JP4919050B2 - フローティング機構 - Google Patents
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Description
図4においてDUT2はテストヘッド1の複数(例えば3〜4)個所に設けられたフローティング機構によりXYZ方向に動作可能に構成されている。
図5において、10はホルダーであり、表面に大径穴11が形成され、この穴の底部中央に大径穴の径よりも小さな径を有する貫通孔12が形成されている。
上述において図5の状態(固定ねじ24でDUTベース部20をテストヘッド部13に固定しない状態)によれば、ハンドラ接続時においてXYZ方向のフローティング動作が可能である。
他の方法としてプローバの接続媒体であるプローブリングにフローティング機能を持たせることも可能であるが、その場合はコスト高になるという問題があった。
表面から所定の深さに大径の穴が形成され、該大径の穴の中心部に小径の貫通ねじ孔が形成された平行面を有するブロックと、該ブロックの表面に固定され、前記大径の穴と略同じ径の貫通孔が形成された固定プレートと、前記大径の穴内に配置され、前記固定プレートの表面から一端が突出して配置されたコイルばねと、一端に鍔を有し他端に前記貫通ねじ孔に螺合するねじを有する支軸と、該支軸が挿入されたときに横方向にわずかに動作可能な内径を有し一端に前記固定プレートの表面から突出して配置されたコイルばねを押圧する鍔を有するリングと、該リングが挿入された状態で横方向にわずかに動作可能な内径を有する貫通孔を有する可動プレートとからなり、前記支軸を前記コイルばねの内部に挿入するとともに支軸の他端に形成されたねじを前記貫通ねじ穴に螺合させた状態で、前記可動プレートを前記固定プレートに対してXYZ方向に動作可能となるように構成したことを特徴とする。
前記可動プレートを前記固定プレートに固定する固定部材を設けたことを特徴とする。
表面から所定の深さに大径の穴と小径の貫通ねじ孔を有するブロックと、その大径の穴と略同じ径の貫通孔を形成した固定プレートと、大径の穴内に固定プレートの表面から一端を突出して配置したコイルばねと、鍔と貫通ねじ孔に螺合するねじを有する支軸と、その支軸が挿入されたときに横方向に動作可能な内径を有し一端にコイルばねを押圧する鍔を有するリングと、リングが挿入された状態で横方向に動作可能な内径を有する貫通孔を有する可動プレートとを有しており、支軸をコイルばねの内部に挿入するとともに支軸の他端に形成されたねじを貫通ねじ穴に螺合させた状態で、可動プレートを固定プレートに対してXYZ方向に動作可能となるように構成した。
その結果、支軸がZ方向の動作を機能できる状態とZ方向の動作を機能できない規制状態にできるので、ハンドラ接続用動(XYZ方向)とプローバ接続用動作(XY)方向を同一構成のフローティング機構を用いて動作させることができた。その結果、接続が容易となりコスト低減が可能となった。
図1において、30はホルダー(ブロック)であり、表面に大径穴31が形成され、この穴の底部中央に大径穴の径よりも小さな径を有する貫通ねじ孔32が形成されている。
図1の構成によればDUTベース部40はXYZ方向に動作可能である。
2 DUT
10,30 ホルダー
11,31 大径穴
12,14,34,46 貫通孔
13 テストヘッド部
15,19,21,24,35,39,42,50 固定ねじ
16,36 コイルばね
17,37 支軸
18,38 カラー
20,40 DUTベース部
22 段付き孔
23 ねじ孔
41,43 鍔
44 リング
Claims (2)
- 表面から所定の深さに大径の穴が形成され、該大径の穴の中心部に小径の貫通ねじ孔が形成された平行面を有するブロックと、該ブロックの表面に固定され、前記大径の穴と略同じ径の貫通孔が形成された固定プレートと、前記大径の穴内に配置され、前記固定プレートの表面から一端が突出して配置されたコイルばねと、一端に鍔を有し他端に前記貫通ねじ孔に螺合するねじを有する支軸と、該支軸が挿入されたときに横方向にわずかに動作可能な内径を有し一端に前記固定プレートの表面から突出して配置されたコイルばねを押圧する鍔を有するリングと、該リングが挿入された状態で横方向にわずかに動作可能な内径を有する貫通孔を有する可動プレートとからなり、前記支軸を前記コイルばねの内部に挿入するとともに支軸の他端に形成されたねじを前記貫通ねじ穴に螺合させた状態で、前記可動プレートを前記固定プレートに対してXYZ方向に動作可能となるように構成したことを特徴とするフローティング機構。
- 前記可動プレートを前記固定プレートに固定する固定部材を設けたことを特徴とする請求項1に記載のフローティング機構。
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