WO2018168136A1 - プローブピンおよび検査ユニット - Google Patents

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WO2018168136A1
WO2018168136A1 PCT/JP2017/044908 JP2017044908W WO2018168136A1 WO 2018168136 A1 WO2018168136 A1 WO 2018168136A1 JP 2017044908 W JP2017044908 W JP 2017044908W WO 2018168136 A1 WO2018168136 A1 WO 2018168136A1
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WO
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coil spring
plunger
center line
along
probe pin
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Inventor
宏真 寺西
團野　幹史
貴浩 酒井
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オムロン株式会社
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R12/00—Structural associations of a plurality of mutually-insulated electrical connecting elements, specially adapted for printed circuits, e.g. printed circuit boards [PCB], flat or ribbon cables, or like generally planar structures, e.g. terminal strips, terminal blocks; Coupling devices specially adapted for printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures; Terminals specially adapted for contact with, or insertion into, printed circuits, flat or ribbon cables, or like generally planar structures
    • H01R12/50—Fixed connections
    • H01R12/51—Fixed connections for rigid printed circuits or like structures
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
    • H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
    • H01R13/02—Contact members
    • H01R13/22—Contacts for co-operating by abutting
    • H01R13/24—Contacts for co-operating by abutting resilient; resiliently-mounted

Definitions

  • This disclosure relates to a probe pin and an inspection unit using the same.
  • a continuity test and an operation characteristic test are generally performed in the manufacturing process. These inspections are performed using an inspection unit that accommodates probe pins in parallel, an FPC contact electrode for connecting to a main body board installed in an electronic component module, or an electrode portion such as a mounted board-to-board connector, This is done by connecting an inspection device.
  • Such probe pins include those described in Patent Document 1, for example.
  • This probe pin is arranged in series with the coil spring on both sides in the direction along the center line of the coil spring extending and contracting along the center line, and relative to the center line of the coil spring.
  • a first plunger and a second plunger arranged to be movable. The first plunger and the second plunger are inserted from both ends of the coil spring, and are slidably connected in a state of being orthogonal to each other inside the coil spring.
  • probe pins of inspection units used for inspection of electronic component modules are also required to support signals in a high frequency region.
  • the probe pin does not necessarily correspond sufficiently to the signal in the high frequency region, and the signal loss of the signal in the high frequency region that flows around the probe pin along the center line of the coil spring during the inspection of the electronic component module is large. There was a case.
  • an object of the present disclosure is to provide a probe pin that can reduce signal loss of a signal in a high-frequency region and an inspection unit using the probe pin.
  • the probe pin of one aspect of the present disclosure is: A coil spring that expands and contracts along the center line;
  • the coil springs are arranged in series with respect to the coil springs on both sides in the direction along the center line, and are arranged in electrical contact with each other and relatively movable along the center line.
  • a first plunger and a second plunger, With Each of the first plunger and the second plunger is A body portion extending along the center line; A contact provided on one end of the main body part and far from the coil spring of the main body part;
  • the coil spring is provided on the other end portion of the main body portion that is closer to the coil spring and is in contact with the end portion of the coil spring in the direction along the center line.
  • the coil spring wire has a flat cross-sectional shape along the center line; When the coil spring is compressed, the wire material of the coil spring having a flat cross-sectional shape approaches each other to form a transmission path for a signal flowing in the extending direction of the center line along the outer periphery of the coil spring. Is done.
  • the inspection unit includes: The probe pin of the aspect; The probe pin is accommodated in a state where the contact point of the first plunger and the contact point of the second plunger are located outside, and the first plunger and the second plunger are relatively moved along the center line.
  • the coil spring wire has a flat cross-sectional shape along the center line of the coil spring, and the coil spring wire has a flat cross-sectional shape when the coil spring is compressed.
  • the coil spring wire has a flat cross-sectional shape when the coil spring is compressed.
  • the probe pin of the aspect can reduce the signal loss of the signal in the high frequency region that flows around the probe pin along the center line of the coil spring when the electronic component module is inspected. For this reason, the inspection of the electronic component module can be performed with high accuracy.
  • FIG. 3 is a first schematic cross-sectional view for explaining a signal transmission path in the probe pin of FIG. 2.
  • FIG. 3 is a second schematic cross-sectional view for explaining a signal transmission path in the probe pin of FIG. 2.
  • Sectional drawing along the VI-VI line of FIG. The top view seen from the 2nd accommodating part side of the housing of the test
  • the probe pin 10 according to an embodiment of the present disclosure is used in a state of being accommodated in the housing 2 and constitutes the inspection unit 1 together with the housing 2.
  • 20 probe pins 10 are accommodated in the inspection unit 1.
  • each probe pin 10 is connected in series to the coil spring 20 on both sides of the coil spring 20 extending and contracting along the center line CL and the direction along the center line CL ⁇ b> 1 of the coil spring 20.
  • the 1st plunger 30 and the 2nd plunger 40 which are arrange
  • Each of the 1st plunger 30 and the 2nd plunger 40 is formed, for example by the electroforming method, and has electroconductivity.
  • each of the first plunger 30 and the second plunger 40 is formed in an elongated thin plate shape, and is arranged so that the plate surfaces (surfaces in the plate thickness direction) are substantially orthogonal to each other, and the inside of the coil spring 20. And are movably combined along the center line CL of the coil spring 20.
  • the first plunger 30 has an elongated plate-like first main body portion 31 and a first contact portion provided at one end portion in the longitudinal direction of the first main body portion 31 (upper end portion in FIG. 3). 32 and a holding portion 33 provided at an intermediate portion in the longitudinal direction of the first main body portion 31.
  • the first contact portion 32 has, for example, a substantially U shape that can be stably connected to a male connector (convex contact) of a board-to-board (BtoB) connector.
  • the holding portion 33 protrudes from the both side surfaces extending in the longitudinal direction of the first main body portion 31 in the short direction of the first main body portion 31.
  • Each holding portion 33 is in contact with the end portion 21 of the coil spring 20 closer to the first contact portion 32 and holds the coil spring 20 together with a holding portion 43 of the second plunger 40 described later.
  • first main body 31 has a pair of legs 34 and 35.
  • Each of the pair of leg portions 34 and 35 extends from the vicinity of the holding portion 33 to the other end portion in the longitudinal direction of the first main body portion 31 (the lower end portion in FIG. 3) along the center line CL of the coil spring 20. It extends substantially in parallel and can be bent in directions away from each other.
  • a contact projecting portion 351 projecting in a direction approaching each other is provided on the opposing surface of the distal end portion of one leg portion 35 of the pair of leg portions 34 and 35.
  • a projection 352 that protrudes toward the other leg 34 is provided in the middle of the one leg 35.
  • a pair of leg parts 34 and 35 are located inside the coil spring 20, and the contact protrusion part 351 is the inside.
  • the projection 352 is located in the through-hole 44 of the second plunger 40 described later inside the coil spring 20 and contacts the plate surface of the second main body 41 of the second plunger 40 described later inside the coil spring 20. ing.
  • a through hole 36 penetrating the first main body portion 31 in the plate thickness direction is provided.
  • the first contact portion 32 is easily elastically deformed, and the first contact portion 32 can be more adapted to the male connector of the board-to-board connector.
  • the second plunger 40 has an elongated plate-like second main body 41 and a second end provided in one end of the second main body 41 in the longitudinal direction (that is, the lower end in FIG. 3).
  • the contact portion 42 and the holding portion 43 provided in the intermediate portion in the longitudinal direction of the second main body portion 41 are provided.
  • the second contact portion 42 is provided at the lower end portion of the second main body portion 41, and has a substantially triangular shape in a plan view.
  • the holding portions 43 protrude from the both side surfaces extending in the longitudinal direction of the second main body portion 41 in the short direction of the second main body portion 41.
  • Each holding portion 43 is in contact with the end portion 22 on the side close to the second contact portion 42 of the coil spring 20 and holds the coil spring 20 together with the holding portion 33 of the first plunger 30.
  • the second body portion 41 is provided between the other end portion in the longitudinal direction of the second body portion 41 (that is, the upper end portion in FIG. 3) and the holding portion 43, and the second body portion 41 has a plate thickness. It has a through hole 44 penetrating in the direction.
  • the through hole 44 has a rectangular shape extending in the longitudinal direction of the second main body portion 41, and the protrusion 352 of the leg portion 35 of the first plunger 30 can be inserted therein.
  • the coil spring 20 has a flat cross-sectional shape in which the wire rod is along the center line CL.
  • the coil spring 20 is composed of a wire rod arranged such that the longitudinal direction of the flat cross-sectional shape is along the center line CL.
  • the wire rod of the coil spring 20 has a substantially rectangular cross-sectional shape in which the dimension D2 in the extending direction of the center line CL of the coil spring 20 is larger than the dimension D1 in the radial direction of the coil spring 20.
  • the outer surface of the wire rod of the coil spring 20 is provided with a flat surface 23 arranged in a straight line on a straight line L parallel to the center line CL of the coil spring 20 in a cross-sectional view.
  • the transmission path R ⁇ b> 1 is compared with the transmission path R ⁇ b> 2 of the signal flowing in the extending direction of the center line CL of the coil spring 120 along the outer periphery of the coil spring 120 of the probe pin 110 shown in FIG. 7. Becomes shorter. For this reason, the signal loss of the signal of the high frequency area
  • probe pin 110 in FIG. 7 has the same configuration as the probe pin 10 except for the coil spring 120.
  • a flat surface 23 arranged in a straight line on a straight line L parallel to the center line CL of the coil spring 20 in a cross-sectional view is provided on the outer surface of the wire rod of the coil spring 20.
  • the transmission path R1 is further shorter than the transmission path R2 of the probe pin 110 shown in FIG. For this reason, the signal loss of the signal of the high frequency area
  • the coil spring 20 only needs to have a flat cross-sectional shape along the center line CL of the coil spring 20, and the flat surface 23 on the outer surface of the coil spring 20 can be omitted. That is, the cross section of the wire rod of the coil spring 20 may be elliptical, for example.
  • FIG. 8 shows a state where no force is applied to the first contact part 32 and the second contact part 42 of the probe pin 10 (that is, a return state). 9 and 10, only the housing 2 is shown, and the probe pin 10 is omitted.
  • the housing 2 has a plurality of accommodating portions 3 arranged at intervals along the longitudinal direction of the housing 2. As shown in FIG. 8, each accommodating portion 3 is in a state where the first contact portion 32 of the first plunger 30 and the second contact portion 42 of the second plunger 40 of each probe pin 10 are exposed to the outside of the housing 2. One probe pin 10 is accommodated. Moreover, each accommodating part 3 is supporting the accommodated probe pin 10 so that the 1st plunger 30 and the 2nd plunger 40 can each move relatively along the centerline CL.
  • the housing 2 includes a first housing 50 and a second housing 60 that are stacked in two layers in the thickness direction.
  • Each accommodating portion 3 is formed so as to penetrate the first housing 50 and the second housing 60, but the hole shape constituting each accommodating portion 3 is different as follows.
  • the first housing 50 has a first through hole 51 as an example of a plurality of first accommodating portions extending in the vertical direction of FIG.
  • each first through hole 51 is viewed in the left-right direction (that is, in a cross section orthogonal to the center line CL) in FIG. 9 when viewed along the center line CL of the coil spring 20 (that is,
  • the portion on the first contact portion 32 side of the first main body portion 31 of the first plunger 30 has a rectangular shape that is longer in the vertical direction (that is, the left-right direction in FIG. 5) than the paper surface penetration direction in FIG. 8 is inserted so as to be movable in the vertical direction.
  • the second housing 60 has second through holes 61 as an example of a plurality of second accommodating portions extending in the vertical direction in FIG.
  • each second through hole 61 has a longitudinal direction of the first through hole 51 when viewed along the center line CL of the coil spring 20 (that is, in a cross section orthogonal to the center line CL).
  • the one end portion (that is, the upper end portion in FIG. 8) is connected to the first through hole 51.
  • each second through-hole 61 is accommodated so that the coil spring 20 can be expanded and contracted, and the first plunger 30 and the second plunger 40 are accommodated so as to be relatively movable in the vertical direction of FIG.
  • the first through hole 51 and the second through hole 61 constitute one accommodating portion 3.
  • the accommodating portion 3 can position the probe pin 10 with the first through hole 51 and the second through hole 61 while allowing relative movement of the probe pin 10 in the direction of the center line CL of the coil spring 20.
  • a force is applied to the first contact portion 32 and the second contact portion 42 of each probe pin 10 in the return state shown in FIG. 8 to push the first plunger 30 and the second plunger 40 into the housing portion 3 of the housing 2. .
  • the holding portion 33 of the first plunger 30 presses the coil spring 20 downward in FIG. 8, and the holding portion 43 of the second plunger 40 presses the coil spring 20 upward in FIG.
  • the coil spring 20 is further compressed along the inner wall of the second through hole 61 until the first contact portion 32 and the second contact portion 42 are generally accommodated in the accommodating portion 3.
  • the contact protrusion 351 of the leg portion 35 of the first plunger 30 slides on the plate surface of the main body portion 41 of the second plunger 40 while contacting the plate surface of the main body portion 41 of the second plunger 40.
  • the protrusion 352 of the leg portion 35 of the first plunger 30 is located in the through hole 44 of the second plunger 40 and moves along the through hole 44.
  • the probe pin 10 can reduce the signal loss of a signal in a high frequency region that flows around the probe pin 10 along the center line CL of the coil spring 20 when the electronic component module is inspected. For this reason, the inspection of the electronic component module can be performed with high accuracy.
  • first through hole 51 has a circular shape in a cross section orthogonal to the center line CL
  • second through hole 61 has a rectangular shape in a cross section orthogonal to the center line CL.
  • the first housing 50 and the second housing 60 are configured separately.
  • the first housing 50 and the second housing 60 can be formed of different materials.
  • the first housing 50 is made of an insulating film and the first through hole 51 is formed by laser cutting the film
  • the second housing 60 is made of an insulating resin
  • the first housing Compared with the case where 50 and the 2nd housing 60 are comprised with insulating resin, manufacturing cost can be reduced.
  • first housing 50 and the second housing 60 are not limited to being configured separately, and may be configured integrally. Thereby, the strength of the housing 2 can be increased.
  • the accommodating part 3 should just accommodate the probe pin 10, and is not restricted to the 1st through-hole 51 and the 2nd through-hole 61.
  • the probe pin 10 includes: A coil spring 20 extending and contracting along the center line CL;
  • the coil springs 20 are arranged in series with respect to the coil springs 20 on both sides in the direction along the center line CL, and are in electrical contact with each other and relatively along the center line CL.
  • the wire rod of the coil spring 20 has a flat cross-sectional shape along the center line CL; When the coil spring 20 is compressed, the wires of the coil spring 20 having a flat cross-sectional shape approach each other, and the signal flowing in the extending direction of the center line CL along the outer periphery of the coil spring 20 A transmission path R1 is formed.
  • the wire rod of the coil spring 20 has a flat cross-sectional shape along the center line CL of the coil spring 20, and the flat cross-sectional shape when the coil spring 20 is compressed.
  • the wire rods of the coil springs 20 having close to each other approach each other, and a signal transmission path R1 flowing in the extending direction of the center line CL of the coil springs 20 along the outer periphery of the coil springs 20 is formed.
  • the signal transmission path R1 in the high frequency region flowing around the probe pin 10 along the center line CL is shortened. Signal loss can be reduced.
  • the probe pin 10 of the second aspect of the present disclosure is: On the outer surface of the wire rod of the coil spring 20, there is provided a flat surface 23 that is arranged in a straight line in a sectional view.
  • Signal path can be reduced more reliably by shortening the transmission path R1.
  • the inspection unit 1 includes: The probe pin 10 is accommodated in a state in which the contact portion 32 of the first plunger 30 and the contact portion 42 of the second plunger 40 are located outside, and the first plunger 30 and the second plunger 40 are Housings 50 and 60 having receiving portions 51 and 61 for supporting the probe pin 10 so as to be relatively movable along the center line CL, Is provided.
  • the probe pin 10 of the above aspect reduces the signal loss of the signal in the high frequency region that flows around the probe pin 10 along the center line CL when the electronic component module is inspected. it can. For this reason, the inspection of the electronic component module can be performed with high accuracy.
  • the inspection unit 1 includes: The main body 31 of the first plunger 30 and the main body 41 of the second plunger 40 have a plate shape,
  • the accommodating portions 51, 61 have a circular shape in a cross section orthogonal to the center line CL, and a first accommodating portion 51 that accommodates the coil spring 20, and a rectangular shape in a cross section orthogonal to the center line CL.
  • a second accommodating portion 61 that accommodates the main portion 31 of the first plunger 30 or the main portion 41 of the second plunger 40.
  • the probe pin 10 can be easily accommodated in the accommodating portions 51 and 61 and can be accurately positioned.
  • the inspection unit 1 includes: The said 1st accommodating part 51 and the said 2nd accommodating part 61 are comprised separately.
  • the first housing 50 and the second housing 60 can be formed of different materials, and the manufacturing cost can be reduced.
  • the inspection unit 1 includes: The first housing part 51 and the second housing part 61 are integrally formed.
  • the strength of the housings 50 and 60 can be increased.
  • the probe pin of the present disclosure can be applied to an inspection unit used for inspection of a camera or a liquid crystal panel, for example.
  • the inspection unit of the present disclosure can be used for inspection of a camera or a liquid crystal panel, for example.

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Abstract

中心線に沿って伸縮するコイルばねと、コイルばねの中心線に沿った方向の両側にそれぞれコイルばねに対して直列的に配置されている第１プランジャおよび第２プランジャと、を備える。コイルばねの線材が、中心線に沿って扁平な断面形状を有しており、コイルばねを圧縮したときに、扁平な断面形状を有するコイルばねの線材が相互に接近して、コイルばねの外周に沿って中心線の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される。

Description

プローブピンおよび検査ユニット
　本開示は、プローブピンおよびこれを用いた検査ユニットに関する。
　カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを並列に収容した検査ユニットを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極あるいは実装された基板対基板コネクタ等の電極部と、検査装置とを接続することにより行われる。
　このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、中心線に沿って伸縮するコイルばねと、コイルばねの中心線に沿った方向の両側にそれぞれ前記コイルばねに対して直列的に配置され、コイルばねの中心線に沿って相対的に移動可能に配置された第１プランジャおよび第２プランジャとを備えている。第１プランジャおよび第２プランジャは、コイルばねの両端部からそれぞれ挿入され、コイルばねの内部で互いに直交した状態で摺動可能に連結されている。
特開２０１５－４０７３４号公報
　近年、電子部品モジュール間で送受信される情報量の増大などに伴って、電子部品モジュールの検査に用いる検査ユニットのプローブピンにも高周波領域の信号に対応することが要請されている。
　前記プローブピンでは、高周波領域の信号に必ずしも十分に対応できているとはいえず、電子部品モジュールの検査時にプローブピンまわりをコイルばねの中心線に沿って流れる高周波領域の信号の信号損失が大きくなる場合があった。
　そこで、本開示は、高周波領域の信号の信号損失を低減できるプローブピンおよびこのプローブピンを用いた検査ユニットを提供することを課題とする。
　本開示の一態様のプローブピンは、
　中心線に沿って伸縮するコイルばねと、
　前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の両側にそれぞれ前記コイルばねに対して直列的に配置されていると共に、互いに電気的に接触しかつ前記中心線に沿って相対的に移動可能に配置された第１プランジャおよび第２プランジャと、
を備え、
　前記第１プランジャおよび第２プランジャの各々が、
　前記中心線に沿って延びている本体部と、
　前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねから遠い方の一端部に設けられた接点と、
　前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねに近い方の他端部に設けられていると共に、前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の端部に接触して前記コイルばねを保持する保持部と、
を有し、
　前記コイルばねの線材が、前記中心線に沿って扁平な断面形状を有しており、
　前記コイルばねを圧縮したときに、扁平な断面形状を有する前記コイルばねの線材が相互に接近して、前記コイルばねの外周に沿って前記中心線の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される。
　また、本開示の一態様の検査ユニットは、
　前記態様のプローブピンと、
　前記第１プランジャの前記接点および前記第２プランジャの前記接点が外部に位置した状態で前記プローブピンを収容し、かつ、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャを前記中心線に沿って相対的に移動可能にそれぞれ支持する収容部を有するハウジングと、
を備える。
　前記態様のプローブピンによれば、コイルばねの線材がコイルばねの中心線に沿って扁平な断面形状を有しており、コイルばねを圧縮したときに、扁平な断面形状を有するコイルばねの線材が相互に接近して、コイルばねの外周に沿ってコイルばねの中心線の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される。これにより、プローブピンまわりをコイルばねの中心線に沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。
　また、前記態様の検査ユニットによれば、前記態様のプローブピンによって、電子部品モジュールの検査時にプローブピンまわりをコイルばねの中心線に沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。このため、電子部品モジュールの検査を高い精度で行うことができる。
本開示の第１実施形態のプローブピンを備えた検査ユニットの斜視図。 本開示の第１実施形態のプローブピンの斜視図。 図２のプローブピンの分解斜視図。 図２のIV-IV線に沿った断面図。 図４の部分拡大図。 図２のプローブピンにおける信号の伝送経路を説明するための第１の断面模式図。 図２のプローブピンにおける信号の伝送経路を説明するための第２の断面模式図。 図１のVI-VI線に沿った断面図。 図１の検査ユニットのハウジングの第２収容部側から見た平面図。 図１の検査ユニットのハウジングの第１収容部側から見た平面図。
　以下、本開示の一実施形態を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。
　本開示の一実施形態のプローブピン１０は、例えば、図１に示すように、ハウジング２に収容された状態で使用され、ハウジング２と共に検査ユニット１を構成する。この検査ユニット１には、一例として２０本のプローブピン１０が収容されている。
　各プローブピン１０は、図２に示すように、中心線ＣＬに沿って伸縮するコイルばね２０と、コイルばね２０の中心線ＣＬ１に沿った方向の両側にそれぞれコイルばね２０に対して直列的に配置された第１プランジャ３０および第２プランジャ４０とを備えている。第１プランジャ３０および第２プランジャ４０の各々は、例えば電鋳法で形成され、導電性を有している。また、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０の各々は、細長い薄板状に構成され、各々の板面（板厚方向の面）が略直交するように配置されていると共に、コイルばね２０の内部で接触し、かつ、コイルばね２０の中心線ＣＬに沿って相対的に移動可能に組み合わされている。
　第１プランジャ３０は、図３に示すように、細長い板状の第１本体部３１と、第１本体部３１の長手方向の一端部（図３の上端部）に設けられた第１接点部３２と、第１本体部３１の長手方向の中間部に設けられた保持部３３とを有している。
　第１接点部３２は、例えば、基板対基板（ＢｔｏＢ）コネクタの雄側のコネクタ（凸接点）に安定して接続可能な略Ｕ字形状を有している。また、保持部３３は、第１本体部３１の長手方向に延びる両側面から第１本体部３１の短手方向にそれぞれ突出している。各保持部３３は、コイルばね２０の第１接点部３２に近い側の端部２１に接触して、後述する第２プランジャ４０の保持部４３と共にコイルばね２０を保持している。
　また、第１本体部３１は、一対の脚部３４、３５を有している。一対の脚部３４、３５の各々は、保持部３３の近傍から第１本体部３１の長手方向の他端部（図３の下端部）まで、コイルばね２０の中心線ＣＬに沿って相互に略平行に延び、かつ、互いに離れる方向に撓み可能になっている。
　一対の脚部３４、３５の一方の脚部３５の先端部の対向面には、相互に接近する方向に突出している接触突出部３５１が設けられている。また、この一方の脚部３５の中間部には、他方の脚部３４に向かって突出する突起部３５２が設けられている。
　なお、図４に示すように、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とを組み合わせた状態において、一対の脚部３４、３５は、コイルばね２０の内部に位置しており、接触突出部３５１が、コイルばね２０の内部で後述する第２プランジャ４０の第２本体部４１の板面に接触し、突起部３５２が、コイルばね２０の内部で後述する第２プランジャ４０の貫通孔４４に位置している。
　また、第１本体部３１の第１接点部３２の近傍には、第１本体部３１をその板厚方向に貫通する貫通孔３６が設けられている。この貫通孔３６により、第１接点部３２が弾性変形し易くなり、基板対基板コネクタの雄側のコネクタに第１接点部３２をより適合させることが可能になっている。
　第２プランジャ４０は、図３に示すように、細長い板状の第２本体部４１と、第２本体部４１の長手方向の一端部（すなわち、図３の下端部）に設けられた第２接点部４２と、第２本体部４１の長手方向の中間部に設けられた保持部４３とを有している。
　第２接点部４２は、第２本体部４１の下端部に設けられ、板面視において略三角形状を有している。また、保持部４３は、第２本体部４１の長手方向に延びる両側面から第２本体部４１の短手方向にそれぞれ突出している。各保持部４３は、コイルばね２０の第２接点部４２に近い側の端部２２に接触して、第１プランジャ３０の保持部３３と共にコイルばね２０を保持している。
　また、第２本体部４１は、第２本体部４１の長手方向の他端部（すなわち、図３の上端部）と保持部４３との間に設けられ、第２本体部４１をその板厚方向に貫通する貫通孔４４を有している。この貫通孔４４は、第２本体部４１の長手方向に延びる矩形状を有し、第１プランジャ３０の脚部３５の突起部３５２が挿入可能になっている。
　なお、図４に示すように、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とを組み合わせた状態において、第２本体部４１の板面と、第１プランジャ３０の脚部３５の接触突出部３５１とが、第２接点部４２と貫通孔４４との間で接触している。
　次に、コイルばね２０について、より詳細に説明する。
　図５に示すように、コイルばね２０は、その線材が中心線ＣＬに沿って扁平な断面形状を有している。言い換えれば、コイルばね２０は、扁平な断面形状の長手方向が中心線ＣＬに沿うように配置された線材で構成されている。詳しくは、コイルばね２０の線材は、コイルばね２０の径方向における寸法Ｄ１よりもコイルばね２０の中心線ＣＬの延在方向の寸法Ｄ２の方が大きくなった略矩形の断面形状を有している。コイルばね２０の線材の外面には、断面視において、コイルばね２０の中心線ＣＬに平行な直線Ｌ上に一直線に配置された平坦面２３が設けられている。
　コイルばね２０を中心線ＣＬに沿って圧縮すると、図６に示すように、扁平な断面形状を有するコイルばね２０の線材が相互に接近して、コイルばね２０の外周に沿ってコイルばね２０の中心線ＣＬの延在方向に流れる信号の伝送経路Ｒ１が形成される。前記プローブピン１０では、コイルばね２０の線材が中心線ＣＬに沿って扁平な断面形状を有しているので、図７に示す線材が断面円形状のコイルばね１２０を備えたプローブピン１１０と比べて、コイルばね２０の中心線ＣＬ方向における各線材間の隙間Ｄ３（図５に示す）が小さくなる。
　このため、前記プローブピン１０では、図７に示すプローブピン１１０のコイルばね１２０の外周に沿ってコイルばね１２０の中心線ＣＬの延在方向に流れる信号の伝送経路Ｒ２と比べて、伝送経路Ｒ１が短くなる。このため、プローブピン１０まわりをコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。
　なお、図７のプローブピン１１０は、コイルばね１２０を除いて、プローブピン１０と同一の構成備えているとする。
　また、前記プローブピン１０では、コイルばね２０の線材の外面に、断面視において、コイルばね２０の中心線ＣＬに平行な直線Ｌ上に一直線に配置された平坦面２３が設けられている。これにより、図７に示すプローブピン１１０の伝送経路Ｒ２よりも伝送経路Ｒ１がさらに短くなる。このため、プローブピン１０まわりをコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って流れる高周波領域の信号の信号損失をさらに低減できる。
　なお、コイルばね２０は、その線材がコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って扁平な断面形状を有していればよく、コイルばね２０の線材の外面の平坦面２３については、省略できる。すなわち、コイルばね２０の線材の断面は、例えば、楕円形状であってもよい。
　次に、図１および図８～図１０を参照して、検査ユニット１について説明する。
　なお、図８は、プローブピン１０の第１接点部３２および第２接点部４２に力が加えられていない状態（すなわち、復帰状態）を示している。また、図９および図１０では、ハウジング２のみを示し、プローブピン１０を省略している。
　ハウジング２は、図１に示すように、ハウジング２の長手方向に沿って間隔を空けて配置された複数の収容部３を有している。各収容部３は、図８に示すように、各プローブピン１０の第１プランジャ３０の第１接点部３２と第２プランジャ４０の第２接点部４２とがハウジング２の外部に露出した状態で、１個のプローブピン１０を収容している。また、各収容部３は、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とがそれぞれ中心線ＣＬに沿って相対的に移動可能に、収容されたプローブピン１０を支持している。
　また、ハウジング２は、厚み方向に２層積み重ねられた第１ハウジング５０および第２ハウジング６０で構成されている。各収容部３は、第１ハウジング５０および第２ハウジング６０を貫通して形成されているが、各収容部３を構成する孔形状は、以下のように異なっている。
　第１ハウジング５０は、図８の上下方向に延びる複数の第１収容部の一例の第１貫通孔５１を有している。各第１貫通孔５１は、図９に示すように、コイルばね２０の中心線ＣＬに沿って見たときに（すなわち、中心線ＣＬに直交する断面において）、図９の左右方向（すなわち、図５の紙面貫通方向）よりも上下方向（すなわち、図５の左右方向）に細長い矩形状を有し、第１プランジャ３０の第１本体部３１の第１接点部３２側の部分が、図８の上下方向に移動可能に挿入されている。
　第２ハウジング６０は、図８の上下方向に延びる複数の第２収容部の一例の第２貫通孔６１を有している。各第２貫通孔６１は、図１０に示すように、コイルばね２０の中心線ＣＬに沿って見たときに（すなわち、中心線ＣＬに直交する断面において）、第１貫通孔５１の長手方向の長さと略同じ直径の略円形状を有し、その一端部（すなわち、図８の上端部）が第１貫通孔５１に接続されている。また、各第２貫通孔６１は、コイルばね２０が伸縮可能に収容され、かつ、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０が図８の上下方向に相対的に移動可能に収容されている。
　このように、第１貫通孔５１および第２貫通孔６１で１つの収容部３を構成している。この収容部３は、プローブピン１０のコイルばね２０の中心線ＣＬ方向への相対移動を許容しつつ、第１貫通孔５１と第２貫通孔６１とでプローブピン１０を位置決めできる。
　続いて、ハウジング２に収容されたプローブピン１０の動作について説明する。
　図８に示す復帰状態の各プローブピン１０の第１接点部３２および第２接点部４２に力を加えて、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０をハウジング２の収容部３内に押し込んでいく。すると、第１プランジャ３０の保持部３３がコイルばね２０を図８の下向きに押圧し、第２プランジャ４０の保持部４３がコイルばね２０を図８の上向きに押圧する。これにより、コイルばね２０は、第２貫通孔６１の内壁に沿って、第１接点部３２および第２接点部４２が収容部３内に大凡収容されるまで、さらに圧縮される。
　このとき、第１プランジャ３０の脚部３５の接触突出部３５１は、第２プランジャ４０の本体部４１の板面上に接触しつつ、第２プランジャ４０の本体部４１の板面上を摺動する。また、第１プランジャ３０の脚部３５の突起部３５２は、第２プランジャ４０の貫通孔４４に位置して、貫通孔４４に沿って移動する。
　また、各プローブピン１０の第１接点部３２および第２接点部４２に加えられた力を解放すると、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０は、コイルばね２０の付勢力により、図８に示す復帰状態に復帰する。
　前記検査ユニット１によれば、プローブピン１０によって、電子部品モジュールの検査時にプローブピン１０まわりをコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。このため、電子部品モジュールの検査を高い精度で行うことができる。
　また、第１貫通孔５１が、中心線ＣＬに直交する断面において円形状を有し、第２貫通孔６１が、中心線ＣＬに直交する断面において矩形状を有している。このため、各プローブピン１０を対応する収容部３に容易に収容でき、かつ、正確に位置決めすることができる。
　なお、前記検査ユニット１では、第１ハウジング５０および第２ハウジング６０（すなわち、第１貫通孔５１および第２貫通孔６１）が、別体に構成されている。このように、第１ハウジング５０と第２ハウジング６０とを別体に構成することで、例えば、第１ハウジング５０と第２ハウジング６０とをそれぞれ異なる材料で形成することができる。例えば、第１ハウジング５０を絶縁性のフィルムで構成し、このフィルムをレーザーカットすることにより第１貫通孔５１を形成すると共に、第２ハウジング６０を絶縁性の樹脂で構成した場合、第１ハウジング５０および第２ハウジング６０を絶縁性の樹脂で構成した場合と比べて、製造コストを低減できる。
　また、第１ハウジング５０および第２ハウジング６０（すなわち、第１貫通孔５１および第２貫通孔６１）は、別体に構成する場合に限らず、一体に構成してもよい。これにより、ハウジング２の強度を高めることができる。
　また、収容部３は、プローブピン１０を収容できればよく、第１貫通孔５１および第２貫通孔６１に限らない。
　以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。
　本開示の第１態様のプローブピン１０は、
　中心線ＣＬに沿って伸縮するコイルばね２０と、
　前記コイルばね２０の前記中心線ＣＬに沿った方向の両側にそれぞれ前記コイルばね２０に対して直列的に配置されていると共に、互いに電気的に接触しかつ前記中心線ＣＬに沿って相対的に移動可能に配置された第１プランジャ３０および第２プランジャ４０と、
を備え、
　前記第１プランジャ３０および第２プランジャ４０の各々が、
　前記中心線ＣＬに沿って延びている本体部３１、４１と、
　前記中心線ＣＬ上でかつ前記本体部３１、４１の前記コイルばね２０から遠い方の一端部に設けられた接点部３２、４２と、
　前記中心線ＣＬ上でかつ前記本体部３１、４１の前記コイルばね２０に近い方の他端部に設けられていると共に、前記コイルばね２０の前記中心線ＣＬに沿った方向の端部に接触して前記コイルばね２０を保持する保持部３３、４３と、
を有し、
　前記コイルばね２０の線材が、前記中心線ＣＬに沿って扁平な断面形状を有しており、
　前記コイルばね２０を圧縮したときに、扁平な断面形状を有する前記コイルばね２０の線材が相互に接近して、前記コイルばね２０の外周に沿って前記中心線ＣＬの延在方向に流れる信号の伝送経路Ｒ１が形成される。
　第１態様のプローブピン１０によれば、コイルばね２０の線材がコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って扁平な断面形状を有しており、コイルばね２０を圧縮したときに、扁平な断面形状を有するコイルばね２０の線材が相互に接近して、コイルばね２０の外周に沿ってコイルばね２０の中心線ＣＬの延在方向に流れる信号の伝送経路Ｒ１が形成される。これにより、例えば、線材断面が円形状のコイルばねを備えたプローブピンと比較して、プローブピン１０まわりをコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って流れる高周波領域の信号の伝送経路Ｒ１を短くして、信号損失を低減できる。
　本開示の第２態様のプローブピン１０は、
　前記コイルばね２０の線材の外面に、断面視において一直線上に配置された平坦面２３が設けられている。
　第２態様のプローブピン１０によれば、例えば、線材断面が円形状のコイルばねを備えたプローブピンと比較して、プローブピン１０まわりをコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って流れる高周波領域の信号の伝送経路Ｒ１をより短くして、信号損失をより確実に低減できる。
　本開示の第３態様の検査ユニット１は、
　前記第１プランジャ３０の前記接点部３２および前記第２プランジャ４０の前記接点部４２が外部に位置した状態で前記プローブピン１０を収容し、かつ、前記第１プランジャ３０および前記第２プランジャ４０がそれぞれ前記中心線ＣＬに沿って相対的に移動可能に前記プローブピン１０を支持する収容部５１、６１を有するハウジング５０、６０と、
を備える。
　第３態様の検査ユニット１によれば、前記態様のプローブピン１０によって、電子部品モジュールの検査時にプローブピン１０まわりをコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。このため、電子部品モジュールの検査を高い精度で行うことができる。
　本開示の第４態様の検査ユニット１は、
　前記第１プランジャ３０の前記本体部３１および前記第２プランジャ４０の前記本体部４１が、板状を有し、
　前記収容部５１、６１が、前記中心線ＣＬに直交する断面において円形状を有しかつ前記コイルばね２０を収容する第１収容部５１と、前記中心線ＣＬに直交する断面において四角形状を有しかつ前記第１プランジャ３０の前記本体部３１または前記第２プランジャ４０の前記本体部４１を収容する第２収容部６１とを有する。
　第４態様の検査ユニット１によれば、プローブピン１０を収容部５１、６１に容易に収容できかつ正確に位置決めできる。
　本開示の第５態様の検査ユニット１は、
　前記第１収容部５１と前記第２収容部６１とが別体に構成されている。
　第５態様の検査ユニット１によれば、例えば、第１ハウジング５０と第２ハウジング６０とをそれぞれ異なる材料で形成することができ、製造コストを低減できる。
　本開示の第６態様の検査ユニット１は、
　前記第１収容部５１と前記第２収容部６１とが一体に構成されている。
　第６態様の検査ユニット１によれば、ハウジング５０、６０の強度を高めることができる。
　なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。
　本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
　本開示のプローブピンは、例えば、カメラあるいは液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。
　また、本開示の検査ユニットは、例えば、カメラあるいは液晶パネルの検査に用いることができる。
１　検査ユニット
１０　プローブピン
２０　コイルばね
２１、２２　端部
２３　平坦面
３０　第１プランジャ
３１　第１本体部
３２　第１接点部
３３　保持部
３４、３５　脚部
３５１　接触突出部
３５２　突起部
３６　貫通孔
４０　第２プランジャ
４１　第２本体部
４２　第２接点部
４３　保持部
４４　貫通孔
５０　第１ハウジング
５１　第１貫通孔（第１収容部の一例）
６０　第２ハウジング
６１　第２貫通孔（第２収容部の一例）
ＣＬ　中心線
Ｌ　直線
Ｒ１、Ｒ２　伝送経路

Claims (6)

  1. 　中心線に沿って伸縮するコイルばねと、
    　前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の両側にそれぞれ前記コイルばねに対して直列的に配置されていると共に、互いに電気的に接触しかつ前記中心線に沿って相対的に移動可能に配置された第１プランジャおよび第２プランジャと、
    を備え、
    　前記第１プランジャおよび第２プランジャの各々が、
    　前記中心線に沿って延びている本体部と、
    　前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねから遠い方の一端部に設けられた接点部と、
    　前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねに近い方の他端部に設けられていると共に、前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の端部に接触して前記コイルばねを保持する保持部と、
    を有し、
    　前記コイルばねの線材が、前記中心線に沿って扁平な断面形状を有しており、
    　前記コイルばねを圧縮したときに、扁平な断面形状を有する前記コイルばねの線材が相互に接近して、前記コイルばねの外周に沿って前記中心線の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される、プローブピン。
  2. 　前記コイルばねの線材の外面に、断面視において一直線上に配置された平坦面が設けられている、請求項１に記載のプローブピン。
  3. 　請求項１または２に記載のプローブピンと、
    　前記第１プランジャの前記接点部および前記第２プランジャの前記接点部が外部に位置した状態で前記プローブピンを収容し、かつ、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャがそれぞれ前記中心線に沿って相対的に移動可能に前記プローブピンを支持する収容部を有するハウジングと、
    を備える、検査ユニット。
  4. 　前記第１プランジャの前記本体部および前記第２プランジャの前記本体部が、板状を有し、
    　前記収容部が、前記中心線に直交する断面において円形状を有しかつ前記コイルばねを収容する第１収容部と、前記中心線に直交する断面において四角形状を有しかつ前記第１プランジャの前記本体部または前記第２プランジャの前記本体部を収容する第２収容部とを有する、請求項３に記載の検査ユニット。
  5. 　前記第１収容部と前記第２収容部とが別体に構成されている、請求項４に記載の検査ユニット。
  6. 　前記第１収容部と前記第２収容部とが一体に構成されている、請求項４に記載の検査ユニット。
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