JP2018151316A - プローブピンおよび検査ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】高周波領域の信号の信号損失を低減できるプローブピンを提供すること。【解決手段】中心線（ＣＬ）に沿って伸縮するコイルばね（２０）と、コイルばね（２０）の中心線（ＣＬ）に沿った方向の両側にそれぞれコイルばね（２０）に対して直列的に配置されている第１プランジャおよび第２プランジャと、を備える。コイルばね（２０）の線材が、中心線（ＣＬ）に沿って扁平な断面形状を有しており、コイルばね（２０）を圧縮したときに、扁平な断面形状を有するコイルばね（２０）の線材が相互に接近して、コイルばね（２０）の外周に沿って中心線（ＣＬ）の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される。【選択図】図５

Description

本発明は、プローブピンおよびこれを用いた検査ユニットに関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを並列に収容した検査ユニットを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極あるいは実装された基板対基板コネクタ等の電極部と、検査装置とを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、中心線に沿って伸縮するコイルばねと、コイルばねの中心線に沿った方向の両側にそれぞれ前記コイルばねに対して直列的に配置され、コイルばねの中心線に沿って相対的に移動可能に配置された第１プランジャおよび第２プランジャとを備えている。第１プランジャおよび第２プランジャは、コイルばねの両端部からそれぞれ挿入され、コイルばねの内部で互いに直交した状態で摺動可能に連結されている。

特開２０１５−４０７３４号公報

近年、電子部品モジュール間で送受信される情報量の増大などに伴って、電子部品モジュールの検査に用いる検査ユニットのプローブピンにも高周波領域の信号に対応することが要請されている。

前記プローブピンでは、高周波領域の信号に必ずしも十分に対応できているとはいえず、電子部品モジュールの検査時にプローブピンまわりをコイルばねの中心線に沿って流れる高周波領域の信号の信号損失が大きくなる場合があった。

そこで、本発明は、高周波領域の信号の信号損失を低減できるプローブピンおよびこのプローブピンを用いた検査ユニットを提供することを課題とする。

本発明の一態様のプローブピンは、
中心線に沿って伸縮するコイルばねと、
前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の両側にそれぞれ前記コイルばねに対して直列的に配置されていると共に、互いに電気的に接触しかつ前記中心線に沿って相対的に移動可能に配置された第１プランジャおよび第２プランジャと、
を備え、
前記第１プランジャおよび第２プランジャの各々が、
前記中心線に沿って延びている本体部と、
前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねから遠い方の一端部に設けられた接点と、
前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねに近い方の他端部に設けられていると共に、前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の端部に接触して前記コイルばねを保持する保持部と、
を有し、
前記コイルばねの線材が、前記中心線に沿って扁平な断面形状を有しており、
前記コイルばねを圧縮したときに、扁平な断面形状を有する前記コイルばねの線材が相互に接近して、前記コイルばねの外周に沿って前記中心線の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される。

また、本発明の一態様の検査ユニットは、
前記態様のプローブピンと、
前記第１プランジャの前記接点および前記第２プランジャの前記接点が外部に位置した状態で前記プローブピンを収容し、かつ、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャを前記中心線に沿って相対的に移動可能にそれぞれ支持する収容部を有するハウジングと、
を備える。

前記態様のプローブピンによれば、コイルばねの線材がコイルばねの中心線に沿って扁平な断面形状を有しており、コイルばねを圧縮したときに、扁平な断面形状を有するコイルばねの線材が相互に接近して、コイルばねの外周に沿ってコイルばねの中心線の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される。これにより、プローブピンまわりをコイルばねの中心線に沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。

また、前記態様の検査ユニットによれば、前記態様のプローブピンによって、電子部品モジュールの検査時にプローブピンまわりをコイルばねの中心線に沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。このため、電子部品モジュールの検査を高い精度で行うことができる。

本発明の第１実施形態のプローブピンを備えた検査ユニットの斜視図。 本発明の第１実施形態のプローブピンの斜視図。 図２のプローブピンの分解斜視図。 図２のIV-IV線に沿った断面図。 図４の部分拡大図。 図２のプローブピンにおける信号の伝送経路を説明するための第１の断面模式図。 図２のプローブピンにおける信号の伝送経路を説明するための第２の断面模式図。 図１のVI-VI線に沿った断面図。 図１の検査ユニットのハウジングの第２収容部側から見た平面図。 図１の検査ユニットのハウジングの第１収容部側から見た平面図。

以下、本発明の一実施形態を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本発明の一実施形態のプローブピン１０は、例えば、図１に示すように、ハウジング２に収容された状態で使用され、ハウジング２と共に検査ユニット１を構成する。この検査ユニット１には、一例として２０本のプローブピン１０が収容されている。

各プローブピン１０は、図２に示すように、中心線ＣＬに沿って伸縮するコイルばね２０と、コイルばね２０の中心線ＣＬ１に沿った方向の両側にそれぞれコイルばね２０に対して直列的に配置された第１プランジャ３０および第２プランジャ４０とを備えている。第１プランジャ３０および第２プランジャ４０の各々は、例えば電鋳法で形成され、導電性を有している。また、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０の各々は、細長い薄板状に構成され、各々の板面（板厚方向の面）が略直交するように配置されていると共に、コイルばね２０の内部で接触し、かつ、コイルばね２０の中心線ＣＬに沿って相対的に移動可能に組み合わされている。

第１プランジャ３０は、図３に示すように、細長い板状の第１本体部３１と、第１本体部３１の長手方向の一端部（図３の上端部）に設けられた第１接点部３２と、第１本体部３１の長手方向の中間部に設けられた保持部３３とを有している。

第１接点部３２は、例えば、基板対基板（ＢｔｏＢ）コネクタの雄側のコネクタ（凸接点）に安定して接続可能な略Ｕ字形状を有している。また、保持部３３は、第１本体部３１の長手方向に延びる両側面から第１本体部３１の短手方向にそれぞれ突出している。各保持部３３は、コイルばね２０の第１接点部３２に近い側の端部２１に接触して、後述する第２プランジャ４０の保持部４３と共にコイルばね２０を保持している。

また、第１本体部３１は、一対の脚部３４、３５を有している。一対の脚部３４、３５は、保持部３３の近傍から第１本体部３１の長手方向の他端部（図３の下端部）まで、コイルばね２０の中心線ＣＬに沿って相互に略平行に延び、かつ、互いに離れる方向に撓み可能になっている。

一対の脚部３４、３５の一方の脚部３５の先端部の対向面には、相互に接近する方向に突出している接触突出部３５１が設けられている。また、この一方の脚部３５の中間部には、他方の脚部３４に向かって突出する突起部３５２が設けられている。

なお、図４に示すように、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とを組み合わせた状態において、一対の弾性腕部３４、３５は、コイルばね２０の内部に位置しており、接触突出部３５１が、コイルばね２０の内部で後述する第２プランジャ４０の第２本体部４１の板面に接触し、突起部３５２が、コイルばね２０の内部で後述する第２プランジャ４０の貫通孔４４に位置している。

また、第１本体部３１の第１接点部３２の近傍には、第１本体部３１をその板厚方向に貫通する貫通孔３６が設けられている。この貫通孔３６により、第１接点部３２が弾性変形し易くなり、基板対基板コネクタの雄側のコネクタに第１接点部３２をより適合させることが可能になっている。

第２プランジャ４０は、図３に示すように、細長い板状の第２本体部４１と、第２本体部４１の長手方向の一端部（図３の下端部）に設けられた第２接点部４２と、第２本体部４１の長手方向の中間部に設けられた保持部４３とを有している。

第２接点部４２は、第２本体部４１の下端部に設けられ、板面視において略三角形状を有している。また、保持部４３は、第２本体部４１の長手方向に延びる両側面から第２本体部４１の短手方向にそれぞれ突出している。各保持部４３は、コイルばね２０の第２接点部４２に近い側の端部２２に接触して、第１プランジャ３０の保持部３３と共にコイルばね２０を保持している。

また、第２本体部４１は、第２本体部４１の長手方向の他端部（図３の上端部）と保持部４３との間に設けられ、第２本体部４１をその板厚方向に貫通する貫通孔４４を有している。この貫通孔４４は、第２本体部４１の長手方向に延びる矩形状を有し、第１プランジャ３０の脚部３５の突起部３５２が挿入可能になっている。

なお、図４に示すように、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とを組み合わせた状態において、第２本体部４１の板面と、第１プランジャ３０の脚部３５の接触突出部３５１とが、第２接点部４２と貫通孔４４との間で接触している。

次に、コイルばね２０について、より詳細に説明する。

図５に示すように、コイルばね２０は、その線材が中心線ＣＬに沿って扁平な断面形状を有している。言い換えれば、コイルばね２０は、扁平な断面形状の長手方向が中心線ＣＬに沿うように配置された線材で構成されている。詳しくは、コイルばね２０の線材は、コイルばね２０の径方向における寸法Ｄ１よりもコイルばね２０の中心線ＣＬの延在方向の寸法Ｄ２の方が大きくなった略矩形の断面形状を有している。コイルばね２０の線材の外面には、断面視において、コイルばね２０の中心線ＣＬに平行な直線Ｌ上に一直線に配置された平坦面２３が設けられている。

コイルばね２０を中心線ＣＬに沿って圧縮すると、図６に示すように、扁平な断面形状を有するコイルばね２０の線材が相互に接近して、コイルばね２０の外周に沿ってコイルばね２０の中心線ＣＬの延在方向に流れる信号の伝送経路Ｒ１が形成される。前記プローブピン１０では、コイルばね２０の線材が中心線ＣＬに沿って扁平な断面形状を有しているので、図７に示す線材が断面円形状のコイルばね１２０を備えたプローブピン１１０と比べて、コイルばね２０の中心線ＣＬ方向における各線材間の隙間Ｄ３（図５に示す）が小さくなる。

このため、前記プローブピン１０では、図７に示すプローブピン１１０のコイルばね１２０の外周に沿ってコイルばね１２０の中心線ＣＬの延在方向に流れる信号の伝送経路Ｒ２と比べて、伝送経路Ｒ１が短くなる。このため、プローブピン１０まわりをコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。

なお、図７のプローブピン１１０は、コイルばね１２０を除いて、プローブピン１０と同一の構成備えているとする。

また、前記プローブピン１０では、コイルばね２０の線材の外面に、断面視において、コイルばね２０の中心線ＣＬに平行な直線Ｌ上に一直線に配置された平坦面２３が設けられている。これにより、図７に示すプローブピン１１０の伝送経路Ｒ２よりも伝送経路Ｒ１がさらに短くなる。このため、プローブピン１０まわりをコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って流れる高周波領域の信号の信号損失をさらに低減できる。

なお、コイルばね２０は、その線材がコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って扁平な断面形状を有していればよく、コイルばね２０の線材の外面の平坦面２３については、省略できる。すなわち、コイルばね２０の線材の断面は、例えば、楕円形状であってもよい。

次に、図１および図８〜図１０を参照して、検査ユニット１について説明する。

なお、図８は、プローブピン１０の第１接点部３２および第２接点部４２に力が加えられていない状態（復帰状態）を示している。また、図９および図１０では、ハウジング２のみを示し、プローブピン１０を省略している。

ハウジング２は、図１に示すように、ハウジング２の長手方向に沿って間隔を空けて配置された複数の収容部３を有している。各収容部３は、図８に示すように、各プローブピン１０の第１プランジャ３０の第１接点部３２と第２プランジャ４０の第２接点部４２とがハウジング２の外部に露出した状態で、１個のプローブピン１０を収容している。また、各収容部３は、第１プランジャ３０と第２プランジャ４０とがそれぞれ中心線ＣＬに沿って相対的に移動可能に、収容されたプローブピン１０を支持している。

また、ハウジング２は、厚み方向に２層積み重ねられた第１ハウジング５０および第２ハウジング６０で構成されている。各収容部３は、第１ハウジング５０および第２ハウジング６０を貫通して形成されているが、各収容部３を構成する孔形状は、以下のように異なっている。

第１ハウジング５０は、図８の上下方向に延びる複数の第１収容部の一例の第１貫通孔５１を有している。各第１貫通孔５１は、図９に示すように、コイルばね２０の中心線ＣＬに沿って見たときに（すなわち、中心線ＣＬに直交する断面において）、図９の左右方向（図５の紙面貫通方向）よりも上下方向（図５の左右方向）に細長い矩形状を有し、第１プランジャ３０の第１本体部３１の第１接点部３２側の部分が、図８の上下方向に移動可能に挿入されている。

第２ハウジング６０は、図８の上下方向に延びる複数の第２収容部の一例の第２貫通孔６１を有している。各第２貫通孔６１は、図１０に示すように、コイルばね２０の中心線ＣＬに沿って見たときに（すなわち、中心線ＣＬに直交する断面において）、第１貫通孔５１の長手方向の長さと略同じ直径の略円形状を有し、その一端部（図８の上端部）が第１貫通孔５１に接続されている。また、各第２貫通孔６１は、コイルばね２０が伸縮可能に収容され、かつ、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０が図８の上下方向に相対的に移動可能に収容されている。

このように、第１貫通孔５１および第２貫通孔６１で１つの収容部３を構成している。この収容部３は、プローブピン１０のコイルばね２０の中心線ＣＬ方向への相対移動を許容しつつ、第１貫通孔５１と第２貫通孔６１とでプローブピン１０を位置決めできる。

続いて、ハウジング２に収容されたプローブピン１０の動作について説明する。

図８に示す復帰状態の各プローブピン１０の第１接点部３２および第２接点部４２に力を加えて、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０をハウジング２の収容部３内に押し込んでいく。すると、第１プランジャ３０の保持部３３がコイルばね２０を図８の下向きに押圧し、第２プランジャ４０の保持部４３がコイルばね２０を図８の上向きに押圧する。これにより、コイルばね２０は、第２貫通孔６１の内壁に沿って、第１接点部３２および第２接点部４２が収容部３内に大凡収容されるまで、さらに圧縮される。

このとき、第１プランジャ３０の脚部３５の接触突出部３５１は、第２プランジャ４０の本体部４１の板面上に接触しつつ、第２プランジャ４０の本体部４１の板面上を摺動する。また、第１プランジャ３０の脚部３５の突起部３５２は、第２プランジャ４０の貫通孔４４に位置して、貫通孔４４に沿って移動する。

また、各プローブピン１０の第１接点部３２および第２接点部４２に加えられた力を解放すると、第１プランジャ３０および第２プランジャ４０は、コイルばね２０の付勢力により、図８に示す復帰状態に復帰する。

前記検査ユニット１によれば、プローブピン１０によって、電子部品モジュールの検査時にプローブピン１０まわりをコイルばね２０の中心線ＣＬに沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。このため、電子部品モジュールの検査を高い精度で行うことができる。

また、第１貫通孔５１が、中心線ＣＬに直交する断面において円形状を有し、第２貫通孔６１が、中心線ＣＬに直交する断面において矩形状を有している。このため、各プローブピン１０を対応する収容部３に容易に収容でき、かつ、正確に位置決めすることができる。

なお、前記検査ユニット１では、第１ハウジング５０および第２ハウジング６０（すなわち、第１貫通孔５１および第２貫通孔６１）が、別体に構成されている。このように、第１ハウジング５０と第２ハウジング６０とを別体に構成することで、例えば、第１ハウジング５０と第２ハウジング６０とをそれぞれ異なる材料で形成することができる。例えば、第１ハウジング５０を絶縁性のフィルムで構成し、このフィルムをレーザーカットすることにより第１貫通孔５１を形成すると共に、第２ハウジング６０を絶縁性の樹脂で構成した場合、第１ハウジング５０および第２ハウジング６０を絶縁性の樹脂で構成した場合と比べて、製造コストを低減できる。

また、第１ハウジング５０および第２ハウジング６０（すなわち、第１貫通孔５１および第２貫通孔６１）は、別体に構成する場合に限らず、一体に構成してもよい。これにより、ハウジング２の強度を高めることができる。

また、収容部３は、プローブピン１０を収容できればよく、第１貫通孔５１および第２貫通孔６１に限らない。

以上、図面を参照して本発明における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本発明の種々の態様について説明する。

本発明の第１態様のプローブピンは、
中心線に沿って伸縮するコイルばねと、
前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の両側にそれぞれ前記コイルばねに対して直列的に配置されていると共に、互いに電気的に接触しかつ前記中心線に沿って相対的に移動可能に配置された第１プランジャおよび第２プランジャと、
を備え、
前記第１プランジャおよび第２プランジャの各々が、
前記中心線に沿って延びている本体部と、
前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねから遠い方の一端部に設けられた接点部と、
前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねに近い方の他端部に設けられていると共に、前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の端部に接触して前記コイルばねを保持する保持部と、
を有し、
前記コイルばねの線材が、前記中心線に沿って扁平な断面形状を有しており、
前記コイルばねを圧縮したときに、扁平な断面形状を有する前記コイルばねの線材が相互に接近して、前記コイルばねの外周に沿って前記中心線の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される、プローブピン。

第１態様のプローブピンによれば、コイルばねの線材がコイルばねの中心線に沿って扁平な断面形状を有しており、コイルばねを圧縮したときに、扁平な断面形状を有するコイルばねの線材が相互に接近して、コイルばねの外周に沿ってコイルばねの中心線の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される。これにより、例えば、線材断面が円形状のコイルばねを備えたプローブピンと比較して、プローブピンまわりをコイルばねの中心線に沿って流れる高周波領域の信号の伝送経路を短くして、信号損失を低減できる。

本発明の第２態様のプローブピンは、
前記コイルばねの線材の外面に、断面視において一直線上に配置された平坦面が設けられている。

第２態様のプローブピンによれば、例えば、線材断面が円形状のコイルばねを備えたプローブピンと比較して、プローブピンまわりをコイルばねの中心線に沿って流れる高周波領域の信号の伝送経路をより短くして、信号損失をより確実に低減できる。

本発明の第３態様の検査ユニットは、
前記第１プランジャの前記接点および前記第２プランジャの前記接点が外部に位置した状態で前記プローブピンを収容し、かつ、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャがそれぞれ前記中心線に沿って相対的に移動可能に前記プローブピンを支持する収容部を有するハウジングと、
を備える。

第３態様の検査ユニットによれば、前記態様のプローブピンによって、電子部品モジュールの検査時にプローブピンまわりをコイルばねの中心線に沿って流れる高周波領域の信号の信号損失を低減できる。このため、電子部品モジュールの検査を高い精度で行うことができる。

本発明の第４態様の検査ユニットは、
前記第１プランジャの前記本体部および前記第２プランジャの前記本体部が、板状を有し、
前記収容部が、前記中心線に直交する断面において円形状を有しかつ前記コイルばねを収容する第１収容部と、前記中心線に直交する断面において四角形状を有しかつ第１プランジャの前記本体部または前記第２プランジャの前記本体部を収容する第２収容部とを有する。

第４態様の検査ユニットによれば、プローブピンを収容部に容易に収容できかつ正確に位置決めできる。

本発明の第５態様の検査ユニットは、
前記第１収容部と前記第２収容部とが別体に構成されている。

第５態様の検査ユニットによれば、例えば、第１ハウジングと第２ハウジングとをそれぞれ異なる材料で形成することができ、製造コストを低減できる。

本発明の第６態様の検査ユニットは、
前記第１収容部と前記第２収容部とが一体に構成されている。

第６態様の検査ユニットによれば、ハウジングの強度を高めることができる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本発明のプローブピンは、例えば、カメラあるいは液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。

また、本発明の検査ユニットは、例えば、カメラあるいは液晶パネルの検査に用いることができる。

１ 検査ユニット
１０ プローブピン
２０ コイルばね
２１、２２ 端部
２３ 平坦面
３０ 第１プランジャ
３１ 第１本体部
３２ 第１接点部
３３ 保持部
３４、３５ 脚部
３５１ 接触突出部
３５２ 突起部
３６ 貫通孔
４０ 第２プランジャ
４１ 第２本体部
４２ 第２接点部
４３ 保持部
４４ 貫通孔
５０ 第１ハウジング
５１ 第１貫通孔（第１収容部の一例）
６０ 第２ハウジング
６１ 第２貫通孔（第２修養部の一例）
ＣＬ 中心線
Ｌ 直線
Ｒ１、Ｒ２ 伝送経路

Claims (6)

1. 中心線に沿って伸縮するコイルばねと、
   前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の両側にそれぞれ前記コイルばねに対して直列的に配置されていると共に、互いに電気的に接触しかつ前記中心線に沿って相対的に移動可能に配置された第１プランジャおよび第２プランジャと、
   を備え、
   前記第１プランジャおよび第２プランジャの各々が、
   前記中心線に沿って延びている本体部と、
   前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねから遠い方の一端部に設けられた接点部と、
   前記中心線上でかつ前記本体部の前記コイルばねに近い方の他端部に設けられていると共に、前記コイルばねの前記中心線に沿った方向の端部に接触して前記コイルばねを保持する保持部と、
   を有し、
   前記コイルばねの線材が、前記中心線に沿って扁平な断面形状を有しており、
   前記コイルばねを圧縮したときに、扁平な断面形状を有する前記コイルばねの線材が相互に接近して、前記コイルばねの外周に沿って前記中心線の延在方向に流れる信号の伝送経路が形成される、プローブピン。
2. 前記コイルばねの線材の外面に、断面視において一直線上に配置された平坦面が設けられている、請求項１に記載のプローブピン。
3. 請求項１または２に記載のプローブピンと、
   前記第１プランジャの前記接点および前記第２プランジャの前記接点が外部に位置した状態で前記プローブピンを収容し、かつ、前記第１プランジャおよび前記第２プランジャがそれぞれ前記中心線に沿って相対的に移動可能に前記プローブピンを支持する収容部を有するハウジングと、
   を備える、検査ユニット。
4. 前記第１プランジャの前記本体部および前記第２プランジャの前記本体部が、板状を有し、
   前記収容部が、前記中心線に直交する断面において円形状を有しかつ前記コイルばねを収容する第１収容部と、前記中心線に直交する断面において四角形状を有しかつ前記第１プランジャの前記本体部または前記第２プランジャの前記本体部を収容する第２収容部とを有する、請求項３に記載の検査ユニット。
5. 前記第１収容部と前記第２収容部とが別体に構成されている、請求項４に記載の検査ユニット。
6. 前記第１収容部と前記第２収容部とが一体に構成されている、請求項４に記載の検査ユニット。

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