JP2005321211A - 基板検査用接触子、これを用いた基板検査用治具及び基板検査装置 - Google Patents
基板検査用接触子、これを用いた基板検査用治具及び基板検査装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】接触子44は、弾性を有する棒状(ここでは、円柱状)の導電性材料(例えば、タングステン、ベリリウム銅等)からなるピン441と、ピン441の両端にピン441の外周部に同心配置され、ピン441の外周面に沿って軸方向に摺動可能に嵌合された導電性材料(例えば、ステンレス等)からなるプランジャ442と、ピン441の軸方向位置を変更可能に支持する導電性材料(例えば、ピアノ線SWP−A等)からなる螺旋状のスプリング443とを備えている。
【選択図】図6
Description
d1<d3<d2
2 基板
3 搬出入部
4 検査部
41 検査治具(基板検査用治具に相当)
411 ガイドプレート(第1のプレートに相当)
411a 支持孔
412 ガイドプレート(第2のプレートに相当)
412a 支持孔
413 ガイドプレート
414 支持部材
44 接触子(基板検査用接触子に相当)
441 ピン(第1部材に相当)
442 プランジャ(第2部材の一部及び筒状部材に相当)
442a 鍔
443 スプリング(第2部材の一部及びバネ部材に相当)
Claims (7)
- 被検査基板の配線パターン上に設定された所定の検査点に圧接され、前記被検査基板と前記被検査基板の電気的特性を検査する基板検査装置との間で検査信号を伝送する基板検査用接触子であって、
弾性を有する棒状の導電性材料からなる第1部材と、
前記第1部材の外周部に同心配置された導電性材料からなる第2部材とを備え、
前記第2部材は、前記第1部材の軸方向に伸縮自在に構成され、軸方向の自然長が前記第1部材と略同一に設定され、
前記第1及び第2の部材の少なくとも一方の部材は、接点となる端面を除く表面に絶縁皮膜が形成されていることを特徴とする基板検査用接触子。 - 前記第2部材は、
前記検査点との接点となる端面側に配設され、前記第1部材の外周面に沿って軸方向に摺動可能に嵌合された導電性材料からなる筒状部材と、
前記筒状部材の軸方向位置を変更可能に支持する導電性材料からなる螺旋状のバネ部材とを備えることを特徴とする請求項1に記載の基板検査用接触子。 - 前記第1部材は、前記検査点との接点となる端面が尖鋭形状を有し、
前記第2部材は、前記検査点との接点となる端面が先窄まり形状を有していることを特徴とする請求項1または2に記載の基板検査用接触子。 - 前記第1及び第2の部材は、前記第1部材の軸方向の中点を含み、軸と垂直な平面について面対称な構造を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板検査用接触子。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の基板検査用接触子を前記被検査基板に対して複数個同時に圧接させる基板検査用治具であって、
前記基板検査用接触子の一方端部をそれぞれ貫通支持する複数の支持孔が形成された第1のプレートと、
前記基板検査用接触子の他方端部をそれぞれ貫通支持する複数の支持孔が形成された第2のプレートと、
前記第1及び第2のプレートを所定距離だけ隔てて平行配置する支持部材とを備えることを特徴とする基板検査用治具。 - 前記支持部材は、前記基板検査用接触子の一方端部をそれぞれ貫通支持する支持孔を通り前記第1のプレートを含む平面に垂直な直線と、当該基板検査用接触子の他方端部を貫通支持する支持孔を通り前記第2のプレートを含む平面に垂直な直線とが所定距離以上離間するべく前記第1及び第2のプレートを固定していることを特徴とする基板検査用治具。
- 前記被検査基板の電気的特性を検査する基板検査装置であって、
請求項5または6に記載の基板検査用治具と、
一方端の内部導体及び外部導体が、前記基板検査用治具に支持された基板検査用接触子の第1部材及び第2部材の端面に、それぞれ接続され、他方端が前記基板検査装置に接続された複数の同軸ケーブルとを備えることを特徴とする基板検査装置。
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