WO2007116963A1

WO2007116963A1 - 基板検査用接触子及びその製造方法

Info

Publication number: WO2007116963A1
Application number: PCT/JP2007/057746
Authority: WO
Inventors: Kiyoshi Numata; Minoru Kato; Masami Yamamoto
Original assignee: Nidec-Read Corporation
Priority date: 2006-04-07
Filing date: 2007-04-06
Publication date: 2007-10-18
Also published as: JPWO2007116963A1; JP5088504B2

Description

明細書

基板検査用接触子及びその製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、被検査基板の配線パターン上に設定された所定の検査点に一対の端子を圧接し、この被検査基板と基板検査装置との間で検査信号の伝達を可能とする四端子測定法に用いる基板検査用接触子、それを用いる検査治具及び基板検査用接触子の製造方法に関する。

[0002] 尚、この発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、この明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」と称する。背景技術

[0003] 従来、回路基板上の配線パターンは、その回路基板に搭載される IC等の半導体や抵抗器などの電気 ·電子部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、電気 · 電子部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、或いは、半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値を測定して、その良否が判定されていた。

[0004] 特許文献 1 :特開平 6— 66832号公報

特許文献 2：特開 2005— 321211号公報

特許文献 3：特許第 3690801号

例えば、回路基板上の各検査点に、それぞれ電流供給用端子と電圧測定用端子とを当接させ、各検査点にそれぞれ当接させた電流供給用端子間に測定用電流を供給すると共に、各検査点にそれぞれ当接させた電圧測定用端子間に生じた電圧を測定することにより、測定端子と検査点との間の接触抵抗の影響を抑制して高精度に抵抗値を測定する方法 (いわゆる、 4端子測定法あるいはケルビン法）が知られており、この方法を用いて配線パターンの検査を行う基板検査装置が知られている（例えば、特許文献 1参照)。

[0005] し力しながら、この特許文献 1に開示される基板検査装置では、 4端子測定法を用 V、て配線パターンの検査を行う場合、電流供給用端子及び電圧測定用端子の 2つの端子を検査点毎に、移動制御させながら当接させる必要がある。一方、近年、回路基板の微細化が進み、検査点となるランドが狭小化しているため、一つのランドに 2 つの端子を互いに電気的に短絡することなく確実に検査点に当接させることが極めて困難であるとヽぅ問題が生じて!/ヽた。

[0006] このような問題を解決するために、円柱状のピンとこの外周に配置されていて軸方向に摺動可能な螺旋状のパネとを備える接触子が知られてヽる (特許文献 2参照)。このように接触子を形成することにより、この二つの端子を微細な検査点に容易に当接させることを可能として、る。

[0007] し力しながら、この特許文献 2に開示されるような接触子は、微細な螺旋状のパネやこのパネの両端に設けられる微細なプランジャを形成する必要があるため、複雑な構成を有していた。

[0008] このため、二つの端子を互いに電気的に短絡することなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純で且つ廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の接触子の創出が要求されていた。

[0009] また、特許文献 3には、接触子の絶縁被覆部分の外径が、検査治具のヘッド部の保持孔の内径よりも小さく形成された構成が開示されている。

[0010] その構成は、接触ピンの保持孔への挿入やその保持孔カもの抜き取りができるようにするためのものである。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0011] 本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、二つの端子を互いに電気的に短絡することなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純な構造で廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の基板検査用接触子、それを用いる検査治具及び基板検査用接触子の製造方法を提供することを目的とする。 [0012] また、本発明は、接触子を検査治具に取り付けた際の橈みの影響を受けることなく、接触子が確実に検査点に接触できる基板検査用接触子を提供することを目的とする。

[0013] さらに、本発明は、一体的に弾性部が形成された基板検査用接触子を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0014] 本発明に係る基板検査用接触子は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とをそれぞれ備える第一導電部及び第二導電部を有するとともに第一導電部又は第二導電部の一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられ、端部が検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持される。

[0015] この基板検査用接触子は、第一導電部が、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部を有し、第二導電部が、第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、弾性部が、ヘッド部の保持孔に保持される際に、保持孔の内部に配置される部分に設けられることを特徴とする。

[0016] 保持板は上部保持板及び下部保持板カゝらなり、上部保持板又は下部保持板の一方の保持孔に挿入される第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されて、ることが望まし!/、。

[0017] また、保持板が上部保持板及び下部保持板からなり、第一導電部に設けられた弾性部と第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる保持板の保持孔に挿入される位置に形成されてヽることが望ま、。

[0018] 弾性部は、第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることが望ましい。

[0019] 未使用時において、第一導電部が第二導電部よりも長ぐ又は、未使用時において、第二導電部が第一導電部よりも長くてもよい。

[0020] また、本発明に係る基板検査用接触子は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とを備え、端部が検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持されている。この基板検査用接触子は、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部が一体的に形成されており、弾性部が、ヘッド部の保持孔に保持される際に、保持孔の内部に配置される部分に設けられることが望まし、。

[0021] さらに、本発明に係る検査治具は、被検査基板の配線パターンの電気的特性を検查するために被検査基板の所定の検査点に接触させて電気信号を伝送する複数の接触子と複数の接触子を保持する保持体とからなる。この検査治具は、接触子が、可撓性及び導電性を有する第一導電部と第一導電部を内部に収容する可撓性及び導電性を有する第二導電部とからなり、保持体が、所定の検査点に接触子の一端を案内する第一保持孔と、接触子の他端を検査装置の電極部へ案内する第二保持孔を有し、第一導電部は、少なくとも一つの長手方向に伸縮する弾性部を有し、弾性部は、第一保持孔及び Z又は第二保持孔内に配置されている。

[0022] 保持孔は被検査基板に対し直交する方向に形成されて!ヽて、弾性部は保持孔内にお、て接触子の長手方向に直線的に伸縮自在であることが望ま、。

[0023] 第一保持孔又は第二保持孔の一方に挿入される第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されていることを特徴とする。

[0024] 第一導電部に設けられた弾性部と第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる保持孔に挿入される部分に形成されてヽることが望まヽ。

[0025] 弾性部は、第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることが望ましい。

[0026] また、本発明に係る基板検査用接触子を製造する製造方法は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用 V、られ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子を製造する製造方法である。この製造方法は、導電性を有する長尺状の第一導電部の一部にレーザ光を照射して、一部を所定形状に加工して、第一導電部の長手方向に伸縮する弾性部を形成する弾性部形成工程と、弾性部が形成された第一導電部を、導電性を有する筒状部材により形成される第二導電部に収容する収容工程を有する。 [0027] 弾性部形成工程において一部に弾性部を形成する第一導電部及び第二導電部は、全体として可撓性を有することが望ましい。

[0028] 弾性部形成工程は、第一導電部の一部にレーザ光を照射して所定厚みの板状部を形成する第一形成工程と、板状部にレーザ光を照射して、板状部の幅方向外側から内側に向って、交互に反対側から複数の所定の形状を作成するための切欠部を形成する第二形成工程を有することが望ましヽ。

[0029] 弾性部は、板状部の一部を幅方向に交互に切欠、て波形状に形成され、弾性部は、板状部の一部を幅方向に切欠いて矩形波状に形成され、弾性部は、板状部の幅方向の外側部分を切欠いて細棒状に形成され、又は、弾性部は、板状部上で板状部の中心点に関し点対称となるように形成され、さらに、弾性部形成工程の後に、第一導電部の外周に絶縁膜を形成する工程を有し、さらに、収容工程の後に、第二導電部の端部を先細り形状に形成する工程を有することが望ましい。

[0030] また、本発明に係る基板検査用接触子は、被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する。この基板検査用接触子は、第一導電部は、導電性を有する長尺状の形状を有するとともに、第一導電部の一部分にレーザ光を照射して形成される長手方向に収縮する弾性部を有し、第二導電部は、第一導電部を内部に収容するとともに導電性を有する筒状部材により形成される。

発明の効果

[0031] 本発明によると、二つの端子を互いに電気的に短絡することなく微細な検査点に容易に当接させることができるとともに、単純な構造で廉価に製造することができる構成を有する四端子測定用の基板検査用接触子を提供することができる。

[0032] 一本の第一導電部や第二導電部の一部に弾性部を一体的に形成するので、接続部材ゃ接続材などを必要とすることなく基板検査用接触子を製造することなくできる。それにより、耐久性に優れた基板検査用接触子に優れた耐久性を与えることができる。

[0033] その弾性部の形成のためにレーザ力卩ェを用いてもよぐレーザ力卩ェを用いると、レ一ザ光はそのビーム径を絞ることにより、微細な加工が可能であるため、そのことを利用して元々微細な四端子接触子の導電部に加工を施し、弾性部を形成することにより、本体と弾性部とがー体となった導電部を得ることが可能となる。

[0034] また、本発明によると、接触子の弾性部をヘッド部の保持孔内部に配置できる位置に形成したので、接触子を検査治具に取り付けた際の接触子の橈みの影響を受けることがなぐそれにより、弾性部が確実に保持孔内で伸縮することができて、接触子が検査点に確実に接触できる基板検査用接触子を提供することができる。

図面の簡単な説明

[0035] [図 1]図 1は、本発明に係る第一実施形態の基板検査接触子を示し、図 1 (a)は分解図、図 1 (b)は組立図である。

[図 2]図 2は、本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子の一端の断面図である。

[図 3]図 3 (a)から図 3 (c)は、第一実施形態の基板検査用接触子を検査装置の電極と被検査基板の検査点との間に取り付ける工程を説明するための図である。

[図 4]図 4は、本発明に係る第二実施形態の基板検査接触子を示し、図 4 (a)は分解図、図 4 (b)は糸且立図である。

[図 5]図 5は、本発明に係る第三実施形態の基板検査接触子を示し、図 5 (a)は分解図、図 5 (b)は組立図である。

[図 6]図 6は、本発明に係る第三実施形態の基板検査用接触子を電極と検査点との間に取り付けた状態を示す側面図である。

[図 7]図 7は、本発明に係る第三実施形態の基板検査用接触子の一部変形例を電極と検査点との間に取り付けた状態を示す側面図である。

[図 8]図 8は、本発明に係る第四実施形態の基板検査接触子を示し、図 8 (a)は分解図、図 8 (b)は糸且立図である。

[図 9]図 9は、本発明に係る第五実施形態の基板検査接触子を示す側面図である。

[図 10]図 10は、本発明に係る第六実施形態の基板検査接触子を示す側面図である

[図 11]図 11 (a)から図 11 (d)は、第一実施形態の基板検査用接触子の第一導電部の各製造工程における形状を示す側面図である。

[図 12]図 12は、基板検査用接触子の弾性部を形成するためのレーザ装置の概略構成図である。

圆 13]図 13は、レーザ装置を用いて基板検査用接触子の弾性部を形成するための工程を説明するためのフローチャートである。

圆 14]図 14は、基板検査用接触子の弾性部のさまざまな形状の例示を説明するための概略図である。

符号の説明

1···· '第一実施形態の基板検査用接触子

11·· ··第一導電部

12·· •第二導電部

13·· ··棒状部分

131· ··貫入部

14·· '·弾性部

51, 61， 71, 81····第一導電部

54, 64, 74, 84…弾性部

100· ··レーザ装置

200· • '第二実施形態の基板検査用接触子

211· ··第一導電部

212· ··第二導電部

213· ··棒状部材

214· ··弾性部

300· • '第三実施形態の基板検査用接触子

311· ··第一導電部

312· ··第二導電部

314· ··弾性部

400· • '第四実施形態の基盤検査用接触子

411· ··第一導電部 412· •第二導電部

413 · •棒状部材

414· '弾性部

500· •第五実施形態の基盤検査用接触子

511 · •第一導電部

512· •第二導電部

514· '弾性部

600· •第六実施形態の基盤検査用接触子

611 · •第一導電部

614· '弾性部

発明を実施するための最良の形態

[0037] [第一実施形態の基板検査用接触子の構造]

本発明に係る第一実施形態の基板検査用接触子 1について説明する。

[0038] 図 1及び図 2は、基板検査用接触子 1の構造を示す。図 1 (a)は分解図、図 1 (b)は組立図である。図 2は、基板検査用接触子 1の一端の一部断面図である。

[0039] 基板検査用接触子 1は、第一導電部 11及び第二導電部 12を有していて、第二導電部 12は、図 1 (b)に示すように、第一導電部 11を内部に収容する筒状に形成されている。

[0040] 第二導電部 12は、可撓性の素材で形成されていて、使用時に、被検査基板の配線パターン上の検査点と検査装置の電極部との間に両端が挟まれると橈み、その弹力性によって、その両端を検査点及び電極部に圧接する。第二導電部 12の素材として、ニッケル (Ni)やステンレス鋼等を用いることができる力特にそれらに限定されるものではなく、可撓性及び導電性を有するものであればどのようなものでもよい。図示して！/、な、が第二導電部 12の外側表面に絶縁層を設けることが好ま、。

[0041] また、第二導電部 12は、超微細電铸パイプ 122から形成された筒状のものから構成されていて、内部に第一導電部 11を収容する空間が形成されている。例えば、その内径は約 70 μ mであり、外径は 90 μ mである。組立は、図 1 (b)に示すように、その内部に第一導電部 11を収容した後、端部 121を先細り形状に形成することによつて行う。なお、この先細り形状は、第一導電部 11を第二導電部 12に収容した後、例えば、第二導電部 12の先端部を外側周縁から押圧することにより形成することができる。

[0042] 第一導電部 11は、棒状又は針状に形成される長尺状の部材から形成されている。

この第一導電部 11は、第二導電部 12と同軸に設けられるので、円柱状に形成されることが好ましい。

[0043] 第一導電部 11も、第二導電部 12と同様に、導電性で且つ可撓性を有する部材から形成されている。第一導電部 11が導電性の部材カも構成されることによって、測定装置の電極と被検査基板の検査点との間で電気信号を受信及び送信することができる。また、この第一導電部 11が可撓性を有することによって、後述するように、使用時に、第二導電部 12が両端側力もの押圧に伴い橈む場合に、その橈みに応じて第一導電部 11も橈むことができる。

[0044] 図 1 (a)又は図 1 (b)に示すように、第一導電部 11は、検査点に接触する側の端部に、検査点に貫入することのできる尖鋭形状の貫入部 131を有する。

[0045] そのように貫入部 131を尖鋭形状に形成すると、第一導電部 11の貫入部 131が検查点へ容易に貫入することができるとともに、接触している間、検査点との間の接触抵抗を小さくすることができる。また、接触を行うごとの接触抵抗値のばらつきを防いで抵抗値を安定的に一定範囲内に収めることができる。

[0046] この実施例では、貫入部 131の形状は円錐形状に形成しているが、四角錐や三角錐等の角錐状のものでもよい。また、貫入部 131の先端形状を尖鋭形状でなくて球形形状とし、その形状の貫入部を検査点に押し付けることによって接触を確実にするようにしてもよい。

[0047] 第一導電部 11は、貫入部 131が、図 1 (b)に示すように、尖鋭形状を有する場合に、第二導電部 12の端部よりも所定量 dl l分だけ突出するように配置される。このように貫入部 131を所定量 dl lだけ突出させた場合には、詳しくは後述するように、基板検査用接触子 1を両端から押圧して検査点に圧接させると、まず、この所定量 dl l分だけ第一導電部 11が検査点へ貫入して力第二導電部 12が検査点に当接することになる。そして、更に両端力も圧接されることによって、第二導電部 12が橈んでその端部が検査点及び電極に圧接されるようになる。そのため、突出の量 dl lは、貫入部 131の貫入量と、第一導電部 11及び第二導電部 12の橈み量等を考慮して決定される。

[0048] 図 2に示すように、第一導電部 11の外側表面には絶縁層 15が被覆されている。この絶縁層は、第一導電部 11と第二導電部 12とが電気的に短絡することを防止するためである。

[0049] 絶縁層 15は、貫入部 131を形成する傾斜面 132の一部までを被覆することが好ましい。このように被覆することにより第一及び第二導電部の短絡を確実に防止できるようになる。

[0050] この絶縁層 15には、例えば、テフロン (登録商標）やポリウレタンを用いることができる。

[0051] また、図 1 (a)に示すように、第一導電部 11の中央部には、のこぎり形状の弾性部 1 4が形成されている。弾性部 14は、基板検査用接触子 1の長軸方向に伸縮しまた基板検査用接触子 1の湾曲とともに橈み、付勢状態となる。そのように収縮及び湾曲するような部材であれば、弾性部 14を導電性のゴムや合成樹脂など、どのようなものから形成してもよい。弾性部 14を非導電性部材カゝら形成した場合には、第一導電部 11 の外周と絶縁膜 15との間に導電層を形成するか、または第二導電部 12の内面に導電層を形成して、第一導電部の両端部の 2つの貫入部 131を電気的に相互に接続するよう〖こする。

[0052] 第一導電部 11及び第二導電部 12を組み立てて基板検査用接触子 1を形成するに当たっては、まず、上記の如ぐ第一導電部 11を第二導電部 12の内部に収容して、貫入部 131を所定量 dl l分だけ第二導電部 12の端部力も突出させる。次に、第二導電部 12の両端部を押圧して図 1 (b)及び図 2に示すように内側に絞り込む。

[0053] その絞込みにより、図 2に示すように、第二導電部 12の端部は、所定の傾斜で内側方向へ延設された延設部 123を有し、内部に収縮する先細りのテーパ形状になっている。このように内側方向へ延設される延設部 123を形成することによって、第一導電部 11が第二導電部 12の端部の開口力も外側へ抜け出ることを防止することができるとともに、第一導電部の検査点に接触する端部の位置と第二導電部の検査点に接触する端部の位置とを近づけることができる。これにより、より小さな検査点であつても、第一及び第二導電部 11、 12をそのような検査点に接触させることができるようになる。

[0054] この延設部 123が有する内側表面の傾斜面 124は、第一導電部 11の貫入部 131 の傾斜面 132及びその傾斜面 132の部位を被覆する絶縁層 15の傾斜面 151またはそれらの、ずれか一方の傾斜面と略平行となるように形成されることが好ま、。

[0055] 延設部 123の傾斜面 124と貫入部 131の傾斜面 132及び Z又は絶縁部 15の傾斜面 151とが略平行となるように形成されることによって、第一導電部 11と第二導電部 12とが被検査点に接触する場合に、両方の端部は傾斜した平行のままの状態で被検査点に接触することになるので、第一導電部 11と第二導電部 12とが開口部近傍にお、て接触することを防止することができる。

[0056] 基板検査用接触子 1の寸法は、例えば、第一導電部 11の外径 wlが 40〜50 /z m、第二導電部 12の外径 w2が 80〜100 μ m、第二導電部 12の内径 w3が 60〜70 μ m、延設部 123の開口径 w4が 40〜60 /z m、第一導電部 11の絶縁層 13が被覆された外径 w5が 50〜70 m、第一導電部 11と第二導電部 12とのクリアランス w6が 1〜10 mである。このように、第一導電部 11の長さ方向の全周にわたって第二導電部 12との間に空間が形成されている。

[0057] 尚、これらの数値は、約 ±5 mの範囲のズレは許容範囲に入るものとすることができる。

[0058] また、貫入部 131の突出量 dl lは、 2〜15 μ m、好ましくは？〜 13 μ m、更に好ましくは約 10 μ mに設定されて!、る。

[0059] 上記の例のように突出量 dl lを適切な値に設定することによって、第二導電部 12 の貫入部 131の先端が検査点の中心を外れて当接した場合であっても、確実に第二導電部 12の延設部 123も検査点に接触することになる。

[0060] また、第一導電部 11の外側表面に絶縁層を被覆したり、第二導電部 12の内側表面に絶縁層を被覆したり、又は、それらの両方に絶縁層を被覆したりすることによって

、各導電部を流れる電気信号が確実に送受信される。

[0061] [第一実施形態の基板検査用接触子の取り付け] 図 3 (a) ,図 3 (b)及び図 3 (c)は、基板検査用接触子 1を用いて、被検査基板 K上の所定の 2つの検査点 Bの間の抵抗を測定するために、第一導電部 1を検査装置の電極部 EPと被検査基板 Kの検査点 Bとの間に固定するまでの概略の工程を示す。なお、図 3 (a) ,図 3 (b)及び図 3 (c)においては、説明の簡略化のために、第二導電部 12の図示は省略してある。

[0062] まず、図 3 (a)に示すように、上側の棒状部材 13の端部を電極部 EPに接触させるとともに、下側の棒状部材 13の端部を検査点 Bに接触させるように、第一導電部 11を電極部 EPと検査点 Bとの間に配置する。

[0063] 次に、図 3 (b)に示すように、電極部 EPが固定されているプレート及び検査点 Bの被検査基板 Kの双方又は一方を移動して、電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔を狭めて、第一導電部 11の両端部を長軸方向に沿って中央に向力つて押し付ける。この押圧力によって、第一導電部 11の弾性部 14が長軸方向に沿って収縮する。一方、その弾性部 14の付勢力によって、第一導電部 11の貫入部 131が検査点 Bに貫入される。さらに押圧力が加えられて弾性部 14がさらに収縮すると、第二導電部 12が検查点 Bに圧接することになる（図 3 (b)、ただし、第二導電部 12は図示していない)。

[0064] またさらに、電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔が狭まるように、第一導電部 11及び第二導電部 12の両端部をそれぞれの長軸方向に沿って押圧すると、第一導電部 11 が全体的に湾曲して橈む（図 3 (c)、ただし、第二導電部 12は図示していない）このような状態になると、第一導電部 11及び第二導電部 12の端部が、弾性部 14と湾曲した第一導電部 11及び第二導電部 12の本体部分との元の直線状に戻ろうとする力により、検査点 B及び電極部 EPに強く圧接された状態となるので、確実に、検査点から電極部に電気信号を伝達することができるようになる。

[0065] [第二実施形態の基板検査用接触子の構造]

図 4は、弾性部 214を両端部の貫入部 231の近くにそれぞれ有する第二実施形態に係る基板検査用接触子 200を示す。

[0066] 基板検査用接触子 200は、図 1に示す基板検査用接触子 1と同様に、円柱状の第一導電部 211及び円筒状の第二導電部 212を備える。図 4 (b)に示すように、第二導電部 212の内部に第一導電部 211を配置する際には、第一導電部 211の貫入部 231が、第二導電部 212の端部よりも所定量 d22分だけ突出するように配置される。

[0067] 第一導電部 211及び第二導電部 212は、図 1に示す基板検査用接触子 1と同様に、導電性及び可撓性を有する材料から形成されている。

[0068] 弾性部 214は、基板検査用接触子 1の弾性部 14と同様に、レーザ光によって第一導電部 211を直接に加工して形成することができる。

[0069] この基板検査用接触子 200を用いて、被検査基板 K上の所定の 2つの検査点 Bの間の抵抗を測定するために、それを検査装置の電極部 EPと被検査基板 Kの検査点 Bとの間に固定するまでの概略の工程を説明すると、まず、基板検査用接触子 200 をまっすぐな状態のままで、電極部 EPと検査点 Bとの間に配置する。

[0070] 次に、電極部 EPが固定されているプレート及び検査点 Bの被検査基板 Kの双方又は一方を移動して、電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔を狭めて、第一導電部 211の両端の貫入部 231を長軸方向に沿って中央に向力つて押し付ける。この押圧力によつて、第一導電部 211の 2つの弾性部 214が長軸方向に沿って収縮する。その一方、それらの弾性部 214の付勢力によって、第一導電部 211の貫入部 231が検査点 B に貫入される。さらに押圧力が加えられて弾性部 214がさらに収縮すると、第二導電部 212が検査点 Bに圧接することになる。

[0071] またさらに、電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔が狭まるように、第一導電部 211及び第二導電部 212の両端部をそれぞれの長軸方向に沿って押圧すると、第一導電部 211が全体的に湾曲して橈む。

[0072] このような状態になると、第一導電部 211及び第二導電部 212が、 2つの弾性部 21 4の弾力と湾曲した第一導電部 211及び第二導電部 212の本体部分の弾力とにより、それらの端部は検査点 B及び電極部 EPに強く圧接された状態となるので、確実に、検査点から電極部に電気信号を伝達することができるようになる。

[0073] [第三実施形態の基板検査用接触子の構造]

図 5は、弾性部 314を両端部の貫入部 331の近くにそれぞれ有する第三実施形態に係る基板検査用接触子 300を示す。

[0074] 基板検査用接触子 300は、図 4に示す基板検査用接触子 200と同様に、円柱状の第一導電部 311及び円筒状の第二導電部 312を備える。図 5 (b)に示すように、第二導電部 312の内部に第一導電部 311を配置する際には、第一導電部 311の貫入部 331が、第二導電部 312の端部よりも所定量 d33分だけ突出するように配置される

[0075] また、第一導電部 311及び第二導電部 312は、図 4に示す基板検査用接触子 200 と同様に、導電性及び可撓性を有する材料から形成されている。

[0076] 図 5に示すように、弾性部 314はコイルスプリング状に形成されている。その弾性部 314は、基板検査用接触子 1の長軸方向に収縮することにより付勢状態となる。そのような部材であれば、弾性部 314を導電性のゴムや合成樹脂など、どのようなものから形成してもよい。弾性部 314を非導電性部材カゝら形成した場合には、第一導電部 3 11の外周とその周りに形成されている絶縁膜 (図 2の絶縁膜 15に相当するもの）との間に導電層を形成するか、または第二導電部 312の内面に導電層を形成して、第一導電部の両端部の 2つの貫入部 331を電気的に相互に接続するようにする。

[0077] 弾性部 314を形成する位置は、後述するように、この基板検査用接触子 300を検查装置の治具の治具ヘッド部の保持板 HI, H2 (図 6)に取り付けた際に、その保持孔 H10, H20 (図 6)の内部に配置される部分に対応する位置である。

[0078] 第一導電部 311及び第二導電部 312を組み立てて基板検査用接触子 300を形成する工程は、上記の図 1の基板検査用接触子 1及び図 4の基板検査用接触子 200の工程と同じである。

[0079] [第三実施形態に係る基板検査用接触子の取り付け]

次に、図 6に基づいて、 2つの基板検査用接触子 300を用いて被検査基板 Kの所定の 2つの検査点 Bの間の配線の抵抗を測定するにあたって、基板検査用接触子 3 00の一つを検査装置の電極部 EPと被検査基板 Kの検査点 Bとの間に固定するまでの作業の流れを説明する。

[0080] まず、基板検査用接触子 300の第一導電部 311の一方の貫入部 331をヘッド部の保持板 HIの保持孔 H10に挿入してその貫入部 331の先端を電極部 EPに接触させる。また、他方の貫入部 331をヘッド部 H2 (ガイド板)の保持孔 H20に挿入してその貫入部の先端を検査点 Bに接触させる。これにより、基板検査用接触子 300を電極部 EPと検査点 Bとの間に配置する。それらの保持孔は被検査基板 Kに対し直交する方向に直線状に形成されて！、る。

[0081] そのように基板検査用接触子 300を電極部 EPと検査点 Bとの間に配置した段階では、第一導電部 311及び第二導電部 312はともに真っ直ぐであり、貫入部 331の近くにある 2つ弾性部 314は、保持孔 H10及び H20の内部に配置されている。

[0082] 次に、電極部 EPが固定されているプレート及び検査点 Bの被検査基板 Kの双方又は一方を他方に近づく方向に移動して、電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔を狭め、第一導電部 311の 2つの貫入部 331をそれぞれ電極部 EP及び検査点 Bに押し付けるようにする。この押圧力によって、第一導電部 311の弾性部 314が、図 5 (b)の通常の取り付け前の状態から、図 6に示すように、取り付けた状態では、長軸方向に沿つて収縮して、貫入部 331が第二導電部 312の中に押し込まれるようになる。さらに押圧力を加えると、それらの弾性部 314の付勢力によって、第一導電部 311の貫入部 3 31が検査点 Bへ貫入され、さらに、その押圧力及び貫入部 331の貫入に伴い、第二導電部 312の端部が検査点 Bに圧接されるようになる。

[0083] 更に電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔を狭めて、基板検査用接触子 300を長軸方向に沿って押圧すると、図 6に示すように、基板検査用接触子 300が全体的に橈んで中央部が湾曲するようになる。この場合、第一導電部 311及び第二導電部 312 の可撓性に伴う弾力性により、それらの端部力検査点 Bと電極部 EPとにさらに圧接されること〖こなる。

[0084] そのような状態になると、第一導電部 311及び第二導電部 312の端部が、それぞれの可撓性及び弾性部 314の弾力性に伴う付勢力によって、検査点 B及び電極部 E Pに圧接された状態となるので、確実に、検査点 Bと電極部 EPとの間で電気信号を伝達することができるよう〖こなる。

[0085] この基板検査用接触子 300では、弾性部 314を検査装置のヘッド部の保持板の保持孔 H10, H20の内部に配置される位置に形成した。これは次のような理由に基づく。例えば、図 3 (c)に示すように、弾性部 14を第一導電部 11の中央部に設けた場合には、その接触子 1を電極部 EPと検査点 Bとの間に取り付けて、その接触子 1に長軸方向に押圧力を加えると、第二導電部 12が湾曲するとともに第一導電部 11も湾曲する。その場合、弾性部 14もそれとともに湾曲することになる。そうなると、第二導電部 12の内面と第一導電部 11の弾性部 14及び棒状部分 13との間の摩擦により、棒状部分 13が第二導電部 12の内面を滑らかに移動することができず、弾性部 14の収縮が滑らかに行えないという状況が起こる場合がある。そのような状況下では、第一導電部 11の尖鋭形状の先端部を弾性部 14が効果的に付勢できなくなるため、その先端部が電極部 EPに貫入し難くなり、その結果、第二導電部 12の端部が電極部 E Pや検査点 Bと確実に接触できなくなることが起こり得る。

[0086] そのため、この基板検査用接触子 300では、直線状に形成されたヘッド部の保持孔の内部に弾性部 314が位置するように、第二導電部 312の棒状部分 313の端部に弾性部 314を形成している。これにより、弾性部 314とヘッド部の内壁との間に接触による摩擦抵抗が生じないので、弾性部 314が第一導電部 311の長軸方向に沿つて伸縮自在となっている。

[0087] なお、本発明での検査点とは、導通及び Z又は短絡を検査するために必要な被検查基板上に予め設定されるものである。特に、本基板検査用接触子は、チップのランド上などに盛られる金属の突起部で、インナーリードボンディングを容易にするバンプに好適に用いることができる。

[0088] 図 6に示す基板検査用接触子 300では、第一導電部 311の両端部に弾性部 314 を設けたが、どちらか一方の端部の近くに 1つの弾性部 314を設けるようにしてもょヽ。例えば、図 7に示すように、弾性部 314を検査点 Bと接触する側の貫入部 331の近くの治具ヘッド部の保持板 H2の保持孔 H20内にある第一導電部 311 'の部分に設けてもよぐまた、それとは逆に、弾性部 314を検査装置の電極 EPと接触する側の貫入部 331の近くの治具ヘッド部の保持板 H 1の保持孔 H 10内にある第一導電部 311 'の部分に設けてもよい。

[0089] その場合には、弾性部 314は、保持板 H2の保持孔 H20の内部又は保持板 HIの保持孔 H10に、直線状に保持されるため、第一導電部 311 'の長軸に沿って自在に収縮することができる。それによつて、貫入部 331を確実に検査点 Bに貫入させて、第二導電部 312の端部を確実に検査点 Bに接触させることができる。

[0090] また、図 5の第三実施態様に係る基板検査用接触子 300の第一導電部 311の弾性部 314はコイルスプリング状のものを用いた力後述する図 14 (a)力も図 14 (d)に示すようなさまざまな形状の弾性部を用いてもょ、。

[0091] [第四実施形態の基板検査用接触子の構造]

図 8 (a)及び図 8 (b)は、第四実施形態に係る基板検査用接触子 400を示す。図 8 ( a)は分解図、図 8 (b)は組立図である。

[0092] 基板検査用接触子 400は、第一導電部 411及び第二導電部 412を有していて、第二導電部 412は、図 8 (b)に示すように、第一導電部 411を内部に収容するように筒状に形成されている。

[0093] 第一導電部 411は、棒状部分 413と、弾性部 414と、貫入部 431とを備えるが、それに代えて、第一実施形態に係る第一導電部 1、第二実施形態に係る第一導電部 2 11又は第三実施形態に係る第一導電部 311の、ずれを用いてもょ、。

[0094] 第二導電部 412は、図 1に示す基板検査用接触子 1の第二導電部 12と同様に、可橈性の素材で筒状に形成されていて、使用時に、被検査基板の配線パターン上の検査点と検査装置の電極部と間に両端が挟まれると橈み、その弾性力によって、その両端を検査点及び電極部に圧接する。第二導電部 412の素材として、ニッケル (N i)やステンレス鋼等を用いることができる力特にそれらに限定されるものではなぐ可撓性及び導電性を有するものであればどのようなものでもよ、。図示してヽな、が第二導電部 412の外側表面に絶縁層を設けることが望ましい。

[0095] 図 8 (b)に示すように、第二導電部 412の両端部 423は、所定の傾斜を有して内側方向へ収縮する先細りのテーパー形状になっている。

[0096] また、第二導電部 412の両端部 423の両端部 423の近くには、弾性部 424が形成されている。弾性部 424は、第二導電部 412の長軸方向に伸縮するように形成されており、例えば、コイルスプリングの形状に形成されている。弾性部 424は、弾力性を発揮できるような形状であればどのような形状でもよ、。この弾性部 424も第一導電部 411の弾性部 414と同様にレーザカ卩ェによって形成することができ、例えば、第二導電部 412を長手方向の軸線を中心に回転させながら不要な部分を取り除くようにして形成してちょい。

[0097] その弾性部 424を形成する位置は、例えば、基板検査用接触子 400を検査装置のヘッド部の保持板 HI, H2 (図 6)に取り付けた際に、その保持孔 H10, H20 (図 6) の内部に配置される部分に対応する位置である。

[0098] 第一導電部 411及び第二導電部 412を組み立てて基板検査用接触子 400を形成するに当たっては、まず、上記の如ぐ第一導電部 411を第二導電部 412の内部に収容して、貫入部 431を所定量 d44分だけ第二導電部 412の端部力も突出させる（図 8 (b) )。次に、第二導電部 412の両端部を押圧して図 8 (a)及び図 8 (b)に示すように内側に絞り込み、テーパー形状にする。

[0099] この基板検査用接触子 400を検査装置の電極部 EPと被検査基板 Kの検査点 Bとの間に固定する際には、上記の基板検査用接触子 300の場合と同様に、まず、基板検査用接触子 400の第一導電部 411の一方の貫入部 431をヘッド部の保持板 HI の保持孔 H10に挿入してその貫入部 431の先端を電極部 EPに接触させる。また、他方の貫入部 431をヘッド部の保持板 H2の保持孔 H20に挿入してその間入部の先端を検査点 Bに接触させる。これにより、基板検査用接触子 400を電極部 EPと検查点 Bとの間に配置する。それらの保持孔は被検査基板 Kに対し直交する方向に直線状に形成されている。

[0100] そのように基板検査用接触子 400を電極部 EPと検査点 Bとの間に配置した段階では、第一導電部 411及び第二導電部 412はともに真っ直ぐであり、第二導電部 412 の 2つの弾性部 424及び貫入部 431の近くにある 2つの弾性部 414は、保持孔 H10 及び H20の内部に配置されて、る。

[0101] 次に、電極部 EPが固定されているプレート及び検査点 Bの被検査基板 Kの双方又は一方を他方に近づく方向に移動して、電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔を狭め、第一導電部 411の 2つの貫入部 431をそれぞれ電極部 EP及び検査点 Bに押し付けるようにする。この押圧力によって、第一導電部 411の弾性部 414が長軸方向に沿つて収縮して、貫入部 431が第二導電部 412の中に押し込まれる。

[0102] さらに押圧力を加えると、それらの弾性部 414の付勢力によって、第一導電部 411 の貫入部 431が検査点 Bへ貫入されるようになり、その押圧力及び貫入部 431の貫入に伴い、第二導電部 412の端部 423が検査点 Bに圧接される。

[0103] 更に電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔を狭めて、基板検査用接触子 400を長軸方向に沿って押圧すると、第二導電部 412の弾性部 424が長軸方向に収縮する。 [0104] この状態になると、弾性部 414の付勢力によって第一導電部 411の貫入部 431が電極部 EP及び検査点 Bに押し付けられ、さら〖こ、弾性部 424の付勢力によって第二導電部 412の端部 423が電極部 EP及び検査点 Bに押し付けられるようになるため、確実に、第一導電部 411及び第二導電部 412によって検査点 Bと電極部 EPとの間で電気信号を伝達することができるようになる。また、取り付け前では、第一導電部 4 11が第二導電部 412よりも長いため、取り付けた状態では、第一導電部 411の第一導電部 411の収縮の距離は、第二導電部 412の弾性部 424の収縮の距離よりも長い。

[0105] さらに、基板検査用接触子 400が、長軸方向に沿って押圧されて、図 6の実施例の場合と同様に橈んで湾曲しても、第一導電部 411の弾性部 414及び第二導電部 41 2の弾性部 424は、ヘッド部の保持板 HIの直線形状の保持孔 H10と、ヘッド部 H2 の直線形状の保持孔 H20の内部に配置されて、るので、長軸方向に自在に収縮することができる。そのため、更に確実に、検査点 Bと電極部 EPとの間で電気信号を伝達することができる。

[0106] また、図示しないが、図 7の基板検査用接触子 300'において、さらに、第二導電部 312の保持孔 H10に挿入された部分に、図 8に示す弾性部 424のような弾性部を追カロして形成してもよぐまた、図 7の基板検査用接触子 300'において、逆に、第一導電部 311 'の保持孔 H10内の部分に弾性部 314を形成したものに、第二導電部 312 の保持孔 H20内の部分に図 8に示す弾性部 424のような弾性部を追加して形成してちょい。

[0107] 第三及び第四の実施形態に示す弾性部 314, 414, 424は、例示であり、それ以外にも、第一導電部 311, 311 'に形成する弾性部の数及び位置と第二導電部 312 に形成する弾性部の数及び位置との組合せは任意である。

[0108] つまり、第一導電部 311及び第二導電部 312のそれぞれの上下の位置に弾性部を形成する場合には、それぞれの位置において、弾性部を形成するカゝ否かの 2通りの選択が可能なので、第一導電部 311の上下の 2箇所の位置と第二導電部 312の上下の位置の 2箇所の合計 4箇所の位置にぉ、て、弾性部を形成するか否かの組合せは、 2⁴= 16通りある。ただし、弾性部を形成する位置は、第一導電部 311及び第二導電部 312において異なる位置が好ましい。例えば、第一導電部 311及び第二導電部 312の両方に弾性部を形成する場合に、第一導電部 311の上の部分に弾性部を形成したときには、第二導電部 312には下の部分に弾性部を形成することが望ましい。

[0109] 図 8の第三実施態様に係る基板検査用接触子 400の弾性部 414はコイルスプリング状のものを用いたが、後述の図 14 (a)から図 14 (d)に示すようなさまざまな形状の弾性部を用いてもよい。また、第二導電部 412の弾性部 424もコイルスプリング状のものを用いたが、弾性を発揮する形状のものであればどのようなものでもよぐ例えば、複数の細木状のものを長手方向に沿って第二導電部の周面に沿って配置して弹性部を形成して、その弾性部によって端部 423と中央の本体部とを接続するようにしてもよい。

[0110] [第五実施形態の基板検査用接触子の構造]

図 9は、第五の実施形態に係る基板検査用接触子 500を示す。

[0111] 基板検査用接触子 500は、円柱状の第一導電部 511及び円筒状の第二導電部 5

12を備える。図 9に示すように、この実施形態では、これまでの実施形態と異なり、円筒状の第二導電部 512の長さが、円柱状の第一導電部 511の長さよりも長い基板検查用接触子に本発明を適用している。

[0112] 円筒状の第二導電部 512には弾性部 514が形成されている。弾性部 514が形成されて、る位置は、検査装置のヘッド部の保持板 H 1の保持孔 H 10に挿入される位置である。

[0113] [第五実施形態に係る基板検査用接触子の取り付け]

次に、基板検査用接触子 500の一つを検査装置の電極部 EPと被検査基板 Kの検查点 Bとの間に固定するまでの作業の流れを説明する。

[0114] まず、基板検査用接触子 500の第二導電部 512の一方の端部をヘッド部の保持板 HIの保持孔 H10に挿入して電極部 EPに接触させる。また、第二導電部 512の他方の端部をヘッド部 H2 (ガイド板)の保持孔 H20に挿入して検査点 Bに接触させる。これにより、基板検査用接触子 500を電極部 EPと検査点 Bとの間に配置する。それらの保持孔は被検査基板 Kに対し直交する方向に直線状に形成されてヽる。 [0115] そのように基板検査用接触子 500を電極部 EPと検査点 Bとの間に配置した段階では、第一導電部 511及び第二導電部 512はともに真っ直ぐであり、第二導電部 512 の弾性部 514は、保持孔 H10の内部に配置されている。

[0116] 次に、電極部 EPが固定されているプレート及び検査点 Bの被検査基板 Kの双方又は一方を他方に近づく方向に移動して、電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔を狭め、第二導電部 512の端部がそれぞれ電極部 EP及び検査点 Bに押し付けるようにする。この押圧力によって、第二導電部 512の弾性部 514が、長軸方向に沿って収縮すると、第一導電部 511の上下の貫入部 531がそれぞれ電極 EP及び検査点 Bに貫入される。

[0117] さらに、電極部 EPと検査点 Bとの間の間隔を狭めて、基板検査用接触子 500を長軸方向に沿って中央方向に向けて押圧すると、第三実施形態の場合と同様に、基板検査用接触子 500は、全体的に橈んで中央部が湾曲し、第一導電部 511及び第二導電部 512の可撓性に伴う弾力性により、それらの端部力検査点 Bと電極部 EPとにさらに圧接されることになる。

[0118] そのような状態になると、第一導電部 511及び第二導電部 512の端部が、それぞれの可撓性及び弾性部 514の弾力性に伴う付勢力によって、検査点 B及び電極部 E Pに圧接された状態となるので、確実に、検査点 Bと電極部 EPとの間で電気信号を伝達することができるよう〖こなる。

[0119] 第二導電部 512の弾性部 514はコイルスプリング状のものを用いた力弾性を発揮させる形状のものであればどのようなものでもよぐ例えば、複数の細木状のものを長手方向に沿って第二導電部の周面に沿って配置して弾性部を形成して、その弾性部によって端部と中央の本体部とを接続するようにしてもよい。

[0120] [第六実施形態の基板検査用接触子]

図 10は、第六の実施形態に係る基板検査用接触子 600を示す。

[0121] 基板検査用接触子 600は、第五実施形態に係る基板検査用接触子 500の円柱状の第一導電部 511を円柱状の第一導電部 611と入れ替えたものである。円柱状の第一導電部 611には、第二導電部 512の弾性部 514の位置に対応しない位置、つまり、図 10において下側の位置に、弾性部 614が形成されている。 [0122] この第六実施形態に係る基板検査用接触子 600の取り付け方法は、上記の第五の実施形態に係る基板検査用接触子 500の場合と同じである。取り付けた場合には、第二導電部 512の長さが、円柱状の第一導電部 611の長さよりも長いため、第二導電部 512の弾性部 514の収縮の距離よりが、第一導電部 611の弾性部 614の収縮の距離よりも長い。

[0123] 第五及び第六の実施形態に示す弾性部 514, 614は、例示であり、それ以外にも、第一導電部 611に形成する弾性部の数及び位置と第二導電部 612に形成する弾性部の数及び位置との組合せは、第三及び第四実施形態の場合と同様に任意である。

[0124] つまり、第一導電部 611の上下の 2箇所の位置と第二導電部 512の上下の位置の 2箇所の合計 4箇所の位置において、弾性部を形成するか否かの組合せは、 2⁴= 16 通りある。

[0125] 図 10の第三実施態様に係る基板検査用接触子 600の弾性部 614はコイルスプリング状のものを用いたが、後述の図 14 (a)から図 14 (d)に示すようなさまざまな形状の弾性部を用いてもよい。

[0126] [弾性部のレーザ加工]

次に、図 11、図 12及び図 13を参照しながら、第一導電部 11の弾性部 14の形成方法について説明する。

[0127] 図 12は、第一導電部 11に弾性部 14を形成するためのレーザ装置 100の概略の構成を示す。そのレーザ装置 100は、レーザビームを出力するレーザ発生器 102を備える。このレーザ発生器として、 SHG— YAGレーザ装置を用いることができる。また、レーザ装置 100は、そのレーザ発生器 102から出力されたレーザビームの一部を分岐するためのビームサンプラー 106と、ビームを被力卩ェ物 C (例えば、第一導電部 11)に偏向させるためのミラー 110と、その偏向されたビーム^^光するための集光レンズ 112と、ビームサンプラー 106から分岐されたビームの一部を測定するためのフォトセンサ 108とを備える。フォトセンサ 108は、測定したビームのパワーに関する信号を制御装置 104に伝達する。被力卩ェ物 Cは、その位置を制御するための XYZ ステージ 114に載置されている。制御装置 104は、フォトセンサ 108からのパワー信号に基づいてレーザビームの出力の調整を行うとともに、 XYZステージ 114の位置の調整も行う。

[0128] ここで、図 13のフローチャートに従って、レーザ装置 100を用いて第一導電部 11の弾性部 14を形成するための工程を説明する。

[0129] まず、ステップ S71において、第一導電部 11の位置決めを行う。つまり、図 11 (a) に示すように、第一導電部 11の弾性部 14を形成する位置に適切にレーザビームが照射されるように、 XYZステージ 114を移動して、その上に載置されている第一導電部 11の位置決めを行う。

[0130] ステップ S72では、レーザビームの出力の大きさや出力タイミングを設定する。

[0131] ステップ S73では、 XYZステージ 114の駆動を行いながら、第一導電部 11にレーザビームを照射して、弾性部 14を形成する部分の所定の箇所を削り取る。つまり、弾性部 14を形成する部分から、図 11 (b)に示すように、 2つの半円柱部分を切り取って

、所定の厚さを有する板状部分を形成する。

[0132] ステップ S74では、その板状部分を有する第一導電部 11をその軸線を中心に 90 度回転させて、図 11 (c)に示すように、平面に対しレーザ光が照射できるような状態にする。

[0133] ステップ S75では、次のレーザ加工のために必要なレーザビームの出力の大きさ、出力タイミング、 XYZステージ 114の移動範囲を設定する。ただし、この設定は、ステップ S72において行ってもよい。

[0134] ステップ S76では、詳細は後述するように、その弾性部 14の板状部分に、レーザビームを照射して、不要な短冊状の部分を取り除いて、のこぎり状の部分を残す（図 11

(d) )。

[0135] 図 14 (a)から図 14 (d)は、第一導電部にさまざまな形状の弾性部を形成した例を示す。

[0136] 図 14 (a)は、第一導電部 51にのこぎり形状の弾性部 54を形成した例を示す。こののこぎり形状の弾性部 54は、第一導電部 51の軸線方向に沿って、交互にずらされて配置された複数の短冊状の部分 54b (細長い矩形部分)を取り除いてのこぎり形状の部分 54aを残したものである。 [0137] それを形成するにあたっては、その短冊状の部分 54bは交互に第一導電部 51の幅方向にずれているので、その幅方向に外側から内側に向力つて順に短冊状の部分 54bをレーザ光によって切りとる。その場合、一方の側において順に短冊状の部分 54bをレーザ光によって切り取り、次に、他方の側において順に短冊状の部分 54bを切り取るようにしてもよぐまたは、左右の側の方向（図に向力つて上下方向）から交互に短冊状の部分 54bを切り取るようにしてもょ、。

[0138] そのように短冊状の部分 54bを取り除くと、図 11 (d)に示されているようなのこぎり状の部分 54aが残されたのこぎり形状の弾性部 54が形成される。

[0139] 図 14 (b)は、第一導電部 61にジグザグ状の弾性部 64を形成した例を示す。このジグザグ状の弾性部 64は、第一導電部 61の側縁に軸線方向に沿って並んだ小さな三角形状の部分 64bを取り除いてジグザグ状の部分 64aを残したものである。

[0140] それを形成するにあたっては、その小さな三角形状の部分 64bは側縁に沿って並んでいるので、幅方向の外側からそれらの三角形状の部分 64bをレーザ光によって切り取る。その場合、一方の側に並ぶ三角形状の部分 64bをレーザ光によって切り取り、次に、他方の側に並ぶ三角形状の部分 64bを切り取るようにしてもよぐまたは、左右交互に三角形状の部分 64bを切り取るようにしてもょ、。

[0141] 図 14 (c)は、第一導電部 71の軸線の部分に沿って細い棒状の弾性部 74を形成した例を示す。この細い棒状の弾性部 74は、第一導電部 71の軸線に平行な 2本の細長、棒状の部分 74bを取り除、て軸線部分に沿った細、棒状の部分 74aを残したものである。

[0142] それを形成するにあたっては、その 2本の細長い棒状の部分 74bは、幅方向に並んでいるので、幅方向外側力各細長い棒状部分 74bをそれぞれレーザ光によって切り取る。

[0143] 図 14 (d)は、第一導電部 81に波形状の弾性部 84を形成した例を示す。この波形状の弾性部 84は、第一導電部 81の軸線方向に沿って側縁に並んだ小さな半円形状の部分 84bを取り除、て波形状の部分 84aを残したものである。

[0144] それを形成するにあたっては、その小さな半円形状の部分 84bは側縁に沿って並んでいるので、幅方向力それらの半円形状の部分 84bをレーザ光によって切り取る。その場合、一方の側に並ぶ半円形状の部分 84bをレーザ光によって切り取り、次に、他方の側に並ぶ半円形状の部分 84bを切り取るようにしてもよぐまたは、左右交互に半円形状の部分 84bを切り取るようにしてもょ、。

[0145] これらのさまざまな形状の弾性部のように、弾性部の形状を弾性部の中心に関して点対称に形成すると、伸縮の方向や湾曲の大きさがその点に関して対称的になるので、導電部を検査点や電極部に均等な力で圧接させることができる。

[0146] 上記の各実施形態は、円柱状の第一導電部とそれを囲む円筒状の第二導電部と力もなる四端子プローブ治具について説明したが、二端子プローブ治具にも、上記の各実施形態における第一導電部又は第二導電部と同様に、弾性部を任意の位置にプローブと一体に形成するようにしてもよ、。

[0147] 上記の本発明の各実施形態に係る基板検査用接触子によると、弾性部が棒状部分と一体的に形成されているためそれらを接続する部材等が不要であり、また、導電部と一体であるため、耐久性に優れるという特徴を有している。また、レーザ加工によつて一部を削り取るだけで容易に弾性部を形成することができる。

[0148] また、弾性部の形状を弾性部の中心に関して点対称に形成することによって、伸縮及び湾曲の大きさや方向が均一になるので、導電部を検査点や電極部に均等な力で圧接させることができる。

[0149] 尚、本明細書中では、これらの二つの端子である電圧測定用端子及び電流印加用端子をそれぞれ第一導電部及び第二導電部として説明しているが、電圧測定用端子を第二導電部とし、電流印加用端子を第一導電部としてもよ、。

[0150] また、本発明での検査点とは、導通及び Z又は短絡を検査するために必要な被検查基板上に予め設定されるものである。特に、本基板検査用接触子は、チップのランド上などに盛られる金属の突起部で、インナーリードボンディングを容易にするバンプに好適に用いることができる。

Claims

請求の範囲

[1] 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とをそれぞれ備える第一導電部及び第二導電部を有するとともに前記第一導電部又は第二導電部の一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられ、端部が前記検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持される基板検査用接触子であつて、

前記第一導電部は、可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部を有し、

前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに可撓性及び導電性を有する筒状部材により形成され、

前記弾性部は、前記ヘッド部の前記保持孔に保持される際に、該保持孔の内部に配置される部分に設けられることを特徴とする基板検査用接触子。

[2] 請求項 1の基板検査用接触子において、

前記保持板が上部保持板及び下部保持板カゝらなり、該上部保持板又は下部保持板の一方の前記保持孔に挿入される前記第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。

[3] 請求項 1の基板検査用接触子において、

前記保持板が上部保持板及び下部保持板カゝらなり、前記第一導電部に設けられた弾性部と前記第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる保持板の前記保持孔に挿入される位置に形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。

[4] 請求項 1の基板検査用接触子において、

前記弾性部は、前記第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。

[5] 請求項 1の基板検査用接触子において、検査治具のヘッド部への取り付け前では、前記第一導電部が前記第二導電部よりも長!、ことを特徴とする基板検査用接触子

[6] 請求項 1の基板検査用接触子において、検査治具のヘッド部への取り付け前では、前記第二導電部が前記第一導電部よりも長!、ことを特徴とする基板検査用接触子

[7] 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に接触する検査点接触部と検査装置の電極部に接触する検査電極接触部とを備え、端部が前記検査装置の検査治具のヘッド部に設けられた保持板の保持孔に挿入され保持される基板検查用接触子であって、

可撓性及び導電性を有する長尺状の形状を有し、さらに、長手方向に伸縮する弾性部が一体的に形成されており、

前記弾性部が、前記ヘッド部の保持孔に保持される際に、該保持孔の内部に配置される部分に設けられることを特徴とする基板検査用接触子。

[8] 被検査基板の配線パターンの電気的特性を検査するために前記被検査基板の所定の検査点に接触させて電気信号を伝送する複数の接触子と該複数の接触子を保持する保持体とからなる検査治具であって、

前記接触子は、可撓性及び導電性を有する第一導電部と該第一導電部を内部に収容する可撓性及び導電性を有する第二導電部力なり、

前記保持体は、前記所定の検査点に前記接触子の一端を案内する第一保持孔と、前記接触子の他端を前記検査装置の電極部へ案内する第二保持孔を有し、前記第一導電部は、少なくとも一つの長手方向に伸縮する弾性部を有し、前記弾性部は、前記第一保持孔及び Z又は第二保持孔内に配置されていることを特徴とする検査治具。

[9] 請求項 8の検査治具にお、て、前記保持孔は前記被検査基板に対し直交する方向に形成されて!ヽて、前記弾性部は該保持孔内にお!ヽて前記接触子の長手方向に直線的に伸縮自在であることを特徴とする検査治具。

[10] 請求項 8の検査治具において、

前記第一保持孔又は第二保持孔の一方に挿入される前記第一導電部又は第二導電部の一方に弾性部が形成されていることを特徴とする検査治具。

[11] 請求項 8の検査治具において、

前記第一導電部に設けられた弾性部と前記第二導電部に設けられた弾性部とが、異なる前記保持孔に挿入される部分に形成されていることを特徴とする検査治具。

[12] 請求項 8の検査治具において、

前記弾性部は、前記第一導電部又は第二導電部と一体的に形成されていることを特徴とする検査治具。

[13] 被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子を製造する製造方法であって、

導電性を有する長尺状の第一導電部の一部にレーザ光を照射して、該一部を所定形状に加工して、該第一導電部の長手方向に伸縮する弾性部を形成する弾性部形成工程と、

前記弾性部が形成された前記第一導電部を、導電性を有する筒状部材により形成される第二導電部に収容する収容工程を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。

[14] 請求項 13の基板検査用接触子の製造方法において、前記弾性部形成工程において一部に弾性部を形成する第一導電部及び第二導電部は、全体として可撓性を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。

[15] 請求項 13の基板検査用接触子の製造方法において、前記弾性部形成工程は、前記第一導電部の一部にレーザ光を照射して所定厚みの板状部を形成する第一形成工程と、

前記板状部にレーザ光を照射して、前記板状部の幅方向外側から内側に向って、交互に反対側力複数の所定の形状を作成するための切欠部を形成する第二形成工程を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。

[16] 請求項 13の基板検査用接触子の製造方法において、前記弾性部は、前記板状部の一部を幅方向に交互に切欠いて波形状に形成され、前記弾性部は、前記板状部の一部を幅方向に切欠いて矩形波状に形成され、前記弾性部は、前記板状部の幅方向の外側部分を切欠いて細棒状に形成され、又は、前記弾性部は、前記板状部上で該板状部の中心点に関し点対称となるように形成され、さらに、前記弾性部形成工程の後に、前記第一導電部の外周に絶縁膜を形成する工程を有し、さらに、前記収容工程の後に、前記第二導電部の端部を先細り形状に形成する工程を有することを特徴とする基板検査用接触子の製造方法。

被検査基板の配線パターン上に設定される所定の検査点に夫々が圧接され、一方が電圧測定に用いられ、他方が電流印加用に用いられる第一導電部及び第二導電部を有する基板検査用接触子であって、

前記第一導電部は、導電性を有する長尺状の形状を有するとともに、該第一導電部の一部分にレーザ光を照射して形成される長手方向に収縮する弾性部を有し、前記第二導電部は、前記第一導電部を内部に収容するとともに導電性を有する筒状部材により形成される、基板検査用接触子。