ート基体２１の電気特性に応じた導電性を示し、しか
も、シート基体２１中には、その厚み方向に並ぶよう配
向した状態で導電性粒子Ｐが含有されているため、大き
い力で厚み方向に加圧した状態においては、導電性粒子
Ｐの連鎖によってシート基体２１の厚み方向に伸びる導
電路が形成されるので、これにより、無加圧の状態また
は若しくは小さい力で厚み方向に加圧した状態よりも高
い導電性を示す。また、異方導電性シート本体２０は、
支持シート体１０上に支持されているため、当該異方導
電性シートにその面方向に張力が作用しても、当該異方
導電性シート本体２０に作用する張力は支持シート体１
０によって抑制される結果、厚み方向の導電性の変化が
なくまたは少なく、更に、容易に破断することが防止さ
れる。

【００４１】〔第２の実施の形態〕図５は、本発明の第
２の実施の形態に係る異方導電性シートの構成を示す説
明用断面図である。この例における異方導電性シート本
体２０のシート基体２１は、絶縁性のエラストマー中
に、導電性繊維Ｆが当該シート基体２１の厚み方向に伸
びるよう面方向に沿って配列されて構成され、当該導電
性繊維Ｆによって厚み方向に導電性を示すものである。
そして、シート基体２１中には、磁性を示す導電性粒子
Ｐが当該シート基体２１の厚み方向に並ぶよう配向した
状態でかつ当該シート基体２１の面方向に分散した状態
で含有されている。また、支持シート体１０は前述の第
１の実施の形態と同様の構成である。本発明において、
導電性繊維Ｆはシート基体２１の厚み方向に伸びるよう
配列されることが必要であるが、「厚み方向に伸びるよ
う配列され」とは、シート基体２１の厚み方向と同一の
方向（以下、この方向を「Ｚ方向」という。）乃至この
Ｚ方向に対して３０°以下の範囲で傾いた方向に伸びる
よう配列されることを意味する。シート基体２１を構成
するための絶縁性のエラストマーおよび導電性粒子Ｐを
構成する材料は、前述の第１の実施の形態に係る異方導
電性シートと同様である。また、異方導電性シート本体
２０の厚みは、前述の第１の実施の形態の異方導電性シ
ートと同様である。さらに、異方導電性シート本体２０
の厚み方向の体積固有抵抗は、前述の第１の実施の形態
の異方導電性シートと同様である。

【００４２】シート基体２１を構成するための導電性繊
維Ｆを構成する材料としては、特に限定されるものでは
なく、非磁性のものであっても磁性を示すものであって
もよいが、無加圧の状態もしくは小さい圧力で加圧した
状態において、後述する範囲の体積固有抵抗が容易に得
られる点で、非磁性の導電性繊維としては、カーボン繊
維、ポリアミド繊維などの繊維の表面に、スズ、ハン
ダ、銅などの非磁性金属よりなる導電性被覆膜が形成さ
れてなるもの、またはこの導電性被覆膜の表面に更に絶
縁性被覆膜が形成されてなるもの、リン青銅、ベリリウ
ム銅、ＳＵＳ、アルミニウムなどの非磁性金属よりなる
繊維の表面に絶縁性被覆膜が形成されてなるものなどを
好適に用いることができ、磁性を示す導電性繊維として
は、カーボン繊維、ポリアミド繊維などの繊維に、ニッ
ケル、コバルト、鉄、フェライトまたはこれらの合金な
どの導電性磁性体材料よりなる導電性被覆膜が形成され
てなるもの、またはこの導電性被覆膜の表面に更に絶縁
性被覆膜が形成されてなるもの、ニッケル、鉄などの導
電性磁性体材料よりなる繊維の表面に絶縁性被覆膜が形
成されてなるものなどを好適に用いることができる。以
上において、絶縁性被覆膜を構成する材料としては、ポ
リイミド、電着ポリイミド、ポリスチレン、ポリメチル
メタクリレート、フッ素樹脂などの有機材料、シリカな
どの無機材料を用いることができる。また、導電性繊維
Ｆにおける絶縁性被覆膜の被覆率は、目的とする異方導
電性シートの導電性に応じて適宜設定されるが、例えば
５０〜９９％であり、好ましくは７０〜９５％である。

【００４３】導電性繊維Ｆの径は、通常、５〜１００μ
ｍ、好ましくは１０〜５０μｍである。導電性繊維Ｆの
長さは、シート基体２１の厚みの５０〜１５０％である
ことが好ましく、より好ましくは６０〜１２０％であ
り、具体的には、０．０５〜１ｍｍ、好ましくは０．１
〜０．５ｍｍである。また、シート基体２１中における
導電性繊維Ｆの密度は、異方導電性シートの使用目的お
よび導電性繊維Ｆの種類によって適宜設定されるが、面
方向の断面において１ｃｍ²あたり１×１０³〜１×１
０⁶本含有されていることが好ましく、より好ましくは
１×１０⁴〜１×１０⁵である。

【００４４】以上のような異方導電性シートは、例えば
以下の方法によって製造することができる。先ず、硬化
処理によって絶縁性のエラストマーとなる液状の高分子
物質形成材料中に、導電性繊維および磁性を示す導電性
粒子が分散されてなる流動性のシート成形材料を調製す
る。そして、図６に示すように、金型３０における下型
３６の上面に支持シート体１０を載置し、この支持シー
ト体１０上に、矩形の枠状のスペーサー３５を配置する
と共に、当該スペーサー３５によって囲まれた領域に成
形材料を塗布して成形材料層２０Ａを形成し、更に、成
形材料層２０Ａ上に上型３１を配置する。ここで、金型
３０は、前述の第１の実施の形態における金型３０と同
様の構成である。

【００４５】次いで、上型３１の上面および下型３６の
下面に、例えば電磁石または永久磁石を配置し、金型内
の成形材料層２０Ａにその厚み方向に平行磁場をシート
成形材料層の厚み方向に作用させる。その結果、成形材
料層２０Ａにおいては、当該成形材料層中に分散されて
いる導電性粒子Ｐが、図７に示すように、面方向に分散
された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向する
と共に、導電性粒子Ｐの移動に伴って導電性繊維Ｆが厚
み方向に伸びるよう配列される。以上において、成形材
料層２０Ａに作用される平行磁場の強度は、前述の第１
の実施の形態と同様である。そして、この状態におい
て、成形材料層２０Ａを硬化処理することにより、絶縁
性のエラストマー中に導電性繊維Ｆが厚み方向に伸びる
よう配列されてなるシート基体２１と、このシート基体
２１中にその厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有さ
れた導電性粒子Ｐとを有する異方導電性シート本体２０
が形成され、以て図５に示す構成の異方導電性シートが
得られる。

【００４６】上記の構成の異方導電性シートによれば、
異方導電性シート本体２０におけるシート基体２１は、
導電性繊維Ｆが厚み方向に伸びるよう配列されることに
よって無加圧の状態で厚み方向に導電性を示すものであ
るため、無加圧の状態若しくは小さい力で厚み方向に加
圧した状態においては、当該導電性繊維Ｆの電気特性に
応じた導電性を示し、しかも、シート基体２１中には、
その厚み方向に並ぶよう配向した状態で導電性粒子Ｐが
含有されているため、大きい力で厚み方向に加圧した状
態においては、導電性粒子Ｐの連鎖によってシート基体
２１の厚み方向に伸びる導電路が形成されるので、これ
により、無加圧の状態または若しくは小さい力で厚み方
向に加圧した状態よりも高い導電性を示す。また、異方
導電性シート本体２０は、支持シート体１０上に支持さ
れているため、当該異方導電性シートにその面方向に張
力が作用しても、当該異方導電性シート本体２０に作用
する張力は支持シート体１０によって抑制される結果、
厚み方向の導電性の変化がなくまたは少なく、更に、容
易に破断することが防止される。

【００４７】〔第３の実施の形態〕図８は、本発明の第
３の実施の形態に係る異方導電性シートの構成を示す説
明用断面図である。この異方導電性シートは、その厚み
方向に貫通して伸びる複数の導電部１１が形成された支
持シート体１０を有する。この導電部１１は、エスラト
マー中に導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状
態で密に充填されて構成されている。導電部１１を構成
するエラストマーおよび導電性粒子Ｐとしては、異方導
電性シート本体２０を構成するエラストマーおよび導電
性粒子Ｐと同様のものを用いることができる。

【００４８】このような支持シート体１０上には、異方
導電性シート本体２０が一体的に積層されて設けられて
いる。この異方導電性シート本体２０は、導電性付与物
質が含有されてなる弾性を有するシート基体２１中に、
磁性を示す導電性粒子Ｐが密に含有されることによっ
て、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電路形成部２２
が形成され、これらの導電路形成部２２の各々は、導電
性粒子Ｐが全くあるいは殆ど存在しない定常導電部２３
を介して当該シート基体２１の面方向に例えば等間隔で
互いに離間した状態で配置されている。導電路形成部２
２の各々においては、導電性粒子Ｐがシート基体２１の
厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されている。シ
ート基体２１を構成する材料および導電性粒子Ｐを構成
する材料は、前述の第１の実施の形態に係る異方導電性
シートと同様である。そして、異方導電性シート本体２
０は、その導電路形成部２２の各々が、支持シート体１
０の導電部１１上に位置するよう配置されている。

【００４９】導電路形成部２２の径および配置ピッチ
は、異方導電性シートの使用目的に応じて適宜設定され
るが、例えば導電路形成部２２の径が０．０５〜１ｍ
ｍ、好ましくは０．０８〜０．５ｍｍであり、導電路形
成部２２の配置ピッチが０．１〜２．５４ｍｍ、好まし
くは０．１５〜１ｍｍである。また、この異方導電性シ
ート本体２０の厚みは、前述の第１の実施の形態の異方
導電性シートと同様である。さらに、この異方導電性シ
ート本体２０の厚み方向の体積固有抵抗は、前述の第１
の実施の形態の異方導電性シートと同様である。

【００５０】導電路形成部２２における導電性粒子Ｐの
割合は、当該異方導電性シートの使用目的および用いら
れる導電性粒子の種類に応じて適宜選択されるが、体積
分率で、通常１５〜５０％、好ましくは２０〜４０％と
なる範囲から選択されることが好ましい。この割合が１
５％未満である場合には、十分に電気抵抗の小さい導電
路を形成することが困難となることがある。一方、この
割合が５０％を超える場合には、得られる導電路形成部
２２は脆弱なものとなることがある。

【００５１】このような異方導電性シートは、例えば以
下のようにして製造することができる。先ず、硬化処理
によって絶縁性のエラストマーとなる液状の高分子物質
形成材料中に、磁性を示す導電性粒子および非磁性の導
電性付与物質が分散されてなる流動性の成形材料を調製
する。そして、図９に示すように、金型３０における下
型３６の上面に、厚み方向に貫通する貫通孔１０Ｈが形
成された支持シート体１０を載置し、この支持シート体
１０上に、矩形の枠状のスペーサー３５を配置すると共
に、当該スペーサー３５によって囲まれた領域および支
持シート体１０の貫通孔１０Ｈ内に成形材料を塗布して
成形材料層２０Ａを形成し、更に、成形材料層２０Ａ上
に上型３１を配置する。

【００５２】ここで、金型３０における上型３１および
下型３６は、それぞれ以下のような構成のものである。
上型３１においては、強磁性体基板３２の下面に、目的
とする異方導電性シートの導電路形成部１１の配置パタ
ーンに対掌なパターンに従って強磁性体層３３が形成さ
れ、この強磁性体層３３以外の個所には非磁性体層３４
が形成されている。一方、下型３６においては、強磁性
体基板３７の上面に、形成すべき異方導電性シート本体
２０の導電路形成部２１の配置パターンと同一のパター
ンに従って強磁性体層３８が形成され、この強磁性体層
３８以外の個所には非磁性体層３９が形成されている。
上型３１および下型３６の各々における強磁性体基板３
２，３７および強磁性体層３３，３８を構成する材料と
しては、鉄、ニッケル、コバルトまたはこれらの合金な
どを用いることができる。また、上型３１および下型３
６の各々における非磁性体部分３４，３９を構成する材
料としては、銅などの非磁性金属、ポリイミドなどの耐
熱性樹脂、放射線硬化性樹脂などを用いることができ
る。そして、支持シート体１０は、その貫通孔１０Ｈが
下型３６の強磁性体層３８上に位置するよう配置され、
上型３１は、その強磁性体層３３が下型３６の強磁性体
層３８の上方に位置するよう配置されている。

【００５３】次いで、上型３１における強磁性体基板３
２の上面および下型３６における強磁性体基板３７の下
面に、電磁石または永久磁石を配置し、強度分布を有す
る平行磁場、すなわち上型３１の強磁性体層３３とこれ
に対応する下型３６の強磁性体層３８との間において大
きい強度を有する平行磁場を成形材料層２０Ａの厚み方
向に作用させる。その結果、成形材料層２０Ａにおいて
は、図１０に示すように、当該成形材料層２０Ａ中に分
散されている導電性粒子Ｐが、上型３１の強磁性体層３
３とこれに対応する下型３６の強磁性体層３８との間に
位置する部分に集合すると共に、厚み方向に並ぶよう配
向する。以上において、成形材料２０Ａに作用される平
行磁場の強度は、上型３１の強磁性体層３３とこれに対
応する下型３６の強磁性体層３８との間において平均で
０．０２〜１．５Ｔとなる大きさが好ましい。

【００５４】そして、この状態において、成形材料層２
０Ａを硬化処理することにより、支持シート体１０の貫
通孔１０Ｈ内に、エラストマー中に導電性粒子Ｐが密に
充填された導電部１１が形成されると共に、上型３１の
強磁性体層３３とこれに対応する下型３６の強磁性体層
３８との間に配置された、シート基体２１中に導電性粒
子Ｐが密に含有された導電路形成部２２と、導電性粒子
Ｐが全くあるいは殆ど存在しない定常導電部２３とより
なる異方導電性シート本体２０が、支持シート体１０上
に一体的に形成され、以て図８に示す構成の異方導電性
シートが得られる。

【００５５】上記の構成の異方導電性シートによれば、
異方導電性シート本体２０におけるシート基体２１は、
導電性付与物質が含有されることによって無加圧の状態
で導電性を示すものであるため、無加圧の状態または若
しくは小さい力で厚み方向に加圧した状態においては、
当該シート基体２１の電気特性に応じた導電性を示し、
しかも、シート基体２１中にその厚み方向に並ぶよう配
向した状態で導電性粒子Ｐが密に含有されてなる導電路
形成部２２が形成されているため、大きい力で厚み方向
に加圧した状態においては、導電路形成部２２に導電性
粒子Ｐの連鎖によってシート基体２１の厚み方向に伸び
る導電路が形成されるので、これにより、無加圧の状態
または若しくは小さい力で厚み方向に加圧した状態より
も高い導電性を示す。また、異方導電性シート本体２０
は、支持シート体１０上に支持されているため、当該異
方導電性シートにその面方向に張力が作用しても、当該
異方導電性シート本体２０に作用する張力は支持シート
体１０によって抑制される結果、厚み方向の導電性の変
化がなくまたは少なく、更に、容易に破断することが防
止される。

【００５６】〔第４の実施の形態〕図１１は、本発明の
第４の実施の形態に係る異方導電性シートの構成を示す
説明用断面図であり、図１２は、図１１に示す異方導電
性シートの一部を拡大して示す説明用断面図である。こ
の異方導電性シートにおいては、その異方導電性シート
本体２０におけるシート基体２１が、定常導電部２３の
上面が導電路形成部２２の上面から突出した状態に形成
されており、それ以外は、前述の第３の実施の形態と同
様の構成である。

【００５７】異方導電性シート本体２０における導電路
形成部２２の上面からの定常導電部２３の突出高さｈ
は、当該異方導電性シートの使用目的に応じて適宜設定
されるが、当該定常導電部２３の厚みｄの５〜５０％で
あることが好ましく、より好ましくは１０〜４０％、特
に好ましくは２０〜３０％である。定常導電部２３の突
出高さが過小である場合には、被接続体によって小さい
加圧力で加圧されたときにも、当該被接続体に導電路形
成部２２が接触してしまい、所期の電気抵抗値が得られ
ないことがある。一方、定常導電部２３の突出高さが過
大である場合には、被接続体によって相当に大きい加圧
力で加圧されても、当該被接続体に導電路形成部２２が
接触せず、所期の導電性が得られないことがある。ま
た、定常導電部２３の厚みは、例えば０．０２〜２ｍ
ｍ、好ましくは０．０５〜０．５ｍｍである。

【００５８】このような異方導電性シートにおいては、
定常導電部２３の体積固有抵抗が１×１０⁷〜１×１０
¹²Ω・ｍであることが好ましく、より好ましくは１×１
０⁸〜１×１０¹¹Ω・ｍ、特に好ましくは１×１０⁹〜
１×１０¹⁰Ω・ｍである。また、異方導電性シート本体
２０の表面に占める導電路形成部２２の表面の面積の割
合は、当該異方導電性シートの使用目的に応じて適宜設
定されるが、被接続体によって大きい力で加圧されたと
きに、導電路形成部２２が当該被接続体に確実に接触さ
れる点で、４０〜８０％、特に５０〜７０％であること
が好ましい。

【００５９】以上のような異方導電性シートは、金型と
して図１３に示す構成のものを用いること以外は、前述
の第３の実施の形態と同様にして製造することができ
る。図１３に示す金型を具体的に説明すると、この金型
３０は、上型３１と、これと対となる下型３６と、枠状
のスペーサー３５とにより構成されている。上型３１に
おいては、強磁性体基板３２の下面に、目的とする異方
導電性シート本体２０の導電路形成部２２の配置パター
ンに対掌なパターンに従って強磁性体層３３が形成さ
れ、この強磁性体層３３以外の個所には、当該強磁性体
層３３より小さい厚みを有する非磁性体層３４が形成さ
れている。一方、下型３６においては、強磁性体基板３
７の上面に、目的とする異方導電性シート本体２０の導
電路形成部２２の配置パターンと同一のパターンに従っ
て強磁性体層３８が形成され、この強磁性体層３８以外
の個所には、当該強磁性体層３８と同等の厚みを有する
非磁性体層３９が形成されている。上型３１および下型
３６の各々における強磁性体基板３２，３７および強磁
性体層３３，３８を構成する材料、並びに非磁性体部分
３４，３９を構成する材料は、前述の第３の実施の形態
における金型３０と同様である。

【００６０】上記の構成の異方導電性シートによれば、
定常導電部２３の上面が導電路形成部２２の上面から突
出した状態に形成されているため、被接続体が定常導電
部２３に単に接触した状態すなわち無加圧の状態若しく
は被接続体によって定常導電部２３が小さい力で厚み方
向に加圧された状態においては、当該被接続体が導電路
形成部２２に接触せず、その結果、定常導電部２３によ
ってその電気特性および非接続体と当該定常導電部２３
との接触面積に応じた導電性を示す。しかも、被接続体
によって定常導電部２３が大きい力で厚み方向に加圧さ
れた状態においては、当該定常導電部２３が大きく圧縮
されて当該被接続体が導電路形成部２２に接触し、更に
は当該導電路形成部２２が加圧され、その結果、導電路
形成部２２には、導電性粒子Ｐの連鎖によって厚み方向
に伸びる導電路が形成されるので、定常導電部２３およ
び導電路形成部２２に形成される導電路の両方により、
無加圧の状態または若しくは小さい力で厚み方向に加圧
した状態よりも高い導電性を示す。また、異方導電性シ
ート本体２０は、支持シート体１０上に支持されている
ため、当該異方導電性シートにその面方向に張力が作用
しても、当該異方導電性シート本体２０に作用する張力
は支持シート体１０によって抑制される結果、厚み方向
の導電性の変化がなくまたは少なく、更に、容易に破断
することが防止される。

【００６１】〔第５の実施の形態〕図１４は、本発明の
第５の実施の形態に係る異方導電性シートの構成を示す
説明用断面図であり、図１５は、図１４に示す異方導電
性シートの一部を拡大して示す説明用断面図である。こ
の異方導電性シートにおいては、支持シート体１０上
に、異方導電性シート本体２０が一体的に積層されて設
けられ、この異方導電性シート本体２０は、絶縁性のエ
ラストマー中に導電性付与物質が含有されてなり、その
上面には、上方に突出する柱状の多数の突出部２５が形
成されており、これらの突出部２５の各々は、実質上同
一の突出高さを有し、例えば格子点位置に従って互いに
離間して配置されている。支持シート体１０は、前述の
第１の実施の形態と同様の構成である。

【００６２】異方導電性シート本体２０を構成する絶縁
性のエラストマーとしては、前述の第１の実施の形態に
おけるシート基体２１を構成するエラストマーと同様の
ものを用いることができる。また、異方導電性シート本
体２０を構成する導電性付与物質としては、非磁性のも
のおよび磁性を示すものを用いることができる。非磁性
の導電性付与物質としては、前述の第１の実施の形態に
おけるシート基体２１を構成する導電性付与物質と同様
のものを用いることができる。磁性を示す導電性付与物
質としては、前述の第１の実施の形態における導電性粒
子を構成する材料と同様のものを用いることができる。

【００６３】このような異方導電性シート本体２０を構
成する材料の体積固有抵抗は、異方導電性シートの使用
目的および要求される導電性などに応じて適宜選定され
るが、１×１０⁷〜１×１０¹²Ω・ｍであることが好ま
しく、より好ましくは１×１０⁸〜１×１０¹¹Ω・ｍ、
特に好ましくは１×１０⁹〜１×１０¹⁰Ω・ｍである。

【００６４】突出部２５の径および配置ピッチは、異方
導電性シートの使用目的に応じて適宜設定されるが、被
接続体によって大きい力で加圧されたときに、突出部２
５が当該被接続体に確実に接触される点で、突出部２５
の径が０．０２〜２ｍｍ、特に０．０５〜０．４ｍｍで
あることが好ましく、突出部２５の配置ピッチが０．０
３〜２．５４ｍｍ、特に０．０５〜０．５ｍｍであるこ
とが好ましい。異方導電性シート本体２０の表面に占め
る突出部２５の表面の面積の割合は、異方導電性シート
の使用目的などに応じて適宜設定されるが、０．０１〜
１５％であることが好ましく、より好ましくは０．１〜
１０％、特に好ましくは０．５〜５％である。

【００６５】突出部２５の突出高さｈは、異方導電性シ
ートの使用目的に応じて適宜設定されるが、当該突出部
２５が位置する個所の厚みｄの５〜５０％であることが
好ましく、より好ましくは１０〜４０％、特に好ましく
は１５〜３０％である。突出部２５の突出高さｈが過小
である場合には、被接続体によって小さい加圧力で加圧
されたときにも、当該被接続体が突出部２５以外の個所
にも接触してしまい、所期の電気抵抗値が得られないこ
とがある。一方、突出部２５の突出高さが過大である場
合には、被接続体によって相当に大きい加圧力で加圧さ
れても、当該被接続体が突出部２５以外の個所に接触せ
ず、所期の導電性が得られないことがある。また、異方
導電性シート本体２０における突出部２５が位置する個
所の厚みｄは、例えば０．０２〜２ｍｍ、好ましくは
０．０５〜０．５ｍｍである。

【００６６】異方導電性シート本体２０の導電性の程度
は、当該異方導電性シートの使用目的に応じて適宜設定
されるが、具体的には、被接続体が異方導電性シート本
体２０における突出部２５の表面に接触した状態すなわ
ち無加圧の状態、または被接続体によって当該被接続体
が異方導電性シート本体２０における突出部２５以外の
表面に接触しない程度の小さい力で加圧された状態にお
いては、当該異方導電性シート本体２０における厚み方
向の体積固有抵抗（隣接する突出部間の空間を含む見か
け上の値。以下、「体積固有抵抗Ｒ₀」という。）が１
×１０⁷〜１×１０¹²Ω・ｍの範囲にあることが好まし
く、より好ましくは１×１０⁸〜１×１０¹¹Ω・ｍ、特
に好ましくは１×１０⁹〜１×１０¹⁰Ω・ｍである。一
方、被接続体によって当該被接続体が異方導電性シート
本体２０における突出部２５以外の表面に接触するまた
は突出部２５以外の表面を加圧する程度の大きい力で加
圧された状態においては、当該異方導電性シート本体２
０における厚み方向の体積固有抵抗（以下、「体積固有
抵抗Ｒ₁」という。）は、体積固有抵抗Ｒ₀と体積固有
抵抗Ｒ₁との比（Ｒ₀／Ｒ₁）が１×１０〜１×１０⁴
となる範囲にあることが好ましく、より好ましくは比
（Ｒ₀／Ｒ₁）が２×１０〜１×１０³となる範囲、特
に好ましくは比（Ｒ₀／Ｒ₁）が５×１０〜５×１０²
となる範囲である。

【００６７】以上のような異方導電性シートは、例えば
以下のようにして製造することができる。先ず、硬化処
理によって絶縁性のエラストマーとなる高分子物質形成
材料と、導電性付与物質と混合することにより、成形材
料を調製する。そして、成形面に形成すべき異方導電性
シート本体の突出部に対応して形成された凹所を有する
上型と、平面な成形面を有する下型とよりなる金型を容
易し、この金型における下型の上面に、支持シート体１
０を載置し、この支持シート体１０上に、矩形の枠状の
スペーサーを配置すると共に、当該スペーサーによって
囲まれた領域に成形材料を塗布して成形材料層を形成
し、更に、成形材料層上に上型を配置する。その後、成
形材料層を硬化処理することにより、異方導電性シート
本体２０が支持シート体１０上に一体的に形成され、以
て図１４に示す構成の異方導電性シートが得られる。以
上において、シート成形材料層の硬化処理は、使用され
る材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によ
って行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、シ
ート成形材料層を構成する高分子物質用材料などの種類
などを考慮して適宜設定される。

【００６８】上記の構成の異方導電性シートによれば、
異方導電性シート本体２０の上面に多数の突出部２５が
形成されているため、異方導電性シート本体２０の突出
部２５の上面に被接続体が接触した状態すなわち無加圧
の状態若しくは被接続体によって当該異方導電性シート
本体２０の上面が小さい力で厚み方向に加圧された状態
においては、当該被接続体は突出部２５の表面のみに接
触し、それ以外の個所には接触せず、その結果、被接続
体と突出部２５との接触面積に応じた導電性を示す。一
方、被接続体によって異方導電性シート本体２０の上面
が大きい力で厚み方向に加圧された状態においては、突
出部２５が大きく圧縮されて当該被接続体が異方導電性
シートの上面における突出部２５以外の個所にも接触
し、その結果、被接続体と突出部２５およびそれ以外の
個所との接触面積に応じた導電性を示す。従って、被接
続体によって大きい力で厚み方向に加圧された状態にお
いては、無加圧の状態または若しくは小さい力で厚み方
向に加圧した状態に比較して、当該被接続体と異方導電
性シート本体２０との接触面積が大きくなるので、高い
導電性を示す。また、異方導電性シート本体２０は、支
持シート体１０上に支持されているため、当該異方導電
性シートにその面方向に張力が作用しても、当該異方導
電性シート本体２０に作用する張力は支持シート体１０
によって抑制される結果、厚み方向の導電性の変化がな
くまたは少なく、更に、容易に破断することが防止され
る。

【００６９】〔その他の実施の形態〕以上、本発明の異
方導電性シートに係る第１の実施の形態〜第５の実施の
形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態
に限られず、以下のように種々の変更を加えることが可
能である。

【００７０】（１）図１６に示すように、支持シート体
１０および異方導電性シート本体２０は、それぞれ無端
ベルト状に形成されていてもよい。ここで、支持シート
体１０および異方導電性シート本体２０としては、上記
の第１の実施の形態〜第５の実施の形態のいずれの態様
のものも用いることができる。

【００７１】このような異方導電性シートは、以下のよ
うにして製造することができる。図１７は、図１６に示
す構成の異方導電性シートを製造するための製造装置の
一例における構成を示す説明用断面図であり、この製造
装置は、異方導電性シート本体が導電路形成部を有する
異方導電性シートを製造するためのものである。図１７
において、４０は、無端ベルト状の支持シート体１０を
移動させるための移動手段であって、送り出しロール４
１と、この送り出しロール４１に並行に設けられた引き
取りロール４２と、送り出しロール４１および引き取り
ロール４２の各々の上方において、互いに並行に設けら
れた補助ロール４３，４４とにより構成されている。４
５は、支持シート体１０の表面に成形材料を塗布するた
めの成形材料塗布手段であって、成形材料が収納された
タンク４６と、このタンク４６から成形材料を供給する
供給ロール４７と、この供給ロールから供給された成形
材料を支持シート体１０の表面に塗布する塗布ロール４
８と、この塗布ロール４８の下方に設けられた支持ロー
ル４９とにより構成されている。

【００７２】５０は、支持シート体１０上に形成された
成形材料層２０Ａに対してその厚み方向に磁場を形成し
て作用させる磁場形成手段である。この磁場形成手段５
０においては、２つの回転ドラム５１，５６が、間隙Ｇ
を介して上下に並ぶよう配置され、回転ドラム５１，５
６は、その各々の基体の周面に積層された補強シート５
２，５７と、これらの補強シート５２，５７上に積層さ
れた磁極シート５３，５８を有する。磁極シート５３，
５８の各々は、形成すべき異方導電性シート本体の導電
路形成部のパターンに対応して配置された強磁性体部分
５３ａ，５８ａと、それ以外の個所に配置された非磁性
体部分５３ｂ，５８ｂとにより構成されている。また、
上側の回転ドラム５１の内部には、電磁石５４がその磁
極面５４ａが下方を向くよう配置され、一方、下側の回
転ドラム５６の内部には、電磁石５９がその磁極面５９
ａが上方を向くよう配置されている。

【００７３】補強シート５２，５７を構成する材料とし
ては、磁性を示すものおよび非磁性のもののいずれであ
ってもよいが、ＳＵＳ、ポリイミド、銅、真鍮等の高い
強度を有する材料が好ましい。また、この補強シート５
２，５７は必要に応じて用いられるものであり、回転ド
ラム５１，５６は、基体の周面に磁極シート５３，５８
のみが積層されたものであってもよい。磁極シート５
３，５８における強磁性体部分５３ａ，５８ａおよび非
磁性体部分５３ｂ，５８ｂを構成する材料としては、前
述の第３の実施の形態における金型３０の強磁性体層３
３，３８および非磁性体層３４，３９を構成する材料と
同様のものを用いることができる。補強シート５２，５
７および磁極シート５３，５８の厚みは、特に限定され
るものではないが、回転ドラム５１，５６の作製が容易
となる点で、必要な強度が得られる範囲において厚みが
小さいものが好ましい。また、磁極シート５３，５８に
おける強磁性体部分５３ａ，５８ａの幅または直径に対
する強磁性体部分５３ａ，５８ａの厚み（磁極５３，５
８の厚み）の比は、０．２以上であることが好ましく、
より好ましくは０．３以上、特に好ましくは０．５以上
である。

【００７４】６０は、支持シート体１０上に形成された
成形材料層２０Ａを硬化処理する硬化処理手段であっ
て、上下方向に互いに対向するよう配置された２つの平
板状のヒーター６１，６６を有し、上側のヒーター６１
の上面には、互いに離間して配置された小型電磁石６
２，６３が設けられており、一方、下側のヒーター６６
の下面の各々には、互いに離間して配置された、小型電
磁石６２，６３に対応する小型電磁石６７，６８が設け
られている。

【００７５】上記の製造装置においては、以下のように
して支持シート体１０上に異方導電性シート本体２０が
形成される。先ず、無端ベルト状の支持シート体１０
を、成形材料塗布手段４５における塗布ロール４８と支
持ロール４９との間、磁場形成手段における回転ドラム
５１，５６の間（間隙Ｇ）、および硬化処理手段６０に
おけるヒーター６１，６６の間に通過させた状態で、移
動手段４０における送り出しロール４１、補助ロール４
３，４４および引き取りロール４２に巻き付ける。そし
て、移動手段４０においては、送り出しロール４１およ
び／または引き取りロール４２が図１７において時計周
りに回転駆動されることにより、支持シート体１０が矢
印Ａの方向に移動する。ここで、支持シート体１０の移
動速度は適宜設定され、例えば１０ｃｍ／分程度であ
る。成形材料塗布手段４５においては、供給ロール４７
が矢印方向に回転することによって、タンク４６内の成
形材料が当該供給ロール４７の表面に付着し、当該供給
ロール４７に付着した成形材料が塗布ロール４８に転写
される。そして、塗布ロール４８によって、成形材料が
当該塗布ロール４８と支持ロール４９との間を通過する
支持シート体１０の表面に塗布されることにより、当該
支持シート体１０の表面に成形材料層２０Ａが形成され
る。

【００７６】磁場形成手段５０においては、回転ドラム
５１，５６の各々が、支持シート体１０の移動速度と同
一の周速度でそれぞれ矢印Ｂおよび矢印Ｃの方向に回転
する。そして、回転ドラム５１，５６の間の間隙Ｇを通
過する、支持シート体１０上に形成された成形材料層２
０Ａに対して、電磁石５４，５９によって、磁極シート
５３，５８を介して当該成形材料２０Ａの厚み方向に磁
場を作用させることにより、成形材料層２０Ａ中に分散
されている導電性粒子を所要の個所に集合させると共
に、当該成形材料層２０Ａの厚み方向に並ぶよう配向さ
せる。硬化処理手段６０においては、ヒーター６１，６
６によって、それらの間を通過する成形材料層２０Ａが
加熱されて硬化される。このとき、小型電磁石６２，６
３，６７，６８によって、成形材料層２０Ａには、その
厚み方向に磁場が作用されるため、当該成形材料層２０
Ａ中の導電性粒子の配向状態が維持される。以上のよう
にして、支持シート体１０上に異方導電性シート本体２
０が形成される。

【００７７】このような異方導電性シートによれば、支
持シート体１０および異方導電性シート本体２０の各々
が継ぎ目のない無端ベルト状に形成されているため、ロ
ール等に巻き付けて使用する場合には、異方導電性シー
ト本体２０の表面全面を有効に利用することができる。

【００７８】（２）本発明においては、図１８に示すよ
うに、支持シート体１０と異方導電性シート本体２０と
の間の界面Ｆ１が粗面であることが好ましい。具体的に
は、例えば粗面とされた支持シート体１０の表面に、異
方導電性シート本体２０が密着した状態で一体的に形成
されることにより、支持シート体１０と異方導電性シー
ト本体２０との間の界面が粗面とされている。支持シー
ト体１０と異方導電性シート本体２０との間の界面Ｆ１
の表面粗さは、０．１〜１０μｍであることが好まし
く、より好ましくは０．５〜７．５μｍ、特に好ましく
は１〜５μｍである。本発明において、「表面粗さ」と
は、ＪＩＳＢ０６０１による中心線平均粗さＲａをい
う。この表面粗さが０．１μｍ以上であれば、支持シー
ト体１０に対して異方導電性シート本体２０を高い強度
で接着した状態で確実に形成することができる。一方、
この表面粗さが１０μｍ以下であれば、支持シート体１
０と異方導電性シート本体２０とを確実に密着させた状
態で形成することができる。ここで、支持シート体１０
の表面を粗面化処理する方法としては、サンドブラスト
処理による方法、サンドペーパー処理による方法、エッ
チング処理による方法などを利用することができる。こ
のような構成によれば、支持シート体１０と異方導電性
シート本体２０との間の界面Ｆ１が粗面とされることに
より、支持シート体１０上に高い強度で接着された状態
の異方導電性シート本体２０が得られるため、例えば異
方導電性シートをロール等に巻き付けて長時間使用した
ときにも、異方導電性シート本体２０が支持シート体１
０から剥離することが防止または抑制される。

【００７９】（３）図１９に示すように、異方導電性シ
ート本体２０は、その裏面から突出して支持シート体１
０を貫通して伸びる固定部２６を有し、当該固定部２６
と支持シート体１０との界面Ｆ２が粗面である構成であ
ってもよい。具体的には、支持シート体１０にその厚み
方向に伸びる貫通孔が形成され、当該貫通孔の内面が粗
面とされており、この貫通孔の内面に異方導電性シート
本体２０の固定部２６が密着した状態で一体的に形成さ
れることにより、異方導電性シート２０における固定部
２６と支持シート体１０との間の界面Ｆ２が粗面とされ
ている。異方導電性シート２０における固定部２６と支
持シート体１０との界面Ｆ２の表面粗さおよび支持シー
ト体１０の貫通孔内面を粗面化処理する方法は、上記
（２）における支持シート体１０と異方導電性シート本
体２０との間の界面Ｆ１の表面粗さおよび支持シート体
１０の表面を粗面化処理する方法と同様である。このよ
うな構成によれば、異方導電性シート本体２０の裏面か
ら突出する固定部２６が支持シート体１０を貫通して伸
び、当該固定部２６と支持シート体１０との界面Ｆ２が
粗面とされることにより、異方導電性シート本体２０が
支持シート体２１上に高い強度で保持されるため、例え
ば異方導電性シートをロール等に巻き付けて長時間使用
したときにも、異方導電性シート本体２０が支持シート
体１０から剥離することが防止または抑制される。

【００８０】（４）図２０に示すように、支持シート体
１０には、プリント配線１２が形成されていてもよく、
このような構成によれば、当該支持シート体１０のプリ
ント配線を利用して電気的接続を達成することができ
る。（５）第２の実施の形態において、シート基体２１に
は、非磁性の導電性付与物質が含有されていてもよい。

【００８１】（６）第５の実施の形態において、図２１
および図２２に示すように、異方導電性シート本体２０
の上面には、上方に突出する柱状の多数の第１の突出部
２７が形成され、この第１の突出部２７の各々の上面に
は、当該第１の突出部２７の上面から上方に突出する柱
状の第２の突出部２８が形成されていてもよい。このよ
うな異方導電性シート本体２０においては、第１の突出
部２７の各々は、実質上同一の突出高さを有し、第２の
突出部２８の各々は、実質上同一の高さを有する。ま
た、第１の突出部２７は、例えば格子位置に従って互い
に離間して配置され、第２の突出部２８は、第１の突出
部２７の上面の中央に配置されている。

【００８２】この異方導電性シートにおいては、異方導
電性シート本体２０における第１の突出部２７および第
２の突出部２８の径および配置ピッチは、異方導電性シ
ートの使用目的に応じて適宜設定されるが、第１の突出
部２７の径が０．１〜１ｍｍ、特に０．２〜０．８ｍｍ
であることが好ましく、第２の突出部２８の径が０．０
２〜０．１ｍｍ、特に０．０４〜０．０８ｍｍであるこ
とが好ましく、第１の突出部２７および第２の突出部２
８の配置ピッチが０．２〜２．５４ｍｍ、特に０．２５
〜２ｍｍであることが好ましい。異方導電性シート本体
２０の表面に占める第１の突出部２７の表面（第２の突
出部２８の表面を含まない）の面積の割合および第２の
突出部２８の表面の割合は、異方導電性シートの使用目
的などに応じて適宜設定されるが、第１の突出部２７が
１〜１０％、特に２〜５％であることが好ましく、第２
の突出部２８が０．０１〜０．１％、特に０．０２〜
０．０８％であることが好ましい。また、第１の突出部
２７の表面の面積と第２の突出部２８の表面の面積との
比は、（第１の突出部２７の表面の面積）／（第２の突
出部２８の表面の面積）が１×１０^-4〜４×１０^-2、特
に４×１０^-4〜１×１０^-2であることが好ましい。

【００８３】また、第１の突出部２７の突出高さｈ１お
よび第２の突出部２８の突出高さｈ２は、異方導電性シ
ートの使用目的に応じて適宜設定されるが、第１の突出
部２７の突出高さｈ１および第２の突出部２８の突出高
さｈ２の合計が、第２の突出部２８が位置する個所の厚
みｄの５〜５０％であることが好ましく、より好ましく
は１０〜４０％、特に好ましくは１５〜３０％である。
また、第１の突出部２７の突出高さｈ１は、第２の突出
部２８が位置する個所の厚みｄの３〜４０％であること
が好ましく、より好ましくは５〜３０％、特に好ましく
は７〜２５％であり、第２の突出部２８の突出高さｈ２
は、第２の突出部２８が位置する個所の厚みｄの２〜３
０％であることが好ましく、より好ましくは２．５〜２
５％、特に好ましくは５〜２０％である。また、第１の
突出部２７の突出高さｈ１と第２の突出部２８の突出高
さｈ２との比（ｈ１／ｈ２）は、０．８〜２であること
が好ましく、より好ましくは１〜１．８、特に好ましく
は１．２〜１．５である。また、異方導電性シート本体
２０における第２の突出部２８が位置する個所の厚みｄ
は、例えば０．０２〜２ｍｍ、好ましくは０．０５〜
０．５ｍｍである。

【００８４】このような異方導電性シート本体２０の導
電性の程度は、当該異方導電性シートの使用目的に応じ
て適宜設定される。具体的には、被接続体が異方導電性
シート本体２０における第２の突出部２８の表面に接触
した状態すなわち無加圧の状態、または被接続体によっ
て当該被接続体が異方導電性シート本体２０における第
２の突出部２８以外の表面に接触しない程度の小さい力
で加圧された状態（以下、「低加圧状態」という。）に
おいては、当該異方導電性シート本体２０における厚み
方向の体積固有抵抗（隣接する第１の突出部および第２
の突出部間の空間を含む見かけ上の値。以下、「体積固
有抵抗Ｒ₁₀」という。）が１×１０⁷〜１×１０¹²Ω・
ｍの範囲にあることが好ましく、より好ましくは１×１
０⁸〜１×１０¹¹Ω・ｍ、特に好ましくは１×１０⁹〜
１×１０¹⁰Ω・ｍである。また、被接続体によって当該
被接続体が異方導電性シート本体２０における第１の突
出部２７の表面に接触する程度の力、または第１の突出
部２７および第２の突出部２８の両方を加圧し、それら
以外の表面に接触しない程度の力で加圧された状態（以
下、「中加圧状態」という。）においては、当該異方導
電性シート本体２０における厚み方向の体積固有抵抗
（隣接する第１の突出部間の空間を含む見かけ上の値。
以下、「体積固有抵抗Ｒ₁₁」という。）が、体積固有抵
抗Ｒ₁₀と体積固有抵抗Ｒ₁₁との比（Ｒ₁₀／Ｒ₁₁）が１×
１０^-4〜４×１０^-2となる範囲にあることが好ましく、
より好ましくは比（Ｒ₁₀／Ｒ₁₁）が４×１０^-4〜１×１
０^-2となる範囲、特に好ましくは比（Ｒ₁₀／Ｒ₁₁）が１
×１０^-3〜５×１０^-2となる範囲である。また、被接続
体によって当該被接続体が異方導電性シート本体２０に
おける第１の突出部２７および第２の突出部２８以外の
表面に接触するまたは第１の突出部２７および第２の突
出部２８以外の表面を加圧する程度の力で加圧された状
態（以下、「高加圧状態」という。）においては、当該
異方導電性シート本体２０における厚み方向の体積固有
抵抗（以下、「体積固有抵抗Ｒ₁₂」という。）は、体積
固有抵抗Ｒ₁₁と体積固有抵抗Ｒ₁₂との比（Ｒ₁₁／Ｒ₁₂）
が１×１０^-2〜２×１０^-1となる範囲にあることが好ま
しく、より好ましくは比（Ｒ₁₁／Ｒ₁₂）が２×１０^-2〜
１×１０^-1となる範囲、特に好ましくは比（Ｒ₁₁／
Ｒ₁₂）が４×１０ ^-2〜８×１０^-2となる範囲である。

【００８５】上記の構成の異方導電性シートによれば、
異方導電性シート本体２０の上面に多数の第１の突出部
２７およびその上面から突出する第２の突出部２８が形
成されているため、異方導電性シート本体２０における
第２の突出部２８の上面に被接続体が接触した状態すな
わち無加圧の状態若しくは低加圧状態においては、当該
被接続体は第２の突出部２８の表面のみに接触し、それ
以外の個所には接触せず、その結果、被接続体と第２の
突出部２８との接触面積に応じた導電性を示す。また、
中加圧状態においては、第１の突出部２７の上面にも接
触し、その結果、被接続体と第１の突出部２７および第
２の突出部２８との接触面積に応じた導電性を示す。従
って、中加圧状態においては、無加圧の状態または低加
圧状態に比較して、当該被接続体と異方導電性シート本
体２０との接触面積が大きくなるので、高い導電性を示
す。更に、高加圧状態においては、第１の突出部２７お
よび第２の突出部２８以外の上面にも接触し、その結
果、被接続体と、第１の突出部２７、第２の突出部２８
およびそれら以外の個所との接触面積に応じた導電性を
示す。従って、高加圧状態においては、中加圧状態に比
較して、当該被接続体と異方導電性シート本体２０との
接触面積が大きくなるので、高い導電性を示す。このよ
うに、上記の異方導電性シートによれば、厚み方向にお
ける加圧状態を変化させることにより、厚み方向の導電
性を段階的に変化させることができる。

【００８６】〔異方導電性シートの使用形態〕本発明の
異方導電性シートは、従来の異方導電性シートと同様に
して、平面な表面を有するもの、例えば回路基板や電子
部品など表面に配置されて使用することもできるが、図
２３に示すように、異方導電性シート１をロール３の表
面に巻き付けた状態で、当該異方導電性シート１を加圧
ロール４によって加圧する態様で使用することができ、
或いは図２４に示すように、異方導電性シート１を複数
（図示の例では３つ）のロール５，６，７の表面に巻き
付けた状態で、当該異方導電性シート１を加圧ロール４
によって加圧する態様で使用することができる。

【００８７】具体的には、以下のような使用形態を挙げ
ることができる。本発明の異方導電性シートにおいて
は、その一面に被接続体を接触させるまたは小さい力で
加圧することにより、当該被接続体の表面における静電
気、静電容量、イオン量などの電気量の微視的な面分布
状態を、当該異方導電性シートの表面に転写保持するこ
とができ、更に、異方導電性シートの一面に被接続体を
大きい力で加圧することにより、当該異方導電性シート
の他面に、転写保持された電気量の微視的な面分布状態
を移動させることができる。具体的には、本発明の異方
導電性シートは、例えばプリント配線基板などの静電容
量方式の電気的検査装置において、検査対象物の表面の
静電容量分布を計測部に移動するためのセンサー部とし
て有用であり、このような電気的検査装置によれば、検
査対象物の表面の静電容量分布を二次元画像として表現
することができる。また、本発明の異方導電性シート
は、従来の異方導電性シートが利用されている種々の用
途、例えば回路装置相互間の電気的な接続を達成するた
めのコネクターとして、あるいは回路装置の電気的検査
に用いられるコネクターとして利用することができる。

【００８８】また、本発明の異方導電性シートは、導電
性粒子Ｐとして適宜のものを用いることにより、当該導
電性粒子Ｐによる連鎖が熱伝導路として機能するため、
放熱シートなどの熱伝導性シートとして利用することが
できる。例えば電子装置の発熱部品等の発熱体に本発明
の異方導電性シートを接触させ、当該異方導電性シート
をその厚み方向に断続的に繰り返して加圧することによ
り、発熱体から一定の熱量が異方導電性シートを介して
断続的に放熱し、その結果、発熱体の温度を一定に維持
することができる。また、本発明の異方導電性シート
は、電磁放射の吸収シートとして用いることができ、こ
れにより、例えば電子部品等から発生する電磁的ノイズ
を低減することができる。

【００８９】

【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。ま
た、以下の実施例において、支持シート体の表面粗さ
は、ＪＩＳＢ０５６０１による中心平均粗さＲａであ
って、カットオフ値０．８ｍｍ、測定長さ０．２５ｍｍ
の条件で測定されたものである。

【００９０】〈実施例１〉付加型液状シリコーンゴム１
００重量部中に、導電性粒子８０重量部と、非磁性の導
電性付与物質１０重量部とを添加して混合することによ
り、シート成形材料を調製した。以上において、導電性
粒子としては、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト（戸田工業株式
会社製「ＢＳＦ−５４７」、数平均粒子径２１．９μ
ｍ）を用い、非磁性の導電性付与物質として、アモルフ
ァスカーボン粒子（ユニチカ社製「ＧＣＰ−Ｈ」，数平
均粒子径７μｍ）を用いた。

【００９１】それぞれ厚みが５ｍｍの矩形の鉄板よりな
る上型および下型と、厚みが０．１５ｍｍの矩形の枠状
のスペーサーとよりなる異方導電性シート成形用の金型
を用意した。上記の金型における下型の表面に、厚みが
０．１ｍｍで、表面粗さが５．５μｍのＳＵＳ３０４
（ステンレス）よりなる支持シート体を載置し、この支
持シート体上に、スペーサーを配置すると共に、当該ス
ペーサーによって囲まれた領域に上記の成形材料を塗布
して成形材料層を形成し、更に、成形材料層に上型を配
置した。次いで、上型の上面および下型の下面に電磁石
を配置し、成形材料層に対し、その厚み方向に１．０Ｔ
の平行磁場を作用させながら、１００℃、２時間の条件
で、当該シート成形材料層の硬化処理を行うことによ
り、支持シート体上に厚みが０．１５ｍｍの異方導電性
シート本体を形成し、以て異方導電性シートを製造し
た。この異方導電性シートにおける異方導電性シート本
体のシート基体中の導電性粒子の割合は、体積分率で１
５％であった。

【００９２】〈実施例２〉付加型液状シリコーンゴム１
００重量部中に、導電性繊維６０重量部と、導電性粒子
８０重量部とを添加して混合することにより、シート成
形材料を調製した。以上において、導電性繊維として
は、磁性ステンレスＳＵＳ４３０Ｌ短繊維（虹技製，平
均長さ０．２ｍｍ，平均径３０μｍ）に液状ポリイミド
樹脂材料によって８０％の被覆率で表面コートし、温度
２００℃で硬化処理したものを用い、導電性粒子とし
て、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライト（戸田工業株式会社製「Ｋ
ＮＳ−５４７」、数平均粒子径２３．３μｍ）を用い
た。

【００９３】それぞれ厚みが５ｍｍの矩形の鉄板よりな
る上型および下型と、厚みが０．２ｍｍの矩形の枠状の
スペーサーとよりなる異方導電性シート成形用の金型を
用意した。上記の金型における下型の表面に、厚みが
０．０５ｍｍで、表面粗さが３．５μｍのＳＵＳ３０４
（ステンレス）よりなる支持シート体を載置し、この支
持シート体上に、スペーサーを配置すると共に、当該ス
ペーサーによって囲まれた領域に上記の成形材料を塗布
して成形材料層を形成し、更に、成形材料層に上型を配
置した。次いで、上型の上面および下型の下面に電磁石
を配置し、成形材料層に対し、その厚み方向に０．５Ｔ
の平行磁場を作用させながら、１００℃、２時間の条件
で、当該シート成形材料層の硬化処理を行うことによ
り、支持シート体上に厚みが０．２ｍｍの異方導電性シ
ート本体を形成し、以て異方導電性シートを製造した。
この異方導電性シートの異方導電性シート本体のシート
基体中における導電性繊維の密度は８×１０³本／ｃｍ
²であり、導電性粒子の含有割合は体積分率で１５％で
あった。

【００９４】〈実施例３〉付加型液状シリコーンゴム１
００重量部中に、導電性粒子７０重量部と、非磁性の導
電性付与物質１５重量部とを添加して混合することによ
り、シート成形材料を調製した。以上において、導電性
粒子としては、Ｍｇ−Ｚｎ系フェライト（ティーディー
ケー社製「ＩＲ−ＢＯ」，数平均粒子径４．２μｍ）を
用い、非磁性の導電性付与物質として、アルキル基の炭
素数が５〜１５のナトリウムアルカンスルホネート（吸
湿導電性物質）を用いた。

【００９５】図９に示す構成に従い、下記の条件によ
り、異方導電性シート成形用金型を作製した。〔強磁性体基板〕材質：鉄，厚み：５ｍｍ〔強磁性体層〕材質：ニッケル，厚み：０．０５ｍｍ，径：０．０５ｍ
ｍ，ピッチ：０．１ｍｍ〔非磁性体層〕材質：銅，厚み：０．０５ｍｍ〔スペーサ〕厚み：０．２ｍｍ

【００９６】上記の金型における下型の表面に、厚みが
０．１５ｍｍで、表面粗さが７．２μｍのＳＵＳ３０４
（ステンレス）よりなる支持シート体を載置し、この支
持シート体上に、スペーサーを配置すると共に、当該ス
ペーサーによって囲まれた領域に上記の成形材料を塗布
して成形材料層を形成し、更に、成形材料層に上型を配
置した。次いで、上型の上面および下型の下面に電磁石
を配置し、成形材料層に対し、上型の強磁性体層と下型
の強磁性体層との間において、その厚み方向に０．７Ｔ
の平行磁場を作用させながら、１００℃、２時間の条件
で、当該成形材料層の硬化処理を行うことにより、支持
シート体上に厚みが０．２ｍｍの異方導電性シート本体
を形成し、以て異方導電性シートを製造した。この異方
導電性シートにおける異方導電性シート本体は、導電路
形成部の径が０．０５ｍｍ、ピッチが０．１ｍｍ、導電
路形成部の導電性粒子の割合は、体積分率で１３％であ
った。

【００９７】〈実施例４〉付加型液状シリコーンゴム１
００重量部中に、導電性粒子１３０重量部と、非磁性の
導電性付与物質３０重量部とを添加して混合することに
より、シート成形材料を調製した。以上において、導電
性粒子としては、カルボニル鉄（ＢＳＦ社製「ＳＬ」，
数平均粒子径９．２μｍ）の表面をＳｉＯ₂によって６
０％の被覆率で被覆して絶縁処理したもの（絶縁処理後
の数平均粒子径９．３μｍ）を用い、非磁性の導電性付
与物質としては、酸化亜鉛粉末を用いた。

【００９８】図１３に示す構成に従い、下記の条件によ
り、異方導電性シート成形用金型を作製した。〔強磁性体基板〕材質：鉄，厚み：５ｍｍ（上型および下型）〔強磁性体層〕材質：ニッケル，厚み：０．０８ｍｍ，径：０．０８ｍ
ｍ，ピッチ：０．１ｍｍ（上型），材質：ニッケル，厚み：０．０８ｍｍ，径：０．０８ｍ
ｍ，ピッチ：０．１ｍｍ（下型）〔非磁性体層〕材質：銅，厚み：０．０６ｍｍ（上型），材質：銅，厚み：０．０８ｍｍ（下型）〔スペーサ〕厚
み：０．１５ｍｍ

【００９９】上記の金型における下型の表面に、厚みが
０．０２５ｍｍで、表面粗さが２．１μｍのＳＵＳ３０
４（ステンレス）よりなる支持シート体を載置し、この
支持シート体上に、スペーサーを配置すると共に、当該
スペーサーによって囲まれた領域に上記の成形材料を塗
布して成形材料層を形成し、更に、成形材料層に上型を
配置した。次いで、上型の上面および下型の下面に電磁
石を配置し、成形材料層に対し、上型の強磁性体層と下
型の強磁性体層との間において、その厚み方向に１．０
Ｔの平行磁場を作用させながら、１２０℃、２時間の条
件で、当該成形材料層の硬化処理を行うことにより、支
持シート体上に異方導電性シート本体を形成し、以て本
発明の異方導電性シートを製造した。この異方導電性シ
ートにおける異方導電性シート本体は、導電路形成部の
径が０．０８ｍｍ、ピッチが０．１ｍｍ、表面に占める
導電路形成部の表面の面積の割合が５０％、定常導電部
の厚みが０．１５ｍｍ、その突出高さが０．０２ｍｍ、
定常導電部の体積固有抵抗が１×１０¹¹Ω・ｍ、導電路
形成部の導電性粒子の割合は、体積分率で４０％であっ
た。

【０１００】〈実施例５〉付加型液状シリコーンゴム１
００重量部中に、導電性付与物質３０重量部を添加して
混合することにより、成形材料を調製した。以上におい
て、導電性付与物質としては、電気化学社製のカーボン
ブラック（自己導電性物質）２０重量部およびアモルフ
ァスカーボン粒子（ユニチカ社製「ユニベックスＧＣＰ
−Ｈ」，数平均粒子径７μｍ）を用いた。

【０１０１】成形面に、ピッチが０．０４ｍｍの格子点
位置に従って、径が０．０１ｍｍで、深さが０．０１ｍ
ｍの多数の凹所が形成されてなる上型と、成形面が平坦
な下型と、上型と下型との間に配置された厚みが０．２
ｍｍの枠状のスペーサとよりなる金型を用意した。上記
の金型における下型の表面に、厚みが０．２５ｍｍで、
表面粗さが６．８μｍのＳＵＳ３０４（ステンレス）よ
りなる支持シート体を載置し、この支持シート体上に、
スペーサーを配置すると共に、当該スペーサーによって
囲まれた領域に上記の成形材料を塗布して成形材料層を
形成し、更に、成形材料層に上型を配置した。次いで、
８０℃、３時間の条件で、当該成形材料層の硬化処理を
行うことにより、支持シート体上に異方導電性シート本
体を形成し、以て本発明の異方導電性シートを製造し
た。この異方導電性シートにおける異方導電性シート本
体は、突出部の径が０．０１ｍｍ、ピッチが０．０４ｍ
ｍ、表面に占める突出部の表面の面積の割合が４．９
％、突出部が位置する個所の厚みが０．２１ｍｍ、突出
部の突出高さが０．０１ｍｍであり、当該異方導電性シ
ート本体を構成する材料の体積固有抵抗が１×１０⁸Ω
・ｍであった。

【０１０２】〈比較例１〉非磁性の導電性付与物質を用
いずに成形材料を調製し、支持シート体を用いずに硬化
処理を行ったこと以外は、実施例１と同様にして比較用
の異方導電性シートを製造した。

【０１０３】〈比較例２〉非磁性の導電性付与物質を用
いずに成形材料を調製し、支持シート体を用いずに硬化
処理を行ったこと以外は、実施例３と同様にして比較用
の異方導電性シートを製造した。

【０１０４】〈異方導電性シートの電気特性の評価〉実
施例１〜５および比較例１〜２に係る異方導電性シート
の電気特性について、下記のようにしてその評価を行っ
た。尚、実施例１〜５に係る異方導電性シートについて
は、支持シート体を用いなかったこと以外は同様にして
成形された異方導電性シート本体を使用した。〔無加圧の状態における厚み方向の体積固有抵抗〕異方
導電性シートの一面に、イオンスパッター装置（Ｅ１０
１０，日立サイエンス社製）により、Ａｕ−Ｐｄをター
ゲットとして厚みが１００ｎｍの金属膜を形成した。こ
の金属膜の表面に銀を含有してなる導電性接着剤によ
り、絶縁抵抗計（ハイ・レジスタンスメーター４３３９
Ａ，アジレントテクノロジー社製）に接続された配線を
接着した。そして、前記絶縁抵抗計に接続された電極径
が５０ｍｍの測定用電極によって、異方導電性シートの
他面を加圧することにより、異方導電性シートの他面に
測定用電極の表面が充分に密着させ、その後、異方導電
性シートの他面に測定用電極の表面が接触した状態すな
わち無加圧の状態とした。そして、この状態において、
適宜の電圧値または電流値の電流を測定用電極と金属膜
との間に供給し、１分間経過後、異方導電性シートの厚
み方向の体積固有抵抗を測定した。〔厚み方向に加圧された状態の体積固有抵抗〕異方導電
性シートを、それぞれ絶縁抵抗計（ハイ・レジスタンス
メーター４３３９Ａ，アジレントテクノロジー社製）に
接続された電極径が５０ｍｍの測定用電極および加圧用
電極の間に配置し、加圧用電極によって異方導電性シー
トを歪み率が２０％となるまで加圧し、この状態で、異
方導電性シートの厚み方向の体積固有抵抗を測定した。
以上、結果を表１に示す。

【０１０５】

【表１】

【０１０６】〔電荷の転写性および移動性〕図２５に示
すように、アース板７０上に異方導電性シート１を配置
し、この異方導電性シート１の直上に、ウレタン樹脂製
のロール７５を配置した。このロール７５は、テスラコ
イルによって放電処理されることにより、表面に電荷が
蓄積されたものであって、その表面電位が５００±５０
Ｖ（トレックジャパン製の表面電位計「モデル５２０−
１」によって測定した値）の範囲に調整されている。そ
して、ロール７５を徐々に下降させることによって異方
導電性シート１の表面に接触させ（無加圧の状態）、こ
の状態で１分間保持した後、ロール７５を徐々に上昇さ
せ、異方導電性シート１の表面電位を、表面電位計「モ
デル５２０−１」によって測定した。次いで、ロール７
５を徐々に下降させることによって、異方導電性シート
１の表面をその歪み率が２０％となるよう加圧し、この
状態で１分間保持した後、ロール７５を徐々に上昇さ
せ、異方導電性シート１の表面電位を、表面電位計「モ
デル５２０−１」によって測定した。上記の操作を合計
で１０回行い、表面電位の平均値および値のばらつきを
求めた。以上、結果を表２に示す。

【０１０７】

【表２】

【０１０８】表２の結果から明らかなよう、実施例１〜
５に係る異方導電性シートによれば、当該異方導電性シ
ートの表面にロール７５の表面を接触させることによ
り、ロール７５の表面の電荷が異方導電性シートの表面
に高い再現性で転写されることが確認された。また、ロ
ール７５によって異方導電性シートの表面を加圧するこ
とにより、ロール７５の表面の電荷が異方導電性シート
を介してアース板に移動することが確認された。これに
対して、比較例１〜２に係る異方導電性シートにおいて
は、その表面にロール７５の表面の電荷を安定して転写
することができなかった。

【０１０９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
無加圧の状態若しくは小さい力で厚み方向に加圧した状
態で導電性を示すと共に大きい力で厚み方向に加圧した
状態では、無加圧の状態若しくは小さい力で厚み方向に
加圧した状態よりも高い導電性を示し、しかも、面方向
に張力が作用しても、厚み方向の導電性の変化がなくま
たは少なく、更に、容易に破断することがない異方導電
性シートを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る異方導電性シ
ートの構成を示す平面図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態に係る異方導電性シ
ートの構成を示す説明用断面図である。

【図３】第１の実施の形態において、金型内に支持シー
ト体が配置されると共に成形材料層が形成された状態を
示す説明用断面図である。

【図４】第１の実施の形態において、成形材料層に厚み
方向に平行磁場が作用された状態を示す説明用断面図で
ある。

【図５】本発明の第２の実施の形態に係る異方導電性シ
ートの構成を示す説明用断面図である。

【図６】第２の実施の形態において、金型内に支持シー
ト体が配置されると共に導電性繊維を含有する成形材料
層が形成された状態を示す説明用断面図である。

【図７】第２の実施の形態において、導電性繊維を含有
する成形材料層に厚み方向に平行磁場が作用された状態
を示す説明用断面図である。

【図８】本発明の第３の実施の形態に係る異方導電性シ
ートの構成を示す説明用断面図である。

【図９】第３の実施の形態において、金型内に支持シー
ト体が配置されると共に成形材料層が形成された状態を
示す説明用断面図である。

【図１０】第３の実施の形態において、成形材料層に強
度分布を有する平行磁場が厚み方向に作用された状態を
示す説明用断面図である。

【図１１】本発明の第４の実施の形態に係る異方導電性
シートの構成を示す説明用断面図である。

【図１２】図１１に示す異方導電性シートの一部を拡大
して示す説明用断面図である。

【図１３】図１１に示す異方導電性シートを製造するた
めの金型の一例における構成を示す説明用断面図であ
る。

【図１４】本発明の第５の実施の形態に係る異方導電性
シートの構成を示す説明用断面図である。

【図１５】図１４に示す異方導電性シートの一部を拡大
して示す説明用断面図である。

【図１６】支持シート体および異方導電性シート本体が
無端ベルト状に形成された異方導電性シートを示す斜視
図である。

【図１７】図１６に示す異方導電性シートの製造装置の
構成を示す説明用断面図である。

【図１８】本発明の他の実施の形態に係る異方導電性シ
ートの構成を示す説明用断面図である。

【図１９】本発明の更に他の実施の形態に係る異方導電
性シートの構成を示す説明用断面図である。

【図２０】本発明の更に他の実施の形態に係る異方導電
性シートの構成を示す説明用断面図である。

【図２１】本発明の第５の実施の形態に係る異方導電性
シートの変形例の構成を示す説明用断面図である。

【図２２】図２１に示す異方導電性シートの一部を拡大
して示す説明用断面図である。

【図２３】本発明に係る異方導電性シートの使用形態を
示す説明図である。

【図２４】本発明に係る異方導電性シートの他の使用形
態を示す説明図である。

【図２５】実施例において、異方導電性シートの電気特
性の評価のために使用した装置を示す説明図である。

【符号の説明】

１異方導電性シート３ロール４加圧ロール５，６，７ロール１０支持シート体１０Ｈ貫通孔１１導電部１２プリント配線１５位置決め孔２０異方導電性シート本体２０Ａ成形材料層２１シート基体２２導電路形成部２３定常導電部２５突出部２６固定部２７第１の突出部２８第２の突出部３０金型３１上型３２強磁性体基板３３強磁性体層３４非磁性体層３５スペーサー３６下型３７強磁性体基板３８強磁性体層３９非磁性体層４０移動手段４１送り出しロール４２引き取りロール４３，４４補助ロール４５成形材料塗布手段４６タンク４７供給ロール４８塗布ロール４９支持ロール５０磁場形成手段５１回転ドラム５２補助シート５３磁極シート５３ａ強磁性体部分５３ｂ非磁性体部分５４電磁石５６回転ドラム５７補助シート５８磁極シート５８ａ強磁性体部分５８ｂ非磁性体部分５９電磁石６０硬化手段６１ヒーター６２，６３小型電磁石６６ヒーター６７，６８小型電磁石７０アース板７５ロールＧ間隙Ｆ導電性繊維Ｐ導電性粒子

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０１Ｂ 5/16 Ｈ０１Ｂ 5/16 (72)発明者瀬高良司東京都中央区築地２丁目11番24号ジェイエスアール株式会社内Ｆターム(参考） 4F071 AA10 AA38 AA67 AA69 AB03 AB06 AB07 AB08 AB09 AB10 AB18 AB20 AB23 AC14 AD01 AE15 AH12 AH19 4F100 AA23H AA37H AB04 AB14H AB18H AK52 AL09A AL09B AN02 AR00A AR00B AR00C BA02 BA03 BA10A BA10B BA42B CA21A CA21B DD01B DD07A DD07B DG03B DG03H GB43 HB31C JA12H JD15B JD15H JG01A JG01B JG01C JG04B JG06B JG06H JK07B JK08B 4J002 AC001 AC011 AC031 AC061 AC071 AC081 AC091 BB151 BC023 BE022 BM002 BP011 BP021 CE002 CF001 CH041 CK021 CK022 CP031 CP052 CP082 DA016 DA017 DA026 DA036 DA067 DA076 DA087 DA096 DA106 DA116 DC007 DE017 DE096 DE097 DE106 DE117 DE136 DE186 DG026 DH006 DL007 ED026 EH046 EH156 EN006 EN136 EV186 EV256 EW046 EX036 FA046 FA087 FB073 FB077 FD112 FD113 FD116 FD117 GQ00 GQ02 GR01 5G307 HA02 HB01 HB02 HB03 HB05 HB06 HC02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】少なくとも一部において両面間が電気的
に導通された支持シート体と、この支持シート体上に一
体的に設けられた異方導電性シート本体とよりなり、前記異方導電性シート本体は、無加圧の状態で少なくと
も厚み方向に導電性を示す弾性を有するシート基体中
に、磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向し
た状態で含有されてなることを特徴とする異方導電性シ
ート。
【請求項２】異方導電性シート本体におけるシート基
体は、絶縁性のエラストマー中に非磁性の導電性付与物
質が含有されてなるものであることを特徴とする請求項
１に記載の異方導電性シート。
【請求項３】導電性付与物質は、それ自体導電性を示
す物質および吸湿することによって導電性が発現される
物質から選ばれる少なくとも１種の物質であることを特
徴とする請求項２に記載の異方導電性シート。
【請求項４】異方導電性シート本体は、導電性粒子が
シート基体の面方向に分散された状態で含有されてなる
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記
載の異方導電性シート。
【請求項５】異方導電性シート本体におけるシート基
体は、絶縁性のエラストマー中に当該シート体の厚み方
向に伸びるよう配列された導電性繊維が含有されてなる
ものであることを特徴とする請求項４に記載の異方導電
性シート。
【請求項６】異方導電性シート本体は、シート基体の
厚み方向に伸び、当該シート基体の面方向に互いに離間
した状態で形成された、導電性粒子が密に含有されてな
る多数の導電路形成部と、これらの導電路形成部の間に
介在された定常導電部とを有してなることを特徴とする
請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の異方導電性シ
ート。
【請求項７】異方導電性シート本体における定常導電
部は、その表面が導電路形成部の表面から突出した状態
に形成されていることを特徴とする請求項６に記載の異
方導電性シート。
【請求項８】少なくとも一部において両面間が電気的
に導通された支持シート体と、この支持シート体上に一
体的に設けられた異方導電性シート本体とよりなり、前記異方導電性シート本体は、絶縁性のエラストマー中
に導電性付与物質が含有されてなり、表面に多数の突出
部を有することを特徴とする異方導電性シート。
【請求項９】支持シート体は、その厚み方向に貫通し
て伸びる導電部によって両面間が電気的に導通されてい
ることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれかに
記載の異方導電性シート。
【請求項１０】支持シート体における導電部は、エラ
ストマー中に導電性粒子が含有されてなることを特徴と
する請求項９に記載の異方導電性シート。
【請求項１１】支持シート体の表面には、プリント配
線が形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求
項１０のいずれかに記載の異方導電性シート。
【請求項１２】支持シート体と異方導電性シート本体
との界面が粗面であることを特徴とする請求項１乃至請
求項１１のいずれかに記載の異方導電性シート。
【請求項１３】異方導電性シート本体は、その裏面か
ら突出して支持シート体を貫通して伸びる固定部を有
し、当該固定部と支持シート体との界面が粗面であるこ
とを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれかに記
載の異方導電性シート。
【請求項１４】支持シート体および異方導電性シート
本体は、それぞれ無端ベルト状に形成されていることを
特徴とする請求項１乃至請求項１３のいずれかに記載の
異方導電性シート。