JP2014001997A - 垂直動作式プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカードは、多数の接合パッドを有するプローブ基板と、プローブ支持体と、該支持体により保持される複数のプローブとを含む。前記支持体は、間隔をおいて平行に配置された第1及び第2の板を有し、各板にはプローブガイド穴が形成されている。各プローブは、一組の線状部と両線状部間の連結部とを備える。一方の線状部の端面は第1の板の前記ガイド穴を経て対応する接合パッドに対向する。他方の線状部の端末は針先として第2の板の前記ガイド穴を貫通する。他方の線状部には、プローブの基端を接合パッドに圧接すべく第2の板の前記ガイド穴の内縁に当接して連結部を弾性変形するためのストッパが形成されている。第2の板の前記ガイド穴には、プローブの回転を阻止する回転防止部が形成されている。
【選択図】図2
Description
20 プローブ基板
22 プローブ
22a、22b プローブの直線部
22c プローブの連結部(屈曲部)
24 プローブ支持体
36 第1の板
38 第2の板
42、44 プローブガイド穴
44a 円形穴
44b 長溝
48 プローブの張出部
Claims (8)
- 一方の面に多数の接合パッドが設けられたプローブ基板と、相互に間隔をおいて平行に配置された第1及び第2の板であってその板厚方向へ貫通するプローブガイド穴が形成され、第1の板の前記プローブガイド穴は前記接合パッドに対応して配置された第1及び第2の板を有し、前記プローブ基板の前記一方の面に取り外し可能に結合されたプローブ支持体と、一組の線状部と両線状部を連結する弾性変形可能な連結部とを備え、両線状部は前記連結部から互いに反対方向に伸長し、一方の線状部は前記第1の板の対応する前記プローブガイド穴を貫通し、前記一方の線状部の端面は対応する前記接合パッドに前記プローブガイド穴を経て対向し、他方の線状部は前記第2の板の対応する前記プローブガイド穴を貫通して配置される複数のプローブとを備え、前記他方の線状部には、前記一方の線状部の前記端面を対応する前記接合パッドに圧接すべく前記第2の板の前記第1の板に対向する面で前記プローブガイド穴の縁に当接して前記連結部を前記両線状部間で該線状部の長手方向へ弾性変形するためのストッパが形成されており、前記第1の板又は前記第2の板の少なくとも一方の前記プローブガイド穴には、前記プローブの回転を阻止する回転防止部が形成されている、垂直動作式プローブカード。
- 前記回転防止部は前記第2の板の前記プローブガイド穴に設けられており、前記第2の板は、前記プローブのためのプローブガイド穴が形成された硬質の板状部材と、該板板状部材の前記第1の板に対向する面に配置され、前記プローブガイド穴に整合するプローブガイド穴が形成された樹脂フィルムとから成り、前記回転防止部は前記樹脂フィルムの前記ガイド穴に形成されている、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記プローブは円形横断面を有し、前記ストッパは前記円形横断面の径方向外方へ向けて張り出す張出部から成り、前記回転防止部は、前記第2の板の前記第1の板に対応する面上で前記ガイド穴の直径方向に形成され、前記張出部を受け入れる長溝から成る、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記樹脂フィルムの前記長溝の深さは、前記プローブに作用するオーバドライブ力によって前記連結部が変形したとき前記他方の線状部の長手方向への変位に拘わらず前記ストッパを前記長溝に保持するに十分な寸法を有する、請求項3に記載のプローブカード。
- 前記張出部は潰し加工により形成されている、請求項2又は4に記載のプローブカード。
- 前記連結部はほぼ「く」の字状を呈する屈曲部から成り、前記長溝と前記張出部との係合により、前記屈曲部は前記線状部の同一径方向へ張り出すように整列して配置されている、請求項2又は4に記載のプローブカード。
- 前記プローブは、非円形横断面を有し、前記第1及び第2の板の少なくとも一方の前記プローブガイド穴は前記プローブの回転運動を阻止すべく前記プローブの非横断面形状に相似の横断面形状を有する、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記第1及び第2の線状部は同一軸線上に位置する、請求項1に記載のプローブカード。
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