IT201600084921A1

IT201600084921A1 - Sonda di contatto e relativa testa di misura di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici

Info

Publication number: IT201600084921A1
Application number: IT102016000084921A
Authority: IT
Inventors: Daniele Perego
Original assignee: Technoprobe Spa
Priority date: 2016-08-11
Filing date: 2016-08-11
Publication date: 2018-02-11
Also published as: WO2018029155A1; TW201823728A; US20200292576A1; US11549965B2; TWI689727B; EP3497454B1; KR20190039122A; JP7005624B2; CN109564241B; EP3497454A1; JP2019525204A; KR102478534B1; CN109564241A

Description

DESCRIZIONE

Campo di applicazione

La presente invenzione fa riferimento ad una sonda di contatto e ad una corrispondente testa di misura di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici.

L'invenzione riguarda in particolare, ma non esclusivamente, una sonda di contatto di tipo verticale ed una testa di misura di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici integrati su wafer e la descrizione che segue è fatta con riferimento a questo campo di applicazione con il solo scopo di semplificarne l'esposizione.

Arte nota

Come è ben noto, una testa di misura [probe head] è essenzialmente un dispositivo atto a mettere in collegamento elettrico una pluralità di piazzole o pad di contatto di una microstruttura, in particolare un dispositivo elettronico integrato su wafer, con corrispondenti canali di una apparecchiatura di test che ne esegue la verifica di funzionalità, in particolare elettrica, ovvero il test.

Il test effettuato su dispositivi integrati serve in particolare a rilevare ed isolare dispositivi difettosi già in fase di produzione. Normalmente, le teste di misura vengono quindi utilizzate per il test elettrico dei dispositivi integrati su wafer prima del taglio e del montaggio degli stessi all'interno di un package di contenimento di chip.

Una testa di misura comprende essenzialmente una pluralità di elementi di contatto sostanzialmente astiformi o sonde di contatto [contact probe] dotate di almeno una estremità di contatto atta ad andare in battuta su un pad di contatto del dispositivo integrato da testare.

Largamente utilizzate nel settore sono le teste di misura cosiddette verticali [vertical probe head], che comprendono una pluralità di sonde di contatto trattenute da almeno una coppia di piastre o guide sostanzialmente piastriformi e parallele tra loro. Tali guide sono dotate di appositi fori e poste ad una certa distanza fra loro in modo da lasciare una zona libera o zona d'aria per il movimento e l’eventuale deformazione delle sonde di contatto. La coppia di guide comprende in particolare una guida superiore [upper die] ed una guida inferiore [lower die], entrambe provviste di fori guida entro cui scorrono assialmente le sonde di contatto, normalmente formate da fili di leghe speciali con buone proprietà elettriche e meccaniche.

I termini “superiore” ed “inferiore”, comunemente utilizzati nel settore, sono stati impiegati anche nella presente descrizione per ragioni chiarezza, con riferimento ad un sistema di riferimento locale delle figure, senza per questo intenderli in alcun modo limitativi.

II buon collegamento fra le sonde di misura e i pad di contatto del dispositivo in test è assicurato dalla pressione della testa di misura sul dispositivo stesso, le sonde di contatto, mobili entro i fori guida realizzati nelle guide superiore ed inferiore, subendo in occasione di tale contatto premente una flessione, all<1>interno della zona d’aria tra le due guide ed uno scorrimento all’interno di tali fori guida.

In particolare, in Figura 1A è schematicamente illustrata una testa di misura 10 comprendente almeno un supporto piastriforme o guida inferiore 2 ed un supporto piastriforme o guida superiore 3, aventi rispettivi fori guida 2A e 3A entro i quali scorre almeno una sonda di contatto 1.

La sonda di contatto 1 presenta almeno una porzione d’estremità o punta di contatto 1A destinata ad andare in battuta su una piazzola o pad di contatto 4A di un dispositivo da testare 4, così da realizzare il contatto meccanico ed elettrico fra tale dispositivo da testane 4 ed una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui tale testa di misura 10 forma un elemento terminale.

Con il termine “punta di contatto” si indica qui e nel seguito una zona o regione di estremità di una sonda di contatto destinata al contatto con piazzole o pad di contatto, tale zona o regione di contatto non essendo necessariamente appuntita.

In alcuni casi le sonde di contatto sono vincolate alla testa stessa in corrispondenza della guida superiore in maniera fissa: sì parla di teste di misura a sonde bloccate.

Più frequentemente però si utilizzano teste di misura con sonde non bloccate in maniera fissa, ma tenute interfacciate ad una board mediante una microcontattiera: si parla di teste di misura a sonde non bloccate. La microcontattiera è chiamata usualmente "space transformer" dal momento che, oltre al contatto con le sonde, consente anche di ridistribuire spazialmente i pad di contatto su di essa realizzati, rispetto ai pad di contatto presenti sul dispositivo da testare, in particolare con un allentamento dei vincoli di distanza tra i centri dei pad stessi.

In questo caso, come illustrato in Figura 1A, la sonda di contatto 1 presenta un'ulteriore porzione di estremità o testa di contatto 1B verso un pad di contatto 5A di un tale space transformer 5. Il buon contatto elettrico tra sonde 1 e space transformer 5 viene assicurato in maniera analoga al contatto con il dispositivo da testare 4 mediante la battuta in pressione delle teste di contatto 1B delle sonde di contatto 1 sui pad di contatto 5A dello space transformer 5.

Le guide inferiore 2 e superiore 3 sono opportunamente distanziate da una zona d'aria 6 che consente la deformazione delle sonde di contatto 1. Infine, i fori guida 2A e 3A sono dimensionati in modo da permettere uno scorrimento della sonda di contatto 1 al loro interno.

Nel caso di una testa di misura realizzata nella tecnologia detta "a piastre shiftate", è altresì noto prevedere un disassamento [shift] tra le guide inferiore 2 e superiore 3 per provocare una deformazione del corpo delle sonde, in una posizione sostanzialmente centrale, come nell'esempio illustrato in Figura 1A.

Un parametro critico nella realizzazione di una testa di misura è la distanza (il cosiddetto pitch) tra i centri dei pad di contatto presenti sul dispositivo da testare. Il pitch dei dispositivi elettronici integrati, con il progresso delle relative tecnologie di fabbricazione, è infatti diventato sempre più piccolo, costringendo ad un elevato impaccamento delle sonde di contatto nella testa di misura, e causando problemi di posizionamento quando si voglia evitare il reciproco contatto tra le sonde.

Nelle più recenti tecnologie, la distanza tra i centri dei pad di contatto sui dispositivi integrati, ossia il pitch, è diminuita fino a valori compresi tra 30gm e 80pm. Questa diminuzione di pitch interessa in maniera ancor più stringente configurazioni di pad di tipo matriciale. In tal caso, entrambe le distanze tra i centri di contatto di pad su una stessa riga o su una stessa colonna, hanno valori compresi tra 30pm e 80 μιη.

Questa diminuzione del valore di pitch introduce problemi legati al contatto tra sonde adiacenti, tra loro porzioni sporgenti.

E’ infatti noto, come illustrato nella Figura 1A, realizzare le sonde di contatto 1 in modo da presentare almeno una porzione allargata, in particolare "schiacciata”, in corrispondenza di una porzione di estremità, in particolare della testa di contatto 1B. Tali porzioni allargate delle sonde di contatto sono in particolare utilizzate per assicurare che le sonde non possano sfilarsi dai corrispondenti fori guida realizzati nelle guide superiore o inferiore della testa di misura e presentano quindi dimensioni maggiori rispetto al resto della sonda di contatto, in particolare almeno un diametro maggiore del diametro del corpo di sonda, intendendo con diametro la dimensione di maggiore estensione di tali sezioni; tali porzioni allargate delle sonde di contatto presentano inoltre un diametro maggiore del diametro del foro guida realizzato nella guida superiore.

Proprio le dimensioni maggiorate delle porzioni allargate delle sonde di contatto esacerbano i sopra menzionati problemi di impaccamento, limitando drasticamente la possibilità di avvicinare sonde adiacenti, in particolare in corrispondenza di tali porzioni, dove il contatto tra sonde adiacenti è più probabile e, nella progettazione delle sonde di contatto e della testa di misura che le comprende, occorre anche prevedere un valore minimo di distanza da tenere tra sonde adiacenti, in particolare in corrispondenza delle loro porzioni allargate, quali le porzioni delle teste di contatto. Tale distanza minima, che è adatta a scongiurare il contatto tra sonde adiacenti, influisce ovviamente sulla distanza o pitch dei centri dei pad di contatto di un dispositivo che la testa di misura è in grado di testare.

E<5>altresì noto realizzare sonde di contatto aventi una porzione di estremità, in particolare una testa di contatto, con ingombro laterale asimmetrico, come schematicamente illustrato in Figura 1B: si parla in tal caso di testa di contatto asimmetrica. Una tale testa di contatto asimmetrica risulta infatti, in grado di assicurare una tenuta della sonda alFintemo del relativo foro guida diminuendo il rischio di contatto delle sonde tra loro e consentendo quindi di ravvicinarle, con diminuzione quindi della distanza (pitch) dei centri dei pad di contatto del dispositivo che può essere testato da una testa di misura che comprende tali sonde. Una tale sonda di contatto con testa asimmetrica è descritta ad esempio nella domanda di brevetto italiano No. MI2015A000390 depositata il 13/03/2015 a nome della Richiedente.

Più in particolare, la testa di contatto 1B comprende una porzione allargata 12, aggettante solo in corrispondenza di una parete laterale della sonda di contatto 1, nell’esempio illustrato in corrispondenza di una prima parete laterale Ila della sonda di contatto 1, disposta alla destra della sonda stessa, nel riferimento locale della figura. Al contrario, in corrispondenza di una seconda ed opposta parete laterale llb, la testa di contatto 1B non presenta porzioni allargate e sporgenti. In tal modo, la testa di contatto 1B ha una configurazione asimmetrica.

Si sottolinea che la testa di contatto 1B della sonda di contatto 1 presenta in tal modo una parete di sottosquadro 12a, in corrispondenza della porzione allargata 12, atta ad andare in battuta su una corrispondente faccia di una guida, in particolare una guida superiore 3, impedendo che la sonda di contatto 1 si sfili dalla guida e quindi dalla testa di misura 10, ad esempio quando la sonda di contatto 1 non è in battuta su un corrispondente pad di contatto e tende a scivolare verso il basso, considerando il riferimento locale della figura.

Nella pratica, si verifica tuttavia che, dal momento che le sonde sono flottanti quando la testa di misura 10 non si trova in battuta su un dispositivo da testare 4, le sonde di contatto 1 possono spostarsi, in particolare in direzione trasversale rispetto alle guide ed ai fori guida, la porzione allargata 12 e la corrispondente parete di sottosquadro 12a spostandosi rispetto alla faccia superiore della guida contro cui devono andare in battuta per assicurare il corretto trattenimento della sonda.

E’ quindi immediatamente evidente che l’esigenza di ridurre al minimo fingombro della testa di contatto 1B della sonda di contatto 1, ed in particolare della sua porzione allargata 12, si scontra con la sicurezza di garantire il corretto trattenimento delle sonde nella testa di misura 10 anche in assenza di un dispositivo da testare su cui la testa è in battuta, come avviene durante il normale funzionamento della testa di misura 10.

Questa problematica è ulteriormente acuita durante l’operazione di assemblaggio e le operazioni di pulizia della testa di misura 10 e delle sonde di contatto 1 in essa contenute, queste ultime comportando l’utilizzo di potenti getti d’aria che provocano indesiderati flottamenti delle sonde di contatto 1 e quindi l’indesiderato posizionamento della parete di sottosquadro 12a della porzione allargata 12 delle relative teste di contatto 1B in corrispondenza dei fori guida che alloggiano le sonde nelle guide della testa di misura, nessun trattenimento delle sonde di contatto 1 potendo in tal caso essere realizzato da tale porzione sporgente 12 che non è più in grado di andare in battuta sulla faccia sottostante della guida, soprattutto quando la lunghezza della porzione sporgente 12 è particolarmente contenuta ed in particolare quando la dimensione della testa di contatto 1B in corrispondenza di tale porzione sporgente 12 è minore del diametro del foro guida 3 A realizzato nella guida superiore 3.

Il problema tecnico della presente invenzione è quello di escogitare una sonda di contatto ed una corrispondente testa di misura per il collegamento con una apparecchiatura di test di dispositivi elettronici, in particolare integrati su wafer, avente caratteristiche strutturali e funzionali tali da consentire di superare le limitazioni e gli inconvenienti che tuttora affliggono le sonde e le teste realizzate secondo l'arte nota, in particolare in grado di consentire un miglior impaccamento delle sonde, evitando in ogni caso il contatto tra sonde adiacenti anche per configurazioni di pad di contatto estremamente ravvicinati, ossia con pitch molto piccolo e al contempo garantendo un corretto trattenimento delle sonde aH’interno della testa di misura, in particolare in assenza di un dispositivo da testare in battuta su tale testa di misura e durante operazioni di pulizia.

Sommario dell<1>invenzione

L'idea di soluzione che sta alla base della presente invenzione è quella di realizzare una sonda di contatto con una porzione di estremità, in particolare una testa di contatto, con ingombro laterale asimmetrico ulteriormente dotata di almeno una protrusione in una direzione opposta a tale ingombro laterale della testa, opportunamente realizzata in corrispondenza di una porzione della sonda di contatto alloggiata in un corrispondente foro guida, in grado quindi di assicurare una tenuta della sonda alFintemo della relativa testa di misura senza rischio di contatto delle sonde tra loro, con diminuzione della distanza tra le sonde e quindi della distanza (pitch) dei centri dei pad di contatto del dispositivo da testare. In sostanza, la presenza della protrusione all'interno del foro guida che alloggia la relativa sonda di contatto ne impedisce lo spostamento laterale e garantisce che la porzione allargata della sua porzione di estremità di testa abbia sempre una porzione di guida sottostante, ovvero che la sonda non possa scivolare al di fuori della testa di misura anche in assenza di un dispositivo da testare su cui la testa di misura è in battuta e in particolare durante le operazioni di pulizia e assemblaggio.

La distanza tra le sonde può essere ulteriormente diminuita con una adeguata disposizione delle sonde airintemo della testa di misura, in particolare delle sonde adiacenti ossia di quelle consecutive secondo una direzione di distribuzione dei corrispondenti pad di contatto del dispositivo integrato da testare, nonché di quelle consecutive secondo una direzione longitudinale o trasversale nel caso di una distribuzione matriciale dei pad di contatto.

Sulla base di tale idea di soluzione il problema tecnico è risolto da una sonda di contatto di una testa di misura di un’apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente un corpo di sonda esteso essenzialmente in direzione longitudinale tra rispettive porzioni di estremità atte a realizzare un contatto con rispettivi pad di contatto, almeno una porzione di estremità avendo dimensioni trasversali maggiori rispetto al corpo di sonda e comprendendo una porzione allargata, aggettante solo in corrispondenza di una prima parete laterale della sonda di contatto, caratterizzata dal fatto che l’almeno una porzione di estremità comprende ulteriormente almeno una protrusione aggettante da una seconda parete laterale, opposta alla prima parete laterale e in sostanziale prolungamento sulla seconda e opposta parete lungo un asse di sviluppo longitudinale della sonda di contatto a partire dalla porzione allargata.

Più in particolare, l’invenzione comprende le seguenti caratteristiche supplementari e facoltative, prese singolarmente o all’occorrenza in combinazione.

Secondo un aspetto dell’invenzione, la protrusione può essere realizzata in una porzione della sonda di contatto destinata ad essere contenuta in un foro guida di una guida che alloggia la sonda di contatto.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, l’almeno una porzione di estremità può essere una testa di contatto atta ad andare in battuta su un pad di contatto di uno space transformer e l’ul tenore porzione di estremità può essere una punta di contatto atta ad andare in battuta su un pad di contatto di un dispositivo da testare.

Ulteriormente, secondo un altro aspetto dell’invenzione, la porzione allargata può definire almeno una parete di sottosquadro e a protrusione può presentare un punto di maggior estensione laterale che dista dalla parete di sottosquadro di una altezza che varia tra 10 μηι e 100 pm.

Più in particolare, l’almeno una porzione di estremità può avere un diametro di ingombro pari alla somma di un diametro del corpo di sonda e di un primo ingombro laterale della porzione allargata corrispondente ad una lunghezza della parete di sottosquadro, con diametro intendendosi la dimensione di maggiore estensione di corrispondenti sezioni traversali, e la protrusione può avere un secondo ingombro laterale avente un valore uguale al valore del primo ingombro laterale con uno scarto di più o meno il 50%.

Secondo questo aspetto dell’invenzione, il primo ed il secondo ingombro laterale della porzione allargata e della protrusione, rispettivamente, possono soddisfare alle seguenti condizioni:

LI L2 Ds > Df

LI Ds < Df, e

L2 Ds < Df

essendo:

LI: il primo ingombro laterale della porzione allargata; L2: il secondo ingombro laterale della protrusione;

Ds: un diametro della sonda di contatto; e

Df: un diametro di un foro guida atto ad alloggiare la sonda di contatto e contenente la protrusione.

In particolare, il primo ingombro laterale della porzione allargata può avere valori compresi tra 5 pm e 25 pm, ed il secondo ingombro laterale della protrusione può avere valori compresi tra 2 pm e 20 pm.

Ulteriormente, il diametro di sonda può avere valori compresi tra 20 pm e 150 pm ed il diametro di testa può avere valori compresi tra 15 pm e 120 pm.

Secondo un altro aspetto deirinvenzione, la protrusione può comprendere ulteriormente un incavo realizzato in corrispondenza della porzione allargata sulla seconda parete laterale della sonda di contatto opposta alla prima parete laterale da cui sporge la porzione allargata.

In particolare, tale incavo può estendersi all’interno della porzione di estremità della sonda di contatto a partire dalla seconda parete laterale per una lunghezza pari ad un ingombro laterale della porzione allargata con uno scarto di più o meno il 50%.

Ulteriormente, la lunghezza di tale incavo può avere valori compresi tra 1 gm e 20 μπι,

Inoltre, lineavo può estendersi lungo tutta la dimensione longitudinale della porzione di estremità.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione , la sonda di contatto può comprendere un ulteriore incavo realizzato nella porzione di estremità della sonda di contatto in corrispondenza della protrusione sulla prima parete laterale della sonda di contatto opposta alla seconda parete laterale da cui sporge la protrusione.

In particolare, tale ulteriore incavo può estendersi all 'interno della porzione di estremità della sonda di contatto a partire dalla prima parete laterale per una lunghezza pari ad un ingombro laterale della porzione allargata con uno scarto di più o meno il 20%.

Secondo un altro aspetto deirinvenzione, la sonda di contatto può comprendere ulteriormente almeno un elemento aggettante o stopper a partire da una sua parete laterale.

Secondo questo aspetto dell 'invenzione, lo stopper può aggettare dalla prima parete laterale da cui aggetta la porzione allargata della porzione di estremità.

Più in particolare, lo stopper può sporgere dal corpo di sonda per un aggetto laterale avente dimensione uguale al 10-50% del diametro di sonda.

Ulteriormente, la dimensione dell'aggetto laterale dello stopper può essere compresa fra 5 gm e 25 gm.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, lo stopper può essere posizionato in modo da non essere in contatto con una guida di una testa di misura comprendente la sonda di contatto durante il suo normale funzionamento, così da non interferire con il movimento della sonda di contatto.

Il problema tecnico è altresì risolto da una testa di misura a sonde verticali per la verifica di funzionalità di un dispositivo elettronico comprendente almeno una coppia di guide inferiore e superiore separate tra loro da un’opportuna zona d’aria e dotate di rispettivi fori guida per alloggiamento scorrevole di una pluralità di sonde di contatto, ciascuna sonda di contatto essendo realizzata come sopra indicato.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, le guide inferiore e superiore possono essere tra loro opportunamente shiftati in modo da imprimere alle sonde di contatto che scorrono nei rispettivi fori guida una predeformazione in corrispondenza della zona d’aria e la porzione allargata della porzione di estremità di ciascuna delle sonde di contatto può aggettare a partire da una parete laterale della sonda di contatto, che si appoggia su una parete del foro guida della guida superiore, la parete di sottosquadro della porzione allargata essendo atta ad andare in battuta su una prima faccia della guida superiore, in particolare una faccia che si trova di fronte ad uno space transformer su cui la testa di misura va in battuta, e la protru sione può avere un punto di maggior estensione laterale atto ad appoggiarsi ad una seconda e opposta parete del foro guida della guida superiore.

Secondo un altro aspetto dell’invenzione, la testa di misura può comprendere sonde adiacenti secondo una direzione longitudinale o trasversale con porzioni allargate tutte aggettanti da una corrispondente parete.

In alternativa, la testa di misura può comprendere sonde adiacenti secondo una direzione longitudinale o trasversale con porzioni allargate alternativamente aggettanti da rispettive pareti opposte.

Secondo un altro aspetto deirinvenzione, le sonde possono comprendere almeno un elemento aggettante o stopper a partire da una sua parete laterale.

In particolare, lo stopper può essere posizionato nella zona d’aria ed aggettare da una parete laterale da cui aggetta la porzione allargata, tale stopper avendo una superficie di appoggio, affacciata alla guida superiore ed atta ad andare in battuta su una faccia della guida superiore opposta alla faccia su cui va in battuta la parete di sottosquadro della porzione allargata.

Infine, la guida superiore può comprendere almeno una coppia di supporti paralleli tra loro e separati da una zona supplementare d’aria, lo stopper essendo realizzato nella zona supplementare d’aria, aggettante da una parete che corrisponde ad una parete da cui aggetta la porzione allargata o ad una parete opposta.

Le caratteristiche ed i vantaggi della sonda di contatto e della testa di misura secondo l'invenzione risulteranno dalla descrizione, fatta qui di seguito, di un suo esempio di realizzazione dato a titolo indicativo e non limitativo con riferimento ai disegni allegati.

Breve descrizione dei disegni

In tali disegni:

le Figure 1A e 1B mostra schematicamente varianti di realizzazione di una testa di misura a sonde verticali realizzata secondo 1 ’artc nota;

la Figura 2 mostra schematicamente una sonda di contatto verticale realizzata secondo la presente invenzione;

le Figure 3A-3F mostrano schematicamente in scala ingrandita varianti di realizzazione di un particolare della sonda di contatto di Figura 2;

le Figure 4A e 4B mostrano schematicamente una testa di misura secondo la presente invenzione, in particolare del tipo a piastre shiftate, comprendente varianti di realizzazione delle sonde di contatto secondo la presente invenzione, una sola sonda essendo illustrata per semplicità;

le Figure 5 A e 5B mostrano schematicamente la testa di misura secondo la presente invenzione comprendente almeno una coppia di sonde di contatto adiacenti in rispettive diverse disposizioni; e le Figure 6A, 6B, 7A, 7B e 8 mostrano schematicamente varianti di realizzazione della testa di misura secondo 1 invenzione.

Descrizione dettagliata

Con riferimento a tali figure, ed in particolare alla Figura 2, con 20 è complessivamente indicata una sonda di contatto atta ad essere alloggiata in una testa di misura per il test di dispositivi elettronici, in particolare integrati su wafer, secondo una forma di realizzazione della presente invenzione.

E' opportuno notare che le figure rappresentano viste schematiche della sonda di contatto e della testa di misura secondo rinvenzione e non sono disegnate in scala, ma sono invece disegnate in modo da enfatizzare le caratteristiche importanti dell’invenzione.

Inoltre, i diversi aspetti deirinvenzione rappresentati a titolo esemplificativo nelle figure sono ovviamente combinabili tra loro ed intercambiabili da una forma di realizzazione ad un’altra.

Secondo un aspetto dell’invenzione, la sonda di contatto 20 comprende un cosiddetto corpo di sonda 20C esteso tra rispettive porzioni di estremità, in particolare una punta di contatto 20A ed una testa di contatto 20B. Opportunamente, almeno una porzione di estremità, in particolare la testa di contatto 20B, presenta dimensioni trasversali maggiori rispetto al corpo di sonda 20C. Più in particolare, la testa di contatto 20B presenta una sezione trasversale con almeno un diametro di testa Dt maggiore del diametro di sonda Ds della sezione trasversale del corpo di sonda 20C (Dt>Ds), intendendo con diametro la dimensione di maggiore estensione di tali sezioni.

La punta di contatto 20A della sonda di contatto 20 è rastremata e termina con una porzione di contatto 21A destinata ad andare in battuta su un pad di contatto di un dispositivo da testare; analogamente, la testa di contatto 20B presenta una porzione rastremata e terminante con una porzione di contatto 21B destinata ad andare in battuta su una piazzola o pad di contatto di uno space transformer, nel caso di una testa di misura a sonde non vincolate.

Le porzioni di contatto 21A e 21B possono essere conformate in modo da definire un contatto sostanzialmente puntiforme, oppure avere una forma arrotondata oppure ancora avere una forma sostanzialmente piatta, eventualmente di diametro inferiore al resto della porzione di estremità.

Opportunamente secondo la presente invenzione, la testa di contatto 20B comprende una porzione allargata 22, aggettante solo in corrispondenza di una parete laterale della sonda di contatto 20, nell’esempio illustrato in corrispondenza di una prima parete laterale 23a della sonda di contatto 20, disposta alla destra della sonda stessa, nel riferimento locale della figura. Al contrario, in corrispondenza di una seconda ed opposta parete laterale 23b, la testa di contatto 20B non presenta porzioni allargate e sporgenti. In tal modo, la testa di contatto 20B ha una configurazione asimmetrica, rispetto ad un asse di sviluppo longitudinale HH della sonda di contatto 20.

Si sottolinea che in tal modo la testa di contatto 20B presenta una parete di sottosquadro 22a, in corrispondenza della porzione allargata 22, atta ad andare in battuta su una corrispondente faccia di una guida impedendo che la sonda di contatto 20 si sfili dalla guida e quindi dalla testa di misura, ad esempio quando la sonda di contatto 20 non è in battuta su un corrispondente pad di contatto e tende a scivolare verso il basso, considerando il riferimento locale della figura. Più in particolare, la porzione allargata 22 definisce una parete di sottosquadro 22a di lunghezza LI avente un valore pari al 20-60% del diametro di sonda Ds. In tal modo, la testa di contatto 20B presenta un diametro di ingombro, in particolare un diametro di testa Dt pari alla somma del diametro di sonda Ds e della lunghezza LI: Dt = Ds LI. La lunghezza LI verrà indicata anche come primo ingombro laterale.

Nelle applicazioni più diffuse, il primo ingombro laterale LI della parete di sottosquadro 22a ha valori compresi tra 5 μιη e 25 μηι, il diametro di sonda Ds ha valori compresi tra 20 μιη e 150 pm ed il diametro di testa Dt ha valori compresi tra 15 pm e 120 pm.

Vantaggiosamente secondo la presente invenzione, la sonda di contatto 20 comprende altresì almeno una protrusione 24, aggettante in corrispondenza di una parete del corpo di sonda 20C opposta rispetto alla parete rispetto a cui aggetta la porzione allargata 22. NeU’esempio illustrato in figura, la protrusione 24 aggetta quindi rispetto alla seconda parete laterale 23b, ovvero alla sinistra della sonda stessa, nel riferimento locale della figura.

La protrusione 24 definisce a sua volta un secondo ingombro laterale L2, che ha dimensioni con valore uguale al valore del primo ingombro laterale LI con uno scarto di più o meno il 50% (L2=L1±50%).

Il valore del secondo ingombro laterale L2 può in particolare variare tra 2 pm e 20 pm.

Ulteriormente, la protrusione 24 è opportunamente realizzata in una porzione 20F della sonda di contatto 20 in corrispondenza della testa di contatto 20B destinata ad essere contenuta in un foro guida FG definito in una guida G che alloggia la sonda di contatto 20.

In tal modo, risulta immediatamente evidente che tale protrusione 24 impedisce uno spostamento della sonda di contatto 20 all'interno del foro guida FG tale da portare la parete di sottosquadro 22a della porzione allargata 22 in corrispondenza del foro guida FG stesso, garantendo così il corretto trattenimento della sonda di contatto 20 nella relativa testa di misura anche in assenza di un dispositivo da testare su cui la testa di misura e quindi le sonde di contatto 20 vanno in battuta dato che la parete di sottosquadro 22a si trova sempre con almeno una porzione della guida G ad essa sottostante.

Opportunamente, la porzione allargata 22 e la protrusione 24 sono realizzate in modo che i relativi ingombri laterali LI e L2 impediscano alla sonda di contatto 20 di sfilarsi dalla testa di misura che la comprende e al contempo ne garantiscano il passaggio dai fori guida durante le operazioni di assemblaggio della testa stessa.

In particolare, la porzione allargata 22 e la guida superiore 23 sono realizzate in modo da rispettare le seguenti condizioni:

LI L2 Ds > Df

LI Ds < Df, e

L2 Ds < Df

essendo:

LI: la lunghezza del primo ingombro laterale della porzione allargata 22;

L2: la lunghezza del secondo ingombro laterale della protrusione 24;

Ds: il diametro della sonda di contatto 20; e

Df: il diametro del relativo foro guida FG.

In particolare, la protrusione 24 è realizzata in sostanziale prolungamento della porzione allargata 22 lungo l’asse HH di sviluppo longitudinale della sonda di contatto 20 in direzione della punta di contatto 20A. Più in particolare, il punto di maggior estensione laterale della protrusione 24 dista dalla parete di sottosquadro 22a della porzione allargata 22 di una altezza H* che varia tra 10 pm e 100 gm.

E’ possibile realizzare la protrusione 24 con diverse vantaggiose forme, alcune delle quali sono illustrate a titolo indicativo nelle Figure 3A-3F.

Tale protrusione 24 può avere una forma sostanzialmente arrotondata, come mostrato schematicamente nella Figura 3 A, l’ingombro laterale L2 della protrusione 24 essendo la distanza tra un suo punto di culmine e la parete della sonda di contatto 20 da cui la protrusione 24 sporge, nell’esempio illustrato la seconda parete laterale 23b.

In alternativa, tale protrusione 24 può avere una forma più squadrata, come illustrato in Figura 3B o di una semplice punta, come illustrato in Figura 3C.

In una forma preferita di realizzazione, schematicamente illustrata in Figura 3D, la testa di contatto 20B della sonda di contatto 20 può ulteriormente comprendere un incavo 22C, sostanzialmente in corrispondenza della porzione allargata 22 e di una parete della sonda di contatto 20 opposta a quella da cui sporge la porzione allargata 22, nelTesempio illustrato la seconda parete laterale 23b.

In particolare, l’incavo 22C si estende all’interno della testa di contatto 20B della sonda di contatto 20 a partire dalla seconda parete laterale 23b per una lunghezza L3 pari al secondo ingombro laterale L2 della porzione allargata 22 a partire dalla parete 23a, più o meno il 50% (L3=L2±50%). In tal modo, in corrispondenza di tale porzione allargata 22 il diametro Dt* della testa di contatto 20B viene ridotto.

Il valore della lunghezza L3 può in particolare variare tra 1 μιη e 20 pm.

In una ulteriore variante illustrata in Figura 3E, Fincavo 22C si estende lungo tutta la dimensione longitudinale della testa di contatto 20B, in particolare fino alla rispettiva porzione di contatto 21B, riducendo Fingombro complessivo della stessa di una quantità pari alla lunghezza L3 .

Al fine di ridurre Fingombro totale dato dalla somma del diametro di sonda Ds e del secondo ingombro laterale L2 (Ds+L2) è altresì possibile prevedere una riduzione della diametro di sonda Ds proprio in corrispondenza della protrusione 24, come illustrato in Figura 3F, creando in particolare un ulteriore incavo 24C avente un rientro pari ad una lunghezza L4 rispetto al corpo di sonda ed in particolare ad una parete della sonda di contatto 20 opposta a quella da cui sporge la protrusione 24, nelFesempio illustrato la prima parete laterale 23 a; più in particolare la lunghezza L4 dell “ulteriore incavo 24 C ha una dimensione pari al valore del secondo ingombro laterale L2 più o meno il 20% (L4=L2± 20%).

Sonde di contatto del tipo descritto possono essere utilizzate per realizzare una testa di misura, schematicamente illustrata ad esempio nelle Figure 4A e 4B e complessivamente indicata con 30.

In particolare, la testa di misura 30 alloggia una pluralità di sonde di contatto 20 e comprende almeno una guida inferiore 25 ed una guida superiore 26, dotate di rispettivi fori guida 25A e 26A in cui le sonde di contatto 20 del tipo precedentemente illustrato scorrono. Per semplicità, nelle Figure 4A e 4B è rappresentata solo una sonda di contatto 20.

Ogni sonda di contatto 20 ha la punta di contatto 20A atta ad andare in battuta su una corrispondente piazzola o pad di contatto 27A di un dispositivo da testare 27 e la testa di contatto 20B atta ad andare in battuta su una piazzola o pad di contatto 28A di uno space transformer 28.

NelPesempio illustrato, la testa di misura 30 è del tipo a sonde verticali e piastre shiftate; la sonda illustrata comprende un corpo di sonda 20C che si estende in una zona d’aria 29, tra la guida superiore 26 e la guida inferiore 25. Come in precedenza, per comodità, si sono utilizzati i termini “superiore” ed “inferiore” come usuale nel settore tecnico dell’invenzione e con riferimento ad un sistema di riferimento locale della figura, senza per questo intenderli in alcun modo limitativi per l’invenzione .

In particolare, le guide inferiore e superiore, 25 e 26, vengono tra loro opportunamente shiftate in modo da imprimere alle sonde di contatto 20 che scorrono nei loro fori guida 25A, 26A una predeformazione in corrispondenza della zona d’aria 29 tra le guide, tale predeformazione aumentando durante il funzionamento della testa di misura 30, quando le punte di contatto 20A delle sonde di contatto 20 sono in contatto premente sui pad di contatto 27A del dispositivo da testare 27 e le sonde di contatto 20 flettono in corrispondenza della zona d'aria 29.

Le sonde di contatto 20 hanno sezioni, in particolare in corrispondenza del corpo di sonda 20C, con diametro di sonda Ds che varia da 0,5 mils a 5 mils, scelto in dipendenza dalle applicazioni a cui la testa di misura 30 è destinata, mentre le teste di contatto 20B, dotate delle porzioni allargate 22, hanno sezioni con diametro di testa Dt che varia da 0,8 mils a 3,5 mils, dove con diametro si intende sempre una dimensione massima di tali sezioni non necessariamente circolari.

Si sottolinea che, nella configurazione a piastre shiftate illustrata in Figura 4 A, le sonde di contatto 20 vengono alloggiate nella testa di misura 30 in modo da presentare la porzione allargata 22 che aggetta a partire da una parete della sonda di contatto 20, nell’esempio la prima parete 23a, che si appoggia su una parete del foro guida 26A della guida superiore 26 sottostante tale porzione allargata 22.

In tal modo, la parete di sottosquadro 22a della porzione allargata 22 è atta ad andare in battuta su una prima faccia FI della guida superiore 26, in particolare la faccia che si trova di fronte allo space transformer 28, indicata anche come faccia superiore, sempre utilizzando il riferimento locale della figura; la guida superiore 26 presenta inoltre una seconda e opposta faccia F2, indicata anche come faccia inferiore.

Opportunamente, come schematicamente illustrato in Figura 4B, la sonda di contatto 20 comprende altresì almeno un elemento aggettante dal rispettivo corpo 20C, in corrispondenza della prima parete 23a o della seconda parete 23b della sonda di contatto 20. Tale elemento aggettante serve in particolare a realizzare mezzi di arresto della sonda di contatto 20 atti ad impedire la fuoriuscita della sonda di contatto 20 dalla testa di misura 30 anche in assenza di un dispositivo da testare 27 o di uno space transformer 28 in direzione opposta alla testa di contatto 20B; tali mezzi di arresto fungono quindi da stopper 31.

Lo stopper 31 è quindi in grado di impedire uno spostamento verso l'alto (nel riferimento locale della Figura 4B) della corrispondente sonda di contatto 20. Opportunamente, lo stopper 31 è formato di pezzo con il corpo 20C della sonda di contatto 20.

Nella forma di realizzazione illustrata in Figura 4B, lo stopper 3 1 è posizionato nella zona d’aria 29 ed in modo aggettante dalla prima parete 23a, in particolare la stessa parete da cui aggetta la porzione allargata 22 della testa di contatto 20B. In tal modo, lo stopper 31 risulta aggettante dalla parete della sonda di contatto 20 che è in contatto con la parete del foro guida 26A della guida superiore 26 ad esso sovrastante, ossia la seconda parete laterale 23b nell’esempio illustrato.

Più in particolare, lo stopper 31 presenta una superficie di appoggio 3 la, affacciata alla guida superiore 26 ed atta ad andare in battuta sulla seconda faccia F2 di tale guida, ovvero sulla faccia opposta alla prima faccia FI su cui va in battuta la parete di sottosquadro 22a della porzione allargata 22. La superficie di appoggio 3 la aggetta dalla prima parete laterale 23a della sonda di contatto 20 per una lunghezza L5, ovvero lo stopper 31 ha un aggetto laterale avente dimensione L5 in particolare pari al 10-50% del diametro di sonda Ds (L5=10-50%*Ds).

Più in particolare, l’aggetto laterale dello stopper 31 ha una dimensione L5 compresa fra 5 gm e 25 pm.

Vantaggiosamente secondo la presente invenzione, grazie alla configurazione della sonda di contatto 20, è possibile avvicinare tra loro sonde di contatto 20 adiacenti nella testa di misura 30, garantendo comunque una distanza minima Dm che deve intercorrere tra le porzioni di maggiori dimensioni delle sonde, ossia in corrispondenza delle relative teste di contatto 20B, come schematicamente illustrato in Figura 5A, dove con distanza minima Dm si intende un valore atto a scongiurare il contatto tra sonde adiacenti, usualmente compreso tra 10 pm e 20 pm.

Ovviamente, risultano in tal modo ravvicinate anche le punte di contatto 20A delle sonda di contatto 20 e quindi risulta possibile avvicinare i pad di contatto 27A del dispositivo da testare 27, o meglio i centri di tali pad riducendo il pitch PI, in particolare fino a valori compatibili con le più moderne tecnologie di integrazione e di design dei circuiti integrati.

Secondo una variante di realizzazione, schematicamente illustrata in Figura 5B, all’interno della testa di misura 30, è altresì possibile disporre le sonde di contatto 20 in modo che sonde adiacenti 20, 20’ secondo una direzione longitudinale o trasversale presentino rispettive porzioni allargate 22, 22’ aggettanti da pareti opposte 23a, 233⁄4. In tal caso, una prima sonda 20 comprende una porzione aggettante 22 che si aggetta da una sua parete 23b ed una seconda sonda 20’, adiacente alla prima sonda 20 secondo una direzione longitudinale o trasversale secondo la configurazione dei pad 27A del dispositivo da testare 27, comprende una rispettiva porzione aggettante 22’ che si aggetta da una sua parete opposta 23a’; in altre parole, le sonde adiacenti 20, 20’ hanno porzioni allargate 22, 22’ aggettanti da parti opposte rispetto a tale direzione longitudinale o trasversale di affiancamento delle sonde.

E’ in tal modo possibile ulteriormente avvicinare sonde adiacenti, in particolare in corrispondenza delle loro teste di contatto, pur garantendo la distanza minima Dm atta ad evitare eventuali contatti tra le sonde. Sono così ulteriormente ravvicinati anche i centri di tali pad, con conseguente ulteriore riduzione del pitch P2, come indicato in figura (P2<P1).

Si sottolinea che, vantaggiosamente secondo l’invenzione, la testa di misura 30 proposta consente di diminuire il pitch del dispositivo da testare 27, vale a dire avvicinare i centri dei relativi pad di contatto 27A, fino ai requisiti richiesti dalle più moderne tecnologie di integrazione e di design dei circuiti integrati.

Una variante di realizzazione della testa di misura 30 secondo rinvenzione è illustrata nelle Figure 6A e 6B e comprende almeno una guida formata da più di un supporto. Più in particolare, nella forma di realizzazione illustrata nelle Figure 6A e 6B, la guida superiore 26 include almeno un primo ed un secondo supporto, 261 e 262, paralleli tra loro, separati da una zona supplementare d’aria e dotati di corrispondenti fori guida per l’alloggiamento delle sonde di contatto 20. Opportunamente, tali primo e secondo supporto, 261 e 262, possono essere solidarizzati tra loro mediante un materiale adesivo 263, in particolare nella forma di una fraine adesiva.

Analogamente, nell’esempio illustrato, la guida inferiore 25 include almeno un primo ed un secondo supporto, 251 e 252, paralleli tra loro, separati da una zona supplementare d’aria, dotati di corrispondenti fori guida per l’alloggiamento delle sonde di contatto 20 ed eventualmente solidarizzati tra loro mediante un materiale adesivo 253. Ovviamente, la testa di misura 30 potrebbe comprende anche solo la guida superiore 26 o la guida inferiore 25 formata da coppie di supporti, la restante guida potendo essere formata da un solo supporto.

Si sottolinea che le guide superiore 26 ed inferiore 25 sono tra loro spostate (shifted) così da realizzare la desiderata deformazione del corpo 20C delle sonde di contatto 20.

E’ possibile quindi realizzare le sonda di contatto 20 in modo da avere almeno una protrusione 24 posizionata in corrispondenza dei fori guida del primo supporto 261 della guida superiore 26, come illustrato in Figura 6A oppure in corrispondenza dei fori guida del secondo supporto 262, come illustrato schematicamente in Figura 6B.

Vantaggiosamente, è possibile migliorare il trattenimento delle sonde di contatto 20 nella testa di misura 30 anche in assenza di un dispositivo da testare 27 o di uno space transformer 28, dotando le sonde di contatto 20 di uno stopper 31, come illustrato schematicamente nelle Figure 7A e 7B.

Nella forma di realizzazione illustrata in Figura 7A, lo stopper 31 è posizionato nella zona d'aria 29 ed in modo aggettante dalla prima parete 23 a, in particolare la stessa parete da cui aggetta la porzione allargata 22 della testa di contatto 20B. In tal modo, lo stopper 31 risulta aggettante dalla parete della sonda di contatto 20 che è in contatto con la parete del foro guida del secondo supporto 263 sovrastante tale stopper 31.

In alternativa, nella forma di realizzazione illustrata in Figura 7B, lo stopper 31 è posizionato nella zona d’aria supplementare definita tra il primo ed il secondo supporto 261 e 262 della guida superiore 26 e in maniera aggettante a partire dalla prima parete 23 a della sonda di contatto 20, ossia dalla stessa parete da cui aggetta la porzione allargata 22 della testa di contatto 20B. In tal modo, lo stopper 31 risulta aggettante dalla parete della sonda di contatto 20 che è in contatto con la parete del foro guida del primo supporto 261 sovrastante tale stopper 31 .

Si sottolinea che lo stopper 31 è in tal modo in grado di impedire indesiderati movimenti delle sonde di contatto 20 in occasione di operazioni di pulitura della testa di misura 30, che, come ben noto, sono usualmente realizzate mediante potenti getti d’aria, in grado in particolare di muovere le sonde di contatto. Inoltre, la presenza dello stopper 31 garantisce il mantenimento delle sonde di contatto 20 all’interno della testa di misura 30 anche in occasione della rimozione dello space transformer 28 con rottura di eventuali ossidi che trattengano le teste di contatto 20B ai pad di contatto 28A dello space transformer 28 stesso.

Si sottolinea che, secondo quest’ultima forma di realizzazione illustrata in Figura 7B, il posizionamento dello stopper 31 tra il primo ed il secondo supporto 261 e 262 della guida superiore 26 risulta particolarmente vantaggioso dal momento che si tratta di una zona con ridotte sollecitazioni, in particolare quasi esente dalla flessione che interessa invece la porzione della sonda di contatto 20 disposta nella zona d’aria 29. In tal modo, non si corre il rischio di innescare indesiderate rotture in corrispondenza proprio dello stopper 31, la cui forma aggettante dalla parete della sonda di contatto 20 introduce inevitabilmente punti di accumulo di stress.

Inoltre, l’aggetto dello stopper 31 risulta in tal caso dalla stesso lato della porzione allargata 22, con una riduzione dell’ingombro della sonda nel suo complesso. In particolare, nel caso di uno stopper 31 con un aggetto avente dimensione L5 inferiore o uguale al primo ingombro laterale LI della parete di sottosquadro 22a della porzione allargata 22, l’ingombro di tale stopper 31 è di fatto mascherato da quello della testa di contatto 20B.

Opportunamente, anche in tal caso, lo stopper 31 è altresì posizionato in modo da non essere in contatto con la guida superiore 26 durante il normale funzionamento della testa di misura 30, così da non interferire con il movimento della relativa sonda di contatto 20. Lo stopper 31 agisce solo in occasione di un eventuale movimento verso l’alto della sonda di contatto 20, ad esempio in caso di una rimozione dello space transformer 28 e di un indesiderato per quanto temporaneo “incollaggio” tra le teste di contatto 20B delle sonde ed i pad di contatto 28A dello space transformer 28 oppure a causa di un getto d’aria di pulitura che spinge la sonda di contatto 20 in quella direzione.

Per ulteriormente migliorare il trattenimento delle sonde di contatto 20 nella testa di misura 30, anche il primo ed il secondo supporto 261 e 262 della guida superiore 26 possono tra loro spostati, come illustrato schematicamente in Figura 8.

Nella forma di realizzazione illustrata, lo stopper 31 è posizionato nella zona d’aria 29 ed in modo aggettante dalla parete opposta rispetto alla parete da cui aggetta la porzione allargata 22 della testa di contatto 20B. In tal modo, lo stopper 31 risulta aggettante dalla parete della sonda di contatto 20 che è in contatto con la parete del foro guida del secondo supporto 262 ad esso sovrastante, che è stato shiftato rispetto al primo supporto 261.

Le considerazioni fatte sono valide anche per forme di realizzazione diverse qui non esplicitate ma comunque oggetto della presente invenzione, come, ad esempio, una testa di misura avente una guida superiore comprendente un solo supporto ed una guida inferiore comprendente almeno due supporti, nonché nel caso in cui sia la guida superiore sia la guida inferiore siano realizzate mediante almeno due supporti o anche un numero maggiore di supporti e con la presenza di più stopper, posizionati in modo simmetrico o asimmetrico. Inoltre, gli accorgimenti adottati in relazione ad una forma di realizzazione sono utilizzabili anche per altre forme di realizzazione e liberamente combinabili tra loro anche in numero maggiore di due.

In conclusione, la conformazione della sonda di contatto e la relativa testa di misura secondo le forme di realizzazione dell’invenzione consentono di realizzare un elevato impaccamento delle sonde stesse e quindi di effettuare il testing di configurazioni di piazzole (o pad) di contatto di circuiti integrati anche fortemente ravvicinate, il limite dato dalle loro porzioni allargate essendo ridotto rispetto ai dispositivi noti con teste asimmetriche grazie alla presenza della protrusione in corrispondenza dei fori guida che alloggiano le sonde.

In tal modo, vantaggiosamente secondo l’invenzione, è possibile diminuire il pitch del dispositivo integrato da testare, vale a dire avvicinare i centri dei relativi pad di contatto fino ai requisiti richiesti dalle più moderne tecnologie di integrazione e di design dei circuiti integrati.

Ulteriormente, si sottolinea la presenza dello stopper è in grado di impedire indesiderati movimenti delle sonde di contatto ad esempio in occasione di operazioni di pulitura della testa di misura, usualmente realizzate mediante potenti getti d’aria; inoltre il mantenimento delle sonde di contatto aMnterno della testa di misura è garantito anche in occasione della rimozione dello space transformer, la controforza realizzata dalla battuta dello stopper su una corrispondente faccia della guida superiore assicurando la rottura di eventuali ossidi che trattengano le teste di contatto ai pad dello space transformer stesso.

Ovviamente alla sonda di contatto e alla testa di misura sopra descritte un tecnico del ramo, allo scopo di soddisfare esigenze contingenti e specifiche, potrà apportare numerose modifiche e varianti, tutte comprese nell'ambito di protezione dell<1>invenzione quale definito dalle seguenti rivendicazioni.

Claims

RIVENDICAZIONI 1. Sonda di contatto (20) di una testa di misura di uriapparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente un corpo di sonda (20C) esteso essenzialmente in direzione longitudinale tra rispettive porzioni di estremità (20A, 20B) atte a realizzare un contatto con rispettivi pad di contatto, almeno una porzione di estremità (20B) avendo dimensioni trasversali maggiori rispetto a detto corpo di sonda (20C) e comprendendo una porzione allargata (22), aggettante solo in corrispondenza di una prima parete laterale (23a, 23b) di detta sonda di contatto (20), caratterizzata dal fatto che detta almeno una porzione di estremità (20B) comprende ulteriormente almeno una protrusione (24) aggettante da una seconda parete laterale (23b, 23a), opposta a detta prima parete laterale (23a, 23b) e in sostanziale prolungamento su detta seconda e opposta parete (23b, 23a) lungo un asse di sviluppo longitudinale (HH) di detta sonda di contatto (20) a partire da detta porzione allargata (22).
2. Sonda di contatto (20) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detta protrusione (24) è realizzata in una porzione (20F) di detta sonda di contatto (20) destinata ad essere contenuta in un foro guida di una guida che alloggia detta sonda di contatto (20).
3. Sonda di contatto (20) secondo la rivendicazione 1 o 2, caratterizzata dal fatto che detta almeno una porzione di estremità (20B) è una testa di contatto (20B) atta ad andare in battuta su un pad di contatto (28A) di uno space transformer (28), detta ulteriore porzione di estremità (20 A) essendo una punta di contatto (20A) atta ad andare in battuta su un pad di contatto (27A) di un dispositivo da testare (27).
4. Sonda di contatto (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta porzione allargata (22) definisce almeno una parete di sottosquadro (22a) e dal fatto che detta protrusione (24) presenta un punto di maggior estensione laterale che dista da detta parete di sottosquadro (22a) di una altezza (H*) che varia tra 10 iim e 100 gru.
5. Sonda di contatto (20) secondo la rivendicazione 4, caratterizzata dal fatto che detta almeno una porzione di estremità (20B) ha un diametro di ingombro (Dt) pari alla somma di un diametro (Ds) di detto corpo di sonda (2 OC) e di un primo ingombro laterale (LI) di detta porzione allargata (22) corrispondente ad una lunghezza di detta parete di sottosquadro (22a), con diametro intendendosi la dimensione di maggiore estensione di corrispondenti sezioni traversali, e dal fatto che detta protrusione (24) ha un secondo ingombro laterale (L2) avente un valore uguale al valore di detto primo ingombro laterale (LI) con uno scarto di più o meno il 50%.
6. Sonda di contatto (20) secondo la rivendicazione 4 o 5, caratterizzata dal fatto che detti primo e secondo ingombro laterale (LI, L2) di detta porzione allargata (22) e di detta protrusione (24), rispettivamente, soddisfano alle seguenti condizioni: LI L2 Ds > Df LI Ds < Df, e L2 Ds < Df essendo: LI: detto primo ingombro laterale di detta porzione allargata (22); L2: detto secondo ingombro laterale di detta protrusione (24); Ds: un diametro di detta sonda di contatto (20); e Df: un diametro di un foro guida atto ad alloggiare detta sonda di contatto (20) e contenente detta protrusione (24).
7. Sonda di contatto (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta protrusione (24) comprende ulteriormente un incavo (22C) realizzato in corrispondenza di detta porzione allargata (22) su detta seconda parete laterale (23b, 23a) di detta sonda di contatto (20) opposta a detta prima parete laterale (23a, 23b) da cui sporge detta porzione allargata (22).
8. Sonda di contatto (20) secondo la rivendicazione 7, caratterizzata dal fatto che detto incavo (22C) si estende all Interno di detta porzione di estremità (20B) di detta sonda di contatto (20) a partire da detta seconda parete laterale (23b, 23a) per una lunghezza (L3) pari ad un ingombro laterale (L2) di detta porzione allargata (22) con uno scarto di più o meno il 50%.
9. Sonda di contatto (20) secondo la rivendicazione 7 o 8, caratterizzata dal fatto che detto incavo (22C) si estende lungo tutta la dimensione longitudinale di detta porzione di estremità (20B) .
10. Sonda di contatto (20) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto di comprendere un ulteriore incavo (24C) realizzato in detta porzione di estremità (20B) di detta sonda di contatto (20) in corrispondenza di detta protrusione (24) su detta prima parete laterale (23a, 23b) di detta sonda di contatto (20) opposta a detta seconda parete laterale (23b, 23a) da cui sporge detta protrusione (24).
11. Sonda di contatto (20) secondo una delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto di comprendere ulteriormente almeno un elemento aggettante o stopper (31) a partire da una sua parete laterale (23a, 23b).
12. Sonda di contatto (20) secondo la rivendicazione 11, caratterizzata dal fatto che detto stopper (31) aggetta da detta prima parete laterale (23a) da cui aggetta detta porzione allargata (22) di detta porzione di estremità (20B).
13. Sonda di contatto (20) secondo la rivendicazione Il o 12, caratterizzata dal fatto che detto stopper (31) è posizionato in modo da non essere in contatto con una guida di una testa di misura comprendente detta sonda di contatto (20) durante il suo normale funzionamento, così da non interferire con il movimento di detta sonda di contatto (20).
14. Testa di misura (30) a sonde verticali per la verifica di funzionalità di un dispositivo elettronico comprendente almeno una coppia di guide inferiore e superiore (25, 26) separate tra loro da un’opportuna zona d’aria (29) e dotate di rispettivi fori guida (25A; 26A) per l’alloggiamento scorrevole di una pluralità di sonde di contatto (20), ciascuna sonda di contatto (20) essendo realizzata secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti.
15. Testa di misura (30) secondo la rivendicazione 14, in cui dette guide inferiore e superiore (25, 26) sono tra loro opportunamente shiftati in modo da imprimere a dette sonde di contatto (20) che scorrono in detti rispettivi fori guida (25A, 26A) una predeformazione in corrispondenza di detta zona d’aria (29), caratterizzata dal fatto che detta porzione allargata (22) di detta porzione di estremità (20B) di ciascuna di dette sonde di contatto (20) aggetta a partire da una parete laterale (23a) di detta sonda di contatto (20), che si appoggia su una parete di detto foro guida (26A) di detta guida superiore (26), detta parete di sottosquadro (22a) di detta porzione allargata (22) essendo atta ad andare in battuta su una prima faccia (FI) di detta guida superiore (26), in particolare una faccia che si trova di fronte ad uno space transformer (28) su cui detta testa di misura (30) va in battuta, e dal fatto che detta protrusione (24) ha un punto di maggior estensione laterale atto ad appoggiarsi ad una seconda e opposta parete di detto foro guida (26A) di detta guida superiore (26).
16. Testa di misura (30) secondo la rivendicazione 14 o 15, caratterizzata dal fatto di comprendere sonde adiacenti (20) secondo una direzione longitudinale o trasversale con porzioni allargate (22) tutte aggettanti da una corrispondente parete (23a).
17. Testa di misura (30) secondo la rivendicazione 14 o 15, caratterizzata dal fatto di comprendere sonde adiacenti (20, 20<7>) secondo una direzione longitudinale o trasversale con porzioni allargate (22, 22) alternativamente aggettanti da rispettive pareti opposte (23a, 233⁄4).
18. Testa di misura (30) secondo una delle rivendicazioni da 14 a 17, caratterizzata dal fatto che dette sonde comprendono almeno un elemento aggettante o stopper (31) a partire da una sua parete laterale (23a, 23b).