KR101985445B1 - 검사용 도전 시트 - Google Patents

Abstract

피검사 디바이스의 검사를 위해 검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되는 도전 시트가 제공된다. 도전 시트는 수직 방향으로 적층된 제1 시트와 제2 시트를 포함한다. 제1 시트는, 수직 방향의 복수의 제1 탄성 도전부와 복수의 제1 탄성 도전부를 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제1 탄성 절연부를 포함한다. 적어도 하나의 제1 탄성 도전부는 제1 탄성 절연부에 대해 수직 방향으로 돌출한 돌출부를 갖는다. 제2 시트는, 수직 방향의 복수의 제2 탄성 도전부와 복수의 제2 탄성 도전부를 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제2 탄성 절연부를 포함한다. 적어도 하나의 제2 탄성 도전부는, 제1 탄성 도전부의 돌출부가 수직 방향에서 적어도 하나의 제2 탄성 도전부에 끼워맞춤되도록 제2 탄성 절연부에 대해 수직 방향으로 오목한 오목부를 갖는다.

Description

검사용 도전 시트{CONDUCTIVE SHEET FOR ELECTRICAL TEST}

본 개시는 피검사 디바이스의 검사에 사용되는 도전 시트에 관한 것이다.

피검사 디바이스의 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사 장치를 전기적으로 연결시키는 커넥터가 피검사 디바이스와 검사 장치의 사이에 배치된다. 커넥터는 검사 장치의 전기적 테스트 신호를 피검사 디바이스에 전달하고, 피검사 디바이스의 응답 신호를 검사 장치에 전달한다. 이러한 커넥터로서, 포고핀 테스트 소켓과 도전성 러버 시트가 사용되고 있다.

포고핀 테스트 소켓은 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 수직 방향으로 눌러지는 포고핀을 갖는다. 포고핀 테스트 소켓은, 포고핀을 수용하는 부품을 필요로 하므로, 얇은 두께를 갖기 어렵고, 피검사 디바이스의 단자들의 미세 피치에 적용되기 어렵다.

도전성 러버 시트는 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 탄성 변형할 수 있다. 도전성 러버 시트는, 포고핀 테스트 소켓에 비해, 적은 제조 비용으로 제조될 수 있고, 피검사 디바이스의 단자를 손상시키지 않으며, 매우 얇은 두께를 가지는 점에서, 유리하다. 따라서, 포고핀 테스트 소켓을 도전성 러버 시트로 대체하는 시도가 피검사 디바이스의 검사 분야에서 다양하게 행해지고 있다.

포고핀 테스트 소켓은 도전성 러버 시트보다 두꺼운 두께를 갖는다. 따라서, 하나의 포고핀 테스트 소켓을 하나의 도전성 러버 시트로 교체하는 방식으로, 도전성 러버 시트가 포고핀 테스트 소켓을 대체할 수는 없다. 대체를 위해서는, 포고핀 테스트 소켓을 검사 장치에 부착하는 부품들이 도전성 러버 시트에 적합하도록 재설계되는 것이 필수적이다. 포고핀 테스트 소켓의 두께만큼의 두께를 갖는 도전성 러버 시트가 고려될 수도 있다. 그러나, 도전성 러버 시트의 두께가 두꺼울수록, 도전성 러버 시트의 전기 저항이 증가하고 도전 성능이 저하하므로, 도전성 러버 시트는 소정 두께 이상으로 제조되기가 어렵다.

포고핀 테스트 소켓을 도전성 러버 시트로 대체하는 것에 관련해, 공개특허공보 제10-2006-0123910호는 하나의 도전성 러버 시트의 아래에 이와 유사한 도전 시트를 배치하는 것을 제안한다. 그러나, 두개의 도전 시트를 단순히 상하로 배치하는 것은, 도전 성능의 저하, 상하로 배치된 부재들의 상대적 위치 변경과 같은 불리함을 해결하지 못한다.

공개특허공보 제10-2006-0123910호

본 개시의 일 실시예는, 증가된 두께를 갖는 적층형 도전 시트를 제공한다. 본 개시의 일 실시예는, 탄성 도전부들이 수직 방향에서 정렬되는 적층형 도전 시트를 제공한다. 본 개시의 일 실시예는, 정렬된 탄성 도전부들의 위치가 변경되지 않는 적층형 도전 시트를 제공한다.

본 개시의 실시예들은, 검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 검사에 사용되는 도전 시트에 관련된다. 도전 시트의 일 실시예에 있어서, 도전 시트는 수직 방향으로 적층된 제1 시트와 제2 시트를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 제1 시트는, 수직 방향의 복수의 제1 탄성 도전부와 복수의 제1 탄성 도전부를 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제1 탄성 절연부를 포함한다. 적어도 하나의 제1 탄성 도전부는 제1 탄성 절연부에 대해 수직 방향으로 돌출한 돌출부를 갖는다. 제2 시트는, 수직 방향의 복수의 제2 탄성 도전부와 복수의 제2 탄성 도전부를 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제2 탄성 절연부를 포함한다. 적어도 하나의 제2 탄성 도전부는, 제1 탄성 도전부의 돌출부가 수직 방향에서 적어도 하나의 제2 탄성 도전부에 끼워맞춤되도록 제2 탄성 절연부에 대해 수직 방향으로 오목한 오목부를 갖는다.

일 실시예에 있어서, 제1 탄성 절연부는 수평 방향으로 연장하는 제1 수평면을 갖고 제2 탄성 절연부는 수평 방향으로 연장하고 제1 수평면과 대향하는 제2 수평면을 갖는다. 돌출부는 제1 수평면에 대해 돌출하고 오목부는 제2 수평면에 대해 오목하며, 제1 수평면과 제2 수평면이 서로 접합된다.

일 실시예에 있어서, 도전 시트는, 수직 방향의 복수의 제3 탄성 도전부와 복수의 제3 탄성 도전부를 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제3 탄성 절연부를 포함하고 제1 시트와 제2 시트의 사이에 배치되는 제3 시트를 더 포함한다. 적어도 하나의 제3 탄성 도전부는 수직 방향으로 대향하는 일단 및 타단 중 하나에 제1 시트의 돌출부가 끼워맞춤되는 오목부와 일단 및 타단 중 다른 하나에 제2 시트의 오목부에 끼워맞춤되는 돌출부를 갖는다.

일 실시예에 있어서, 제3 탄성 절연부는 수직 방향으로 이격된 한 쌍의 제3 수평면을 갖는다. 한 쌍의 제3 수평면 중 하나에 적어도 하나의 제3 탄성 도전부의 오목부가 위치하고 한 쌍의 제3 수평면 중 다른 하나에 적어도 하나의 제3 탄성 도전부의 돌출부가 위치한다. 제1 수평면과 한 쌍의 제3 수평면 중 하나가 접합되고, 제2 수평면과 한 쌍의 제3 수평면 중 다른 하나가 접합된다.

일 실시예에 있어서, 돌출부는 돌출부의 중심축에 대해 경사진 경사부를 갖고, 오목부는 오목부의 중심축에 대해 경사지고 돌출부의 경사부와 접촉되는 경사부를 갖는다.

일 실시예에 있어서, 복수의 제1 탄성 도전부가 돌출부를 갖고, 복수의 제2 탄성 도전부가 오목부를 갖는다.

일 실시예에 있어서, 오목부는 돌출부의 높이의 10%~100%의 깊이를 갖는다.

일 실시예에 있어서, 제1 탄성 절연부는 적어도 하나의 제1 탄성 도전부의 돌출부와 인접하는 돌출부를 갖고, 제2 탄성 절연부는 적어도 하나의 제2 탄성 도전부의 오목부와 인접하고 제1 탄성 절연부의 돌출부가 끼워맞춤되는 오목부를 갖는다.

도전 시트의 또 하나의 실시예에 있어서, 제1 시트의 제1 탄성 절연부는 복수의 제1 탄성 도전부에 대해 수직 방향으로 돌출한 적어도 하나의 돌출부를 갖는다. 제2 시트의 제2 탄성 절연부는 복수의 제2 탄성 도전부에 대해 수직 방향으로 오목하고 제1 탄성 절연부의 돌출부가 수직 방향으로 끼워맞춤되는 적어도 하나의 오목부를 갖는다.

일 실시예에 있어서, 제1 탄성 절연부는 수평 방향으로 연장하는 제1 수평면을 갖고 제2 탄성 절연부는 수평 방향으로 연장하고 제1 수평면과 대향하는 제2 수평면을 갖는다. 돌출부는 제1 수평면으로부터 돌출하고 오목부는 제2 수평면으로부터 오목하며, 제1 수평면과 제2 수평면이 서로 접합된다.

일 실시예에 있어서, 제3 시트의 제3 탄성 절연부는 수직 방향으로 대향하는 일단 및 타단 중 하나에 제1 시트의 돌출부가 끼워맞춤되는 적어도 하나의 오목부와 일단 및 타단 중 다른 하나에 제2 시트의 오목부에 끼워맞춤되는 적어도 하나의 돌출부를 갖는다.

일 실시예에 있어서, 제1 탄성 절연부의 돌출부의 수평 방향에서의 횡단면 형상은 원형, 타원형, 장타원형, 사각형 중 어느 하나를 가질 수 있다. 제2 탄성 절연부의 오목부는 돌출부의 횡단면 형상에 상호 보완되는 횡단면 형상을 가질 수 있다.

일 실시예에 있어서, 돌출부는 오목부의 깊이의 90%~100%의 높이를 갖는다.

일 실시예에 있어서, 적어도 하나의 제1 탄성 도전부는 제1 탄성 절연부의 돌출부와 인접하는 돌출부를 갖고, 적어도 하나의 제2 탄성 도전부는 제2 탄성 절연부의 오목부와 인접하고 적어도 하나의 제1 탄성 도전부의 돌출부가 끼워맞춤되는 오목부를 갖는다.

일 실시예에 있어서, 제1 탄성 도전부 및 제2 탄성 도전부는 수직 방향으로 배열된 다수의 도전성 입자를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 제1 탄성 절연부 및 제2 탄성 절연부는 실리콘 러버 재료를 포함한다.

일 실시예에 있어서, 제1 시트의 제1 수평면과 제2 시트의 제2 수평면은 접착제에 의해 접합될 수 있다.

본 개시의 일 실시예에 의하면, 증가된 두께를 갖는 적층형 도전 시트가 제공될 수 있다. 본 개시의 일 실시예에 의하면, 정렬 요소들 간의 정합이 탄성 도전부들을 수직 방향에서 정렬시키므로, 탄성 도전부들 간의 정렬이 용이하게 구조적으로 행해지는 적층형 도전 시트가 제공될 수 있다. 또한, 정합된 정렬 요소들에 의해 정렬된 탄성 도전부들로 인해, 적층형 도전 시트의 전기 저항이 증대되지 않고 적층형 도전 시트의 도전성이 저하되지 않으며 적층형 도전 시트의 적층 구조가 안정적으로 유지될 수 있다. 본 개시의 일 실시예에 의하면, 정합된 정렬 요소들이 탄성 도전부들의 위치 변경을 방지하므로, 장기간 신뢰성 높게 도전성을 유지할 수 있는 적층형 도전 시트가 제공될 수 있다.

도 1은 본 개시의 제1 실시예에 따른 도전 시트를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 2a 및 도 2b는 실시예에 따른 도전 시트에서의 탄성 도전부 및 탄성 절연부의 평면 배열의 개략적인 예를 각각 도시한다.
도 3은 적층되기 전의 도 1에 도시된 도전 시트를 도시하는 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 제1 시트의 단면 사시도이다.
도 5는 도 3에 도시된 제2 시트의 단면 사시도이다.
도 6a 내지 도 6g는 제1 실시예에서의 돌출부와 오목부의 예를 각각 도시한다.
도 7은 제1 시트와 제2 시트 간의 접합의 일 예를 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 개시의 제2 실시예에 따른 도전 시트를 도시하는 단면도이다.
도 9는 적층되기 전의 도 8에 도시된 도전 시트를 도시하는 단면도이다.
도 10은 제3 실시예에 따른 도전 시트를 도시하는 단면도이다.
도 11은 적층되기 전의 도 10에 도시된 도전 시트를 도시하는 단면도이다.
도 12a 내지 도 12d는 제3 실시예에서의 돌출부와 오목부의 예를 각각 도시한다.
도 13a 내지 도 13g는 탄성 도전부에 제공되는 돌출부의 형상의 예를 각각 도시한다.
도 14는 본 개시의 제4 실시예에 따른 도전 시트를 도시하는 단면도이다.
도 15는 적층되기 전의 도 14에 도시된 도전 시트를 도시하는 단면도이다.

본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.

본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.

본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.

본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 도전 시트가 검사 장치에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "수직 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.

이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들은, 피검사 디바이스의 검사에 사용되는 도전 시트에 관련된다. 실시예들에 따른 도전 시트는, 피검사 디바이스의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스를 최종적으로 검사하기 위해 사용될 수 있다. 그러나, 실시예들에 따른 도전 시트가 적용되는 검사의 예가 전술한 예에 한정되지는 않는다.

도 1은 본 개시의 제1 실시예에 따른 도전 시트를 도시한다. 도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 도전 시트(conductive sheet)(1000)는 검사 장치(10)와 피검사 디바이스(20)의 사이에 배치되어, 피검사 디바이스(20)의 검사를 위해 사용된다.

피검사 디바이스(20)의 검사를 위해, 피검사 디바이스(20)를 수용하는 소켓(30)이 검사 장치(10)에 제거가능하게 장착될 수 있다. 소켓(30)은, 테스트 핸들러의 운반 장치에 의해 검사 장치(10)로 운반된 피검사 디바이스(20)를 그 안에 수용하여 피검사 디바이스(20)를 검사 장치(10)에 위치시킨다. 도전 시트(1000)는 소켓(30)에 교체가능하게 결합될 수 있다.

일 예로, 피검사 디바이스(20)는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 반도체 패키지는, 반도체 IC 칩과 다수의 리드 프레임(lead frame)과 다수의 단자를 수지 재료를 사용하여 육면체 형태로 패키징한 반도체 디바이스이다. 상기 단자로서, 핀, 솔더볼(solder ball) 등이 사용될 수 있다. 도 1에 도시된 반도체 디바이스(20)는 솔더볼의 단자를 포함한다. 이에 따라, 반도체 디바이스(20)는 그 하면에 반구형의 다수의 단자(21)를 가진다. 또한, 반도체 디바이스의 반도체 IC 칩은 메모리 IC 칩 또는 비메모리 IC 칩이 될 수 있다.

검사 장치(10)는 피검사 디바이스(20)의 전기적 특성, 기능적 특성, 동작 속도 등을 검사할 수 있다. 검사 장치(10)는, 검사가 수행되는 테스트 보드 내에, 전기적 테스트 신호를 인가할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 도전 패드(11)를 가질 수 있다. 도전 시트(1000)는 소켓(30)에 의해 검사 장치(10)의 도전 패드(11) 상에 위치되어, 도전 패드(11)와 접촉될 수 있다. 피검사 디바이스(20)의 단자(21)는 도전 시트(1000)를 통해 대응하는 도전 패드(11)와 전기적으로 연결된다. 즉, 도전 시트(1000)가 피검사 디바이스(20)의 단자(21)와 단자(21)에 대응하는 도전 패드(11)를 수직 방향(VD)으로 도전가능하게 연결시킴으로써, 검사 장치(10)에 의해 피검사 디바이스(20)의 검사가 수행된다.

일 실시예의 도전 시트(1000)는 수직 방향(VD)으로 적층된 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)를 포함한다. 적층된 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)로 인해, 도전 시트(1000)는 증가된 두께 및 증가된 눌림량을 가진다. 하방 방향(LD)의 외력이 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)에 가해지면, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)는 하방 방향(LD)과 수평 방향(HD)으로 탄성 변형될 수 있다. 상기 외력은, 테스트 핸들러의 푸셔 장치가 피검사 디바이스(20)를 검사 장치(10) 측으로 눌러서 발생될 수 있다. 이러한 외력에 의해, 피검사 디바이스(20)와 도전 시트(1000)가 수직 방향(VD)으로 접촉될 수 있고, 도전 시트(1000)와 도전 패드(11)가 수직 방향(VD)으로 접촉될 수 있다. 상기 외력이 제거되면, 도전 시트(1000)는 그 원래 형상으로 복원될 수 있다.

제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)는 유사한 구성을 갖는다. 제1 시트(1100)는, 수직 방향(VD)의 복수의 제1 탄성 도전부(1110)와, 복수의 제1 탄성 도전부(1110)를 수평 방향(HD)에서 이격시키고 복수의 제1 탄성 도전부(1110)를 서로 절연시키는 제1 탄성 절연부(1120)를 포함한다. 제2 시트(1200)는, 수직 방향(VD)의 복수의 제2 탄성 도전부(1210)와, 복수의 제2 탄성 도전부(1210)를 수평 방향(HD)에서 이격시키고 복수의 제2 탄성 도전부(1210)를 서로 절연시키는 제2 탄성 절연부(1220)를 포함한다. 도전 시트(1000)에서, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)는 수직 방향(VD)으로 위치한다. 또한, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)는 수직 방향(VD)으로 정렬되어 있고 각자의 단부에서 도전 가능하게 접촉되어 있다.

도 1에 도시된 예에 있어서, 제1 탄성 도전부(1110)는 그 상단에서 제2 탄성 도전부(1210)의 하단(제2 탄성 도전부의 일단)과 접촉되고, 그 하단에서 검사 장치(10)의 도전 패드(11)와 접촉된다. 제2 탄성 도전부(1210)는 그 상단에서 피검사 디바이스(20)의 단자(21)와 접촉되고, 그 하단에서 제1 탄성 도전부(1110)의 상단(제1 탄성 도전부의 일단)과 접촉된다. 이에 따라, 도전 시트(1000)에서는, 수직 방향(VD)으로 정렬되고 접촉된 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)가, 이들에 대응하는 단자(21)와 도전 패드(11)의 사이에서 수직방향의 도전로를 형성한다. 제1 탄성 도전부(1110)의 상단과 하단은 제1 탄성 절연부(1120)의 상면 및 하면과 동일 평면을 형성하거나 그보다 약간 돌출할 수 있다. 제2 탄성 도전부(1210)의 상단과 하단은 제2 탄성 절연부(1220)의 상면 및 하면과 동일 평면을 형성하거나 그보다 약간 오목할 수 있다.

실시예들의 도전 시트에서는, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)의 수평 방향(HD)에서의 위치를 고정시키고 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)를 수직 방향(VD)에서 정렬시키기 위해, 제1 시트(1100)에는 적어도 하나의 정렬 요소가 제공되고, 제2 시트(1200)에는 제1 시트(1100)의 정렬 요소와 상호 보완되는 형상을 갖고 제1 시트(1100)의 정렬 요소와 상호 정합될 수 있는 또 하나의 정렬 요소가 제공된다. 이와 같은 한 쌍의 정렬요소는 돌출부와 오목부로서 구현될 수 있으며, 수직 방향(VD)에서의 끼워맞춤을 허용할 수 있다.

수평 방향(HD)에서 상기 돌출부의 횡단면을 취할 때, 상기 돌출부의 횡단면 형상은 원형을 가질 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 상기 오목부는 상기 돌출부가 상기 오목부에 끼워맞춤되도록 상기 돌출부의 횡단면 형상에 상호 보완되는 횡단면 형상을 가질 수 있다.

상기 돌출부는 제1 시트(1100)의 제1 탄성 도전부(1110) 중 적어도 하나에 제공될 수 있고, 상기 오목부는 이것에 대응하는 제2 시트(1200)의 제2 탄성 도전부(1210)에 제공될 수 있다. 이 경우, 상기 돌출부와 상기 오목부는 탄성 도전부의 수직 방향(VD)에서의 단부를 형성할 수 있다. 또는, 상기 돌출부는 제1 시트(1100)의 제1 탄성 절연부(1120)에 제공될 수 있고, 상기 오목부는 제2 시트(1200)의 제2 탄성 절연부(1220)에 제공될 수 있다. 이 경우, 상기 돌출부와 상기 오목부는 탄성 절연부의 표면으로부터 돌출하거나 탄성 절연부의 표면으로부터 오목할 수 있다. 또는, 상기 돌출부는 제1 시트(1100)의 제1 탄성 도전부(1100)와 제1 탄성 절연부(1120)에 제공될 수 있고, 상기 오목부는 제2 시트(1200)의 제2 탄성 도전부(1210)와 제2 탄성 절연부(1220)에 제공될 수 있다.

도 1에 도시된 도전 시트(1000)를 참조하면, 제1 탄성 도전부(1110)는 수직 방향(VD)에서의 상단부를 형성하는 돌출부(1112)를 갖고, 제2 탄성 도전부(1210)는 수직 방향(VD)에서의 하단부를 형성하는 오목부(1212)를 갖는다. 돌출부(1112)와 오목부(1212)는, 수직 방향(VD)에서 돌출부(1112)가 오목부(1212)에 끼워맞춤되도록 형성된다. 따라서, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)가 적층될 때, 돌출부(1112)와 오목부(1212) 간의 수직 방향(VD)에서의 끼워맞춤에 의해, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)에서 정렬되고 접촉된다.

도 1에 도시된 피검사 디바이스의 형상, 검사 장치의 형상, 소켓의 형상은 실시예의 설명을 위해 개략적으로 표현되어 있다. 도 1에서의 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)의 배치는 단지 예시적이다. 다른 실시예의 도전 시트는, 제2 시트(1200) 위에 배치된 제1 시트(1100)를 포함할 수 있다.

도 2a 및 도2b는, 실시예에 따른 도전 시트에 채용되는 제1 시트에서의 탄성 도전부 및 탄성 절연부의 평면 배열을 개략적으로 도시한다. 제2 시트는 도 2a 및 도 2b에 도시된 평면 배열과 동일한 평면 배열을 가질 수 있다. 도2a 및 도2b를 참조하면, 제1시트(1100)는, 제1 탄성 도전부(1110)와 제1 탄성 절연부(1120)를 포함한다. 제1시트(1100) 내에서의 제1 탄성 도전부(1110)들의 평면 배열은 피검사 디바이스의 단자의 배열에 따라 다양할 수 있다. 도 2a를 참조하면, 제1시트(1100)내에서, 제1 탄성 도전부들(1110)은 한 쌍의 매트릭스 형태로 배열될 수 있다. 도 2b를 참조하면, 제1시트(1100)내에서, 제1 탄성 도전부(1110)들은 사각형의 각 변을 따라 복수 열로 배열될 수 있다.

도 3 내지 도 15를 참조하여 도전 시트의 실시예들을 상세하게 설명한다. 도 3 내지 도 15에 도시된 시트들의 형상, 탄성 도전부들의 형상, 정렬 요소들의 형상 및 위치는 실시예의 설명을 위해 선택된 예에 불과하다.

일 실시예의 도전 시트의 설명을 위해, 도 3 내지 도 5에 도시된 예가 참조된다. 도 3은 적층되기 전의 도 1에 도시된 도전 시트를 도시하고, 도 4는 도 3에 도시된 제1 시트를 도시하고, 도 5는 도 3에 도시된 제2 시트를 도시한다.

도 3을 참조하면, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)는 수직 방향(VD)으로 연장하는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 이러한 원기둥 형상에 있어서, 중간 부분에서의 직경은 상단 및 하단에서의 직경보다 작을 수 있다. 또는, 적층된 도전 시트(1000)에서의 도전성 저하를 방지하기 위해, 피검사 디바이스의 단자 또는 검사 장치에 접촉하는 단부에서의 직경은, 이러한 단부의 반대 측에 위치한 단부의 직경보다 같거나 작을 수 있다.

일 실시예에 있어서, 제1 탄성 도전부(1110)는 수직 방향(VD)으로 배열된 다수의 도전성 입자(1111)를 포함하고, 제2 탄성 도전부(1210)는 수직 방향(VD)으로 배열된 다수의 도전성 입자(1211)를 포함한다. 각 탄성 도전부 내에서, 도전성 입자들은 수직 방향(VD)으로 서로 접촉되어 있다. 이에 따라, 각 탄성 도전부의 상단과 하단이 수직 방향(VD)으로 도전가능하게 연결될 수 있다. 제1 탄성 절연부(1120)를 구성하는 재료가, 다수의 도전성 입자(1111)를 도 3에 도시된 제1 탄성 도전부(1110)의 형상으로 유지할 수 있다. 제2 탄성 절연부(1220)를 구성하는 재료가, 다수의 도전성 입자(1211)를 도 3에 도시된 제2 탄성 도전부(1210)의 형상으로 유지할 수 있다.

일 예로서, 전술한 도전성 입자는 코어 입자의 표면을 고도전성 금속으로 피복하여 이루어질수 있다. 코어 입자는 자성체인 철, 니켈, 코발트 등의 금속 재료로 이루어지거나, 탄성을 지닌 수지 등의 입자가 사용될 수 있다. 코어 입자의 표면에 피복되는 고도전성 금속으로는, 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등이 사용될 수 있다.

도 3을 참조하면, 복수의 제1 탄성 도전부(1110)는 제1 탄성 절연부(1120)에 의해 서로간에 이격되고 절연된다. 제1 탄성 절연부(1120)는 제1 시트(1100)의 사각형의 탄성 영역을 형성할 수 있고, 다수의 도전성 입자(1111)를 전술한 제1 탄성 도전부(1110)의 형상으로 유지시킬 수 있다. 복수의 제2 탄성 도전부(1210)는 제2 탄성 절연부(1220)에 의해 서로 간에 이격되고 절연된다. 제2 탄성 절연부(1220)는 제2 시트(1200)의 사각형의 탄성 영역을 형성할 수 있고 다수의 도전성 입자(1211)를 전술한 제2 탄성 도전부(1210)의 형상으로 유지시킬 수 있다.

상기 탄성 절연부는 탄성 고분자 재료로 이루어진다. 상세하게는, 상기 탄성 절연부는 경화된 실리콘 러버 재료로 이루어진다. 예컨대, 액상의 실리콘 러버가 제1 시트(1100) 또는 제2 시트(1200)를 성형하기 위한 금형 내에 주입되고 경화됨으로써, 상기 탄성 절연부가 형성될 수 있다. 상기 탄성 절연부를 성형하기 위한 액상의 실리콘 러버 재료로서, 부가형 액상 실리콘 고무, 축합형 액상 실리콘 고무, 비닐기나 히드록시기를 포함하는 액상 실리콘 고무 등이 사용될 수 있다. 구체적인 예로서, 상기 액상 실리콘 러버 재료는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 포함할 수 있다.

일 예로서, 전술한 도전성 입자가 분산된 액상 실리콘 러버가 제1 시트(1100) 또는 제2 시트(1200)를 성형하기 위한 금형 내에 주입된 후, 탄성 도전부의 위치마다 인가되는 자기장에 의해 도전성 입자들이 정렬되어 전술한 탄성 도전부가 형성될 수 있다. 또 다른 예로서, 도전성 입자를 포함하지 않는 액상 실리콘 러버가 경화되어 성형된 시트에 탄성 도전부의 위치마다 관통공이 형성되고, 그러한 관통공을 도전성 입자들로 충전시킴으로써, 전술한 탄성 도전부가 형성될 수 있다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 탄성 절연부(1120)는 수평 방향(HD1)에서 제1 수평 간격(D1)으로 이웃하는 제1 탄성 도전부(1110)들을 이격시킨다. 또한, 제1 탄성 절연부(1120)는 수평 방향(HD1)에 수직한 또 하나의 수평 방향(HD2)에서 제2 수평 간격(D2)으로 이웃하는 제1 탄성 도전부(1110)들을 이격시킨다. 제1 수평 간격(D1)과 제2 수평 간격(D2)은, 서로 동일한 치수로 설정될 수 있거나, 서로 다른 치수로 설정될 수 있다.

도 3 및 도 5를 참조하면, 제2 탄성 절연부(1220)는 수평 방향(HD1)에서 제3 수평 간격(D3)으로 이웃한 제2 탄성 도전부(1210)를 이격시킨다. 또한, 제2 탄성 절연부(1220)는 수평 방향(HD2)에서 제4 수평 간격(D4)으로 이웃한 제2 탄성 도전부(1210)를 이격시킨다. 제3 수평 간격(D3)과 제4 수평 간격(D4)은, 서로 동일한 치수로 설정될 수 있거나, 서로 다른 치수로 설정될 수 있다.

일 실시예에 있어서, 도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 시트(1100)의 복수의 제1 탄성 도전부(1110) 중 적어도 하나는, 제1 탄성 절연부(1120)에 대해 수직 방향(VD)으로 돌출한 돌출부(1112)를 갖는다. 도 3 및 도 5를 참조하면, 제2 시트(1200)의 복수의 제2 탄성 도전부(1210) 중 적어도 하나는, 제2 탄성 절연부(1220)에 대해 수직 방향(VD)으로 오목한 오목부(1212)를 갖는다. 돌출부(1112)와 오목부(1212)는, 수직 방향(VD)으로 돌출부(1112)가 오목부(1212)에 끼워맞춤되도록 형성된다. 오목부(1212)는, 돌출부(1112)를 가진 제1 탄성 도전부(1110)에 수직 방향(VD)에서 대응하는 제2 탄성 도전부(1210)에 제공된다. 도 3 내지 도 5는, 돌출부가 제공된 제1 탄성 도전부와 오목부가 제공된 제2 탄성 도전부를 단지 예시의 목적으로 도시한다. 돌출부(1112)는, 하나의 열에 위치하는 복수의 제1 탄성 도전부 중 적어도 하나에, 또는 서로 다른 열에 위치하는 복수의 제1 탄성 도전부 중 적어도 하나에 제공될 수 있다. 또는, 돌출부(1112)는 도 2a 및 도 2b 도시된 시트의 각 코너에 위치하는 제1 탄성 도전부에 제공될 수 있다. 오목부(1212)는 돌출부(1112)가 제공된 제1 탄성 도전부(1110)에 대응하는 제2 탄성 도전부(1210)에 제공될 수 있다.

돌출부(1112)는 수직 방향(VD)으로 제1 탄성 도전부(1110)에 위치하고, 오목부(1212)는 수직 방향(VD)으로 제2 탄성 도전부(1210)에 위치한다. 돌출부(1112)와 오목부(1212)는, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)가 적층될 때, 복수의 제1 탄성 도전부(1110)와 복수의 제2 탄성 도전부(1210)의 수직 방향(VD)에서의 정렬을 위한 기준점으로 기능한다. 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)가 적층될 때, 돌출부(1112)가 오목부(1212)에 끼워맞춤된다. 돌출부(1112)와 오목부(1212) 간의 끼워맞춤으로 인해, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)에서 정렬되고 제1 탄성 도전부(1110)의 일단(예컨대, 도 3에 도시된 제1 탄성 도전부의 상단)과 제2 탄성 도전부(1210)의 일단(예컨대, 도 3에 도시된 제2 탄성 도전부의 하단)이 수직 방향(VD)에서 접촉된다. 이와 같이, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)의 적층 시에, 상측에 위치하는 탄성 도전부와 하측에 위치하는 탄성 도전부 간의 정렬이 돌출부와 오목부의 끼워맞춤에 의해 구조적으로 달성된다. 그러므로, 도전 시트(1000)는 적층형 구조로 인해 두꺼운 두께를 가지면서, 정렬된 탄성 도전부로 인해 전기 저항의 증가나 도전성의 저하를 일으키지 않는다. 또한, 수직 방향(VD)으로 끼워맞춤된 돌출부(1112)와 오목부(1212)는, 수평 방향(HD)에서 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)의 위치를 고정한다. 이에 따라, 피검사 디바이스의 검사를 위해 도전 시트(1000)에 반복적인 누름이 가해져도, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)가 서로에 대해 상대적으로 이동되지 않는다. 그러므로, 도전 시트(1000)는 장기간 신뢰성 높게 도전성을 유지할 수 있는 안정적인 적층형 구조를 가진다.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 일 실시예에 있어서, 제1 시트(1100)의 제1 탄성 절연부(1120)는 수평 방향(HD)으로 연장하는 제1 수평면(1121)을 갖고, 제2 시트(1200)의 제2 탄성 절연부(1220)는 수평 방향(HD)으로 연장하는 제2 수평면(1221)을 갖는다. 제1 수평면(1121)과 제2 수평면(1221)은 수직 방향(VD)에서 대향한다. 제1 탄성 도전부의 돌출부(1112)는 제1 수평면(1121)에 대해 수직 방향(VD)으로 돌출하고, 제2 탄성 도전부의 오목부(1212)는 제2 수평면(1221)에 대해 수직 방향(VD)으로 오목하다.

도 3 및 도 4를 참조하면, 돌출부(1112)는 제1 수평면(1121)에 대해 돌출된 제1 탄성 도전부(1110)의 부분으로 되며 제1 탄성 도전부(1110)의 상단부를 형성한다. 돌출부(1112)는 절두원추형의 형상을 가진다. 이에 따라, 돌출부(1112)는 돌출부의 중심축(CA1)(또는, 제1 탄성 도전부(1110)의 수직 방향(VD)의 중심축)에 대해 경사진 경사부(1113)를 갖는다. 경사부(1113)는 돌출부(1112)의 둘레방향으로 환상으로 연장하여, 돌출부(1112)의 외주부를 형성한다. 돌출부(1112)의 중심축(CA1)에 대한 경사부(1113)의 경사각(IA1)은 0도 초과 30도 이하가 될 수 있다.

도 3 및 도 5를 참조하면, 오목부(1212)는 제2 수평면(1221)에 대해 오목한 제2 탄성 도전부(1210)의 부분으로 되며, 제2 탄성 도전부(1210)의 하단부를 형성한다. 오목부(1212)는 돌출부(1112)의 형상에 대응하는 절두원추형의 형상을 갖는다. 이에 따라, 오목부(1212)는 오목부의 중심축(CA2)(또는, 제2 탄성 도전부(1210)의 수직 방향(VD)의 중심축)에 대해 경사진 경사부(1213)를 갖는다. 경사부(1213)는 오목부(1212)의 둘레방향으로 환상으로 연장하여, 오목부(1212)의 내주부를 형성한다. 오목부(1212)의 중심축(CA2)에 대한 경사부(1213)의 경사각(IA2)은 0도 초과 30도 이하가 될 수 있다. 또한, 경사각(IA2)은, 돌출부의 경사부의 경사각과 동일하거나 그보다 작을 수 있다. 돌출부(1112)가 오목부(1212)에 끼워맞춤되므로, 돌출부(1112)의 경사부(1113)와 오목부(1212)의 경사부(1213)는 서로 접촉된다.

돌출부(1112)와 오목부(1212)는, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)에서 정렬되고 제1 탄성 도전부(1110)의 일단(도 3에 도시된 제1 탄성 도전부의 상단)과 제2 탄성 도전부(1210)의 일단(도 3에 도시된 제2 탄성 도전부의 하단)이 수직 방향(VD)으로 접촉하도록, 형성된다. 일 예로서, 제1 시트(1100)의 전체 높이를 T라고 할 때, 돌출부(1112)의 높이는 0.05T 내지 0.15T가 될 수 있다.

실시예에 따라, 돌출부(1112)가 오목부(1212)에 약간 끼워맞춤되는 깊이로부터 돌출부(1112)가 오목부(1212)에 완전히 끼워맞춤되는 깊이의 범위 내에서, 오목부(1212)는 적합한 깊이를 가질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 오목부(1212)는 돌출부(1112)의 높이의 10%~100%의 깊이를 가질 수 있다. 이와 같이, 오목부(1212)는 돌출부(1112)의 높이와 같거나 그보다 작은 깊이를 가질 수 있다. 이에 따라, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)가 적층될 때, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)으로 확실히 정렬되고 접촉될 수 있다. 또한, 오목부(1212)가 돌출부(1112)의 높이보다 작은 깊이를 가지면, 제1 탄성 절연부(1120)와 제2 탄성 절연부(1220) 간에 수직 방향(VD)으로 미세한 간극이 확보될 수 있다. 이에 따라, 피검사 디바이스의 단자에 의해 탄성 도전부가 수직 방향으로 눌릴 때, 탄성 절연부가 탄성 도전부의 수평 방향의 팽창을 원활하게 허용하여, 탄성 도전부의 탄성력 및 도전 시트의 탄성력을 향상시킬 수 있다.

도 6a 내지 도 6g는 전술한 제1 실시예에서의 돌출부와 오목부의 다양한 예들을 도시한다.

도 6a를 참조하면, 복수의 제1 탄성 도전부(1110) 중 하나의 제1 탄성 도전부만이 돌출부(1112)를 가질 수 있고, 돌출부(1112)를 갖는 제1 탄성 도전부(1110)에 대응하는 제2 탄성 도전부(1210)만이 오목부(1212)를 가질 수 있다.

도 6b를 참조하면, 복수의 제1 탄성 도전부(1110)들이 돌출부(1112)를 가질 수 있다. 돌출부(1112)들은 일렬로 위치하는 제1 탄성 도전부(1110)들에 제공될 수 있거나, 모든 제1 탄성 도전부(1110)들에 제공될 수 있다. 이러한 제1 탄성 도전부(1110)들에 대응하는 제2 탄성 도전부(1210)들이 오목부(1212)를 가질 수 있다.

도 6c를 참조하면, 도 2a 및 도 2b에 예시된 시트의 끝에 인접하게 탄성 도전부들이 위치할 수 있고 이러한 탄성 도전부에 돌출부(1112)와 오목부(1212)가 제공될 수 있다.

도 6d를 참조하면, 제1 시트(1100)의 돌출부(1112)는 원기둥 형상을 가질 수 있고, 제2 시트(1200)의 오목부(1212)는 원통 형상을 가질 수 있다.

도 6e를 참조하면, 오목부(1212)는 제2 탄성 도전부(1210)의 내측으로 수직 방향(VD)으로 오목하도록 형성될 수도 있다.

도 6f 및 도 6g를 참조하면, 제1 탄성 절연부(1120)는 돌출부(1112)에 인접하는 돌출부(1122)를 가질 수 있고, 제2 탄성 절연부(1220)는 오목부(1212)에 인접하는 오목부(1222)를 가질 수 있다. 돌출부(1122)는 제1 수평면(1121)으로부터 돌출하고, 오목부(1222)는 제2 수평면(1221)으로부터 오목하다. 돌출부(1122)는 돌출부(1112)의 높이와 같거나 그보다 작은 높이로 돌출할 수 있고, 오목부(1222)는 오목부(1212)의 깊이와 같거나 그보다 작은 깊이로 오목할 수 있다. 돌출부(1122)는 오목부(1222)와 수직 방향(VD)에서 끼워맞춤되도록 형성될 수 있다. 도 6f를 참조하면, 돌출부(1122)는 돌출부(1112)에 인접할 수 있고, 오목부(1222)는 오목부(1212)에 인접할 수 있다. 도 6g를 참조하면, 돌출부(1122)는 일렬로 위치하는 복수의 돌출부(1112)들을 따라 직선형으로 형성될 수 있고, 각 돌출부(1112)에 인접할 수 있다. 돌출부(1112)와 돌출부(1222)가 소정 길이로 연장하는 돌출부를 형성할 수 있다. 또한, 오목부(1222)는 일렬로 위치하는 복수의 오목부(1212)들을 따라 직선형으로 형성될 수 있고, 각 오목부(1212)에 인접할 수 있다. 오목부(1212)와 오목부(1222)가 소정 길이로 연장하는 오목부를 형성할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 제1 시트와 제2 시트는 서로 접합될 수 있다. 이에 따라, 서로 접합된 제1 시트와 제2 시트를 갖는 도전 시트는 두꺼운 두께를 갖는 하나의 적층 구조물로서 피검사 디바이스와 검사 장치의 사이에 배치될 수 있다. 도 3 및 도 7을 참조하면, 제1 시트와 제2 시트의 접합은 제1 수평면(1121)과 제2 수평면(1221)에서 행해질 수 있다. 이에 따라, 도전 시트(1000)는, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)의 사이에 접합층(BL)을 가지며, 접합층(BL)은 제1 수평면(1121)과 제2 수평면(1221)의 사이에 형성된다. 도 7은, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200) 간의 접합을 예시하기 위해, 접합층(BL)을 과장된 치수로서 도시한다.

일 실시예에 있어서, 제1 수평면(1121)과 제2 수평면(1221)은 접착제에 의해 접합될 수 있다. 상기 접착제로는 실리콘 계열의 접착제가 사용될 수 있으며, 접합층(BL)은 이러한 접착제를 포함할 수 있다. 도 4 및 도 7을 참조하면, 접착제는, 제1 탄성 도전부(1110)의 상단을 제외하고, 제1 탄성 절연부(1120)의 제1 수평면(1121)에 도포될 수 있다. 또는, 도 5 및 도 7을 참조하면, 접착제는, 제2 탄성 절연부(1220)의 하단을 제외하고, 제2 탄성 절연부(1220)의 제2 수평면(1221)에 도포될 수 있다. 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)에는 접착제가 도포되지 않으며 서로 접합되지 않는다. 이에 따라, 서로 접촉되어 있는 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)의 경계면에는, 전기 저항을 증가시키거나 도전성을 저하시키는 접착제가 존재하지 않는다. 상기한 접착제를 사용하는 접합에 관련해, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200) 중 하나는 다른 하나를 향해 소정 조건하에서 수직 방향(VD)으로 가압될 수 있다.

실시예에 따라서는, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)가 접착될 수도 있다. 이 경우, 실리콘 접착제의 두께가 얇아, 도전성 확보가 가능하면 실리콘 접착제가 사용될 수도 있다. 또한, 필요에 따라서는, 도전성 접착제가 사용될 수도 있다. 또 다른 실시예로서, 도 7에 도시된 접합층(BL)은 돌출부(1112)의 경사부와 오목부(1212)의 경사부에 형성될 수도 있다.

일 실시예에 있어서, 도전 시트는 제1 시트와 제2 시트의 사이에 배치되는 하나 이상의 제3 시트를 포함할 수 있다. 도 8은 본 개시의 제2 실시예에 따른 도전 시트를 도시하고, 도 9는 적층되기 전의 도 8에 도시된 도전 시트를 도시한다.

도 8을 참조하면, 도전 시트(2000)는, 제1 시트(1100)와 제2 시트(1200)의 사이에 배치되는 제3 시트(2300)를 포함한다. 제3 시트(2300)로 인해, 도전 시트(2000)는 더욱 두꺼운 두께를 가질 수 있고 더욱 큰 수직 방향의 눌림량을 가질 수 있다. 제3 시트(2300)는, 수직 방향(VD)으로 연장하는 복수의 제3 탄성 도전부(2310)와, 복수의 제3 탄성 도전부(2310)를 수평 방향(HD)에서 이격시키고 복수의 제3 탄성 도전부(2310)를 절연시키는 제3 탄성 절연부(2320)를 포함한다. 제3 탄성 도전부(2310)는, 그 상단에서 제2 탄성 도전부(1210)의 하단(제2 탄성 도전부의 일단)과 접촉되고, 그 하단에서 제1 탄성 도전부(1110)의 상단(제1 탄성 도전부의 일단)과 접촉된다.

도 9를 참조하면, 제3 탄성 도전부(2310)는 다수의 도전성 입자(2311)를 포함한다. 다수의 도전성 입자(2311)는 전술한 도전성 입자(1111, 1211)와 동일할 수 있다. 도전성 입자(2311)는, 제3 탄성 절연부(2320)를 구성하는 재료에 의해, 제3 탄성 도전부(2310)의 형상으로 유지될 수 있다. 제3 탄성 절연부(2320)는, 수평 방향(HD1)에서 제5 수평 간격(D5)으로 이웃하는 제3 탄성 도전부(2310)를 이격시키고, 수평 방향(HD2)에서 제6 수평 간격으로 이웃하는 제3 탄성 도전부(2310)를 이격시킨다. 제3 탄성 절연부(2320)는 전술한 제1 탄성 절연부 또는 전술한 제2 탄성 절연부와 동일하게 구성될 수 있다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 제3 시트(2300)의 복수의 제3 탄성 도전부(2310) 중 적어도 하나는, 수직 방향(VD)으로 대향하는 일단 및 타단 중 하나에 오목부(2312)를 갖고, 일단 및 타단 중 다른 하나에 돌출부(2313)를 갖는다. 오목부(2312)는 제3 탄성 도전부(2310)의 하단에 위치할 수 있다. 오목부(2312)는 제2 시트(1200)의 오목부(1212)와 동일하게 구성될 수 있다. 오목부(2312)는, 제1 시트(1100)와 제3 시트(2300)가 적층될 때 제1 시트(1100)의 돌출부(1112)가 오목부(2312)에 끼워맞춤되도록 형성된다. 돌출부(2313)는 제3 탄성 도전부(2310)의 상단에 위치할 수 있다. 돌출부(2313)는 제1 시트(1100)의 돌출부(1112)와 동일하게 구성될 수 있다. 돌출부(2313)는, 제3 시트(2300)와 제2 시트(1200)가 적층될 때 제2 시트(1200)의 오목부(1212)에 끼워맞춤되도록 형성된다. 도 8 및 도 9는, 오목부(2312)와 돌출부(2313)가 제공된 제3 탄성 도전부(2310)를 단지 예시의 목적으로 도시한다. 제3 시트(2300)에서의 오목부(2312)와 돌출부(2313)는, 돌출부(1112)를 갖춘 제1 탄성 도전부(1110) 및 오목부(1212)를 갖춘 제2 탄성 도전부(1210)에 대응하는 제3 탄성 도전부(2310)에 제공될 수 있다.

제3 탄성 절연부(2320)는 수직 방향(VD)으로 이격되고 수평 방향(HD)으로 연장하는 한 쌍의 제3 수평면(2321, 2322)을 갖는다. 하방 방향(UD)으로 위치한 제3 수평면(2321)이 제1 시트(1100)의 제1 수평면(1121)과 대향한다. 제3 수평면(2321)에 오목부(2312)가 위치하며, 오목부(2312)는 제3 수평면(2321)에 대해 오목하다. 상방 방향(LD)으로 위치한 제3 수평면(2322)이 제2 시트(1100)의 제2 수평면(1221)과 대향한다. 제3 수평면(2322)에 볼록부(2313)가 위치하며, 볼록부(2313)는 제3 수평면(2322)에 대해 볼록하다.

도 8에 도시된 바와 같이, 도전 시트(2000)는, 제1 시트(1100) 위에 제3 시트(2300)가 배치되고 제3 시트(2300) 위에 제2 시트(1200)가 배치되는 방식으로, 제1 시트(1100), 제2 시트(1200) 및 제3 시트(2300)가 수직 방향(VD)으로 적층된다. 제1 내지 제3 시트(1100, 1200, 2300)가 적층된 상태에서, 제1 시트(1100)의 돌출부(1112)와 제3 시트(2300)의 오목부(2322) 간의 수직 방향(VD)의 끼워맞춤에 의해 제1 탄성 도전부(1110)와 제3 탄성 도전부(2310)가 수직 방향(VD)으로 정렬 및 접촉되고, 제3 시트(2300)의 돌출부(2313)와 제2 시트(1200)의 오목부(1212) 간의 수직 방향(VD)의 끼워맞춤에 의해 제3 탄성 도전부(2310)와 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)으로 정렬 및 접촉된다. 이에 따라, 도전 시트(2000)에서는, 제1 탄성 도전부(1110), 이에 대응하는 제3 탄성 도전부(2310), 및 이에 대응하는 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)으로 정렬되어, 수직 방향으로 연장하는 도전로를 만든다.

일 실시예에 있어서, 도전 시트(2000)는, 제1 시트(1100)와 제3 시트(2300)가 접합되고 제3 시트(2300)와 제2 시트(1200)가 접합됨으로써, 하나의 적층 구조물로서 피검사 디바이스와 검사 장치 사이에 배치될 수 있다. 이 경우, 제3 시트(2300)의 제3 수평면(2322)과 제1 시트(1100)의 제1 수평면(1121)이 접합될 수 있고, 제3 시트(2300)의 제3 수평면(2321)과 제2 시트(1200)의 제2 수평면(1221)이 접합될 수 있다. 이러한 접합은, 전술한 접착제를 사용하는 방식으로 행해질 수 있다.

도 8에 도시된 도전 시트는 하나의 제3 시트를 포함한다. 다른 실시예의 도전 시트는, 동일한 구성을 갖는 둘 이상의 제3 시트를 포함할 수 있다. 이에 따라, 더욱 두꺼운 두께를 갖는, 적층 구조물로서의 도전 시트가 실현될 수 있다.

본 개시의 제3 실시예에 따른 도전 시트의 설명을 위해, 도 10 및 도 11에 도시된 예가 참조된다. 도 10은 제3 실시예에 따른 도전 시트를 도시하고, 도 11은 적층되기 전의 도 10에 도시된 도전 시트를 도시한다.

도 10을 참조하면, 일 실시예에 따른 도전 시트(3000)는 수직 방향(VD)으로 적층된 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)를 포함하여, 증가된 두께 및 증가된 눌림량을 가진다. 도 10에 도시된 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)의 위치는 단지 예시적이며, 제1 시트(3100)가 제2 시트(3200)의 위에 배치될 수 있다.

제1 시트(3100)는 전술한 제1 시트(1100)의 구성과 유사한 구성을 갖는다. 제1 시트(3100)는, 수직 방향(VD)의 복수의 제1 탄성 도전부(1110)와, 복수의 제1 탄성 도전부(1110)를 수평 방향(HD)에서 이격시키고 복수의 제1 탄성 도전부(1110)를 서로 절연시키는 제1 탄성 절연부(1120)를 포함한다. 제2 시트(3200)는 전술한 제2 시트(1200)의 구성과 유사한 구성을 갖는다. 제2 시트(3200)는, 수직 방향(VD)의 복수의 제2 탄성 도전부(1210)와, 복수의 제2 탄성 도전부(1210)를 수평 방향(HD)에서 이격시키고 복수의 제2 탄성 도전부(1210)를 서로 절연시키는 제2 탄성 절연부(1220)를 포함한다. 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)가 수직 방향(VD)으로 적층된 도전 시트(3000)에서, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)는 수직 방향(VD)으로 정렬되어 있고 각자의 단부에서 접촉되어 있다.

제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)의 위치를 고정시키고 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)를 수직 방향(VD)에서 정렬시키기 위해, 전술한 돌출부 및 오목부와 유사한 정렬 요소가 제1 시트(3100)의 제1 탄성 절연부(1120)와 제2 시트(3200)의 제2 탄성 절연부(1220)에 각각 제공된다. 돌출부와 오목부로 이루어지는 정렬요소는 수직 방향(VD)에서 서로 끼워맞춤되도록 형성될 수 있다.

도 11을 참조하면, 일 실시예에 있어서, 제1 시트(3100)의 제1 탄성 절연부(1120)는 적어도 하나의 돌출부(3122)를 가지며, 돌출부(3122)는 제1 탄성 도전부(1110)에 대해 수직 방향(VD)으로 돌출한다. 돌출부(3122)는 도 2a 및 도 2b에 도시된 시트 내에서 제1 탄성 절연부(1120)에 위치할 수 있다. 제2 시트(3200)의 제2 탄성 절연부(1220)는 적어도 하나의 오목부(3222)를 가지며, 오목부(3222)는 제2 탄성 도전부(1210)에 대해 수직 방향(VD)으로 오목하다. 오목부(3222)는 제1 시트(3100)의 돌출부(3122)가 수직 방향(VD)에서 오목부(3222)에 끼워맞춤되도록 형성된다. 오목부(3222)는 제2 시트(3200)의 제2 탄성 절연부(1220)에 돌출부(3122)의 위치에 대응하는 위치에 형성된다. 돌출부(3122)와 오목부(3222) 간의 수직 방향(VD)에서의 끼워맞춤에 의해 복수의 제1 탄성 도전부(1110)와 복수의 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)에서 접촉되고 정렬된 상태에서, 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)가 수직 방향(VD)으로 적층된다.

도 11을 참조하면, 일 실시예에 있어서, 제1 시트(3100)의 제1 탄성 절연부(1120)는 수평 방향(HD)으로 연장하는 제1 수평면(1121)을 갖고, 제2 시트(3200)의 제2 탄성 절연부(1220)는 수평 방향(HD)으로 연장하는 제2 수평면(1221)을 갖는다. 제1 수평면(1121)과 제2 수평면(1221)은 수직 방향(VD)에서 대향한다. 돌출부(3122)는 제1 수평면(1121)으로부터 수직 방향(VD)으로 돌출하고, 오목부(3222)는 제2 수평면(1221)으로부터 수직 방향(VD)으로 오목하다.

돌출부(3122)와 오목부(3222)는 수직 방향(VD)으로 끼워맞춤을 실현한다. 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)가 적층되면, 돌출부(3122)와 오목부(3222) 간의 끼워맞춤으로 인해, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)에서 정렬되고 제1 탄성 도전부(1110)의 일단(예컨대, 도 11에 도시된 제1 탄성 도전부의 상단)과 제2 탄성 도전부(1210)의 일단(예컨대, 도 11에 도시된 제2 탄성 도전부의 하단)이 수직 방향(VD)에서 접촉된다. 이와 같이, 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)의 적층 시에, 탄성 도전부들의 수직 방향(VD)에서의 정렬이 돌출부(3122)와 오목부(3222)에 의해 구조적으로 행해진다. 그러므로, 도전 시트(3000)는 적층형 구조로 인해 두꺼운 두께를 가지면서, 정렬된 탄성 도전부들로 인해 전기 저항의 증가나 도전성의 저하를 일으키지 않는다. 또한, 수직 방향(VD)으로 끼워맞춤된 돌출부(3122)와 오목부(3222)는, 수평 방향(HD)에서 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)의 위치를 고정한다. 이에 따라, 피검사 디바이스의 검사를 위해 적층된 도전 시트(3000)에 반복적인 누름이 가해져도, 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)가 서로에 대해 상대적으로 이동되지 않는다. 그러므로, 도전 시트(3000)는 장기간 신뢰성 높게 도전성을 유지할 수 있는 안정적인 적층형 구조를 가진다.

돌출부(3122)와 오목부(3222)는, 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)가 적층될 때, 복수의 제1 탄성 도전부(1110)와 복수의 제2 탄성 도전부(1210)의 수직 방향(VD)에서의 정렬을 위한 기준점으로 기능한다. 돌출부(3122)와 오목부(3222)는, 제1 탄성 도전부(1110)와 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)에서 정렬되고 수직 방향(VD)으로 접촉하도록, 형성된다. 일 예로서, 제1 시트(3200)의 전체 높이를 T라 할 때, 돌출부(3122)의 높이는 0.05T 내지 0.15T가 될 수 있다.

실시예에 따라, 돌출부(3122)가 오목부(3222)에 상당히 끼워맞춤되는 높이로부터 돌출부(3122)가 오목부(3222)에 완전히 끼워맞춤되는 높이의 범위 내에서, 돌출부(3122)는 적합한 높이를 가질 수 있다. 일 실시예에 있어서, 돌출부(3122)는 오목부(3222)의 깊이의 90%~100%의 높이를 가질 수 있다. 이와 같이, 돌출부(3122)는 오목부(3222)의 깊이와 같거나 그보다 작은 높이를 가질 수 있다. 이에 따라, 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)가 적층될 때, 오목부(3222)는 돌출부(3122)의 전부가 오목부(3222)에 끼워맞춤될 수 있고, 제1 수평면(1121)과 제2 수평면(1221)이 완전히 접촉되며, 제1 탄성 도전부(1110)들의 전부와 제2 탄성 도전부(1210)들의 전부가 수직 방향(VD)으로 접촉될 수 있다.

일 실시예에 있어서, 도 10 및 도 11을 참조하면, 돌출부(3122)는 돌출부의 중심축(CA1)에 대해 경사진 경사부(3123)를 갖는다. 경사부(3123)는 돌출부(3122)의 둘레방향으로 환상으로 연장하여, 돌출부(3122)의 외주부를 형성한다. 경사부(3123)의 중심축(CA1)에 대한 경사각은 전술한 경사각(IA1)이 될 수 있다. 오목부(3222)는 돌출부(3122)의 형상에 대응하는 형상을 갖는다. 이에 따라, 오목부(3222)는 오목부의 중심축(CA2)에 대해 경사진 경사부(3223)를 갖는다. 경사부(3223)는 오목부(3222)의 둘레방향으로 환상으로 연장하여, 오목부(3222)의 내주부를 형성한다. 경사부(3223)의 중심축(CA2)에 대한 경사각은 전술한 경사각(IA2)이 될 수 있다. 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)가 적층될 때 돌출부(3122)가 오목부(3222)에 끼워맞춤되므로, 경사부(3123)와 경사부(3223)는 서로 접촉된다.

일 실시예에 있어서, 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)가 서로 접합될 수 있다. 서로 접합된 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)를 갖는 도전 시트(3000)는 두꺼운 두께를 갖는 하나의 적층 구조물로서 피검사 디바이스와 검사 장치의 사이에 배치될 수 있다. 도 11을 참조하면, 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)의 접합은 제1 수평면(1121)과 제2 수평면(1221)에서 행해질 수 있다. 이에 따라, 도전 시트(3000)는, 제1 시트(3100)와 제2 시트(3200)의 사이에, 도 7에 도시된 접합층과 유사한 접합층(BL)을 가질 수 있다. 제1 시트(3100)의 제1 수평면(1121)과 제2 시트(3200)의 제2 수평면(1221)은, 전술한 접착제를 사용하는 방식에 의해 접합될 수 있다. 접착제는, 제1 탄성 도전부(1110)의 상단을 제외한 제1 수평면(1121)에 도포될 수 있다. 또는, 접착제는, 제2 탄성 절연부(1220)의 하단을 제외한 제2 수평면(1221)에 도포될 수 있다.

도 12a 내지 도 12d는, 전술한 제3 실시예에서의 돌출부와 오목부의 다양한 예들을 도시한다.

도 12a를 참조하면, 제1 시트(3100)의 제1 탄성 절연부(1120)는 하나의 돌출부(3122)를 가질 수 있고, 제2 시트(3200)의 제2 탄성 절연부(1220)는 제1 시트(3100)의 돌출부(3122)의 위치에 대응하는 위치에 형성된 하나의 오목부(3222)를 가질 수 있다.

도 12b를 참조하면, 도 2a 및 도 2b에 도시된 시트의 중앙에 돌출부(3122)가 위치할 수 있고, 오목부(3222)는 돌출부(3122)의 위치에 대응하도록 위치할 수 있다. 또는, 도 2a 및 도 2b에 도시된 시트의 각 코너에 제1 탄성 절연부의 돌출부가 위치할 수 있고, 제2 탄성 절연부는 이러한 돌출부에 대응하는 위치에 오목부를 가질 수 있다.

도 12c 및 도 12d를 참조하면, 제1 탄성 도전부(1110)는 돌출부(3122)에 인접하는 돌출부(3112)를 가질 수 있고, 제2 탄성 도전부(1210)는 오목부(3222)에 인접하는 오목부(3212)를 가질 수 있다. 돌출부(3112)는 제1 수평면(1121)에 대해 돌출하고, 오목부(3212)는 제2 수평면(1221)에 대해 오목하다. 돌출부(3112)와 오목부(3212)는 전술한 제1 실시예의 돌출부와 오목부에 각각 유사하게 구성될 수 있다. 돌출부(3112)는 오목부(3212)와 수직 방향(VD)에서 끼워맞춤되도록 형성될 수 있다. 도 12c를 참조하면, 제1 탄성 절연부(1120)의 돌출부(3122)는 돌출부(3112)까지 연장할 수 있고 돌출부(3122)는 돌출부(3122)에 인접할 수 있다. 또한, 제2 탄성 절연부(1220)의 오목부(3222)는 오목부(3212)까지 연장할 수 있고, 오목부(3212)는 오목부(3222)에 인접할 수 있다. 도 12d를 참조하면, 제1 탄성 절연부(1120)의 돌출부(3122)는 일렬로 위치하는 복수의 돌출부(3112)들을 따라 직선형으로 형성될 수 있다. 또한, 제2 탄성 절연부(1220)의 오목부(3222)는 일렬로 위치하는 복수의 오목부(3212)들을 따라 직선형으로 형성될 수 있다.

도 13a 내지 도 13g는 탄성 도전부에 제공되는 돌출부의 여러 형상을 도시한다. 수평 방향에서 돌출부(3122)의 횡단면을 취할 때, 돌출부(3122)의 수평 방향에서의 횡단면 형상은, 원형, 타원형, 장타원형, 사각형 중 어느 하나를 가질 수 있다. 도 13a 및 도 13b에 도시된 바와 같이, 돌출부(3122)의 수평 방향에서의 횡단면 형상은 원형을 가질 수 있다. 도 13c에 도시된 바와 같이, 돌출부(3122)의 수평 방향에서의 횡단면 형상은 타원형을 가질 수 있다. 도 13d에 도시된 바와 같이, 돌출부(3122)의 수평 방향에서의 횡단면 형상은 장타원형(長楕圓形, oblong shape)을 가질 수 있다. 상기 장타원형은, 타원형보다 약간 길고 서로 평행한 한 쌍의 직선과 서로 마주하는 한 쌍의 원호형 곡선을 갖는 형상을 의미한다. 도 13e 내지 도 13g에 도시된 바와 같이, 돌출부(3122)의 수평 방향에서의 횡단면 형상은 직사각형 또는 정사각형을 가질 수 있다. 오목부(3222)는, 전술한 돌출부(3122)의 횡단면 형상에 상호 보완되는 횡단면 형상을 가져, 돌출부(3122)와 오목부(3222)는 수직 방향(VD)으로 끼워맞춤 될 수 있다. 도 13c 내지 도 13g에 도시된 긴 형상의 돌출부와 이러한 형상에 대응하는 오목부의 경우, 하나의 돌출부와 하나의 오목부에 의해 탄성 도전부들 간의 정렬이 달성될 수도 있다.

도 14 및 도 15는 본 개시의 제4 실시예에 따른 도전 시트를 도시한다. 도 14는 본 개시의 제4 실시예에 따른 도전 시트를 도시하는 단면도이고, 도 15는 적층되기 전의 도 14에 도시된 도전 시트를 도시하는 단면도이다.

도 14 및 도 15를 참조하면, 도전 시트(4000)는, 돌출부(3122)가 제공된 제1 시트(3100)와 오목부(3222)가 제2 시트(3200)의 사이에 배치되는 제3 시트(4300)를 포함한다. 제3 시트(4300)로 인해, 도전 시트(4000)는 더욱 두꺼운 두께를 가질 수 있고 더욱 큰 수직 방향의 눌림량을 가질 수 있다.

탄성 도전부들의 수직 방향(VD)에서의 정렬을 위한 정렬 요소가 제3 시트(4300)의 제3 탄성 도전부에 제공된 것을 제외하고는, 제3 시트(4300)는 전술한 제3 시트(2300)의 구성과 유사한 구성을 갖는다. 제3 시트(4300)는, 수직 방향(VD)으로 배향된 복수의 제3 탄성 도전부(2310)와, 복수의 제3 탄성 도전부(2310)를 수평 방향(HD)에서 서로 이격 및 절연시키는 제3 탄성 절연부(2320)를 포함한다. 제3 시트(4300)의 제3 탄성 도전부(2310)는 도 9에 도시된 다수의 도전성 입자(2311)를 포함한다.

도 15를 참조하면, 제3 시트(4300)의 제3 탄성 절연부(2320)는, 수직 방향(VD)으로 대향하는 일단 및 타단 중 하나에 적어도 오목부(4323)를 갖고, 일단 및 타단 중 다른 하나에 적어도 하나의 돌출부(4324)를 갖는다. 오목부(4323)는 제3 탄성 절연부(2320)의 하측에 위치할 수 있다. 오목부(4323)는 제2 시트(3200)의 오목부(3222)와 동일하게 구성될 수 있다. 제1 시트(3100)와 제3 시트(4300)가 적층될 때, 제1 시트(3100)의 돌출부(3122)가 오목부(4323)에 끼워맞춤된다. 돌출부(4324)는 제3 탄성 절연부(2320)의 상측에 위치할 수 있다. 돌출부(4324)는 제1 시트(3100)의 돌출부(3122)와 동일하게 구성될 수 있다. 제3 시트(2300)와 제2 시트(1200)가 적층될 때, 돌출부(4324)가 제2 시트(3200)의 오목부(3222)에 끼워맞춤된다.

제3 탄성 절연부(2320)는 수직 방향(VD)으로 이격된 한 쌍의 제3 수평면(2321, 2322)을 갖는다. 하방 방향(LD)에서의 제3 수평면(2321)이 제1 시트(3100)의 제1 수평면(1121)과 대향한다. 제3 수평면(2321)에 오목부(4323)가 위치하며, 오목부(4323)는 제3 수평면(2321)으로부터 오목하다. 상방 방향(UD)에서의 제3 수평면(2322)이 제2 시트(3200)의 제2 수평면(1221)과 대향한다. 제3 수평면(2322)에 돌출부(4324)가 위치하며, 돌출부(4324)는 제3 수평면(2322)으로부터 볼록하다.

도 14에 도시된 바와 같이, 제1 시트(3100) 위에 제3 시트(4300)가 배치되고 제3 시트(4300) 위에 제2 시트(3200)가 배치되는 방식으로, 제1 시트(3100), 제2 시트(3200) 및 제3 시트(4300)가 수직 방향(VD)으로 적층된다. 제1 내지 제3 시트(3100, 3200, 4300)가 적층된 상태에서, 제1 시트(3100)의 돌출부(3122)와 제3 시트(4300)의 오목부(4323) 간의 수직 방향(VD)의 끼워맞춤에 의해 제1 탄성 도전부(1110)와 제3 탄성 도전부(2310)가 수직 방향(VD)으로 정렬 및 접촉되고, 제3 시트(4300)의 돌출부(4324)와 제2 시트(3200)의 오목부(3222) 간의 수직 방향(VD)의 끼워맞춤에 의해 제3 탄성 도전부(2310)와 제2 탄성 도전부(1210)가 수직 방향(VD)으로 정렬 및 접촉된다.

일 실시예에 있어서, 도전 시트(4000)는, 제1 시트(3100)와 제3 시트(4300)가 접합되고 제3 시트(4300)와 제2 시트(3200)가 접합됨으로써, 하나의 적층 구조물로서 피검사 디바이스와 검사 장치 사이에 배치될 수 있다. 이 경우, 제3 시트(4300)의 제3 수평면(2321)과 제1 시트(3100)의 제1 수평면(1121)이 접합될 수 있고, 제3 시트(4300)의 제3 수평면(2322)과 제2 시트(3200)의 제2 수평면(1221)이 접합될 수 있다. 이러한 접합은, 전술한 접착제를 사용하는 방식으로 행해질 수 있다.

도 14에 도시된 도전 시트는 하나의 제3 시트(4300)를 포함한다. 다른 실시예의 도전 시트는, 동일한 구성을 갖는 둘 이상의 제3 시트(4300)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 더욱 두꺼운 두께를 갖는, 적층 구조물로서의 도전 시트가 실현될 수 있다.

이상 일부 실시예들과 첨부된 도면에 도시하는 예에 의해 본 개시의 기술적 사상이 설명되었지만, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이해할 수 있는 본 개시의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 이루어질 수 있다는 점을 알아야 할 것이다. 또한, 그러한 치환, 변형 및 변경은 첨부된 청구범위 내에 속하는 것으로 생각되어야 한다.

10: 검사 장치, 20: 피검사 디바이스, 1000: 도전 시트, 1100: 제1 시트, 1110: 제1 탄성 도전부, 1111: 도전성 입자, 1112: 돌출부, 1113: 경사부, 1120: 제1 탄성 절연부, 1121: 제1 수평면, 1122: 돌출부, 1200: 제2 시트, 1210: 제2 탄성 도전부, 1211: 도전성 입자, 1212: 오목부, 1213: 경사부, 1220: 제2 탄성 절연부, 1221: 제2 수평면, 1222: 오목부, 2000: 도전 시트, 2300: 제3 시트, 2310: 제3 탄성 도전부, 2312: 오목부, 2313: 돌출부, 2320: 제3 탄성 절연부, 2311: 제3 수평면, 2312: 제3 수평면, 3000: 도전 시트, 3100: 제1 시트, 3112: 돌출부, 3122: 돌출부, 3123: 경사부, 3200: 제2 시트, 3212: 오목부, 3222: 오목부, 3223: 경사부, 4000: 도전 시트, 4300: 제3 시트, 4323: 오목부, 4324: 돌출부, VD: 수직 방향, HD1: 수평 방향, CA1: 중심축, CA2: 중심축

Claims (18)

1. 검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되는 도전 시트이며,
   수직 방향의 복수의 제1 탄성 도전부와 상기 복수의 제1 탄성 도전부를 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제1 탄성 절연부를 포함하고, 적어도 하나의 상기 제1 탄성 도전부는 상기 제1 탄성 절연부에 대해 상기 수직 방향으로 돌출한 돌출부를 갖는, 제1 시트와,
   상기 수직 방향의 복수의 제2 탄성 도전부와 상기 복수의 제2 탄성 도전부를 상기 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제2 탄성 절연부를 포함하고, 적어도 하나의 상기 제2 탄성 도전부는, 상기 돌출부가 상기 수직 방향에서 상기 적어도 하나의 제2 탄성 도전부에 끼워맞춤되도록 상기 제2 탄성 절연부에 대해 상기 수직 방향으로 오목한 오목부를 갖는, 제2 시트를 포함하고,
   상기 제1 시트와 상기 제2 시트가 상기 수직 방향으로 적층된,
   도전 시트.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 탄성 절연부는 상기 수평 방향으로 연장하는 제1 수평면을 갖고 상기 제2 탄성 절연부는 상기 수평 방향으로 연장하고 상기 제1 수평면과 대향하는 제2 수평면을 갖고,
   상기 돌출부는 상기 제1 수평면에 대해 돌출하고 상기 오목부는 상기 제2 수평면에 대해 오목하며,
   상기 제1 수평면과 상기 제2 수평면이 서로 접합된,
   도전 시트.
3. 제2항에 있어서,
   상기 수직 방향의 복수의 제3 탄성 도전부와 상기 복수의 제3 탄성 도전부를 상기 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제3 탄성 절연부를 포함하고 상기 제1 시트와 상기 제2 시트의 사이에 배치되는 제3 시트를 더 포함하고,
   적어도 하나의 상기 제3 탄성 도전부는 상기 수직 방향으로 대향하는 일단 및 타단 중 하나에 상기 제1 시트의 돌출부가 끼워맞춤되는 오목부와 상기 일단 및 타단 중 다른 하나에 상기 제2 시트의 오목부에 끼워맞춤되는 돌출부를 갖는,
   도전 시트.
4. 제3항에 있어서,
   상기 제3 탄성 절연부는 상기 수직 방향으로 이격된 한 쌍의 제3 수평면을 갖고,
   상기 한 쌍의 제3 수평면 중 하나에 상기 적어도 하나의 제3 탄성 도전부의 오목부가 위치하고 상기 한 쌍의 제3 수평면 중 다른 하나에 상기 적어도 하나의 제3 탄성 도전부의 돌출부가 위치하고,
   상기 제1 수평면과 상기 한 쌍의 제3 수평면 중 하나가 접합되고, 상기 제2 수평면과 상기 한 쌍의 제3 수평면 중 다른 하나가 접합된,
   도전 시트.
5. 제1항에 있어서,
   상기 돌출부는 상기 돌출부의 중심축에 대해 경사진 경사부를 갖고,
   상기 오목부는 상기 오목부의 중심축에 대해 경사지고 상기 돌출부의 경사부와 접촉되는 경사부를 갖는,
   도전 시트.
6. 제1항에 있어서,
   상기 복수의 제1 탄성 도전부가 상기 돌출부를 갖고 상기 복수의 제2 탄성 도전부가 상기 오목부를 갖는,
   도전 시트.
7. 제6항에 있어서,
   상기 오목부는 상기 돌출부의 높이의 10%~100%의 깊이를 갖는,
   도전 시트.
8. 제1항에 있어서,
   상기 제1 탄성 절연부는 상기 적어도 하나의 제1 탄성 도전부의 돌출부와 인접하는 돌출부를 갖고,
   상기 제2 탄성 절연부는 상기 적어도 하나의 제2 탄성 도전부의 오목부와 인접하고 상기 제1 탄성 절연부의 돌출부가 끼워맞춤되는 오목부를 갖는,
   도전 시트.
9. 검사 장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되는 도전 시트이며,
   수직 방향의 복수의 제1 탄성 도전부와 상기 복수의 제1 탄성 도전부를 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제1 탄성 절연부를 포함하고, 상기 제1 탄성 절연부는 상기 복수의 제1 탄성 도전부에 대해 상기 수직 방향으로 돌출한 적어도 하나의 돌출부를 갖는, 제1 시트와,
   상기 수직 방향의 복수의 제2 탄성 도전부와 상기 복수의 제2 탄성 도전부를 상기 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제2 탄성 절연부를 포함하고, 상기 제2 탄성 절연부는 상기 복수의 제2 탄성 도전부에 대해 상기 수직 방향으로 오목하고 상기 돌출부가 상기 수직 방향으로 끼워맞춤되는 적어도 하나의 오목부를 갖는, 제2 시트를 포함하고,
   상기 제1 시트와 상기 제2 시트가 상기 수직 방향으로 적층된,
   도전 시트.
10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 탄성 절연부는 상기 수평 방향으로 연장하는 제1 수평면을 갖고 상기 제2 탄성 절연부는 상기 수평 방향으로 연장하고 상기 제1 수평면과 대향하는 제2 수평면을 갖고,
    상기 돌출부는 상기 제1 수평면으로부터 돌출하고 상기 오목부는 상기 제2 수평면으로부터 오목하며,
    상기 제1 수평면과 상기 제2 수평면이 서로 접합된,
    도전 시트.
11. 제10항에 있어서,
    상기 수직 방향의 복수의 제3 탄성 도전부와 상기 복수의 제3 탄성 도전부를 상기 수평 방향에서 이격 및 절연시키는 제3 탄성 절연부를 포함하고 상기 제1 시트와 상기 제2 시트의 사이에 배치되는 제3 시트를 더 포함하고,
    상기 제3 탄성 절연부는 상기 수직 방향으로 대향하는 일단 및 타단 중 하나에 상기 제1 시트의 돌출부가 끼워맞춤되는 적어도 하나의 오목부와 상기 일단 및 타단 중 다른 하나에 상기 제2 시트의 오목부에 끼워맞춤되는 적어도 하나의 돌출부를 갖는,
    도전 시트.
12. 제11항에 있어서,
    상기 제3 탄성 절연부는 상기 수직 방향으로 이격된 한 쌍의 제3 수평면을 갖고,
    상기 한 쌍의 제3 수평면 중 하나에 상기 제3 탄성 절연부의 오목부가 위치하고 상기 한 쌍의 제3 수평면 중 다른 하나에 상기 제3 탄성 절연부의 돌출부가 위치하고,
    상기 제1 수평면과 상기 한 쌍의 제3 수평면 중 하나가 접합되고, 상기 제2 수평면과 상기 한 쌍의 제3 수평면 중 다른 하나가 접합된,
    도전 시트.
13. 제9항에 있어서,
    상기 돌출부의 상기 수평 방향에서의 횡단면 형상은 원형, 타원형, 장타원형, 사각형 중 어느 하나를 갖고, 상기 오목부는 상기 돌출부의 횡단면 형상에 상호 보완되는 횡단면 형상을 갖는,
    도전 시트.
14. 제9항에 있어서,
    상기 돌출부는 상기 오목부의 깊이의 90%~100%의 높이를 갖는,
    도전 시트.
15. 제9항에 있어서,
    적어도 하나의 상기 제1 탄성 도전부는 상기 제1 탄성 절연부의 돌출부와 인접하는 돌출부를 갖고,
    적어도 하나의 상기 제2 탄성 도전부는 상기 제2 탄성 절연부의 오목부와 인접하고 상기 적어도 하나의 제1 탄성 도전부의 돌출부가 끼워맞춤되는 오목부를 갖는,
    도전 시트.
16. 제1항 또는 제9항에 있어서,
    상기 제1 탄성 도전부 및 상기 제2 탄성 도전부는 상기 수직 방향으로 배열된 다수의 도전성 입자를 포함하는,
    도전 시트.
17. 제1항 또는 제9항에 있어서,
    상기 제1 탄성 절연부 및 상기 제2 탄성 절연부는 실리콘 러버 재료를 포함하는,
    도전 시트.
18. 제2항 또는 제10항에 있어서,
    상기 제1 수평면과 상기 제2 수평면은 접착제에 의해 접합된,
    도전 시트.

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