JP5341456B2 - プローブカード - Google Patents
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以下、本発明にかかるコンタクトプローブ及びプローブカードの実施の形態1について図面に基づいて説明する。図1は、本発明の実施の形態1によるプローブカード1の一例を示した概略断面図である。
図3は、本発明の実施の形態2によるプローブカード1の概略断面図である。実施の形態2では、貫通孔61を有する案内板6が、メイン基板2の下面に固定されている。貫通孔61は、メイン基板2の電極21に対応する位置に設けられている。
図4は、本発明の実施の形態3によるコンタクトプローブ5の概略断面図である。実施の形態3では、コンタクトプローブ5を除き、メイン基板2、補強基板3及びコンタクトプローブ支持部材は、上記実施の形態1と同じもの使用しており、その説明を省略する。
2 メイン基板
21 電極
22 ボルト挿通孔
3 補強基板
31 ボルト挿通孔
4 プローブ支持部材
41 固定部材
41a 筒部
41b 第1段部
41c ボルト穴
42 スペーサ
42a 第2段部
43 下側支持基板
43a 第1貫通孔
44 上側支持基板
44a 第2貫通孔
45 ボルト
5 コンタクトプローブ
51 コンタクト部
52 接続部
53 軸部
53a 大径軸部
53b 小径軸部
54 延出部
55 ストッパ
6 案内板
61 貫通孔
Claims (2)
- 電極を有するメイン基板と、
上記メイン基板の下方において水平に配置され、貫通孔が形成された支持基板と、
上記支持基板の上記貫通孔に下側から上側へ挿通させた軸部を有し、上記軸部の下端にコンタクト部が形成され、上記軸部の上端側に設けられた接続部を上記メイン基板の上記電極と導通させるコンタクトプローブとを備え、
上記コンタクトプローブは、
上記軸部から分岐し、下側に向かって上記軸部から離れる方向に延びるストッパを有し、
上記ストッパは、上記支持基板の上面に当接し、上記軸部を弾性的に支持し、
上記軸部は、オーバードライブ時に上記コンタクト部に作用する押圧力により、上記支持基板より上方において座屈変形することを特徴とするプローブカード。 - 上記コンタクトプローブの上記軸部は、上記支持基板より上方において、上記支持基板より下方の上記軸部の外径より小径で、当該軸部の軸心に対して偏心した軸心を有する小径軸部を有していることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
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Families Citing this family (10)
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JP3703794B2 (ja) * | 2002-11-05 | 2005-10-05 | 日本電子材料株式会社 | プローブおよびプローブカード |
JP2006344458A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Hirose Electric Co Ltd | 表面実装型電気コネクタ |
JP2007128727A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 接続装置 |
KR100701498B1 (ko) * | 2006-02-20 | 2007-03-29 | 주식회사 새한마이크로텍 | 반도체 검사용 프로브핀 조립체 및 그 제조방법 |
JP5337341B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2013-11-06 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的接続装置およびその組み立て方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150031371A (ko) * | 2013-09-13 | 2015-03-24 | 한국기계연구원 | 프로브 모듈 및 프로브 모듈의 제조 방법 |
KR101582634B1 (ko) | 2013-09-13 | 2016-01-08 | 한국기계연구원 | 프로브 모듈 및 프로브 모듈의 제조 방법 |
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