KR100545189B1 - 엘시디 검사용 프로브 카드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 엘시디 검사용 프로브 카드에 대한 것으로서, 본 발명은 어셈블리 홀더(10)와; 상기 어셈블리 홀더(10)의 저면에 체결고정되는 기판 홀더(20)와 니들 홀더(30): 상기 기판 홀더(20)의 저면에 부착되며, 상부면에는 드라이브 IC가 부착되는 회로 기판(40)과; 상기 니들 홀더(30)의 저면에 접착되는 상부면으로는 상향 개방되게 하향 요입시킨 장공의 니들 삽입홈(51)이 일방향으로 균일하게 다수 형성되고, 니들 삽입홈(51)과 동일 수평선상의 양측의 외측단면에는 얼라인 홈(53)이 형성되며, 니들 삽입홈(51)의 선단부측 일단부는 하향 관통되게 구비되는 가이드 플레이트(50)와; 상기 가이드 플레이트(50)의 니들 삽입홈(51)에 하향 삽입되면서 양측은 상하로 휨변형이 가능하게 형성되고, 일측의 끝단부는 하향 연장되어 상기 가이드 플레이트(50)의 선단부에 하향 관통되게 형성한 가이드 홀(52)을 통해 상기 가이드 플레이트(50)의 저면보다 하향 돌출되게 LCD 접속단부(61)를 형성하며, 타측의 끝단부는 상기 가이드 플레이트(50)의 상면보다는 상측으로 돌출되도록 기판 접속단부(62)를 형성하고, 상기 니들 홀더(30)의 후단부측 상부면에는 상기 니들 홀더(30)의 외측면에 밀착되도록 하는 걸림턱(63)이 상향 돌출되게 구비되는 니들 플레이트(60)로서 구비되어 박형화를 더욱 촉진시키면서 엘시디의 특성 검사 효율성을 향상시키도록 하는 것이다.

LCD, 특성검사, 프로브 카드, 가이드 플레이트, 니들 플레이트

Description

엘시디 검사용 프로브 카드{Probe card for testing LCD}

도 1은 종래의 엘시디 검사용 프로브 카드의 측단면도,

도 2는 본 발명에 따른 엘시디 검사용 프로브 카드의 측단면도,

도 3은 본 발명에 따른 가이드 플레이트의 일부를 도시한 사시도,

도 4는 본 발명에 따른 노즐 플레이트를 도시한 사시도,

도 5a 내지 도 5b는 본 발명에 따른 노즐 플레이트의 기판 접속단부를 도시한 측단면도,

도 6은 본 발명에 따른 사용 상태도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 어셈블리 홀더 20 : 기판 홀더

30 : 니들 홀더 40 : 회로 기판

50 : 가이드 플레이트 51 : 니들 삽입홈

52 : 가이드 홀 53 : 얼라인 홈

54 : 완충부재 60 : 니들 플레이트

70 : LCD

본 발명은 엘시디 검사용 프로브 카드에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 니들 플레이트의 삽입 두께를 축소하므로서 이 니들 플레이트를 지지하는 실리콘 재질인 가이드 플레이트의 두께를 축소하여 제작비를 절감하는 동시에 박형화를 촉진시키고, 특히 회로 패턴에 접촉되는 니들 플레이트의 각 접속단부를 보다 안정되게 보호하므로서 엘시디의 특성 검사 효율성을 향상시키는 엘시디 검사용 프로브 카드에 관한 것이다.

일반적으로 소형 텔레비젼이나 노트북 컴퓨터와 같은 영상 표시장치로서 주로 사용되는 LCD(액정표시장치)는 가장자리 부분에 전기적 신호(영상신호, 동기신호, 색상신호 등)가 인가되도록 하는 수 십 내지 수 백개의 접속 단자가 고밀도로 배치되며, 이러한 LCD는 제품에 장착되기 전에 시험신호를 인가하여 화면의 불량여부를 검사 및 시험하는 출화검사(出畵檢査)를 실시하게 된다.

이렇게 LCD의 전기적 특성을 검사하기 위한 장치로서 구비되는 것이 프로브 카드이다.

종래 사용되던 프로브 카드는 니들이 와이어 형태로 구비되고, 이들 니들을 에폭지 수지에 의해 접합 고정되게 하는 구성이었으므로 니들의 외경 축소에 한계가 있어 최근에 고집적화되는 패턴 추세에 대응하지 못하는 문제가 있다.

즉 니들이 장착되는 니들 홀더의 장착면은 한정되어 있는데 LCD가 고집적화 되면 단자의 수가 대단히 많아지면서 조밀하게 형성되므로 와이어 타입의 니들로서는 그에 적절한 수만큼을 배열시키기가 도저히 불가능하다.

이를 위해서 니들의 외경 축소가 가능토록 하는 구성과 이러한 니들을 지지하는 구성을 개선하는 다양한 방안이 제안되기도 하였는바 본 출원인에 의해서도 특허출원 제2001-32117호와 제2001-32118호에 의해 선출원한 바 있다.

본 출원인의 선출원 발명에서 니들은 웨이퍼 가공 기술을 이용하여 박판의 플레이트로서 형성하면서 외경이 대폭적으로 축소될 수 있도록 하는 구성을 제안하기도 하였다.

즉 박판의 실리콘 플레이트에 필요로 하는 형상의 니들을 복수개로서 패터닝하므로서 다량의 니들을 동시에 제작하도록 하는 것이다.

그러나 본 출원인의 기제안 발명에서는 이렇게 니들의 외경을 축소시키는데 주된 목적이 있는 반면 니들 플레이트나 다수의 니들을 지지하는 구성이 도리어 복잡하게 이루어지는 단점이 있다.

이는 결국 복잡한 구성과 제조 공정으로 인한 제조 원가의 상승을 초래하는 비경제적인 문제점이 있다.

이를 위해서 최근 본 출원인은 2001년 8월 29일자로 출원한 특허출원 제 2001-52433호를 통해서 LCD의 패턴과 회로 기판의 패턴간으로 동시에 접속되도록 니들 플레이트의 LCD측 접속단부와 기판측 접속단부간 길이를 최대한 단축시켜 보다 소형화 및 컴펙트화가 촉진되도록 하고, 니들 플레이트를 지지하는 가이드 플레이트를 니들 홀더에 간단히 부착되게 하므로서 제작 및 조립을 보다 간편하게 수행 되도록 하는 구성을 제안한 바 있다.

즉 도 1에서와 같이 어셈블리 홀더(1)와 기판 홀더(2)와 니들 홀더(3)와 회로 기판(4)의 구성은 종전과 대동소이하다.

이같은 구성에서 니들 홀더(3)의 저면으로 가이드 플레이트(5)를 구비하되 가이드 플레이트(5)에는 폭방향으로는 일정한 간격으로 상향 개방되면서 소정의 깊이로 하향 요입되는 동시에 니들 홀더(3)의 선단부측 끝단부가 소정의 길이로서 수직으로 관통되게 니들 삽입홈(5a)이 형성되도록 한다.

그리고 가이드 플레이트(5)의 니들 삽입홈(5a)에 삽입되는 니들 플레이트(6)는 일단을 'ㄴ'자 형으로 하향 연장되게 하면서 연장된 끝단부가 니들 홀더(3)의 선단부보다는 전방으로 돌출되도록 하여 승강 탄력을 갖도록 한 LCD 접속단부(6a)와 타단의 상부가 회로 기판(4)의 저부에까지 연장되게 하면서 연장된 끝단부가 회로 기판(4)의 회로 패턴에 탄력적으로 접속되도록 한 기판 접속단부(6b)로서 이루어지는 박판의 실리콘 플레이트를 패터닝하여 형성되도록 하는 것이다.

하지만 상기한 구성을 위해서는 가이드 플레이트(5)의 두께가 지나치게 두꺼워지고, 2장의 가이드 플레이트(5)를 접합에 의해 적층시키게 되는 구조로 형성시켜야만 하므로 작업이 대단히 번거로운 불편함이 있다.

특히 가이드 플레이트(5)에 니들 삽입홈(5a)을 형성시 가공 깊이(약 500 미크론)가 지나치게 깊게 형성되므로 현미경을 통한 가공성 확인이 부정확한 폐단이 있다.

즉 현미경을 통해 볼수 있는 깊이는 170~300 미크론 정도인데 반해 상기의 구성에서는 약 500 미크론의 깊이로 형성되므로 니들 삽입홈(5a)을 가공한 상태에서 그 가공 정도를 정확히 체크하기가 불가능하였다.

따라서 니들 삽입홈(5a)의 안치면 상태를 정확히 확인하지 못하게 되고 이로서 니들 플레이트(6)를 삽입한 상태가 불균일해져 조립상태가 불량해지기도 한다.

그리고 기출원 발명에서는 니들 플레이트(6)의 LCD 접속단부(6a)와 기판 접속단부(6b)측 가이드 플레이트(5)의 양측단부가 외측으로 완전 개방된 상태로서 구비되므로 니들 플레이트(6)의 각 접속단부(6a)(6b)가 자칫 비틀리는 변형이 유발되면서 접촉 불량을 발생하게 되는 문제가 있다.

이에 본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 가이드 플레이트의 두께를 박형화하면서 니들 삽입홈을 현미경으로 확인 가능한 두께로 형성하고, 니들 플레이트 또한 니들 삽입홈의 깊이와 동일한 폭을 갖도록 하므로서 초박형화와 정확한 조립성을 갖도록 하는데 주된 목적이 있다.

또한 본 발명은 니들 삽입홈의 양측 선단부를 폐쇄되게 하므로서 LCD 패턴 접속단부와 기판 접속단부의 비틀림 및 변형이 방지되도록 하는데 다른 목적이 있다.

특히 본 발명은 재료비를 절감하므로서 제품의 제조 단가를 낮춰 보다 경제적인 LCD의 고집적화된 패턴에 적용이 가능토록 하는데 또다른 목적이 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 어셈블리 홀더와; 상기 어셈블리 홀더의 저면 일측에 체결고정되는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더와 대응되는 상기 어셈블리 홀더의 저면 타측에 체결고정되는 니들 홀더와; 상기 기판 홀더의 저면에 부착되며, 상부면에는 드라이브 IC가 부착되는 회로 기판과; 판면에는 상향 개방되면서 소정의 깊이로 하향 요입되는 장공의 니들 삽입홈이 형성되고, 니들 삽입홈의 선단부는 일부가 하향 관통되게 하여 가이드 홀(52)을 형성하며, 니들 삽입홈의 선단부와 후단부측 외측면에는 수직의 얼라인 홈이 형성되도록 하면서 상기 니들 홀더의 저면으로 접착되는 실리콘 재질의 가이드 플레이트와; 상기 가이드 플레이트의 니들 삽입홈에 각각 삽입되면서 일단부는 상기 가이드 플레이트의 하부면보다 하향 돌출되게 가이드 홀을 하향 관통하는 형상으로 휨변형이 가능하게 LCD 접속단부를 이루고, 타단부는 상기 가이드 플레이트의 상부면보다는 상향 돌출되게 하여 상기 회로 기판에 접속되는 휨변형이 가능한 기판 접속단부를 이루며, 상기 니들 홀더에 접착되는 상부면의 끝단부는 소정의 높이로 상향 돌출되게 걸림턱이 형성되도록 구비되는 니들 플레이트로서 구비되는 구성이 특징이다.

이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 설명하면 다음과 같다.

본 발명은 가이드 플레이트가 종전의 웨이퍼와 동일한 재질인 실리콘 플레이트로서 구비하면서 보다 박형화하는 동시에 이 실리콘 플레이트에 니들 삽입홈을 패터닝하여 니들 삽입홈의 깊이를 현미경으로 확인이 가능한 정도로 형성하므로서 니들 삽입홈의 가공 정도를 체크할 수 있도록 하고, 니들 삽입홈에 삽입되는 니들 플레이트의 양끝단부측 접속단부의 비틀림 변형이 방지되도록 하는데 가장 두드러진 특징이 있다.

즉 본 발명은 도 2에서와 같이 어셈블리 홀더(10)와 이 어셈블리 홀더(10)의 저면으로 일측에는 기판 홀더(20)가 체결고정되고, 그와 대응되는 타측에는 니들 홀더(30)가 구비되도록 하는 구성은 종전과 대동소이하다.

이때의 기판 홀더(20)와 니들 홀더(30)는 절연 재질로서 구비되도록 하되 특히 니들 홀더(30)는 기판 홀더(20) 보다는 강성이 더욱 요구되므로 비절연 재질을 사용할 수도 있으나 이때에는 니들 홀더(30)의 저면으로 절연성 필름을 부착하여 사용하는 것이 가장 바람직하다.

이러한 상기의 구성들은 본 출원인의 기제안 발명들에서의 프로브 카드와 대동소이하다.

다만 본 발명에서는 선출원 발명과는 달리 실리콘 재질의 가이드 플레이트(50)를 박형화하므로서 전체적으로 박화형을 촉진시키는 동시에 니들 플레이트(60)의 변형이 방지될 수 있도록 하는 차이가 있다.

이를 보다 구체적으로 설명하면 본 발명에서의 어셈블리 홀더(10)는 기제안 발명에서와 마찬가지로 프로브 카드를 전체적으로 지지하는 구성이고, 기판 홀더(20)는 절연 재질로서 구비되어 어셈블리 홀더(10)의 저면 일측에 결합 고정되는 구성이다.

니들 홀더(30)는 기판 홀더(20)와 마찬가지로 절연 재질로서 구비되며, 어셈블리 홀더(10)의 저면에서 기판 홀더(20)에 대응되는 타측에 결합 고정되는 구성이다.

또한 니들 홀더(30)는 기판 홀더(20)보다는 더욱 하향 연장되면서 기판 홀더(20)보다는 두터운 두께로서 형성되도록 하고, 기판 홀더(20)의 저면에는 드라이브 IC(미도시)가 부착되는 회로 기판(40)이 부착되도록 한다.

따라서 회로 기판(40)의 일단은 기판 홀더(20)의 저면에 부착되면서 회로 기판(40)의 저면으로는 인쇄된 회로와 전기적으로 연결되는 회로패턴이 형성되도록 한다.

한편 회로 기판(40)은 플렉시블 기판을 사용하는 것이 가장 바람직하다.

가이드 플레이트(50)는 니들 홀더(30)의 저면에 부착되면서 동시에 기판 홀더(20)의 직하부로 구비되는 구성이다.

가이드 플레이트(50)는 도 3에서 보는 바와같이 폭방향으로 일정한 간격을 두고 상향 개방되도록 하는 동시에 소정의 깊이로 하향 요입되게 다수의 니들 삽입홈(51)을 형성한다.

이때 니들 삽입홈(51)의 두께는 현미경을 통한 가공성 확인이 가능한 200~300 미크론으로 되도록 하되 가장 바람직하게는 300 미크론으로 형성되도록 하는 것이다.

그리고 니들 삽입홈(51)은 특히 도 3에서와 같이 니들 홀더(30)의 선단부측에 위치되는 끝단부가 수직으로 관통되면서 가이드 홀(52)을 형성하도록 한다.

특히 가이드 플레이트(50)의 니들 삽입홈(51)은 양측단부가 폐쇄되도록 하여 양측으로 외측단부가 형성되도록 하는데 선출원 발명의 구성과 다르다.

이와같은 외측단부의 외측면에는 각각 각 니들 삽입홈(51)과 동일 수평선상으로 니들 삽입홈(51)의 위치를 알 수 있도록 하는 얼라인 홈(53)이 수직으로 형성되도록 하는 것이 보다 바람직하다.

또한 가이드 플레이트(50)의 LCD 패턴측 선단부의 저부에는 도 3에서와 같이 완충부재(54)가 구비되도록 하면서 이 완충부재(54)는 가이드 플레이트(50)의 저면보다는 미세하게 더욱 하향 연장되게 형성되도록 하는 것이 가장 바람직하다.

이러한 완충부재(54)로서는 재질을 세라믹 와이어로 사용할 수도 있고, 텅스텐 와이어로 사용할 수도 있다.

한편 가이드 플레이트(50)는 종전과 같이 니들 삽입홈(51)의 깊이와 동일한 두께의 실리콘 플레이트를 2장 접합시켜 형성할 수도 있으나 동일한 두께의 실리콘 플레이트 한 장으로 구비되게 하는 것이 제작하기에 가장 용이하다.

니들 플레이트(60)는 가이드 플레이트(50)에 형성되어 있는 니들 삽입홈(51)에 삽입되어 LCD측 회로 패턴과 기판측 회로 패턴에 각각 접속되면서 전기적으로 연결되도록 하는 구성이다.

니들 플레이트(60)는 도 4에서와 같이 양측이 휨 가능하게 형성되어 양측 끝단부로 각각 LCD 접속단부(61)와 기판 접속단부(62)가 각각 형성되도록 하는 구성이다.

LCD 접속단부(61)는 니들 플레이트(60)의 일단부를 하향 연장하여 가이드 플 레이트(50)의 선단부측으로 니들 삽입홈(51)을 하향 관통시킨 가이드 홀(52)을 통과하여 가이드 플레이트(50)의 저면보다 더 하향 돌출되게 구비되는 단자 접속 부위이다.

이렇게 각 접속단부(61)(62)측의 양측단부는 니들 삽입홈(51)에 삽입되어 안치되면서 가운데 부위에 비해 상하로 휨 변형이 가능하게 상하 두께가 얇게 형성되도록 하는 것이 바람직하다.

이처럼 니들 삽입홈(51)에 삽입되는 가운데 부위의 두께는 니들 삽입홈(51)의 깊이와 동일한 두께로서 형성되도록 한다.

한편 니들 플레이트(60)에서 니들 홀더(30)의 기판 홀더(20)측 끝단부에 밀착되는 상단부에는 니들 홀더(30)의 측단면 하부에 밀착되도록 걸림턱(63)이 일체로 상향 돌출되게 형성할 수도 있다.

특히 니들 플레이트(60)의 기판 접속단부는 도 5a에서와 같은 구성으로 형성되게 할 수도 있으나 도 5b에서와 같이 상향 돌출되는 부위에 대응되는 저부가 보다 하향 연장되게 하므로서 니들 삽입홀(51)내에서의 단면적이 확장되면서 더욱 비틀림이 방지될 수 있도록 한다.

이와함께 도 2에서와 같이 니들 홀더(30)의 니들 플레이트(60)와 밀착되는 저면은 일부가 상향 요입되게 하여 니들 플레이트(60)의 제조시 니들 플레이트(60)간을 연결하는 연결팁(64)을 제거하고 남은 일부가 위치되도록 하면서 이 요입공간(31)내에 에폭시를 충전시켜 견고하게 니들 플레이트(60)가 고정될 수 있도록 한다.

상기한 구성에 따른 프로브 카드는 가이드 플레이트(50)에 상부로부터 니들 삽입홀(51)에 각각 니들 플레이트(60)를 하향 삽입하고, 이렇게 조립한 상태에서 가이드 플레이트(50)의 상부로 니들 홀더(30)를 에폭시에 의해 접합한다.

이때 니들 홀더(30)는 그 상측의 어셈블리 홀더(10)의 일측에 견고하게 결합되는 상태이며, 타측에는 기판 홀더(20)가 결합되도록 하면서 기판 홀더(20)의 저면에는 회로 기판(40)이 부착되어 있도록 한다.

따라서 니들 플레이트(60)가 삽입된 가이드 플레이트(50)를 니들 홀더(30)에 접합시키게 되면 회로 기판(40)에 형성된 회로 패턴에 니들 플레이트(60)의 기판 접속단부(62)가 각각 접속되는 상태가 된다.

한편 기판 접속단부(62)측 가이드 플레이트(50)의 끝단부는 폐쇄된 상태이므로 가이드 플레이트(50)를 니들 홀더(30)에 접합시 회로 기판(40)의 패턴에 니들 플레이트(60)의 기판 접속단부(62)가 정확히 접속되도록 하기 위해 가이드 플레이트(50)의 니들 삽입홀(51)과 동일 수평선상의 외측면에 형성시킨 얼라인 홈(53)을 보면서 정확한 접합 위치를 설정하도록 한다.

그리고 이처럼 조립된 프로브 카드에 의해 LCD의 전기적 특성을 검사하고자 할 때 도 6에서와 같이 LCD(70)의 회로 패턴에 니들 플레이트(60)의 LCD 접속단부(61)가 정확히 접속될 수 있도록 가이드 플레이트(50)의 LCD(70)측 선단부의 외측면에도 전술한 바와 같이 니들 삽입홀(51)과 동일 수평선상에 형성되는 얼라인 홈(53)을 통해 정확한 위치에서 접속되도록 한다.

특히 가이드 플레이트(50)의 선단부측 외측면 저부에 구비되는 완충부재(54) 는 LCD(70)의 제조시 패턴측으로 제조 불량에 의해 단턱(71)이 형성되는 경우 직접적으로 실리콘 재질인 가이드 플레이트(50)와의 접촉이 방지되게 하므로서 가이드 플레이트(50)의 파손에 의한 프로브 카드의 손상이 방지되도록 한다.

또한 LCD(70)의 단턱(71)이 지나치게 크게 형성되는 경우에는 LCD 접속단부(61)와 LCD(70)의 회로 패턴간 접속이 단절되면서 LCD(70)의 제품 불량을 체크할 수 있도록 하는 기능도 한다.

이와함께 본 발명에서의 가장 두드러진 특징은 가이드 플레이트(50)에 형성되는 니들 삽입홈(51)의 깊이를 니들 삽입홈(51)의 가공성을 현미경에 의해 확인 가능한 깊이로서 형성하므로서 정확한 체크가 가능토록 하는 것이다.

즉 선출원 발명에서는 니들 삽입홈을 약 500 미크론 정도의 깊이로 형성하므로서 가공상태를 정확히 체크할 수가 없어 니들 플레이트를 삽입한 상태에서도 니들 플레이트의 삽입상태가 균일하게 배열되지 못하는 사례가 있었고, 이는 기판 회로 및 LCD의 회로 패턴과 각 접속단부간의 접속 불량을 야기하는 폐단이 있었으나 본 발명에서는 니들 삽입홈(51)의 가공성을 정확히 체크할 수 있도록 하므로서 이같은 회로 패턴과의 접속 불량을 미연에 방지할 수가 있도록 한다.

따라서 본 발명과 같은 구성에 의해 프로브 카드의 손상을 방지시키게 되면서 사용 수명을 더욱 연장시킬 수가 있게 되는 동시에 LCD(70)의 전기적 특성을 안정되게 유지시키게 되므로서 검사의 신뢰성을 대폭 향상시킬 수가 있게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명은 가이드 플레이트(50) 및 이 가이드 플레이트(50)에 삽입되는 니들 플레이트(60)의 두께를 박형화하므로서 전체적으로 박형화를 촉진시키게 되는 동시에 그만큼 재료비를 절감시켜 경제적인 제작이 되도록 하고, 니들 삽입홈(51)의 양측단부를 폐쇄되는 구성으로 구비하므로서 니들 플레이트(60)의 양측단부에 형성되는 접속단부(61)(62)의 비틀림 변형을 방지시켜 회로 패턴과의 안정된 접속이 유지될 수 있도록 하는 이점이 있다.

또한 본 발명은 니들 삽입홈(51)의 깊이를 현미경에 의한 가공 상태 확인이 가능한 정도로서 형성하므로서 니들 플레이트(60)의 균일한 배열과 그에 따른 전기적 접속 부위에서의 안정된 접속으로 검사 신뢰성을 더욱 향상시키도록 한다.

특히 본 발명은 LCD 회로 패턴과의 접촉시 실리콘 재질인 가이드 플레이트(50)와의 직접적인 접촉을 사전에 예방하므로서 손상을 방지시켜 제품에 대한 신뢰성과 작업의 효율성을 대폭 향상시키게 되는 매우 유용한 효과가 있다.

Claims (6)

1. 어셈블리 홀더(10)와;

   상기 어셈블리 홀더(10)의 저면 일측에 체결고정되는 기판 홀더(20)와;

   상기 기판 홀더(20)와 대응되는 상기 어셈블리 홀더(10)의 저면 타측에 체결고정되는 니들 홀더(30)와;

   상기 기판 홀더(20)의 저면에 부착되며, 상부면에는 드라이브 IC가 부착되는 회로 기판(40)과;

   판면에는 상향 개방되면서 소정의 깊이로 하향 요입되는 장공의 니들 삽입홈(51)이 형성되고, 니들 삽입홈(51)의 선단부는 일부가 하향 관통되게 하여 가이드 홀(52)을 형성하며, 니들 삽입(51)홈의 선단부와 후단부측 외측면에는 수직의 얼라인 홈(53)이 형성되도록 하면서 상기 니들 홀더(30)의 저면으로 접착되는 실리콘 재질의 가이드 플레이트(50)와;

   상기 가이드 플레이트(50)의 니들 삽입홈(51)에 각각 삽입되면서 일단부는 상기 가이드 플레이트(50)의 하부면보다 하향 돌출되게 가이드 홀(52)을 하향 관통하는 형상으로 휨변형이 가능하게 LCD 접속단부(61)를 이루고, 타단부는 상기 가이드 플레이트(50)의 상부면보다는 상향 돌출되게 하여 상기 회로 기판(40)에 접속되는 휨변형이 가능한 기판 접속단부(62)를 이루며, 상기 니들 홀더(30)에 접착되는 상부면의 끝단부는 소정의 높이로 상향 돌출되게 걸림턱(63)이 형성되도록 구비되는 니들 플레이트(60);

   로서 구비되는 엘시디 검사용 프로브 카드.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 니들 홀더(30)는 상기 가이드 플레이트(50)와 밀착되는 저면 일부가 상향 요입되게 하여 상기 니들 플레이트(60)의 상부면 일부가 상향 돌출되도록 형성한 연결팁(64)이 수용되도록 하면서 충전되는 에폭시에 의해 결합되는 엘시디 검사용 프로브 카드.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 가이드 플레이트(50)에는 선단부측 외주면 하부로 완충부재(54)가 구비되는 엘시디 검사용 프로브 카드.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 완충부재(54)는 텅스텐 와이어로서 이루어지는 엘시디 검사용 프로브 카드.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 완충부재(54)는 세라믹으로 이루어지는 엘시디 검사용 프로브 카드.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 가이드 플레이트(50)의 니들 삽입홈(51)은 약 200~300 미크론의 깊이로 형성되는 엘시디 검사용 프로브 카드.

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