KR101955528B1 - 수직형 프로브 모듈, 제조 방법 및 제조 장치 - Google Patents

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박철규
손원식
박중훈
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한국기술교육대학교 산학협력단
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Abstract

본발명은, 수직형 프로브 모듈을 제조하는 방법 등에 관한 것으로서, 프로브 고정 부재 위에 복수의 홀을 가진 상부 플레이트를 부착하는 단계; 복수의 프로브 핀의 정렬을 가이드하기 위한 가이드 부재를 설치하는 단계; 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치를 기반으로 상기 가이드 부재의 가이드에 따라 수직형 프로브 모듈에 포함된 복수의 프로브 핀의 헤드를 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각에 고정시키는 단계; 상부 플레이트에 고정된 복수의 프로브 핀의 팁이 통과되도록 복수의 홀을 갖는 가이드 필름을 덮는 단계; 상기 가이드 필름 위에 하부 플레이트를 덮는 단계 및 상기 프로브 고정 부재를 제거하는 단계를 포함한다.

Description

수직형 프로브 모듈, 제조 방법 및 제조 장치{VERTICAL PROBE MODULE, MANUFACTURING METHOD AND DEVICE THEREOF}
본발명은 수직형 프로브 모듈 및 제조 방법에 관한 것으로서, 프로브 핀의 수직 방향 및 순서를 변경하여 제품 고장률을 낮추고 제작 시간을 단축시킬 수 있는 프로브 모듈 및 제조 방법에 관한 것이다.
반도체 회로 기판, 반도체 소자나 디스플레이 패널 등을 테스트하기 위해 전기적 검사가 필요하다. 이 때, 검사 대상의 전자기기에 형성된 검사용 단자에 전기적으로 접촉하는 복수의 프로브(probe)를 구비한 수직형 프로브 모듈이 사용된다. 수직형 프로브 모듈은 생산된 전자 기기에 대한 검사를 수행하여 제조 공정상 발생할 수 있는 결함의 유무를 확인하기 위해 복수의 프로브 핀으로 구성된 모듈로서, 전기 기기의 각 전극에 테스트용 전기 신호를 인가하여 픽셀 에러, 단락(배선 불량) 등을 검사할 수 있다.
도 1a는 수직형 프로브 모듈(100)의 단면도이다. 수직형 프로브 모듈(100)은 복수의 프로브 핀(110)의 팁(111) 부분이 삽입되는 복수의 홀을 구비한 하부 플레이트(120), 프로브 핀(110)이 정렬되는 중간 플레이트(124), 복수의 프로브 핀(110)의 헤드(113) 부분이 고정되는 상부 플레이트(122) 및 복수의 프로브 핀(110)들이 각각 하부 플레이트(120)의 각 홀에 삽입되도록 안내하는 가이드 필름(126)로 구성될 수 있다. 도 1a에서 나타내는 바와 같이 수직형 프로브 모듈은 프로브 핀들(110)이 하부 플레이트 방향으로 정렬되어 각 홀에 삽입되도록 조립된다.
도 1b에서 나타나는 바와 같이 하부 플레이트(120)에 중간 플레이트(124)를 조립하여 가이드 핀(미도시)으로 정렬하고 볼트(미도시)로 고정한다. 투명한 가이드 필름(126)을 중간 플레이트(124) 위에 가이드 핀으로 정렬하고 볼트로 고정한다. 조립 시 수직형 프로브(110)의 직경이 미세하기 때문에 광학현미경을 이용한다. 수직형 프로브(110)가 헤드(113)와 팁(111)부분이 일직선상이 아닌 체로 어긋나 있기 때문에 현미경의 초점을 가이드 필름(126)의 홀(127)에 맞춘 후 수직형 프로브(110)를 가이드 필름(126)에 삽입한 후 다시 현미경을 하부 플레이트(120)의 미세홀(121) 기준으로 초점을 변경하여 수직형 프로브(110)를 삽입하여야만 한 개의 수직형 프로브 핀에 대한 조립이 끝난다. 그리고 이와 같은 방법을 반복하여 모든 프로브 핀들의 삽입 및 조립이 끝나면 가이드 필름(126) 위에 상부 플레이트(122)를 덮어 씌우는 형태로 조립이 완료된다(도 1d).
이처럼, 복수의 수직형 프로브 핀(110)각각을 조립할 때마다 현미경의 초점을 홀(121, 127)을 기준으로 두 번 변경하여야 하기 때문에 조립시간이 오래 걸리고, 두 번의 핀 삽입 과정에서 수직형 프로브(110)가 도 1c에서 나타내는 바와 같이 꺾이는 경우 불량이 발생할 수 있다. 즉, 제조 시간 및 제조 비용이 많이 걸릴 뿐만 아니라 모듈의 신뢰성도 저하되는 문제점이 있었다.
본발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 복수의 프로브 핀을 헤드 부분부터 삽입하고 상부 플레이트에 프로브 고정 부재를 붙여 헤드 부분을 임시로 부착시킴으로써 조립 과정의 정확성 및 안정성을 높이도록 한다.
본발명은 서로 직교하는 가이드 축 부재를 포함한 가이드 부재를 이용하여 프로브 핀의 삽입 부분을 정확하게 가이드함으로써 제작 시간을 단축시키고 조립 정확성을 높이도록 한다.
본발명의 일 실시예에 따른 수직형 프로브 모듈을 제조하는 방법은, 프로브 고정 부재 위에 복수의 홀을 가진 상부 플레이트를 부착하는 단계; 복수의 프로브 핀의 정렬을 가이드하기 위한 가이드 부재를 설치하는 단계; 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치를 기반으로 상기 가이드 부재의 가이드에 따라 수직형 프로브 모듈에 포함된 복수의 프로브 핀의 헤드를 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각에 고정시키는 단계; 상부 플레이트에 고정된 복수의 프로브 핀의 팁이 통과되도록 복수의 홀을 갖는 가이드 필름을 덮는 단계; 상기 가이드 필름 위에 하부 플레이트를 덮는 단계 및 상기 프로브 고정 부재를 제거하는 단계를 포함한다.
본발명의 일 실시예에서 상기 프로브 고정 부재 위에 아크릴 계 접착제 또는 접착 테이프를 이용하여 상기 상부 플레이트를 부착하는 것을 더 포함한다.
본발명의 일 실시예에서 상기 가이드 부재는 서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되고, 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 서로 직교한 상태에서 이동하도록 가이드 홈 및 가이드 레일을 포함한다.
본발명의 일 실시예에서 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치에 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 직교점을 순차적으로 이동시키면서 수직형 프로브 모듈에 포함된 복수의 프로브 핀의 헤드를 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각에 고정시킨다.
본발명의 일 실시예에서 수직형 프로브 모듈을 아세톤 및 에탄올을 포함한 용해제를 이용하여 상기 상부 플레이트로부터 상기 프로브 고정 부재를 제거하는 것을 더 포함한다.
본발명의 일 실시예에 따른 수직형 프로브 모듈은, 프로브 고정 부재 위에 부착된 복수의 홀을 가진 상부 플레이트; 서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되며 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치를 기반으로 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재가 이동함에 따라 복수의 프로브 핀의 헤드 각각이 가이드되어 상기 상부 플레이트의 복수의 홀에 고정되도록 조립되는 복수의 프로브 핀; 상기 상부 플레이트에 고정된 상기 복수의 프로브 핀의 반대쪽 팁이 통과되도록 복수의 홀을 포함하는 가이드 필름; 상기 가이드 필름 상에 적층되는 상부 플레이트를 포함한다.
본발명의 일 실시예에서 상기 프로브 고정 부재는 아세톤 및 에탄올을 포함한 용해제를 이용하여 상기 상부 플레이트로부터 제거된다.
본발명의 일 실시예에 따른 수직형 프로브 모듈을 제조하는 방법은, 서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되는 가이드 부재를 복수의 홀을 가진 상부 플레이트 상에 설치하는 제1 단계; 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 중 하나에 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 교차점을 위치시키는 제2 단계; 상기 복수의 홀 중 하나 및 상기 교차점을 따라 프로브 핀을 가이드시켜 상기 상부 플레이트의 홀에 삽입하여 고정하는 제3 단계; 상부 플레이트의 복수의 홀 중 비어 있는 홀의 위치에 따라 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 교차점을 이동시키는 제4 단계; 상기 상부 플레이트의 복수의 홀에 복수의 프로브 핀의 헤드가 모두 고정될 때까지 상기 제3 단계 및 상기 제4 단계를 반복하는 제5단계; 상기 제5 단계 완료 후 상부 플레이트에 고정된 복수의 프로브 핀의 팁이 통과되도록 복수의 홀을 갖는 가이드 필름을 덮는 제6 단계; 및 상기 가이드 필름 위에 상부 플레이트를 덮는 제7 단계를 포함한다.
본발명의 일 실시예에 따른 수직형 프로브 모듈을 제조하는 장치는, 서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재를 포함하고, 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 수직형 프로브 모듈을 제조하는 과정에서 상부 플레이트 상에 고정되어 설치되고, 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 서로 직교하여 이동할 수 있도록 가이드 홈 및 가이드 레일을 포함하고, 상기 상부 플레이트에 포함된 복수의 홀의 간격을 따라 이동하도록 형성되며, 상기 제1 축부재 및 상기 제2 축 부재의 양 끝단에는 상기 상부 플레이트 상에 고정될 수 있는 지지 부재가 설치된다.
본발명에 따르면 조립시간이 단축되어 프로브 모듈의 제조 비용이 절감될 수 있다.
본발명에 따르면 제조 과정에서 생길 수 있는 프로브 핀의 꺽임 현상을 원천 봉쇄하여 프로브 모듈의 제품 완성도를 높일 수 있다.
도 1a 내지 도 1d는 수직형 프로브 모듈의 단면도 및 조립 방법을 예시한다.
도 2a 내지 도 2h는 본발명의 일 실시예에 따른 수직형 프로브 모듈 및 그 제작 방법을 도시한다.
도 3은 본발명의 일 실시예에 따른 수직형 프로브 모듈의 제작 방법에 대한 순서도이다.
본 발명의 이점들과 특징들 그리고 이들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해 질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 본 실시예들은 단지 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려 주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 명세서에서 사용되는 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용되는 것으로 본 발명을 한정하려는 의도에서 사용된 것이 아니다. 예를 들어, 단수로 표현된 구성 요소는 문맥상 명백하게 단수만을 의미하지 않는다면 복수의 구성 요소를 포함하는 개념으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명의 명세서에서,'포함하다' 또는 '가지다' 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것일 뿐이고, 이러한 용어의 사용에 의해 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성이 배제되는 것은 아니다.
본 명세서에 기재된 실시예에 있어서 '모듈' 혹은 '부'는 적어도 하나의 기능이나 동작을 수행하는 기능적 부분을 의미하며, 하드웨어 또는 소프트웨어로 구현되거나 하드웨어와 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다. 또한, 복수의 '모듈' 혹은 복수의 '부'는 특정한 하드웨어로 구현될 필요가 있는 '모듈' 혹은 '부'를 제외하고는 적어도 하나의 모듈로 일체화되어 적어도 하나의 프로세서로 구현될 수 있다.
덧붙여, 다르게 정의되지 않는 한 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명한다. 다만, 이하의 설명에서는 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 우려가 있는 경우, 널리 알려진 기능이나 구성에 관한 구체적 설명은 생략하기로 한다.
도 2a 내지 도 2h는 본발명의 일 실시예에 따른 수직형 프로브 모듈, 그 제작 방법 및 장치를 도시한다.
도 2g는 수직형 프로브 모듈을 구성하는 하나의 프로브 핀(210)을 예시한다. 프로브 핀(210)은 하부 플레이트의 홀을 통과하는 팁(tip, 213), 하부 플레이트의 홀을 통과하는 헤드(head, 211) 및 헤브(211) 및 팁(213)을 연결하고 일정 곡률로 굽혀지는 연결부(215)를 포함할 수 있다. 연결부(215)는 팁(213)의 연장 방향과 일직선으로 연장되면서 헤드(211)부분을 향하면서 곡률 반경이 작아지면서 연장되는 곡선부로 구성되어 있어서 프로브 핀(210)이 헤드(211) 및 팁(213) 부분을 연장하는 일직선이 아니고 양 끝부분의 초점이 어긋나도록 형성되게끔 한다. 이러한 형상으로 인해 기존에 팁(213) 부분을 하부 플레이트의 홀에 먼저 삽입하여 고정한 상태에서 헤드(211)의 홀을 삽입, 고정시키는 것이 어려웠었다.
도 2b 내지 도 2f는 본발명의 일 실시예에 따른 수직형 프로브 모듈을 제작하는 방법을 도시한다. 먼저, 본발명에서는 도 2b에서 나타내는 바와 같이 프로브 고정 부재(222) 위에 복수의 홀을 가진 상부 플레이트(224)를 부착하고, 상부 플레이트(224)의 홀(225)에 프로브 핀(210)의 헤드(211)를 통과시켜 고정한다. 기존에 상부 플레이트를 마지막 단계에 적층하는 것과 순서가 다르게 프로브 핀(210)의 헤드(211) 부분부터 안정적으로 고정하도록 하기 위함이다. 헤드(211) 부분이 고정되면 프로브 핀(210)이 회전하거나 홀(225)로부터 이탈하는 현상을 방지할 수 있다. 프로브 고정 부재(222)는 아크릴 계 접착제 또는 접착 테이프를 이용하여 상부 플레이트(224)와 부착되고, 프로브 핀의 헤드(211)의 끝단을 부착하기 위한 용도이므로 수직형 프로브 모듈의 조립이 완료된 후에는 제거된다. 프로브 핀의 헤드(211) 상단의 평평한 면이 상부 플레이트(224)와 평행하기 때문에 프로브 핀의 헤브(211)가 상부 플레이트(224) 홀(225)로 진입하면서 접착 성분(223)에 의해 프로브 핀 헤드(211)의 평평한 면이 프로브 고정 부재(222) 표면에 붙게 되고 프로브 핀 헤드(211) 몸체는 상부 플레이트(224)의 홀(225이 지지해 주는 구조가 되어 프로브 핀(210)이 조립 초기 단계부터 더욱 안정적으로 고정될 수 있다.
다음에, 도 2c 에서 나타내는 바와 같이 복수의 프로브 핀의 정렬을 가이드하기 위한 가이드 부재(240)를 설치하고, 상부 플레이트(224)의 복수의 홀 각각의 위치를 기반으로 가이드 부재(240)의 가이드에 따라 수직형 프로브 모듈에 포함된 복수의 프로브 핀의 헤드를 상부 플레이트(224)의 복수의 홀 각각에 고정시킨다.
가이드 부재(240)는 서로 직교하는 제1 축 부재(241) 및 제2 축 부재(242)로 구성되고, 제1 축 부재(241) 및 제2 축 부재(242)는 서로 직교한 상태에서 이동하도록 가이드 홈(미도시) 및 가이드 레일(미도시)을 포함할 수 있다. 제1축 부재(241) 및 제2 축 부재(242)는 기판(미도시)에 부착되는 접합점(243, 244)에 의해 기판에 지지될 수 있고, 기판 및 가이드 부재(240)를 포함하여 본발명의 수직형 프로브 모듈 제조 장치(도 2h 참조)를 구성할 수 있다.
도 2c에서의 홀(225)에 프로브 핀의 헤드(211)의 고정이 끝나면 다음 홀(225-1)로 다른 프로브 핀을 삽입하기 위해 도 2d에서 나타내는 바와 같이 제2 축 부재(242)를 x 방향으로 이동시킬 수 있다. 제1,2 축 부재(241, 242)의 새로운 교차점 부근에 홀(225-1)의 프로브 핀 삽입이 용이하도록 위치시킨다.
이와 같이, 상부 플레이트(224)의 복수의 홀 각각의 위치에 제1 축 부재(241) 및 제2 축 부재(242)의 직교점을 순차적으로 이동시키면서 수직형 프로브 모듈에 포함된 복수의 프로브 핀의 헤드를 상부 플레이트(224)의 복수의 홀 각각에 고정되는 과정을 반복한다.
복수의 홀 모두에 대해 프로브 핀 고정이 완료되면, 상부 플레이트(224)에 고정된 복수의 프로브 핀의 팁이 통과되도록 복수의 홀을 갖는 가이드 필름(228)을 덮고 가이드 필름(228) 위에 하부 플레이트(230)를 덮는다(도 2e, 도 2f). 즉, 본발명에서는 프로브 핀(211)이 상부 플레이트(224)의 홀에 삽입, 안정적으로 고정된 상태에서, 수직형 프로브 모듈의 조립 마지막 단계에 프로브 핀(210)의 팁(213)이 가이드 필름(228) 및 하부 플레이트(230)를 통과함으로써 프로브 핀의 일부가 꺽이거나 누락될 가능성을 낮출 수 있다. 특히, 프로브 핀의 팁(213) 및 연결부(215)의 연결 각도가 일직선에 가깝에 완만하게 형성되기 때문에 가이드 필름(228) 및 하부 플레이트(230)의 홀에 프로브 핀의 팁(213)을 통과시키는 것이 더욱 수월해지고 정확해질 수 있다.
한편, 도면에서 도시하지 않았지만, 프로브 핀의 팁(213)을 가이드 필름(228) 및 하부 플레이트(230)의 홀에 삽입하는데 있어서 프로브 핀의 헤드(211)의 고정 작업에서와 같이 가이드 부재를 활용할 수도 있다.
하부 플레이트의 적층이 완료되면 수직형 프로브 모듈의 제작이 완료되었으므로 프로브 고정 부재(222)를 제거하는데, 아세톤 및 에탄올을 포함한 용해제를 이용하여 상부 플레이트(224)로부터 프로브 고정 부재(222)를 제거한다. 용해제가 있는 용액이 있는 용기에 고정 부재(222)가 부착된 수직형 프로브 모듈 일부를 넣고, 초음파 세척을 하여 제거할 수 있다.
본발명의 범위는 상술한 수직형 프로브 모듈 제작 방법에 의해 생성된 수직형 프로브 모듈에 대해서도 미칠 수 있다. 도 2f를 참조하면, 본발명의 수직형 프로브 모듈(200)은 프로브 고정 부재(222) 위에 접착 성분(223)에 의해 부착된 복수의 홀을 가진 상부 플레이트(224), 서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되며 상기 상부 플레이트(224)의 복수의 홀 각각의 위치를 기반으로 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재가 이동함에 따라 복수의 프로브 핀의 헤드 각각이 가이드되어 상부 플레이트의 복수의 홀에 고정되도록 조립되는 복수의 프로브 핀, 상부 플레이트(224)에 고정된 복수의 프로브 핀의 반대쪽 팁이 통과되도록 복수의 홀을 포함하는 가이드 필름(228), 가이드 필름 상에 적층되는 상부 플레이트(230)를 포함할 수 있다. 또한, 상부 플레이트(224) 및 가이드 필름(228) 사이에 중간 플레이트(226)를 더 포함할 수 있다. 접착 성분(223)은 프로브 고정 부재 표면에 미리 도포되어 상부 플레이트(224) 뿐만 아니라 프로브 핀(210)의 헤드(211) 면이 안정적으로 고정될 수 있도록 한다.
도 2h 는 상술한 가이드 부재(240)를 포함한 수직형 프로브 모듈 제조 장치의 단면을 도시한 도이다. 본발명에서는 수직형 가이드 모듈을 제조하는데 있어서 제조 기판(250) 및 가이드 부재(240)가 일체화된 제조 장치에 대해서도 제공할 수 있다. 가이드 부재(240)는 서로 직교하는 제1 축 부재(241) 및 제2 축 부재(242)로 구성되고, 제1 축 부재(241) 및 제2 축 부재(242)는 서로 직교한 상태에서 이동하도록 가이드 홈(미도시) 및 가이드 레일(미도시)을 각각 포함할 수 있다. 제1축 부재(241) 및 제2 축 부재(242)는 기판(250)에 부착되는 접합점(243, 244)에 의해 기판에 지지될 수 있고, 기판 및 가이드 부재(240)를 포함하여 본발명의 수직형 프로브 모듈 제조 장치(도 2h)를 구성할 수 있다. 즉, 수직형 프로브 모듈을 제조하는 장치는, 서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재를 포함하고, 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 수직형 프로브 모듈을 제조하는 과정에서 상부 플레이트(224) 상에 고정되어 설치되고, 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 서로 직교하여 이동할 수 있도록 가이드 홈 및 가이드 레일을 포함하고, 상기 상부 플레이트에 포함된 복수의 홀의 간격을 따라 이동하도록 형성되며, 제1 축부재 및 상기 제2 축 부재의 양 끝단에는 상기 상부 플레이트 상에 고정될 수 있는 지지 부재(미도시)가 설치될 수 있다. 지지 부재는 기판(250) 및 가이드 부재(240)를 접합시키는 접합점을 구성하여 아크릴계 접착제, 실리콘계 접착제, 수지 필름 또는 테이프로 구성될 수 있고, 기판(250)은 실리콘 또는 플라스틱의 합성 재질로 구성될 수 있다. 한편, 상부 플레이트(224)를 고정하기 위한 고정 부재(222)의 일부는 수직형 프로브 모듈 제조 장치의 기판(250)을 구성할 수도 있는 등 실시예는 다양하다.
도 3은 본발명의 일 실시예에 따른 수직형 프로브 모듈의 제작 방법에 대한 순서도이다.
단계(S310)에서 서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되는 가이드 부재를 복수의 홀을 가진 상부 플레이트 상에 설치한다.
단계(S320)에서 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 중 하나에 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 교차점을 위치시키고, 단계(S330)에서 복수의 홀 중 하나 및 상기 교차점을 따라 프로브 핀을 가이드시켜 상기 상부 플레이트의 홀에 삽입하여 고정한다.
상부 플레이트 홀 모두에 대하여 프로브 핀 고정이 완료되지 않은 경우(S340) 단계(S355)에서 상부 플레이트의 복수의 홀 중 비어 있는 홀의 위치에 따라 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 교차점을 이동시킨다. 상부 플레이트의 복수의 홀에 복수의 프로브 핀의 헤드가 모두 고정될 때까지 단계(S330) 및 단계(S355)를 반복한다.
상부 플레이트의 복수의 홀에 복수의 프로브 핀의 헤드가 모두 고정되면, 상부 플레이트에 고정된 복수의 프로브 핀의 팁이 통과되도록 복수의 홀을 갖는 가이드 필름을 덮고(S350), 가이드 필름 위에 상부 플레이트를 덮는다(S360).
단계(S370)에서 수직형 프로브 모듈의 조립이 완료되면 프로브 고정 부재를 제거한다.
본발명의 범위는 수직형 프로브 모듈을 제조하는 방법을 실행하는 어플리케이션, 프로그램을 포함하고, 해당 어플리케이션이나 프로그램이 판독가능한 기록 매체로 저장된 경우 해당 기록 매체에 대해서도 적용된다. 또한 본발명의 수직형 프로브 모듈을 제조하는 방법을 실행하는 컴퓨터, 노트북, 랩탑 컴퓨터,스마트폰, 핸드폰, 태블릿 PC에 대해서도 본발명의 범위가 포함될 수 있다.
본 명세서에 개시된 실시예들에 있어서, 도시된 구성 요소들의 배치는 발명이 구현되는 환경 또는 요구 사항에 따라 달라질 수 있다. 예컨대, 일부 구성 요소가 생략되거나 몇몇 구성 요소들이 통합되어 하나로 실시될 수 있다. 또한 일부 구성 요소들의 배치 순서 및 연결이 변경될 수 있다.
본 발명 및 그 다양한 기능적 구성 요소들은 특정 실시예들로 설명되었으나, 본 발명은 하드웨어, 소프트웨어, 펌웨어, 미들웨어 또는 이들의 조합으로 구현될 수 있으며, 시스템, 서브시스템, 구성 요소들 또는 이들의 서브 구성 요소들로 활용될 수 있음을 이해하여야 한다. 소프트웨어로 구현되는 경우, 본 발명의 요소들은 필요한 작업들을 수행하기 위한 명령어들/코드 세그먼트들이 될 수 있다. 프로그램 또는 코드 세그먼트들은 프로세서 판독가능 매체와 같은 머신 판독가능 매체, 컴퓨터 프로그램 제품 내에 저장될 수 있다. 머신 판독가능 매체 또는 프로세서 판독가능 매체는 머신(예컨대, 프로세서, 컴퓨터 등)에 의해 판독되고 실행 가능한 형태로 정보를 저장 또는 전송할 수 있는 임의의 매체를 포함할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 다양한 실시예들에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예들에 한정되지 아니하며, 상술한 실시예들은 첨부하는 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양하게 변형 실시될 수 있음은 물론이고, 이러한 변형 실시예들이 본 발명의 기술적 사상이나 범위와 별개로 이해되어져서는 아니 될 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 오직 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
100, 200 : 수직형 프로브 모듈
110, 210 : 프로브 핀
120, 230 : 하부 플레이트
122, 224 : 상부 플레이트
240 : 가이드 부재

Claims (10)

  1. 수직형 프로브 모듈을 제조하는 방법에 있어서,
    프로브 고정 부재 위에 복수의 홀을 가진 상부 플레이트를 부착하는 단계;
    복수의 프로브 핀의 정렬을 가이드하기 위한 가이드 부재를 설치하는 단계;
    상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치를 기반으로 상기 가이드 부재의 가이드에 따라 수직형 프로브 모듈에 포함된 복수의 프로브 핀의 헤드를 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각에 고정시키는 단계;
    상부 플레이트에 고정된 복수의 프로브 핀의 팁이 통과되도록 복수의 홀을 갖는 가이드 필름을 덮는 단계;
    상기 가이드 필름 위에 하부 플레이트를 덮는 단계 및
    상기 프로브 고정 부재를 제거하는 단계를 포함하고,
    상기 가이드 부재는 서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되고, 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 서로 직교한 상태에서 이동하도록 가이드 홈 및 가이드 레일을 포함하는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 고정 부재 위에 아크릴 계 접착제 또는 접착 테이프를 이용하여 상기 상부 플레이트를 부착하는 것을 더 포함하는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치에 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 직교점을 순차적으로 이동시키면서 수직형 프로브 모듈에 포함된 복수의 프로브 핀의 헤드를 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각에 고정시키는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법.
  5. 제2항에 있어서,
    수직형 프로브 모듈을 아세톤 및 에탄올을 포함한 용해제를 이용하여 상기 상부 플레이트로부터 상기 프로브 고정 부재를 제거하는 것을 더 포함하는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법.
  6. 제1항, 제2항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 따른 프로브 모듈의 제조 방법에 의해 제조된 수직형 프로브 모듈.
  7. 수직형 프로브 모듈에 있어서,
    프로브 고정 부재 위에 부착된 복수의 홀을 가진 상부 플레이트;
    서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되며 상기 상부 플레이트의 복수의 홀 각각의 위치를 기반으로 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재가 이동함에 따라 복수의 프로브 핀의 헤드 각각이 가이드되어 상기 상부 플레이트의 복수의 홀에 고정되도록 조립되는 복수의 프로브 핀;
    상기 상부 플레이트에 고정된 상기 복수의 프로브 핀의 반대쪽 팁이 통과되도록 복수의 홀을 포함하는 가이드 필름;
    상기 가이드 필름 상에 적층되는 상부 플레이트를 포함하는 수직형 프로브 모듈;
  8. 제7항에 있어서,
    상기 프로브 고정 부재는 아세톤 및 에탄올을 포함한 용해제를 이용하여 상기 상부 플레이트로부터 제거되는 수직형 프로브 모듈;
  9. 수직형 프로브 모듈을 제조하는 방법에 있어서,
    서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재로 구성되는 가이드 부재를 복수의 홀을 가진 상부 플레이트 상에 설치하는 제1 단계;
    상기 상부 플레이트의 복수의 홀 중 하나에 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 교차점을 위치시키는 제2 단계;
    상기 복수의 홀 중 하나 및 상기 교차점을 따라 프로브 핀을 가이드시켜 상기 상부 플레이트의 홀에 삽입하여 고정하는 제3 단계;
    상부 플레이트의 복수의 홀 중 비어 있는 홀의 위치에 따라 상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재의 교차점을 이동시키는 제4 단계;
    상기 상부 플레이트의 복수의 홀에 복수의 프로브 핀의 헤드가 모두 고정될 때까지 상기 제3 단계 및 상기 제4 단계를 반복하는 제5단계;
    상기 제5 단계 완료 후 상부 플레이트에 고정된 복수의 프로브 핀의 팁이 통과되도록 복수의 홀을 갖는 가이드 필름을 덮는 제6 단계; 및
    상기 가이드 필름 위에 상부 플레이트를 덮는 제7 단계를 포함하는 수직형 프로브 모듈의 제조 방법.
  10. 수직형 프로브 모듈을 제조하는 장치에 있어서,
    서로 직교하는 제1 축 부재 및 제2 축 부재를 포함하고,
    상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 수직형 프로브 모듈을 제조하는 과정에서 상부 플레이트 상에 고정되어 설치되고,
    상기 제1 축 부재 및 상기 제2 축 부재는 서로 직교하여 이동할 수 있도록 가이드 홈 및 가이드 레일을 포함하고, 상기 상부 플레이트에 포함된 복수의 홀의 간격을 따라 이동하도록 형성되며,
    상기 제1 축부재 및 상기 제2 축 부재의 양 끝단에는 상기 상부 플레이트 상에 고정될 수 있는 지지 부재가 설치되는 수직형 프로브 모듈 제조 장치.
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