JP2009133724A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカード2は、プローブ10を支持する支持板11と、プリント配線基板13と、矯正部材14を備えている。矯正部材14の外周部下面には連結体30が設けられ、連結体30の下面には板ばね33が固定されている。板ばね33は、支持板11をプリント配線基板13側に押圧している。支持板11の外周部下面と板ばね33との間には、ローラ40が設けられている。ローラ40によって、支持板11自体の水平方向の膨張が許容される。
【選択図】図1
Description
2 プローブカード
10 プローブ
11 支持板
13 プリント配線基板
20 ガイド溝
21 ガイドピン
33 板ばね
33a ストッパ
40 ローラ
L 中心線
P 中心
W ウェハ
Claims (11)
- 被検査体の電気的特性を検査するためのプローブカードであって、
回路基板と、
前記回路基板の下面側に配置され、検査体に接触する接触子を支持する支持板と、
前記支持板の外周部下面を保持する保持部材と、
前記支持板の外周部下面と前記保持部材との間に配置され、上方に突出し前記支持板の外周部下面と当接する当接部材と、を有することを特徴とする、プローブカード。 - 前記当接部材は、前記支持板の径方向と直角方向に延伸していることを特徴とする、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記当接部材は複数設けられ、
前記当接部材は、平面視において前記支持板の中心を円の中心とする同一円周上に等間隔で配置されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載のプローブカード。 - 前記当接部材は、円柱形状のローラであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記保持部材は、前記当接部材と前記支持板を前記回路基板側に押圧していることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記保持部材は、板ばねであることを特徴とする、請求項5に記載のプローブカード。
- 前記保持部材の先端には、前記当接部材の離脱防止用のストッパが設けられていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記保持部材は、前記当接部材と一体となっていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記支持板の上面には、ガイドピンを挿入して前記支持板の水平方向の伸縮を案内するための複数のガイド部が形成され、
前記ガイド部は、平面視においてその長手方向の長さが前記ガイドピンの径よりも長く形成され、
前記ガイド部の長手方向の中心線は、前記支持体の中心を通ることを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載のプローブカード。 - 前記複数のガイド部は、4箇所に形成されており、
前記支持板の中心を円の中心とする同一円周上に、中心角が90度おきに形成されていることを特徴とする、請求項9に記載のプローブカード。 - 前記ガイドピンは、前記回路基板によって水平方向に動かないように固定されていることを特徴とする、請求項9又は10に記載のプローブカード。
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