JP2015142072A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】信頼性の高い半導体装置を提供する。【解決手段】コネクタは、半導体チップの第2面上に設けられ第2電極に接合された第1部分と、第1部分から第2リードフレーム側に突出し、第1部分よりも薄い第2部分と、を有する。第1部分は、半導体チップの第2電極に接合された第1接合面と、第1接合面に対向し、樹脂から露出した放熱面と、を有する。第2部分は、第2リードフレームに接合された第2接合面と、第2接合面よりも第1部分側に第2接合面に近接して設けられた凹部と、を有する。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置に関する。
近年、パワーデバイスにおいて、低抵抗化のため、チップと外部リードとの接続構造として、ワイヤボンディングではなく、銅などの板状のコネクタまたはストラップを用いた構造が提案され、そのような製品も多くなってきている。
また、チップ上に搭載したコネクタを樹脂から露出させ、実装基板側のパッケージ下面と、パッケージ上面の両面から放熱する構造が提案されている。この構造では、パッケージ上面を露出させることによる特有の問題が懸念され、その問題に対する解決が求められる。
本発明の実施形態は、信頼性の高い半導体装置を提供する。
実施形態によれば、半導体装置は、第1リードフレームと、前記第1リードフレームに対して離間して設けられた第2リードフレームと、前記第1リードフレーム上に設けられた半導体チップと、前記半導体チップを封止する樹脂と、コネクタと、を備えている。前記半導体チップは、第1面と前記第1面に対向する第2面とを持つ半導体層と、前記第1面に設けられ前記第1リードフレームに接合された第1電極と、前記第2面に設けられた第2電極と、を有する。前記コネクタは、前記半導体チップの前記第2面上に設けられ前記第2電極に接合された第1部分と、前記第1部分から前記第2リードフレーム側に突出し、前記第1部分よりも薄い第2部分と、を有する。前記第1部分は、前記半導体チップの前記第2電極に接合された第1接合面と、前記第1接合面に対向し、前記樹脂から露出した放熱面と、を有する。前記第2部分は、前記第2リードフレームに接合された第2接合面と、前記第2接合面よりも前記第1部分側に前記第2接合面に近接して設けられた凹部と、を有する。
以下、図面を参照し、実施形態について説明する。なお、各図面中、同じ要素には同じ符号を付している。
図1は、実施形態の半導体装置1の模式断面図である。
図2(a)は、実施形態の半導体装置1の模式上面図であり、図2(b)は、樹脂80を取り除いた模式上面図である。図2(b)において樹脂80は側面の外形線のみを図示している。
図2(a)は、実施形態の半導体装置1の模式上面図であり、図2(b)は、樹脂80を取り除いた模式上面図である。図2(b)において樹脂80は側面の外形線のみを図示している。
実施形態の半導体装置1は、半導体チップ10と、半導体チップ10と電気的に接続されたリードフレーム21、31、41と、半導体チップ10とリードフレーム31とを接続するコネクタ50と、これら要素を封止する樹脂80と、を有する。
半導体チップ10は、半導体層における一方の面側に設けられた第1電極と、他方の面側に設けられた第2電極との間を結ぶ縦方向に電流経路が形成される縦型デバイスである。半導体チップ10は、例えば、縦型MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field Effect Transistor)である。あるいは、半導体チップ10は、縦型IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、縦型ダイオードである。
半導体としてはシリコンが用いられる。あるいは、シリコン以外の半導体(例えばSiC、GaN等の化合物半導体)を用いてもよい。
図3(a)は、半導体チップ10の第1面12の模式平面図であり、図3(b)は、第1面12の反対側の第2面14の模式平面図である。
図3(a)に示すように、半導体層11の第1面12には、第1電極13が形成されている。例えばMOSFETにおいては、第1電極13はドレイン電極である。第1電極13は、第1面12の大部分を占めて形成されている。
図3(b)に示すように、半導体層11の第2面14には、第2電極15と第3電極16とが互いに絶縁分離されて形成されている。第2電極15は、第2面14の大部分を占めて形成され、例えばMOSFETにおいてはソース電極である。第3電極16の面積は、第2電極15の面積よりも小さく、例えばMOSFETにおいてはゲート電極である。
図2(b)に示すように、第1リードフレーム21は、ダイパッド22と、複数本のリード23とを有する。ダイパッド22の平面形状は四角形状に形成され、その一辺から複数本のリード23が突出している。第1リードフレーム21は金属板の型加工により成形され、ダイパッド22及びリード23は一体に設けられている。
第1リードフレーム21のリード23の突出方向の反対側には、第1リードフレーム21に対して離間して第2リードフレーム31が設けられている。
第2リードフレーム31は、第1リードフレーム21側に設けられたインナーリード32と、インナーリード32から突出した複数本のアウターリード33とを有する。アウターリード33は、第1リードフレーム21のリード23の突出方向の逆方向に突出している。インナーリード32は、アウターリード33の突出方向、および第1リードフレーム21のリード23の突出方向に対して直交する方向に延びている。
第2リードフレーム31は金属板の型加工により成形され、インナーリード32及びアウターリード33は一体に設けられている。
また、第1リードフレーム21のリード23の突出方向の反対側には、第3リードフレーム41も第1リードフレーム21に対して離間して設けられている。第3リードフレーム41は、第2リードフレーム31のインナーリード32の長手方向の隣に設けられている。第3リードフレーム41は、第2リードフレーム31に対して離間している。
第3リードフレーム41は、第1リードフレーム21側に設けられたインナーリード42と、インナーリード42から突出した1本のアウターリード43とを有する。アウターリード43は、第2リードフレーム31のアウターリード33の突出方向と同じ方向に突出している。
図1に示すように、第1リードフレーム21のリード23とダイパッド22との間には段差は形成されず、リード23の上面とダイパッド22の上面はフラットにつながり、リード23の下面とダイパッド22の下面はフラットにつながっている。
第2リードフレーム31は、インナーリード32とアウターリード33との間の部分で屈曲し、インナーリード32とアウターリード33との間に段差が形成されている。第3リードフレーム41も、第2リードフレーム31と同様、インナーリード42とアウターリード43との間の部分で屈曲し、インナーリード42とアウターリード43との間に段差が形成されている。
第2リードフレーム31のアウターリード33の下面は、第1リードフレーム21の下面(リード23の下面及びダイパッド22の下面)と同じ高さレベルにある。第3リードフレーム41のアウターリード43の下面は、第1リードフレーム21の下面、および第2リードフレーム31のアウターリード33の下面と同じ高さレベルにある。
アウターリード33、43の下面および第1リードフレーム21の下面を高さ方向(上下方向)の基準にして、インナーリード32、42の上面は、ダイパッド22の上面よりも上方に位置している。
半導体チップ10は、第1リードフレーム21のダイパッド22上に搭載されている。半導体チップ10は、第1電極13が形成された第1面12をダイパッド22側に向けている。
第1電極13は、図1に示す導電性接合材(例えば、はんだ)25を介してダイパッド22に接合されている。したがって、半導体チップ10の第1電極13は、第1リードフレーム21と電気的に接続されている。
半導体チップ10の第2面14上には、コネクタ50が搭載されている。コネクタ50は、第1部分51と第2部分52とを有する。第1部分51と第2部分52は、相対的に厚さが異なり、第1部分51は第2部分52よりも厚い。
コネクタ50は金属板の型加工により成形され、第1部分51及び第2部分52は一体に設けられている。コネクタ50は、例えば、電気伝導および熱伝導に優れた銅からなる。なお、コネクタ50として、銅を主成分とする銅合金を使ってもよい。
第1部分51は、各リードフレーム21、31、41の厚みよりも厚く、例えば、0.5mm以上1mm以下である。第1部分51は、半導体チップ10の第2電極15に例えばはんだなどの導電性接合材55を介して接合された第1接合面54を有する。また、第1部分51は、第1接合面54の反対側に形成され、樹脂80から露出した放熱面53を有する。
第2部分52は、第1部分51から第2リードフレーム31側に突出している。第2部分52の先端部の下面(第2接合面)52aは、第2リードフレーム31のインナーリード32の上に重なり、例えばはんだなどの導電性接合材35を介してインナーリード32の上面32aに接合している。
したがって、コネクタ50は、半導体チップ10の第2電極15と、第2リードフレーム31とを電気的に接続している。
第2接合面52aは平坦面である。また、第2部分52の下面には、第2部分52の上面側に向かってくぼんだ凹部として溝61が設けられている。溝61は、第2部分52の突出方向に対して直交する方向に連続して延びている。
溝61は、第2接合面52aよりも第1部分51側に、第2接合面52aに近接して設けられている。第2接合面52aと溝61との間には段差が形成されている。溝61は、第2リードフレーム31のインナーリード32の上面32aの上には重ならず、インナーリード32よりも第1リードフレーム21側に形成されている。
また、図2(b)に示すように、半導体チップ10の第3電極(ゲート電極)16と、第3リードフレーム41は、ゲートコネクタ70によって電気的に接続されている。あるいは、第3電極16と第3リードフレーム41は、ワイヤボンディング接続でもよい。
ゲートコネクタ70の一端部71は、例えばはんだなどの導電性接合材を介して第3電極16に接合されている。ゲートコネクタ70の他端部72は、第3リードフレーム41のインナーリード42の上に重なり、例えばはんだなどの導電性接合材を介して第3リードフレーム41のインナーリード42の上面に接合している。
半導体チップ10は、樹脂封止され、外部環境から保護されている。樹脂80は、半導体チップ10、ダイパッド22の上面、第2リードフレーム31のインナーリード32、第3リードフレーム41のインナーリード42、コネクタ50の第1部分51の側面、コネクタ50の第2部分52を覆っている。
また、樹脂80は、第1電極13とダイパッド22との接合部、第2電極15とコネクタ50との接合部、コネクタ50の第2部分52と第2リードフレーム31のインナーリード32との接合部、第3電極16と第3リードフレーム41のインナーリード42との接合部を覆っている。
第1リードフレーム21の下面(リード23の下面およびダイパッド22の下面)、第2リードフレーム31のアウターリード33の下面、および第3リードフレーム41のアウターリード43の下面は、樹脂80で覆われずに、樹脂80から露出している。
それら第1リードフレーム21の下面、第2リードフレーム31のアウターリード33の下面、および第3リードフレーム41のアウターリード43の下面は、図示しない実装基板(配線基板)の導体パターンに対して例えばはんだを介して接合される。
また、図1、図2(a)に示すように、コネクタ50の第1部分51の上面は樹脂80から露出され、放熱面53として機能する。コネクタ50の放熱面53上には、必要に応じてヒートシンクを接合することもできる。
半導体チップ10で発生した熱は、第1電極13よりも広い面積のダイパッド22を通じて実装基板に放熱され、なおかつ、コネクタ50の放熱面53を通じて半導体装置1の外部(例えば空気中)に放熱される。すなわち、実施形態の半導体装置1は、両面放熱パッケージ構造を有し、特にチップ発熱量が大きくなりがちな電力用途の場合に放熱性を高めることができる。
コネクタ50の第1部分51は、半導体チップ10と第2リードフレーム31との電気的接続だけでなく、実装面の反対方向への放熱を担う放熱体としても機能する。そのコネクタ50の第1部分51は、半導体チップ10の直上に搭載され、半導体チップ10の第2電極15の面積に対する、第2電極15と第1部分51との接合面の面積の比は80%以上である。また、半導体チップ10の第2電極15の面積に対する、コネクタ50の放熱面53の面積の比は100%以上である。
すなわち、第2電極15の大部分の面がコネクタ50への熱伝導面として使われ、コネクタ50に伝導した熱は、第2電極15の面積以上の放熱面53から半導体装置1の外部に放熱される。このため、コネクタ50を放熱体として有効に利用することができ、放熱効率に優れる。
コネクタ50は全体を厚くするのではなく、第1部分51よりも薄い第2部分52を設けることで、コネクタ50の上面側から樹脂80が被さる領域を設けている。すなわち、第2部分52において、樹脂80はコネクタ50の上面を覆っている。第2部分52が樹脂80に食い込んだ構造となっている。このため、コネクタ50の上面のすべてを樹脂80から露出させる構造に比べて、樹脂80の剥離(コネクタ50の抜け)を抑制できる。
前述した接合材としては、はんだに限らず、例えば銀ペーストのような導電性ペーストを使ってもよい。いずれにしても接合材は加熱により溶融した状態または流動性を持つ状態から固化して、対象となる2要素間を固定するとともに電気的に接続する。
ここで、コネクタ50と半導体チップ10とを接合する接合材55と、コネクタ50と第2リードフレーム31とを接合する接合材35が溶融した状態では、コネクタ50は溶融した接合材の上に乗っている状態となり、コネクタ50の位置ずれ(面方向の位置ずれ)が懸念される。
例えば、コネクタ50の第2部分52が第2リードフレーム31のインナーリード32上から大きく外れて、アウターリード33の方までずれてしまうと、後に樹脂80をモールドする工程で、コネクタ50の第2部分52が金型と干渉することが起こり得る。コネクタ50と金型との干渉は、コネクタ50や金型の変形や破損につながり得る。
また、コネクタ50の上面(放熱面)53を樹脂80から露出させる両面放熱パッケージ構造では、図2において2点鎖線で例示するようにコネクタ50のずれがデバイスの外観上に現れるため、品位不良となる場合があり得る。
そこで、実施形態によれば、コネクタ50の第2接合面52aに近接して溝61を形成することで、第2接合面52aの幅(第2部分52の突出方向に対して平行な方向の幅)を制限している。
この溝61によって、溶融した接合材35がコネクタ50の第2部分52の下面を第1部分51側にぬれ広がることが抑制される。したがって、第2部分52の図1における左右方向の位置ずれが抑制される。溝61に接合材35が流れ込んでも、溝61が溶融した接合材35で満たされて接合材35が溝61から溢れ出さなければ、第2部分52を位置ずれさせるような接合材35の広がりを防ぐことができる。
第2リードフレーム31に対する第2部分52の位置ずれの抑制は、コネクタ50全体の位置ずれを抑制し、半導体チップ10に対する第1部分51の位置ずれも抑制することができる。
また、図4に示すように、コネクタ50の第2部分52の第2接合面52aと、第2リードフレーム31のインナーリード32の上面32aとで、第2部分52の突出方向の幅aを同じにすれば、溶融した接合材35がその幅aを超えて幅方向に広がることがなく、コネクタ50の第2部分52が幅方向にずれる余地がない。
前述した溝61を形成することで、第2接合面52aの幅を、第2リードフレーム31の上面32aの幅に簡単にそろえることができる。
さらに、コネクタ50の第2部分52の第2接合面52aと、第2リードフレーム31のインナーリード32の上面32aとで、第2部分52の突出方向に対して直交する方向の長さbを同じにすれば、溶融した接合材35がその長さbを超えて長さ方向に広がることがなく、コネクタ50の第2部分52が長さ方向にずれる余地がない。
また、長さ方向のずれを抑制する構造として、図5の構造を用いることもできる。
図5は、図2(b)におけるA−A拡大断面を表す。
図5は、図2(b)におけるA−A拡大断面を表す。
例えば、図5に示す例では、コネクタ50の第2部分52の第2接合面52aに凹部62を設け、第2リードフレーム31のインナーリード32の上面32aに凸部63を設けている。これら凹部62と凸部63との嵌合により、第2リードフレーム31のインナーリード32に対するコネクタ50の第2部分52の位置ずれ(第2部分52の突出方向に対して直交する方向の位置ずれ)が規制される。
第2部分52の第2接合面52aと、インナーリード32の上面32aとは接合材35を介して接合され、凸部63は凹部62の内壁に対して接合材35を介して接合される。
凹部62は図5において紙面を貫く方向に延びる溝として形成され、これに合わせて、凸部63も紙面を貫く方向に延びている。あるいは、凸部63は突起、凹部62はホールであってもよい。
また、コネクタ50の第2部分52の第2接合面52aに凸部を、第2リードフレーム31のインナーリード32の上面32aに凹部を設けてもよい。
次に、半導体チップ10に対するコネクタ50の位置ずれを抑制する構造について説明する。
図3(b)に示すように、半導体チップ10の第2面14には、第2電極15と第3電極16が形成されている。その第2面14には、図6(a)に示すように、絶縁膜90が形成されている。絶縁膜90は、例えば樹脂膜であり、例えばポリイミド膜である。
絶縁膜90には第1開口91と第2開口92が形成されている。第1開口91には第2電極15が露出している。第2開口92には第3電極16が露出している。第2電極15のエッジ(破線で表す)は絶縁膜90に覆われている。第1開口91の面積は第2電極15の面積よりも小さく、第1開口91のエッジ91aは第2電極15のエッジよりも内側に位置している。
同様に、第3電極16のエッジ(破線で表す)は絶縁膜90に覆われている。第2開口92の面積は第3電極16の面積よりも小さく、第2開口92のエッジは第3電極16のエッジよりも内側に位置している。
図6(b)は、図6(a)にコネクタ50の第1部分51の底面(第1接合面54)を重ねた模式平面図である。すなわち、図6(b)には、コネクタ50において、接合材55(図1に示す)を介して半導体チップ10の第2電極15に接合される部分(面)のみを模式的に図示している。
コネクタ50の第1接合面54の面積は、第2電極15の面積および絶縁膜90の第1開口91の面積よりも小さく、第1接合面54のエッジ54aは第1開口91のエッジ91aよりも内側に位置している。第1接合面54のエッジ54aは、50μm以上200μm以下の距離dを隔てて、絶縁膜90の第1開口91のエッジ91aよりも内側に位置している。
したがって、溶融した接合材55を介してコネクタ50の第1接合面54が半導体チップ10の第2電極15上に乗った状態において、第1接合面54が第2電極15に対して面方向にずれるとしても距離d(50μm以上200μm以下)に制限することができる。コネクタ50の第1接合面54は、絶縁膜90の第1開口91のエッジ91aを超えて第1開口91の外側にずれることがない。したがって、半導体チップ10に対するコネクタ50の位置ずれを抑制することができる。
また、第2電極15の面積に対する絶縁膜90の第1開口91の面積の比は、80%以上100%未満である。すなわち、第2電極15は、面積比で80%以上の領域でコネクタ50の第1部分51と接合しているため、半導体チップ10とコネクタ50との接合部の電気抵抗を低減でき、さらに半導体チップ10からコネクタ50への放熱性も向上できる。
以上説明した実施形態によれば、半導体チップ10および第2リードフレーム31に対して、それら半導体チップ10と第2リードフレーム31とを接続するコネクタ50の位置ずれを抑制することができる。このため、コネクタ50を介した半導体チップ10と第2リードフレーム31との間の電気的接続の抵抗上昇を抑えることができる。また、半導体チップ10に対するコネクタ50の熱的接続の低下もまねかずに、コネクタ50を通じた放熱性を高めることができる。コネクタ50の位置精度が上がれば、製造が安定し、信頼性も向上する。
図7は、他の実施形態の半導体装置の模式上面図である。
図8は、他の実施形態の半導体装置の模式断面図である。
図8は、他の実施形態の半導体装置の模式断面図である。
樹脂80から露出するコネクタ50の放熱面53が四角形状であると、コネクタ50が放熱面53に対して平行な面内で回転するように位置ずれした場合、図2(a)において2点鎖線で示すように、パッケージ外形線(樹脂80の外形線)に対して放熱面53の外形線が非平行になり、外観上の品位が損なわれやすい。
これに対して、図7に示すように、樹脂80から露出する放熱面53の形状を円形にすると、コネクタ50が回転方向にずれたとしても外観には現れず、外観上の品位低下をまねかない。
なお、コネクタ50の第1部分51において、半導体チップ10の第2電極15との接合面54は、円形放熱面53の面積よりも大きな角形(例えば略四角形)にすることで、第2電極15とコネクタ50との接合面積の低下を防げる。
すなわち、図7、8に示すように、コネクタ50の第1部分51は、四角い板状の下部56の上に円錐台形状の上部57が設けられた構造を有する。下部56の下面は略四角形の第1接合面54であり、上部57の上面は円形の放熱面53である。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
10…半導体チップ、11…半導体層、12…第1面、13…第1電極、14…第2面、15…第2電極、16…第3電極、21…第1リードフレーム、22…ダイパッド、23…リード、31…第2リードフレーム、32…インナーリード、33…アウターリード、41…第3リードフレーム、42…インナーリード、43…アウターリード、50…コネクタ、51…第1部分、52…第2部分、52a…第2接合面、53…放熱面、54…第1接合面、61…凹部(溝)、62…凹部、63…凸部、70…ゲートコネクタ、80…樹脂、90…絶縁膜、91…開口
Claims (9)
- 第1リードフレームと、
前記第1リードフレームに対して離間して設けられた第2リードフレームと、
前記第1リードフレーム上に設けられた半導体チップであって、第1面と前記第1面に対向する第2面とを持つ半導体層と、前記第1面に設けられ前記第1リードフレームに接合された第1電極と、前記第2面に設けられた第2電極と、を有する半導体チップと、
前記半導体チップを封止する樹脂と、
前記半導体チップの前記第2面上に設けられ前記第2電極に接合された第1部分であって、前記半導体チップの前記第2電極に接合された第1接合面と、前記第1接合面に対向し、前記樹脂から露出した放熱面と、を有する第1部分と、
前記第1部分から前記第2リードフレーム側に突出し、前記第1部分よりも薄い第2部分であって、前記第2リードフレームに接合された第2接合面と、前記第2接合面よりも前記第1部分側に前記第2接合面に近接して設けられた凹部と、を有する第2部分と、
を有するコネクタと、
を備えた半導体装置。 - 前記凹部は、前記第2部分の突出方向に対して直交する方向に延びる溝である請求項1記載の半導体装置。
- 前記コネクタの前記第2接合面と、前記第2接合面と接合された前記第2リードフレームの上面とは、前記第2部分の突出方向の幅が同じである請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記コネクタの前記第2接合面と、前記第2接合面と接合された前記第2リードフレームの上面とは、前記第2部分の突出方向に対して直交する方向の長さが同じである請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 第1リードフレームと、
前記第1リードフレームに対して離間して設けられた第2リードフレームと、
前記第1リードフレーム上に設けられた半導体チップであって、第1面と前記第1面に対向する第2面とを持つ半導体層と、前記第1面に設けられ前記第1リードフレームに接合された第1電極と、前記第2面に設けられた第2電極と、を有する半導体チップと、
前記半導体チップを封止する樹脂と、
前記半導体チップの前記第2面上に設けられ前記第2電極に接合された第1部分であって、前記半導体チップの前記第2電極に接合された第1接合面と、前記第1接合面に対向し、前記樹脂から露出した放熱面と、を有する第1部分と、
前記第1部分から前記第2リードフレーム側に突出し、前記第1部分よりも薄い第2部分であって、前記第2リードフレームに接合された第2接合面を有する第2部分と、
を有するコネクタと、
を備え、
前記コネクタの前記第2接合面に第1凹部または第1凸部が設けられ、前記第2接合面と接合された前記第2リードフレームの上面に、前記第1凹部と嵌合する第2凸部または前記第1凸部と嵌合する第2凹部が設けられている半導体装置。 - 第1リードフレームと、
前記第1リードフレームに対して離間して設けられた第2リードフレームと、
前記第1リードフレーム上に設けられた半導体チップであって、第1面と前記第1面に対向する第2面とを持つ半導体層と、前記第1面に設けられ前記第1リードフレームに接合された第1電極と、前記第2面に設けられた第2電極と、を有する半導体チップと、
前記第2面に設けられ、前記第2電極を露出させる開口を有する絶縁膜と、
前記半導体チップを封止する樹脂と、
前記半導体チップの前記第2面上に設けられ前記第2電極に接合された第1部分であって、前記半導体チップの前記第2電極に接合された第1接合面と、前記第1接合面に対向し、前記樹脂から露出した放熱面と、を有する第1部分と、
前記第1部分から前記第2リードフレーム側に突出し、前記第1部分よりも薄い第2部分であって、前記第2リードフレームに接合された第2接合面を有する第2部分と、
を有するコネクタと、
を備え、
前記コネクタの前記第1部分の前記第1接合面のエッジは、50μm以上200μm以下の距離を隔てて、前記絶縁膜の前記開口のエッジよりも内側に位置している半導体装置。 - 前記第2電極の面積に対する前記開口の面積の比は、80%以上100%未満である請求項6記載の半導体装置。
- 前記コネクタの前記第1部分の前記放熱面が円形である請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記第1部分の前記第1接合面は、前記放熱面の面積よりも広い面積の角形である請求項8記載の半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014015207A JP2015142072A (ja) | 2014-01-30 | 2014-01-30 | 半導体装置 |
CN201410305694.XA CN104821305A (zh) | 2014-01-30 | 2014-06-30 | 半导体装置 |
US14/454,159 US9275921B2 (en) | 2014-01-30 | 2014-08-07 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014015207A JP2015142072A (ja) | 2014-01-30 | 2014-01-30 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015142072A true JP2015142072A (ja) | 2015-08-03 |
Family
ID=53679727
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014015207A Pending JP2015142072A (ja) | 2014-01-30 | 2014-01-30 | 半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9275921B2 (ja) |
JP (1) | JP2015142072A (ja) |
CN (1) | CN104821305A (ja) |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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