ITMI20072175A1 - Testa di misura per microstrutture - Google Patents

Description

Domanda di brevetto per invenzione industriale dal titolo:

" Testa dì misura per microstrutture "

DESCRIZIONE

Campo di applicazione

La presente invenzione fa riferimento ad una testa di misura per micro strutture.

Più specificatamente l'invenzione si riferisce ad una testa di misura per micro strutture del tipo comprendente una pluralità di sonde di contatto inserite in fori guida realizzati in una guida superiore ed in una guida inferiore, separate tra loro da una zona d’aria.

L'invenzione fa altresì riferimento ad un metodo di assemblaggio di una testa di misura per microstrutture.

L'invenzione riguarda in particolare, ma non esclusivamente, una testa di misura a sonde verticali e la descrizione che segue è fatta con riferimento a questo campo di applicazione con il solo scopo di semplificarne l'esposizione.

Arte nota

Come è ben noto, una testa di misura è essenzialmente un dispositivo atto a mettere in collegamento elettrico una pluralità di piazzole di contatto di una micro struttura con corrispondenti canali di una macchina di misura che ne esegue il test.

Il test effettuato su circuiti integrati serve a rilevare ed isolare circuiti difettosi già in fase di produzione. Normalmente, le teste di misura vengono quindi utilizzate per il test elettrico dei circuiti integrati su wafer prima del taglio e del montaggio degli stessi all'interno di un package di contenimento di chip.

Una testa di misura comprende essenzialmente una pluralità di elementi di contatto mobili o sonde di misura [contact probe] trattenute da almeno una coppia di piastre o guide sostanzialmente piastriformi e parallele tra loro. Tali guide sono dotate di appositi fori e poste ad una certa distanza fra loro in modo da lasciare una zona libera o zona d'aria per il movimento e l’eventuale deformazione delle sonde di misura. La coppia di guide comprende in particolare una guida superiore ed una guida inferiore, entrambe provviste di fori guida entro cui scorrono assialmente le sonde di misura, normalmente costituite da fili di leghe speciali con buone proprietà elettriche e meccaniche.

Il buon collegamento fra le sonde di misura e le piazzole di contatto del dispositivo in test è assicurato dalla pressione della testa di misura sul dispositivo stesso, le sonde di contatto mobili subendo in occasione di tale contatto premente una flessione, all'interno della zona d'aria tra le due guide. Teste di misura di questo tipo sono comunemente denominate a sonde verticali ed indicate con il termine anglosassone "vertical probe".

In sostanza, le teste di misura a sonde verticali presentano una zona d'aria in cui avviene una flessione delle sonde di misura, tale flessione potendo essere aiutata tramite una opportuna configurazione delle sonde stesse o delle loro guide, come illustrato schematicamente in Figura 1, dove per semplicità di illustrazione è stata rappresentata una sola sonda di contatto della pluralità di sonde normalmente comprese in una testa di misura.

In particolare, in Figura 1 è schematicamente illustrata una testa di misura 1 comprendente almeno una guida superiore 2 ed una guida inferiore 3, aventi rispettivi fori guida superiore 4 ed inferiore 5 entro i quali scorre almeno una sonda 6 di contatto.

La sonda 6 di contatto presenta almeno una estremità o punta 7A di contatto. Con il termine punta si indica qui e nel seguito una porzione d’estremità, non necessariamente appuntita. In particolare la punta 7 A di contatto va in battuta su una piazzo la 8 di contatto di un dispositivo da testare, effettuando il contatto meccanico ed elettrico fra detto dispositivo ed una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui tale testa di misura costituisce un elemento terminale.

In alcuni casi le sonde di contatto sono vincolate alla testa stessa in corrispondenza della guida superiore in maniera fissa: si parla di teste di misura a sonde bloccate.

Piu frequentemente però si utilizzano teste di misura con sonde non vincolate in maniera fissa, ma tenute interfacciate ad una cosiddetta board mediante una microcontattiera, chiamata "space transformer": si parla di teste di misura a sonde non bloccate.

In questo caso, come illustrato in Figura 1, la sonda 6 di contatto presenta un'ulteriore punta 7B di contatto verso una pluralità di piazzole di contatto dello space transformer, non illustrato in quanto convenzionale. Il buon contatto elettrico tra sonde e space tranformer viene assicurato in maniera analoga al contatto con il dispositivo da testare mediante la pressione delle sonde sulle piazzole di contatto dello space transformer.

Le guide superiore 2 ed inferiore 3 sono opportunamente distanziate da una zona d'aria 9 che consente la deformazione delle sonde 6 di contatto. Infine, i fori guida superiore 4 ed inferiore 5 sono dimensionati in modo da permettere uno scorrimento della sonda 6 di contatto al loro interno.

La forma della deformazione subita dalle sonde e la forza necessaria per produrre tale deformazione sono dipendenti da numerosi fattori, quali:

le caratteristiche fisiche della lega che compone le sonde; il valore del disassamento fra fori guida nella guida superiore e corrispondenti fori guida nella guida inferiore.

E' opportuno notare che per un corretto funzionamento della testa di misura, le sonde di contatto devono presentare un opportuno grado di libertà di movimento assiale all'interno dei fori guida. In tal modo, tali sonde di contatto possono anche essere sfilate e sostituite in caso di rottura di una singola sonda, senza obbligo di sostituzione dell’intera testa di misura.

Tutte queste caratteristiche sono quindi da valutare e calibrare in fase di realizzazione di una testa di misura, il buon collegamento elettrico tra sonde e dispositivo da testare dovendo sempre essere garantito.

Inoltre, è opportuno ricordare che il corretto funzionamento di una testa di misura è legato fondamentalmente a due parametri: lo spostamento verticale, o overtravel, delle sonde di contatto e lo spostamento orizzontale, o scrub, delle punte di contatto di tali sonde di contatto. In particolare, è estremamente importante assicurare lo scrub delle punte di contatto che permette di “pulire” superficialmente le piazzole di contatto, migliorando il contatto effettuato dalla testa di misura.

Nel caso di una testa 1 di misura realizzata nella tecnologia nota come Cobra, le sonde 6 di contatto presentano una configurazione predeformata con un disassamento tra le punte 7A e 7B di contatto, come illustrato in Figura 1. In tal caso, la sonda 6 di contatto comprende una porzione 6A predeformata, la quale, anche in assenza di contatto della testa 1 di misura con il dispositivo da testare, aiuta la corretta flessione della sonda 6 di contatto durante il suo funzionamento, vale a dire quando in contatto premente con tale dispositivo.

E' altresì noto realizzare teste di misura utilizzando la tecnologia detta "a piastre shiftate", schematicamente illustrata in Figura 2, elementi strutturalmente e funzionalmente identici alla testa 1 di misura di Figura 1 essendo stati indicati con gli stessi riferimenti numerali.

In tal caso, le sonde 6 di contatto non vengono preformate, ma sono realizzate diritte, con sezione trasversale circolare costante per tutta la lunghezza e in genere appuntite alle estremità.

Per ottenere il corretto funzionamento delle sonde 6 di contatto, le guide superiore 2 ed inferiore 3 vengono opportunamente shiftate tra di loro per consentire una flessione preferenziale delle sonde 6 di contatto in una stessa direzione.

L’assemblaggio delle sonde 6 di contatto in teste di misura realizzate con tecnologia a piastre shiftate risulta molto semplice e veloce. In particolare, è sufficiente allineare tra di loro le guide superiore 2 ed inferiore 3 in modo da allineare anche i corrispondenti fori guida 4 e 5, infilare quindi le sonde 6 di contatto nei fori guida 4 e 5, shiftare le guide tra di loro di una quantità opportuna bloccandole quindi in posizione.

In tal caso, si verifica però che il rischio di fuoriuscita delle sonde 6 di contatto risulta molto alto durante le operazioni di manutenzione e pulizia della testa 1 di misura, operazioni che vengono normalmente effettuare con soffi d’aria o ultrasuoni e creano quindi sollecitazioni meccaniche sulle sonde 6 di contatto, favorendone la fuoriuscita dai fori guida.

In ogni caso, le teste di misura note presentano un vincolo legato alla distanza tra due sonde contigue della testa 1 di misura che deve essere valutata, in funzione della sezione trasversale circolare del filo che realizza le sonde 6 di contatto, per evitare ogni contatto tra sonde contigue, in tutte le posizioni che tali sonde assumono durante il funzionamento della testa di misura.

Tale vincolo si traduce in una limitazione del valore minimo di distanza tra centro e centro di due piazzole di contatto del dispositivo elettronico integrato da testare, nota nel campo con il temine anglosassone di "pitch". In particolare il valore di "pitch" minimo del dispositivo da testare dipende dalla conformazione geometrica e dalle dimensioni delle sonde della testa di misura usato per testarlo. Per evitare il contatto tra sonde contigue, la testa 1 di misura deve soddisfare alla seguente relazione:

P > 0F Gl

essendo:

P un valore di pitch del dispositivo da testare, vale a dire la distanza tra centro e centro di due piazzole di contatto successive;

0F il diametro delle sonde 6 di contatto; e

Gl una distanza di sicurezza tra sonde 6 di contatto adiacenti,

La condizione G1=0, vale a dire l'annullamento della distanza di sicurezza, corrisponde alla collisione fra le sonde.

L'esigenza di mantenere un valore di pitch minimo per garantire una corretta distanza tra le sonde in tutte le condizioni di funzionamento della testa di misura risulta quindi in contrasto con l'esigenza attuale del mercato che spinge a progettare dispositivi sempre più densi e richiede quindi teste di misura con un sempre maggior numero di sonde di contattatura per il test di tali dispositivi.

II rischio di contatto tra sonde contigue risulta particolarmente insidioso nella condizione di contatto premente tra la testa di misura ed il dispositivo da testare, quando le sonde 6 di contatto risultano flesse e/o deformate, tale flessione e/o deformazione aumentando appunto il rischio di contatto tra sonde contigue.

II problema tecnico che sta alla base della presente invenzione è quello di escogitare una testa di misura per micro strutture in grado di assicurare un corretto contatto elettrico con un dispositivo da testare nonché una corretta tenuta in posizione delle sonde aH’intemo delle guide, minimizzando nel contempo il rischio di contatto tra sonde adiacenti che hanno subito una flessione e/o una deformazione.

Sommario dell<1>invenzione

L'idea di soluzione che sta alla base della presente invenzione è quella di inserire in corrispondenza di almeno una delle guide della testa di misura un elemento di guida delle sonde di contatto in grado di forzare una direzione di flessione e/o deformazione delle sonde stesse.

Sulla base di tale idea di soluzione il problema tecnico è risolto da una testa di misura per micro strutture del tipo precedentemente indicato e definito dalla parte caratterizzante della rivendicazione 1.

Tale problema tecnico è altresì risolto da un metodo di assemblaggio di una testa di misura definito dalla parte caratterizzante della rivendicazione 15.

Le caratteristiche ed i vantaggi della testa di misura secondo l'invenzione risulteranno dalla descrizione, fatta qui di seguito, di un suo esempio di realizzazione dato a titolo indicativo e non limitativo con riferimento ai disegni allegati.

Breve descrizione dei disegni

In tali disegni:

la Figure 1 e 2 mostrano schematicamente una testa di misura realizzata secondo l’arte nota;

le Figure 3A e 3B mostrano schematicamente una testa di misura realizzata secondo l’invenzione;

le Figure 4A-4B e 5A-5B mostrano schematicamente la testa di misura di Figura 3B in diverse condizioni di funzionamento;

le Figure 6A-6B e 7A-7B mostrano schematicamente una prima variante di realizzazione della testa di misura secondo l invenzione in diverse condizioni di funzionamento; e

le Figure 8A-8D mostrano schematicamente diverse fasi operative di un metodo di assemblaggio secondo l’invenzione.

Descrizione dettagliata

Con riferimento a tali figure, ed in particolare alla Figura 3, una testa di misura realizzata secondo l’invenzione è schematicamente illustrata, complessivamente indicata con 10. Ad elementi strutturalmente e funzionalmente corrispondenti alle teste di misura descritte in relazione all’arte nota ed illustrate nelle Figure 1 e 2 saranno attribuiti gli stessi riferimenti numerali per semplicità di esposizione.

La testa 10 di misura secondo l’invenzione comprende quindi almeno una guida superiore 2 ed una guida inferiore 3, aventi rispettivi fori guida superiore 4 ed inferiore 5 entro i quali scorre almeno una sonda 6 di contatto. Anche in tal caso, per semplicità di illustrazione, è stata rappresentata una sola sonda di contatto della pluralità di sonde normalmente comprese in una testa di misura.

La sonda 6 di contatto ha almeno una estremità o punta 7A di contatto con una piazzola 8 di contatto di un dispositivo da testare.

Nella forma di realizzazione mostrata a titolo di esempio in Figura 3A, la sonda 6 di contatto ha inoltre un'ulteriore punta 7B di contatto verso una pluralità di piazzole di contatto di uno space transformer (non illustrato), la testa 10 di misura essendo di tipo a sonde non bloccate.

Inoltre, la sonda 6 di contatto ha una sezione predeformata 6A, posta in corrispondenza di una zona 9 d’aria che separa le guide 2 e 3.

In condizioni di contatto premente con il dispositivo da testare, le sonde 6 di contatto subiscono in generale una flessione e/o una deformazione, nel seguito indicata genericamente come deformazione.

Vantaggiosamente secondo l’invenzione, la testa 10 di misura comprende inoltre un elemento 20 di guida delle sonde di contatto, realizzato in prossimità di almeno una delle guide superiore 2 od inferiore 3 e dotato di opportuni fori guida addizionali 21 per il passaggio delle sonde di contatto.

In particolare, nell’esempio di Figura 3A, tale elemento 20 di guida è posizionato all’interno della zona 9 d’aria in corrispondenza della guida inferiore 3. Inoltre, tale elemento 20 di guida comprende fori 21 disposti in maniera corrispondente ai fori guida 4, rispettivamente 5, realizzati nella guida superiore 2, rispettivamente inferiore 3, e con diametri ad essi equivalenti. In sostanza, ad un foro guida 4 o 5 corrisponde un foro guida addizionale 2 1 per il passaggio di corrispondenti sonde.

in generale, i fori guida addizionali 21 hanno assi coincidenti con assi dei fori guida superiori 4 e/o inferiori 5, In tal caso, è opportuno notare che il trattenimento esercitato dairelemento 20 di guida su un tratto terminale delle sonde 6 di contatto, in corrispondenza delle punte di contatto 7 A e/o 7B, facilita lo scorrimento delle stesse all'inter dei fori guida e riduce il rischio di incastro delle sonde «

Preferibilmente, come illustrato in Figura 3A, i fori guida addizionali 21 dell’elemento 20 di guida sono posizionati in maniera shiftata rispetto ai fori guida inferiori 5 della guida inferiore 3, rispetto ad un prima direzione a {indicata in figura a tratto pieno) corrispondente ad un asse di tali fori guida inferiori 5, forzando un tratto di sonda 6B delimitato dall’elemento 20 di guida e dalla guida inferiore 3 in una seconda direzione β (indicata in figura a tratteggio). In tal modo, i fori guida addizionali 21 e i fori guida inferiori 5 hanno assi sostanzialmente paralleli ma non coincidenti.

In sostanza, definendo orizzontale una direzione di sviluppo maggiore delle guide superiore 2 ed inferiore 3, considerate piastriformi e sostanzialmente parallele e verticale una direzione di sviluppo maggiore dei fori guida superiori 4 ed inferiori 5 realizzati trasversalmente a dette guide, l’elemento 20 di guida comprende fori guida addizionali 21 shiftati verticalmente rispetto a corrispondenti fori guida superiore ed inferiore, dove con corrispondenti si intende fori guida che alloggiano una stessa sonda 6 di contatto.

In tal modo, l’elemento 20 di guida della testa 10 di misura secondo l’invenzione forza il posizionamento del tratto di sonda 6B lungo la seconda direzione β, obbligando la punta 7 A di contatto con il dispositivo da testare ad uno spostamento orizzontale, o scrub, come desiderato. Inoltre, vantaggiosamente secondo l’invenzione, tale scrub è determinato dall’elemento 20 di guida e dal suo shift rispetto alla guida inferiore 3 .

In altre parole, la testa 10 di misura secondo l’invenzione comprende essenzialmente una coppia di piastre, 2 e 3, per il supporto e la guida di una pluralità di sonde 6 di contatto. In particolare, la prima piastra o guida superiore 2 è munita di una pluralità di fori passanti o fori guida superiori 4 e la seconda piastra o guida inferiore 3 è munita di una pluralità di fori passanti o fori guida inferiori 5, la seconda piastra 3 essendo in posizione contrapposta ed affacciata alla prima piastra 2 e in prefissata relazione distanziata da essa così da definire la zona d’aria 9.

Vantaggiosamente secondo l’invenzione, la testa 10 di misura comprende inoltre una terza piastra o elemento 20 di guida, uguale alla seconda piastra 3, rispettivamente prima piastra 2, e posizionata nella zona d’aria 9 in corrispondenza di tale seconda piastra 3, rispettivamente prima piastra 2.

In una forma preferita della testa 10 di misura secondo l’invenzione, schematicamente illustrata in Figura 3B, l’elemento 20 di guida ha una configurazione ed un particolare uno spessore sostanzialmente corrispondente alla guida inferiore 3. In tal modo, l’elemento 20 di guida risulta essere un doppione della guida inferiore 3, che può essere quindi considerata come costituita da due guide elementari, uguali tra loro, dotate di corrispondenti fori ed opportunamente shiftate.

E’ ovviamente desumibile una configurazione della testa 10 di misura secondo l’invenzione in cui l’elemento 20 di guida è posizionato in prossimità della guida superiore 2 e la descrizione di tale configurazione non verrà ripetuta per non appesantire la descrizione. In tal caso, l’elemento 20 di guida della testa 10 di misura secondo l’invenzione forza il posizionamento di un tratto di sonda delimitato dall’elemento 20 di guida e dalla guida superiore 2 lungo una predeterminata direzione, obbligando la punta 7B di contatto con lo space transformer ad uno spostamento orizzontale, o scrub, come desiderato.

Analogamente, è possibile realizzare una testa 10 di misura secondo l’invenzione comprendente almeno un primo ed un secondo elemento di guida realizzati in prossimità della guida superiore 2 ed inferiore 3, rispettivamente.

Il funzionamento della testa 10 di misura secondo l’invenzione quando posta in contatto con un dispositivo da testare è illustrato schematicamente nelle Figure 4A e 4B, in una condizione di appoggio iniziale [first touch] e di appoggio premente su tale dispositivo, rispettivamente. In particolare, nella Figura 4B sono indicati gli spostamenti verticale, vale a dire l’overtravel, ed orizzontale, vale a dire lo scrub, della punta 7A di contatto con il dispositivo da testare..

E’ altresì possibile utilizzare la testa 10 di misura con sonde non predeformate, come illustrato nelle Figure 5 A e 5B, in una sezione ingrandita in corrispondenza della sola guida inferiore 3, sempre in una condizione di appoggio iniziale [first touch] e di appoggio premente su un dispositivo da testare, rispettivamente. Nel caso illustrato in tali figure, la sonda 6 di contatto comprende una sezione 6C inclinata in corrispondenza della punta 7 A di contatto.

E’ ovviamente desumibile una configurazione di una testa 10 di misura con sonde non predeformate secondo l’invenzione in cui una sezione inclinata è prevista in corrispondenza della punta 7B di contatto con lo space transformer e analogamente quella di una testa con sezioni inclinate previste in corrispondenza di entrambe le punte 7 A e 7B di contatto.

In una ulteriore variante di realizzazione della testa 10 di misura secondo l’invenzione, l’elemento 20 di guida comprende fori guida addizionali 21 aventi dimensioni trasversali, rispetto ad un asse di tali fori, o aperture maggiori rispetto alle dimensioni trasversali dei fori guida inferiori della guida inferiore 3, come schematicamente illustrato nelle Figure 5 A e 6B.

In tal caso, in condizioni appoggio premente su un dispositivo da testare, la sonda 6 di contatto subisce uno spostamento nella direzione indicata dalla freccia F, tale spostamento essendo limitato dalle aperture dei fori guida addizionali 2 1.

Una tale variante di realizzazione, con sonde di misura non predeformate, realizzate ad esempio con la tecnica a piastre shiftate, è illustrata schematicamente nelle Figure 7A e 7B, sempre in una condizione dì appoggio iniziale [first touch] e di appoggio premente su un dispositivo da testare, rispettivamente.

In tal modo, vantaggiosamente secondo l’invenzione, la testa 10 di misura assicura che lo spostamento delle sonde 6 di contatto in essa contenute in occasione della loro deformazione quando in contatto premente con il dispositivo da testare non superino un prefissato valore, garantendo l’assenza di contatti tra sonde adiacenti.

In una forma preferita di realizzazione, la testa 10 di misura secondo l’invenzione comprende una pluralità di sonde di contatto a sezione rettangolare. Utilizzando corrispondenti fori guida a sezione rettangolare è così possibile in maniera semplice e sicura orientare le sonde come desiderato.

Il metodo di assemblaggio di una testa 10 di misura secondo l’invenzione risulta estremamente semplice ed è illustrata schematicamente nelle Figure 8A-8D, nel caso esemplificativo di una configurazione a piastre shiftate, con elemento 20 di guida posizionato in prossimità della guida inferiore 3 e con sonde di contatto a sezione rettangolare.

Nella sua forma piu generale, il metodo di assemblaggio secondo l’invenzione comprende le fasi di:

- allineare almeno una guida inferiore 3, un elemento di guida 20 ed una guida superiore 2 in maniera tale che corrispondenti fori guida realizzati in essi siano posizionati in maniera concentrica;

infilare una pluralità di sonde di contatto 6 in tali fori guida posizionati in maniera concentrica; e

- allontanare la guida inferiore 3 e l’elemento di guida 20 dalla guida superiore 2, in maniera da creare una zona d’aria 9.

In particolare, nell’esempio illustrato nelle figure, il metodo di assemblaggio comprende le seguenti fasi:

allineamento di una guida inferiore 3, un elemento 20 di guida ed una guida superiore 2 in maniera tale da ottenere corrispondenti fòri guida posizionati in maniera concentrica (Figura 8A);

infilare sonde 6 di contatto in tali fori guida posizionati in maniera concentrica fino al superamento della guida superiore 2 di una porzione superiore della sonda (Figura 8B);

- allontanamento della guida inferiore 3 e dell’elemento 20 di guida dalla guida superiore 2, in maniera da creare la zona 9 d’aria (Figura 8C); e

shift della guida superiore 2 rispetto alla guida inferiore 3 e all’elemento 20 di guida (Figura 8D).

Ulteriormente, il metodo di assemblaggio comprende un ulteriore shift della guida inferiore 3 rispetto all’elemento 20 di guida, per forzare il posizionamento del tratto di sonda 6B lungo una prefissata direzione atta a garantire un corretto scrub della punta 7A di contatto con il dispositivo da testare,

In conclusione, la testa di misura secondo l'invenzione consente di assicurare un corretto contatto elettrico con un dispositivo da testare, minimizzando il rischio di contatto tra sonde adiacenti che hanno subito una deformazione, grazie alla loro disposizione forzata dall’elemento di guida,

Claims (18)

1. RIVENDICAZIONI 1. Testa di misura (10) per micro strutture del tipo comprendente una pluralità di sonde di contatto (6) inserite in fori guida (4, 5) realizzati in una guida superiore (2) ed in una guida inferiore (3), separate tra loro da una zona d’aria (9) caratterizzata dal fatto di comprendere almeno un elemento di guida (20) dotato di fori guida addizionali (21) per il passaggio di dette sonde di contatto (6) e realizzato in detta zona d’aria (9) in prossimità di almeno una di dette guide superiore ed inferiore (2, 3).
2. 2. Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento di guida (20) è realizzato in prossimità di detta guida inferiore (3).
3. 3. Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento di guida (20) è realizzato in prossimità di detta guida superiore (2),
4. 4. Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto di comprendere detto elemento di guida (20) realizzato in prossimità di detta guida inferiore (3) ed un ulteriore elemento di guida realizzato in prossimità di detta guida superiore (2).
5. 5. Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento di guida (20) è un elemento piastriforme con uno spessore inferiore ad uno spessore di detta almeno una guida (2, 3), anch’essa piastriforme.
6. 6, Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento di guida (20) è un elemento piastriforme con uno spessore sostanzialmente uguale ad uno spessore di detta almeno una guida (2, 3), anch’essa piastriforme.
7. 7 „ Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detti fori guida addizionali (21) sono realizzati in posizioni corrispondenti a detti fori guida (4, 5) di detta almeno una guida (2, 3).
8. 8.. Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detti fori guida addizionali (21) hanno diametro sostanzialmente uguale ad un diametro di detti fori guida (4, 5) di detta almeno una guida (2, 3).
9. 9. Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detti fori guida addizionali (21) hanno assi sostanzialmente coincidenti con assi di detti fori guida (4, 5) di detta almeno una guida (2, 3).
10. 10. Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detti fori guida addizionali (21) hanno assi sostanzialmente paralleli e non coincidenti con assi di detti fori guida (4, 5) di detta almeno una guida (2, 3).
11. 11. Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detti fori guida addizionali (21) hanno diametri sostanzialmente uguali a diametri di detti fori guida (4, 5) di detta almeno una guida (2, 3).
12. 12. Testa di misura (10) secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detti fori guida addizionali (21) hanno diametri maggiori a diametri di detti fori guida (4, 5) di detta almeno una guida (2, 3),
13. 13. Testa di misura (10) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che dette sonde di contatto (6) hanno una sezione predeformata (6B).
14. 14. Testa di misura (10) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che dette sonde di contatto (6) hanno una sezione inclinata (6C) in corrispondenza di almeno una punta di contatto (7A).
15. 15. Metodo di assemblaggio di una testa di misura (10) per micro strutture comprendente le fasi di: allineare almeno una guida inferiore (3), un elemento di guida (20) ed una guida superiore (2) in maniera tale che corrispondenti fòri guida (4, 5, 21) realizzati in essi siano posizionati in maniera concentrica; - infilare una pluralità di sonde di contatto (6) in detti fori guida (4, 5, 21) posizionati in maniera concentrica; e allontanare detta guida inferiore (3) e detto elemento di guida (20) da detta guida superiore (2), in maniera da creare una zona d’aria (9).
16. 16. Metodo di assemblaggio di una testa di misura (10) secondo la rivendicazione 15, in cui detta fase di allontanare è sostituita da una fase di allontanare detta guida superiore (2) e detto elemento di guida (20) da detta guida inferiore (3), in maniera da creare una zona d’aria (9).
17. 17. Metodo di assemblaggio di una testa di misura (10) secondo la rivendicazione 15, ulteriormente comprendente una fase di shiftare detta guida superiore (2) rispetto a detta guida inferiore (3).
18. 18. Metodo di assemblaggio di una testa di misura (10) secondo le rivendicazioni 15 e 16, ulteriormente comprendente una fase di shiftare detto elemento di guida (20) rispetto ad almeno una di dette guide superiore e inferiore (2, 3).