JP2009250659A - 治具試験装置及び治具試験方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板を検査する場合に用いられる治具を試験する治具試験装置及び治具試験方法を提供する。
【解決手段】検査対象の基板の電気的特性を測定するために、基板検査装置と基板の所定検査点との間を電気的に接続する基板検査用治具の試験を行う試験装置５は、基板検査用治具の一方面側に形成され、基板の所定検査点又は電極部と導通接触する移動可能な第一プローブ５２と、基板検査用治具の他方面側に形成され、基板検査装置と導通接続されるコネクタ部へ導通接触する移動可能な第二プローブ５３と、第一プローブ５２と第二プローブ５３により試験対象となる接触子又は電極部とコネクタ部の導通試験を行う試験制御部を有し、導通試験に於ける導通不良点について、第一プローブ５２又は第二プローブ５３のいずれか一方を他の接触子、電極部又はコネクタ部に接続して、接触子又は電極部とコネクタ部の導通不良箇所(断線)を特定する。
【選択図】図３

Description

本発明は、治具試験装置及び治具試験方法に関し、より詳しくは、基板を検査する場合に用いられる治具を試験する治具試験装置及び治具試験方法に関する。
尚、本明細書に記載される基板とは、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウェハなどに形成される電気的配線の検査に適用できるものを指し、それら種々の回路基板や検査基板を総称して「基板」という。

従来、基板を検査するためには、基板に形成される配線パターンの電気的特性を算出して、基板が良品か不良品かを検査する。このような検査を行うためには、基板を基板検査装置に電気的に接続するための基板検査用治具が利用されている。
この基板検査用治具とは、検査対象の基板の所定検査点に導電性の接触子の一方端を導通接触させるとともに、この接触子の他方端を基板検査装置と導通接続される電極部に接触させて、基板の電気的特性を基板検査装置に伝達している。

このような基板検査用治具は、基板上に複数設定される所定検査点に対して、夫々独立して導通接触される接触子が備えられている。このため、近年、基板が微細で複雑になるに従い、基板検査用治具に備えられる接触子の数も数千本ほどに増加し、複雑な構造を有するに至っている。
また、基板検査用治具は、接触子の本数が増加するにしたがい、接触子が接触する電極部やその電極部から基板検査装置へ導通させるための配線も増加することになっている。これらの配線の接続は、自動化技術が困難であるため、手作業により行われている。このため、複数の接触子を具備することは複数の配線を備えなければならず、この配線が確実に所定の電極部と接続されているかどうかを検査する必要性も高くなっている。

このような背景から、例えば、特許文献１に開示されるような検査装置を利用して、基板検査用治具の配線を試験する手法が創出されている。
この特許文献１に開示される検査装置を利用して基板検査用治具の配線を試験する方法として、検査対象物（基板検査用治具）の下面から多針状の接続治具をコネクタ部３３に導通接触させ、検査対象物の上面から移動式のプローブを用いて、所定の配線の導通及び短絡検査を行っている。
この場合、基板検査用治具の上面に設定される所定試験点に移動式プローブを接触させ、移動式プローブの接触した部分と多針状の接続治具の一本の接触子（針）が接触する部分との間での導通試験が行われることになる。そして絶縁試験はコネクタ部を通して、検査装置の検査部の電子スイッチを所定設定し高速で行なっている。

特開２０００−３３８１６７号公報

しかしながら、このような検査装置を用いて基板検査用治具の配線の検査を実施する場合には、コネクタが基板検査装置に応じて形成されているため、本発明の試験対象となる基板検査用治具に対応する多針状の接続治具がこのような検査装置には必要であるが、現実に基板検査用治具の外形とコネクタの規格は統一されておらず、多種多様なものがあり、その対応性に困難がある。

請求項１記載の発明は、検査対象の基板の電気的特性を測定するために、基板検査装置と基板の所定検査点との間を電気的に接続する基板検査用治具の試験を行う試験装置であって、前記試験装置は、前記基板検査用治具の一方面側に形成されるとともに前記基板の所定検査点と導通接触する接触子又は前記接触子と夫々導通接触される電極部へ導通接触する移動可能な第一プローブと、前記基板検査用治具の他方面側に形成され、前記電極部に対応するとともに前記基板検査装置と導通接続されるコネクタ部へ導通接触する、前記第一プローブと独立して移動可能な第二プローブと、前記第一プローブと前記第二プローブに、試験対象となる前記接触子又は前記電極部と前記コネクタ部の導通試験を行う試験制御部を有し、前記試験制御部は、導通試験に於ける導通不良点について、前記第一プローブ又は第二プローブのいずれか一方を他の接触子、電極部又はコネクタ部に接続して、接触子又は電極部とコネクタ部の導通箇所（誤配線）を探索して、導通不良箇所(断線)を特定する試験装置である。
請求項２記載の発明は、検査対象の基板の電気的特性を測定するために、基板検査装置と基板の所定検査点との間を電気的に接続する基板検査用治具の試験方法であって、前記基板検査用治具の一方面側に形成されるとともに前記基板の所定検査点と導通接触する接触子又は前記接触子と夫々導通接触される電極部へ、移動可能な第一プローブを導通接触させ、前記基板検査用治具の他方面側に形成され、前記電極部に対応するとともに前記基板検査装置と導通接続されるコネクタ部へ、前記第一プローブと独立して移動可能な第二プローブを導通接触させ、前記第一プローブと前記第二プローブを介して、試験対象となる前記接触子又は前記電極部と前記コネクタ部との導通試験が行われ、前記導通試験が試験対象となる全てに対して実施され、前記導通試験に於ける導通不良点について、前記第一プローブ又は第二プローブのいずれか一方を他の接触子、電極部又はコネクタ部に接続して、接触子又は電極部とコネクタ部の導通箇所（誤配線）を選出して、導通不良箇所（断線）を特定する配線試験を行なうことで、不良点の状態を解明する試験方法である。
請求項３記載の発明は、前記配線試験の前後に、全ての前記接触子を導電体に接触し、前記他方面側のコネクタ部に夫々導通接触する複数の導電性プローブを接続し、前記複数の導電性プローブは導電体を通して全て導通状態にあることを導通試験する請求項２記載の基板検査用治具の試験方法である。
請求項４記載の発明は、前記導通試験の前後に、全ての前記接触子を絶縁体に接触し、前記他方面側のコネクタ部に夫々導通接触する複数の導電性プローブを接続し、前記複数の導電性プローブは全て絶縁状態にあることを絶縁試験する請求項２又は３に記載の基板検査用治具の試験方法である。
請求項５記載の発明は、前記配線、導通及び絶縁試験を全て適合であることを要件とする請求項２乃至４いずれかに記載の基板検査用治具の試験方法である
これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。

請求項１記載の発明によれば、個別製作の基板検査用治具１に導通接触させる複数の移動プローブの試験点の位置（Ｘ，Ｙ，Ｚ）が設定可能で基板検査用治具１の外形、コネクタ部３３、電極部３５、接触子２１の異なる配置に対しても導通接触が可能であり、形状と規格の異なるものに対応することが出来る。
不良点について断線、誤配線、接触子の不良を解明が出来て修正等の処置が容易である。
請求項２記載の発明によれば、先に電極体３の配線試験と不良解析で修正を容易にし、良品であれば、治具ヘッド部２を装着し同様の試験を行い、接触子の先端位置まで導通を確認できる。
請求項３記載の発明によれば、実使用時と近い物理的、電気的負荷を掛けて導通試験を行い、また駆動機構６４を所定回動作させることで、接触子２１の初期不良品を特定し排除することで、信頼性の高い基板検査用治具１を得ることが出来る。
請求項４記載の発明によれば、試験装置５の複数の移動プローブを導通接触し絶縁試験する方法に比べ時間的に非常に早く、実使用時と近い物理的、電気的負荷を掛けて絶縁試験を行うことで信頼性も高い基板検査用治具１を得ることが出来る。
請求項５記載の発明によれば、電極体３、治具ヘッド部２、接触子２１の導通と絶縁及び試験点位置が良好であることで信頼性が高い基板検査用治具１を得ることが出来る。

本発明を実施するための最良の形態を説明する。
まず、基板検査用治具について説明する。図１は、基板検査用治具の概略側面図である。基板検査用治具１は、治具ヘッド部２と、電極体３とを有している。この基板検査用治具１は、治具ヘッド部２の先端部を基板に接触させて、基板へ電気信号を送信したり、基板から電気信号を受信したりする。
治具ヘッド部２は、基板に直接接触して導通接触する複数のプローブ２１と、このプローブ２１を支持する支持体２２を有してなる。
複数のプローブ２１は、基板に設定される検査点と同数配備されている。このプローブ２１は、導電性の素材から形成され、隣接するプローブと接触しても短絡を起こさないように絶縁素材が被覆されている。
このプローブ２１は針状に形成され、その一方端が基板の検査点に導通接触され、その他方端が電極体３の電極部３５に導通接触することになる。
支持体２２は、プローブ２１の両先端を所定の位置（電極又は検査点）に案内する。図１で示される基板検査用治具１では、支持体２２として、上板部２３、下板部２４、支柱部２５を備えてなる。上板部２３は、プローブ２１の一方端を基板の所定検査点に案内する孔が形成されている。下板部２４は、プローブ２１の他方端を所定位置の電極へ案内する孔が形成されている。支柱部２５は、上板部２３と下板部２４を、所定間隔を有して支持する。

電極体３は、図２で示される如く、治具ヘッド支持部３１、配線３２とコネクタ部３３、支持板３４、電極部３５を有してなる。図２は、図１で示される基板検査用治具の電極体の概略断面図である。
治具ヘッド支持部３１は、治具ヘッド部２を支持するとともに、電極部３５を所定位置に配置する。この治具ヘッド支持部３１は、図２で示される如く、支持板３４の一方向の表面から延出して配置されている。このように配置することによって、治具ヘッド支持部３１により治具ヘッド２の高さの調整ができる。この治具ヘッド支持部３１は電極部３５を支える。
なお、詳細は後述するが、この治具ヘッド支持部３１が形成される表側に電極部３５が形成され、コネクタ部３３とは逆側の面に形成されることになる。この電極部３５は、後述する配線３２の一端を利用して形成することができ、配線３２の端面を導通接触面として利用する。

配線３２は、電極部３５とコネクタ部３３を導通接続する。この配線３２は、所謂導線を利用することができる。図２で示される実施例では、配線３２の一端面を接触面として利用している。
配線３２の他方端には、コネクタ部３３が接続されており、このコネクタ部３３が後述する接続部６１と着脱自在に導通接続される。
コネクタ部３３は、支持板３４の裏面側に形成される。図２で示す如く、基板検査用治具１の電極体３の側面図において、電極部３５の配置場所とコネクタ部３３と支持板３４の中心に対して略点対称になるような位置に配置されている。
電極部３５とコネクタ部３３は通常一対一対応しており、その間を配線３２で接続している。

次に、本発明にかかる基板検査用治具の試験方法で利用される試験装置について説明する。
図３は、本発明にかかる検査装置の概略を示しており、（ａ）は検査装置の概略正面図を示し、（ｂ）は検査装置の概略側面図を示す。
図３で示される検査装置５は、基板検査用治具１を支持する支持手段５１と、基板検査用治具１の所定試験点に導通接触するための第一移動式プローブ５２及び第二移動式プローブ５３と、第一移動式プローブ５２と第二移動式プローブ５３からの電気信号から基板検査用治具１の配線の良不良を試験する試験制御部（図示せず）を有している。
支持手段５１は、基板検査用治具１の支持板３４の両側を夫々支持して、基板検査用治具１を所定の位置で支持する。図３で示される試験装置５では、基板検査用治具１を横に配置（基板検査用治具の側面を上下方向に配置）して、基板検査用治具１の表面側を試験装置５の正面側に、基板検査用治具１の裏面側を試験装置５の裏面側に位置するように支持する。
本明細書中では、説明の便宜上、基板検査用治具１の表面を接触子２１又は電極部３５が配置される面とし、基板検査用治具１の裏面をコネクタ部３３が配置される面としている。

第一移動式プローブ５２は、試験装置５の正面側に配置される基板検査用治具１の表面である接触子２１又は電極部３５（表面の試験点）に導通接触するために、試験装置５の正面に配置される。この第一移動式プローブ５２は移動式であり、Ｘ軸、Ｙ軸とＺ軸と3方向に自由に移動することができるように設定されている。この第一移動式プローブ５２は、試験点となる接触子２１又は電極部３５に一箇所ずつ導通接触する。このため、第一移動式プローブ５２は所定の試験点を順番に導通接触することになる。
この第一移動式プローブ５２は、試験点である接触子２１又は電極部３５と直接接触して導通状態を有する導電性の針状部材から形成される。また、第一移動式プローブ５２は、後述する試験制御部と電気信号の送受信を行う。

第一移動式プローブ５２は、2本以上備えることが好ましい。これは、基板検査用治具１の電極部側に、表面側（電極部）と裏面側（コネクタ部）が導通接続される箇所と、表面側（電極部）と表面側（電極部）が導通接続される箇所が形成される場合があるため、このような場合には、表面側と表面側の導通を試験する必要があるためである。例えば、図４（ａ）は、基板検査用治具１に中継電極部３５ａが複数形成され、この中継電極部３５ａと電極部３５が配線３２により導通接続される場合を示している。この場合、中継電極部３５aはコネクタ部３３として機能している。
また、表面側に段差（高さ）の相違する二つの電極部が形成されて、導通接続される場合も存在する。図４（ｂ）は、段差が存在する場合の基板検査用治具の概略側面図を示している。この図４（ｂ）で示される基板検査用治具では、電極部３５と高さの相違する中継電極部３５ｂが形成されており、電極部３５と中継電極部の高さが相違している場合を示している。なお、図４(ｂ)で示される矢印は、移動式プローブの移動可能方向（Ｚ軸）を示しており、紙面に対して直角方向（Ｘ、Ｙ軸）は示されていない。
このような場合が存在するため、第一移動式プローブ５２は、2本以上備えることが好ましい。そして２本目以上の移動プローブは同一面にあるが後述の第二プローブ５３に相当することになる。

第二移動式プローブ５３は、試験装置５の裏面側に配置される基板検査用治具１の裏面であるコネクタ部３３（裏面の試験点）に導通接触するために、試験装置５の裏面に配置される。この第二移動式プローブ５３は、第一移動式プローブ５２と同様の機能を有しており、Ｘ軸、Ｙ軸とＺ軸と3方向に自由に移動することができるように設定されている。
この第二移動式プローブ５３は、試験点となるコネクタ部３３に一箇所ずつ導通接触し、所定の検査点を順番に導通接触する。また、この第二移動式プローブ５３は、試験点であるコネクタ部３３と直接接触して導通状態を有する導電性の針状部材から形成される。また、第二移動式プローブ５３は、後述する試験制御部と電気信号の送受信を行う。

第二移動式プローブ５３は、コネクタ部３３と導通接触して、第一移動式プローブ５２との導通状態を試験するため、1本設けることで対応することができる。

第一移動式プローブ５２や第二移動式プローブ５３が具備する導電性の針部材の先端形状は、導通接触する検査対象物の形状に応じて適宜変更されることが好ましい。
例えば、第一移動式プローブ５２の先端形状は平面形状に形成される電極部３５に接触するため、第一移動式プローブ５２の先端形状を湾曲形状又は尖鋭形状に形成することが好ましい。また、第二移動式プローブ５３の先端形状は湾形状や突起形状に形成されるコネクタ部３３に接触するため、第二移動式プローブ５３の先端形状を平面（フラット）形状や逆湾曲形状に形成することが好ましい。
なお、このような先端形状は、第一移動式プローブや第二移動式プローブに限定されるものではなく、被接触対象となる試験点の形状に応じて変更される。

第一移動式プローブ５２や第二移動式プローブ５３は、上記の如き、2本の第一移動式プローブ５２と1本の第二移動式プローブ５３を設けることができるが、並列的に処理を行うために、更なる複数本の移動式プローブを設けることができ、同時に検査する検査対象の配線を増加させることができる。

試験制御部は、第一移動式プローブ５２や第二移動式プローブ５３からの電気信号を受信又は、第一移動式プローブ５２や第二移動式プローブ５３へ電気信号を送信する。また、この試験制御部は、第一移動式プローブ５２と第二移動式プローブ５３の移動を制御する制御機能を有しており、これら移動式プローブを所定の試験順序で試験を行うように（試験対象となる接触子又は電極部とコネクタ部に接触するように）制御を行う。

試験制御部は、第一移動式プローブ５２が導通接触する接触子２１又は電極部３５と、第二移動式プローブ５３が導通接触するコネクタ部３３が、配線３２を介して導通状態にあるか否かを試験する。試験制御が行う具体的な試験方法は、第一移動式プローブ５２又は第二移動式プローブ５３の一方から電力（電流）を供給することで、第二移動式プローブ５３又は第一移動式プローブ５２にその電力が伝達されているかどうかを検出することにより導通試験を行うことができる。
例えば、第一移動式プローブ５２から電流を供給し、第二移動式プローブ５３がこの電流を検出した場合に、第一移動式プローブ５２が導通接触する接触子２１又は電極部３５と第二移動式プローブ５３が導通接触するコネクタ部３３が配線３２を介して接続されていることが確認でき、良品であると判定する。
また、第一移動式プローブ５２から電流を供給し、第二移動式プローブ５３がこの電流を検出することができない場合には、第一移動式プローブ５２が導通接触する接触子２１又は電極部３５と、第二移動式プローブ５３が配線３２を介して接続されていないことが確認でき、不良点であると判定する。
この導通試験を順次全ての配線について行ない不良点を抽出する。

次に導通不良点の不良の内容について解析を行なうことが出来る。
電極部３５とコネクタ部３３の場合は、原因は断線か誤配線かを判別する為に、第一移動式プローブ５２又は第二移動式プローブ５３のいずれか一方を不良点に固定接触させておき、他方の第二移動式プローブ５３又は第一移動式プローブ５２を、他のコネクタ部３３又は接触子２１、電極部３５の不良点に接触するように移動させる。このようにして、他方の移動式プローブを次の不良点に移動させて導通接触させ、導通状態となる不良点を探し出す。
導通点があった場合、誤配線の可能性が高く導通点がない場合は断線と判定する。
図６（ｂ）の場合、不良点は配線３２の３３ｂと３５ｂが導通不良で、第二移動プローブ５３の不良点３３ｂと３５ｂが入れ替わって導通状態あれば、誤配線と判定する。
このように、不良の場合には、導通状態となる可能性の高い不良点を探索することで、不良箇所を確定するとともに、相違する接続箇所の特定を行うことができる。

試験装置５は、基板検査用治具１の治具ヘッド部２を備えていない状態、つまり、電極体３の良不良を試験することができる。電極体３の良否判定を行うことで、基板検査用治具１の製作過程の上流側で中間試験を実施することができる。
そして基板検査用治具１の電極体３と治具ヘッド２が組み立てられた際の製作過程で、接触子２１とコネクタ部３３の間の導通試験を表側の試験点の位置データを入れ替えることに拠り行うことが出来る。導通不良点の解析も同様に行なうことが出来る。

次に、基板検査用治具１を試験する第二試験装置について説明する。
図５は基板検査用治具を検査する第二試験装置６の概略構成図を示す。
基板検査用治具１のコネクタ部３３と夫々導通接続される接続部６１を有しており、この接続部６１により検査対象となる所定のコネクタ部３３に接続され、検査が実施されることになる。
第二試験装置６は、接続部６１からの電気信号を受信したり、接続部６１へ電気信号を送信したりする第二試験部６２を有している。この第二試験部６２は、接続部６１からの電気信号から電気的特性を算出する。

第二試験装置６は、基板検査用治具１の治具ヘッド部２が有する接触子２１の全ての先端が同時に接触する試験板６３を備えている。この試験板６３は、導電板と絶縁板である。
この導電板は、表面が導電性物質で被覆されており、基板検査用治具１の治具ヘッド部２の接触子２１の先端が接触した場合に、接触した全ての接触子２１が導通状態となる。
第二試験装置６では、導電板を検査対象となる基板検査用治具１の接触子２１と接触するように設置する。このように設置することにより、任意の一本の接触子２１から電力（電流）を供給した場合、この導電板を介して、残り全ての接触子２１に電力（電流）が供給されることになる。
このため、第二試験装置６は導電板を利用することにより、各接触子２１の導通試験を行うことができる。

絶縁板は、表面が非導電性物質で被覆されており、基板検査用治具１の治具ヘッド部２の接触子２１の先端が接触した場合に、接触した全ての接触子２１が絶縁状態を維持することになる。
第二試験装置６では、絶縁板を試験対象となる基板検査用治具１の接触子２１と接触するように設置する。このように設置することにより、任意の一本の接触子２１から電力（電流）を供給した場合、絶縁板が電気を通さないので、残り全ての接触子２１には電力（電流）が供給されないことになる。
このため、第二試験装置６は絶縁板を利用することにより、各接触子２１と電極体３
の絶縁試験を行うことができる。

第二試験装置６は、基板検査用治具１の接触子２１に試験板６３を接触させるために、基板検査用治具１又は検査板６３の間を相対的に移動させる駆動機構６４を有している。

次に、本発明にかかる基板検査用治具の試験方法について説明する。
本基板検査用治具の試験方法では、まず、基板検査用治具１の電極体３を検査する。この電極体３は、電極部３５とコネクタ部３３を接続するために配線３２を介して導通接続している。このため、所定の電極部３５とコネクタ部３３が接続されているかどうか試験が行われることになる。

基板検査用治具１の電極体３は、試験が実施されるため試験装置５に設置される。この場合、電極体３の電極部３５を有する表面側が試験装置５の第一移動式プローブ５２が備えられる側に設定され、裏面側が試験装置５の第二移動式プローブ５３が備えられる側に設定される。電極体３が試験装置５に設定されると、電極部３５とコネクタ部３３の導通試験が実施される。
この導通試験は、試験装置５の第一移動式プローブ５２が所定の電極部３５に導通接触され、検査装置５の第二移動式プローブ５３が所定のコネクタ部３３に導通接触される。そして、どちらかの移動式プローブから電力が供給され、他方の移動式プローブがこの供給された電力を検出することで導通試験を行う。

試験対象となる所定の電極部３５とコネクタ部３３（及び配線３２）の導通状態を試験して、電極部３５とコネクタ部３３が導通接続されている場合には、良好状態であると判定する（図６（ａ）参照）。また、電極部３５とコネクタ部３３が導通接続されていない場合には、不良状態であると判定する（図６（ｂ）参照）。
この導通試験を順次全ての配線について行ない不良点を抽出する。
次に導通不良点の不良の原因が断線か誤配線かを解析する為に、第一移動式プローブ５２又は第二移動式プローブ５３のいずれか一方を不良点に固定接触させておき、他方の第二移動式プローブ５３又は第一移動式プローブ５２を、他のコネクタ部３３又は電極部３５の不良点に接触するように移動させる。このようにして、他方の移動式プローブを次の不良点に移動させて導通接触させ、導通状態となる不良点を探し出す。
導通点があった場合、誤配線の可能性が高く導通点がない場合は断線と判定する。
図６（ｂ）の場合、不良点は配線３２の３３ｂと３５ｂが導通不良で、第二移動プローブ５３の不良点３３ｂと３５ｂが入れ替わって導通状態あれば、誤配線と判定する。
このように、不良の場合には、導通状態となる可能性の高い不良点を探索することで、不良箇所を確定するとともに、相違する接続箇所の特定を行う。

このように、第一移動式プローブ５２と第二移動式プローブ５３を用いて、基板検査用治具１の電極部３５とコネクタ部３３の導通状態の試験を実施し、断線又は誤配線の不良状態の電極部３５とコネクタ部３３を検出して、その断線又は誤配線対象の部位（電極部又はコネクタ部）を特定し、不良状態の修正を行うことができる。
上記の試験と修正が実施され、電極部３５とコネクタ部３３の夫々が所定の相手方へ導通状態に設定されると、次に、基板検査用治具１は、電極体３に治具ヘッド部２１が装着されて第一移動式プローブ５２が接触子２１の一方端に導通接触させる試験条件に変更し、上記の試験を再度行なう。この場合の不良は治具ヘッド部２１に原因があり断線は接触子２１の不良、誤配線は接触子２１の交差が主な原因で修正を行うことができる。

次に基板検査用治具１は、第二試験装置６に移し試験を行なう。
この場合、コネクタ部３３と接続部６１が夫々対応して導通接続されており、実使用と近い物理的、電気的負荷状態に設定される。
まず、第二試験装置６には試験板６１として導通板が設定される。そして、基板検査用治具１の接触子２１の全てがこの導通板に接触するように設定される。次に、第二試験部６２は、一つのコネクタ部３３を設定して、このコネクタ部３３から電力を供給し、残りのコネクタ部３３からこの電力を検出することができるかどうかを判定する。
この場合、残りの全てのコネクタ部３３から電力を検出した場合には、導電性を有している良好状態として判定され、電力を検出していない場合には、いずれかのコネクタ部３３が非導通の不良状態であり、その箇所を特定する。また駆動機構６４を所定回動作させることで、接触子２１の初期不良品を特定し排除することも出来る。

第二試験部６２が全てのコネクタ部３３の導通が良好状態であると判定した場合、導通板を取り外し、次に、試験板６１として絶縁板を設定する。
この場合も、導通板の場合と同様に、この絶縁板に基板検査用治具１の接触子２１の全てがこの絶縁板に接触するように設定される。次に、第二試験部６２は、一つのコネクタ部３３を設定して、このコネクタ部３３から電力を供給し、残りのコネクタ部３３からこの電力を検出することができるかどうかを判定する。
この場合、残りの全てのコネクタ部３３から電力を検出しない場合には、絶縁性を有している良好状態として判定され、電力を検出した場合には、いずれかのコネクタ部３３が非絶縁の不良状態（いずれかの箇所で短絡状態）であると判定する。
このようにして、各コネクタ部３３に電力を供給することにより、夫々の絶縁状態が良好状態であるかどうか判定する。そして、絶縁試験が良好であれば、その基板検査用治具１の配線３２、接触子２１の位置と接触性能及び絶縁が所定の良好状態で具備されていると判定する。

基板検査用治具の概略側面図である。 図１で示される基板検査用治具の電極体の概略断面図である。 本発明にかかる試験装置の概略を示しており、（ａ）は試験装置の概略正面図を示し、（ｂ）は試験装置の概略側面図を示す。 基板検査用治具１に中継電極部３５ａが複数形成され、この中継電極部３５ａと電極部３５が配線３２により導通接続される場合を示している。 基板検査用治具を試験する第二試験装置の概略構成図を示す。 本発明にかかる基板検査用治具の配線試験の様子を示す図であり、（ａ）は電極部とコネクタ部が配線により良好状態で導通状態にある場合を示す概略側面図であり、（ｂ）は電極部とコネクタ部が誤配線により不良状態にある場合を示す概略側面図である。

符号の説明

１・・・・基板検査用治具
２・・・・治具ヘッド部
２１・・・接触子
３・・・・電極体
３２・・・配線
３３・・・コネクタ部
３５・・・電極部
５・・・・試験装置
５２・・・第一移動式プローブ
５３・・・第二移動式プローブ
６・・・・第二試験装置

Claims (5)

1. 検査対象の基板の電気的特性を測定するために、基板検査装置と基板の所定検査点との間を電気的に接続する基板検査用治具の試験を行う試験装置であって、
   前記試験装置は、
   前記基板検査用治具の一方面側に形成されるとともに前記基板の所定検査点と導通接触する接触子又は前記接触子と夫々導通接触される電極部へ導通接触する移動可能な第一プローブと、
   前記基板検査用治具の他方面側に形成され、前記電極部に対応するとともに前記基板検査装置と導通接続されるコネクタ部へ導通接触する、前記第一プローブと独立して移動可能な第二プローブと、
   前記第一プローブと前記第二プローブに、試験対象となる前記接触子又は前記電極部と前記コネクタ部の導通試験を行う試験制御部を有し、
   前記試験制御部は、導通試験に於ける導通不良点について、前記第一プローブ又は第二プローブのいずれか一方を他の接触子、電極部又はコネクタ部に接続して、接触子又は電極部とコネクタ部の導通箇所を探索して、導通不良箇所を特定する
   ことを特徴とする試験装置。
2. 検査対象の基板の電気的特性を測定するために、基板検査装置と基板の所定検査点との間を電気的に接続する基板検査用治具の試験方法であって、
   前記基板検査用治具の一方面側に形成されるとともに前記基板の所定検査点と導通接触する接触子又は前記接触子と夫々導通接触される電極部へ、移動可能な第一プローブを導通接触させ、
   前記基板検査用治具の他方面側に形成され、前記電極部に対応するとともに前記基板検査装置と導通接続されるコネクタ部へ、前記第一プローブと独立して移動可能な第二プローブを導通接触させ、
   前記第一プローブと前記第二プローブを介して、試験対象となる前記接触子又は前記電極部と前記コネクタ部との導通試験が行われ、
   前記導通試験が試験対象となる全てに対して実施され、
   前記導通試験に於ける導通不良点について、前記第一プローブ又は第二プローブのいずれか一方を他の接触子、電極部又はコネクタ部に接続して、接触子又は電極部とコネクタ部の導通箇所を選出して、導通不良箇所を特定する配線試験を行なう
   ことを特徴とする基板検査用治具の試験方法。
3. 前記配線試験の前後に、全ての前記接触子を導電体に接触し、
   前記他方面側のコネクタ部に夫々導通接触する複数の導電性プローブを接続し、
   前記複数の導電性プローブは導電体を通して全て導通状態にあることを導通試験する
   ことを特徴とする請求項２記載の基板検査用治具の試験方法。
4. 前記導通試験の前後に、全ての前記接触子を絶縁体に接触し、
   前記他方面側のコネクタ部に夫々導通接触する複数の導電性プローブを接続し、
   前記複数の導電性プローブは全て絶縁状態にあることを絶縁試験する
   ことを特徴とする請求項２又は３に記載の基板検査用治具の試験方法。
5. 前記配線、導通及び絶縁試験を全て適合であることを要件とする
   ことを特徴とする請求項２乃至４いずれかに記載の基板検査用治具の試験方法。

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