WO2007026663A1

WO2007026663A1 - 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法並びに異方導電性コネクター

Info

Publication number: WO2007026663A1
Application number: PCT/JP2006/316911
Authority: WO
Inventors: Kiyoshi Kimura; Sugiro Shimoda; Satoshi Suzuki
Original assignee: Jsr Corporation
Priority date: 2005-08-30
Filing date: 2006-08-29
Publication date: 2007-03-08
Also published as: JPWO2007026663A1; TW200720678A

Abstract

　検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことのできると共に、高い検査効率の得られる回路装置の検査装置および回路基板の検査方法並びに異方導電性コネクターが開示されている。　上記検査装置は、検査対象回路基板（以下「被検査基板」という）の検査対象電極（以下「被検査電極」という）と、被検査電極に対応するよう形成された検査用電極とを、測定状態において被検査電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマーシート（以下「導電性シート」という）を介して電気的に接続して被検査基板の検査を行うものであり複数の導電性シートが長尺なフィルム状の支持体に支持された異方導電性コネクター、当該コネクターを移動させる移動機構を備え、当該コネクターを構成する複数の導電性シートの一を被検査電極と検査用電極との間に介在させて測定状態を形成する。

Description

明細書

回路基板の検査装置および回路基板の検査方法並びに異方導電性コネクタ一

技術分野

[0001] 本発明は、回路基板の検査装置および回路基板の検査方法、並びに異方導電性コネクターに関する。

背景技術

[0002] 一般に、 BGAや CSP等のパッケージ LSI、 MCM、その他の集積回路装置などの電子部品を構成するためのあるいは搭載するための回路基板につ、ては、電子部品を組みたてる以前にある、は電子部品を搭載する以前に、当該回路基板の配線ノターンが所期の性能を有することを確認することが必要であり、そのためにその電気的特性を検査することが行われている。かかる回路基板の検査のための検査装置としては、検査対象回路基板と、当該検査対象回路基板の複数の検査対象電極に対応するよう配列された検査用電極との間に、測定状態において複数の検査対象電極に接触するよう異方導電性エラストマ一シートを介在させて当該検査対象回路基板の電気的検査を行う構成を有するものが知られている（例えば、特許文献 1参照。

) o

[0003] このような回路基板の検査装置に用いられる異方導電性エラストマ一シートは、厚み方向にのみ導電性を示もの、あるいは厚み方向に加圧されたときに厚み方向にのみ導電性を示す加圧導電性導電部を有するものであり、ハンダ付けあるいは機械的嵌合などの手段を用いずにコンパクトな電気的接続を達成することが可能であること、機械的な衝撃やひずみを吸収してソフトな接続が可能であることなどの特長を有するものであることから、このような特長を利用して、電気的な接続を達成するためのコ才、クタ一として機會してヽる。

[0004] 一方、近年、回路基板にお!/、ては、高、集積率を得るために電極サイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向にある。

このような回路基板を検査対象とする検査装置においては、検査対象回路基板の検査対象電極を、当該検査対象電極に対応する検査用回路基板の検査用電極に確実に電気的に接続するために、異方導電性エラストマ一シートを、隣接する電極間の離間距離が小さ！/ヽ接続対象体につ！、ても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち分解能が高いものとすることが必要とされている。而して、異方導電性エラストマ一シートにおいては、分解能を向上させるために、その厚みが小さくされている。

[0005] し力しながら、異方導電性エラストマ一シートは、その厚みが小さくなるに従って繰り返し使用に対する耐久性が小さいものとなり、その結果、厚みの小さい異方導電性ェラストマーシートを備えた検査装置においては、頻繁に異方導電性エラストマーシートの交換が必要となり、し力も、この異方導電性エラストマ一シートの交換作業が、交換対象である異方導電性エラストマ一シートが検査対象回路基板における検査対象電極に接触するよう表面に設けられているものであっても、当該異方導電性エラストマーシート自体のみだけでなぐこの異方導電性エラストマ一シートを構成要素とする、例えばアダプター装置全体を取り外してそのアダプター装置を検査装置に組み込むことが必要とされることから、この異方導電性エラストマ一シートの交換作業に長時間を要することとなるため、回路基板の検査効率が低下してしまう、という問題がある。

[0006] 特許文献 1 :特開平 3— 183974号公報

発明の開示

[0007] 本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離力 S小さい回路基板についても、信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことのできると共に、高い検査効率の得られる回路基板の検査装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても、信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことのできると共に、高い検査効率の得られる回路基板の検査方法を提供することにある。

本発明の更に他の目的は、上記の回路基板の検査装置に用いられる異方導電性コネクターを提供することにある。

[0008] 本発明の回路基板の検査装置は、検査対象回路基板の複数の検査対象電極と、この検査対象電極の各々に対応するよう形成された複数の検査用電極とを、測定状態において当該複数の検査対象電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマーシートを介して電気的に接続することによって当該検査対象回路基板の電気的検査を行う回路基板の検査装置において、

複数の異方導電性エラストマ一シートが長尺なフィルム状の支持体に支持されてなる構成の異方導電性コネクターと、当該異方導電性コネクターを移動させるための移動機構とを備えてなり、

異方導電性コネクターを構成する複数の異方導電性エラストマ一シートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマ一シートを検査対象回路基板の検査対象電極と検查用電極との間に介在させることにより測定状態が形成されることを特徴とする。

[0009] 本発明の回路基板の検査装置においては、異方導電性コネクターが、複数の異方導電性エラストマ一シートの各々が長尺なフィルム状の支持体の長手方向に沿って形成された複数の開口を塞ぐように配置されてなる構成のものであることが好ま、。

[0010] 本発明の回路基板の検査装置は、検査対象回路基板の複数の検査対象電極と、この検査対象電極の各々に対応するよう形成された複数の検査用電極とを、測定状態において当該複数の検査対象電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマーシートを介して電気的に接続することによって当該検査対象回路基板の電気的検査を行う回路基板の検査装置において、

前記検査対象回路基板における複数の検査対象電極が配設されている検査対象電極領域に対応する検査実行領域を複数形成することのできる長尺な異方導電性エラストマ一シートがその両側端部の各々にお、て長尺なフィルム状の支持体に支持されてなる構成の異方導電性コネクターと、当該異方導電性コネクターを移動させるための移動機構とを備えてなり、

異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマ一シートを検査対象回路基板の検査対象電極と検査用電極との間に介在させることにより測定状態が形成されることを特徴とする。 [0011] 本発明の回路基板の検査装置においては、移動機構が、異方導電性コネクターが巻き付けられる回転自在な巻き付け軸と、駆動源によって回転される巻き取り軸とよりなることが好ましい。

[0012] 本発明の回路基板に検査方法は、上記の回路基板の検査装置を用い、

異方導電性コネクターを構成する複数の異方導電性エラストマ一シートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマ一シートが検査対象回路基板の検査対象電極と検査用電極との間に介在させ、測定状態を形成することにより回路基板の電気的検查を実施することを特徴とする。

[0013] 本発明の異方導電性コネクタ一は、複数の異方導電性エラストマ一シートと、当該複数の異方導電性エラストマ一シートを支持するための長尺なフィルム状の支持体とよりなることを特徴とする。

この異方導電性コネクタ一は、複数の異方導電性エラストマ一シートの各々が長尺なフィルム状の支持体の長手方向に沿って形成された複数の開口を塞ぐように配置されてなることが好ましい。

[0014] 本発明の異方導電性コネクタ一は、長尺なフィルム状の異方導電性エラストマーシートと、当該異方導電性エラストマ一シートをその両側端部の各々において支持するための支持体とよりなることを特徴とする。

[0015] 本発明の請求項 1に係る回路基板の検査装置によれば、複数の異方導電性エラストマ一シートを備えた異方導電性コネクターと、当該異方導電性コネクターを移動させる移動機構が設けられており、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させることにより、測定に用いる異方導電性エラストマ一シートとして、異方導電性コネクタ一を構成する複数の異方導電性エラストマ一シートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマ一シートを選択することができることから、異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマ一シートの厚みが小さいものであることに起因して頻繁に異方導電性エラストマ一シートを交換することが必要であっても、この異方導電性ェラストマーシートの交換作業を、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させるという容易な操作のみによって短時間で行うことができるため、高い検査効率を得ることができると共に、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことができる。

[0016] 本発明の請求項 3に係る回路基板の検査装置によれば、複数の検査実行領域を形成することのできる長尺な異方導電性エラストマ一シートを備えた異方導電性コネクタ一と、当該異方導電性コネクターを移動させる移動機構が設けられており、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させることにより、この長尺な異方導電性エラストマ一シートにおける一部分を検査実行領域として選択して測定に用いることができることから、異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマ一シートの厚みが小さいものであることに起因してその交換が頻繁に必要であっても、この交換作業を、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させ、当該異方導電性エラストマーシートにおける測定に用いる一部分を他の一部分に変更するという容易な操作のみによって短時間で行うことができるため、高い検査効率を得ることができると共に、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さ!、回路基板につ、ても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことができる。

[0017] 本発明の回路基板の検査方法によれば、上記の回路基板の検査装置を用いることにより、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことができると共に、異方導電性エラストマ一シートの交換作業を極めて短時間で行うことができることから、高、検査効率を得ることができる。

[0018] 本発明の異方導電性コネクタ一は、複数の異方導電性エラストマ一シートまたは長尺な異方導電性エラストマ一シートを備えてなるものであることから、複数の異方導電性エラストマ一シートのうちから測定に用いる一の異方導電性エラストマ一シートを選択することができる、または長尺な異方導電性エラストマ一シートのうちの一部分を選択して測定に用いることができるため、上記の回路基板の検査装置に用いることができる。

図面の簡単な説明

[0019] [図 1]本発明の第 1の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。

[図 2]図 1の回路基板の検査装置を構成する異方導電性コネクターの構成を示す説明図である。

圆 3]図 2の異方導電性コネクターの断面を示す説明図である。

[図 4]図 2の異方導電性コネクターを製造するための一面側成形部材、一面側スぺーサー、支持体、他面側成形部材および他面側スぺーサーを示す説明用断面図である。

圆 5]他面側成形部材の表面に導電性エラストマ一用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。

圆 6]—面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマ一用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 7]図 6に示す導電性エラストマ一用材料層を拡大して示す説明用断面図である。圆 8]図 6に示す導電性エラストマ一用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。

圆 9]本発明の回路基板の検査装置の他の例を構成する異方導電性コネクターを示す説明図である。

圆 10]図 9の異方導電性コネクターの断面を示す説明図である。

圆 11]本発明の第 3の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。

圆 12]図 11に示す回路基板の検査装置における上部側アダプター装置を拡大して示す説明用断面図である。

圆 13]複合電極シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。

圆 14]積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 15]積層材料における絶縁性シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。

圆 16]複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。

圆 17]複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。圆 18]複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 19]複合積層材料カゝらレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。

[図 20]本発明の第 4の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。

[図 21]図 20に示す回路基板の検査装置における上部側アダプター装置を拡大して示す説明用断面図である。

[図 22]図 21に示す回路基板の検査装置における電極シートの要部を拡大して示す平面図である。

[図 23]電極シートを得るための積層材料を示す説明用断面図である。

[図 24]積層材料に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 25]積層材料における絶縁性シートに中継電極および短絡部が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 26]積層材料における絶縁性シートにリング状電極および配線部が形成された状態を示す説明用断面図である。

[図 27]図 21に示す回路基板の検査装置において、被検査回路基板の上面被検査電極が検査電極装置の電極ピンに電気的に接続された状態を示す説明用断面図である。

[図 28]異方導電性コホクタ一における異方導電性エラストマ一シートの変形例を示す説明用断面図である。

符号の説明

1 検査対象回路基板 (被検査回路基板）

2 上面検査対象電極 (上面被検査電極）

3 下面検査対象電極 (下面被検査電極）

18 ホルダー

19 位置決めピン

21 A 上部側アダプター装置

21B 下部側アダプター装置

22A 上部側検査ヘッド B 下部側検査ヘッド

A、 23B 検査電極装置

A、 24B 検查用電極

A、 25B 異方導電性エラストマA、 26B 線

A、 27B 支柱

A 上部側支持板

B 下部側支持板

A、 29B コネ、クタ一

A、 31B アダプター本体A、 32B 接続用電極

A、 33B 端子電極

A, 35B 異方導電性エラストマ'A, 36B 異方導電性エラストマ' 導電路形成部

絶縁部

A、 40B 異方導電性コネクター異方導電性エラストマ一シートa 導電路形成部

b 絶縁部

支持体

開口

スプロケット孔

巻き付け軸

卷き取り軸

A —面側成形部材

B 他面側成形部材

A 一面側スぺーサー B 他面側スぺーサー

A、 , 53Β 開口

加圧ロール装置

加圧ロール

支持ロール

導電性エラストマ一用材料層導電性エラストマ一用材料異方導電性エラストマ一シート支持体

スプロケット孔

A, 70Β 複合電極シートa 複合積層材料

b 積層材料

絶縁性シート

H 貫通孔

コア電極

a 胴部

b 端子部

A 金属層

B 金属薄層

K 開口

レジスト膜

H パターン孔

A, 80Β 電極シートa 積層材料

H 貫通孔

絶縁性シート

貫通孔 83 リング状電極

84 中継電極

85 短絡部

86 配線部

86a 金属層

88 異方導電性エラストマ

89 貫通孔

90A, 90B 複合電極シー

91 絶縁性シート

92 貫通孔

95 検査用コア電極

95a 胴部

95b 端子部

96 接続用コア電極

96a 胴部

96b 端子部

P 導電性粒子

E 検査実行領域

発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。

<第 1の実施の形態 >

図 1は、本発明の第 1の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。

この回路基板の検査装置は、上面に複数の上面検査対象電極 (以下、「上面被検查電極」ともいう。） 2、下面に複数の下面検査対象電極 (以下、「下面被検査電極」ともいう。） 3が形成されたプリント回路基板などの検査対象回路基板 (以下、「被検査回路基板」ともいう。） 1について、例えばオープン 'ショット試験などの電気的検査を行うものであって、ホルダー 18によって検査実行領域 Eに保持され、当該ホルダー 1 8に設けられた位置決めピン 19によって当該検査実行領域 Eにおける適正な位置に配置される被検査回路基板 1の上面側に配置される、当該被検査回路基板 1の上面被検査電極 2の各々に対応するよう同数形成されて！、る複数の検査用電極 24Aを有する検査電極装置 23Aを備えた上部側検査ヘッド 22Aと、被検査回路基板 1の下面側に配置される、当該被検査回路基板 1の下面被検査電極 3の各々に対応するよう同数形成されている複数の検査用電極 24Bを有する検査電極装置 23Bを備えた下部側検査ヘッド 22Bとが、上下に互いに対向するよう配置されてなるものであり、上部側検査ヘッド 22Aは、支柱 27Aによってその上方に配置されて、る上部側支持板 2 8Aに固定され、一方、下部側検査ヘッド 22Bは、支柱 27Bによってその下方に配置されてヽる下部側支持板 28Bに固定されて!/、る。

[0022] そして、上部側検査ヘッド 22Aの下方には、測定状態にお!、て、上面被検査電極 2と接触するよう配置され、当該上面被検査電極 2と検査用電極 24Aとの間に介在した状態とされる異方導電性エラストマ一シート 41 (図 2および図 3参照)を有する上部側アダプター装置 21Aが設けられており、一方、下部側検査ヘッド 22Bの上方には、測定状態において、下面被検査電極 3と接触するよう配置され、当該下面被検査電極 3と検査用電極 24Bとの間に介在した状態とされる異方導電性エラストマーシート 41を有する下部側アダプター装置 21Bが設けられている。

ここに、「測定状態」とは、例えば上部側アダプター装置 21Aと下部側アダプター装置 21Bとの間に被検査回路基板 1が挟圧されることにより、異方導電性エラストマ一シート 41がその厚さ方向に押圧された状態を意味する。

[0023] 上部側アダプター装置 21Aは、その表面（図 1において下面）に、被検査回路基板 1の上面被検査電極 2のパターンに対応する特定のパターンに従って複数の接続用電極 32Aが配置された接続用電極領域が形成された多層配線板よりなるアダプター本体 31Aを備えており、このアダプター本体 31Aの裏面（図 1において上面）には、例えばピッチ力 ^sO. 2mm、 0. 3mm、 0. 45mm, 0. 5mm、 0. 75mm, 0. 8mm、 1. 06mm, 1. 27mm, 1. 5mm、 1. 8mmまたは 2. 54mmの格子点位置に従って複数の端子電極 33Aが配置され、これらの端子電極 33Aの各々は、内部配線部（図示省略）によって接続用電極 32Aに電気的に接続されている。 [0024] そして、上部側アダプター装置 21 Aには、アダプター本体 31 Aと共に、複数の異方導電性エラストマ一シート 41が長尺なフィルム状の支持体 42 (図 2および図 3参照）に支持されてなる構成の異方導電性コネクター 40Aと、当該異方導電性コネクター 4 OAを移動させるための移動機構とが設けられて、る。

この上部側アダプター装置 21Aは、測定状態においては、アダプター本体 31Aの表面における接続用電極領域上に、異方導電性コネクター 40Aを構成するいずれか一の異方導電性エラストマ一シート 41が当該アダプター本体 31Aに接するよう配置され、この状態において異方導電性コネクター 40Aがアダプター本体 31 Aに適宜の手段（図示省略）によって固定されることとなる。

[0025] 下部側アダプター装置 21Bは、その表面（図 1において上面）に、被検査回路基板 1の下面被検査電極 3のパターンに対応する特定のパターンに従って複数の接続用電極 32Bが配置された接続用電極領域が形成された多層配線板よりなるアダプター本体 31Bを備えており、このアダプター本体 31Bの裏面（図 1において下面）には、例えばピッチ力 ^sO. 2mm、 0. 3mm、 0. 45mm, 0. 5mm、 0. 75mm, 0. 8mm、 1. 06mm, 1. 27mm, 1. 5mm、 1. 8mmまたは 2. 54mmの格子点位置に従って複数の端子電極 33Bが配置され、これらの端子電極 33Bの各々は、内部配線部（図示省略）によって接続用電極 32Bに電気的に接続されている。

[0026] そして、下部側アダプター装置 21Bには、アダプター本体 31Bと共に、複数の異方導電性エラストマ一シート 41が長尺なフィルム状の支持体 42 (図 2および図 3参照）に支持されてなる構成の異方導電性コネクター 40Bと、当該異方導電性コネクター 4 OBを移動させるための移動機構とが設けられて、る。

この下部側アダプター装置 21Bは、測定状態においては、アダプター本体 31Bの表面における接続用電極領域上に、異方導電性コネクター 40Bを構成するヽずれか一の異方導電性エラストマ一シート 41が当該アダプター本体 31Bに接するよう配置され、この状態において異方導電性コネクター 40Bがアダプター本体 31Bに適宜の手段（図示省略）によって固定されることとなる。

[0027] 上部側アダプター装置 21Aおよび上部側アダプター装置 21Bを構成する異方導電性コネクター 40A、 40Bは、各々、図 2および図 3に示すように、その長手方向に沿って複数の開口 43が等間隔で形成された長尺なフィルム状の支持体 42と、この支持体 42の複数の開口 43を塞ぐように配置され、当該支持体 42に一体的に接着されることによって支持された異方導電性エラストマ一シート 41とよりなる構成を有するものである。

図の例において、異方導電性エラストマ一シート 41は、支持体 42の一面（図 3における上面）および他面（図 3における下面）の各々力突出した状態に配置されており、また、支持体 42の両方の縁部には、長手方向に沿って等間隔で配列された円状の孔よりなるスプロケット孔 44が穿設されて、る。

[0028] 支持体 42の開口 43は、被検査回路基板 1における上面被検査電極 2または下面被検査電極 3が配設されている検査対象電極領域、およびアダプター本体 31 A、 31 Bの各々に係る接続用電極領域に対応する形状を有するものであり、その大きさが接続用電極領域よりも大きヽものであることが好ま、。

[0029] 支持体 42を構成する材料としては、金属材料や非金属材料を用いることができる。

金属材料の具体例としては、ステンレス、インバーなどのインバー型合金、エリンバ一などのエリンバー型合金、スーパーインバー、コバール、 42合金などの磁性金属の合金または合金鋼、金、銀、銅、鉄、ニッケル、コバルト若しくはこれらの合金などを挙げることができる。

また、非金属材料の具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミド榭脂、ポリエステル榭脂、ポリアラミド榭脂、ポリアミド榭脂等の榭脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ榭脂、ガラス繊維補強型ポリエステル榭脂、ガラス繊維補強型ポリイミド榭脂等の繊維補強型榭脂材料、エポキシ榭脂等にアルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料をフイラ一として含有した複合榭脂材料などを挙げることができる。

また、支持体 42の厚みは、 10〜250 mであることが好ましぐより好ましくは 15〜 200 μ mである。

[0030] 異方導電性エラストマ一シート 41は、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子 P (図 8参照）が、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。 [0031] 異方導電性エラストマ一シート 41を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレンーブタジェン共重合体ゴム、アクリロニトリルブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジェン系ゴムおよびこれらの水素添カ卩物、スチレンブタジエンジェンブロック共重合体ゴム、スチレンイソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロ口プレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、ェピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレンプロピレン共重合体ゴム、エチレンプロピレンージェン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。

シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好まし、。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度 10— ^ecで 10⁵ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビュル基ゃヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビ-ルシリコーン生ゴム、メチルフエ-ルビ-ルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。

また、シリコーンゴムは、その分子量 Mw (標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が 10, 000-40, 000のものであることが好ましい。また、得られる異方導電性エラストマ一シート 41に良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数 (標準ポリスチレン換算重量平均分子量 Mwと標準ポリスチレン換算数平均分子量 Mnとの比 MwZMnの値をいう。 )が 2以下のものが好ましい。

[0032] 異方導電性エラストマ一シート 41に含有される導電性粒子 Pとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメツキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメツキを施したものなどが挙げられる。

これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ま、。

芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えばィ匕学メツキまたは電解メツキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。

[0033] 導電性粒子 Pとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合)が 40%以上であることが好ましぐさらに好ましくは 45%以上、特に好ましくは 47〜95%である。

また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の 0. 5〜50質量％であることが好ましぐより好ましくは 2〜30質量％、さらに好ましくは 3〜25質量％、特に好ましくは 4〜20質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の 0. 5〜30質量％であることが好ましぐより好ましくは 2〜20質量％、さらに好ましくは 3〜15質量％でぁる。

[0034] また、導電性粒子 Pの数平均粒子径は、 3〜20 μ mであることが好ましぐより好ましくは 5〜 15 mである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子 Pを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。

また、導電性粒子 Pの粒子径分布 (DwZDn)は、 1〜： LOであることが好ましぐより好ましくは 1. 01〜7、さらに好ましくは 1. 05〜5、特に好ましくは 1. 1〜4である。また、導電性粒子 Pの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した 2次粒子であることが好ま、。

また、導電性粒子 Pとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマ一シートの耐久性が向上する。

[0035] このような導電性粒子 Pは、異方導電性エラストマ一シート 41中に体積分率で 10〜 40%、特に 15〜35%となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高、導電性を有する異方導電性エラストマーシートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすぐ異方導電性エラストーシートとして必要な弾性が得られな、ことがある。

[0036] また、異方導電性エラストマ一シート 41の厚みは、 5〜200 μ mであることが好ましぐより好ましくは 10〜： LOO mである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。

[0037] 異方導電性コネクター 40A、 40Bは、以下のようにして製造することができる。

先ず、図 4に示すように、その長手方向に沿って複数の開口 43が等間隔で形成された長尺なフィルム状の支持体 42と、それぞれシート状の一面側成形部材 51 Aおよび他面側成形部材 51Bと、それぞれ目的とする異方導電性コネクター 40A、 40Bの各々に係る異方導電性エラストマ一シート 41の平面形状に適合する形状の開口 53 A、 53Bを有すると共に当該異方導電性エラストマ一シート 41の支持体 42からの突出高さに対応する厚みを有する枠状の一面側スぺーサー 52Aおよび他面側スぺーサー 52Bとを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマ一用材料を調製する。そして、図 5に示すように、他面側成形部材 51Bの成形面（図 5において上面）上に他面側スぺーサー 52Bを配置し、この他面側スぺーサー 52B上に支持体 42を、当該他面側スぺーサー 52Bの開口 53Bと支持体 42の開口 43とが重ね合うよう配置し、更に支持体 42上に一面側スぺーサー 52Aを、当該支持体 42の開口 43と一面側スぺーサ一 52Aの開口 53Aとが重ね合うよう配置し、他面側成形部材 51Bの成形面上における他面側スぺーサー 52Bの開口 53B、支持体 42の開口 43および一面側スぺーサー 52Aの開口 53Aよりなる空間内に、調製した導電性エラストマ一用材料 5 9を塗布し、その後、この導電性エラストマ一用材料 59上に一面側成形部材 51Aをその成形面（図 5において下面）が導電性エラストマ一用材料 59に接するよう配置する。

以上において、一面側成形部材 51Aおよび他面側成形部材 51Bとしては、ポリイミド榭脂、ポリエステル榭脂、アクリル榭脂などよりなる榭脂シートを用いることができるまた、一面側成形部材 51Aおよび他面側成形部材 51Bを構成する榭脂シートの厚みは、 50〜500 μ mであること力 S好ましく、より好ましくは 75〜300 μ mである。この厚みが 50 m未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが 500 mを超える場合には、導電性エラストマ一用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。

次いで、図 6に示すように、加圧ロール 55および支持ロール 56よりなる加圧ロール装置 54を用い、一面側成形部材 51Aおよび他面側成形部材 51Bによって導電性ェラストマー用材料 59を挟圧することにより、当該一面側成形部材 51Aと当該他面側成形部材 51 Bとの間に、所要の厚みの導電性エラストマ一用材料層 58を形成する。この導電性エラストマ一用材料層 58においては、図 7に拡大して示すように、導電性粒子 Pが均一に分散した状態で含有されている。

その後、一面側成形部材 51Aの裏面（図 6において上面)および他面側成形部材 51Bの裏面（図 6において下面）に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマ一用材料層 58の厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマ一用材料層 58においては、当該導電性エラストマ一用材料層 58中に分散されている導電性粒子 Pが、図 8に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子 Pによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。

そして、この状態において、導電性エラストマ一用材料層 58を硬化処理すること〖こより、弾性高分子物質中に、導電性粒子 Pが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる異方導電性エラストマ一シート 41を支持体 42に支持された状態で複数有する異方導電性コネクター 40A、 40Bが製造される。

[0039] 以上において、導電性エラストマ一用材料層 58の硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。導電性エラストマ一用材料層 58に作用される平行磁場の強度は、平均で 0. 02-2. 5テスラとなる大きさが好ましい。

導電性エラストマ一用材料層 58の硬化処理は、使用される材料によって適宜選定される力通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマ一用材料層 58を構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子 Pの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。

[0040] 移動機構は、異方導電性コネクター 40A、 40Bの各々が巻き付けられる回転自在な巻き付け軸 46と、駆動源によって回転される巻き取り軸 47とよりなり、異方導電性コネクター 40A、 40Bが巻き付け軸 46から巻き取り軸 47に至る移動路がアダプター本体 31A、 31Bの各々の表面に沿うよう形成されており、この巻き付け軸 46と巻き取り軸 47とがアダプター本体 31A、 31Bの両側端において当該アダプター本体 31A、 31Bを介して対向するよう配置されている。

この移動機構は、巻き付け軸 46に卷回されている状態の異方導電性コネクター 40 A、 40Bを、巻き取り軸 47を駆動して回転させ、これにより巻き取ることにより、当該異方導電性コネクター 40A、 40Bを移動路に沿って移動させ、アダプター本体 31A、 3 IBの表面における接続用電極領域の直上に複数の異方導電性エラストマ一シート 4 1のうちの一の異方導電性エラストマ一シート 41が位置した状態においてその移動を停止させ、これにより、当該一の異方導電性エラストマ一シート 41を所定の位置に配置する構成のものである。

図の例において、巻き付け軸 46および巻き取り軸 47には、各々、幅方向の両側部に異方導電性エラストマ一シート 41における支持体 42に形成されているスプロケット孔 44と同一ピッチで当該スプロケット孔 44が係入される円錐状のスプロケット（図示省略）が突出形成されており、これらの巻き付け軸 46および巻き取り軸 47の各々においては、異方導電性エラストマ一シート 41における支持体 42のスプロケット孔 44 が当該巻き付け軸 46ある、は巻き取り軸 47のスプロケットに係入することによって当該異方導電性エラストマ一シート 41が卷回されている。

[0041] 上部側検査ヘッド 22Aは、板状の検査電極装置 23Aと、この検査電極装置 23Aの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマ一シート 25Aとにより構成されている。

検査電極装置 23Aは、その下面に上部側アダプター装置 21Aの端子電極 33Aと同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査用電極 24Aを有し、これらの検査用電極 24Aの各々は、電線 26Aによって、上部側支持板 28Aに設けられたコネクター 29Aに電気的に接続され、更に、このコネクター 29Aを介してテスタ一の検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。

異方導電性エラストマ一シート 25Aは、その厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性エラストマ一シート 2 5Aとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されて!/、るものが、高、電気的な接触安定性を発揮する点で好ま、。

[0042] 下部側検査ヘッド 22Bは、板状の検査電極装置 23Bと、この検査電極装置 23Bの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマ一シート 25Bとにより構成されている。

検査電極装置 23Bは、その上面に下部側アダプター装置 21Bの端子電極 33Bと同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査用電極 24Bを有し、これらの検査用電極 24Bの各々は、電線 26Bによって、下部側支持板 28Bに設けられたコネクター 29Bに電気的に接続され、更に、このコネクター 29Bを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。

異方導電性エラストマ一シート 25Bは、上部側検査ヘッド 22Aに係る異方導電性ェラストマーシート 25Aと同様に、その厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性エラストマ一シート 25Bとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されて V、るものが、高、電気的な接触安定性を発揮する点で好ま、。

[0043] このような回路基板の検査装置においては、検査対象である被検査回路基板 1がホルダー 18によって検査実行領域 Eに保持されると共〖こ、上部側アダプター装置 21 Aおよび下部側アダプター装置 21Bの各々において、異方導電性コネクター 40A、 40Bを構成するいずれか一の異方導電性エラストマ一シート 41がアダプター本体 31 A、 31Bに接続用電極領域おいて接するよう配置されて固定され、この状態で、上部側支持板 27Aおよび下部側支持板 27Bの各々が被検査回路基板 1に接近する方向に移動することにより、当該被検査回路基板 1が上部側検査ヘッド 22Aおよび下部側検査ヘッド 22Bによって挟圧される。

この状態においては、被検査回路基板 1の上面被検査電極 2は、上部側アダプタ一装置 21Aにおける接続用電極 32Aに、異方導電性コネクター 40Aにおける一の異方導電性エラストマ一シート 41を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置 21Aの端子電極 33Aは、異方導電性エラストマ一シート 25Aを介して検査電極装置 23Aの検査等電極 24Aに電気的に接続されている。一方、被検査回路基板 1 の下面被検査電極 3は、下部側アダプター装置 21Bにおける接続用電極 32Bに、異方導電性コネクター 40Bにおける一の異方導電性エラストマ一シート 41を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置 21Bの端子電極 33Bは、異方導電性エラストマ一シート 25Bを介して検査電極装置 23Bの検査用電極 24Bに電気的に接続されている。

[0044] このようにして、被検査回路基板 1の上面被検査電極 2および下面被検査電極 3の各々が、上部側検査ヘッド 22Aにおける検査電極装置 23Aの検査用電極 24Aおよび下部側検査ヘッド 22Bにおける検査電極装置 23Bの検査用電極 24Bの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。

[0045] そして、この回路基板の検査装置においては、回路基板の電気的検査を繰り返し行うことによって上部側アダプター装置 21Aおよび下部側アダプター装置 21Bの各々を構成する異方導電性コネクター 40A、 40Bにおける一の異方導電性エラストマ一シート 41が劣化した場合には、巻き取り軸 47を回転させることによって巻き付け軸 46に卷回されている異方導電性コネクター 40A、 40Bを当該巻き取り軸 47に向かう方向に移動させ、上部側アダプター装置 21Aおよび下部側アダプター装置 21Bの各々に係るアダプター本体 31 A、 31Bの表面における接続用電極領域上に位置している使用済みの異方導電性エラストマ一シート 41を巻き取り軸 47に卷回させると共に、この使用済みの異方導電性エラストマ一シート 41に隣接した未使用の異方導電性エラストマーシート 41を接続用電極領域上に配置させ、適宜の手段によって固定することにより、測定に用いられる異方導電性エラストマ一シート 41の交換作業を実行することができる。

[0046] 従って、このような回路基板の検査装置によれば、巻き付け軸 46および巻き取り軸 47よりなる移動機構によって異方導電性コネクター 40A、 40Bを移動させることにより、測定に用いる異方導電性エラストマ一シートとして、異方導電性コネクター 40A、 40Bを構成する複数の異方導電性エラストマ一シート 41のうちのいずれか一の異方導電性エラストマ一シート 41を選択することができることから、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離力、さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことを目的として異方導電性コネクター 40A、 40Bを構成する異方導電性エラストマ一シート 41として厚みの小さいものを用いた場合であっても、この異方導電性エラストマ一シート 41の厚みが小さいものであることに起因して頻繁に異方導電性エラストマ一シート 41を交換することが必要となるが、この異方導電性エラストマーシート 41の交換作業を、異方導電性エラストマ一シート自体のみだけでなく、この異方導電性エラストマ一シートを構成要素とするアダプター装置全体を取り外し、このアダプター装置力も使用済みの異方導電性エラストマ一シートを取り外して未使用の異方導電性エラストマ一シートに交換した後、そのアダプター装置を検査装置に組み込む、という従来の回路基板の検査装置における異方導電性エラストマ一シートの交換作業に必要とされていたアダプター装置の取り外しおよび組立操作を行うことなぐ移動機構によって異方導電性コネクター 40A、 40Bを移動させ、異方導電性エラストマ一シート 41自体のみを交換するという容易な操作によって短時間で行うことができるため、高い検査効率を得ることができる。

[0047] <第 2の実施の形態 >

第 2の実施の形態に係る回路基板の検査装置は、第 1の実施の形態に係る回路基板の検査装置において、図 2および図 3に示される構成の異方導電性コネクター 40 A、 40Bの各々に代えて、被検査回路基板 1における上面被検査電極 2または下面被検査電極 3が配設されている検査対象電極領域に対応する検査実行領域を複数形成することのできる長尺な異方導電性エラストマ一シートが、その両側端部において長尺なフィルム状の支持体に支持されなる構成の異方導電性コネクターを備えていること以外は図 1に係る回路基板の検査装置と同様の構成を有するものである。

[0048] この回路基板の検査装置においては、上部側アダプター装置および下部側ァダプター装置の各々は、測定状態において、アダプター本体の表面における接続用電極領域上に、異方導電性コネクターを構成する長尺な異方導電性エラストマ一シートの一部分が当該アダプター本体に接するように配置され、この状態において異方導電性コネクターがアダプター本体に適宜の手段によって固定されることとなる。

[0049] この回路基板の検査装置を構成する異方導電性コネクタ一は、例えば図 9および図 10に示すように、長尺な異方導電性エラストマ一シート 61と、この異方導電性エラストマーシート 61を、その両側端部の各々において、適宜の手段により一体的に接着されることによって支持する長尺なフィルム状の支持体 62、 62とよりなる構成を有するものである。

この図の例において、異方導電性エラストマ一シート 61は、支持体 62、 62により、上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々を構成するアダプター本体と接触する面の逆面、すなわち測定状態において被検査回路基板における上面被検査電極または下面被検査電極に接触する面に、当該支持体 62、 62の各々の一面（図 10において右面）が接着された状態で支持されており、また、異方導電性コネクターの両方の縁部には、長手方向に沿って等間隔で配列された円状の孔よりなるスプロケット孔 64が穿設されて!/、る。

[0050] 支持体 62、 62間の離間距離は、被検査回路基板における上面被検査電極または下面被検査電極が配設されている検査対象電極領域の異方導電性コネクターの移動方向に垂直な方向（図 1における紙面に垂直な方向）の長さ、および上部側ァダプター装置および下部側アダプター装置の各々を構成するアダプター本体に係る接続用電極領域の異方導電性コネクターの移動方向に垂直な方向の長さ（図 1における紙面に垂直な方向）に対応し、これらの検査対象電極領域および接続用電極領域の異方導電性コネクターの移動方向に垂直な方向の長さよりも大き、ことが好ま、

[0051] 支持体 62を構成する材料としては、第 1の実施の形態に係る回路基板の検査装置に係る異方導電性コネクター 40A、 40Bを構成する支持体 42を構成する材料として例示したものを用いることができる。

また、支持体 62の厚みは、 10〜250 mであることが好ましぐより好ましくは 15〜 200 μ mである。

[0052] 異方導電性エラストマ一シート 61としては、第 1の実施の形態に係る回路基板の検查装置に係る異方導電性コネクター 40A、 40Bを構成する異方導電性エラストマ一シート 41と同様の構成のものが用いられる。

また、異方導電性エラストマ一シート 61の厚みは、 5〜200 mであることが好ましぐより好ましくは 10〜： LOO mである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。

[0053] このような構成の異方導電性コネクタ一は、例えば長尺なフィルム状の異方導電性エラストマ一シート用部材と、当該異方導電性エラストマ一シート用部材と同様の全長を有する支持体用部材とを用意し、これらを適宜の手段によって接着することによつて異方導電性エラストマ一シート用部材の一面における両側端部の各々に支持体用部材がー体的に貼り合わせられてなるシート体を形成し、この得られたシート体の両方の縁部に貫通孔を等間隔で形成することにより、製造することができる。

[0054] このような回路基板の検査装置においては、上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々において、異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマーシート 61の一部分が検査実行領域としてアダプター本体に接続用電極領域において接するよう配置されて固定され、この状態で被検査回路基板が上部側検査ヘッドおよび下部側検査ヘッドに挟圧されることにより、同様にして異方導電性エラストマ一シート 61を介して被検査回路基板の上面被検査電極および下面被検査電極の各々が、上部側検査ヘッドにおける検査電極装置の検査用電極および下部側検查ヘッドにおける検査電極装置の検査用電極の各々に電気的に接続されて所要の電気的検査が行われる。

[0055] そして、この回路基板の検査装置においては、回路基板の電気的検査を繰り返し行うことによって上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々を構成する異方導電性コネクターにおける異方導電性エラストマ一シート 61の一部分が劣化した場合には、巻き取り軸を回転させることによって巻き付け軸に卷回されて、る異方導電性コネクターを当該巻き取り軸に向力う方向に移動させ、上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々に係るアダプター本体の表面における接続用電極領域上に位置している使用済みの異方導電性エラストマ一シートの一部分を巻き取り軸に卷回させると共に、この使用済みの異方導電性エラストマ一シートの一部分に連続する未使用の異方導電性エラストマ一シート 61の他の一部分を接続用電極領域上に配置させ、適宜の手段によって固定することにより、異方導電性エラストマーシート 61の交換作業を実行することができる。

[0056] 従って、このような回路基板の検査装置によれば、巻き付け軸および巻き取り軸よりなる移動機構によって異方導電性コネクターを移動させることにより、この異方導電性コネクターを構成する長尺な異方導電性エラストマ一シートにおける一部分を検査実行領域として選択して測定に用いることができることから、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離力、さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことを目的として異方導電性コネクターを構成する異方導電性ェラストマーシート 61として厚みの小さいものを用いた場合であっても、この異方導電性エラストマ一シート 61の厚みが小さいものであることに起因して頻繁に交換が必要となるが、この交換作業を、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させ、当該異方導電性エラストマ一シート 61における測定に用いる一部分を他の一部分に変更するという容易な操作のみによって短時間で行うことができるため、高い検査効率を得ることができる。

[0057] <第 3の実施の形態 >

図 11は、本発明の第 3の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。

この回路基板の検査装置にぉ、て、上部側アダプター装置 21 Aおよび下部側ァダプター装置 21Bの各々には、アダプター本体 31A, 31Bの表面上に、異方導電性ェラストマーシート 35A, 35Bを介して複合電極シート 70A, 70Bが設けられている。また、この回路基板の検査装置において、被検査回路基板 1は、その両面の各々に、例えば半田バンプよりなる突起状の上面被検査電極 2および下面被検査電極 3を有するものである。この回路基板の検査装置におけるその他の具体的な構成は、第 1 の実施の形態に係る回路基板の検査装置と基本的に同様である。

[0058] 上部側アダプター装置 21Aにおける異方導電性エラストマ一シート 35Aは、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子 Pが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。異方導電性エラストマ一シート 35Aを構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、異方導電性コネクター 40A, 40Bにおける異方導電性エラストマ一シートと同様のものを用いることができる。

[0059] 上部側アダプター装置 21Aにおける複合電極シート 70Aは、図 12に示すように、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 71Hが被検査回路基板 1の上面被検査電極 2のパターンに対応するパターンに従って形成された絶縁性シート 71と、この絶縁性シート 71の各貫通孔 71Hに当該絶縁性シート 71の両面の各々力も突出するよう配置された複数のコア電極 72とにより構成されて、る。

コア電極 72の各々は、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hに揷通された円柱状の胴部 72aと、この胴部 72aの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート 7 1の両面に露出する端子部 72bとにより構成されている。コア電極 72における胴部 7 2aの長さは、絶縁性シート 71の厚みより大きぐまた、当該胴部 72aの径は、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hの径より小さいものとされており、これにより、当該コア電極 72 は、絶縁性シート 71の厚み方向に移動可能とされている。また、コア電極 72における端子部 72bの径は、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hの径より大きいものとされている

[0060] 絶縁性シート 71を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド榭脂、ポリエステル榭脂、ポリアラミド榭脂、ポリアミド榭脂等の榭脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ榭脂、ガラス繊維補強型ポリエステル榭脂、ガラス繊維補強型ポリイミド榭脂等の繊維補強型榭脂材料、エポキシ榭脂等にアルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料をフイラ一として含有した複合榭脂材料などを用いることができる。

また、複合電極シート 70を高温環境下で使用する場合には、絶縁性シート 71として、線熱膨張係数が 3 X 10— ⁵ZK以下のものを用いることが好ましぐより好ましくは 1 X 10— ⁶〜2 X 10" ⁵/Κ,特に好ましくは 1 X 10— ⁶〜6 X 10— ⁶Ζκである。このような絶縁性シート 11を用いることにより、当該絶縁性シート 11の熱膨張によるコア電極 72の位置ずれを抑制することができる。

また、絶縁性シート 71の厚み dは、 10〜200 mであることが好ましぐより好ましくは 15〜： LOO /z mである。

また、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hの径は、 20〜300 mであることが好ましぐより好ましくは 30〜 150 μ mである。

コア電極 72を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において絶縁性シートに形成される金属薄層よりもェツチングされにく、ものを用いることが好まし、。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。

コア電極 72における胴部 72aの径は、 18 m以上であることが好ましぐより好ましくは 25 m以上である。この径が過小である場合には、当該コア電極 72に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hの径とコア電極 72 における胴部 72aの径との差は、 1 μ m以上であることが好ましぐより好ましくは 2 μ m以上である。この差が過小である場合には、絶縁性シート 71の厚み方向に対してコア電極 72を移動させることが困難となることがある。

コア電極 72における端子部 72bの径は、上面被検査電極 2の径の 70〜150%であることが好ましい。また、コア電極 72における端子部 72bの径と絶縁性シート 71の貫通孔 71Hの径との差は、 5 μ m以上であることが好ましぐより好ましくは 10 μ m以上である。この差が過小である場合には、コア電極 72が絶縁性シート 71から脱落する恐れがある。

コア電極 72における端子部 12bの厚みは、 5〜50 mであることが好ましぐより好ましくは 8〜40 μ mである。

絶縁性シート 71の厚み方向におけるコア電極 72の移動可能距離、すなわちコア電極 72における胴部 72aの長さと絶縁性シート 71の厚みとの差は、 3〜150 mであることが好ましぐより好ましくは 5〜： LOO /z m さらに好ましくは 10〜50 /ζ πιである。コア電極 72の移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、コア電極 72の移動可能距離が過大である場合には、絶縁性シート 71の貫通孔 71H力も露出するコア電極 72の胴部 72aの長さが大きくなり、検査に使用したときに、コア電極 72の胴部 72aが座屈または損傷するおそれがある。

このような複合電極シート 70Aは、例えば以下のようにして製造することができる。先ず、図 13に示すように、絶縁性シート 71の一面に易エッチング性の金属層 73Aが一体的に積層されてなる積層材料 70bを用意し、この積層材料 70bにおける金属層 73Aに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図 14に示すように、金属層 73Aに上面被検査電極 2のパターンに対応するパターンに従って複数の開口 73Kを形成する。次いで、図 15に示すように、積層材料 10bにおける絶縁性シート 71に、それぞれ金属層 73Aの開口 73Kに連通して厚み方向に伸びる貫通孔 71Hを形成する。そして、図 16に示すように、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hの内壁面および金属層 73Aの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層 73Bを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 71Hが形成された絶縁性シート 71と、この絶縁性シート 71の一面に積層された、それぞれ絶縁性シート 71の貫通孔 71Hに連通する複数の開口 73Kを有する易エッチング性の金属層 73Aと、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hの内壁面および金属層 73Aの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層 73Bとを有してなる複合積層材料 10aが製造される。

以上において、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hを形成する方法としては、レーザー加工法、ドリルカ卩工法、エッチングカ卩工法などを利用することができる。

金属層 73Aおよび金属薄層 73Bを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅などを用いることができる。また、金属層 73Aの厚みは、目的とするコア電極 72の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、 3〜75 μ mであることが好ましぐより好ましくは 5〜50 μ m 、さらに好ましくは 8〜25 μ mである。

また、金属薄層 73Bの厚みは、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hの径と形成すべきコァ電極 72における胴部 72aの径とを考慮して設定される。

また、金属薄層 73Bを形成する方法としては、無電解メツキ法などを利用することができる。

[0063] そして、この複合積層材料 10aに対してフォトメツキ処理を施すことにより、絶縁性シート 71の貫通孔 71Hの各々にコア電極 72を形成する。具体的に説明すると、図 17 に示すように、絶縁性シート 71の一面に形成された金属層 73Aの表面および絶縁性シート 11の他面の各々に、形成すべきコア電極 72における端子部 72bのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性シート 71の貫通孔 71Hに連通する複数のパターン孔 74Hが形成されたレジスト膜 74を形成する。次いで、金属層 73A を共通電極として電解メツキ処理を施して当該金属層 73Aにおける露出した部分に金属を堆積させると共に、金属薄層 73Bの表面に金属を堆積させて絶縁性シート 71 の貫通孔 71H内およびレジスト膜 74のパターン孔 74H内に金属を充填することにより、図 18に示すように、絶縁性シート 71の厚み方向に伸びるコア電極 72を形成するこのようにしてコア電極 72を形成した後、金属層 73Aの表面力もレジスト膜 74を除去することにより、図 19に示すように、金属層 73Aを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層 73Aおよび金属薄層 73Bを除去することにより、図 11に示す複合電極シート 70Aが得られる。

[0064] 下部側アダプター装置 21Bにおける異方導電性エラストマ一シート 35Bおよび複合電極シート 70Bは、上部側アダプター装置 21Aにおける異方導電性エラストマ一シート 35Aおよび複合電極シート 70Aと基本的に同様の構成である。

[0065] このような回路基板の検査装置によれば、第 1の実施の形態に係る回路基板の検查装置と同様の効果に加えて、以下の効果が得られる。

すなわち、複合電極シート 70A, 70Bにおけるコア電極 72の各々力絶縁性シート 71に対してその厚み方向に移動可能とされているため、上面被検査電極 2および下面被検査電極 3によって厚み方向に加圧されたときには、異方導電性コネクター 40 A, 40Bにおける異方導電性エラストマ一シート 41および当該複合電極シート 70A, 70Bの他面に配置された異方導電性エラストマ一シート 35A, 35Bは、コア電極 72 が移動することによって互、に連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が上部側アダプター装置 21Aおよび下部側アダプター装置 21Bの凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。

また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、異方導電性コネクター 40A, 40Bにおける異方導電性エラストマ一シート 41および異方導電性エラストマ一シート 35A, 35Bの合計の厚みによって確保すればよぐ個々の異方導電性エラストマ一シートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。

従って、隣接する上面被検査電極 2間または隣接する下面被検査電極 3間の離間距離が小さぐ電極の高さレベルにバラツキがある被検査回路基板 1についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。

<第 4の実施の形態 >

図 20は、本発明の第 4の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。この回路基板の検査装置は、被検查回路基板 1につヽて、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うために用いられるものである。

この回路基板の検査装置にぉ、て、上部側アダプター装置 21 Aおよび下部側ァダプター装置 21Bの各々には、アダプター本体に代えて、電極シート 80A, 80Bと、この電極シート 80A, 80Bの裏面に配置された異方導電性エラストマ一シート 88A, 8 8Bと、この異方導電性エラストマ一シート 88A, 88Bの裏面に配置された複合電極シート 90A, 90Bとが設けられている。また、この回路基板の検査装置において、被検査回路基板 1は、その両面の各々に、例えば半田バンプよりなる突起状の上面被検査電極 2および下面被検査電極 3を有するものである。また、上部側アダプター装置 21Aと上部側検査ヘッド 22Aとの間に配置された異方導電性エラストマ一シート 3 6Aは、図 21に示すように、厚み方向に伸びる複数の導電路形成部 37が絶縁部 38 によって相互に絶縁されてなるものであり、下部側アダプター装置 21Bと下部側検査ヘッド 22Bとの間に配置された異方導電性エラストマ一シート 36Bも、厚み方向に伸びる複数の導電路形成部が絶縁部によって相互に絶縁されてなるものである。この回路基板の検査装置におけるその他の具体的な構成は、第 1の実施の形態に係る回路基板の検査装置と基本的に同様である。

[0067] 上部側アダプター装置 21Aにおける電極シート 80Aは、被検査回路基板 1における上面被検査電極 2のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通孔 82が形成された柔軟な絶縁性シート 81を有する。この絶縁性シート 81の表面には、図 22〖こも示すように、当該絶縁性シート 81の貫通孔 82の各々を包囲するよう複数のリング状電極 83が形成されている。また、絶縁性シート 81の裏面には、適宜のパターンに従って複数の中継電極 84が形成されている。図示の例では、中継電極 84の各々は、絶縁性シート 81の貫通孔 82の間の中間に位置するよう配置されている。そして、中継電極 84の各々は、絶縁性シート 81をその厚み方向に貫通して伸びる短絡部 85および絶縁性シート 81の表面に形成された配線部 86を介して、リング状電極 83に電気的に接続されている。

[0068] 絶縁性シート 81を構成する材料としては、高い機械的強度を有する榭脂材料を用いることが好ましぐその具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミドなどが挙げられる。また、リング状電極 83、中継電極 84、短絡部 85および配線部 86を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。絶縁性シート 81の厚みは、当該絶縁性シート 81が柔軟性を有するものであれば特に限定されないが、例えば 5〜50 μ mであることが好ましぐより好ましくは 8〜30 μ mである。

絶縁性シート 81の貫通孔 82の径は、後述する複合電極シート 90Aの検査用コア電極 95が移動可能に挿入される得る大きさであればよぐ例えば検査用コア電極 95 の径の 1. 05〜2倍、好ましくは 1. 1〜1. 7倍である。

リング状電極 83の内径は、当該リング状電極 83に電気的に接続される被検査電極の径に応じて設定され、被検査電極に対する電気的接続を確実に達成することができる点で、被検査電極の径の 50〜110%であることが好ましぐより好ましくは 70〜1 00%である。

また、リング状電極 83の内径は、後述する複合電極シート 90Aにおける検査用コア電極 95との絶縁性を確保する観点から、検査用コア電極 95の径の 1. 1〜2倍であることが好ましぐより好ましくは 1. 2〜1. 7倍である。

[0069] このような電極シート 80Aは、例えば以下のようにして製造することができる。

先ず、図 23に示すように、絶縁性シート 81の表面に金属層 86aが形成されてなる積層材料 80aを用意し、この積層材料 80aに、図 24に示すように、絶縁性シート 81 および金属層 86aの各々をその厚み方向に貫通する複数の貫通孔 80Hを、形成すべき電極シート 80Aの短絡部 85のパターンに従って形成する。次いで、貫通孔 80H が形成された積層材料 80aに対してフォトリソグラフィーおよびメツキ処理を施すことにより、図 25に示すように、絶縁性シート 81の裏面に中継電極 84を形成すると共に、当該中継電極 84と金属層 86aとを電気的に接続する、当該絶縁性シート 81の厚み方向に伸びる短絡部 85を形成する。その後、金属層 86aに対してフォトリソグラフィーおよびエッチンク処理を施してその一部を除去することにより、図 26に示すように、絶縁性シート 81の表面にリング状電極 83および配線部 86を形成する。そして、リング状電極 83をマスクとして絶縁性シート 81にレーザー加工を施すことにより、当該絶縁性シート 81に貫通孔 82を形成し、以て電極シート 80Aが得られる。

[0070] 上部側アダプター装置 21Aにおける異方導電性エラストマ一シート 88Aは、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子 Pが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子 Pによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。異方導電性エラストマ一シート 88Aを構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、異方導電性コネクター 40A, 40Bにおける異方導電性エラストマ一シート 41と同様のものを用いることができる。

この異方導電性エラストマ一シート 88Aには、それぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔 89が、被検査回路基板 1における上面被検査電極 2のパターンに対応するパターンに従って形成されて、る。異方導電性エラストマ一シート 88Aの貫通孔 19の径は、後述する第 2の電極シート 90 Aの検査用コァ電極 85が移動可能に挿入される得る大きさであればよぐ例えば検査用コア電極 85の径の 1. 1〜2倍、好ましくは 1. 2〜1. 7倍である。

異方導電性エラストマ一シート 88Aの貫通孔 89は、例えばレーザー加工を施すことによって形成することができる。

上部側アダプター装置 21Aにおける複合電極シート 90Aは、被検査回路基板 1の上面被検査電極 2のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極 95と、電極シート 80Aにおける中継電極 84のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極 96と、検査用コア電極 95および接続用コア電極 96の各々を支持する絶縁性シート 91とにより構成されている。具体的には、絶縁性シート 91には、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔 92が、被検査回路基板 1の上面被検査電極 2のパターンに対応するパターンおよび電極シート 80Aにおける中継電極 84のパターンに対応するパターンに従って形成されており、この絶縁性シート 91の各貫通孔 92に、検査用コア電極 95および接続用コア電極 96の各々が当該絶縁性シート 91の両面の各々力突出するよう配置されている。

検査用コア電極 95の各々は、絶縁性シート 91の貫通孔 92に揷通された円柱状の胴部 95aと、この胴部 95aの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート 91の両面に露出する端子部 95bとにより構成されている。検査用コア電極 95における胴部 95aの長さは、絶縁性シート 91の厚みより大きぐまた、当該胴部 95aの径は、絶縁性シート 91の貫通孔 92の径より小さいものとされており、これにより、当該検査用コア電極 95は、絶縁性シート 91の厚み方向に移動可能とされている。また、検査用コア電極 95における端子部 95bの径は、絶縁性シート 91の貫通孔 92の径ょり大きいものとされている。

接続用コア電極 96の各々は、絶縁性シート 91の貫通孔 92に揷通された円柱状の胴部 96aと、この胴部 96aの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート 21の両面に露出する端子部 96bとにより構成されている。接続用コア電極 96における胴部 96aの長さは、絶縁性シート 91の厚みより大きぐまた、当該胴部 96aの径は、絶縁性シート 91の貫通孔 92の径より小さいものとされており、これにより、当該接続用コア電極 96は、絶縁性シート 91の厚み方向に移動可能とされている。また、接続用コア電極 96における端子部 96bの径は、絶縁性シート 91の貫通孔 92の径ょり大きいものとされている。

[0072] 複合電極シート 90Aにおける絶縁性シート 91を構成する材料並びに絶縁性シート 91およびその貫通孔の具体的な寸法は、第 3の実施の形態に係る回路基板の検査装置の複合電極シートにおける絶縁性シートと同様である。

また、複合電極シート 90Aにおける検査用コア電極 95および接続用コア電極 96を構成する材料、並びに検査用コア電極 95および接続用コア電極 96の寸法は、第 3 の実施の形態に係る回路基板の検査装置の複合電極シートにおけるコア電極と同様である。

また、複合電極シート 90Aは、第 3の実施の形態に係る回路基板の検査装置の複合電極シートの製造方法と同様の方法により製造することができる。

[0073] 下部側アダプター装置 21Bにおける電極シート 80B、異方導電性エラストマーシート 88Bおよび複合電極シート 90Bは、上部側アダプター装置 21Aにおける電極シート 80A、異方導電性エラストマ一シート 88Aおよび複合電極シート 90Aと基本的に同様の構成である。

[0074] このような回路基板の検査装置においては、被検査回路基板 1がホルダー 18によつて検査実行領域 Eに保持され、この状態で、上部側支持板 28Aおよび下部側支持板 28Bの各々が被検査回路基板 1に接近する方向に移動することにより、当該被検査回路基板 1が上部側アダプター装置 21Aおよび下部側アダプター装置 21B0 によって挟圧される。

この状態においては、被検査回路基板 1の上面被検査電極 2の各々は、図 27に示すように、上部側アダプター装置 21Aにおける電極シート 80Aのリング状電極 83および複合電極シート 90Aの検査用コア電極 95の両方に、異方導電性コネクター 40 Aの異方導電性エラストマ一シート 41を介して電気的に接続され、複合電極シート 9 OAの検査用コア電極 95および接続用コア電極 96の各々は、異方導電性エラストマ一シート 36Aを介して検査電極装置 23Aの電極ピン 24Aに電気的に接続されている。また、上部側アダプター装置 21Aにおける電極シート 90Aの接続用コア電極 96 の各々は、異方導電性エラストマ一シート 88Aを介して、電極シート 80Aの中継電極 84に電気的に接続される。

一方、被検査回路基板 1の下面被検査電極 3は、下部側アダプター装置 90Bにおける電極シート 80Bのリング状電極および複合電極シート 90Bの検査用コア電極の両方に、異方導電性コネクター 40Bの異方導電性エラストマ一シートを介して電気的に接続され、複合電極シート 90Bの検査用コア電極および接続用コア電極の各々は、異方導電性エラストマ一シート 36Bを介して検査電極装置 23Bの電極ピン 24Bに電気的に接続されている。また、下部側アダプター装置 21Bにおける電極シート 90 Aの接続用コア電極の各々は、異方導電性エラストマ一シート 88Bを介して、電極シート 80Bの中継電極に電気的に接続される。

このとき、上部側アダプター装置 21Aにおいて、電極シート 80Aのリング状電極 83 は、絶縁性シート 81の貫通孔 82を包囲するよう形成されているため、絶縁性シート 8 1の貫通孔 82に進入する検査用コア電極 95の中心位置が上面被検査電極 2の中心位置から位置ずれした場合であっても、上面被検査電極 2に検査用コア電極 95が電気的に接続されていれば、リング状電極 83も必ず上面被検査電極 2に電気的に接続される。また、下部側アダプター装置 21Bにおいても、下面被検査電極 3に検査用コア電極が電気的に接続されていれば、リング状電極も必ず上面被検査電極 3に電気的に接続される。

このようにして、被検査回路基板 1の上面被検査電極 2および下面被検査電極 3の各々が、上部側検査ヘッド 22Aにおける検査電極装置 23Aの検査電極 24Aおよび下部側検査ヘッド 22Bにおける検査電極装置 23Bの検査電極 24Bの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成される。この状態が測定可能状態である。

そして、この測定可能状態において、被検査回路基板 1における複数の上面被検查電極 2のうち 1つの上面被検査電極 2を指定し、この指定された上面被検査電極 2 に電気的に接続された、上部側アダプター装置 21Aにおけるる検査用コア電極 95 およびリング状電極 83のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いると共に、指定された上面被検査電極 2に対応する下面被検査電極 3に電気的に接続された、下部側アダプター装置 21Bにおける検査用コア電極およびリング状電極のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、上部側アダプター装置 21Aにおける電流供給用電極とされた検査用コア電極 95またはリング状電極 83と、下部側アダプター装置 21Bにおける電流供給用電極とされた検査用コア電極またはリング状電極との間に電流を供給すると共に、上部側アダプター装置 21Aにおける電圧測定用電極とされた検査用コア電極 25またはリング状電極 13と、下部側アダプター装置 21Bにおける電圧測定用電極とされた検査用コア電極またはリング状電極との間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された上面被検査電極 2とこれに対応する下面被検査電極 3との間に形成された配線パターンの電気抵抗値が取得される。そして、指定する上面被検查電極 2を順次変更することにより、全ての配線パターンの電気抵抗の測定が行われる。

[0076] このような回路基板の検査装置によれば、第 1の実施の形態に係る回路基板の検查装置と同様の効果に加えて、以下の効果が得られる。

すなわち、電極シート 80A (80B)における絶縁性シート 81には、複合電極シート 9 OAにおける検査用コア電極 95が進入する貫通孔 82が形成され、この貫通孔 82の周囲には、当該貫通孔 82を包囲するようリング状電極 83が形成されているため、被検査回路基板 1における上面被検査電極 2上に、検査用コア電極 95の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該上面被検査電極 2上にはリング状電極 83の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、被検査回路基板 1が大面積

、多数の上面被検査電極 2を有するものであっても、上面被検査電極 2に対する検査用コア電極 95およびリング状電極 83の両方の電気的接続を確実に達成することができる。し力も、検査用コア電極 95およびング状電極 83は互いに電気的に独立されているので、当該上面被検査電極 2に電気的に接続された検査用コア電極 95およびリング状電極 83のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該被検査回路基板 1についての電気抵抗を高ヽ精度で測定することができる。

[0077] 以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は以上の例に限定されるものではなぐ種々の変更をカ卩えることができる。

例えば、本発明の回路基板の検査装置においては、異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマ一シートとして、図 1の検査装置を構成する、いわゆる分散型の異方導電性エラストマ一シートを好適に用いることができる力無論、電極に対応するパターンに従って形成された複数の導電路形成部を有するもの、具体的には、導電性粒子が密に充填された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の柱状の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相互に絶縁する、導電性粒子が全くあるいは殆ど存在しない絶縁部とよりなる、いわゆる偏在型の異方導電性エラストマ一シートを用いることちでさる。

また、図 28に示すように、異方導電性コネクターにおける異方導電性エラストマ一シートとして、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子 Pが含有されてなる、厚み方向に伸びる複数の導電路形成部 41aと、これらの導電路形成部 41aを相互に絶縁する弾性高分子物質よりなる絶縁部 41bとからなるものを用いることができ、このような異方導電性エラストマ一シート 41としては、導電路形成部 41aの各々が絶縁部 4 lbの表面力突出するよう形成されたものを用いることができる。

Claims

請求の範囲

[1] 検査対象回路基板の複数の検査対象電極と、この検査対象電極の各々に対応するよう形成された複数の検査用電極とを、測定状態において当該複数の検査対象電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマ一シートを介して電気的に接続することによって当該検査対象回路基板の電気的検査を行う回路基板の検査装置において、

異方導電性コネクターを構成する複数の異方導電性エラストマ一シートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマ一シートを検査対象回路基板の検査対象電極と検查用電極との間に介在させることにより測定状態が形成されることを特徴とする回路基板の検査装置。

[2] 異方導電性コネクターが、複数の異方導電性エラストマ一シートの各々が長尺なフイルム状の支持体の長手方向に沿って形成された複数の開口を塞ぐように配置されてなる構成のものであることを特徴とする請求項 1に記載の回路基板の検査装置。

[3] 検査対象回路基板の複数の検査対象電極と、この検査対象電極の各々に対応するよう形成された複数の検査用電極とを、測定状態において当該複数の検査対象電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマ一シートを介して電気的に接続することによって当該検査対象回路基板の電気的検査を行う回路基板の検査装置において、

異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマ一シートを検査対象回路基板の検査対象電極と検査用電極との間に介在させることにより測定状態が形成されることを特徴とする回路基板の検査装置。

[4] 移動機構が、異方導電性コネクターが巻き付けられる回転自在な巻き付け軸と、駆動源によって回転される巻き取り軸とよりなることを特徴とする請求項 1〜請求項 3の

V、ずれかに記載の回路基板の検査装置。

[5] 請求項 1〜請求項 4の、ずれかに記載の回路基板の検査装置を用、、

異方導電性コネクターを構成する複数の異方導電性エラストマ一シートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマ一シートを検査対象回路基板の検査対象電極と検查用電極との間に介在させ、測定状態を形成することにより回路基板の電気的検査を実施することを特徴とする回路基板の検査方法。

[6] 複数の異方導電性エラストマ一シートと、当該複数の異方導電性エラストマーシートを支持するための長尺なフィルム状の支持体とよりなることを特徴とする異方導電性コ才、クタ一。

[7] 複数の異方導電性エラストマ一シートの各々が長尺なフィルム状の支持体の長手方向に沿って形成された複数の開口を塞ぐように配置されてなることを特徴とする請求項 6に記載の異方導電性コネクター。

[8] 長尺なフィルム状の異方導電性エラストマ一シートと、当該異方導電性エラストマ一シートをその両側端部の各々において支持するための支持体とよりなることを特徴とする異方導電性コネクター。