JP2022116470A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のプローブピンを保持するため、複数の貫通孔がホルダに形成されるプローブ装置において、当該貫通孔の歪みを防止又は軽減する。【解決手段】プローブ装置（１００）は、バレル（８１）及びプランジャ（８２１）をそれぞれ含む複数のプローブピン（８０）と、複数の貫通孔（９１２）を有するホルダ（９１）と、複数の貫通孔（９２２）を有するホルダ（９２）とを備える。貫通孔（９１２）の各々は、バレル保持部（９１２ａ）と、プランジャ保持部（９１２ｂ）とを含む。貫通孔（９２２）の各々は、バレル保持部（９２２ａ）を含む。ホルダ（９２）においてバレル保持部（９２２ａ）が開口する表面（９２１ａ）は、ホルダ（９１）においてバレル保持部（９１２ａ）が開口する表面（９１１ａ）からプローブピン（８０）の軸方向に離隔している。【選択図】図３

Description

本開示は、プローブ装置に関し、より詳細には、電子部品の電気的特性を検査するためのプローブ装置に関する。

従来、電子部品の電気的特性を検査するため、プローブピンを備えたプローブ装置が使用されている。プローブピンは、筒状のバレルと、バレルの少なくとも一端部に設けられたプランジャとを含む。プランジャは、バレルに対して進退可能に構成されている。例えば、プランジャの先端が被検査物である電子部品に接触したとき、プランジャはバレル内へと押し込まれる。プランジャの先端が電子部品から離れると、プランジャは、例えばバレル内に収容されている圧縮コイルばねの付勢力により、バレルの外側に突出する。

特許文献１は、複数のプローブピンを備えるプローブ装置を開示する。当該プローブ装置は、高周波信号を送受信する半導体デバイスの電気的特性を検査するために使用される。特許文献１のプローブ装置において、複数のプローブピンは、半導体デバイスと高周波基板との間に設けられたホルダによって保持される。このホルダは、半導体デバイス側のホルダと、高周波基板側のホルダとによって構成されている。半導体デバイス側のホルダ及び高周波基板側のホルダには、それぞれ、複数の貫通孔が形成されている。半導体デバイス側のホルダの各貫通孔には、プローブピンが有する２つのプランジャの一方が挿入される。高周波基板側のホルダの各貫通孔には、他方のプランジャが挿入される。プローブピンのバレルは、半導体デバイス側のホルダと高周波基板側のホルダとの間に配置される。

特開２０２０－２０６６１号公報

特許文献１のプローブ装置において、半導体デバイス側のホルダ及び高周波基板側のホルダの貫通孔は、各プローブピンのうちプランジャの一部のみを保持しており、バレルを保持していない。バレルの周囲には空気層が設けられている。この場合、各プローブピンがその軸方向に対して垂直な方向（水平方向）に動きやすくなる。

特許文献１は、従来のプローブ装置の構成例として、半導体デバイス側のホルダ及び高周波基板側のホルダのそれぞれに隣接する絶縁体ホルダを設けることを開示している。この絶縁体ホルダは、それぞれバレルの端部が挿入される複数の貫通孔を有する。これらの貫通孔は、その中心が半導体デバイス側のホルダの貫通孔の中心又は高周波基板側のホルダの貫通孔の中心と一致するように配置される必要がある。ただし、絶縁体ホルダは半導体デバイス側のホルダ及び高周波基板側のホルダと別体であるため、貫通孔同士の位置合わせを十分な精度で行うことは難しい。すなわち、半導体デバイス側のホルダ及び高周波基板側のホルダにプランジャを通す貫通孔が設けられ、これらのホルダとは別体の絶縁体ホルダにバレルを通す貫通孔が設けられているため、プランジャを通す貫通孔とバレルを通す貫通孔との間で位置ずれが生じるという問題がある。

このような問題に対して、例えば、プローブピンのほぼ全体を単一のホルダで覆うことが考えられる。すなわち、プローブピンと同程度の長さの貫通孔をホルダに形成し、この貫通孔にプローブピンを挿入して保持することが考えられる。

しかしながら、プローブピンのほぼ全体を単一のホルダで覆う場合、ホルダに形成される貫通孔が長くなる。貫通孔が長くなるに伴い、その形成に用いられる切削工具の刃物も長くなる。よって、ホルダに貫通孔を形成する際に刃物の先端が動きやすくなり、貫通孔に歪みが発生する可能性がある。特に、単一のホルダで複数のプローブピンを保持するため、複数の貫通孔を狭いピッチで当該ホルダに形成する場合、貫通孔間の壁の肉厚が薄くなり、貫通孔に歪みが発生しやすくなる。貫通孔に歪みが発生すると、貫通孔にプローブピンを挿入することが困難になる。また、貫通孔への挿入時にプローブピンが損傷するおそれもある。

本開示は、複数のプローブピンを保持するため、複数の貫通孔がホルダに形成されるプローブ装置において、当該貫通孔の歪みを防止又は軽減することを課題とする。

本開示に係るプローブ装置は、電子部品の電気的特性を検査するためのプローブ装置である。プローブ装置は、複数のプローブピンと、複数の第１貫通孔を有する第１ホルダと、複数の第２貫通孔を有し、第１ホルダと連結される第２ホルダとを備える。複数のプローブピンは、それぞれ、バレルと、バレルの一端部に設けられた第１プランジャとを含む。複数の第１貫通孔は、互いに並行に配置される。複数の第１貫通孔には、それぞれ、複数のプローブピンのうちの１つが挿入される。複数の第２貫通孔は、互いに並行に配置される。複数の第２貫通孔には、それぞれ、複数のプローブピンのうちの１つが挿入される。第１貫通孔の各々は、第１バレル保持部と、第１プランジャ保持部とを含む。第１バレル保持部は、第１ホルダの第２ホルダ側の表面に開口する。第１バレル保持部には、バレルの一端部が挿入される。第１プランジャ保持部は、第１バレル保持部と連通する。第１プランジャ保持部は、第１ホルダの第２ホルダと反対側の表面に開口する。第１プランジャ保持部には、第１プランジャが挿入される。第２貫通孔の各々は、第２バレル保持部を含む。第２バレル保持部は、第２ホルダの第１ホルダ側の表面に開口する。第２バレル保持部には、バレルの他端部が挿入される。第２ホルダにおいて第２バレル保持部が開口する表面は、第１ホルダにおいて第１バレル保持部が開口する表面からプローブピンの軸方向に離隔している。

本開示によれば、複数のプローブピンを保持するため、複数の貫通孔がホルダに形成されるプローブ装置において、当該貫通孔の歪みを防止又は軽減することができる。

図１は、第１実施形態に係るプローブ装置の正面図である。 図２は、図１に示すプローブ装置の一部の縦断面図である。 図３は、図２に示すプローブ装置の縦断面の一部を拡大した図である。 図４は、図３に示すプローブ装置の縦断面の一部を拡大した図である。 図５は、図３に示すプローブ装置の縦断面の他の一部を拡大した図である。 図６は、第２実施形態に係るプローブ装置の一部の縦断面図である。 図７は、第３実施形態に係るプローブ装置の一部の縦断面図である。 図８は、第１実施形態に係るプローブ装置の変形例を示す図である。 図９は、第１実施形態に係るプローブ装置の別の変形例を示す図である。 図１０は、第３実施形態に係るプローブ装置の変形例を示す図である。 図１１は、第３実施形態に係るプローブ装置の別の変形例を示す図である。

実施形態に係るプローブ装置は、電子部品の電気的特性を検査するためのプローブ装置である。プローブ装置は、複数のプローブピンと、複数の第１貫通孔を有する第１ホルダと、複数の第２貫通孔を有し、第１ホルダと連結される第２ホルダとを備える。複数のプローブピンは、それぞれ、バレルと、バレルの一端部に設けられた第１プランジャとを含む。複数の第１貫通孔は、互いに並行に配置される。複数の第１貫通孔には、それぞれ、複数のプローブピンのうちの１つが挿入される。複数の第２貫通孔は、互いに並行に配置される。複数の第２貫通孔には、それぞれ、複数のプローブピンのうちの１つが挿入される。第１貫通孔の各々は、第１バレル保持部と、第１プランジャ保持部とを含む。第１バレル保持部は、第１ホルダの第２ホルダ側の表面に開口する。第１バレル保持部には、バレルの一端部が挿入される。第１プランジャ保持部は、第１バレル保持部と連通する。第１プランジャ保持部は、第１ホルダの第２ホルダと反対側の表面に開口する。第１プランジャ保持部には、第１プランジャが挿入される。第２貫通孔の各々は、第２バレル保持部を含む。第２バレル保持部は、第２ホルダの第１ホルダ側の表面に開口する。第２バレル保持部には、バレルの他端部が挿入される。第２ホルダにおいて第２バレル保持部が開口する表面は、第１ホルダにおいて第１バレル保持部が開口する表面からプローブピンの軸方向に離隔している（第１の構成）。

第１の構成に係るプローブ装置は、複数の第１貫通孔を有する第１ホルダと、複数の第２貫通孔を有する第２ホルダとを備えている。各プローブピンは、第１ホルダの第１貫通孔及び第２ホルダの第２貫通孔に挿入され、第１ホルダ及び第２ホルダによって保持される。より詳細には、各第１貫通孔の第１バレル保持部及び第１プランジャ保持部により、各プローブピンのうち、少なくともバレルの一端部及び第１プランジャの一部が保持される。また、各第２貫通孔の第２バレル保持部により、各プローブピンのうち、少なくともバレルの他端部が保持される。このように、第１プランジャに加えてバレルをホルダで保持することにより、プローブピンの水平方向の移動を抑制することができる。

第１の構成に係るプローブ装置において、第１バレル保持部及び第１プランジャ保持部は、単一の第１ホルダに形成されている。よって、第１バレル保持部と第１プランジャ保持部との位置合わせを行う必要はない。

第１の構成に係るプローブ装置において、第１ホルダ及び第２ホルダは別体である。そのため、第１貫通孔及び第２貫通孔の各長さ、特に第１バレル保持部及び第２バレル保持部の各長さは、プローブピンのほぼ全体を単一のホルダで覆う場合と比較して短くなる。さらに、第２ホルダにおいて第２バレル保持部が開口する第１ホルダ側の表面は、第１ホルダにおいて第１バレル保持部が開口する第２バレル側の表面からプローブピンの軸方向に離隔している。これにより、第１バレル保持部及び第２バレル保持部のうち少なくとも一方の長さをより短くすることができる。よって、各ホルダに複数の貫通孔を形成するとき、これらの貫通孔の歪み、特にバレル保持部における歪みを防止又は軽減することができる。

複数の第１貫通孔のうち隣り合う第１貫通孔同士の、プローブピンの軸方向に対して垂直な方向における間隔であって、第１バレル保持部の位置における間隔は、例えば、０．０５ｍｍ以下とすることができる（第２の構成）。

複数の第１貫通孔のうち隣り合う第１貫通孔同士の、プローブピンの軸方向に対して垂直な方向における間隔であって、第１プランジャ保持部の位置における間隔は、例えば、０．０５ｍｍ以下とすることができる（第３の構成）。

第１バレル保持部の壁面とバレルとの間の隙間は、第１プランジャ保持部の壁面と第１プランジャとの間の隙間よりも小さいことが好ましい（第４の構成）。

第４の構成に係るプローブ装置において、第１ホルダの第１貫通孔は、第１バレル保持部の壁面とバレルとの間の隙間が第１プランジャ保持部の壁面と第１プランジャとの間の隙間よりも小さくなるように構成されている。そのため、プローブピンが水平方向に移動した場合、バレルが第１プランジャに先行して第１バレル保持部の壁面に接触し、プローブピンの移動が規制される。これにより、各プローブピンの第１プランジャが第１プランジャ保持部の壁面に接触するのを抑制することができる。

プローブピンの各々は、さらに、第２プランジャを含むことができる。第２プランジャは、バレルの他端部に設けられる。この場合において、第２貫通孔の各々は、さらに、第２プランジャが挿入される第２プランジャ保持部を含んでいてもよい。第２プランジャ保持部は、第２バレル保持部と連通するとともに第２ホルダの第１ホルダと反対側の表面に開口する（第５の構成）。

第５の構成に係るプローブ装置において、各プローブピンは、第２プランジャを含んでいる。第２プランジャは、第２ホルダに設けられた各第２貫通孔の第２プランジャ保持部によって保持される。第２ホルダは、各第２貫通孔の第２バレル保持部によってバレルの他端部も保持している。そのため、プローブピンの水平方向の移動をより抑制することができる。

第５の構成に係るプローブ装置において、第２バレル保持部及び第２プランジャ保持部は、単一の第２ホルダに形成されている。よって、第２バレル保持部と第２プランジャ保持部との位置合わせを行う必要はない。

第２バレル保持部の壁面とバレルとの間の隙間は、第２プランジャ保持部の壁面と第２プランジャとの間の隙間よりも小さいことが好ましい（第６の構成）。

第６の構成に係るプローブ装置において、第２ホルダの第２貫通孔は、第２バレル保持部の壁面とバレルとの間の隙間が第２プランジャ保持部の壁面と第２プランジャとの間の隙間よりも小さくなるように構成されている。そのため、プローブピンが水平方向に移動した場合、バレルが第２プランジャに先行して第２バレル保持部の壁面に接触し、プローブピンの移動が規制される。これにより、各プローブピンの第２プランジャが第２プランジャ保持部の壁面に接触するのを抑制することができる。

プローブピンの軸方向における第１バレル保持部の長さ及び第２バレル保持部の長さは、それぞれ、当該軸方向におけるバレルの長さの１／２よりも小さくすることができる（第７の構成）。

第７の構成では、第１バレル保持部及び第２バレル保持部がともにバレルの長さの１／２よりも短くなっている。この場合、第１バレル保持部及び第２バレル部の双方において歪みの発生を防止又は軽減することができる。

プローブピンの軸方向における第１バレル保持部の長さは、当該軸方向における第２バレル保持部の長さと等しくすることができる（第８の構成）。

第８の構成では、第１バレル保持部及び第２バレル保持部が同じ長さを有している。すなわち、第１バレル保持部及び第２バレル保持部がともに短くなっている。よって、第１ホルダ及び第２ホルダにそれぞれ複数の貫通孔を形成するとき、第１バレル保持部及び第２バレル部の双方において歪みの発生を防止又は軽減することができる。

第１ホルダにおいて第１バレル保持部が開口する表面と、第２ホルダにおいて第２バレル保持部が開口する表面との間には、空洞が形成されていてもよい（第９の構成）。

プローブピンの軸方向における空洞の長さは、例えば、０．２ｍｍ以上とすることができる（第１０の構成）。

第１ホルダは、さらに、凸部を含んでいてもよい。第２ホルダは、さらに、この凸部と側面同士で嵌合する凹部を含んでいてもよい。凸部は、第１ホルダのうち第２ホルダ側の端部に設けられ、第２ホルダ側に突出する。凹部は、例えば、プローブピンの軸方向において凸部の長さよりも大きい長さを有する。第１バレル保持部は、凸部の頂面に開口することができる。第２バレル保持部は、凹部の底面に開口することができる（第１１の構成）。

第１１の構成によれば、第１ホルダに設けられた凸部の側面を第２ホルダに設けられた凹部の側面に嵌合させることができる。そのため、第１ホルダと第２ホルダとの位置合わせを容易に行うことができる。また、このような嵌合構造によって第１ホルダと第２ホルダとを直接連結することができるため、第１ホルダに設けられた第１貫通孔と第２ホルダに設けられた第２貫通孔との位置合わせの精度を向上させることができる。

第２ホルダは、さらに、凸部を含んでいてもよい。第１ホルダは、さらに、この凸部と側面同士で嵌合する凹部を含んでいてもよい。凸部は、第２ホルダのうち第１ホルダ側の端部に設けられ、第１ホルダ側に突出する。凹部は、例えば、プローブピンの軸方向において凸部の長さよりも大きい長さを有する。第２バレル保持部は、凸部の頂面に開口することができる。第１バレル保持部は、凹部の底面に開口することができる（第１２の構成）。

第１２の構成によれば、第２ホルダに設けられた凸部の側面を第１ホルダに設けられた凹部の側面に嵌合させることができる。そのため、第１ホルダと第２ホルダとの位置合わせを容易に行うことができる。また、このような嵌合構造によって第１ホルダと第２ホルダとを直接連結することができるため、第１ホルダに設けられた第１貫通孔と第２ホルダに設けられた第２貫通孔との位置合わせの精度を向上させることができる。

上記プローブ装置は、さらに、中間ホルダを備えることができる。中間ホルダは、第１ホルダと第２ホルダとの間に配置される。中間ホルダは、例えば、複数の第３貫通孔を有する。複数の第３貫通孔は、それぞれ、複数のプローブピンのうち１つ以上のプローブピンを通過させることができる（第１３の構成）。

第１３の構成では、第１ホルダと第２ホルダとの間に中間ホルダが設けられている。この場合、第１ホルダ及び第２ホルダ内にプローブピンを容易に組み込むことができる。例えば、第１ホルダ及び第２ホルダの一方に中間ホルダを重ねた後、これらに複数のプローブピンを挿し込むことにより、第１ホルダ及び第２ホルダの一方に加えて中間ホルダで各プローブピンを支持することができる。これにより、各プローブピンの揺動を抑制することができる。よって、第１ホルダ及び第２ホルダの他方をプローブピンに被せる際、当該ホルダとプローブピンとの位置ずれが生じにくくなる。

第１ホルダと第２ホルダとの間において、複数の中間ホルダがプローブピンの軸方向に配列されていてもよい（第１４の構成）。

第１４の構成において、第１ホルダと第２ホルダとの間には、複数の中間ホルダが設けられている。これらの中間ホルダにより、第１ホルダ及び第２ホルダ内にプローブピンを組み込む際、例えば比較的長いプローブピンであっても安定して支持することができる。そのため、第１ホルダ及び第２ホルダの各貫通孔を延ばす必要がなく、貫通孔における歪みを防止又は軽減することができる。また、例えばプローブピン間のピッチが狭い場合に、第１ホルダ及び第２ホルダの貫通孔をより短くすることができる。すなわち、第１ホルダ及び第２ホルダ内にプローブピンを組み込む際、複数の中間ホルダで各プローブピンを支持することができるため、第１ホルダ及び第２ホルダの貫通孔をより短くして、貫通孔における歪みを防止又は軽減することができる。

上記プローブ装置は、さらに、第１中間ホルダと、第２中間ホルダとを備えることができる。第１中間ホルダは、例えば、第１ホルダと第２ホルダとの間に配置され、第４貫通孔を有する。第２中間ホルダは、例えば、第１ホルダと第２ホルダとの間に配置され、プローブピンの軸方向において第１中間ホルダと隣接する。第２中間ホルダは、第５貫通孔を有することができる。第５貫通孔は、複数のプローブピンのうち１つ以上のプローブピンを第４貫通孔と共通して通過させることができる。この場合において、第５貫通孔の中心軸は、第４貫通孔の中心軸からプローブピンの配列方向にずれていてもよい（第１５の構成）。

第１５の構成においても、第１ホルダと第２ホルダとの間には、複数の中間ホルダが設けられている。そのため、例えばプローブピンが比較的長い場合であっても、第１ホルダ及び第２ホルダの各貫通孔を延ばす必要がない。また、例えばプローブピン間のピッチが狭い場合に、第１ホルダ及び第２ホルダの貫通孔をより短くすることができる。よって、第１ホルダ及び第２ホルダの貫通孔における歪みを防止又は軽減することができる。

以下、本開示の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。各図において同一又は相当の構成については同一符号を付し、同じ説明を繰り返さない。

＜第１実施形態＞
［プローブ装置の構成］
図１は、第１実施形態に係るプローブ装置１００の正面図である。本実施形態では、説明の便宜上、図１の紙面における上下方向をプローブ装置１００の上下方向と定義し、図１の紙面における水平方向をプローブ装置１００の水平方向と定義する。

図１を参照して、プローブ装置１００は、電子部品の電気的特性を検査するために使用される。電子部品は、例えば、多極コネクタが実装された基板である。プローブ装置１００により、例えば、多極コネクタを介し、基板上に形成された回路の特性を測定することができる。

プローブ装置１００は、少なくとも１つの同軸コネクタ１０と、少なくとも１本の同軸ケーブル２０と、ハウジング３０と、外部プランジャ４０と、フランジ５０と、圧縮コイルばね６０とを備える。

図１に例示されるプローブ装置１００には、複数の同軸コネクタ１０及び複数の同軸ケーブル２０が設けられている。同軸コネクタ１０の各々は、例えば、回路特性を測定するための測定器（図示略）に対し、同軸ケーブル２０を電気的に接続する。同軸ケーブル２０の各々は、対応する同軸コネクタ１０からハウジング３０へと延びている。

ハウジング３０は、圧縮コイルばね６０の内側に配置される。ハウジング３０は、圧縮コイルばね６０により、フランジ５０に対して弾性的に支持される。フランジ５０は、電子部品の電気的特性の検査を行う際、プローブ装置１００を所定の設備に取り付けるために用いられる。外部プランジャ４０は、ハウジング３０の下端部に取り付けられている。

ハウジング３０、外部プランジャ４０、及びフランジ５０は、導電性を有する。すなわち、ハウジング３０、外部プランジャ４０、及びフランジ５０は、導体で構成されている。ハウジング３０、外部プランジャ４０、及びフランジ５０の材質は、例えば金属とすることができる。特に限定されるものではないが、ハウジング３０、外部プランジャ４０、及びフランジ５０の材質は、例えばステンレス鋼である。圧縮コイルばね６０の材質も、例えば金属とすることができる。圧縮コイルばね６０の材質は、例えばベリリウム銅である。

図２は、プローブ装置１００の一部の縦断面図である。図２では、プローブ装置１００のうち、ハウジング３０、外部プランジャ４０、フランジ５０、及び圧縮コイルばね６０を含む部分を上下方向に沿った平面で切断したときの断面を示す。

図２を参照して、ハウジング３０は、例えば概略円筒状を有する。ハウジング３０内には、同軸ケーブル２０が挿入されている。ハウジング３０の上端部３１は、ハウジング３０の他の部分と比較して径方向外側に突出している。

外部プランジャ４０は、本体部４１と、先端部４２とを含む。本体部４１及び先端部４２は、それぞれ、有底筒状を有する。本体部４１には、ハウジング３０の下端部が上方から挿入されている。外部プランジャ４０は、例えば、本体部４１にハウジング３０の下端部が圧入されることにより、ハウジング３０に固定される。本体部４１内には、基板７０が収容されている。

先端部４２は、本体部４１と連通している。先端部４２は、本体部４１の底面から下方に突出する。先端部４２内には、複数のプローブピン８０が配置されている。各プローブピン８０は、本体部４１内の基板７０を介し、同軸ケーブル２０と電気的に接続されている。基板７０は、例えば、プリント配線基板である。基板７０は、１本の同軸ケーブル２０に対して１つ以上のプローブピン８０を電気的に接続するための配線を有している。

フランジ５０は、ハウジング３０及び外部プランジャ４０を支持するための支持孔５１を有する。支持孔５１は、フランジ５０を上下方向に貫通している。支持孔５１は、例えば、実質的に円形状の横断面を有する。支持孔５１は、大径部５１１と、小径部５１２とを含んでいる。小径部５１２は、大径部５１１の下方に配置される。小径部５１２の直径は、大径部５１１の直径よりも小さい。そのため、支持孔５１の壁面のうち、大径部５１１と小径部５１２との境界部分には段差面５１３が形成されている。

フランジ５０の支持孔５１内には、ハウジング３０の一部が配置されている。ハウジング３０の上端部３１は、大径部５１１内に配置され、段差面５１３上に載置される。これにより、ハウジング３０が外部プランジャ４０とともにフランジ５０に支持される。ハウジング３０及び外部プランジャ４０の下方への移動は、段差面５１３によって規制される。一方、ハウジング３０及び外部プランジャ４０の上方への移動は許容されている。

ハウジング３０の上端部３１が段差面５１３上に載置された状態では、ハウジング３０及び外部プランジャ４０の水平方向への移動は、大径部５１１の壁面によって規制される。ただし、ハウジング３０及び外部プランジャ４０が上方へ移動した場合、これらの水平方向への移動が許容される。すなわち、大径部５１１の壁面の一部には、傾斜面５１４が設けられている。傾斜面５１４は、大径部５１１の直径を上方に向かうにつれて拡大させる。そのため、ハウジング３０及び外部プランジャ４０は、上方に移動すると水平方向にも若干移動できるようになる。

図３は、図２に示すプローブ装置１００の縦断面の一部を拡大した図である。図３では、外部プランジャ４０の先端部４２及びその近傍を拡大して示す。図３に示すように、プローブ装置１００は、複数のプローブピン８０と、ホルダ９１，９２とを先端部４２内に備えている。

複数のプローブピン８０は、外部プランジャ４０の先端部４２内において上下方向に延びている。プローブピン８０は、互いに並行となるように配置されている。プローブピン８０は、導電性を有する。すなわち、プローブピン８０は、導体で構成されている。プローブピン８０の材質は、例えば金属とすることができる。特に限定されるものではないが、プローブピン８０の材質は、例えばベリリウム銅である。プローブピン８０の下端部は、例えば、多極コネクタの端子に接触して、測定対象の回路を同軸ケーブル２０（図２）に対して電気的に接続する。プローブピン８０は、例えば、多極コネクタの複数の端子に対応してプローブ装置１００に設けられている。

プローブピン８０は、それぞれ、バレル８１と、プランジャ８２１，８２２とを含む。バレル８１は、例えば、実質的に円筒状を有する。一方のプランジャ８２１は、バレル８１の一端部（下端部）に設けられている。プランジャ８２１のうち、一部はバレル８１内に収容され、その他の部分はバレル８１から下方に露出している。他方のプランジャ８２２は、バレル８１の他端部（上端部）に設けられている。プランジャ８２２のうち、一部はバレル８１内に収容され、その他の部分はバレル８１から上方に露出している。

下側のプランジャ８２１は、バレル８１に対して進退可能に構成されている。例えば、プランジャ８２１の先端が多極コネクタの端子に接触したとき、プランジャ８２１はバレル８１内へと押し込まれる。プランジャ８２１の先端が多極コネクタの端子から離れると、プランジャ８２１は、例えばバレル８１内に収容されている圧縮コイルばね（図示略）の付勢力により、バレル８１の外側に突出する。

上側のプランジャ８２２は、バレル８１に対して移動しないよう、バレル８１に固定されていてもよい。プランジャ８２２は、下側のプランジャ８２１と同様、バレル８１に対して進退可能に構成されていてもよい。

プランジャ８２１，８２２は、バレル８１を介して電気的に接続されている。そのため、例えば、プランジャ８２１，８２２がそれぞれバレル８１内の圧縮コイルばねと直接接続されていたとしても、圧縮コイルばねによるプランジャ８２１，８２２の特性変化が抑えられる。なお、プランジャ８２１，８２２の各々は、絶縁部材等の別の部材を介し、圧縮コイルばねと間接的に接続されていてもよい。

ホルダ９１，９２は、複数のプローブピン８０を保持する部材である。ホルダ９１，９２は、それぞれ絶縁性を有する。すなわち、ホルダ９１，９２は、それぞれ絶縁部材である。ホルダ９１，９２の材質は、例えば樹脂とすることができる。ホルダ９１は、ホルダ９２の下方に配置されている。以下、ホルダ９１を下ホルダ９１と称し、ホルダ９２を上ホルダ９２と称する。

下ホルダ９１は、凹部９１１を含む。凹部９１１は、下ホルダ９１の上端面から下方に向かって凹の形状を有するように、下ホルダ９１に形成されている。上ホルダ９２は、下ホルダ９１の凹部９１１に対応して、凸部９２１を含んでいる。凸部９２１は、上ホルダ９２のうち下ホルダ９１側の端部（下端部）に設けられている。凸部９２１は、上ホルダ９２の他の部分よりも下ホルダ９１側に突出している。凸部９２１は、下ホルダ９１の凹部９１１に挿入される。凸部９２１は、凹部９１１と側面同士で嵌合する。すなわち、凸部９２１の側面と凹部９１１の側面とが嵌まり合って密着する。凸部９２１と凹部９１１との側面嵌合により、上ホルダ９２が下ホルダ９１と直接連結される。

プローブピン８０の軸方向（上下方向）において、下ホルダ９１に設けられた凹部９１１の長さＬ１は、上ホルダ９２に設けられた凸部９２１の長さＬ２よりも大きい。そのため、凸部９２１の頂面９２１ａと凹部９１１の底面９１１ａとの間には、空洞９３が形成されている。すなわち、凸部９２１の頂面９２１ａは、凹部９１１の底面９１１ａからプローブピン８０の軸方向（上下方向）に離隔している。上下方向における空洞９３の長さは、例えば、０．２ｍｍ以上である。上下方向におけるバレル８１の長さに対する空洞９３の長さの比率は、例えば、５．０％以上とすることができる。

下ホルダ９１は、複数の貫通孔９１２を有する。これらの貫通孔９１２は、互いに並行に配置され、下ホルダ９１を上下方向に貫通する。貫通孔９１２には、それぞれ、複数のプローブピン８０のうちの１つが挿入されている。貫通孔９１２の各々は、バレル保持部９１２ａと、プランジャ保持部９１２ｂとを含む。

バレル保持部９１２ａは、上下方向に延び、下ホルダ９１のうち上ホルダ９２側の表面に開口する。本実施形態の例において、バレル保持部９１２ａは、下ホルダ９１に含まれる凹部９１１の底面９１１ａに開口している。バレル保持部９１２ａには、バレル８１の一端部（下端部）が挿入される。バレル保持部９１２ａは、少なくともバレル８１の下端部を収容している。バレル保持部９１２ａは、実質的に円形状の横断面を有する。

プランジャ保持部９１２ｂは、バレル保持部９１２ａと同様、実質的に円形状の横断面を有する。プランジャ保持部９１２ｂは、バレル保持部９１２ａと実質的に同軸となるように下ホルダ９１に形成されている。プランジャ保持部９１２ｂは、バレル保持部９１２ａと連通している。プランジャ保持部９１２ｂは、バレル保持部９１２ａから下方へと延び、下ホルダ９１のうち上ホルダ９２と反対側の表面に開口する。すなわち、プランジャ保持部９１２ｂは、下ホルダ９１の下端面に開口している。プランジャ保持部９１２ｂには、下側のプランジャ８２１が挿入される。プランジャ保持部９１２ｂは、プランジャ８２１の一部を収容する。プランジャ８２１の先端は、下ホルダ９１の下端面よりも下方に突出している。

上ホルダ９２は、下ホルダ９１の貫通孔９１２に対応して、複数の貫通孔９２２を有する。これらの貫通孔９２２は、互いに並行に配置され、上ホルダ９２を上下方向に貫通する。貫通孔９２２には、それぞれ、複数のプローブピン８０のうちの１つが挿入されている。貫通孔９２２の各々は、バレル保持部９２２ａと、プランジャ保持部９２２ｂとを含む。

バレル保持部９２２ａは、上下方向に延び、上ホルダ９２のうち下ホルダ９１側の表面に開口する。本実施形態の例において、バレル保持部９２２ａは、上ホルダ９２に含まれる凸部９２１の頂面９２１ａに開口している。この頂面９２１ａが下ホルダ９１から上下方向に離隔しているため、バレル保持部９２２ａと、下ホルダ９１におけるバレル保持部９１２ａとの間には間隔が生じている。バレル保持部９２２ａとバレル保持部９１２ａとのプローブピン８０の軸方向（上下方向）における間隔は、例えば、０．２ｍｍ以上である。

バレル保持部９２２ａには、バレル８１の他端部（上端部）が挿入される。バレル保持部９２２ａは、少なくともバレル８１の上端部を収容する。バレル保持部９２２ａは、実質的に円形状の横断面を有する。

プランジャ保持部９２２ｂは、バレル保持部９２２ａと同様、実質的に円形状の横断面を有する。プランジャ保持部９２２ｂは、バレル保持部９２２ａと実質的に同軸となるように上ホルダ９２に形成されている。プランジャ保持部９２２ｂは、バレル保持部９２２ａと連通している。プランジャ保持部９２２ｂは、バレル保持部９２２ａから上方へと延び、上ホルダ９２のうち下ホルダ９１と反対側の表面に開口する。すなわち、プランジャ保持部９２２ｂは、上ホルダ９２の上端面に開口している。プランジャ保持部９２２ｂには、上側のプランジャ８２２が挿入される。プランジャ保持部９２２ｂは、プランジャ８２２の一部を収容する。プランジャ８２２の先端は、上ホルダ９２の上端面よりも上方に突出している。

図４は、図３に示すプローブ装置１００の縦断面の一部を拡大した図である。図４では、下ホルダ９１を拡大して示す。図４を参照して、下ホルダ９１において、バレル保持部９１２ａ及びプランジャ保持部９１２ｂは、それぞれ、直径Ｄ_ｂ１及び直径Ｄ_ｐ１を有する。バレル保持部９１２ａの直径Ｄ_ｂ１は、プランジャ保持部９１２ｂの直径Ｄ_ｐ１よりも大きい。バレル保持部９１２ａの直径Ｄ_ｂ１とは、例えば、バレル保持部９１２ａの最大径をいう。同様に、プランジャ保持部９１２ｂの直径Ｄ_ｐ１とは、例えば、プランジャ保持部９１２ｂの最大径をいう。

バレル保持部９１２ａの直径Ｄ_ｂ１及びプランジャ保持部９１２ｂの直径Ｄ_ｐ１は、以下の式（１）を満たすように設定されることが好ましい。
Ｄ_ｂ１－ｄ_ｂ１＜Ｄ_ｐ１－ｄ_ｐ１・・・（１）

式（１）において、ｄ_ｂ１は、例えば、バレル８１のうちバレル保持部９１２ａ内に配置されている部分の最大径であり、ｄ_ｐ１は、例えば、下側のプランジャ８２１のうちプランジャ保持部９１２ｂ内に配置されている部分の最大径である。直径ｄ_ｂ１は、直径ｄ_ｐ１よりも大きい。

式（１）を満足することにより、バレル保持部９１２ａの壁面とバレル８１との間の隙間Ｇ_ｂ１の方がプランジャ保持部９１２ｂの壁面とプランジャ８２１との間の隙間Ｇ_ｐ１よりも小さくなる。

本実施形態の例において、バレル保持部９１２ａ及びプランジャ保持部９１２ｂは、実質的に円形状の横断面を有する。ただし、バレル保持部９１２ａ及びプランジャ保持部９１２ｂの横断面形状は、円形状でなくてもよい。この場合、式（１）におけるＤ_ｂ１及びＤ_ｐ１は、それぞれ、水平方向におけるバレル保持部９１２ａ及びプランジャ保持部９１２ｂの最大長さとなる。同様に、バレル８１及びプランジャ８２１の横断面形状が円形状でない場合、ｄ_ｂ１は、バレル８１のうちバレル保持部９１２ａ内に配置されている部分の水平方向における最大長さとなり、ｄ_ｐ１は、プランジャ８２１のうちプランジャ保持部９１２ｂ内に配置されている部分の水平方向における最大長さとなる。

バレル保持部９１２ａは、プローブピン８０の軸方向（上下方向）において長さＬ_ｂ１を有する。バレル保持部９１２ａの長さＬ_ｂ１は、例えば、上下方向におけるバレル８１の長さの１／２よりも小さい。バレル保持部９１２ａのアスペクト比：Ｌ_ｂ１／Ｄ_ｂ１は、１０．０以下であることが好ましい。

図５は、図３に示すプローブ装置１００の縦断面の一部を拡大した図である。図５では、上ホルダ９２を拡大して示す。図５を参照して、上ホルダ９２において、バレル保持部９２２ａ及びプランジャ保持部９２２ｂは、それぞれ、直径Ｄ_ｂ２及び直径Ｄ_ｐ２を有する。バレル保持部９２２ａの直径Ｄ_ｂ２は、プランジャ保持部９２２ｂの直径Ｄ_ｐ２よりも大きい。バレル保持部９２２ａの直径Ｄ_ｂ２とは、例えば、バレル保持部９２２ａの最大径をいう。同様に、プランジャ保持部９２２ｂの直径Ｄ_ｐ２とは、例えば、プランジャ保持部９２２ｂの最大径をいう。

バレル保持部９２２ａの直径Ｄ_ｂ２及びプランジャ保持部９２２ｂの直径Ｄ_ｐ２は、以下の式（２）を満たすように設定されることが好ましい。
Ｄ_ｂ２－ｄ_ｂ２＜Ｄ_ｐ２－ｄ_ｐ２・・・（２）

式（２）において、ｄ_ｂ２は、例えば、バレル８１のうちバレル保持部９２２ａ内に配置されている部分の最大径であり、ｄ_ｐ２は、例えば、上側のプランジャ８２２のうちプランジャ保持部９２２ｂ内に配置されている部分の最大径である。直径ｄ_ｂ２は、直径ｄ_ｐ２よりも大きい。

式（２）を満足することにより、バレル保持部９２２ａの壁面とバレル８１との間の隙間Ｇ_ｂ２の方がプランジャ保持部９２２ｂの壁面とプランジャ８２２との間の隙間Ｇ_ｐ２よりも小さくなる。上ホルダ９２におけるバレル保持部９２２ａの壁面とバレル８１との間の隙間Ｇ_ｂ２の大きさは、下ホルダ９１におけるバレル保持部９１２ａの壁面とバレル８１との間の隙間Ｇ_ｂ１（図４）の大きさと実質的に同一とすることができる。上ホルダ９２におけるプランジャ保持部９２２ｂの壁面とプランジャ８２２との間の隙間Ｇ_ｐ２の大きさは、例えば、下ホルダ９１におけるプランジャ保持部９１２ｂの壁面とプランジャ８２１との間の隙間Ｇ_ｐ１（図４）の大きさと実質的に等しい。バレル保持部９１２ａ，９２２ａの壁面とバレル８１との間の隙間Ｇ_ｂ１，Ｇ_ｂ２は、プランジャ保持部９１２ｂ，９２２ｂの壁面とプランジャ８２１，８２２との間の隙間Ｇ_ｐ１，Ｇ_ｐ２の双方よりも小さいことが好ましい。

本実施形態の例において、バレル保持部９２２ａ及びプランジャ保持部９２２ｂは、実質的に円形状の横断面を有する。ただし、バレル保持部９２２ａ及びプランジャ保持部９２２ｂの横断面形状は、円形状でなくてもよい。この場合、式（２）におけるＤ_ｂ２及びＤ_ｐ２は、それぞれ、水平方向におけるバレル保持部９２２ａ及びプランジャ保持部９２２ｂの最大長さとなる。同様に、バレル８１及びプランジャ８２２の横断面形状が円形状でない場合、ｄ_ｂ２は、バレル８１のうちバレル保持部９２２ａ内に配置されている部分の水平方向における最大長さとなり、ｄ_ｐ２は、プランジャ８２２のうちプランジャ保持部９２２ｂ内に配置されている部分の水平方向における最大長さとなる。

バレル保持部９２２ａは、プローブピン８０の軸方向（上下方向）において長さＬ_ｂ２を有する。バレル保持部９２２ａの長さＬ_ｂ２は、例えば、上下方向におけるバレル８１の長さの１／２よりも小さい。バレル保持部９２２ａのアスペクト比：Ｌ_ｂ２／Ｄ_ｂ２は、１０．０以下であることが好ましい。

上ホルダ９２におけるバレル保持部９２２ａの長さＬ_ｂ２は、下ホルダ９１におけるバレル保持部９１２ａの長さＬ_ｂ１（図４）と異なっていてもよいが、長さＬ_ｂ１と実質的に等しくてもよい。バレル保持部９１２ａ，９２２ａ長さＬ_ｂ１，Ｌ_ｂ２の合計値は、例えば、バレル８１の長さの０．９倍以下とすることができる。例えば、バレル保持部９１２ａ，９２２ａの長さＬ_ｂ１，Ｌ_ｂ２は、それぞれ、２．０ｍｍ以下である。

上ホルダ９２において隣り合うバレル保持部９２２ａ間のピッチ（中心軸間の距離）は、例えば、０．３５ｍｍ以下とすることができる。上ホルダ９２のうち、隣り合うバレル保持部９２２ａ間の壁の肉厚は、例えば、０．０８ｍｍ以下とすることができる。バレル保持部９２２ａ間の壁の肉厚は、０．０５ｍｍ以下であることが好ましい。言い換えると、上ホルダ９２に設けられた複数の貫通孔９２２のうち、隣り合う貫通孔９２２同士のバレル保持部９２２ａの位置における間隔は、好ましくは０．０５ｍｍ以下である。

隣り合う貫通孔９２２同士のプランジャ保持部９２２ｂの位置における間隔は、例えば、０．０５ｍｍ以下とすることができる。ただし、バレル保持部９２２ａの位置における貫通孔９２２同士の間隔は、プランジャ保持部９２２ｂの位置における貫通孔９２２同士の間隔よりも小さい。これにより、プランジャ８２２の水平方向の移動を上ホルダ９２で規制しやすくなる。なお、ここでいう間隔とは、プローブピン８０の軸方向に対して垂直な方向（水平方向）におけるバレル保持部９２２ａ間又はプランジャ保持部９２２ｂ間の間隔であり、互いに隣接するバレル保持部９２２ａ間又はプランジャ保持部９２２ｂ間の最短距離である。

同様に、下ホルダ９１において隣り合うバレル保持部９１２ａ（図４）間のピッチは、例えば、０．３５ｍｍ以下とすることができる。下ホルダ９１のうち、隣り合うバレル保持部９１２ａ間の壁の肉厚は、例えば、０．０８ｍｍ以下とすることができる。バレル保持部９１２ａ間の壁の肉厚は、０．０５ｍｍ以下であることが好ましい。言い換えると、下ホルダ９１に設けられた複数の貫通孔９１２のうち、隣り合う貫通孔９１２同士のバレル保持部９１２ａの位置における間隔は、好ましくは０．０５ｍｍ以下である。

隣り合う貫通孔９１２同士のプランジャ保持部９１２ｂの位置における間隔は、例えば、０．０５ｍｍ以下とすることができる。ただし、バレル保持部９１２ａの位置における貫通孔９１２同士の間隔は、プランジャ保持部９１２ｂの位置における貫通孔９１２同士の間隔よりも小さい。これにより、プランジャ８２１の水平方向の移動を下ホルダ９１で規制しやすくなる。なお、ここでいう間隔とは、プローブピン８０の軸方向に対して垂直な方向（水平方向）におけるバレル保持部９１２ａ間又はプランジャ保持部９１２ｂ間の間隔であり、互いに隣接するバレル保持部９１２ａ間又はプランジャ保持部９１２ｂ間の最短距離である。

［効果］
本実施形態に係るプローブ装置１００では、複数の貫通孔９１２が下ホルダ９１に形成されるとともに、複数の貫通孔９２２が上ホルダ９２に形成されている。これらの貫通孔９１２，９２２は、各プローブピン８０のプランジャ８２１，８２２に加え、各プローブピン８０のバレル８１を保持することができる。すなわち、貫通孔９１２，９２２は、プランジャ８２１，８２２をプランジャ保持部９１２ｂ，９２２ｂで保持するだけでなく、バレル８１のうち少なくとも両端部をバレル保持部９１２ａ，９２２ａで保持することができる。これにより、各プローブピン８０の水平方向の移動を抑制することができる。

本実施形態において、バレル保持部９１２ａ及びプランジャ保持部９１２ｂは、単一の下ホルダ９１に形成されている。この場合、バレル保持部９１２ａとプランジャ保持部９１２ｂとの位置合わせを行う必要はない。そのため、バレル保持部９１２ａとプランジャ保持部９１２ｂとの位置ずれは生じず、当該位置ずれに起因してプランジャ８２１がプランジャ保持部９１２ｂの壁面に接触することもない。よって、プランジャ８２１をバレル８１に対して円滑に進退させることができる。

同様に、バレル保持部９２２ａ及びプランジャ保持部９２２ｂは、単一の上ホルダ９２に形成されている。この場合、バレル保持部９２２ａとプランジャ保持部９２２ｂとの位置合わせを行う必要はない。そのため、バレル保持部９２２ａとプランジャ保持部９２２ｂとの位置ずれは生じず、当該位置ずれに起因してプランジャ８２２がプランジャ保持部９２２ｂの壁面に接触することもない。よって、プランジャ８２２がバレル８１に対して進退可能に構成されている場合、プランジャ８２２の円滑な進退を確保することができる。

本実施形態に係るプローブ装置１００において、上下方向に並ぶホルダ９１，９２は別体の部材である。すなわち、プローブピン８０を保持するためのホルダが下ホルダ９１と上ホルダ９２とに分割されている。そのため、ホルダ９１，９２においてプローブピン８０を通す貫通孔９１２，９２２の長さ、特にバレル保持部９１２ａ，９２２ａの長さＬ_ｂ１，Ｌ_ｂ２は、それぞれ、バレル８１を上端部から下端部まで単一のホルダで覆う場合と比較して小さくなる。さらに、上ホルダ９２においてバレル保持部９２２ａが開口する表面９２１ａは、下ホルダ９１においてバレル保持部９１２ａが開口する表面９１１ａから離隔し、表面９１１ａとの間に空洞９３を形成している。これにより、バレル保持部９１２ａの長さＬ_ｂ１及びバレル保持部９２２ａの長さＬ_ｂ２の少なくとも一方をより小さくすることができる。よって、ホルダ９１，９２に貫通孔９１２，９２２を形成するとき、貫通孔９１２，９２２における歪み、特にバレル保持部９１２ａ，９２２ａにおける歪みの発生を防止又は軽減することができる。

本実施形態において、下ホルダ９１の貫通孔９１２は、バレル保持部９１２ａの壁面とバレル８１との間の隙間Ｇ_ｂ１の方がプランジャ保持部９１２ｂの壁面とプランジャ８２１との間の隙間Ｇ_ｐ１よりも小さくなるように構成されることが好ましい。これにより、各プローブピン８０が水平方向に移動したとき、プランジャ８２１がプランジャ保持部９１２ｂの壁面に接触する前に、バレル保持部９１２ａの壁面にバレル８１を接触させてプローブピン８０の移動を規制することができる。そのため、プランジャ８２１の進退が下ホルダ９１との干渉によって阻害されるのを抑制することができる。よって、プランジャ８２１の円滑な進退を確保することができる。

本実施形態において、上ホルダ９２の貫通孔９２２は、バレル保持部９２２ａの壁面とバレル８１との間の隙間Ｇ_ｂ２の方がプランジャ保持部９２２ｂの壁面とプランジャ８２２との間の隙間Ｇ_ｐ２よりも小さくなるように構成されることが好ましい。これにより、各プローブピン８０が水平方向に移動したとき、プランジャ８２２がプランジャ保持部９２２ｂの壁面に接触する前に、バレル保持部９２２ａの壁面にバレル８１を接触させてプローブピン８０の移動を規制することができる。そのため、プランジャ８２２がバレル８１に対して進退可能に構成されている場合、プランジャ８２２の進退が上ホルダ９２との干渉によって阻害されるのを抑制することができ、プランジャ８２２の円滑な進退を確保することができる。

本実施形態に係るプローブ装置１００では、バレル保持部９１２ａ，９２２ａの長さＬ_ｂ１，Ｌ_ｂ２をそれぞれバレル８１の長さの１／２よりも小さくすることができる。この場合において、バレル保持部９１２ａの長さＬ_ｂ１は、バレル保持部９２２ａの長さＬ_ｂ２と等しくてもよい。これにより、バレル保持部９１２ａ，９２２ａがともに短くなる。そのため、ホルダ９１，９２に貫通孔９１２，９２２を形成するとき、バレル保持部９１２ａ，９２２ａの双方において歪みの発生を防止又は軽減することができる。

本実施形態に係るプローブ装置１００において、下ホルダ９１に設けられた凹部９１１は、上ホルダ９２に設けられた凸部９２１と側面同士で嵌合する。これにより、下ホルダ９１と上ホルダ９２との位置合わせを容易に行うことができる。そのため、ホルダ９１，９２の組立性を向上させることができる。また、このような嵌合構造によってホルダ９１，９２が直接連結されるため、下ホルダ９１に設けられた貫通孔９１２と上ホルダ９２に設けられた貫通孔９２２との位置合わせの精度を向上させることができる。

＜第２実施形態＞
図６は、第２実施形態に係るプローブ装置１００Ａの一部の縦断面図である。プローブ装置１００Ａは、中間ホルダ９４をさらに備える点で第１実施形態に係るプローブ装置１００と異なる。

図６に示すように、中間ホルダ９４は、下ホルダ９１と上ホルダ９２との間に配置されている。より詳細には、第１実施形態においてホルダ９１，９２間に形成されていた空洞９３（図３）を埋めるように、中間ホルダ９４が配置されている。中間ホルダ９４は、複数の貫通孔９４１を有している。貫通孔９４１は、それぞれ、複数のプローブピン８０のうちの１つを通過させる。

複数の貫通孔９４１は、それぞれ、中間ホルダ９４を上下方向に貫通する。これらの貫通孔９４１は、下ホルダ９１の貫通孔９１２及び上ホルダ９２の貫通孔９２２に対応して設けられている。各貫通孔９４１内には、下ホルダ９１の貫通孔９１２と上ホルダ９２の貫通孔９２２とにわたって延びるプローブピン８０のうち、バレル８１の一部が収容されている。

例えば、ホルダ９１，９２，９４内に複数のプローブピン８０を組み込む際には、まず、下ホルダ９１に中間ホルダ９４を重ねて貫通孔９１２，９４１にプローブピン８０を挿し込むことができる。これにより、下ホルダ９１及び中間ホルダ９４によって各プローブピン８０が安定して支持されるため、各プローブピン８０が揺動しにくくなる。よって、下ホルダ９１及び中間ホルダ９４内のプローブピン８０に対して上ホルダ９２を被せる際、プローブピン８０と上ホルダ９２との位置ずれが生じにくくなる。その結果、ホルダ９１，９２内へのプローブピン８０の組込みを容易に行うことができる。

＜第３実施形態＞
図７は、第３実施形態に係るプローブ装置の一部の縦断面図である。図７では、本実施形態に係るプローブ装置のホルダ部分のみを分解した状態で示す。本実施形態に係るプローブ装置は、下ホルダ９１と上ホルダ９２との間に複数の中間ホルダ９５が設けられている点で上記各実施形態に係るプローブ装置１００，１００Ａと異なる。図７に示す例では、下ホルダ９１と上ホルダ９２との間に２つの中間ホルダ９５が設けられている。しかしながら、下ホルダ９１と上ホルダ９２との間には、３つ以上の中間ホルダ９５が設けられていてもよい。

複数の中間ホルダ９５は、下ホルダ９１と上ホルダ９２との間において、プローブピン８０の軸方向（上下方向）に配列されている。中間ホルダ９５の各々は、凸部９５１と、凹部９５２とを含む。凸部９５１は、各中間ホルダ９５の下端部に設けられる。凸部９５１は、各中間ホルダ９５において他の部分よりも下方に突出している。凹部９５２は、各中間ホルダ９５において、当該中間ホルダ９５の上端面から下方に向かって凹の形状を有するように形成されている。

中間ホルダ９５の凸部９５１及び凹部９５２は、それぞれ、隣接するホルダの凹部及び凸部と嵌合する。すなわち、各中間ホルダ９５の凸部９５１は、他の中間ホルダ９５の凹部９５２又は下ホルダ９１の凹部９１１と嵌合する。各中間ホルダ９５の凹部９５２は、他の中間ホルダ９５の凸部９５１又は上ホルダ９２の凸部９２１と嵌合する。下ホルダ９１及び上ホルダ９２は、中間ホルダ９５を介して連結されている。

中間ホルダ９５の各々は、複数の貫通孔９５３を有している。複数の貫通孔９５３は、それぞれ、中間ホルダ９５を上下方向に貫通する。これらの貫通孔９５３は、下ホルダ９１の貫通孔９１２及び上ホルダ９２の貫通孔９２２に対応して設けられている。貫通孔９５３は、それぞれ、複数のプローブピン８０のうちの１つを通過させる。各貫通孔９５３内には、下ホルダ９１の貫通孔９１２と上ホルダ９２の貫通孔９２２とにわたって延びるプローブピン８０のうち、バレル８１の一部が収容される。

本実施形態においても、上記各実施形態と同様に、上ホルダ９２において貫通孔９２２のバレル保持部９１２ａが開口する表面９２１ａと、下ホルダ９１において貫通孔９１２のバレル保持部９２２ａが開口する表面９１１ａとがプローブピン８０の軸方向（上下方向）に離隔して配置される。そのため、貫通孔９１２，９２２の長さ、特にバレル保持部９１２ａ，９２２ａが短くなる。よって、ホルダ９１，９２に貫通孔９１２，９２２を形成するとき、貫通孔９１２，９２２の歪み、特にバレル保持部９１２ａ，９２２ａにおける歪みの発生を防止又は軽減することができる。

本実施形態において、下ホルダ９１と上ホルダ９２との間には、複数の中間ホルダ９５が設けられている。これらの中間ホルダ９５により、プローブピン８０をホルダ９１，９２内に組み込む際により安定して支持することができる。そのため、プローブピン８０が比較的長い場合であっても、ホルダ９１，９２の貫通孔９１２，９２２を延ばす必要がない。よって、ホルダ９１，９２に貫通孔９１２，９２２を形成するとき、貫通孔９１２，９２２に歪みが発生するのを抑制することができる。

また、プローブピン８０をホルダ９１，９２内に組み込む際にプローブピン８０を複数の中間ホルダ９５で安定して支持することができるため、ホルダ９１，９２における貫通孔９１２，９２２をより短くすることができる。これにより、プローブピン８０間のピッチが比較的狭い場合であっても、ホルダ９１，９２に貫通孔９１２，９２２を形成するとき、貫通孔９１２，９２２に歪みが発生するのを抑制することができる。

以上、本開示に係る実施形態について説明したが、本開示は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。

例えば、上記第１実施形態では、下ホルダ９１に設けられた凹部９１１と上ホルダ９２に設けられた凸部９２１とが嵌合することにより、ホルダ９１，９２が連結されている。しかしながら、第１実施形態とは逆の凹凸嵌合によってホルダ９１，９２を連結することもできる。すなわち、図８に示すように、下ホルダ９１が凸部９１３を含み、上ホルダ９２が凹部９２３を含んでいてもよい。

図８に示す例において、凸部９１３は、下ホルダ９１のうち上ホルダ９２側の端部（上端部）に設けられ、上ホルダ９２側に突出する。凹部９２３は、上ホルダ９２の下端面から上方に向かって凹の形状を有するように、上ホルダ９２に形成されている。上ホルダ９２の凹部９２３は、下ホルダ９１の凸部９１３を受け入れて凸部９１３と側面同士で嵌合する。そのため、下ホルダ９１と上ホルダ９２との位置合わせを容易に行うことができる。さらに、ホルダ９１，９２が嵌合構造によって直接連結されるため、下ホルダ９１に設けられた貫通孔９１２と上ホルダ９２に設けられた貫通孔９２２との位置合わせの精度を向上させることができる。

また、図８に示す例において、下ホルダ９１側の凸部９１３の頂面９１３ａには、貫通孔９１２のうちバレル保持部９１２ａが開口する。一方、上ホルダ９２側の凹部９２３の底面９２３ａには、貫通孔９２２のうちバレル保持部９２２ａが開口する。プローブピン８０の軸方向（上下方向）における凹部９２３の長さは、上下方向における凸部９１３の長さよりも大きい。そのため、凹部９２３の底面９２３ａは、凸部９１３の頂面９１３ａから上下方向に離隔している。これにより、バレル保持部９１２ａ，９２２ａの長さが短くなる。よって、図８に示す構成であっても、上記各実施形態と同様に、貫通孔９１２，９２２の歪み、特にバレル保持部９１２ａ，９２２ａにおける歪みの発生を防止又は軽減することができる。

ホルダ９１，９２は、凹凸嵌合以外の方法でホルダ９１，９２が連結されていてもよい。例えば、図９に示すように、下ホルダ９１の上端面と上ホルダ９２の下端面とを接着剤等で接合することにより、ホルダ９１，９２を連結することができる。図９に示す例では、ホルダ９１，９２がともに凹部９１１，９２３を有しているが、ホルダ９１，９２の一方にのみ凹部を形成することもできる。

上記第２及び第３実施形態においても、これらの実施形態とは逆の凹凸嵌合、あるいは凹凸嵌合以外の方法でホルダ９１，９２，９４，９５を連結することができる。

例えば、上記第３実施形態において、各中間ホルダ９５に設けられた複数の貫通孔９５３は、それぞれ、プローブピン８０を１つずつ通過させる。しかしながら、図１０及び図１１に示すように、各中間ホルダには２つ以上のプローブピンを通過させる貫通孔が存在してもよい。すなわち、中間ホルダにおける貫通孔の数は、下ホルダ９１における貫通孔９１２の数及び上ホルダ９２における貫通孔９２２の数とそれぞれ一致していなくてもよい。

図１０に示す例において、下ホルダ９１と上ホルダ９２との間には、プローブピン８０１～８０５の軸方向（上下方向）において隣接する中間ホルダ９６，９７が配置されている。下ホルダ９１側の中間ホルダ９６は、当該中間ホルダ９６を上下方向に貫通する貫通孔９６１ａ，９６１ｂ，９６１ｃを有する。上ホルダ９２側の中間ホルダ９７は、当該中間ホルダ９７を上下方向に貫通する貫通孔９７１ａ，９７１ｂ，９７１ｃを有する。上ホルダ９２側の中間ホルダ９７における貫通孔間の壁は、下ホルダ９１側の中間ホルダ９６における貫通孔間の壁と互い違いになるように配置されている。

下ホルダ９１側の中間ホルダ９６において、貫通孔９６１ａは、図１０の紙面において左右方向に並ぶプローブピン８０１～８０５のうち、左から２つのプローブピン８０１，８０２を通過させる。貫通孔９６１ｂは、プローブピン８０２の右側に配置された２つのプローブピン８０３，８０４を通過させる。貫通孔９６１ｃは、右端のプローブピン８０５を通過させる。

上ホルダ９２側の中間ホルダ９７において、貫通孔９７１ａは、中間ホルダ９６の貫通孔９６１ａと共通して左端のプローブピン８０１を通過させる。ただし、貫通孔９７１ａは、貫通孔９６１ａが通過させるプローブピン８０２を通過させない。貫通孔９７１ａの中心軸は、貫通孔９６１ａの中心軸からプローブピン８０１～８０５の配列方向（水平方向）にずれている。

中間ホルダ９７において、貫通孔９７１ｂは、中間ホルダ９６の貫通孔９６１ａと共通してプローブピン８０１の右側に配置されたプローブピン８０２を通過させる。また、貫通孔９７１ｂは、中間ホルダ９６の貫通孔９６１ｂと共通してさらに右側のプローブピン８０３を通過させる。この貫通孔９７１ｂの中心軸は、貫通孔９６１ａ，９６１ｂの各中心軸からプローブピン８０１～８０５の配列方向（水平方向）にずれている。

中間ホルダ９７において、貫通孔９７１ｃは、中間ホルダ９６の貫通孔９６１ｂと共通してプローブピン８０３の右側に配置されたプローブピン８０４を通過させる。また、貫通孔９７１ｃは、中間ホルダ９６の貫通孔９６１ｃと共通して右端のプローブピン８０５を通過させる。この貫通孔９７１ｃの中心軸は、貫通孔９６１ｂ，９６１ｃの各中心軸からプローブピン８０１～８０５の配列方向（水平方向）にずれている。

図１０に示す例では、中間ホルダ９７に設けられた全ての貫通孔９７１ａ，９７１ｂ，９７１ｃの中心軸が中間ホルダ９６に設けられた貫通孔９６１ａ，９６１ｂ，９６１の中心軸のいずれとも一致していない。しかしながら、中間ホルダ９７には、その中心軸が中間ホルダ９６の貫通孔のいずれかと一致する貫通孔が存在してもよい。

図１１に示す例において、各中間ホルダ９８には単一の貫通孔９８１が形成されている。貫通孔９８１は、複数のプローブピン８０１～８０５の全てを通過させる。この場合、凸部９２１の頂面９２１ａと凹部９１１の底面９１１ａとの間には、上記第１実施形態と同様に空洞が形成されることになる。

上記第２実施形態においても、中間ホルダ９４に設けられた複数の貫通孔９４１は、それぞれ、プローブピン８０を１つずつ通過させる。しかしながら、図１０及び図１１に示す例と同様に、中間ホルダ９４には、２つ以上のプローブピン８０を通過させる貫通孔９４１が存在してもよい。すなわち、中間ホルダ９４における貫通孔９４１の数は、下ホルダ９１における貫通孔９１２の数及び上ホルダ９２における貫通孔９２２の数とそれぞれ一致していなくてもよい。

上記各実施形態において、各プローブピン８０は、２つのプランジャ８２１，８２２を含んでいる。しかしながら、各プローブピン８０には、プランジャ８２１，８２２のうち一方のみを設けることもできる。

１００，１００Ａ：プローブ装置
８０，８０１，８０２，８０３，８０４，８０５：プローブピン
８１：バレル
８２１，８２２：プランジャ
９１，９２：ホルダ
９１１：凹部
９１１ａ：底面
９２１：凸部
９２１ａ：頂面
９１２，９２２：貫通孔
９１２ａ，９２２ａ：バレル保持部
９１２ｂ，９２２ｂ：プランジャ保持部
９３：空洞
９４，９５，９６，９７：中間ホルダ
９４１，９５３，９６１ａ，９６１ｂ，９６１ｃ，９７１ａ，９７１ｂ，９７１ｃ：貫通孔

Claims (15)

1. 電子部品の電気的特性を検査するためのプローブ装置であって、
   バレルと、前記バレルの一端部に設けられた第１プランジャと、をそれぞれ含む複数のプローブピンと、
   互いに並行に配置されるとともにそれぞれ前記複数のプローブピンのうちの１つが挿入される複数の第１貫通孔、を有する第１ホルダと、
   互いに並行に配置されるとともにそれぞれ前記複数のプローブピンのうちの１つが挿入される複数の第２貫通孔、を有し、前記第１ホルダと連結される第２ホルダと、
   を備え、
   前記第１貫通孔の各々は、
   前記第１ホルダの前記第２ホルダ側の表面に開口し、前記バレルの前記一端部が挿入される第１バレル保持部と、
   前記第１バレル保持部と連通するとともに前記第１ホルダの前記第２ホルダと反対側の表面に開口し、前記第１プランジャが挿入される第１プランジャ保持部と、
   を含み、
   前記第２貫通孔の各々は、
   前記第２ホルダの前記第１ホルダ側の表面に開口し、前記バレルの他端部が挿入される第２バレル保持部、
   を含み、
   前記第２ホルダにおいて前記第２バレル保持部が開口する前記表面は、前記第１ホルダにおいて前記第１バレル保持部が開口する前記表面から前記プローブピンの軸方向に離隔している、プローブ装置。
2. 請求項１に記載のプローブ装置であって、
   前記複数の第１貫通孔のうち隣り合う第１貫通孔同士の前記軸方向に対して垂直な方向における間隔であって、前記第１バレル保持部の位置における間隔は、０．０５ｍｍ以下である、プローブ装置。
3. 請求項１又は２に記載のプローブ装置であって、
   前記複数の第１貫通孔のうち隣り合う第１貫通孔同士の前記軸方向に対して垂直な方向における間隔であって、前記第１プランジャ保持部の位置における間隔は、０．０５ｍｍ以下である、プローブ装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載のプローブ装置であって、
   前記第１バレル保持部の壁面と前記バレルとの間の隙間は、前記第１プランジャ保持部の壁面と前記第１プランジャとの間の隙間よりも小さい、プローブ装置。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載のプローブ装置であって、
   前記プローブピンの各々は、さらに、前記バレルの前記他端部に設けられた第２プランジャを含み、
   前記第２貫通孔の各々は、さらに、前記第２バレル保持部と連通するとともに前記第２ホルダの前記第１ホルダと反対側の表面に開口し、前記第２プランジャが挿入される第２プランジャ保持部を含む、プローブ装置。
6. 請求項５に記載のプローブ装置であって、
   前記第２バレル保持部の壁面と前記バレルとの間の隙間は、前記第２プランジャ保持部の壁面と前記第２プランジャとの間の隙間よりも小さい、プローブ装置。
7. 請求項１から６のいずれか１項に記載のプローブ装置であって、
   前記軸方向における前記第１バレル保持部の長さ及び前記第２バレル保持部の長さは、それぞれ、前記軸方向における前記バレルの長さの１／２よりも小さい、プローブ装置。
8. 請求項７に記載のプローブ装置であって、
   前記軸方向における前記第１バレル保持部の長さは、前記軸方向における前記第２バレル保持部の長さと等しい、プローブ装置。
9. 請求項１から８のいずれか１項に記載のプローブ装置であって、
   前記第１ホルダにおいて前記第１バレル保持部が開口する前記表面と、前記第２ホルダにおいて前記第２バレル保持部が開口する前記表面との間に、空洞が形成されている、プローブ装置。
10. 請求項９に記載のプローブ装置であって、
    前記軸方向における前記空洞の長さは、０．２ｍｍ以上である、プローブ装置。
11. 請求項１から１０のいずれか１項に記載のプローブ装置であって、
    前記第１ホルダは、さらに、当該第１ホルダのうち前記第２ホルダ側の端部に設けられ、前記第２ホルダ側に突出する凸部を含み、
    前記第２ホルダは、さらに、前記軸方向において前記凸部の長さよりも大きい長さを有し、前記凸部と側面同士で嵌合する凹部を含み、
    前記第１バレル保持部は、前記凸部の頂面に開口し、
    前記第２バレル保持部は、前記凹部の底面に開口する、プローブ装置。
12. 請求項１から１０のいずれか１項に記載のプローブ装置であって、
    前記第２ホルダは、さらに、当該第２ホルダのうち前記第１ホルダ側の端部に設けられ、前記第１ホルダ側に突出する凸部を含み、
    前記第１ホルダは、さらに、前記軸方向において前記凸部の長さよりも大きい長さを有し、前記凸部と側面同士で嵌合する凹部を含み、
    前記第２バレル保持部は、前記凸部の頂面に開口し、
    前記第１バレル保持部は、前記凹部の底面に開口する、プローブ装置。
13. 請求項１から８のいずれか１項に記載のプローブ装置であって、さらに、
    前記第１ホルダと前記第２ホルダとの間に配置される中間ホルダ、
    を備え、
    前記中間ホルダは、前記複数のプローブピンのうち１つ以上のプローブピンをそれぞれ通過させる複数の第３貫通孔を有する、プローブ装置。
14. 請求項１３に記載のプローブ装置であって、
    前記第１ホルダと前記第２ホルダとの間において、複数の前記中間ホルダが前記軸方向に配列されている、プローブ装置。
15. 請求項１から８のいずれか１項に記載のプローブ装置であって、さらに、
    前記第１ホルダと前記第２ホルダとの間に配置され、第４貫通孔を有する第１中間ホルダと、
    前記第１ホルダと前記第２ホルダとの間に配置され、前記軸方向において前記第１中間ホルダと隣接し、前記複数のプローブピンのうち１つ以上のプローブピンを前記第４貫通孔と共通して通過させる第５貫通孔を有する第２中間ホルダと、
    を備え、
    前記第５貫通孔の中心軸は、前記第４貫通孔の中心軸から前記プローブピンの配列方向にずれている、プローブ装置。

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