JP6842355B2 - 電子部品試験装置用のキャリア - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 120
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 76
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 87
- 102100030140 Thiosulfate:glutathione sulfurtransferase Human genes 0.000 description 31
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 29
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 11
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 102100032306 Aurora kinase B Human genes 0.000 description 1
- 108090000749 Aurora kinase B Proteins 0.000 description 1
- 101000798007 Homo sapiens RAC-gamma serine/threonine-protein kinase Proteins 0.000 description 1
- 102100032314 RAC-gamma serine/threonine-protein kinase Human genes 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
- G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
- G01R1/0483—Sockets for un-leaded IC's having matrix type contact fields, e.g. BGA or PGA devices; Sockets for unpackaged, naked chips
-
- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
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Description
5 テストヘッド
6 テスタ
7 ケーブル
50 ICソケット
51 端子
55 位置決めピン
100 テスト部
101 装置基台
102 トレイ搬送装置
110 ソークチャンバ
120 テストチャンバ
121 プッシャ
130 アンソークチャンバ
200 格納部
201 試験前ストッカ
202 試験済ストッカ
203 トレイ支持枠
204 エレベータ
205 トレイ移送アーム
300 ローダ部
310 デバイス搬送装置
311 レール
312 可動アーム
320 可動ヘッド
360 プリサイサ
370 窓部
400 アンローダ部
410 デバイス搬送装置
470 窓部
TST テストトレイ
700 フレーム
701 外枠
702 内枠
703 開口
710 デバイスキャリア
720 ボディ
721 開口
722 ガイド溝
730 コア
740 コア本体
741 開口
742 爪部
743 ガイド部
744 枠部
7441 第1の側壁
7442 第2の側壁
7443 第3の側壁
7443A 開口
7444 第4の側壁
7444A 開口
7445 平面部
7446 斜面部
7447 平面部
7448 段差部
745、746 位置決め板
7451、7461 位置決め孔
747、748 レバー収容部
747A、748A 開口
749 カシメ
7491 胴部
7492 頭部
7492A 水平面
750 フィルム
751、752 開口
753 小孔
754 スリット
760、761 レバー
Claims (5)
- 電子部品試験装置内で搬送されるトレイのフレームに装着され、複数の端子が底面から突出する被試験電子部品を、前記電子部品試験装置のソケットの上で保持する電子部品試験装置用のキャリアであって、
前記被試験電子部品が載置され、前記複数の端子の位置に対応して複数の貫通孔が形成され、前記キャリアの底部を構成するシートと、
前記シートの外周部が樹脂材料から構成された複数のカシメにより固定された本体部と
を備え、
前記カシメの最下点が、前記シートの最下点よりも高い位置に設定され、
前記シートは、樹脂材料から構成されるフィルムであり、
前記カシメの頭部は、前記シートから突出している電子部品試験装置用のキャリア。 - 請求項1に記載の電子部品試験装置用のキャリアであって、
斜面が、前記本体部の底面に前記底面の内周側から外周側にかけて高位側へ傾斜するように形成され、
前記複数のカシメが、前記斜面に形成されている電子部品試験装置用のキャリア。 - 請求項1に記載の電子部品試験装置用のキャリアであって、
前記複数のカシメが、前記本体部の側面に形成されている電子部品試験装置用のキャリア。 - 請求項1に記載の電子部品試験装置用のキャリアであって、
段差部が、前記本体部の底面に、前記底面の前記段差部よりも外周側の高さが、前記底面の前記段差部よりも内周側の高さよりも高くなるように形成され、
前記複数のカシメが、前記底面の前記段差部よりも外周側に形成されている電子部品試験装置用のキャリア。 - 請求項1〜4の何れか1項に記載の電子部品試験装置用のキャリアであって、
前記シートは、張力を付与された状態で前記外周部が前記複数のカシメにより前記本体部に固定されている電子部品試験装置用のキャリア。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017089436A JP6842355B2 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 電子部品試験装置用のキャリア |
KR1020180038001A KR102352456B1 (ko) | 2017-04-28 | 2018-04-02 | 전자 부품 시험 장치용 캐리어 |
TW107111633A TWI717595B (zh) | 2017-04-28 | 2018-04-02 | 電子元件測試裝置用之載具 |
CN201810390768.2A CN108957285B (zh) | 2017-04-28 | 2018-04-27 | 电子部件试验装置用的载体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017089436A JP6842355B2 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 電子部品試験装置用のキャリア |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018189390A JP2018189390A (ja) | 2018-11-29 |
JP6842355B2 true JP6842355B2 (ja) | 2021-03-17 |
Family
ID=64363429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017089436A Active JP6842355B2 (ja) | 2017-04-28 | 2017-04-28 | 電子部品試験装置用のキャリア |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6842355B2 (ja) |
KR (1) | KR102352456B1 (ja) |
CN (1) | CN108957285B (ja) |
TW (1) | TWI717595B (ja) |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3098374B2 (ja) * | 1994-03-18 | 2000-10-16 | 日本電気株式会社 | 信号測定用装置 |
JPH11287842A (ja) * | 1998-04-02 | 1999-10-19 | Advantest Corp | Ic試験装置 |
TW432221B (en) * | 1998-05-29 | 2001-05-01 | Advantest Corp | Tray for electronic device, the transporting apparatus of tray for electronic device and testing apparatus for electronic device |
SG98373A1 (en) * | 1998-11-25 | 2003-09-19 | Advantest Corp | Device testing apparatus |
TW530159B (en) * | 1999-07-16 | 2003-05-01 | Advantest Corp | Insert for electric devices testing apparatus |
CN101351881A (zh) * | 2005-04-05 | 2009-01-21 | Tir技术有限公司 | 用于光电子器件的安装组件 |
KR100659153B1 (ko) * | 2006-01-26 | 2006-12-19 | 삼성전자주식회사 | 지지판을 구비하는 반도체 패키지용 인서트 |
US7746089B2 (en) * | 2006-09-29 | 2010-06-29 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for indirect planarization |
CN201004081Y (zh) * | 2007-01-18 | 2008-01-09 | 王云阶 | 电子及电路板检测装置 |
US8096742B2 (en) | 2007-08-03 | 2012-01-17 | Newfrey Llc | Blind rivet |
JP5268629B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2013-08-21 | 株式会社エンプラス | 電気部品用キャリア |
JP4765127B1 (ja) * | 2010-07-30 | 2011-09-07 | 合同会社Pleson | トレーユニットおよび半導体デバイスの検査装置 |
JP2012077769A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Nippon Pop Rivets & Fasteners Ltd | ブラインドリベット及びその締結方法 |
US8736294B2 (en) * | 2010-12-14 | 2014-05-27 | Formfactor, Inc. | Probe card stiffener with decoupling |
CN202102083U (zh) * | 2011-01-17 | 2012-01-04 | 伟创力电子技术(苏州)有限公司 | 一种硬件调试装置 |
JP5629670B2 (ja) * | 2011-04-20 | 2014-11-26 | 株式会社アドバンテスト | 試験用キャリア |
TW201317595A (zh) * | 2011-10-19 | 2013-05-01 | Advantest Corp | 元件介面裝置以及測試裝置 |
JP5306512B1 (ja) * | 2012-04-27 | 2013-10-02 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 半導体装置、計測機器、及び補正方法 |
CN105527472B (zh) * | 2014-10-17 | 2018-10-02 | 株式会社Isc | 测试座 |
KR101706331B1 (ko) * | 2014-10-17 | 2017-02-15 | 주식회사 아이에스시 | 검사용 소켓 |
-
2017
- 2017-04-28 JP JP2017089436A patent/JP6842355B2/ja active Active
-
2018
- 2018-04-02 KR KR1020180038001A patent/KR102352456B1/ko active IP Right Grant
- 2018-04-02 TW TW107111633A patent/TWI717595B/zh active
- 2018-04-27 CN CN201810390768.2A patent/CN108957285B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108957285B (zh) | 2021-09-07 |
TW201842342A (zh) | 2018-12-01 |
JP2018189390A (ja) | 2018-11-29 |
KR20180121356A (ko) | 2018-11-07 |
KR102352456B1 (ko) | 2022-01-17 |
TWI717595B (zh) | 2021-02-01 |
CN108957285A (zh) | 2018-12-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191213 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201014 |
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