JP2016024031A - 接触検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、本態様における接触検査装置において厚さの異なる荷重調整部材を使用することにより、第3の荷重による第3の検査を行うことも可能になる。
[第1の状態]
図1ないし図12を参照して第1の実施例に係る接触検査装置10について説明する。図1はウエハ検査における接触検査装置10の第1の状態を示している。第1の状態における接触検査装置10は、「第1の接触子」としてのプローブ12と、「第1の基板」としてのプローブ基板14と、回路変換基板16と、荷重調整部材18と、「第2の接触子」としての接触子20と、ハウジング22と、「第2の基板」としてのメイン基板24と、補強板26と、プローブヘッド固定リング28を備えている。
次いで、図6ないし図9を参照して、接触検査装置10の第2の状態、つまりパッケージ検査を行う状態について説明する。図6に示すのは、第1の状態(図1参照)における接触検査装置10から、プローブ12、プローブ基板14、回路変換基板16、荷重調整部材18及びプローブヘッド固定リング28を取り外した状態である。この状態では、接触子20の第1の接触部20aは接触子20の軸線方向に対して伸びきっている状態となっている。この状態の接触検査装置10に図7及び図8に示す案内部材58を取り付けると、接触検査装置10の第2の状態となる。
(1)本実施例では、接触子20をポゴピンとする構成としたが、この構成に代えて、例えばプランジャ型の接触子(一例として特開2014−17147号公報参照)やカンチレバー型の接触子等で構成してもよい。
(2)本実施例では、荷重調整部材18の厚さtは、第2の荷重F2から第1の荷重F1に調整するように設定されているが、この構成に代えて、荷重調整部材18の厚さを第2の荷重F2から第1の荷重F1と異なる大きさの第3の荷重F3に調整する厚さに設定してもよい。荷重調整部材18により接触子20の第1の接触部20aに生じる力が第3の荷重F3となる場合、第3の荷重F3が必要な第3の検査を実施することが可能となる。
次いで、図13ないし図19を参照して第2の実施例に係る接触検査装置70について説明する。第2の実施例に係る接触検査装置70は第2の接触子の構造及び回路変換基板に電気的接続部品を設けた点で相違する。
図13を参照するに接触検査装置70は、プローブ12と、プローブ基板14と、回路変換基板72と、荷重調整部材74と、「第2の接触子」としての接触子76と、ハウジング78と、メイン基板24と、補強板26と、プローブヘッド固定リング28とを備えている。プローブ12、プローブ基板14、メイン基板24、補強板26及びプローブヘッド固定リング28については第1の実施例と同じ構成であるので説明を省略する。
また、接触検査装置70は図19に示すように第2の状態においてパッケージ検査を行うことができる。具体的には、図19に示すようにハンドラー64に被検査体60を吸着、あるいは把持させた状態で、検査ソケット86の上方に被検査体60を移動させる。そして、ハンドラー64を下方に移動させて、検査ソケット86に被検査体60を押し込む。この際、被検査体60の電極60aと接触する接触子76の第1の接点である先端部76aに生じる付勢力が第1の荷重(数gf)F1よりも大きい第2の荷重(数十gf)F2となるまで被検査体60を先端部76aに向けて押し込む。これにより、先端部76aに付着していたゴミや汚れが排除され、先端部76aと電極60aとの電気的接続が確実なものとなる。
次いで、図20を参照して第2の実施例の変更例を説明する。この変更例では、荷重調整部材92は回路変換基板72とプローブヘッド固定リング28との間に配置する構成に代えて、接触検査装置70の第1の状態においてハウジング78の検査ソケット86内に配置されている。
(1)第2の実施例において検査ソケット86の一辺にスリット88を4つ設ける構成としたが、この構成に代えて、検査ソケット86の一辺にスリット88を1つないし3つ、あるいは5つ以上設ける構成としてもよい。
第1の実施例及び第2の実施例において検査ソケット62、86を2つ設ける構成としたが、この構成に代えて、検査ソケット62、86は1つでもよく、3つ以上設ける構成としてもよい。
16、72 回路変換基板、16a、24a、80a 配線、
18、74、92 荷重調整部材、20、76 接触子、
20a 第1の接触部(第1の接点)、20b 第2の接触部(第2の接点)、
20c 本体、22、78 ハウジング、24 メイン基板、
26 補強板、28 プローブヘッド固定リング、30 検査ステージ、
32 チャックトップ、34 載置面、36、60 被検査体、
38、40、42、50、60a、80b、82 電極、44 荷重調整孔、
46 貫通孔、48 ばね部材、52 コネクタ、54、56 締結部材、
58 案内部材、62、86 検査ソケット、64 ハンドラー、
76a 先端部(第1の接点)、76b 基端部(第2の接点)、80 電気的接続部品、84 開口部、88 スリット、90 弾性部材、F1 第1の荷重、F2 第2の荷重、F3 第3の荷重
Claims (8)
- 被検査体に接触して検査を行う接触検査装置であって、前記被検査体に対して第1の検査を行う第1の状態は、前記被検査体に接触する複数の第1の接触子が設けられた第1の基板と、
前記第1の基板に取り付けられる回路変換基板と、
前記回路変換基板と第1の荷重で接触し、前記第1の接触子と電気的に接続される第1の接点を有する第2の接触子と、
前記第2の接触子が設けられたハウジングと、
前記ハウジングと前記回路変換基板との間に配置される荷重調整部材と、
前記ハウジングが取り付けられ、前記第2の接触子の第2の接点と電気的に接続される配線が設けられた第2の基板と、
を備え、
前記荷重調整部材は前記第2の接触子の前記第1の接点に生じる荷重を前記第1の荷重よりも大きい第2の荷重から前記第1の荷重へ調整するものである、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項1に記載の接触検査装置において、前記被検査体に対して第2の検査を行う第2の状態は、前記第1の状態から前記第1の基板と、前記回路変換基板と、前記荷重調整部材とを取り外した状態において、前記被検査体を前記第2の荷重で前記第2の接触子の前記第1の接点に接触させて第2の検査を行う、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 被検査体に接触して検査を行う接触検査装置であって、該接触検査装置は前記被検査体の第1の検査を行う第1の状態と前記被検査体の第2の検査を行う第2の状態とを組替可能であり、
前記第1の状態は、
前記被検査体に接触して第1の検査を行う複数の第1の接触子が設けられた第1の基板と、
前記第1の基板に取り付けられる回路変換基板と、
前記回路変換基板と第1の荷重で接触し、前記第1の接触子と電気的に接続される第1の接点を有する第2の接触子と、
前記第2の接触子が設けられたハウジングと、
前記ハウジングと前記回路変換基板との間に配置される荷重調整部材と、
前記ハウジングが取り付けられ、前記第2の接触子の第2の接点と電気的に接続される配線が設けられた第2の基板と、
を備え、
前記第2の状態は、
前記被検査体に対して前記第1の接点が前記第1の荷重よりも大きい第2の荷重で接触する前記第2の接触子と、前記ハウジングと、前記第2の基板とを備え、
前記荷重調整部材は前記第2の接触子の前記第1の接点に生じる荷重を前記第2の荷重から前記第1の荷重へ調整するものである、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項2または請求項3に記載の接触検査装置において、前記第2の状態において前記ハウジングには、前記被検査体を前記第2の接触子に向けて案内する案内部材が着脱可能に取り付けられている、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項2から請求項4のいずれか一項に記載の接触検査装置において、前記第2の接触子は前記第2の状態において複数の前記被検査体に対応可能に配置されている、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の接触検査装置において、前記第2の接触子は、当該第2の接触子の軸線方向に伸縮可能であり、
前記荷重調整部材は前記第2の接触子が受け入れられる複数の貫通孔を有している、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項2から請求項5のいずれか一項に記載の接触検査装置において、前記第2の接触子は、弧状に湾曲した形状を有するとともに前記ハウジングに回動可能に取り付けられ、
前記ハウジングには前記被検査体を受け入れて該被検査体と前記第1の接点との接触を可能にする受け入れ部が設けられ、
前記回路変換基板には前記第1の基板が取り付けられる側と反対の側に前記受け入れ部に受け入れられる電気的接続部品が取り付けられ、
前記第1の状態において前記受け入れ部内に前記電気的接続部品を受け入れた際、前記第2の接触子は前記第2の基板側に向けて回動しつつ前記第1の接点が前記電気的接続部品と接触し、前記第1の接触子と前記第2の接触子とが電気的に接続され、前記被検査体の前記第1の検査が可能となり、
前記第2の状態において前記受け入れ部内に前記被検査体を受け入れた際、前記第2の接触子は前記第2の基板側に向けて回動しつつ前記第1の接点が前記被検査体と接触し、前記被検査体の前記第2の検査が可能となる、
ことを特徴とする接触検査装置。 - 請求項7に記載の接触検査装置において、前記荷重調整部材は、前記第2の基板に対する前記第1の基板の傾きを調整可能に構成されている、
ことを特徴とする接触検査装置。
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