JP5944755B2 - 垂直動作式プローブカード - Google Patents
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Description
20 プローブ基板
22 プローブ
22a、22b プローブの直線部
22c プローブの連結部(屈曲部)
24 プローブ支持体
36 第1の板
38 第2の板
42、44 プローブガイド穴
44a 円形穴
44b 長溝
48 プローブの張出部
Claims (3)
- 一方の面に多数の接合パッドが設けられたプローブ基板と、相互に間隔をおいて平行に配置された第1及び第2の板であってその板厚方向へ貫通するプローブガイド穴が形成され、第1の板の前記プローブガイド穴は前記接合パッドに対応して配置された第1及び第2の板を有し、前記プローブ基板の前記一方の面に取り外し可能に結合されたプローブ支持体と、一組の線状部と両線状部を連結する弾性変形可能な連結部とを備え、両線状部は前記連結部から互いに反対方向に伸長し、一方の線状部は前記第1の板の対応する前記プローブガイド穴を貫通し、前記一方の線状部の端面は対応する前記接合パッドに前記プローブガイド穴を経て対向し、他方の線状部は前記第2の板の対応する前記プローブガイド穴を貫通して配置される複数のプローブとを備え、前記他方の線状部の一部分には、前記一方の線状部の前記端面を対応する前記接合パッドに圧接すべく前記第2の板の前記第1の板に対向する面で前記プローブガイド穴の縁に当接して前記連結部を前記両線状部間で該線状部の長手方向へ弾性変形するためのストッパが形成されており、前記第2の板の前記プローブガイド穴には、前記プローブの回転を阻止する回転防止部が形成され、
前記第2の板は、前記プローブを貫通支持するためのプローブガイド穴が形成された硬質の板状部材と、該板状部材の前記第1の板に対向する面に配置され、前記板状部材の前記プローブガイド穴に整合するプローブガイド穴が形成された樹脂フィルムとから成り、前記回転防止部は前記樹脂フィルムの前記プローブガイド穴に形成され、
前記プローブはプローブの伸延方向と直交する横断面を有し、前記ストッパは前記横断面の径周縁より外方へ向けて張り出す張出部から成り、前記回転防止部は、前記第2の板の前記第1の板に対向する面上で前記樹脂フィルムの前記プローブガイド穴の直径方向に形成され、前記張出部を受け入れる長溝から成り、
前記樹脂フィルムの前記長溝の深さは、前記プローブに作用するオーバドライブ力によって前記連結部が変形したとき前記他方の線状部の長手方向への変位に拘わらず前記ストッパを前記長溝に保持するに十分な寸法を有する、プローブカード。 - 前記連結部はほぼ「く」の字状を呈する屈曲部から成り、前記長溝と前記張出部との係合により、前記屈曲部は前記線状部の同一径方向へ張り出すように整列して配置されている、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記一方及び他方の線状部は同一軸線上に位置する、請求項1に記載のプローブカード。
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