JP6090429B2 - ヒートシンク構造、半導体装置及びヒートシンク搭載方法 - Google Patents
ヒートシンク構造、半導体装置及びヒートシンク搭載方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6090429B2 JP6090429B2 JP2015506602A JP2015506602A JP6090429B2 JP 6090429 B2 JP6090429 B2 JP 6090429B2 JP 2015506602 A JP2015506602 A JP 2015506602A JP 2015506602 A JP2015506602 A JP 2015506602A JP 6090429 B2 JP6090429 B2 JP 6090429B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat sink
- heat
- generating component
- sink
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 24
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 14
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 7
- 229940126214 compound 3 Drugs 0.000 description 4
- OPFJDXRVMFKJJO-ZHHKINOHSA-N N-{[3-(2-benzamido-4-methyl-1,3-thiazol-5-yl)-pyrazol-5-yl]carbonyl}-G-dR-G-dD-dD-dD-NH2 Chemical compound S1C(C=2NN=C(C=2)C(=O)NCC(=O)N[C@H](CCCN=C(N)N)C(=O)NCC(=O)N[C@H](CC(O)=O)C(=O)N[C@H](CC(O)=O)C(=O)N[C@H](CC(O)=O)C(N)=O)=C(C)N=C1NC(=O)C1=CC=CC=C1 OPFJDXRVMFKJJO-ZHHKINOHSA-N 0.000 description 3
- 229940126086 compound 21 Drugs 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000011359 shock absorbing material Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
- H01L23/427—Cooling by change of state, e.g. use of heat pipes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D15/00—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
- F28D15/02—Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
- F28D15/0275—Arrangements for coupling heat-pipes together or with other structures, e.g. with base blocks; Heat pipe cores
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F3/00—Plate-like or laminated elements; Assemblies of plate-like or laminated elements
- F28F3/02—Elements or assemblies thereof with means for increasing heat-transfer area, e.g. with fins, with recesses, with corrugations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4871—Bases, plates or heatsinks
- H01L21/4882—Assembly of heatsink parts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
- H01L23/3672—Foil-like cooling fins or heat sinks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
- H01L23/3675—Cooling facilitated by shape of device characterised by the shape of the housing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/40—Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
- H01L23/4006—Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/42—Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
- H01L23/433—Auxiliary members in containers characterised by their shape, e.g. pistons
- H01L23/4338—Pistons, e.g. spring-loaded members
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F13/00—Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing
- F28F2013/005—Thermal joints
- F28F2013/006—Heat conductive materials
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F2275/00—Fastening; Joining
- F28F2275/20—Fastening; Joining with threaded elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
- F28F2280/00—Mounting arrangements; Arrangements for facilitating assembling or disassembling of heat exchanger parts
- F28F2280/02—Removable elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/40—Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs
- H01L23/4006—Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws
- H01L2023/4037—Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws characterised by thermal path or place of attachment of heatsink
- H01L2023/4056—Mountings or securing means for detachable cooling or heating arrangements ; fixed by friction, plugs or springs with bolts or screws characterised by thermal path or place of attachment of heatsink heatsink to additional heatsink
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73253—Bump and layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/831—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus
- H01L2224/83101—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector the layer connector being supplied to the parts to be connected in the bonding apparatus as prepeg comprising a layer connector, e.g. provided in an insulating plate member
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Domestic Hot-Water Supply Systems And Details Of Heating Systems (AREA)
Description
本発明は、ヒートシンク構造及びその搭載方法に関し、特に、複数の発熱部品を収容する電子機器の放熱技術に関する。
複数の発熱部品を収容する電子機器においては、発熱部品に高さのバラつきが存在する場合がある。一つの発熱部品の高さに対してヒートシンクの位置を最適化した場合、高さの異なる他の発熱部品とヒートシンクとの熱的接続のために、シート状の固形の熱伝導物質であるクールシートを他の発熱部品とヒートシンクとの間に挿入することがあった。特許文献1には発熱部品とヒートシンクとの間に挿入する関連するクールシートが記載されている。
クールシートは一般的に柔軟性と熱伝導性とがトレードオフの関係にある。クールシートはもともと固形であり、力を加えても変形させにくいものであるが、添加物を加える事により柔らかくすることができる。しかし一方で添加物の影響によりクールシートの熱伝導性は低下する。
上述した関連するクールシートにおいては、発熱部品一つ一つに合わせた形状のクールシートを用意することは現実的ではない。そのため、発熱部品の高さのバラつきの大きさに合わせて変形できる柔軟性をもたせたクールシートを使用することになる。その結果、発熱部品の高さのバラつきが大きいほどヒートシンクの放熱性が悪くなる、という問題があった。
本発明は、上記の問題を解決することを目的とする。具体的には、本発明は高さの異なる複数の発熱部品の放熱性を同時に確保できるヒートシンク構造を提供することを目的とする。
本発明のヒートシンク構造は、第一のヒートシンクと、側面下部に突出部を有する第二のヒートシンクと、第一のヒートシンクの側面と第二のヒートシンクの側面とに挟まれる熱伝導物質と、第一のヒートシンクの底面と突出部の上面とに挟まれる柔軟性を持った緩衝材とを有する。
本発明のヒートシンク搭載方法は、第一の発熱部品及び第二の発熱部品を搭載し、その側面下部に設けた突出部の上面に柔軟性を持った緩衝材を設け、かつその側面に熱伝導物質を設けた第二のヒートシンクを、第二の発熱部品上に搭載し、第一の発熱部品上に第一のヒートシンクを設けることにより、第一のヒートシンクの側面と第二のヒートシンクの側面とに第一の熱伝導物質を挟み、かつ第一のヒートシンクの底面と突出部の上面とに緩衝材を挟む。
本発明は、高さの異なる複数の発熱部品の放熱性を同時に確保することができる。
次に、本発明の第1の実施例について図面を参照して詳細に説明する。
図1は、第1の実施例において第二の発熱部品が高背である場合の断面図である。第一の発熱部品2および第二の発熱部品5は、ベース9に固定されたプリント基板8に表面実装されている。なお、この図では発熱部品の高さのバラつきにより、第二の発熱部品5の方が、第一の発熱部品2よりも高背であった場合について説明する。
第一の発熱部品2は、第一のヒートシンク1からゲル状の熱伝導物質であるサーマルコンパウンド3を介して、プリント基板8へ押し付ける向きに力を受けている。同様に、第二の発熱部品5は、第二のヒートシンク4からサーマルコンパウンド3を介して、プリント基板8へ押し付ける向きに力を受けている。
第一のヒートシンク1は、バネ10から、ベース9へ押し付ける向きに力を受けている。
第二のヒートシンク4は、第一のヒートシンク1から柔軟性を持つ緩衝材6を介して、ベース9へ押し付ける向きに力を受けている。また、第一のヒートシンク1と第二のヒートシンク4とはサーマルコンパウンド7を介して熱的に接続されている。ここで、サーマルコンパウンド7はシリコーン入りのゲル状の熱伝導物質である。また緩衝材6の一例としてはゴム材がある。一般に、熱伝導性はヒートシンク、サーマルコンパウンド、緩衝材の順に高い。
図2は第一のヒートシンクと第二のヒートシンクの接合部の部分拡大図である。図に示すように、第二のヒートシンク4の接合面下部に突出部13を設ける。また、突出部13の上面に乗るように緩衝材6を取り付ける。また、第一のヒートシンク1の側面と第二のヒートシンク4の側面との間にはサーマルコンパウンド7が挟まれる。
図3は第一のヒートシンクと第二のヒートシンクの平面関係の一例を示す図である。この図で示すように、第一のヒートシンク1に設けられる開口部11に、第二のヒートシンク4が挿入され、両者の間にサーマルコンパウンド7が挟まれる。その結果、第一のヒートシンク1と第2のヒートシンクとがサーマルコンパウンド7を介して密着し、熱的接続が実現している。なお、開口部11、第1のヒートシンク1、第2のヒートシンク4の形状はこの図に示される形状に限定されるものではなく、発熱部品の形状や大きさ、部材成型の容易さ、その他の目的等に応じて変更してよい。例えば、ヒートシンクの接合部分が一本の直線で形成されていても良い。
図4は緩衝材6の平面図である。緩衝材6は額縁形状であり、開口14を有する。開口14を第一のヒートシンクが通るように、緩衝材6の内寸は第二のヒートシンクの寸法より大きくする。また、緩衝材6の外寸は突出部13と近い寸法とする。緩衝材6の外寸は、突出部13の寸法より大きくても小さくても良い。また、緩衝材6の内寸は突出部13の寸法より小さい。
図5は第1の実施例のヒートシンク構造を有する電子機器の製作工程の一部を示す図である。
まず、ベース9上にプリント基板8を搭載し、さらにプリント基板8上に第一の発熱部品2及び第二の発熱部品5を搭載する。
次に、第一の発熱部品2及び第二の発熱部品5それぞれの上面のうち、後の工程で第一のヒートシンク又は第2のヒートシンクと接触する部分全体に、サーマルコンパウンド3を塗布する。
次に、第二のヒートシンク4の側面下部に設けた突出部13の上面に乗るように緩衝材6を取り付ける。その後、第二のヒートシンク4の側面のうち露出している部分全体にサーマルコンパウンド7を塗布する。
次に、第二のヒートシンク4を第二の発熱部品5上に搭載する。
次に、第一のヒートシンク1を第一の発熱部品上に搭載する。この時、第一のヒートシンクに設けた開口部11に第二のヒートシンクが当てはまるようにする。この時、サーマルコンパウンド7が開口部11の内側側面と接触する。これにより、第二のヒートシンク4と第一のヒートシンク1とが熱的に接続される。その結果、ヒートシンク全体の温度が均一化される事になり、内部部品の放熱性が確保される。
最後に、第一のヒートシンク1をバネ10でベース9に固定する。これにより、ヒートシンク全体がプリント基板8に押し付けられて固定される。
なお、サーマルコンパウンド3及びサーマルコンパウンド7の塗布の方法は、手付けであってもよいし、ディスペンサを使用しても、予め制作した専用の治具を使用してもよい。
なお、サーマルコンパウンド3及びサーマルコンパウンド7の塗布の方法は、手付けであってもよいし、ディスペンサを使用しても、予め制作した専用の治具を使用してもよい。
第二の発熱部品5の方が、第一の発熱部品2よりも高背である場合、第二の発熱部品5の高さに応じて、第二のヒートシンク4は高くなる。第一のヒートシンク1と第二のヒートシンク4との間隔が狭くなる。この時緩衝材6が変形し、押しつぶされて第一のヒートシンク1の底面と突出部13の上面とに挟まれる。これにより、第二の発熱部品5と高背の第二の発熱部品2との高さの差を吸収する。また、第一のヒートシンク1と第二のヒートシンク4とは、サーマルコンパウンド7を介して熱的に接続される。
図6は、第1の実施例において第二の発熱部品が低背である場合の断面図である。低背の第二の発熱部品16の高さに応じて、第二のヒートシンク4は低くなる。この状態では、第一のヒートシンク1と第二のヒートシンク4との間隔が広くなる。この時緩衝材6はほとんど押し潰されることなく第一のヒートシンク1の底面と突出部13の上面とに挟まれる。これにより、第一の発熱部品2と低背の第二の発熱部品16との高さの差を吸収する。また、第一のヒートシンク1と第二のヒートシンク4との間は、サーマルコンパウンド7を介して熱的に接続される。
上述のように、本実施例では、第一のヒートシンク1と、側面下部に突出部13を有する第二のヒートシンク4と、第一のヒートシンク1の側面と第二のヒートシンク4の側面とに挟まれるサーマルコンパウンド7と、第一のヒートシンク1の底面と突出部13の上面とに挟まれる柔軟性を持った緩衝材6とを有する。これにより個々の発熱部品毎にヒートシンクとの熱的接続が実現できる。その結果、内部部品の放熱性が確保されるので、温度上昇が抑えられ、製品の長寿命化が期待できる。
ここでは発熱部品が2つの場合について説明したが、上述の第二のヒートシンク4を2つ以上設ける構成とすることにより、本発明は3つ以上の発熱部品に対しての放熱性を確保することができる。
次に、本発明の第2の実施例について、図面を参照して詳細に説明する。なお、この第2の実施例について、上述の第一の実施形態と同一構成部分には同一符号を付し、第1の実施例との共通部分の重複説明は省略する。
図7は、第2の実施例において第二の発熱部品5が高背である場合の断面図である。第二のヒートシンク4にはヒートパイプ19が取り付けられ、第一のヒートシンク4にはヒートパイプ19を収容する収容部20が設けられている。
なお、ヒートパイプ(Heat Pipe)とは、熱伝導性を上げる技術・仕組みの一つで、熱伝導性が高い材質からなるパイプ中に揮発性の液体(作動液、Working fluid)を封入したものである。パイプ中の一方を加熱し、もう一方を冷却することで、作動液の蒸発・凝縮のサイクルが発生し熱を移動する。図8はヒートパイプと第一のヒートシンクにおける収容部との部分図である。ヒートパイプ19は収容部20の中で上下方向に移動する。ヒートパイプ19と収容部20の内壁との間は、サーマルコンパウンド21を介し熱的に接続している。ヒートパイプの移動時も熱的な接続が常に維持されるように、サーマルコンパウンド21の上下の幅には余裕をもたせる。また、ヒートパイプ19は第二のヒートシンク4が第一のヒートシンク1よりも高熱である場合に第一のヒートシンク1へ熱伝導する。
図9は、ヒートパイプと第二のヒートシンクとの部分図である。ヒートパイプ19は第二のヒートシンク4の中では周囲を囲われ、固定される。これにより第二のヒートシンク4とヒートパイプ19とが熱的に接続される。
上述のような構成とすることで、第2の実施例においては、第二の発熱部品5から第二のヒートシンク4、ヒートパイプ19を介して第一のヒートシンク1への放熱経路が確保される。また、ヒートパイプ19を含む構成とすることで、第一のヒートシンク1と第二のヒートシンク4との熱伝導性が向上する。また、ヒートパイプ19を上下に可動とすることで、発熱部品の高さのバラつきを吸収できる。また、ヒートパイプ19の移動に合わせて、サーマルコンパウンド21は形状を変えながら連動して動く。
第二の発熱部品5の方が、第一の発熱部品2よりも高背である場合、第二の発熱部品5の高さに応じて、第二のヒートシンク4は高くなる。第一のヒートシンク1と第二のヒートシンク4との間隔が狭くなる。これに伴いヒートパイプ19は収容部20内を上方に移動する。
図10は、第2の実施例において第二の発熱部品が低背である場合の断面図である。低背の第二の発熱部品16の高さに応じて、第二のヒートシンク4は低くなる。この状態では、第一のヒートシンク1と第二のヒートシンク4との間隔が狭くなる。これに伴いヒートパイプ19は収容部20内を下方に移動する。
以上、実施例を参照して本願発明を説明したが、本願発明は上記実施例に限定されるものではない。本願発明の構成や詳細には、本願発明のスコープ内で当業者が理解しうる様々な変更をすることができる。
この出願は、2013年3月21日に出願された日本出願特願2013−058475を基礎とする優先権を主張し、その開示の全てをここに取り込む。
1 第一のヒートシンク
2 第一の発熱部品
3 サーマルコンパウンド
4 第二のヒートシンク
5 第二の発熱部品
6 緩衝材
7 サーマルコンパウンド
8 プリント基板
9 ベース
10 バネ
11 開口部
13 突出部
14 開口
16 低背の第二の発熱部品
19 ヒートパイプ
20 収容部
21 サーマルコンパウンド
2 第一の発熱部品
3 サーマルコンパウンド
4 第二のヒートシンク
5 第二の発熱部品
6 緩衝材
7 サーマルコンパウンド
8 プリント基板
9 ベース
10 バネ
11 開口部
13 突出部
14 開口
16 低背の第二の発熱部品
19 ヒートパイプ
20 収容部
21 サーマルコンパウンド
Claims (9)
- 第一のヒートシンクと、
側面下部に突出部を有する第二のヒートシンクと、
前記第一のヒートシンクの側面と前記第二のヒートシンクの側面とに挟まれる第一の熱伝導物質と、
前記第一のヒートシンクの底面と前記突出部の上面とに挟まれる柔軟性を持った緩衝材と、
前記第二のヒートシンクの内部に設けられ、前記第二のヒートシンクの少なくともひとつの側面に、一部を露出するヒートパイプと、
を有することを特徴とするヒートシンク構造。 - 前記第一のヒートシンクの内部に、前記ヒートパイプの一部が収容される収容部と、
前記ヒートパイプと前記収容部とに挟まれる第二の熱伝導物質と、を有することを特徴とする
請求項1に記載のヒートシンク構造。 - 前記第一のヒートシンクが開口部を有し、
前記第二のヒートシンクが前記開口部にあてはまる形状であることを特徴とする
請求項1又は2に記載のヒートシンク構造。 - 基板と、
前記基板上に設けられる第一の発熱部品と、
前記基板上に設けられる第二の発熱部品と、
前記第一の発熱部品と接触する第一のヒートシンクと、
前記第二の発熱部品と接触し、側面下部に突出部を有する第二のヒートシンクと、
前記第一のヒートシンクの側面と前記第二のヒートシンクの側面とに挟まれる第一の熱伝導物質と、
前記第一のヒートシンクの底面と前記突出部の上面とに挟まれる柔軟性を持った緩衝材と、
前記第二のヒートシンクの内部に設けられ、前記第二のヒートシンクの少なくともひとつの側面に、一部を露出するヒートパイプと、
を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記第一のヒートシンクの内部に、前記ヒートパイプの一部が収容される収容部と、
前記ヒートパイプと前記収容部とに挟まれる第二の熱伝導物質と、
を有することを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第一のヒートシンクが開口部を有し、
前記第二のヒートシンクが前記開口部にあてはまる形状である
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の半導体装置。 - 第一の発熱部品及び第二の発熱部品を搭載する工程と、
その側面下部に設けた突出部の上面に柔軟性を持った緩衝材を設け、かつその側面に熱伝導物質を設け、さらに、少なくともひとつの側面に、一部を露出するヒートパイプを内部に設けた第二のヒートシンクを、前記第二の発熱部品上に搭載する工程と、
前記第一の発熱部品上に、第一のヒートシンクを設けることにより、前記第一のヒートシンクの側面と前記第二のヒートシンクの側面とに第一の熱伝導物質が挟まれ、かつ前記第一のヒートシンクの底面と前記突出部の上面とに前記緩衝材が挟まれる工程と、
を有することを特徴とするヒートシンク搭載方法。 - 前記第一のヒートシンクに設けた収容部に、前記ヒートパイプヒートパイプの一部が収容され、
かつ前記収容部と前記ヒートパイプの間に第二の熱伝導物質が挟まれる
ことを特徴とする請求項7に記載のヒートシンク搭載方法。 - 前記第一のヒートシンクが開口部を有し、
前記第一のヒートシンクを搭載する工程において、前記第二のヒートシンクを前記開口部にあてはめる
ことを特徴とする請求項7又は8に記載のヒートシンク搭載方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013058475 | 2013-03-21 | ||
JP2013058475 | 2013-03-21 | ||
PCT/JP2014/001492 WO2014148026A1 (ja) | 2013-03-21 | 2014-03-17 | ヒートシンク構造、半導体装置及びヒートシンク搭載方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014148026A1 JPWO2014148026A1 (ja) | 2017-02-16 |
JP6090429B2 true JP6090429B2 (ja) | 2017-03-08 |
Family
ID=51579724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015506602A Expired - Fee Related JP6090429B2 (ja) | 2013-03-21 | 2014-03-17 | ヒートシンク構造、半導体装置及びヒートシンク搭載方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20160284624A1 (ja) |
JP (1) | JP6090429B2 (ja) |
CN (1) | CN105074910B (ja) |
WO (1) | WO2014148026A1 (ja) |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10141241B2 (en) | 2014-09-27 | 2018-11-27 | Intel Corporation | Multi-chip self adjusting cooling solution |
TWI600091B (zh) * | 2014-10-23 | 2017-09-21 | 英特爾股份有限公司 | 用於多表面構件之使用撓性熱管的散熱器連接器 |
WO2016089385A1 (en) * | 2014-12-03 | 2016-06-09 | Ge Intelligent Platforms, Inc. | Combined energy dissipation apparatus and method |
JP2016184658A (ja) | 2015-03-26 | 2016-10-20 | 日本電気株式会社 | 冷却装置および装置 |
JP6036894B2 (ja) | 2015-03-26 | 2016-11-30 | 日本電気株式会社 | 冷却装置および装置 |
JP6399022B2 (ja) * | 2016-03-22 | 2018-10-03 | 日本電気株式会社 | 冷却装置、電子機器およびヒートシンク搭載方法 |
US10168749B2 (en) | 2016-12-01 | 2019-01-01 | Intel Corporation | Cooling using adjustable thermal coupling |
CN110972443B (zh) * | 2018-09-30 | 2023-09-15 | 泰科电子(上海)有限公司 | 散热装置和壳体组件 |
CN110972444B (zh) * | 2018-09-30 | 2022-09-06 | 泰科电子(上海)有限公司 | 散热装置和壳体组件 |
JP7166150B2 (ja) * | 2018-11-16 | 2022-11-07 | 昭和電工株式会社 | 冷却器、そのベース板および半導体装置 |
CN109906017B (zh) * | 2018-11-27 | 2020-08-14 | 奇鋐科技股份有限公司 | 散热单元 |
US10667378B1 (en) * | 2019-01-14 | 2020-05-26 | Eagle Technology, Llc | Electronic assemblies having embedded passive heat pipes and associated method |
TWI707628B (zh) * | 2020-02-27 | 2020-10-11 | 技嘉科技股份有限公司 | 散熱裝置 |
CN113316349B (zh) * | 2020-02-27 | 2024-05-24 | 技嘉科技股份有限公司 | 散热装置 |
US11769710B2 (en) * | 2020-03-27 | 2023-09-26 | Xilinx, Inc. | Heterogeneous integration module comprising thermal management apparatus |
CN112074147A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-12-11 | 北京比特大陆科技有限公司 | 散热器组件、算力组件和服务器 |
CN114340298B (zh) * | 2020-09-30 | 2024-10-18 | 华为技术有限公司 | 散热器及电子设备 |
US11991863B2 (en) * | 2021-11-22 | 2024-05-21 | Juniper Networks, Inc. | Apparatus, system, and method for mitigating deformation of spring-loaded heatsinks |
US20230262935A1 (en) * | 2022-01-26 | 2023-08-17 | Celsia Technologies Taiwan, Inc. | Heat dissipation device and anti-vibration heat conduction structure thereof |
US12052846B2 (en) * | 2022-02-11 | 2024-07-30 | Quanta Computer Inc. | Combination heat sink |
CN117784325A (zh) * | 2022-09-20 | 2024-03-29 | 华为技术有限公司 | 光收发模块及通信设备 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS587352U (ja) * | 1981-07-07 | 1983-01-18 | 株式会社東芝 | 集積回路の冷却装置 |
JPH0864732A (ja) * | 1994-08-26 | 1996-03-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体集積回路装置 |
JPH09127190A (ja) * | 1995-10-31 | 1997-05-16 | Ando Electric Co Ltd | Icテスタ用テストヘッドの冷却構造 |
JPH1070219A (ja) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Fujitsu Ltd | 実装モジュールの冷却装置 |
JP2828059B2 (ja) * | 1996-08-28 | 1998-11-25 | 日本電気株式会社 | ヒートシンクの実装構造 |
JPH10173114A (ja) * | 1996-12-13 | 1998-06-26 | Hitachi Ltd | マルチチップモジュールの冷却構造 |
JP2000091485A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-03-31 | Denso Corp | 半導体装置 |
JP2000269671A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Toshiba Corp | 電子機器 |
JP2001085581A (ja) * | 1999-09-14 | 2001-03-30 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | 半導体モジュール用基板及びその製造方法 |
JP2003289189A (ja) * | 2002-03-28 | 2003-10-10 | Toshiba Corp | 電子機器 |
US7405931B2 (en) * | 2004-09-20 | 2008-07-29 | Nortel Networks Limited | Floating heatsink for removable components |
WO2007055625A1 (en) * | 2005-11-11 | 2007-05-18 | Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) | Cooling assembly |
US20080068805A1 (en) * | 2006-09-15 | 2008-03-20 | Foxconn Technology Co., Ltd. | Heat sink assembly for multiple electronic components |
US8109321B2 (en) * | 2008-03-05 | 2012-02-07 | Alcatel Lucent | Modular heat sink assembly comprising a larger main heat sink member thermally connected to smaller additional floating heat sink members |
US20090321901A1 (en) * | 2008-06-25 | 2009-12-31 | Antares Advanced Test Technologies, Inc. | Thermally balanced heat sinks |
JP2012028398A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Denso Corp | 半導体装置 |
JP5779042B2 (ja) * | 2011-08-18 | 2015-09-16 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置 |
-
2014
- 2014-03-17 WO PCT/JP2014/001492 patent/WO2014148026A1/ja active Application Filing
- 2014-03-17 US US14/778,273 patent/US20160284624A1/en not_active Abandoned
- 2014-03-17 CN CN201480017081.4A patent/CN105074910B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-03-17 JP JP2015506602A patent/JP6090429B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160284624A1 (en) | 2016-09-29 |
CN105074910B (zh) | 2018-01-09 |
WO2014148026A1 (ja) | 2014-09-25 |
JPWO2014148026A1 (ja) | 2017-02-16 |
CN105074910A (zh) | 2015-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6090429B2 (ja) | ヒートシンク構造、半導体装置及びヒートシンク搭載方法 | |
JP4466644B2 (ja) | ヒートシンク | |
US20090027859A1 (en) | Surface mounted heat sink and electromagnetic shield | |
JP4228753B2 (ja) | 電子制御装置 | |
JP2009218589A (ja) | 放熱装置及びその製造方法 | |
JP5885630B2 (ja) | プリント基板 | |
KR200490472Y1 (ko) | 방열장치 조립 구조 | |
EP3518072B1 (en) | Heat transferring module | |
JP5738679B2 (ja) | 放熱構造 | |
JP2010073942A (ja) | 電子回路装置 | |
JP2019160983A (ja) | 冷却構造、実装構造 | |
JP2014002971A (ja) | コンタクト装置、ソケット装置及び電子装置 | |
CN111009493A (zh) | 半导体封装结构和组装结构 | |
JP2003289189A (ja) | 電子機器 | |
JP2018073859A (ja) | 冷却装置、搭載方法、冷却構造 | |
CN105379097B (zh) | 电力变换装置 | |
JP6025614B2 (ja) | 発熱部品の放熱構造およびこれを用いたオーディオ装置 | |
CN210670727U (zh) | 快速散热型多层pcb板 | |
JP6091035B2 (ja) | 放熱構造 | |
JP5708773B2 (ja) | 電源装置、および電源装置の製造方法 | |
KR101918847B1 (ko) | 주형을 이용한 일체형 히트싱크 제조방법 | |
JP2013041789A (ja) | コネクタ | |
JP7172065B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP5910303B2 (ja) | 半導体検査治具 | |
US20110067850A1 (en) | Buckling Device with Cooling Function |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161102 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170123 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6090429 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |