JP4237191B2 - プローブカード - Google Patents
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- G01R1/07314—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being perpendicular to test object, e.g. bed of nails or probe with bump contacts on a rigid support
Description
さらに本発明は、鉛フリーバンプ電極のように比較的硬度の高い接触対象であっても、バンプ電極に外観不良を生じさせず、確実に電気的接触することができるプローブ組立体およびこれを用いたプローブカードを提供することを目的とする。
1.鉛フリーのバンプ高さバラつきは、ウエハ面内で5μm以内に入っているため、プローブによる一度のコンタクトでバンプの高さのバラつきをほぼ無視することができる。
2.バンプ自体に塑性がある。
これら2つの理由から、これまでプローブ毎にばね機能を持たせていたが、これを1つに集約してしまえば、より安価なプローブカードを作成することが可能となる。そこで、図1に示すようなプローブ組立体を作成し、これをプローブカードに装着することとした。
200:プローブホルダー 210:ホルダー本体
220:配線基板 222:半田付け用パッド
224:被覆樹脂 230:貫通孔
240:ネジ穴 250:貫通孔
260:ネジ穴 270:ネジ
290:小径部 292:大径部
300:板ばね機構部 310:針組基板
312:突出部 314:貫通孔
316:リブ 318:肉厚部
320:板ばね受け 322:開口
324:開口 326:ネジ穴
330:薄板ばね 332:基部
334:開口 336:ばね部
338:脱落防止ひれ部 340:板ばねスペーサ
342:開口 344:ナット
350:皿ネジ 360:板ばねカバー
362:開口 364:開口
366:皿ネジ用開口 368:突起
370:キャップ 372:脚部
374:皿ネジ用開口 376:皿ネジ
400:プローブカード 410:プローブカード基板
412:開口 420:皿ネジ
430:ナット 500:位置決め治具
510:ピン Q:プローブ
Claims (5)
- プローブカードに取り付けられるプローブ組立体であって、
複数のプローブを予め決められた位置に保持する保持ブロックと、
前記保持ブロックを取り付ける弾性機構部とを有し、
弾性機構部は、プローブカードに接続される第1の接続部材と、金属部材からなる板ばね部材を含み、かつ前記保持ブロックを取り付ける第2の接続部材とを含み、
第2の接続部材は、第1の面と当該第1の面に対向する第2の面を有し、第2の面には突出部が形成され、当該突出部には第1の面から第2の面へ通じる貫通孔が形成され、当該貫通孔の第2の面から第1の面へ向けてネジ部材が挿入され、第1の面側に前記保持ブロックが取り付けられ、
前記板ばね部材は、開口が形成された基部と、基部から延在する複数のばね部と、環状のスペーサ部材とを有し、前記基部が第2の接続部材の第2の面の突出部に整合しかつ前記基部の開口内に前記ネジ部材が挿入されるように、前記板ばね部材が第2の接続部材の第2の面上に搭載され、前記スペーサ部材は前記基部上に搭載され、前記スペーサ部材から突出した前記ネジ部材を締結することにより前記板ばね部材が第2の接続部材に固定され、
第1の接続部材には、前記スペーサ部材の外径よりも大きな開口が形成され、かつ裏面に複数の突起が形成され、第1の接続部材の開口が前記スペーサ部材と整合しかつ前記複数の突起の各々が前記複数のばね部の各々に当接するように、第1の接続部材が第2の接続部材上に固定され、
第1の接続部材はさらに、第1の接続部材の開口の内縁に接するように挿入されるキャップ部材を含んでおり、
第2の接続部材は、前記板ばね部材を介して第1の接続部材に対して接近もしくは離間する方向に移動可能であり、前記板ばね部材は、前記複数の突起を支点に弾性変形可能であり、前記スペーサ部材が前記キャップ部材に当接することで第2の接続部材の第1の接続部材へ向かう移動量が規制される、
プローブ組立体。 - 前記複数のばね部は、前記基部に関し線対称または回転対称である、請求項1に記載のプローブ組立体。
- 前記複数のばね部は、前記基部を中心にそこから等間隔で4方向に延在し、延在した端部が第1の接続部材の前記複数の突起にそれぞれ当接する、請求項1に記載のプローブ組立体。
- 前記板ばね部材は、前記基部に形成された複数の脱落防止ひれ部を含み、前記複数の脱落防止ひれ部は、第2の接続部材の突出部に支持されている、請求項1に記載のプローブ組立体。
- 前記保持ブロックは、第2の接続部材に着脱自在に取り付けられる、請求項1に記載のプローブ組立体。
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