JP2015220428A - 半導体装置、半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法、ならびに半導体モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体素子1と、第1面2Aを有し、第1面2A上に半導体素子1を保持するとともに、半導体素子1と電気的に接続されているフレーム2と、電気絶縁性を有し、半導体素子1とフレーム2とを封止する封止体3とを備え、封止体3には貫通孔4が形成されており、貫通孔4は第1面2Aと交差する方向に延びる孔軸を有しており、貫通孔4の内部に表出している封止体3の内周端面は孔軸に対して傾斜している。
【選択図】図1
Description
図1および図2を参照して、実施の形態1に係る半導体装置について説明する。実施の形態1に係る半導体装置100は、半導体素子1と、フレーム2と、封止体3とを備える。
次に、図3を参照して、実施の形態2に係る半導体装置100について説明する。実施の形態2に係る半導体装置100は、実施の形態1に係る半導体装置100と基本的に同様の構成を備えるが、貫通孔4が固定部材12を通すための孔であって、貫通孔4の内部に表出している封止体3の内周端面4Eが、貫通孔4の孔軸に対して傾斜している点で異なる。
次に、図4および図5を参照して、実施の形態3に係る半導体装置100について説明する。実施の形態3に係る半導体装置100は、実施の形態2に係る半導体装置100と基本的に同様の構成を備えるが、貫通孔4に隣接するフレーム2の第1面2Aに、封止体3を形成するときに封止体3となるべき流動性材料の流動方向を制限する整流パターン20が形成されている点で異なる。
次に、図6を参照して、実施の形態4に係る半導体装置100について説明する。実施の形態4に係る半導体装置100は、実施の形態2に係る半導体装置100と基本的に同様の構成を備えるが、貫通孔4の内部に表出している封止体3の内周端面4Eと対向配置されているフレーム2の端部2Eが第1面2Aと交差する方向に屈曲している点で異なる。
次に、図7を参照して、実施の形態5に係る半導体装置200について説明する。実施の形態5に係る半導体装置200は、半導体素子1と、フレーム2と、半導体素子1およびフレーム2を封止する封止体3とを備える。フレーム2は、表面上に少なくとも1つの半導体素子1を保持しているダイパッド5と、ダイパッド5と接続されているフレーム本体部6とを含み、半導体素子1と電気的に接続されている。
Claims (8)
- 半導体素子と、
第1面および前記第1面と反対側に位置する第2面を有し、前記第1面上に前記半導体素子を保持するとともに、前記半導体素子と電気的に接続されているフレームと、
電気絶縁性を有し、前記半導体素子と前記フレームとを封止する封止体とを備える半導体装置であって、
前記封止体には貫通孔が形成されており、
前記貫通孔は前記第1面と交差する方向に延びる孔軸を有しており、
前記貫通孔の内部に表出している前記封止体の内周端面は前記孔軸に対して傾斜している、半導体装置。 - 半導体素子と、
第1面および前記第1面と反対側に位置する第2面を有し、前記第1面上に前記半導体素子を保持するとともに、前記半導体素子と電気的に接続されているフレームと、
電気絶縁性を有し、前記半導体素子と前記フレームとを封止する封止体とを備える半導体装置であって、
前記封止体には貫通孔が形成されており、
前記貫通孔は前記第1面と交差する方向に延びる孔軸を有しており、
前記貫通孔に隣接する前記フレームの前記第1面および前記第2面のうち少なくとも一方の面には、前記封止体を形成するときに前記封止体となるべき流動性材料の流動方向を制限する整流パターンが形成されている、半導体装置。 - 半導体素子と、
第1面および前記第1面と反対側に位置する第2面を有し、前記第1面上に前記半導体素子を保持するとともに、前記半導体素子と電気的に接続されているフレームと、
電気絶縁性を有し、前記半導体素子と前記フレームとを封止する封止体とを備える半導体装置であって、
前記封止体には貫通孔が形成されており、
前記貫通孔は前記第1面と交差する方向に延びる孔軸を有しており、
前記貫通孔の内部に表出している前記封止体の内周端面と対向配置されている前記フレームの端部は、前記第1面と交差する方向に屈曲している、半導体装置。 - 半導体素子と、第1面および前記第1面と反対側に位置する第2面を有し、前記第1面上に前記半導体素子を保持するとともに、前記半導体素子と電気的に接続されているフレームと、電気絶縁性を有し、前記半導体素子と前記フレームとを封止する封止体とを備える半導体装置と、
前記半導体装置の前記封止体と接触して設けられている放熱部材と、
前記半導体装置を前記放熱部材に固定するための固定部材と、
前記放熱部材と反対側に位置し、前記固定部材と接続されており、前記半導体装置の前記封止体と接触して設けられている押圧部材とを備え、
前記封止体には貫通孔が形成されており、
前記貫通孔と前記押圧部材とが重なるように設けられている、半導体モジュール。 - 半導体素子と、
表面上に前記半導体素子を保持しているダイパッドと前記ダイパッドと接続されているフレーム本体部とを含み、前記半導体素子と電気的に接続されているフレームと、
前記半導体素子および前記フレームを封止する封止体とを備え、
前記ダイパッドは、前記フレーム本体部との接続部側に位置する第1端部と、前記第1端部と反対側に位置する第2端部とを有し、
前記第1端部と前記封止体の外周面との最短距離が500μm以上であり、
前記第2端部と前記封止体の前記外周面との最短距離は、前記第1端部と前記封止体の前記外周面との最短距離より100μm短い下限距離以上、かつ前記第1端部と前記封止体の前記外周面との最短距離より50μm長い上限距離以下である、半導体装置。 - 半導体素子と、表面上に前記半導体素子を保持しているダイパッドと前記ダイパッドと接続されているフレーム本体部とを有するフレームとを含む封止対象材が封止体により封止された半導体装置の製造装置であって、
前記封止対象材を配置する空間と、前記空間と外部とを接続するための接続経路とが内部に形成されている金型を備え、
前記金型は、前記空間において、前記フレーム本体部よりも前記ダイパッドが鉛直方向上側に位置した前記封止対象材を保持可能であり、
さらに、前記金型の前記接続経路を経て前記空間に前記封止体となるべき流動性材料を供給する供給部を備える、半導体装置の製造装置。 - 前記接続経路は、前記金型において前記空間に対して鉛直方向上方に設けられている、請求項6に記載の半導体装置の製造装置。
- 半導体素子と、表面上に前記半導体素子を保持しているダイパッドと前記ダイパッドと接続されているフレーム本体部とを有するフレームとを含む封止対象材が封止体により封止された半導体装置の製造方法であって、
金型の内部に前記フレーム本体部よりも前記ダイパッドが鉛直方向上側に位置するように前記封止対象材を配置する工程と、
前記封止対象材が配置されている前記金型の内部に前記封止体となるべき流動性材料を導入した後、前記流動性材料を固化することにより前記封止体によって前記封止対象材を封止する工程とを備える、半導体装置の製造方法。
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