JP2016217855A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
Description
2,22,42 配線基板
3,23 第1ガイド板
4,24 第2ガイド板
5,25,45 側壁部
6,26,46 空間
7,27,47 充填剤
8,28,48 プローブ
9,29,49 端子
10,30 第1ガイド孔
11,31 第2ガイド孔
12,32,52 接触部
33 シート
43 ガイド板
50 ガイド孔
51 粒状体
Claims (4)
- 端子が設けられた配線基板と、
前記配線基板と所定の間隔をあけて配置された、第1ガイド孔を有する第1ガイド板と、
一端が前記端子に接続され、他端が前記第1ガイド孔から突出する、前記第1ガイド孔に挿入されて前記第1ガイド板に保持されたプローブと、
前記配線基板と前記第1ガイド板との間に配置された、前記第1ガイド孔を囲い、かつ、前記第1ガイド板に固定された側壁部と、を備え、
前記第1ガイド板と前記側壁部とによって形成された空間に、放熱用の充填剤が配置されていることを特徴とするプローブカード。 - 前記配線基板と前記第1ガイド板との間には、前記第1ガイド板と所定の間隔をあけて前記側壁部に固定された、第2ガイド孔を有する第2ガイド板をさらに備え、
前記プローブは、前記第2ガイド孔を介して前記第1ガイド孔から突出しており、かつ、前記充填剤は、前記第1ガイド板と、前記第2ガイド板と、前記側壁部とによって形成された空間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。 - 前記第1ガイド板の前記配線基板側の面には、前記第1ガイド孔と連通し、かつ、前記第1ガイド孔よりも小径の開口が設けられた、樹脂製のシートが配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブカード。
- 前記第1ガイド板の前記配線基板側の面には、前記第1ガイド孔と前記プローブとの間に生じた隙間よりも径が大きい、絶縁性の粒状体が配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブカード。
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- 2015-05-19 JP JP2015102298A patent/JP6590141B2/ja active Active
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