JPH05333102A - Ｉｃのハンドリング装置 - Google Patents
Ｉｃのハンドリング装置Info
- Publication number
- JPH05333102A JPH05333102A JP4138925A JP13892592A JPH05333102A JP H05333102 A JPH05333102 A JP H05333102A JP 4138925 A JP4138925 A JP 4138925A JP 13892592 A JP13892592 A JP 13892592A JP H05333102 A JPH05333102 A JP H05333102A
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- JP
- Japan
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- adapter
- section
- test board
- wiring pattern
- handling device
- Prior art date
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、ＩＣのリード部と電気的に接続さ
れるテストボード上に設けた配線パターン又はコンタク
トソケットの劣化を防止すると共に、測定異常によるハ
ンドラの停止時間を無くすことを目的とする。 【構成】 テストボード５９上に設けた配線パターン又
はコンタクトソケットとＩＣのリード部との電気的接続
を行なうアダプタ９０を設け、測定異常時にアダプタ９
０を同じ新しいアダプタに自動交換するアダプタ交換機
構部６０を設けている。これにより、ハンドラの停止時
間を減らし、ハンドラの生産性の向上を可能とする。
れるテストボード上に設けた配線パターン又はコンタク
トソケットの劣化を防止すると共に、測定異常によるハ
ンドラの停止時間を無くすことを目的とする。 【構成】 テストボード５９上に設けた配線パターン又
はコンタクトソケットとＩＣのリード部との電気的接続
を行なうアダプタ９０を設け、測定異常時にアダプタ９
０を同じ新しいアダプタに自動交換するアダプタ交換機
構部６０を設けている。これにより、ハンドラの停止時
間を減らし、ハンドラの生産性の向上を可能とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ（集積回路）の選
別工程において、自動的にＩＣの電気的測定を行なう為
のテストシステムに関し、特にＩＣのハンドリングを行
なうＩＣのハンドリング装置（以下、ハンドラと称す）
に関する。
別工程において、自動的にＩＣの電気的測定を行なう為
のテストシステムに関し、特にＩＣのハンドリングを行
なうＩＣのハンドリング装置（以下、ハンドラと称す）
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のハンドラは、テスタと電
気的に接続されたテストボード上の配線パターン又はコ
ンタクトソケットとＩＣのリード部との電気的接続を直
接行なっている。又、テストボード上の配線パターン又
はコンタクトソケットに異常が発生すると、測定異常
（例えば、不良品という測定結果が予めハンドラに設定
しておいた回数連続した場合）アラームとして、ハンド
ラを停止させていた。
気的に接続されたテストボード上の配線パターン又はコ
ンタクトソケットとＩＣのリード部との電気的接続を直
接行なっている。又、テストボード上の配線パターン又
はコンタクトソケットに異常が発生すると、測定異常
（例えば、不良品という測定結果が予めハンドラに設定
しておいた回数連続した場合）アラームとして、ハンド
ラを停止させていた。
【０００３】図７は、従来のハンドラの概略構成を平面
図により示したものである。ハンドラにおいては、先ず
供給部ローダ５１にＩＣの入った供給トレー５２が収納
され、供給トランスファ５３に取付けられたハンド部５
５のチャッキング部５４により、ＩＣを１個チャッキン
グし、供給ウォーキング部５６まで搬送し、ＩＣをその
近傍に置く。
図により示したものである。ハンドラにおいては、先ず
供給部ローダ５１にＩＣの入った供給トレー５２が収納
され、供給トランスファ５３に取付けられたハンド部５
５のチャッキング部５４により、ＩＣを１個チャッキン
グし、供給ウォーキング部５６まで搬送し、ＩＣをその
近傍に置く。
【０００４】一方、供給部ローダ５１の一番上の供給ト
レー５２が空となると、トレー搬送機構（図示せず）に
より、上方に搬送され、ストック部（図示せず）にスト
ックされる。その後、ＩＣの入った供給トレー５１がト
レー１枚分上昇する。
レー５２が空となると、トレー搬送機構（図示せず）に
より、上方に搬送され、ストック部（図示せず）にスト
ックされる。その後、ＩＣの入った供給トレー５１がト
レー１枚分上昇する。
【０００５】次に、供給ウォーキング部５６に置かれた
ＩＣは、矩形運動により、測定部側の先端まで搬送され
る。供給ウォーキング部５６の測定部先端まで搬送され
たＩＣは、測定部トランスファ５７に取付けられたチャ
ッキング＆プッシャー部５８により、チャッキングさ
れ、テストボード５９上の配線パターン又はコンタクト
ソケット部（何れも図示せず）上まで搬送され、そこに
押し付けられ（配線パターン又はコンタクトソケット
は、ＩＣのリード部と測定器（図示せず）との電気的接
続を取る）、この状態で測定器によりＩＣの電気的な測
定を行なう。
ＩＣは、矩形運動により、測定部側の先端まで搬送され
る。供給ウォーキング部５６の測定部先端まで搬送され
たＩＣは、測定部トランスファ５７に取付けられたチャ
ッキング＆プッシャー部５８により、チャッキングさ
れ、テストボード５９上の配線パターン又はコンタクト
ソケット部（何れも図示せず）上まで搬送され、そこに
押し付けられ（配線パターン又はコンタクトソケット
は、ＩＣのリード部と測定器（図示せず）との電気的接
続を取る）、この状態で測定器によりＩＣの電気的な測
定を行なう。
【０００６】測定が終了すると、チャッキング＆プッシ
ャー部５８が上昇し、測定部トランスファ５７に取付け
られたハンド部６２のチャッキング部６１により、テス
トボード５９上の測定済のＩＣをチャッキングし、収納
ウォーキング部６３まで搬送し、ＩＣをその近傍に置
く。この時、チャッキング＆プッシャー部５８は、供給
ウォーキング部５６より次のＩＣをチャッキングし、テ
ストボード５９まで搬送し、テストボード５９上の配線
パターン又はコンタクトソケットに電気的に接続を取
る。
ャー部５８が上昇し、測定部トランスファ５７に取付け
られたハンド部６２のチャッキング部６１により、テス
トボード５９上の測定済のＩＣをチャッキングし、収納
ウォーキング部６３まで搬送し、ＩＣをその近傍に置
く。この時、チャッキング＆プッシャー部５８は、供給
ウォーキング部５６より次のＩＣをチャッキングし、テ
ストボード５９まで搬送し、テストボード５９上の配線
パターン又はコンタクトソケットに電気的に接続を取
る。
【０００７】更に、収納ウォーキング部６３に置かれた
ＩＣは、矩形運動により、収納部側の先端まで搬送され
る。収納のウォーキング部６３の収納部側の先端まで搬
送されたＩＣは、収納トランスファ６８に取付けられた
ハンド部７０のチャッキング部６９によりチャッキング
され、測定結果に基づき、良品収納部アンローダ６４の
一番上の良品収納トレー６５、又は不良品収納部アンロ
ーダ６６の一番上の不良品収納トレー６７に分類収納さ
れる。一方、良品収納部アンローダ６４の一番上の良品
収納トレー６５、又は不良品収納部アンローダ６５の一
番上の不良品収納トレー６６が満杯となると、トレー搬
送機構（図示せず）により、上方に搬送され、ストック
部にストックされる。それからトレー１枚分上昇する。
ＩＣは、矩形運動により、収納部側の先端まで搬送され
る。収納のウォーキング部６３の収納部側の先端まで搬
送されたＩＣは、収納トランスファ６８に取付けられた
ハンド部７０のチャッキング部６９によりチャッキング
され、測定結果に基づき、良品収納部アンローダ６４の
一番上の良品収納トレー６５、又は不良品収納部アンロ
ーダ６６の一番上の不良品収納トレー６７に分類収納さ
れる。一方、良品収納部アンローダ６４の一番上の良品
収納トレー６５、又は不良品収納部アンローダ６５の一
番上の不良品収納トレー６６が満杯となると、トレー搬
送機構（図示せず）により、上方に搬送され、ストック
部にストックされる。それからトレー１枚分上昇する。
【０００８】これ以降、ハンドラは以上に説明した動作
を繰り返す。
を繰り返す。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したハンドラは、
テスタと電気的に接続されたテストボード上の配線パタ
ーン又はコンタクトソケットとＩＣのリードとの電気的
な接続を直接行なっていた為、多数のＩＣを測定する
と、配線パターン又はコンタクトソケットの劣化が発生
し、結果として、測定異常アラームが発生し、停止状態
になることが多い。このようなアラームを解除する為に
は、テストボードを人手により交換する必要がある。
テスタと電気的に接続されたテストボード上の配線パタ
ーン又はコンタクトソケットとＩＣのリードとの電気的
な接続を直接行なっていた為、多数のＩＣを測定する
と、配線パターン又はコンタクトソケットの劣化が発生
し、結果として、測定異常アラームが発生し、停止状態
になることが多い。このようなアラームを解除する為に
は、テストボードを人手により交換する必要がある。
【００１０】又、テストボード上の配線パターン又はコ
ンタクトソケット上に、異物、（特に半田屑）が付着し
たとき等も、結果として、測定異常アラームが発生し、
ハンドラは停止状態となる。このアラームを解除する場
合にも、テストボード上の清掃を人手により行なう必要
がある。このように、トラブル時のハンドラは、人手を
要する為、高度に自動運転化を図る上で技術的に問題を
残している。特に、ＩＣのリード間の間隔が小さいもの
を扱う程、ハンドラが停止状態になる傾向が高く、より
問題視されている。
ンタクトソケット上に、異物、（特に半田屑）が付着し
たとき等も、結果として、測定異常アラームが発生し、
ハンドラは停止状態となる。このアラームを解除する場
合にも、テストボード上の清掃を人手により行なう必要
がある。このように、トラブル時のハンドラは、人手を
要する為、高度に自動運転化を図る上で技術的に問題を
残している。特に、ＩＣのリード間の間隔が小さいもの
を扱う程、ハンドラが停止状態になる傾向が高く、より
問題視されている。
【００１１】本発明はかかる事情を鑑みなされたもの
で、その技術的課題は、人為的作業を可能な限り不要と
し、長時間の連続自動運転を行い得るＩＣのハンドリン
グ装置を提供することにある。
で、その技術的課題は、人為的作業を可能な限り不要と
し、長時間の連続自動運転を行い得るＩＣのハンドリン
グ装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、テスタ
と電気的に接続されたテストボード上の配線パターンと
ＩＣのリード部との電気的接続を行なうアダプタを持つ
ＩＣのハンドリング装置において、アダプタを自動的に
交換するアダプタ交換機能を有するＩＣのハンドリング
装置が得られる。
と電気的に接続されたテストボード上の配線パターンと
ＩＣのリード部との電気的接続を行なうアダプタを持つ
ＩＣのハンドリング装置において、アダプタを自動的に
交換するアダプタ交換機能を有するＩＣのハンドリング
装置が得られる。
【００１３】又、本発明によれば、テスタと電気的に接
続されたテストボード上のコンタクトソケットとＩＣの
リード部との電気的接続を行なうアダプタを持つＩＣの
ハンドリング装置において、アダプタを自動的に交換す
るアダプタ交換機能を有するＩＣのハンドリング装置が
得られる。
続されたテストボード上のコンタクトソケットとＩＣの
リード部との電気的接続を行なうアダプタを持つＩＣの
ハンドリング装置において、アダプタを自動的に交換す
るアダプタ交換機能を有するＩＣのハンドリング装置が
得られる。
【００１４】更に、本発明によれば、上記ＩＣのハンド
リング装置において、アダプタは異方導電ゴムで構成さ
れたものであるＩＣのハンドリング装置が得られる。
リング装置において、アダプタは異方導電ゴムで構成さ
れたものであるＩＣのハンドリング装置が得られる。
【００１５】加えて、本発明によれば、上記ＩＣのハン
ドリング装置において、メモリを備え、アダプタに対す
る交換指令は、メモリに予め設定した指令値に基づいて
出されるＩＣのハンドリング装置や、或いはアダプタに
対する交換指令は、テスタでの測定結果に応じて出され
るＩＣのハンドリング装置が得られる。
ドリング装置において、メモリを備え、アダプタに対す
る交換指令は、メモリに予め設定した指令値に基づいて
出されるＩＣのハンドリング装置や、或いはアダプタに
対する交換指令は、テスタでの測定結果に応じて出され
るＩＣのハンドリング装置が得られる。
【００１６】
【作用】本発明のハンドラは、テスタと電気的に接続さ
れたテストボード上の配線パターン又はコンタクトソケ
ットとＩＣのリード部との電気的な接続を行なうアダプ
タと同アダプタを自動交換するためのアダプタ交換機能
を備えている。
れたテストボード上の配線パターン又はコンタクトソケ
ットとＩＣのリード部との電気的な接続を行なうアダプ
タと同アダプタを自動交換するためのアダプタ交換機能
を備えている。
【００１７】
【実施例】以下に実施例を挙げ、本発明のハンドラにつ
いて、図面を参照して詳細に説明する。
いて、図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】図１は、本発明の一実施例であるハンドラ
の概略構成を示した平面図である。従来のハンドラに対
し、本発明のものでは、測定部（後述する）にアダプタ
交換機構部６０が追加されたもので、他の機構部の構成
及び動作は、上述した従来の場合と同様である。
の概略構成を示した平面図である。従来のハンドラに対
し、本発明のものでは、測定部（後述する）にアダプタ
交換機構部６０が追加されたもので、他の機構部の構成
及び動作は、上述した従来の場合と同様である。
【００１９】そこで、以下は図２の図１に示すハンドラ
のアダプタ交換機構部６０におけるアダプタ交換時の概
略構成を示した正面図と、図３のアダプタ交換機構部６
０における測定時の概略構成を示した正面図と、図４の
アダプタ交換時のアダプタ交換機構部６０の概略構成を
示す側面図とを参照して、測定部のアダプタ交換機構部
６０の動作を説明する。
のアダプタ交換機構部６０におけるアダプタ交換時の概
略構成を示した正面図と、図３のアダプタ交換機構部６
０における測定時の概略構成を示した正面図と、図４の
アダプタ交換時のアダプタ交換機構部６０の概略構成を
示す側面図とを参照して、測定部のアダプタ交換機構部
６０の動作を説明する。
【００２０】先ず、アダプタ交換機構部６０では、テス
トボード５９上の配線パターン又はコンタクトソケット
（何れも図示せず）とＩＣのリード部との電気的な接続
を行なう為に、アダプタ９０（このアダプタ９０は、例
えば圧力を加えることにより、圧力を加えた方向に対し
て導通が得られる異方性導電ゴムを使用するものとする
が、他にも、同様な機能が得られるものであれば、使用
可能である。）をリール状に設けている。
トボード５９上の配線パターン又はコンタクトソケット
（何れも図示せず）とＩＣのリード部との電気的な接続
を行なう為に、アダプタ９０（このアダプタ９０は、例
えば圧力を加えることにより、圧力を加えた方向に対し
て導通が得られる異方性導電ゴムを使用するものとする
が、他にも、同様な機能が得られるものであれば、使用
可能である。）をリール状に設けている。
【００２１】このアダプタ９０は、未使用状態ではロー
ラ８２ａに巻かれており、使用済状態ではローラ８２ｂ
に巻き取られる。これらローラ８２ａ、ローラ８２ｂ
は、アダプタ交換機構部ベース８１にブラケット８４で
固定されているモータ８３により駆動される。又、アダ
プタ９０は、アダプタ交換機構部ベース８１にブラケッ
ト８９で固定されているシリンダ８５の先端のアダプタ
押さえ８６（アダプタ押さえ８６は、アダプタ押さえ取
付け金具８７及び接続金具８８を介してシリンダ８５に
取付けられている）を下降させることにより、テストボ
ード５９の上の配線パターン又はコンタクトソケットと
電気的な接続を取る（図３参照）。
ラ８２ａに巻かれており、使用済状態ではローラ８２ｂ
に巻き取られる。これらローラ８２ａ、ローラ８２ｂ
は、アダプタ交換機構部ベース８１にブラケット８４で
固定されているモータ８３により駆動される。又、アダ
プタ９０は、アダプタ交換機構部ベース８１にブラケッ
ト８９で固定されているシリンダ８５の先端のアダプタ
押さえ８６（アダプタ押さえ８６は、アダプタ押さえ取
付け金具８７及び接続金具８８を介してシリンダ８５に
取付けられている）を下降させることにより、テストボ
ード５９の上の配線パターン又はコンタクトソケットと
電気的な接続を取る（図３参照）。
【００２２】ところで、このアダプタ９０を交換する時
は、シリンダ８５を上昇させ（図２参照）、モータ８３
を駆動してローラ８２ａ及びローラ８２ｂを回し、新し
いアダプタ９０をテストボード５９上方に持って来る。
そして、再びシリンダ８５を下降させ、新しいアダプタ
９０をテストボード５９上の配線パターン又はコンタク
トソケットに電気的に接続する。
は、シリンダ８５を上昇させ（図２参照）、モータ８３
を駆動してローラ８２ａ及びローラ８２ｂを回し、新し
いアダプタ９０をテストボード５９上方に持って来る。
そして、再びシリンダ８５を下降させ、新しいアダプタ
９０をテストボード５９上の配線パターン又はコンタク
トソケットに電気的に接続する。
【００２３】このようなアダプタ交換機構部６０を備え
るハンドラは、装置内に予め設定した指令値に基づいて
指令を出すことにより、アダプタを新しいものに自動交
換することができる。
るハンドラは、装置内に予め設定した指令値に基づいて
指令を出すことにより、アダプタを新しいものに自動交
換することができる。
【００２４】そこで、次にアダプタ交換機構部６０の動
作指令を図５に示すハンドラのシステム図に基づいて説
明する。ハンドラ本体１は、測定部異常検出部２、ハン
ドラ本体制御部３、測定部４、テスタＩ／Ｆ制御部５よ
り構成される。
作指令を図５に示すハンドラのシステム図に基づいて説
明する。ハンドラ本体１は、測定部異常検出部２、ハン
ドラ本体制御部３、測定部４、テスタＩ／Ｆ制御部５よ
り構成される。
【００２５】このうち、測定部異常検出部２は、交換指
令条件入力部６（アダプタ９０の交換条件を予め入力し
て置く部分）、交換指令条件メモリ７（本実施例の場
合、累積測定回数１６と設備の累積稼働時間としてお
り、指令値データは予め交換指令条件入力部に入力して
おいたものを読み出す）、カウンタ回路９（テスタＩ／
Ｆ制御部５から得られる測定回数のカウンタ２０とハン
ドラ制御部３より得られる設備の稼働時間の累積カウン
タ２１より構成されている）、実データメモリ８（メモ
リの内容は、カウンタ回路９より得られる実測定回路１
８と稼働時間の累積時間１９である）、及び交換指令条
件メモリ７の内容と実データメモリ８の内容とを比較す
る比較回路Ａ１０及び比較回路Ｂ１１、比較回路Ａ１０
又は比較回路Ｂ１１でデータの一致が得られた場合、条
件検出回路１２により、ハンドラ本体制御部３にアダプ
タ９０の交換条件が整った指令を出す。
令条件入力部６（アダプタ９０の交換条件を予め入力し
て置く部分）、交換指令条件メモリ７（本実施例の場
合、累積測定回数１６と設備の累積稼働時間としてお
り、指令値データは予め交換指令条件入力部に入力して
おいたものを読み出す）、カウンタ回路９（テスタＩ／
Ｆ制御部５から得られる測定回数のカウンタ２０とハン
ドラ制御部３より得られる設備の稼働時間の累積カウン
タ２１より構成されている）、実データメモリ８（メモ
リの内容は、カウンタ回路９より得られる実測定回路１
８と稼働時間の累積時間１９である）、及び交換指令条
件メモリ７の内容と実データメモリ８の内容とを比較す
る比較回路Ａ１０及び比較回路Ｂ１１、比較回路Ａ１０
又は比較回路Ｂ１１でデータの一致が得られた場合、条
件検出回路１２により、ハンドラ本体制御部３にアダプ
タ９０の交換条件が整った指令を出す。
【００２６】ハンドラ本体制御部３はアダプタ９０の交
換条件が整った指令を受けると、テスタＩ／Ｆ制御部５
より、測定終了を受信した後、測定部４のアダプタ交換
機構部駆動回路１３に交換指令を行なう。これにより、
アダプタ交換機構部６０が先に説明した動作を行なう。
換条件が整った指令を受けると、テスタＩ／Ｆ制御部５
より、測定終了を受信した後、測定部４のアダプタ交換
機構部駆動回路１３に交換指令を行なう。これにより、
アダプタ交換機構部６０が先に説明した動作を行なう。
【００２７】ところで、ハンドラのシステムは、テスタ
での測定結果に応じて指令を出すことにより、アダプタ
を新しいものに自動交換することもできる。
での測定結果に応じて指令を出すことにより、アダプタ
を新しいものに自動交換することもできる。
【００２８】図６は本発明の他の実施例であるハンドラ
のアダプタ交換機構部６０の動作指令のシステム図を示
したものである。上述した実施例との相違は、アダプタ
９０の交換指令の条件が、テスタの測定結果より得られ
る歩留り値及び不良品の連続発生数に変えた点で、他の
動作は上述した実施例と同様である。
のアダプタ交換機構部６０の動作指令のシステム図を示
したものである。上述した実施例との相違は、アダプタ
９０の交換指令の条件が、テスタの測定結果より得られ
る歩留り値及び不良品の連続発生数に変えた点で、他の
動作は上述した実施例と同様である。
【００２９】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明のハンド
ラによれば、テスタと電気的に接続されたテストボード
上の配線パターン又はコンタクトソケットとＩＣのリー
ド部との電気的な接続を行なうアダプタを自動交換出来
るようにしているので、テストボード上の配線パターン
又はコンタクトソケットの劣化を防止することができる
ようになる。これにより、高価なテストボードの製作を
不要とすることができるので、選別コストの低減化が可
能になる。
ラによれば、テスタと電気的に接続されたテストボード
上の配線パターン又はコンタクトソケットとＩＣのリー
ド部との電気的な接続を行なうアダプタを自動交換出来
るようにしているので、テストボード上の配線パターン
又はコンタクトソケットの劣化を防止することができる
ようになる。これにより、高価なテストボードの製作を
不要とすることができるので、選別コストの低減化が可
能になる。
【００３０】又、テストボード上の配線パターン又はコ
ンタクトソケットの劣化によるテストボードの作業者
（人手）による交換作業を不要とできるので、ハンドラ
の連続自動運転がより長時間に渡って行い得るようにな
り、ＩＣの生産性を向上させることができる。
ンタクトソケットの劣化によるテストボードの作業者
（人手）による交換作業を不要とできるので、ハンドラ
の連続自動運転がより長時間に渡って行い得るようにな
り、ＩＣの生産性を向上させることができる。
【図１】本発明の一実施例であるハンドラの概略構成を
示した平面図。
示した平面図。
【図２】図１に示すハンドラのアダプタ交換機構部にお
けるアダプタ交換時の概略構成を示した正面図。
けるアダプタ交換時の概略構成を示した正面図。
【図３】図１に示すハンドラのアダプタ交換機構部にお
ける測定時の概略構成を示した正面図。
ける測定時の概略構成を示した正面図。
【図４】図２に示すアダプタ交換機構部の概略構成を示
した側面図。
した側面図。
【図５】本発明の一実施例のハンドラに関するシステム
図。
図。
【図６】本発明の他の実施例のハンドラに関するシステ
ム図。
ム図。
【図７】従来のハンドラの概略構成を示した平面図。
【符号の説明】 １ ハンドラ本体 ２ 測定異常検出部 ３ ハンドラ本体制御部 ４ 測定部 ５ テスタＩ／Ｆ制御部 ６ 交換指令条件入力部 ７ 交換指令条件メモリ ８ 実データメモリ ９ カウンタ回路 １０ 比較回路Ａ １１ 比較回路Ｂ １２ 条件検出回路 １３ アダプタ交換機構部駆動回路 １５ テストボード １６ 測定回数 １７ 稼働時間 １８ 実測定回数 １９ 累計時間 ２０ 測定回数カウンタ ２１ 累積稼働時間カウンタ ２２ テスタ本体 ２３ テストヘッド ２６ 測定異常条件入力部 ２７ 測定異常条件メモリ ２９ 演算回路 ３６ 基準歩留り値 ３７ 連続不良数 ３８ 歩留り値 ３９ 実連続不良数 ４０ 歩留り算出回路 ４１ 連続不良カウント回路 ５１ 供給部ローダ ５２ 供給トレー ５３ 供給トランスファ ５４ チャッキング部 ５５ ハンド部 ５６ 供給ウォーキング部 ５７ 測定トランスファ ５８ チャッキング＆プッシャー部 ５９ テストボード ６０ アダプタ交換機構部 ６１ チャッキング部 ６２ ハンド部 ６３ 収納ウォーキング部 ６４ 良品収納部アンローダ ６５ 良品収納トレー ６６ 不良品収納部アンローダ ６７ 不良品収納トレー ６８ 収納トランスファ ６９ チャッキング部 ７０ ハンド部 ７１ ハンドラベース ８１ アダプタ交換機構部ベース ８２ａ ローラ（左） ８２ｂ ローラ（右） ８３ モータ ８４ ブラケット ８５ シリンダ ８６ アダプタ押さえ ８７ アダプタ押さえ取付け金具 ８８ 接続金具 ８９ ブラケット ９０ アダプタ
Claims (5)
- 【請求項１】 テスタと電気的に接続されたテストボー
ド上の配線パターンとＩＣのリード部との電気的接続を
行なうアダプタを持つＩＣのハンドリング装置におい
て、前記アダプタを自動的に交換するアダプタ交換機能
を有することを特徴とするＩＣのハンドリング装置。 - 【請求項２】 テスタと電気的に接続されたテストボー
ド上のコンタクトソケットとＩＣのリード部との電気的
接続を行なうアダプタを持つＩＣのハンドリング装置に
おいて、前記アダプタを自動的に交換するアダプタ交換
機能を有することを特徴とするＩＣのハンドリング装
置。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のＩＣのハンドリン
グ装置において、前記アダプタは異方導電ゴムで構成さ
れたものであることを特徴とするＩＣのハンドリング装
置。 - 【請求項４】 請求項３記載のＩＣのハンドリング装置
において、メモリを備え、前記アダプタに対する交換指
令は、前記メモリに予め設定した指令値に基づいて出さ
れることを特徴とするＩＣのハンドリング装置。 - 【請求項５】 請求項３記載のＩＣのハンドリング装置
において、前記アダプタに対する交換指令は、前記テス
タでの測定結果に応じて出されることを特徴とするにＩ
Ｃのハンドリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4138925A JPH05333102A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4138925A JPH05333102A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05333102A true JPH05333102A (ja) | 1993-12-17 |
Family
ID=15233344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4138925A Withdrawn JPH05333102A (ja) | 1992-05-29 | 1992-05-29 | Ｉｃのハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05333102A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11326446A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Matsushita Electron Corp | 半導体集積回路の検査方法および検査装置 |
| WO2007026663A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Jsr Corporation | 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法並びに異方導電性コネクター |
| CN117310451A (zh) * | 2023-11-27 | 2023-12-29 | 深圳市晶导电子有限公司 | 一种应用于矮尺寸直插式的塑封芯片的检测装置 |
-
1992
- 1992-05-29 JP JP4138925A patent/JPH05333102A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11326446A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-26 | Matsushita Electron Corp | 半導体集積回路の検査方法および検査装置 |
| WO2007026663A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Jsr Corporation | 回路基板の検査装置および回路基板の検査方法並びに異方導電性コネクター |
| CN117310451A (zh) * | 2023-11-27 | 2023-12-29 | 深圳市晶导电子有限公司 | 一种应用于矮尺寸直插式的塑封芯片的检测装置 |
| CN117310451B (zh) * | 2023-11-27 | 2024-02-23 | 深圳市晶导电子有限公司 | 一种应用于矮尺寸直插式的塑封芯片的检测装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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