JP2014001997A - 垂直動作式プローブカード - Google Patents

Abstract

【課題】プローブのプローブ基板へのはんだ付け作業が不要な垂直動作式プローブカードを提供する。
【解決手段】プローブカードは、多数の接合パッドを有するプローブ基板と、プローブ支持体と、該支持体により保持される複数のプローブとを含む。前記支持体は、間隔をおいて平行に配置された第１及び第２の板を有し、各板にはプローブガイド穴が形成されている。各プローブは、一組の線状部と両線状部間の連結部とを備える。一方の線状部の端面は第１の板の前記ガイド穴を経て対応する接合パッドに対向する。他方の線状部の端末は針先として第２の板の前記ガイド穴を貫通する。他方の線状部には、プローブの基端を接合パッドに圧接すべく第２の板の前記ガイド穴の内縁に当接して連結部を弾性変形するためのストッパが形成されている。第２の板の前記ガイド穴には、プローブの回転を阻止する回転防止部が形成されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、集積回路のような平板状の被検査体の電気試験的試験に用いる垂直動作式プローブカードに関する。

半導体ウエハに作り込まれた多数の集積回路は、一般的に、該ウエハから切断、分離されるに先立ち、仕様書通りの性能を有するか否かの電気的試験を受ける。そのような試験では、１枚のウエハの多数の集積回路は、一回で同時に、又は複数回に分けて試験を受ける。この種の試験に用いられるプローブカードの１つとして、棒状をした複数のプローブを用いた垂直動作式プローブカードがある（特許文献１）。

この垂直動作式のプローブカードでは、各プローブは一組の線状部と一組の線状部間で両線状部を連結する「く」の字状の連結部（屈曲部）とで構成されている。各プローブは、該プローブの挿通を許すプローブ支持体により支持され、各プローブの一端は、プローブの基端としてプローブ基板の回路の接合パッドに、はんだ付けされている。また、各プローブの他端は、プローブの針先として被検査体の電極に押し付けられる。このとき、前記連結部は両線状部間で弾性変形を受けることから、その弾性力がプローブの針先に前記電極への押し付け力（オーバドライブ力）として作用するので、プローブと被検査体の電極とが電気的に確実に接続される。

また、各プローブは、前記プローブ基板の対応する前記接合パッドに、はんだ付けされていることから、各プローブの回転運動が阻止されており、隣合うプローブの連結部間の当接による短絡が確実に防止されている。

実開平７−２９８３８号公報

しかしながら、前記プローブカードの製造で、多数のプローブを前記プローブ基板の対応する前記接合パッドにはんだ付けするとき、多数のプローブの前記連結部の干渉を防止すべく、該連結部の張出方向を少なくともグループ毎で整列させる必要があることから、はんだ付けの作業は手間取り、煩雑化する。

しかも、各プローブは前記プローブ基板にはんだ付けされることから、プローブが例えば欠損を生じて新たなプローブに取り替える必要が生じた場合、欠損を生じたプローブのプローブ基板からの取り外し及び新たなプローブの前記プローブ基板への取付けにはんだを取り扱う作業が必要となり、プローブの取り替え作業が容易ではなかった。

そこで、本発明の目的は、プローブ基板の対応する接合パッドへのはんだ付け作業が不要な垂直動作式プローブカードを提供することにある。

本発明に係る垂直動作式プローブカードは、一方の面に多数の接合パッドが設けられたプローブ基板と、前記一方の面に取り外し可能に結合されたプローブ支持体と、該プローブ支持体により保持される複数のプローブとを含む。前記プローブ支持体は、相互に間隔をおいて平行に配置された第１及び第２の板を有し、各板にはほぼその板厚方向へ貫通するプローブガイド穴が形成されている。前記第１の板の前記プローブガイド穴は前記接合パッドに対応して配置されている。各プローブは、一組の線状部と両線状部を連結する連結部とを備え、両線状部は前記連結部から互いに反対方向に伸びる。一方の線状部は前記第１の板の対応する前記プローブガイド穴を貫通して配置され、前記一方の線状部の端面は対応する前記接合パッドに前記プローブ穴を経て対向する。前記他方の線状部は前記第２の板の対応する前記プローブガイド穴を貫通する。前記他方の線状部には、前記一方の線状部の端面を対応する前記接合パッドに圧接すべく前記第２の板の前記第１の板に対向する面で前記プローブガイド穴の縁に当接して前記連結部を前記両線状部間で該線状部の長手方向へ弾性変形するためのストッパが形成されている。また、前記第１の板又は前記第２の板の少なくとも一方の前記プローブガイド穴には、前記プローブの回転を阻止する回転防止部が形成されている。

本発明に係る前記プローブカードでは、各プローブの前記他方の線状部の端末がプローブの針先となり、当該線状部に設けられた前記ストッパが前記第２の板の前記プローブガイド穴の縁に当接することにより、前記連結部に前記線状部の長手方向への弾性変形が生じる。この弾性変形による作用力が前記プローブ基板への電気的接続端すなわちプローブの基端となる前記一方の線状部の前記端面を対応する前記接合パッドに圧接する。また、前記第１の板又は前記第２の板の少なくとも一方の前記プローブガイド穴に設けられた回転防止部が各プローブの回転を防止し、前記連結部間の干渉によるプローブ間の短絡を防止する。

したがって、本発明によれば、各プローブの回転が防止されるように前記プローブを前記プローブ支持体に適正に支持した状態で、前記プローブ支持体をプローブ基板に結合することができる。これにより、プローブ間の短絡を防止した状態で、プローブの前記連結部の弾性力によって該プローブと対応する前記接合パッドとを圧接することができるので、各プローブを対応する前記接合パッドに結合するはんだ付け作業を行うことなく、両者の確実な電気的接続を確保することができる。

また、各プローブと対応する前記接合パッドとの結合に、はんだが用いられていないことから、欠損を生じたプローブをプローブ基板の接合パッドから取りはずためのはんだ溶融作業が不要となり、単にプローブ支持体を前記プローブ基板から取り外し、新たなプローブに差し換えた後、前記プローブ支持体を前記プローブ基板に取り付けることにより、プローブの取り替え作業を行うことができる。

前記回転防止部を前記第１の板の前記プローブガイド穴に設け、前記第２の板を前記プローブのためのプローブガイド穴が形成された例えばセラミックのような硬質の板状部材と、該板板状部材の前記第１の板に対応する面に配置され、前記プローブガイド穴に整合するプローブガイド穴が形成された樹脂フィルムとで形成することができる。この場合、前記回転防止部は前記樹脂フィルムの前記ガイド穴に形成される。これにより、精密加工が容易ではないセラミック板に前記回転防止部を形成するための微細で複雑な加工を施すことなく、これに比較して加工が極めて容易な樹脂フィルムに前記回転防止部を形成することができるので、より製造が容易となる。

前記プローブは円形横断面を有する棒状部材で形成することができる。この場合、前記ストッパは前記円形横断面の径方向外方へ向けて張り出す張出部で構成することができる。また、前記回転防止部は、前記張出部を受け入れるように、前記第２の板の前記第１の板に対応する面上で前記プローブガイド穴の直径方向に形成された長溝とすることができる。

被検査体の検査時、前記プローブの針先は前記被検査体の電極パッドに当接した後、プローブの針先の押圧力を高めるべく前記プローブにオーバドライブ力が作用する。前記樹脂フィルムの前記長溝の深さは、このオーバドライブ力によって前記連結部がさらに変形されたとき前記他方の線状部の長手方向への変位に拘わらず、前記ストッパを前記長溝に保持するに十分な寸法が与えられる。

前記張出部は例えばプレス機を用いた潰し加工により形成することができる。

前記連結部は、ほぼ「く」の字状を呈する屈曲部とすることができる。前記長溝と前記張出部との係合により、前記屈曲部が前記線状部の同一径方向へ張り出すように、前記プローブを例えばグループ毎に整列して配置することができる。

前記プローブは、例えば矩形あるいは長円のような非円形横断面を有する棒状部材で形成することができる。この場合、前記第１及び第２の板の少なくとも一方の前記プローブガイド穴は、前記プローブの回転運動を阻止すべく前記プローブの非円形横断面形状に相似の横断面形状を有する。

前記各プローブの第１及び第２の線状部を同一軸線上に配置することができる。また、これに代えて、各プローブとして、例えば、両線状部はそれらの軸線が平行なずれを以て配置され、該両線状部が直線の連結部で結合されたいわゆるクランク形状のプローブを使用することができる。

本発明に係る垂直動作式プローブカードによれば、前記したように、各プローブを対応する前記接合パッドに結合するはんだ付け作業を行うことなく、プローブ間の短絡を防止しかつ該プローブとプローブ基板の対応する接合パッドの確実な電気的接続が確保される。したがって、プローブカードの製造工程の簡素化を図り、その製造を容易に行うことができる。

また、前記したように、単にプローブ支持体を前記プローブ基板から取り外し、新たなプローブに差し換えた後、前記プローブ支持体を前記プローブ基板に取り付けることにより、はんだの溶融作業を必要とすることなく、プローブの取り替え作業を行うことができる。したがって、プローブの取り替え作業が容易となる。

本発明に係る垂直動作式プローブカードの底面図である。 図１に示した線II-IIに沿って得られた断面を拡大して示す図面である。 図２に示したプローブとプローブ支持体の一部を拡大して示す図面である。 図３に示した第１及び第２の板のプローブガイド穴を拡大して示す平面図であり、（ａ）は第１の板のプローブガイド穴を示し、（ｂ）は第２のプローブガイド穴を示す。 図２及び３に示したプローブを拡大して示し、（ａ）はその平面図であり、（ｂ）はその正面図である。 オーバドライブ状態にある垂直動作式プローブカードの図３と同様な図面である。 本発明に係る他の実施形態を示す図２と同様な図面である。 本発明に係るさらに他の実施形態を示す図２と同様な図面である。 本発明に係るさらに他の実施形態を示す図５と同様な図面である。 図９に示した実施形態に係る第１及び第２のプローブガイド穴を示す図４と同様な図面である。

以下、本発明の特徴を図示の実施例に沿って、詳細に説明する。但し、各図面は本発明の特徴の理解に向けられており、それらは模式的であり、各図での各部の寸法及びそれらの比率等は図面間で必ずしも一致あるいは対応していない。各図で同一の機能を果たす部分には同一の参照番号が付されている。

本発明に係る垂直動作式のプローブカード１０が図１および図２に全体的に示されている。このプローブカード１０は、例えば図２に示すように、昇降可能なチャック１２の上方に図示しないフレームで保持される。図示の例では、被検査体はチャック１２上に保持された半導体ウエハ１４であり、半導体ウエハ１４には多数の集積回路が集合的に組み込まれている。半導体ウエハ１４は、前記集積回路の電気的検査のために、該半導体ウエハに設けられた前記集積回路の多数の電極パッド１４ａを上方に向けてチャック１２上に保持されている。多数の電極パッド１４ａは、図示の例では、図２の左右方向に互い間隔をおく一対の電極パッド１４ａ、１４ａが図２の紙背方向（図１の上下方向）に整列して配置されている。

プローブカード１０は、図１および図２に示されているように、円形のリジッド配線基板１６と、該リジッド配線基板の下面に配置された矩形の支持ブロック１８（図２参照）に矩形の中央部が支持される可撓性のプローブ基板２０と、該プローブ基板に一端を当接して配置される多数のプローブ２２と、これら多数のプローブ２２をプローブ基板２０に当接する所定位置に保持するためのプローブ支持体２４とを含む。

リジッド配線基板１６の上面には、該リジッド配線基板を補強するための従来よく知られた補強板２６（図２参照）が配置されている。リジッド配線基板１６は、該リジッド配線基板及びその上面の補強板２６を貫通しまたその下面の支持ブロック１８に先端が螺合するボルト部材２８により、補強板２６及び支持ブロック１８と一体に結合されている。

リジッド配線基板１６には、図示しない複数の配線路が設けられ、リジッド配線基板１６の下面の外縁部には、各配線路に接続された接続部１６ａが設けられている。これら接続部１６ａは、前記配線路を経て前記集積回路の試験のための図示しないテスタに接続される。

可撓性のプローブ基板２０は、導電路が設けられた従来よく知られたフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）から成り、前記矩形の中央部の下面には、各導電路に接続された多数の接合パッド２０ａが設けられている。これら接合パッド２０ａは、電極パッド１４ａの配列に対応して前記中央部の下面に二列に整列して配置されている。

プローブ基板２０の前記中央部は、支持ブロック１８に確実に支持されるように従来におけると同様に例えば接着剤で該支持ブロックの下面に固着されている。プローブ基板２０の前記中央部の各辺から外方に延在する各延長部の外縁部は、該外縁部、リジッド配線基板１６を貫通して先端が補強板２６に螺合するボルト部材３０の締め付け力を受けるリング部材３２によって、リジッド配線基板１６に結合されている。

プローブ基板２０の前記外縁部には、リジッド配線基板１６の接続部１６ａに対向する接続部２０ｂが設けられている。各接続部２０ｂは、前記導電路を経て対応する接合パッド２０ａに接続されている。したがって、前記したボルト部材３０の締め付けによって、リジッド配線基板１６の前記配線路と該配線路に対応するプローブ基板２０の前記導電路が確実に接続されることから、プローブ基板２０の各接合パッド２０ａは、前記導電路及び配線路を経て前記テスタに接続される。

各プローブ２２を支持するプローブ支持体２４は、図２に示すように、プローブ支持体２４及びプローブ基板２０を貫通して先端が支持ブロック１８に螺合するボルト部材３４により、支持ブロック１８に取り外し可能に結合されている。

支持ブロック１８は、例えばセラミック板のような電気絶縁材料から成る硬質の一対の板３６、３８と、両板３６、３８を互いに所定の間隔をおいて平行に保持するための筒状のスペーサ４０とを備え、ボルト部材３４は一対の板３６、３８及びスペーサ４０を貫通して配置されている。

各板３６、３８には、図３に示すように、各プローブ２２の挿通を許すプローブガイド穴４２、４４がそれぞれ形成されている。プローブ基板２０に近接する第１の板３６には、プローブガイド穴４２が、第１の板３６の板厚方向へ、プローブ基板２０に対向する上面３６ａから下面３６ｂに貫通する。また第１の板３６よりもプローブ基板２０から離れて保持される第２の板３８には、プローブガイド穴４４が、第２の板３８の板厚方向へ、第１の板３６の下面３６ｂに対向する上面３８ａから下面３８ｂに貫通する。

図３及び図４（ａ）に示されているように、第１の板３６に設けられたプローブガイド穴４２は一様な径を有する円形の穴である。他方、第２の板３８のプローブガイド穴４４は、プローブガイド穴４２と同一径を有する円形の穴４４ａと、上面３８ａ上で円形穴４４ａを直径方向に横切る長溝４４ｂとで構成されている。長溝４４ｂは、図３に示すように、第２の板３８の下面３８ｂに達することはなく、深さ寸法ｔを有し底面４６を有する。また、各長溝４４ｂは、図１で見て左右方向に整列するように、形成されている。

各プローブ２２は、図３、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示されている例では、円形横断面を有するタングステン線のような棒状の金属線から成る。プローブ２２は、一組の線状部２２ａ、２２ｂと、両線状部２２ａ、２２ｂを連結する弾性変形可能の連結部２２ｃとを備える。図示の例では、両線状部２２ａ、２２ｂは、一端が互いに間隔をおいて対向するように軸線上に配置される一対の直線部からなり、連結部２２ｃは「く」の字状の屈曲部から成り、該屈曲部が両直線部２２ａ及び２２ｂを連結する。

一方の直線部２２ａの端末は平坦であり、他方の直線部２２ｂの端末は先細りの針先となるようにテーパが付されている。他方の直線部２２ｂの中間部には、他方の直線部２２ｂの直径方向に突出する張出部４８が形成されている。この張出部４８は、例えばプレス機を用いた潰し加工により、形成することができる。

一方の直線部２２ａは、第２の板３８のプローブガイド穴４２に受け入れ可能であり、該ガイド穴に沿って軸線方向への移動が可能である。また、一方の直線部２２ａがプローブガイド穴４２によって軸線の周りの運動を拘束されることはない。

他方の直線部２２ｂは、円形穴４４ａに受け入れ可能であり、その張出部４８は、対応する長溝４４ｂ内に挿入可能である。また、張出部４８は長溝４４ｂの底面４６に当接可能である。長溝４４ｂは張出部４８を受け入れることにより、該張出部と共同して、他方の直線部２２ｂの回転を阻止し、よってプローブ２２の回転を阻止する回転防止部として機能する。

したがって、各プローブ２２をプローブ支持体２４に組み込むとき、前記したように長溝４４ｂが整列して配置されていることから、図２に示すように、対向する列のプローブ２２の各屈曲部２２ｃの張出方向が互いに反対方向となるように、各プローブ２２のプローブガイド穴４２及び４４への挿入姿勢を選択することにより、対向する列のプローブ２２の屈曲部２２ｃが互いに反対側に位置するように、プローブ２２の姿勢を揃えることができる。

また、他方の直線部２２ｂは、第２の板３８の上面３８ａから下面３８ｂに向けてのプローブガイド穴４４への挿通を許されるが、張出部４８と長溝４４ｂの底面４６との当接によって他方の直線部２２ｂの軸線方向の運動が阻止される。したがって、張出部４８は、長溝４４ｂの底面４６と共同して、他方の直線部２２ｂの軸線方向の移動を規制するストッパとして機能する。

図３に示すように、プローブ２２の一方の直線部２２ａは、第１の板３６の下面３６ｂから上面３６ａへプローブガイド穴４２を貫通するように、該ガイド穴に挿入される。また、プローブ２２の他方の直線部２２ｂは、張出部４８が長溝４４ｂの底面４６に当接するように、プローブガイド穴４４に挿入される。このとき、他方の直線部２２ｂの端末すなわち針先は第２の板３８の下面３８ｂから突出する。またプローブ２２の基端となる一方の直線部２２ａの端末は第１の板３６の第１の板３６から突出するように、プローブ２２の長さが設定されている。

本発明に係るプローブカード１０の組立では、前記したように各プローブ２２がプローブ支持体２４に組み込まれた状態で、直線部２２ａの端末が対応する接合パッド２０ａに対向するように、プローブ支持体２４はボルト部材３４によって支持ブロック１８に結合される。この結合状態では、他方の直線部２２ｂの張出部４８と長溝４４ｂの底面４６との当接によって直線部２２ｂの軸線方向の移動が阻止される。また、プローブ２２の基端となる一方の直線部２２ａの端末は対応する接合パッド２０ａに当接される。その結果、各プローブ２２の屈曲部２２ｃは、両直線部２２ａ及び２２ｂ間で該両直線部の軸線方向へ圧縮変形を受け、その弾性力は直線部２２ａの前記基端を対応する接合パッド２０ａに押圧する。

したがって、各プローブ２２は、対応する接合パッド２０ａに圧接されることから、はんだ付けを用いることなく、対応する接合パッド２０ａに電気的に確実に接続される。

しかも、プローブカード１０は、その使用状態では、図６に示すように、プローブ２２の針先が対応する電極パッド１４ａに当接した後、該電極パッドとプローブ２２との電気的接続をより確実にすべく、さらにプローブカード１０が半導体ウエハ１４に近づくようにオーバドライブ運転を受ける。このオーバドライブ運転では、他方の直線部２２ｂの張出部４８は長溝４４ｂの底面４６から離れて例えば約５００μｍの距離を上方へ移動する。そのため、オーバドライブ運転によるオーバドライブ力で屈曲部２２ｃがさらに大きく弾性変形を受けることから、この弾性変形の増大に伴い一方の直線部２２ａの前記端末の対応する接合パッド２０ａへの圧接力も増大する。その結果、各プローブ２２と対応する接合パッド２０ａとの電気的接続がより確実になされる。

各長溝４４ｂの深さ寸法ｔは、前記したオーバドライブによる他方の直線部２２ｂの移動によっても、その張出部４８が長溝４４ｂから逸脱しない深さに設定される。

また、本発明に係るプローブカード１０では、そのプローブ２２に欠損が生じた場合、欠損を生じたプローブ２２を取り替えることができる。この取り替え作業では、まずボルト部材３４を緩めてプローブ支持体２４が支持ブロック１８から取り外される。各プローブ２２はプローブ基板２０の対応する接合パッド２０ａにはんだ付けされてはおらず、前記したように屈曲部２２ｃの弾性力によって単に対応する接合パッド２０ａに押圧されているだけであることから、プローブ支持体２４を支持ブロック１８から取り外すことにより、すべてのプローブ２２をプローブ支持体２４と共にプローブ基板２０から分離することができる。

したがって、欠損を生じたプローブ２２を新たな健全なプローブ２２に差し換え、差し換えられた新たなプローブ２２の張出部４８を適正に対応するプローブガイド穴４４の長溝４４ｂに係合させることにより、この新たなプローブ２２を他のプローブ２２と同様に適正な姿勢に保持することができる。これら適正な姿勢に保持されたプローブ２２が組み込まれたプローブ支持体２４は、各プローブ２２の一方の直線部２２ａの前記端面が対応する接合パッド２０ａに対応するように、ボルト部材３４を支持ブロック１８に螺合し、締め付けることにより、支持ブロック１８に組み付けられる。この組み付け状態では、前記したように各プローブ２２は、その屈曲部２２ｃの弾性力によって適正に対応する接合パッド２０ａに押圧される。

このように、各プローブ２２は対応する接合パッド２０ａにはんだ付けされていないことから、はんだ作業を必要とすることなく、したがって、プローブ２２の取り替え作業を容易に行うことができる。

図７に示すように、第２の板３８を硬質のセラミック板５０ａと軟質の合成樹脂フィルム５０ｂで構成することができる。この場合、セラミック板５０ａには、図４ｂ（ｂ）に示したプローブガイド穴４４のうちの円形穴４４ａが形成される。他方、合成樹脂フィルム５０ｂには、図４ｂ（ｂ）に示したプローブガイド穴４４すなわち円形穴４４ａ及び長溝４４ｂが形成される。

各プローブ２２の張出部４８はその下縁がセラミック板５０ａの上面で円形穴４４ａの縁部に係合することにより、前記したと同様なストッパとして機能し、屈曲部２２ｃに作用する弾性力でプローブ２２の一方の直線部２２ａの端面を対応する接合パッド２０ａに押圧する。

他方、合成樹脂フィルム５０ｂのプローブガイド穴４４の長溝４４ｂは、その円形穴４４ａと共同してプローブ２２の張出部４８を受け入れる。これにより、合成樹脂フィルム５０ｂの長溝４４ｂは、張出部４８と共同して各プローブ２２の回転を阻止する回転防止部として機能する。

合成樹脂フィルム５０ｂはセラミック板５０ａに固着することなく、該セラミック板の上面に配置することができる。これに代えて、合成樹脂フィルム５０ｂはセラミック板５０ａに接着剤を用いて固着することができる。

図７に示したように、第２の板３８をセラミック板５０ａ及び合成樹脂フィルム５０ｂで構成し、該合成樹脂フィルムに前記したような長溝４４ｂを有するプローブガイド穴４４を形成することができる。これにより硬質材料からなるセラミック板５０ａに単に円形穴４４ａを形成するだけで、これに比較して複雑な形状の長溝４４ｂを有するプローブガイド穴４４の形成が不要になる。したがって、セラミック板５０ａへの穴開け作業を容易に行うことができる。

図８に示すように、第１の板３６の下方に配置される第２の板３８を図７に示したと同様なセラミック板５０ａ及び合成樹脂フィルム５０ｂで構成すると共に、該第２の第２の板３８の下方に第３の板５２を配置することができる。第３の板５２には、第１の板３６に設けられたとプローブガイド穴４２と同様な円形のプローブガイド穴５４が設けられる。図８は、プローブ支持体２４が第１、第２及び第３の板３６、３８及び５２から成り、第２の板３８が中間板として第１の板３６及び第３の板５２間に配置された例を示す。

図８に示す例から明らかなように、第２の板３８はプローブ２２の屈曲部２２ｃに圧縮変形を生じるようにプローブ２２の屈曲部２２ｃから他方の直線部２２ｂの針先との間に位置するように配置することができる。

また、前記したところでは、プローブ２２が円形横断面を有する例を示した。これに代えて、図９に示すように、プローブ２２の横断面形状を例えば正方形のような矩形とすることができる。この場合、図１０（ａ）に示すように、第１の板３６のプローブガイド穴４２を矩形断面形状とすることにより、プローブガイド穴４２にプローブ２２の回転防止機能を付与することができる。また図１０（ｂ）に示すように、張出部４８が形成された他方の直線部２２ｂを受ける第２の板３８のプローブガイド穴４４をプローブガイド穴４２の矩形と同一の矩形の穴４４ａと、該矩形穴を横切る長溝４４ｂとで構成することができる。

また、図１０（ａ）及び（ｂ）に示す矩形のプローブガイド穴４２及び４４ａを各直線部２２ａ及び２２ｂの矩形横断面形状の外接円とすることができる。この場合、図３ないし図５に示した例におけると同様に、張出部４８が回転防止機能及びストッパ機能の両方に寄与する。

前記したセラミック板に代えて、例えばガラスエポキシ樹脂板のような硬質の絶縁板を用いることができる。

また、プローブとして、例えば一組の線状部を直線の結合部で連結したクランク状の垂直プローブを用いることができる。この場合、前記連結部が撓みによる弾性変形を生じてもよいが、連結部自体は変位を生じ、該連結部と一対の線状部との結合部分で弾性変形を生じるように構成することができる。またプローブとして、一組の線状部と両線状部間の連結部とで緩やかな撓みを描くような「Ｓ」字状のプローブを用いることができる。これらのプローブは、金属線に代えて、ニッケル、あるいはニッケル・ボロンやニッケル・リンのようなニッケル合金で形成することができる。

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。

１０ プローブカード
２０ プローブ基板
２２ プローブ
２２ａ、２２ｂ プローブの直線部
２２ｃ プローブの連結部（屈曲部）
２４ プローブ支持体
３６ 第１の板
３８ 第２の板
４２、４４ プローブガイド穴
４４ａ 円形穴
４４ｂ 長溝
４８ プローブの張出部

Claims (8)

1. 一方の面に多数の接合パッドが設けられたプローブ基板と、相互に間隔をおいて平行に配置された第１及び第２の板であってその板厚方向へ貫通するプローブガイド穴が形成され、第１の板の前記プローブガイド穴は前記接合パッドに対応して配置された第１及び第２の板を有し、前記プローブ基板の前記一方の面に取り外し可能に結合されたプローブ支持体と、一組の線状部と両線状部を連結する弾性変形可能な連結部とを備え、両線状部は前記連結部から互いに反対方向に伸長し、一方の線状部は前記第１の板の対応する前記プローブガイド穴を貫通し、前記一方の線状部の端面は対応する前記接合パッドに前記プローブガイド穴を経て対向し、他方の線状部は前記第２の板の対応する前記プローブガイド穴を貫通して配置される複数のプローブとを備え、前記他方の線状部には、前記一方の線状部の前記端面を対応する前記接合パッドに圧接すべく前記第２の板の前記第１の板に対向する面で前記プローブガイド穴の縁に当接して前記連結部を前記両線状部間で該線状部の長手方向へ弾性変形するためのストッパが形成されており、前記第１の板又は前記第２の板の少なくとも一方の前記プローブガイド穴には、前記プローブの回転を阻止する回転防止部が形成されている、垂直動作式プローブカード。
2. 前記回転防止部は前記第２の板の前記プローブガイド穴に設けられており、前記第２の板は、前記プローブのためのプローブガイド穴が形成された硬質の板状部材と、該板板状部材の前記第１の板に対向する面に配置され、前記プローブガイド穴に整合するプローブガイド穴が形成された樹脂フィルムとから成り、前記回転防止部は前記樹脂フィルムの前記ガイド穴に形成されている、請求項１に記載のプローブカード。
3. 前記プローブは円形横断面を有し、前記ストッパは前記円形横断面の径方向外方へ向けて張り出す張出部から成り、前記回転防止部は、前記第２の板の前記第１の板に対応する面上で前記ガイド穴の直径方向に形成され、前記張出部を受け入れる長溝から成る、請求項１に記載のプローブカード。
4. 前記樹脂フィルムの前記長溝の深さは、前記プローブに作用するオーバドライブ力によって前記連結部が変形したとき前記他方の線状部の長手方向への変位に拘わらず前記ストッパを前記長溝に保持するに十分な寸法を有する、請求項３に記載のプローブカード。
5. 前記張出部は潰し加工により形成されている、請求項２又は４に記載のプローブカード。
6. 前記連結部はほぼ「く」の字状を呈する屈曲部から成り、前記長溝と前記張出部との係合により、前記屈曲部は前記線状部の同一径方向へ張り出すように整列して配置されている、請求項２又は４に記載のプローブカード。
7. 前記プローブは、非円形横断面を有し、前記第１及び第２の板の少なくとも一方の前記プローブガイド穴は前記プローブの回転運動を阻止すべく前記プローブの非横断面形状に相似の横断面形状を有する、請求項１に記載のプローブカード。
8. 前記第１及び第２の線状部は同一軸線上に位置する、請求項１に記載のプローブカード。

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