JP6781598B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
<プローブカード100>
図1は、本発明の実施の形態1によるプローブカード100の一構成例を示した断面図であり、プローブカード100を鉛直面により切断した場合の切断面が示されている。プローブカード100は、半導体ウエハなどの検査対象物(不図示)に対する電気的接続を行う検査装置であり、検査対象物上の多数の電極端子にそれぞれ接触させる多数のプローブ10が当該電極端子に対応するように配設されている。
図2は、図1のガイド板105の一構成例を示した平面図であり、ガイド板105の上面が示されている。図示したガイド板105は、略矩形の平板からなり、上面から下面へ貫通する貫通孔として、プローブ10に対応する多数のガイド孔107が形成されている。ガイド孔107の断面は、左右方向D1及び前後方向D2にそれぞれ延びる辺からなる略矩形である。
図3は、図1のプローブ10の一構成例を示した図であり、プローブ10の側面が示されている。図4は、図3のプローブ10をA−A切断線により切断した場合の切断面を示した断面図である。図示したプローブ10は、断面が略矩形のプローブ本体11と、ガイド板105からの抜け落ちを防止するための係止部12とを有する。
図5は、図1のプローブ10の配列の一例を示した平面図であり、ガイド板105のガイド孔107にそれぞれ挿通された4つのプローブ10A〜10Dが示されている。図中のプローブ10A〜10Dは、いずれも図3及び図4に示したプローブ10であり、係止部12の形状が互いに一致している。
図6は、図1のプローブカード100と対比すべき従来のプローブカード200の要部を比較例として示した平面図であり、図5と同様にして4つのプローブ10の形状及び配列が示されている。このプローブ10の係止部12は、プローブ本体11を取り囲む環状領域からなる。
実施の形態1では、プローブ10の係止部12が側面S1から左右方向D1に突出する突出部121からなる場合の例について説明した。これに対し、本実施の形態では、係止部12が、側面S1から左右方向D1に突出する2つの突出部121と、側面S2から前後方向D2に突出する2つの突出部122とからなる場合について説明する。
101 メイン基板
102 補強板
103 ST基板
104 スペーサ
105,106 ガイド板
107 ガイド孔
10,10A〜10D プローブ
11 プローブ本体
11a 湾曲部
12 係止部
121,122 突出部
D1 左右方向
D2 前後方向
P1,P2 プローブ本体の間隔
S1,S2 側面
Te 外部電極
Tp プローブ電極
Claims (4)
- 2以上のプローブと、
前記プローブが接続される配線基板と、
前記プローブがそれぞれ挿通される2以上のガイド孔を有するガイド板とを備え、
前記プローブは、前記ガイド板からの抜け落ちを防止するために、前記プローブの外周面から突出する形状の係止部を有し、
隣接する2つの前記プローブの前記係止部は、前記2つのプローブの配列方向と略直交する方向に相対的にシフトさせて配置され、前記2つのプローブのうち、一方のプローブの前記係止部は、他方のプローブの前記係止部が形成されていない外周面上の非係止部と対向し、前記他方のプローブの前記係止部は、前記一方のプローブの前記係止部が形成されていない外周面上の非係止部と対向することを特徴とするプローブカード。 - 前記一方の係止部の前記配列方向における先端は、前記他方の係止部の前記配列方向における先端を超える位置に配置されることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 4以上の前記プローブは、互いに略直交する第1方向及び第2方向にそれぞれ整列するように配置され、
前記4以上のプローブのうち、第1方向において隣接する2つの前記プローブが、これらのプローブ間において第2方向へ相対的にシフトさせて配置された前記係止部をそれぞれ有し、第2方向において隣接する2つの前記プローブが、これらのプローブ間において第1方向へ相対的にシフトさせて配置された前記係止部をそれぞれ有することを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。 - 4以上の前記プローブは、互いに略直交する第1方向及び第2方向にそれぞれ整列するように配置され、
前記4以上のプローブのうち、第1方向において隣接する2つの前記プローブは、これらのプローブ間に、第2方向へ相対的にシフトさせて配置された前記係止部をそれぞれ有し、当該係止部が、第2方向において、前記プローブの中心から最も離れた前記外周面の最遠部よりも内側に配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
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JP2016181382A JP6781598B2 (ja) | 2016-09-16 | 2016-09-16 | プローブカード |
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