JPWO2007116963A1 - 基板検査用接触子及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

複数の接触子と該複数の接触子を保持する保持体とからなる検査治具であって、接触子は、可撓性及び導電性を有する長尺状の第一導電部と、該第一導電部を内部に収容する可撓性及び導電性を有する筒状の第二導電部とからなり、保持体は、接触子の一端を所定の検査点に案内する第一保持孔と、接触子の他端を検査装置の電極部へ案内する第二保持孔とを有し、第一導電部は、少なくとも一つの長手方向に伸縮する弾性部を有し、弾性部は、第一保持孔及び／又は第二保持孔内に配置されている。

Description

本発明は、被検査基板の配線パターン上に設定された所定の検査点に一対の端子を圧接し、この被検査基板と基板検査装置との間で検査信号の伝達を可能とする四端子測定法に用いる基板検査用接触子、それを用いる検査治具及び基板検査用接触子の製造方法に関する。

尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。

従来、回路基板上の配線パターンは、その回路基板に搭載されるIC等の半導体や抵抗器などの電気・電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気・電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値を測定して、その良否が判定されていた。

特許文献１：特開平６−６６８３２号公報
特許文献２：特開２００５−３２１２１１号公報
特許文献３：特許第３６９０８０１号
例えば、回路基板上の各検査点に、それぞれ電流供給用端子と電圧測定用端子とを当接させ、各検査点にそれぞれ当接させた電流供給用端子間に測定用電流を供給すると共に、各検査点にそれぞれ当接させた電圧測定用端子間に生じた電圧を測定することにより、測定端子と検査点との間の接触抵抗の影響を抑制して高精度に抵抗値を測定する方法（いわゆる、４端子測定法あるいはケルビン法）が知られており、この方法を用いて配線パターンの検査を行う基板検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

しかしながら、この特許文献１に開示される基板検査装置では、４端子測定法を用いて配線パターンの検査を行う場合、電流供給用端子及び電圧測定用端子の２つの端子を検査点毎に、移動制御させながら当接させる必要がある。一方、近年、回路基板の微細化が進み、検査点となるランドが狭小化しているため、一つのランドに２つの端子を互いに電気的に短絡することなく確実に検査点に当接させることが極めて困難であるという問題が生じていた。

このような問題を解決するために、円柱状のピンとこの外周に配置されていて軸方向に摺動可能な螺旋状のバネとを備える接触子が知られている（特許文献２参照）。このように接触子を形成することにより、この二つの端子を微細な検査点に容易に当接させることを可能としている。

しかしながら、この特許文献２に開示されるような接触子は、微細な螺旋状のバネやこのバネの両端に設けられる微細なプランジャを形成する必要があるため、複雑な構成を有していた。

このため、二つの端子を互いに電気的に短絡することなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純で且つ廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の接触子の創出が要求されていた。

また、特許文献３には、接触子の絶縁被覆部分の外径が、検査治具のヘッド部の保持孔の内径よりも小さく形成された構成が開示されている。

その構成は、接触ピンの保持孔への挿入やその保持孔からの抜き取りができるようにするためのものである。

本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、二つの端子を互いに電気的に短絡することなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純な構造で廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の基板検査用接触子、それを用いる検査治具及び基板検査用接触子の製造方法を提供することを目的とする。

また、本発明は、接触子を検査治具に取り付けた際の撓みの影響を受けることなく、接触子が確実に検査点に接触できる基板検査用接触子を提供することを目的とする。

さらに、本発明は、一体的に弾性部が形成された基板検査用接触子を提供することを目的とする。

本発明に係る基板検査用接触子は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とをそれぞれ備える第一導電部及び第二導電部を有するとともに第一導電部又は第二導電部の一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられ、端部が検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持される。

この基板検査用接触子は、第一導電部が、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部を有し、第二導電部が、第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、弾性部が、ヘッド部の保持孔に保持される際に、保持孔の内部に配置される部分に設けられることを特徴とする。

保持板は上部保持板及び下部保持板からなり、上部保持板又は下部保持板の一方の保持孔に挿入される第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されていることが望ましい。

また、保持板が上部保持板及び下部保持板からなり、第一導電部に設けられた弾性部と第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる保持板の保持孔に挿入される位置に形成されていることが望ましい。

弾性部は、第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることが望ましい。

未使用時において、第一導電部が第二導電部よりも長く、又は、未使用時において、第二導電部が第一導電部よりも長くてもよい。

また、本発明に係る基板検査用接触子は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とを備え、端部が検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持されている。この基板検査用接触子は、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部が一体的に形成されており、弾性部が、ヘッド部の保持孔に保持される際に、保持孔の内部に配置される部分に設けられることが望ましい。

さらに、本発明に係る検査治具は、被検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するために被検査基板の所定の検査点に接触させて電気信号を伝送する複数の接触子と複数の接触子を保持する保持体とからなる。この検査治具は、接触子が、可撓性及び導電性を有する第一導電部と第一導電部を内部に収容する可撓性及び導電性を有する第二導電部とからなり、保持体が、所定の検査点に接触子の一端を案内する第一保持孔と、接触子の他端を検査装置の電極部へ案内する第二保持孔を有し、第一導電部は、少なくとも一つの長手方向に伸縮する弾性部を有し、弾性部は、第一保持孔及び／又は第二保持孔内に配置されている。

保持孔は被検査基板に対し直交する方向に形成されていて、弾性部は保持孔内において接触子の長手方向に直線的に伸縮自在であることが望ましい。

第一保持孔又は第二保持孔の一方に挿入される第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されていることを特徴とする。

第一導電部に設けられた弾性部と第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる保持孔に挿入される部分に形成されていることが望ましい。

弾性部は、第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることが望ましい。

また、本発明に係る基板検査用接触子を製造する製造方法は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子を製造する製造方法である。この製造方法は、導電性を有する長尺状の第一導電部の一部にレーザ光を照射して、一部を所定形状に加工して、第一導電部の長手方向に伸縮する弾性部を形成する弾性部形成工程と、弾性部が形成された第一導電部を、導電性を有する筒状部材により形成される第二導電部に収容する収容工程を有する。

弾性部形成工程において一部に弾性部を形成する第一導電部及び第二導電部は、全体として可撓性を有することが望ましい。

弾性部形成工程は、第一導電部の一部にレーザ光を照射して所定厚みの板状部を形成する第一形成工程と、板状部にレーザ光を照射して、板状部の幅方向外側から内側に向って、交互に反対側から複数の所定の形状を作成するための切欠部を形成する第二形成工程を有することが望ましい。

弾性部は、板状部の一部を幅方向に交互に切欠いて波形状に形成され、弾性部は、板状部の一部を幅方向に切欠いて矩形波状に形成され、弾性部は、板状部の幅方向の外側部分を切欠いて細棒状に形成され、又は、弾性部は、板状部上で板状部の中心点に関し点対称となるように形成され、さらに、弾性部形成工程の後に、第一導電部の外周に絶縁膜を形成する工程を有し、さらに、収容工程の後に、第二導電部の端部を先細り形状に形成する工程を有することが望ましい。

また、本発明に係る基板検査用接触子は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する。この基板検査用接触子は、第一導電部は、導電性を有する長尺状の形状を有するとともに、第一導電部の一部分にレーザ光を照射して形成される長手方向に収縮する弾性部を有し、第二導電部は、第一導電部を内部に収容するとともに導電性を有する筒状部材により形成される。

本発明によると、二つの端子を互いに電気的に短絡することなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純な構造で廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の基板検査用接触子を提供することができる。

一本の第一導電部や第二導電部の一部に弾性部を一体的に形成するので、接続部材や接続材などを必要とすることなく基板検査用接触子を製造することなくできる。それにより、耐久性に優れた基板検査用接触子に優れた耐久性を与えることができる。

その弾性部の形成のためにレーザ加工を用いてもよく、レーザ加工を用いると、レーザ光はそのビーム径を絞ることにより、微細な加工が可能であるため、そのことを利用して元々微細な四端子接触子の導電部に加工を施し、弾性部を形成することにより、本体と弾性部とが一体となった導電部を得ることが可能となる。

また、本発明によると、接触子の弾性部をヘッド部の保持孔内部に配置できる位置に形成したので、接触子を検査治具に取り付けた際の接触子の撓みの影響を受けることがなく、それにより、弾性部が確実に保持孔内で伸縮することができて、接触子が検査点に確実に接触できる基板検査用接触子を提供することができる。

図１は、本発明に係る第一実施形態の基板検査接触子を示し、図１（ａ）は分解図、図１（ｂ）は組立図である。 図２は、本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子の一端の断面図である。 図３（ａ）から図３（ｃ）は、第一実施形態の基板検査用接触子を検査装置の電極と被検査基板の検査点との間に取り付ける工程を説明するための図である。 図４は、本発明に係る第二実施形態の基板検査接触子を示し、図４（ａ）は分解図、図４（ｂ）は組立図である。 図５は、本発明に係る第三実施形態の基板検査接触子を示し、図５（ａ）は分解図、図５（ｂ）は組立図である。 図６は、本発明に係る第三実施形態の基板検査用接触子を電極と検査点との間に取り付けた状態を示す側面図である。 図７は、本発明に係る第三実施形態の基板検査用接触子の一部変形例を電極と検査点との間に取り付けた状態を示す側面図である。 図８は、本発明に係る第四実施形態の基板検査接触子を示し、図８（ａ）は分解図、図８（ｂ）は組立図である。 図９は、本発明に係る第五実施形態の基板検査接触子を示す側面図である。 図１０は、本発明に係る第六実施形態の基板検査接触子を示す側面図である。 図１１（ａ）から図１１（ｄ）は、第一実施形態の基板検査用接触子の第一導電部の各製造工程における形状を示す側面図である。 図１２は、基板検査用接触子の弾性部を形成するためのレーザ装置の概略構成図である。 図１３は、レーザ装置を用いて基板検査用接触子の弾性部を形成するための工程を説明するためのフローチャートである。 図１４は、基板検査用接触子の弾性部のさまざまな形状の例示を説明するための概略図である。

符号の説明

１・・・・・第一実施形態の基板検査用接触子
１１・・・・第一導電部
１２・・・第二導電部
１３・・・・棒状部分
１３１・・・貫入部
１４・・・・弾性部
５１，６１，７１，８１・・・・第一導電部
５４，６４，７４，８４・・・弾性部
１００・・・レーザ装置
２００・・・第二実施形態の基板検査用接触子
２１１・・・第一導電部
２１２・・・第二導電部
２１３・・・棒状部材
２１４・・・弾性部
３００・・・第三実施形態の基板検査用接触子
３１１・・・第一導電部
３１２・・・第二導電部
３１４・・・弾性部
４００・・・第四実施形態の基盤検査用接触子
４１１・・・第一導電部
４１２・・・第二導電部
４１３・・・棒状部材
４１４・・・弾性部
５００・・・第五実施形態の基盤検査用接触子
５１１・・・第一導電部
５１２・・・第二導電部
５１４・・・弾性部
６００・・・第六実施形態の基盤検査用接触子
６１１・・・第一導電部
６１４・・・弾性部

［第一実施形態の基板検査用接触子の構造］
本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子１について説明する。

図１及び図２は、基板検査用接触子１の構造を示す。図１（ａ）は分解図、図１（ｂ）は組立図である。図２は、基板検査用接触子１の一端の一部断面図である。

基板検査用接触子１は、第一導電部１１及び第二導電部１２を有していて、第二導電部１２は、図１（ｂ）に示すように、第一導電部１１を内部に収容する筒状に形成されている。

第二導電部１２は、可撓性の素材で形成されていて、使用時に、被検査基板の配線パターン上の検査点と検査装置の電極部との間に両端が挟まれると撓み、その弾力性によって、その両端を検査点及び電極部に圧接する。第二導電部１２の素材として、ニッケル（Ni）やステンレス鋼等を用いることができるが、特にそれらに限定されるものではなく、可撓性及び導電性を有するものであればどのようなものでもよい。図示していないが第二導電部１２の外側表面に絶縁層を設けることが好ましい。

また、第二導電部１２は、超微細電鋳パイプ１２２から形成された筒状のものから構成されていて、内部に第一導電部１１を収容する空間が形成されている。例えば、その内径は約７０μｍであり、外径は９０μｍである。組立は、図１（ｂ）に示すように、その内部に第一導電部１１を収容した後、端部１２１を先細り形状に形成することによって行う。なお、この先細り形状は、第一導電部１１を第二導電部１２に収容した後、例えば、第二導電部１２の先端部を外側周縁から押圧することにより形成することができる。

第一導電部１１は、棒状又は針状に形成される長尺状の部材から形成されている。この第一導電部１１は、第二導電部１２と同軸に設けられるので、円柱状に形成されることが好ましい。

第一導電部１１も、第二導電部１２と同様に、導電性で且つ可撓性を有する部材から形成されている。第一導電部１１が導電性の部材から構成されることによって、測定装置の電極と被検査基板の検査点との間で電気信号を受信及び送信することができる。また、この第一導電部１１が可撓性を有することによって、後述するように、使用時に、第二導電部１２が両端側からの押圧に伴い撓む場合に、その撓みに応じて第一導電部１１も撓むことができる。

図１（ａ）又は図１（ｂ）に示すように、第一導電部１１は、検査点に接触する側の端部に、検査点に貫入することのできる尖鋭形状の貫入部１３１を有する。

そのように貫入部１３１を尖鋭形状に形成すると、第一導電部１１の貫入部１３１が検査点へ容易に貫入することができるとともに、接触している間、検査点との間の接触抵抗を小さくすることができる。また、接触を行うごとの接触抵抗値のばらつきを防いで抵抗値を安定的に一定範囲内に収めることができる。

この実施例では、貫入部１３１の形状は円錐形状に形成しているが、四角錐や三角錐等の角錐状のものでもよい。また、貫入部１３１の先端形状を尖鋭形状でなくて球形形状とし、その形状の貫入部を検査点に押し付けることによって接触を確実にするようにしてもよい。

第一導電部１１は、貫入部１３１が、図１（ｂ）に示すように、尖鋭形状を有する場合に、第二導電部１２の端部よりも所定量ｄ１１分だけ突出するように配置される。このように貫入部１３１を所定量ｄ１１だけ突出させた場合には、詳しくは後述するように、基板検査用接触子１を両端から押圧して検査点に圧接させると、まず、この所定量ｄ１１分だけ第一導電部１１が検査点へ貫入してから第二導電部１２が検査点に当接することになる。そして、更に両端から圧接されることによって、第二導電部１２が撓んでその端部が検査点及び電極に圧接されるようになる。そのため、突出の量ｄ１１は、貫入部１３１の貫入量と、第一導電部１１及び第二導電部１２の撓み量等を考慮して決定される。

図２に示すように、第一導電部１１の外側表面には絶縁層１５が被覆されている。この絶縁層は、第一導電部１１と第二導電部１２とが電気的に短絡することを防止するためである。

絶縁層１５は、貫入部１３１を形成する傾斜面１３２の一部までを被覆することが好ましい。このように被覆することにより第一及び第二導電部の短絡を確実に防止できるようになる。

この絶縁層１５には、例えば、テフロン（登録商標）やポリウレタンを用いることができる。

また、図１（ａ）に示すように、第一導電部１１の中央部には、のこぎり形状の弾性部１４が形成されている。弾性部１４は、基板検査用接触子１の長軸方向に伸縮しまた基板検査用接触子１の湾曲とともに撓み、付勢状態となる。そのように収縮及び湾曲するような部材であれば、弾性部１４を導電性のゴムや合成樹脂など、どのようなものから形成してもよい。弾性部１４を非導電性部材から形成した場合には、第一導電部１１の外周と絶縁膜１５との間に導電層を形成するか、または第二導電部１２の内面に導電層を形成して、第一導電部の両端部の２つの貫入部１３１を電気的に相互に接続するようにする。

第一導電部１１及び第二導電部１２を組み立てて基板検査用接触子１を形成するに当たっては、まず、上記の如く、第一導電部１１を第二導電部１２の内部に収容して、貫入部１３１を所定量ｄ１１分だけ第二導電部１２の端部から突出させる。次に、第二導電部１２の両端部を押圧して図１（ｂ）及び図２に示すように内側に絞り込む。

その絞込みにより、図２に示すように、第二導電部１２の端部は、所定の傾斜で内側方向へ延設された延設部１２３を有し、内部に収縮する先細りのテーパ形状になっている。このように内側方向へ延設される延設部１２３を形成することによって、第一導電部１１が第二導電部１２の端部の開口から外側へ抜け出ることを防止することができるとともに、第一導電部の検査点に接触する端部の位置と第二導電部の検査点に接触する端部の位置とを近づけることができる。これにより、より小さな検査点であっても、第一及び第二導電部１１、１２をそのような検査点に接触させることができるようになる。

この延設部１２３が有する内側表面の傾斜面１２４は、第一導電部１１の貫入部１３１の傾斜面１３２及びその傾斜面１３２の部位を被覆する絶縁層１５の傾斜面１５１またはそれらのいずれか一方の傾斜面と略平行となるように形成されることが好ましい。

延設部１２３の傾斜面１２４と貫入部１３１の傾斜面１３２及び／又は絶縁部１５の傾斜面１５１とが略平行となるように形成されることによって、第一導電部１１と第二導電部１２とが被検査点に接触する場合に、両方の端部は傾斜した平行のままの状態で被検査点に接触することになるので、第一導電部１１と第二導電部１２とが開口部近傍において接触することを防止することができる。

基板検査用接触子１の寸法は、例えば、第一導電部１１の外径ｗ１が40〜50μｍ、第二導電部１２の外径ｗ２が80〜100μｍ、第二導電部１２の内径ｗ３が60〜70μｍ、延設部１２３の開口径ｗ４が40〜60μｍ、第一導電部１１の絶縁層１３が被覆された外径ｗ５が50〜70μｍ、第一導電部１１と第二導電部１２とのクリアランスｗ６が1〜10μｍである。このように、第一導電部１１の長さ方向の全周にわたって第二導電部１２との間に空間が形成されている。

尚、これらの数値は、約±5μｍの範囲のズレは許容範囲に入るものとすることができる。

また、貫入部１３１の突出量ｄ１１は、2〜15μｍ、好ましくは7〜13μｍ、更に好ましくは約10μｍに設定されている。

上記の例のように突出量ｄ１１を適切な値に設定することによって、第二導電部１２の貫入部１３１の先端が検査点の中心を外れて当接した場合であっても、確実に第二導電部１２の延設部１２３も検査点に接触することになる。

また、第一導電部１１の外側表面に絶縁層を被覆したり、第二導電部１２の内側表面に絶縁層を被覆したり、又は、それらの両方に絶縁層を被覆したりすることによって、各導電部を流れる電気信号が確実に送受信される。

［第一実施形態の基板検査用接触子の取り付け］
図３（ａ），図３（ｂ）及び図３（ｃ）は、基板検査用接触子１を用いて、被検査基板Ｋ上の所定の２つの検査点Ｂの間の抵抗を測定するために、第一導電部１を検査装置の電極部ＥＰと被検査基板Ｋの検査点Ｂとの間に固定するまでの概略の工程を示す。なお、図３（ａ），図３（ｂ）及び図３（ｃ）においては、説明の簡略化のために、第二導電部１２の図示は省略してある。

まず、図３（ａ）に示すように、上側の棒状部材１３の端部を電極部ＥＰに接触させるとともに、下側の棒状部材１３の端部を検査点Ｂに接触させるように、第一導電部１１を電極部ＥＰと検査点Ｂとの間に配置する。

次に、図３（ｂ）に示すように、電極部ＥＰが固定されているプレート及び検査点Ｂの被検査基板Ｋの双方又は一方を移動して、電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔を狭めて、第一導電部１１の両端部を長軸方向に沿って中央に向かって押し付ける。この押圧力によって、第一導電部１１の弾性部１４が長軸方向に沿って収縮する。一方、その弾性部１４の付勢力によって、第一導電部１１の貫入部１３１が検査点Ｂに貫入される。さらに押圧力が加えられて弾性部１４がさらに収縮すると、第二導電部１２が検査点Ｂに圧接することになる（図３（ｂ）、ただし、第二導電部１２は図示していない）。

またさらに、電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔が狭まるように、第一導電部１１及び第二導電部１２の両端部をそれぞれの長軸方向に沿って押圧すると、第一導電部１１が全体的に湾曲して撓む（図３（ｃ）、ただし、第二導電部１２は図示していない）
このような状態になると、第一導電部１１及び第二導電部１２の端部が、弾性部１４と湾曲した第一導電部１１及び第二導電部１２の本体部分との元の直線状に戻ろうとする力により、検査点Ｂ及び電極部ＥＰに強く圧接された状態となるので、確実に、検査点から電極部に電気信号を伝達することができるようになる。

［第二実施形態の基板検査用接触子の構造］
図４は、弾性部２１４を両端部の貫入部２３１の近くにそれぞれ有する第二実施形態に係る基板検査用接触子２００を示す。

基板検査用接触子２００は、図１に示す基板検査用接触子１と同様に、円柱状の第一導電部２１１及び円筒状の第二導電部２１２を備える。図４（ｂ）に示すように、第二導電部２１２の内部に第一導電部２１１を配置する際には、第一導電部２１１の貫入部２３１が、第二導電部２１２の端部よりも所定量ｄ２２分だけ突出するように配置される。

第一導電部２１１及び第二導電部２１２は、図１に示す基板検査用接触子１と同様に、導電性及び可撓性を有する材料から形成されている。

弾性部２１４は、基板検査用接触子１の弾性部１４と同様に、レーザ光によって第一導電部２１１を直接に加工して形成することができる。

この基板検査用接触子２００を用いて、被検査基板Ｋ上の所定の２つの検査点Ｂの間の抵抗を測定するために、それを検査装置の電極部ＥＰと被検査基板Ｋの検査点Ｂとの間に固定するまでの概略の工程を説明すると、まず、基板検査用接触子２００をまっすぐな状態のままで、電極部ＥＰと検査点Ｂとの間に配置する。

次に、電極部ＥＰが固定されているプレート及び検査点Ｂの被検査基板Ｋの双方又は一方を移動して、電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔を狭めて、第一導電部２１１の両端の貫入部２３１を長軸方向に沿って中央に向かって押し付ける。この押圧力によって、第一導電部２１１の２つの弾性部２１４が長軸方向に沿って収縮する。その一方、それらの弾性部２１４の付勢力によって、第一導電部２１１の貫入部２３１が検査点Ｂに貫入される。さらに押圧力が加えられて弾性部２１４がさらに収縮すると、第二導電部２１２が検査点Ｂに圧接することになる。

またさらに、電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔が狭まるように、第一導電部２１１及び第二導電部２１２の両端部をそれぞれの長軸方向に沿って押圧すると、第一導電部２１１が全体的に湾曲して撓む。

このような状態になると、第一導電部２１１及び第二導電部２１２が、２つの弾性部２１４の弾力と湾曲した第一導電部２１１及び第二導電部２１２の本体部分の弾力とにより、それらの端部は検査点Ｂ及び電極部ＥＰに強く圧接された状態となるので、確実に、検査点から電極部に電気信号を伝達することができるようになる。

［第三実施形態の基板検査用接触子の構造］
図５は、弾性部３１４を両端部の貫入部３３１の近くにそれぞれ有する第三実施形態に係る基板検査用接触子３００を示す。

基板検査用接触子３００は、図４に示す基板検査用接触子２００と同様に、円柱状の第一導電部３１１及び円筒状の第二導電部３１２を備える。図５（ｂ）に示すように、第二導電部３１２の内部に第一導電部３１１を配置する際には、第一導電部３１１の貫入部３３１が、第二導電部３１２の端部よりも所定量ｄ３３分だけ突出するように配置される。

また、第一導電部３１１及び第二導電部３１２は、図４に示す基板検査用接触子２００と同様に、導電性及び可撓性を有する材料から形成されている。

図５に示すように、弾性部３１４はコイルスプリング状に形成されている。その弾性部３１４は、基板検査用接触子１の長軸方向に収縮することにより付勢状態となる。そのような部材であれば、弾性部３１４を導電性のゴムや合成樹脂など、どのようなものから形成してもよい。弾性部３１４を非導電性部材から形成した場合には、第一導電部３１１の外周とその周りに形成されている絶縁膜（図２の絶縁膜１５に相当するもの）との間に導電層を形成するか、または第二導電部３１２の内面に導電層を形成して、第一導電部の両端部の２つの貫入部３３１を電気的に相互に接続するようにする。

弾性部３１４を形成する位置は、後述するように、この基板検査用接触子３００を検査装置の治具の治具ヘッド部の保持板Ｈ１，Ｈ２（図６）に取り付けた際に、その保持孔Ｈ１０，Ｈ２０（図６）の内部に配置される部分に対応する位置である。

第一導電部３１１及び第二導電部３１２を組み立てて基板検査用接触子３００を形成する工程は、上記の図１の基板検査用接触子１及び図４の基板検査用接触子２００の工程と同じである。

［第三実施形態に係る基板検査用接触子の取り付け］
次に、図６に基づいて、２つの基板検査用接触子３００を用いて被検査基板Ｋの所定の２つの検査点Ｂの間の配線の抵抗を測定するにあたって、基板検査用接触子３００の一つを検査装置の電極部ＥＰと被検査基板Ｋの検査点Ｂとの間に固定するまでの作業の流れを説明する。

まず、基板検査用接触子３００の第一導電部３１１の一方の貫入部３３１をヘッド部の保持板Ｈ１の保持孔Ｈ１０に挿入してその貫入部３３１の先端を電極部ＥＰに接触させる。また、他方の貫入部３３１をヘッド部Ｈ２（ガイド板）の保持孔Ｈ２０に挿入してその貫入部の先端を検査点Ｂに接触させる。これにより、基板検査用接触子３００を電極部ＥＰと検査点Ｂとの間に配置する。それらの保持孔は被検査基板Ｋに対し直交する方向に直線状に形成されている。

そのように基板検査用接触子３００を電極部ＥＰと検査点Ｂとの間に配置した段階では、第一導電部３１１及び第二導電部３１２はともに真っ直ぐであり、貫入部３３１の近くにある２つ弾性部３１４は、保持孔Ｈ１０及びＨ２０の内部に配置されている。

次に、電極部ＥＰが固定されているプレート及び検査点Ｂの被検査基板Ｋの双方又は一方を他方に近づく方向に移動して、電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔を狭め、第一導電部３１１の２つの貫入部３３１をそれぞれ電極部ＥＰ及び検査点Ｂに押し付けるようにする。この押圧力によって、第一導電部３１１の弾性部３１４が、図５（ｂ）の通常の取り付け前の状態から、図６に示すように、取り付けた状態では、長軸方向に沿って収縮して、貫入部３３１が第二導電部３１２の中に押し込まれるようになる。さらに押圧力を加えると、それらの弾性部３１４の付勢力によって、第一導電部３１１の貫入部３３１が検査点Ｂへ貫入され、さらに、その押圧力及び貫入部３３１の貫入に伴い、第二導電部３１２の端部が検査点Ｂに圧接されるようになる。

更に電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔を狭めて、基板検査用接触子３００を長軸方向に沿って押圧すると、図６に示すように、基板検査用接触子３００が全体的に撓んで中央部が湾曲するようになる。この場合、第一導電部３１１及び第二導電部３１２の可撓性に伴う弾力性により、それらの端部が、検査点Ｂと電極部ＥＰとにさらに圧接されることになる。

そのような状態になると、第一導電部３１１及び第二導電部３１２の端部が、それぞれの可撓性及び弾性部３１４の弾力性に伴う付勢力によって、検査点Ｂ及び電極部ＥＰに圧接された状態となるので、確実に、検査点Ｂと電極部ＥＰとの間で電気信号を伝達することができるようになる。

この基板検査用接触子３００では、弾性部３１４を検査装置のヘッド部の保持板の保持孔Ｈ１０，Ｈ２０の内部に配置される位置に形成した。これは次のような理由に基づく。例えば、図３（ｃ）に示すように、弾性部１４を第一導電部１１の中央部に設けた場合には、その接触子１を電極部ＥＰと検査点Ｂとの間に取り付けて、その接触子１に長軸方向に押圧力を加えると、第二導電部１２が湾曲するとともに第一導電部１１も湾曲する。その場合、弾性部１４もそれとともに湾曲することになる。そうなると、第二導電部１２の内面と第一導電部１１の弾性部１４及び棒状部分１３との間の摩擦により、棒状部分１３が第二導電部１２の内面を滑らかに移動することができず、弾性部１４の収縮が滑らかに行えないという状況が起こる場合がある。そのような状況下では、第一導電部１１の尖鋭形状の先端部を弾性部１４が効果的に付勢できなくなるため、その先端部が電極部ＥＰに貫入し難くなり、その結果、第二導電部１２の端部が電極部ＥＰや検査点Ｂと確実に接触できなくなることが起こり得る。

そのため、この基板検査用接触子３００では、直線状に形成されたヘッド部の保持孔の内部に弾性部３１４が位置するように、第二導電部３１２の棒状部分３１３の端部に弾性部３１４を形成している。これにより、弾性部３１４とヘッド部の内壁との間に接触による摩擦抵抗が生じないので、弾性部３１４が第一導電部３１１の長軸方向に沿って伸縮自在となっている。

なお、本発明での検査点とは、導通及び／又は短絡を検査するために必要な被検査基板上に予め設定されるものである。特に、本基板検査用接触子は、チップのランド上などに盛られる金属の突起部で、インナーリードボンディングを容易にするバンプに好適に用いることができる。

図６に示す基板検査用接触子３００では、第一導電部３１１の両端部に弾性部３１４を設けたが、どちらか一方の端部の近くに１つの弾性部３１４を設けるようにしてもよい。例えば、図７に示すように、弾性部３１４を検査点Ｂと接触する側の貫入部３３１の近くの治具ヘッド部の保持板Ｈ２の保持孔Ｈ２０内にある第一導電部３１１’の部分に設けてもよく、また、それとは逆に、弾性部３１４を検査装置の電極ＥＰと接触する側の貫入部３３１の近くの治具ヘッド部の保持板Ｈ１の保持孔Ｈ１０内にある第一導電部３１１’の部分に設けてもよい。

その場合には、弾性部３１４は、保持板Ｈ２の保持孔Ｈ２０の内部又は保持板Ｈ１の保持孔Ｈ１０に、直線状に保持されるため、第一導電部３１１’の長軸に沿って自在に収縮することができる。それによって、貫入部３３１を確実に検査点Ｂに貫入させて、第二導電部３１２の端部を確実に検査点Ｂに接触させることができる。

また、図５の第三実施態様に係る基板検査用接触子３００の第一導電部３１１の弾性部３１４はコイルスプリング状のものを用いたが、後述する図１４（ａ）から図１４（ｄ）に示すようなさまざまな形状の弾性部を用いてもよい。

［第四実施形態の基板検査用接触子の構造］
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第四実施形態に係る基板検査用接触子４００を示す。図８（ａ）は分解図、図８（ｂ）は組立図である。

基板検査用接触子４００は、第一導電部４１１及び第二導電部４１２を有していて、第二導電部４１２は、図８（ｂ）に示すように、第一導電部４１１を内部に収容するように筒状に形成されている。

第一導電部４１１は、棒状部分４１３と、弾性部４１４と、貫入部４３１とを備えるが、それに代えて、第一実施形態に係る第一導電部１、第二実施形態に係る第一導電部２１１又は第三実施形態に係る第一導電部３１１のいずれを用いてもよい。

第二導電部４１２は、図１に示す基板検査用接触子１の第二導電部１２と同様に、可撓性の素材で筒状に形成されていて、使用時に、被検査基板の配線パターン上の検査点と検査装置の電極部と間に両端が挟まれると撓み、その弾性力によって、その両端を検査点及び電極部に圧接する。第二導電部４１２の素材として、ニッケル（Ni）やステンレス鋼等を用いることができるが、特にそれらに限定されるものではなく、可撓性及び導電性を有するものであればどのようなものでもよい。図示していないが第二導電部４１２の外側表面に絶縁層を設けることが望ましい。

図８（ｂ）に示すように、第二導電部４１２の両端部４２３は、所定の傾斜を有して内側方向へ収縮する先細りのテーパー形状になっている。

また、第二導電部４１２の両端部４２３の両端部４２３の近くには、弾性部４２４が形成されている。弾性部４２４は、第二導電部４１２の長軸方向に伸縮するように形成されており、例えば、コイルスプリングの形状に形成されている。弾性部４２４は、弾力性を発揮できるような形状であればどのような形状でもよい。この弾性部４２４も第一導電部４１１の弾性部４１４と同様にレーザ加工によって形成することができ、例えば、第二導電部４１２を長手方向の軸線を中心に回転させながら不要な部分を取り除くようにして形成してもよい。

その弾性部４２４を形成する位置は、例えば、基板検査用接触子４００を検査装置のヘッド部の保持板Ｈ１，Ｈ２（図６）に取り付けた際に、その保持孔Ｈ１０，Ｈ２０（図６）の内部に配置される部分に対応する位置である。

第一導電部４１１及び第二導電部４１２を組み立てて基板検査用接触子４００を形成するに当たっては、まず、上記の如く、第一導電部４１１を第二導電部４１２の内部に収容して、貫入部４３１を所定量ｄ４４分だけ第二導電部４１２の端部から突出させる（図８（ｂ））。次に、第二導電部４１２の両端部を押圧して図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように内側に絞り込み、テーパー形状にする。

この基板検査用接触子４００を検査装置の電極部ＥＰと被検査基板Ｋの検査点Ｂとの間に固定する際には、上記の基板検査用接触子３００の場合と同様に、まず、基板検査用接触子４００の第一導電部４１１の一方の貫入部４３１をヘッド部の保持板Ｈ１の保持孔Ｈ１０に挿入してその貫入部４３１の先端を電極部ＥＰに接触させる。また、他方の貫入部４３１をヘッド部の保持板Ｈ２の保持孔Ｈ２０に挿入してその間入部の先端を検査点Ｂに接触させる。これにより、基板検査用接触子４００を電極部ＥＰと検査点Ｂとの間に配置する。それらの保持孔は被検査基板Ｋに対し直交する方向に直線状に形成されている。

そのように基板検査用接触子４００を電極部ＥＰと検査点Ｂとの間に配置した段階では、第一導電部４１１及び第二導電部４１２はともに真っ直ぐであり、第二導電部４１２の２つの弾性部４２４及び貫入部４３１の近くにある２つの弾性部４１４は、保持孔Ｈ１０及びＨ２０の内部に配置されている。

次に、電極部ＥＰが固定されているプレート及び検査点Ｂの被検査基板Ｋの双方又は一方を他方に近づく方向に移動して、電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔を狭め、第一導電部４１１の２つの貫入部４３１をそれぞれ電極部ＥＰ及び検査点Ｂに押し付けるようにする。この押圧力によって、第一導電部４１１の弾性部４１４が長軸方向に沿って収縮して、貫入部４３１が第二導電部４１２の中に押し込まれる。

さらに押圧力を加えると、それらの弾性部４１４の付勢力によって、第一導電部４１１の貫入部４３１が検査点Ｂへ貫入されるようになり、その押圧力及び貫入部４３１の貫入に伴い、第二導電部４１２の端部４２３が検査点Ｂに圧接される。

更に電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔を狭めて、基板検査用接触子４００を長軸方向に沿って押圧すると、第二導電部４１２の弾性部４２４が長軸方向に収縮する。

この状態になると、弾性部４１４の付勢力によって第一導電部４１１の貫入部４３１が電極部ＥＰ及び検査点Ｂに押し付けられ、さらに、弾性部４２４の付勢力によって第二導電部４１２の端部４２３が電極部ＥＰ及び検査点Ｂに押し付けられるようになるため、確実に、第一導電部４１１及び第二導電部４１２によって検査点Ｂと電極部ＥＰとの間で電気信号を伝達することができるようになる。また、取り付け前では、第一導電部４１１が第二導電部４１２よりも長いため、取り付けた状態では、第一導電部４１１の第一導電部４１１の収縮の距離は、第二導電部４１２の弾性部４２４の収縮の距離よりも長い。

さらに、基板検査用接触子４００が、長軸方向に沿って押圧されて、図６の実施例の場合と同様に撓んで湾曲しても、第一導電部４１１の弾性部４１４及び第二導電部４１２の弾性部４２４は、ヘッド部の保持板Ｈ１の直線形状の保持孔Ｈ１０と、ヘッド部Ｈ２の直線形状の保持孔Ｈ２０の内部に配置されているので、長軸方向に自在に収縮することができる。そのため、更に確実に、検査点Ｂと電極部ＥＰとの間で電気信号を伝達することができる。

また、図示しないが、図７の基板検査用接触子３００’において、さらに、第二導電部３１２の保持孔Ｈ１０に挿入された部分に、図８に示す弾性部４２４のような弾性部を追加して形成してもよく、また、図７の基板検査用接触子３００’において、逆に、第一導電部３１１’の保持孔Ｈ１０内の部分に弾性部３１４を形成したものに、第二導電部３１２の保持孔Ｈ２０内の部分に図８に示す弾性部４２４のような弾性部を追加して形成してもよい。

第三及び第四の実施形態に示す弾性部３１４，４１４，４２４は、例示であり、それ以外にも、第一導電部３１１，３１１’に形成する弾性部の数及び位置と第二導電部３１２に形成する弾性部の数及び位置との組合せは任意である。

つまり、第一導電部３１１及び第二導電部３１２のそれぞれの上下の位置に弾性部を形成する場合には、それぞれの位置において、弾性部を形成するか否かの２通りの選択が可能なので、第一導電部３１１の上下の２箇所の位置と第二導電部３１２の上下の位置の２箇所の合計４箇所の位置において、弾性部を形成するか否かの組合せは、２⁴＝１６通りある。ただし、弾性部を形成する位置は、第一導電部３１１及び第二導電部３１２において異なる位置が好ましい。例えば、第一導電部３１１及び第二導電部３１２の両方に弾性部を形成する場合に、第一導電部３１１の上の部分に弾性部を形成したときには、第二導電部３１２には下の部分に弾性部を形成することが望ましい。

図８の第三実施態様に係る基板検査用接触子４００の弾性部４１４はコイルスプリング状のものを用いたが、後述の図１４（ａ）から図１４（ｄ）に示すようなさまざまな形状の弾性部を用いてもよい。また、第二導電部４１２の弾性部４２４もコイルスプリング状のものを用いたが、弾性を発揮する形状のものであればどのようなものでもよく、例えば、複数の細木状のものを長手方向に沿って第二導電部の周面に沿って配置して弾性部を形成して、その弾性部によって端部４２３と中央の本体部とを接続するようにしてもよい。

［第五実施形態の基板検査用接触子の構造］
図９は、第五の実施形態に係る基板検査用接触子５００を示す。

基板検査用接触子５００は、円柱状の第一導電部５１１及び円筒状の第二導電部５１２を備える。図９に示すように、この実施形態では、これまでの実施形態と異なり、円筒状の第二導電部５１２の長さが、円柱状の第一導電部５１１の長さよりも長い基板検査用接触子に本発明を適用している。

円筒状の第二導電部５１２には弾性部５１４が形成されている。弾性部５１４が形成されている位置は、検査装置のヘッド部の保持板Ｈ１の保持孔Ｈ１０に挿入される位置である。

［第五実施形態に係る基板検査用接触子の取り付け］
次に、基板検査用接触子５００の一つを検査装置の電極部ＥＰと被検査基板Ｋの検査点Ｂとの間に固定するまでの作業の流れを説明する。

まず、基板検査用接触子５００の第二導電部５１２の一方の端部をヘッド部の保持板Ｈ１の保持孔Ｈ１０に挿入して電極部ＥＰに接触させる。また、第二導電部５１２の他方の端部をヘッド部Ｈ２（ガイド板）の保持孔Ｈ２０に挿入して検査点Ｂに接触させる。これにより、基板検査用接触子５００を電極部ＥＰと検査点Ｂとの間に配置する。それらの保持孔は被検査基板Ｋに対し直交する方向に直線状に形成されている。

そのように基板検査用接触子５００を電極部ＥＰと検査点Ｂとの間に配置した段階では、第一導電部５１１及び第二導電部５１２はともに真っ直ぐであり、第二導電部５１２の弾性部５１４は、保持孔Ｈ１０の内部に配置されている。

次に、電極部ＥＰが固定されているプレート及び検査点Ｂの被検査基板Ｋの双方又は一方を他方に近づく方向に移動して、電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔を狭め、第二導電部５１２の端部がそれぞれ電極部ＥＰ及び検査点Ｂに押し付けるようにする。この押圧力によって、第二導電部５１２の弾性部５１４が、長軸方向に沿って収縮すると、第一導電部５１１の上下の貫入部５３１がそれぞれ電極ＥＰ及び検査点Ｂに貫入される。

さらに、電極部ＥＰと検査点Ｂとの間の間隔を狭めて、基板検査用接触子５００を長軸方向に沿って中央方向に向けて押圧すると、第三実施形態の場合と同様に、基板検査用接触子５００は、全体的に撓んで中央部が湾曲し、第一導電部５１１及び第二導電部５１２の可撓性に伴う弾力性により、それらの端部が、検査点Ｂと電極部ＥＰとにさらに圧接されることになる。

そのような状態になると、第一導電部５１１及び第二導電部５１２の端部が、それぞれの可撓性及び弾性部５１４の弾力性に伴う付勢力によって、検査点Ｂ及び電極部ＥＰに圧接された状態となるので、確実に、検査点Ｂと電極部ＥＰとの間で電気信号を伝達することができるようになる。

第二導電部５１２の弾性部５１４はコイルスプリング状のものを用いたが、弾性を発揮させる形状のものであればどのようなものでもよく、例えば、複数の細木状のものを長手方向に沿って第二導電部の周面に沿って配置して弾性部を形成して、その弾性部によって端部と中央の本体部とを接続するようにしてもよい。

［第六実施形態の基板検査用接触子］
図１０は、第六の実施形態に係る基板検査用接触子６００を示す。

基板検査用接触子６００は、第五実施形態に係る基板検査用接触子５００の円柱状の第一導電部５１１を円柱状の第一導電部６１１と入れ替えたものである。円柱状の第一導電部６１１には、第二導電部５１２の弾性部５１４の位置に対応しない位置、つまり、図１０において下側の位置に、弾性部６１４が形成されている。

この第六実施形態に係る基板検査用接触子６００の取り付け方法は、上記の第五の実施形態に係る基板検査用接触子５００の場合と同じである。取り付けた場合には、第二導電部５１２の長さが、円柱状の第一導電部６１１の長さよりも長いため、第二導電部５１２の弾性部５１４の収縮の距離よりが、第一導電部６１１の弾性部６１４の収縮の距離よりも長い。

第五及び第六の実施形態に示す弾性部５１４，６１４は、例示であり、それ以外にも、第一導電部６１１に形成する弾性部の数及び位置と第二導電部６１２に形成する弾性部の数及び位置との組合せは、第三及び第四実施形態の場合と同様に任意である。

つまり、第一導電部６１１の上下の２箇所の位置と第二導電部５１２の上下の位置の２箇所の合計４箇所の位置において、弾性部を形成するか否かの組合せは、２⁴＝１６通りある。

図１０の第三実施態様に係る基板検査用接触子６００の弾性部６１４はコイルスプリング状のものを用いたが、後述の図１４（ａ）から図１４（ｄ）に示すようなさまざまな形状の弾性部を用いてもよい。

［弾性部のレーザ加工］
次に、図１１、図１２及び図１３を参照しながら、第一導電部１１の弾性部１４の形成方法について説明する。

図１２は、第一導電部１１に弾性部１４を形成するためのレーザ装置１００の概略の構成を示す。そのレーザ装置１００は、レーザビームを出力するレーザ発生器１０２を備える。このレーザ発生器として、ＳＨＧ−ＹＡＧレーザ装置を用いることができる。また、レーザ装置１００は、そのレーザ発生器１０２から出力されたレーザビームの一部を分岐するためのビームサンプラー１０６と、ビームを被加工物Ｃ（例えば、第一導電部１１）に偏向させるためのミラー１１０と、その偏向されたビームを集光するための集光レンズ１１２と、ビームサンプラー１０６から分岐されたビームの一部を測定するためのフォトセンサ１０８とを備える。フォトセンサ１０８は、測定したビームのパワーに関する信号を制御装置１０４に伝達する。被加工物Ｃは、その位置を制御するためのＸＹＺステージ１１４に載置されている。制御装置１０４は、フォトセンサ１０８からのパワー信号に基づいてレーザビームの出力の調整を行うとともに、ＸＹＺステージ１１４の位置の調整も行う。

ここで、図１３のフローチャートに従って、レーザ装置１００を用いて第一導電部１１の弾性部１４を形成するための工程を説明する。

まず、ステップＳ７１において、第一導電部１１の位置決めを行う。つまり、図１１（ａ）に示すように、第一導電部１１の弾性部１４を形成する位置に適切にレーザビームが照射されるように、ＸＹＺステージ１１４を移動して、その上に載置されている第一導電部１１の位置決めを行う。

ステップＳ７２では、レーザビームの出力の大きさや出力タイミングを設定する。

ステップＳ７３では、ＸＹＺステージ１１４の駆動を行いながら、第一導電部１１にレーザビームを照射して、弾性部１４を形成する部分の所定の箇所を削り取る。つまり、弾性部１４を形成する部分から、図１１（ｂ）に示すように、２つの半円柱部分を切り取って、所定の厚さを有する板状部分を形成する。

ステップＳ７４では、その板状部分を有する第一導電部１１をその軸線を中心に９０度回転させて、図１１（ｃ）に示すように、平面に対しレーザ光が照射できるような状態にする。

ステップＳ７５では、次のレーザ加工のために必要なレーザビームの出力の大きさ、出力タイミング、ＸＹＺステージ１１４の移動範囲を設定する。ただし、この設定は、ステップＳ７２において行ってもよい。

ステップＳ７６では、詳細は後述するように、その弾性部１４の板状部分に、レーザビームを照射して、不要な短冊状の部分を取り除いて、のこぎり状の部分を残す（図１１（ｄ））。

図１４（ａ）から図１４（ｄ）は、第一導電部にさまざまな形状の弾性部を形成した例を示す。

図１４（ａ）は、第一導電部５１にのこぎり形状の弾性部５４を形成した例を示す。こののこぎり形状の弾性部５４は、第一導電部５１の軸線方向に沿って、交互にずらされて配置された複数の短冊状の部分５４ｂ（細長い矩形部分）を取り除いてのこぎり形状の部分５４ａを残したものである。

それを形成するにあたっては、その短冊状の部分５４ｂは交互に第一導電部５１の幅方向にずれているので、その幅方向に外側から内側に向かって順に短冊状の部分５４ｂをレーザ光によって切りとる。その場合、一方の側において順に短冊状の部分５４ｂをレーザ光によって切り取り、次に、他方の側において順に短冊状の部分５４ｂを切り取るようにしてもよく、または、左右の側の方向（図に向かって上下方向）から交互に短冊状の部分５４ｂを切り取るようにしてもよい。

そのように短冊状の部分５４ｂを取り除くと、図１１（ｄ）に示されているようなのこぎり状の部分５４ａが残されたのこぎり形状の弾性部５４が形成される。

図１４（ｂ）は、第一導電部６１にジグザグ状の弾性部６４を形成した例を示す。このジグザグ状の弾性部６４は、第一導電部６１の側縁に軸線方向に沿って並んだ小さな三角形状の部分６４ｂを取り除いてジグザグ状の部分６４ａを残したものである。

それを形成するにあたっては、その小さな三角形状の部分６４ｂは側縁に沿って並んでいるので、幅方向の外側からそれらの三角形状の部分６４ｂをレーザ光によって切り取る。その場合、一方の側に並ぶ三角形状の部分６４ｂをレーザ光によって切り取り、次に、他方の側に並ぶ三角形状の部分６４ｂを切り取るようにしてもよく、または、左右交互に三角形状の部分６４ｂを切り取るようにしてもよい。

図１４（ｃ）は、第一導電部７１の軸線の部分に沿って細い棒状の弾性部７４を形成した例を示す。この細い棒状の弾性部７４は、第一導電部７１の軸線に平行な２本の細長い棒状の部分７４ｂを取り除いて軸線部分に沿った細い棒状の部分７４ａを残したものである。

それを形成するにあたっては、その２本の細長い棒状の部分７４ｂは、幅方向に並んでいるので、幅方向外側から各細長い棒状部分７４ｂをそれぞれレーザ光によって切り取る。

図１４（ｄ）は、第一導電部８１に波形状の弾性部８４を形成した例を示す。この波形状の弾性部８４は、第一導電部８１の軸線方向に沿って側縁に並んだ小さな半円形状の部分８４ｂを取り除いて波形状の部分８４ａを残したものである。

それを形成するにあたっては、その小さな半円形状の部分８４ｂは側縁に沿って並んでいるので、幅方向からそれらの半円形状の部分８４ｂをレーザ光によって切り取る。その場合、一方の側に並ぶ半円形状の部分８４ｂをレーザ光によって切り取り、次に、他方の側に並ぶ半円形状の部分８４ｂを切り取るようにしてもよく、または、左右交互に半円形状の部分８４ｂを切り取るようにしてもよい。

これらのさまざまな形状の弾性部のように、弾性部の形状を弾性部の中心に関して点対称に形成すると、伸縮の方向や湾曲の大きさがその点に関して対称的になるので、導電部を検査点や電極部に均等な力で圧接させることができる。

上記の各実施形態は、円柱状の第一導電部とそれを囲む円筒状の第二導電部とからなる四端子プローブ治具について説明したが、二端子プローブ治具にも、上記の各実施形態における第一導電部又は第二導電部と同様に、弾性部を任意の位置にプローブと一体に形成するようにしてもよい。

上記の本発明の各実施形態に係る基板検査用接触子によると、弾性部が棒状部分と一体的に形成されているためそれらを接続する部材等が不要であり、また、導電部と一体であるため、耐久性に優れるという特徴を有している。また、レーザ加工によって一部を削り取るだけで容易に弾性部を形成することができる。

また、弾性部の形状を弾性部の中心に関して点対称に形成することによって、伸縮及び湾曲の大きさや方向が均一になるので、導電部を検査点や電極部に均等な力で圧接させることができる。

尚、本明細書中では、これらの二つの端子である電圧測定用端子及び電流印加用端子をそれぞれ第一導電部及び第二導電部として説明しているが、電圧測定用端子を第二導電部とし、電流印加用端子を第一導電部としてもよい。

また、本発明での検査点とは、導通及び／又は短絡を検査するために必要な被検査基板上に予め設定されるものである。特に、本基板検査用接触子は、チップのランド上などに盛られる金属の突起部で、インナーリードボンディングを容易にするバンプに好適に用いることができる。

Claims (17)

1. 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とをそれぞれ備える第一導電部及び第二導電部を有するとともに前記第一導電部又は第二導電部の一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられ、端部が前記検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持される基板検査用接触子であって、
   前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部を有し、
   前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、
   前記弾性部は、前記ヘッド部の前記保持孔に保持される際に、該保持孔の内部に配置される部分に設けられることを特徴とする基板検査用接触子。
2. 請求項１の基板検査用接触子において、
   前記保持板が上部保持板及び下部保持板からなり、該上部保持板又は下部保持板の一方の前記保持孔に挿入される前記第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。
3. 請求項１の基板検査用接触子において、
   前記保持板が上部保持板及び下部保持板からなり、前記第一導電部に設けられた弾性部と前記第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる保持板の前記保持孔に挿入される位置に形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。
4. 請求項１の基板検査用接触子において、
   前記弾性部は、前記第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。
5. 請求項１の基板検査用接触子において、検査治具のヘッド部への取り付け前では、前記第一導電部が前記第二導電部よりも長いことを特徴とする基板検査用接触子。
6. 請求項１の基板検査用接触子において、検査治具のヘッド部への取り付け前では、前記第二導電部が前記第一導電部よりも長いことを特徴とする基板検査用接触子。
7. 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とを備え、端部が前記検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持される基板検査用接触子であって、
   可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部が一体的に形成されており、
   前記弾性部が、前記ヘッド部の保持孔に保持される際に、該保持孔の内部に配置される部分に設けられることを特徴とする基板検査用接触子。
8. 被検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するために前記被検査基板の所定の検査点に接触させて電気信号を伝送する複数の接触子と該複数の接触子を保持する保持体とからなる検査治具であって、
   前記接触子は、可撓性及び導電性を有する第一導電部と該第一導電部を内部に収容する可撓性及び導電性を有する第二導電部からなり、
   前記保持体は、前記所定の検査点に前記接触子の一端を案内する第一保持孔と、前記接触子の他端を前記検査装置の電極部へ案内する第二保持孔を有し、
   前記第一導電部は、少なくとも一つの長手方向に伸縮する弾性部を有し、
   前記弾性部は、前記第一保持孔及び／又は第二保持孔内に配置されていることを特徴とする検査治具。
9. 請求項８の検査治具において、前記保持孔は前記被検査基板に対し直交する方向に形成されていて、前記弾性部は該保持孔内において前記接触子の長手方向に直線的に伸縮自在であることを特徴とする検査治具。
10. 請求項８の検査治具において、
    前記第一保持孔又は第二保持孔の一方に挿入される前記第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されていることを特徴とする検査治具。
11. 請求項８の検査治具において、
    前記第一導電部に設けられた弾性部と前記第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる前記保持孔に挿入される部分に形成されていることを特徴とする検査治具。
12. 請求項８の検査治具において、
    前記弾性部は、前記第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることを特徴とする検査治具。
13. 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子を製造する製造方法であって、
    導電性を有する長尺状の第一導電部の一部にレーザ光を照射して、該一部を所定形状に加工して、該第一導電部の長手方向に伸縮する弾性部を形成する弾性部形成工程と、
    前記弾性部が形成された前記第一導電部を、導電性を有する筒状部材により形成される第二導電部に収容する収容工程を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。
14. 請求項１３の基板検査用接触子の製造方法において、前記弾性部形成工程において一部に弾性部を形成する第一導電部及び第二導電部は、全体として可撓性を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。
15. 請求項１３の基板検査用接触子の製造方法において、前記弾性部形成工程は、
    前記第一導電部の一部にレーザ光を照射して所定厚みの板状部を形成する第一形成工程と、
    前記板状部にレーザ光を照射して、前記板状部の幅方向外側から内側に向って、交互に反対側から複数の所定の形状を作成するための切欠部を形成する第二形成工程を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。
16. 請求項１３の基板検査用接触子の製造方法において、前記弾性部は、前記板状部の一部を幅方向に交互に切欠いて波形状に形成され、前記弾性部は、前記板状部の一部を幅方向に切欠いて矩形波状に形成され、前記弾性部は、前記板状部の幅方向の外側部分を切欠いて細棒状に形成され、又は、前記弾性部は、前記板状部上で該板状部の中心点に関し点対称となるように形成され、さらに、前記弾性部形成工程の後に、前記第一導電部の外周に絶縁膜を形成する工程を有し、さらに、前記収容工程の後に、前記第二導電部の端部を先細り形状に形成する工程を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。
17. 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、
    前記第一導電部は、導電性を有する長尺状の形状を有するとともに、該第一導電部の一部分にレーザ光を照射して形成される長手方向に収縮する弾性部を有し、
    前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに導電性を有する筒状部材により形成される、基板検査用接触子。

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