JPH07312116A - 異方性導電膜及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造が容易で電気導通部の狭ピッチ化も図れ
る異方性導電膜の提供。 【構成】 導電性繊維２と絶縁繊維３を静電植毛法で絶
縁膜１中に不規則ピッチ、不規則配列で膜１を貫通する
ように植毛する。この異方性導電膜は、絶縁繊維３が導
電性繊維２間に割り込んで繊維２のみの密集植毛を阻止
するので、静電植毛用の電極をパターン化しなくても横
方向の絶縁を確保でき、製造し易い。また、パターン化
された植毛ではないので狭ピッチ化も図れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイス（Ｉ
Ｃ）の足（リード）と基板回路間の電気接続、液晶パネ
ルの電極とリード線間の電気接続などに利用する異方性
導電膜とその膜の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、狭ピッチで配列されたＩＣの各
足を基板上の回路に接続する場合、足間の絶縁を確実に
するために異方性導電膜を間に配して膜中の導電路経由
で電気導通を得ることが多くなっている。このようなケ
ースで用いられる異方性導電膜の従来例としては、(1)
膜の一部を圧縮することによりその部分で膜中に含まれ
る導電粒子の密度を高めて膜厚方向の電気導通を得るも
の、(2) 特開平２−４９３８５号公報に示されるよう
に、絶縁膜にフォトリソグラフィ等でヴィア孔をあけ、
その孔にメッキ導体を埋め込んだもの、(3) 特公平３−
５３７２４号、特開平４−１２１９０４号、特開平４−
１２１９０５号公報等に示されるように、絶縁膜中に静
電植毛法で導電性繊維を膜厚方向に貫通させて植設した
ものなどがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術のう
ち、(1) の異方性導電膜は、製造し易いが、電気導通を
得る部分を圧縮する必要があるので、加圧手段が無けれ
ば利用できず用途が制限される。

【０００４】また、(2) の異方性導電膜は、図３に示す
ように絶縁膜１の所定位置に多数のヴィア孔６をあけ、
その後、メッキして導体７をヴィア孔中に埋める必要が
あるので製造に手間取り、コストが高くつく。さらに、
導体をメッキして埋め込む関係でヴィア孔径に下限があ
り、孔間の更なる狭ピッチ化が図り難い。

【０００５】(3) の異方性導電膜も、静電植毛に用いる
電極をパターン化したり、接続対象の足等を接着する接
着剤層をパターン化したりして図４に示すように導電性
繊維２の植毛域を制限したり、電気導通域を制限する必
要があるので製造コストが高くつき、また、電極や接着
剤層のパターン化による制約が生じて更なる狭ピッチ化
も阻まれる。

【０００６】そこで、本発明は、製造し易くて電気導通
部の更なる狭ピッチ化の要求にも応えられる異方性導電
膜とその膜の製造方法を提供することを課題としてい
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決する本
発明の異方性導電膜は、導電性繊維と絶縁繊維を絶縁膜
中に、前記２種類の繊維が膜厚方向に配向されて少なく
とも導電性繊維が膜を貫通し、かつ、両繊維が不規則ピ
ッチでランダムに配列されて膜中に混在する状態に設け
て成るものである。

【０００８】この異方性導電膜は、対向させた２枚の平
板電極の正極上に絶縁膜を、負極上に所定割合で混合し
た導電性繊維と絶縁繊維を各々配置した後、電極間に直
流電圧を印加し、電極間に生じる静電引力で前記２種類
の繊維を前記絶縁膜側に飛ばし、膜を貫通させて膜中に
保持する方法で製造する。

【０００９】

【作用】導電性繊維のみを静電植毛で絶縁膜中に植毛す
る場合、少なくとも正極の電極板をパターン化してその
部分にのみ導電性繊維を植毛するようにしないと膜の厚
みと直角な横方向の電気絶縁がとれず、一方向（膜の厚
み方向のみ）に電気を通す性質が得られない。

【００１０】これに対し、本発明の方法で作られる異方
性導電膜は、絶縁繊維を混ぜて植毛してあるので、導電
性繊維が一箇所に何本か接触して植え込まれることはあ
っても、電気接続点間に導電性繊維だけが密に並ぶこと
はあり得ない。途中、絶縁繊維が間に入り込んでその位
置で横方向の電気導通を遮断し、従って、ランダム植毛
であっても異方性導電膜として成立する。

【００１１】また、このようにランダム植毛で所望の膜
が得られるので、従来の静電植毛と違ってパターン化し
た電極等を用いる必要がなく、製造が容易になり、狭ピ
ッチ化も実現できる。

【００１２】なお、導電性繊維の配列と配列ピッチは不
規則になるが、その平均ピッチは絶縁繊維と導電性繊維
の径及び混合比を調整して制御できる。本発明ではこの
平均ピッチの制御で足等の接着領域内のどこかに導電性
繊維を存在させ、その繊維経由で接続対象間を電気的に
導通させる。

【００１３】

【実施例】図１に、本発明の異方性導電膜の一例を示
す。図の１はポリイミド等で形成された絶縁膜であり、
その膜中に金属やカーボン等から成る導電性繊維２とガ
ラス、セラミック、樹脂等から成る絶縁繊維３が植毛さ
れている。これ等の繊維は、静電植毛のし易さの観点か
らここではその径を１０〜２０μｍにしたが、この範囲
に限定されるものではない。

【００１４】これ等の繊維２、３は、不規則ピッチでラ
ンダムに配列されて複雑に入り混じっている。さらに、
その配向方向は絶縁膜１の厚み方向に揃っており、ま
た、少なくとも導電性繊維２は絶縁膜１を完全に貫通し
ている。絶縁繊維３は静電植毛時にスペーサとして機能
させるものであるので、絶縁膜１を貫通していることは
必須ではない。

【００１５】なお、図は見易くするために繊維２、３の
植毛状態を粗くして現わした。実際には、その植毛状態
はもっと密になる。

【００１６】図２は、本発明の異方性導電膜の製造方法
を示している。このように、正極の電極板４と負極の電
極板５を対向させて正極の電極板４の表面に繊維が突き
刺り易い未硬化の絶縁膜１を、負極の電極板５上に導電
性繊維２と絶縁繊維３を所定の割合で混ぜた混合物を各
々配置する。そして、対の電極板４、５間に直流電圧を
印加して繊維２、３に静電引力を作用させ、その力で繊
維が飛んで絶縁膜１に突き刺る。このとき、絶縁繊維３
が導電繊維２間に適度に割り込んで導電繊維のみの密集
植毛を防止し、これにより、正の電極をパターン化しな
くても横方向の絶縁性が確保される。

【００１７】かかる本発明の方法の実施は、バッチ的に
行うことも制限されないが、工業的には下記のようにし
て行うのが望ましい。

【００１８】ひとつの方法は、対の電極板４、５を何組
かループの搬送ライン上にセットし、溶剤等で溶かした
絶縁膜材料の正極電極板４への塗布、混合繊維の負極電
極板上への供給の下準備を整えたものを順に電圧印加部
へ送り込んで静電植毛を行い、更に、その作業を終えた
ものを順に乾燥工程に流して乾性した異方性導電膜を得
る。

【００１９】また、もうひとつの方法は、電極板４、５
をそれぞれエンドレスのベルトとして対のローラ間で走
行させ、入口側での正極板表面に対する絶縁膜材料の塗
布、負極板上への混合繊維の供給を行なって静電植毛の
ための電圧印加部と乾燥ゾーンを順次通過させ、完成し
た製品を剥しながら巻き取って長尺の異方性導電膜を連
続的に製造する。

【００２０】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の異方性導電
膜は、導電性繊維と絶縁繊維を静電植毛法で不規則ピッ
チ、不規則配列で絶縁膜中に植毛して膜厚方向にのみ電
気導通を得るようにしてあるので、単純な平板電極を用
いて簡単に効率良く製造することができ、生産性の大巾
向上、コストの大巾削減が可能になる。

【００２１】また、パターン化された電極等を用いない
ので狭ピッチ化の制限が無くなる上に、ピッチ変更に対
する対応にも自由度が生じる。加えて、電気導通を得る
ための加圧も必要とせず、そのため、その用途も拡大す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の異方性導電膜の一例を拡大して示す斜
視図

【図２】本発明の異方性導電膜の製造方法を示す概念図

【図３】本発明の異方性導電膜の一例を示す斜視図

【図４】パターン化した電極を用いて静電植毛法で作ら
れた従来の異方性導電膜の斜視図

【符号の説明】

１ 絶縁膜 ２ 導電性繊維 ３ 絶縁繊維 ４ 正極電極板 ５ 負極電極板 ６ ヴィア孔 ７ メッキ導体

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 導電性繊維と絶縁繊維を絶縁膜中に、前
   記２種類の繊維が膜厚方向に配向されて少なくとも導電
   性繊維が膜を貫通し、かつ、両繊維が不規則ピッチでラ
   ンダムに配列されて膜中に混在する状態に設けて成る異
   方性導電膜。
2. 【請求項２】 対向させた２枚の平板電極の正極上に絶
   縁膜を、負極上に所定割合で混合した導電性繊維と絶縁
   繊維を各々配置した後、電極間に直流電圧を印加し、電
   極間に生じる静電引力で前記２種類の繊維を前記絶縁膜
   側に飛ばし、膜を貫通させて膜中に保持することから成
   る異方性導電膜の製造方法。