KR20090027610A - 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 - Google Patents

Abstract

과제

복수의 기판에 대해 병렬적으로 단락 검사를 실시하고, 단락의 검사 회수를 감소시켜서 검사 시간을 단축할 수 있는 기판 검사 장치의 제공.

해결 수단

복수의 피검사 기판의 전기적 특성을 검사하는 기판 검사 장치로서, 피검사 기판의 배선 패턴상에 설정되는 검사용 프로브를 복수 가지며, 복수의 피검사 기판마다에 따라 배치되는 복수의 기판 검사용 치구와, 복수의 피검사 기판마다, 하나의 배선 패턴의 검사용 프로브를 제 1 검사부로 설정하고, 하나의 배선 패턴 이외의 배선 패턴의 검사용 프로브를 제 2 검사부로 설정하는 제어 수단과, 복수의 제 1 검사부를 병렬 접속하여 제 1군으로 하고, 복수의 제 2 검사부를 병렬 접속하여 제 2군으로 설정하는 전환 수단과, 제 1과 제 2군 사이에 소정 전위차를 생기게 하는 전력 공급 수단과, 제 1과 제 2군 사이의 전기적 특성을 검출하는 검출 수단과, 이 전기적 특성에 의거하여 단락의 유무를 판정하는 판정 수단을 갖는다.

기판 검사 장치

Description

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법{SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS AND SUBSTRATE INSPECTING METHOD}

본 발명은, 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 복수의 기판에 대해 병렬적으로 단락 검사를 실시하고, 단락의 검사 회수를 감소시켜서 검사 시간을 단축할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법에 관한 것이다.

또한, 본 발명에서 말하는 검사 「기판」은, 프린트 배선 기판, 플렉시블 배선 기판, 다층 배선 기판, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이용 등의 전극판, 또는 반도체 패키지용의 패키지 기판이나 필름 캐리어 등을 포함하는 것이다.

종래, 복수의 배선 패턴을 갖는 기판의 도통 검사는, 검사 대상이 되는 배선의 양단부에 전류 또는 전압을 인가시켜서(전원에 의한 전력 공급을 행함에 의해) 배선의 저항치를 측정하고, 소정의 저항치를 임계치로 하여 양·불량의 판정이 행하여지고 있다. 또한, 이와 같은 기판이 갖는 배선 패턴의 단락 검사도, 검사 대상이 되는 배선에 전류 또는 전압을 인가하고(전원에 의한 전력 공급함에 의해), 나머지 다른 배선과의 사이의 저항치를 측정함에 의해, 도통 검사와 마찬가지로, 소정의 저항치를 임계치로 하여 양·불량의 판정이 행하여지고 있다.

이와 같은 도통 및 단락 검사를 행하는 경우, 하나의 기판에 대해, 이 기판에 따른 하나의 검사용 치구와, 하나의 전원과 하나의 측정 장치(전류계 및/또는 전압계)가 이용되고 있다. 이 때문에, 하나의 기판을 검사하기 위해서는, 검사 치구, 전원과 측정 장치를 각 1대씩 준비할 필요가 있고, 복수매의 기판을 동시에 검사하기 위해서는, 이들의 장치를 기판의 매수에 따라 준비할 필요가 있다.

예를 들면, 특허 문헌 1에 기재되는 바와 같은 발명에서는, 복수의 기판을 동시에 검사하기 위해, 복수의 검사용 치구(프로브)를 소정 방향으로 배치하고, 동시에 복수의 기판을 검사하는 것을 가능하게 한다.

특허 문헌 1 : 일본 특개평8-21867호 공보

발명이 해결하고자 하는 과제

그러나, 상기한 바와 같은 복수의 기판을 동시에 검사하려고 하면, 검사용 치구의 수를 증가시켜야 할뿐만 아니라, 전원과 측정 장치의 수도 마찬가지로 증가시켜야 하며, 장치 자체가 대형이 되지 않을 수 없게 됨과 함께 비용 상승으로 되어 버리는 문제를 갖고 있다.

본 발명은, 이와 같은 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 전원과 측정 장치의 수를 증가시키는 일 없이, 복수의 기판에 대해 병렬적으로 단락 검사를 실시하고, 단락의 검사 회수를 감소시켜서 검사 시간을 단축할 수 있는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법을 제공한다.

과제를 해결하기 위한 수단

청구항 제 1항에 기재된 발명은, 복수의 배선 패턴을 갖는 피검사 기판이 복수 배치되고, 해당 복수의 피검사 기판의 전기적 특성을 검사하는 기판 검사 장치로서, 상기 피검사 기판의 배선 패턴상에 설정되는 소정의 검사점과 전기적 접촉을 갖는 검사용 프로브를 복수 가지고 이루어짐과 함께, 상기 복수의 피검사 기판마다에 따라 배치되는 복수의 기판 검사용 치구와, 복수의 피검사 기판마다, 해당 피검사 기판상의 상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 1 검사부로 설정하고, 상기 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴 이외의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 2 검사부로 설정하는 제어 수단과, 상기 제어 수단의 설정에 의거하여, 상기 복수의 제 1 검사부를 병렬 접속하여 제 1군으로 설정하고, 상기 복수의 제 2 검사부를 병렬 접속하여 제 2군으로 설정하는 전환 수단과, 상기 제 1군과 상기 제 2군 사이에 소정 전위차를 생기게 하는 전력 공급 수단과, 상기 전력 공급 수단에 의해 전위차가 생긴 때의 상기 제 1군과 상기 제 2군 사이의 전기적 특성을 검출하는 검출 수단과, 상기 검출 수단이 검출하는 전기적 특성에 의거하여, 상기 복수의 피검사 기판의 단락의 유무를 판정하는 판정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 2항에 기재된 발명은, 상기 제어 수단은, 상기 제 1 검사부로서 설정된 검사용 프로브 이외의 검사용 프로브를, 순차적으로 제 1 검사부로서 설정하고, 상기 제 2 검사부는, 상기 제 1 검사부로서 설정되지 않은 배선 패턴의 전기적인 접촉을 갖는 검사용 프로브 모두가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 3항에 기재된 발명은, 상기 전력 공급 수단은, 상기 제 1군과 직렬로 접속되고, 상기 검출 수단은, 상기 제 2군과 직렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 4항에 기재된 발명은, 상기 검출 수단은 전류계이고, 상기 판정 수단은, 상기 전류계가 측정한 전류치를 소정 임계치와 비교함에 의해, 상기 피검사 기판의 단락의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항 또는 제 3항에 기재된 기판 검사 장치를 제공한다.

청구항 제 5항에 기재된 발명은, 상기 복수의 피검사 기판은, 같은 종류의 기판이고, 상기 제어 수단이 설정하는 피검사 기판마다의 제 1 검사부와 제 2 검사부가, 같은 검사점에 있는 검사용 프로브인 것을 특징으로 하는 청구항 제 1항에 기재된 기판 검사 방법을 제공한다.

청구항 제 6항에 기재된 발명은, 복수의 배선 패턴을 갖는 피검사 기판이 복수 배치되고, 해당 복수의 피검사 기판의 전기적 특성을 검사하는 기판 검사 방법으로서, 상기 피검사 기판의 배선 패턴상에 설정되는 소정의 검사점과 전기적 접촉을 갖는 검사용 프로브를 복수 가지고 이루어짐과 함께, 상기 복수의 피검사 기판마다에 따라 배치되는 복수의 기판 검사용 치구를, 상기 검사점과 상기 검사용 프로브가 전기적으로 접촉하도록 피검사 기판상에 배치하고, 복수의 피검사 기판마다, 해당 피검사 기판상의 상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 1 검사부로 설정하고, 상기 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴 이외의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 2 검사부로 설정하고, 상기 복수의 제 1 검사부를 병렬 접속하여 제 1군으로 설정하고, 상기 복수의 제 2 검사부를 병렬 접속하여 제 2군으로 설정하고, 상기 제 1군과 상기 제 2군 사이에 소정 전위차를 생기게 하고, 상기 전위차가 생긴 때의 상기 제 1군과 상기 제 2군 사이의 전기적 특성을 검출하고, 상기 전기적 특성을 기초로, 상기 복수의 피검사 기판의 단락의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법을 제공한다.

이들의 발명을 제공함에 의해, 상기 과제를 해결한다.

발명의 효과

청구항 제 1항에 기재된 발명에 의하면, 복수의 피검사 기판마다, 피검사 기판상의 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 1 검사부로 설정하고, 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴 이외의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 2 검사부로 설정하고, 제 1군과 제 2군 사이에 소정 전위차를 생기게 하고, 전위차가 생긴 때의 제 1군과 제 2군 사이의 전기적 특성을 검출하고, 이 전기적 특성에 의거하여, 복수의 피검사 기판의 단락의 유무를 판정하기 때문에, 하나의 전력 공급 수단과 하나의 검출 수단을 이용하여, 복수의 기판의 단락 검사를 실시할 수 있다. 이 때문에, 복수의 기판에 대해 병렬적으로 단락 검사를 실시하고, 단락의 검사 회수를 감소시켜서 검사 시간을 단축할 수 있다.

청구항 제 2항에 기재된 발명에 의하면, 제어 수단이, 제 1 검사부로서 설정된 검사용 프로브 이외의 검사용 프로브를, 순차적으로 제 1 검사부로서 설정하고, 제 2 검사부는 제 1 검사부로서 설정되지 않은 배선 패턴의 전기적인 접촉을 갖는 검사용 프로브 모두가 설정되기 때문에, 모든 기판에 마련되는 배선 패턴을 효율 좋게 검사할 수 있다.

청구항 제 3항에 기재된 발명에 의하면, 전력 공급 수단은 제 1군과 직렬로 접속되고, 검출 수단은 제 2군과 직렬로 접속되어 있기 때문에, 단락 불량을 용이하게 또한 확실하게 발견할 수 있다.

청구항 제 4항에 기재된 발명에 의하면, 검출 수단은 전류계이고, 판정 수단은 전류계가 측정한 전류치를 소정 임계치와 비교함에 의해, 피검사 기판의 단락의 유무를 판정하기 때문에, 단락 불량을 용이하고 또한 확실하게 발견할 수 있다.

청구항 제 5항에 기재된 발명에 의하면, 복수의 피검사 기판이 같은 종류의 기판이고, 제어 수단이 설정하는 피검사 기판마다의 제 1 검사부와 제 2 검사부가, 같은 검사점에 있는 검사용 프로브이기 때문에, 같은 배선 패턴 모양을 갖는 기판의 단락 검사를 용이하고 또한 신속하게 단락 검사를 할 수 있다.

청구항 제 6항에 기재된 발명에 의하면, 피검사 기판의 배선 패턴상에 설정되는 소정의 검사점과 전기적 접촉을 갖는 검사용 프로브를 복수 가지고 이루어짐과 함께, 복수의 피검사 기판마다에 따라 배치되는 복수의 기판 검사용 치구를, 상기 검사점과 상기 검사용 프로브가 전기적으로 접촉하도록 피검사 기판상에 배치하고, 복수의 피검사 기판마다, 피검사 기판상의 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 1 검사부로 설정하고, 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴 이외의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 2 검사부로 설정하고, 복수의 제 1 검사부를 병렬 접속하여 제 1군으로 설정하고, 복수의 제 2 검사부를 병렬 접속하여 제 2군으로 설정하고, 제 1군과 제 2군 사이에 소정 전위차를 생기게 하고, 전위차가 생긴 때의 제 1군과 제 2군 사이의 전기적 특성을 검출하고, 전기적 특성을 기초로, 복수의 피검사 기판의 단락의 유무를 판정하기 때문에, 하나의 전력 공급 수단과 하나의 검출 수단을 이용하여, 복수의 기판의 단락 검사를 실시할 수 있다. 이 때문에, 복수의 기판에 대해 병렬적으로 단락 검사를 실시하고, 단락의 검사 회수를 감소시켜서 검사 시간을 단축할 수 있다.

도 1은 본 발명에 관한 기판 검사 장치가 검사 대상으로 하는 피검사 기판의 한 실시 형태를 도시하는 평면도.

도 2는 본 발명에 관한 기판 검사 장치를 도시하는 개략 구성도.

도 3은 본 발명에 관한 기판 검사용 장치의 기판 검사용 치구의 한 실시 형태를 도시하는 외관 사시도.

도 4는 본 발명에 관한 기판 검사 장치와 피검사 기판의 전기적 접속을 도시하는 개략도.

도 5는 본 발명에 관한 기판 검사 장치의 동작을 도시하는 플로우 차트.

도 6은 기판 검사 장치와 피검사 기판의 전기적 접속을 도시하는 한 실시예.

(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)

1 : 기판 검사 장치

2 : 기판 검사용 치구

3 : 제어 수단

4 : 전환 수단

5 : 전력 공급 수단

6 : 검출 수단

7 : 판정 수단

본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 설명한다.

도 1은 본 발명에 관한 기판 검사 장치가 검사 대상으로 하는 피검사 기판의 한 실시 형태를 도시하는 평면도이고, 도 2는 본 발명에 관한 기판 검사 장치의 개략 구성도를 도시하고, 도 3은 본 발명에 관한 기판 검사용 장치의 기판 검사용 치구의 한 실시 형태의 외관 사시도를 도시하고, 도 4는 본 발명에 관한 기판 검사 장치와 피검사 기판의 전기적 접속을 도시하는 개략도이다. 또한, 도 4에서 도시되는 바와 같이 설명도에서는, 피검사 기판이 4개의 배선 패턴을 갖는 경우를 설명하고 있지만 특히 한정되는 것은 아니다.

본 발명에 관한 기판 검사 장치는, 복수의 기판을 동시에 단락 검사의 실시를 가능하게 하여 검사 시간을 단축할 수 있다. 또한, 하나의 전력 공급 수단과 하 나의 검출 수단을 이용함에 의해, 경제적으로 저비용임과 함께, 하나의 전력 공급 수단과 하나의 검출 수단을 갖는 기판 검사 장치라면, 복수의 피검사 기판의 단락 검사를 동시에(병렬로) 처리함에 의해, 검사의 처리 능력을 향상시키고자 하는 것이다.

본 기판 검사 장치(1)는, 복수의 피검사 기판(100)을 동시에 단락 검사의 처리를 행할 수 있다. 이 기판 검사 장치(1)가 검사 처리하는 피검사 기판(100)은, 상기한 바와 같은 기판을 예시할 수 있음과 함께, 복수 종류의 기판을 처리할 수 있다.

본 명세서중에서는, 동일 종류의 기판을 이용함에 의해, 본 기판 검사 장치(1)가 효율 좋게 단락 검사를 할 수 있기 때문에, 동일 종류의 기판을 이용하는 경우를 설명한다.

또한, 상위한 기판을 이용한 경우라도, 후술하는 제 1군(제 1 검사부)이나 제 2군(제 2 검사부)을 제어 수단이 설정하는 검사용 프로브의 장소를 피검사 기판마다 파악하여 둠에 의해, 단락 검사를 단축하는 것이 가능해진다.

도 1에서 도시되는 한 실시 형태의 피검사 기판에서는, 띠 모양의 시트 부재(101)에 복수의 배선 패턴의 모양(A)이 형성되고, 복수의 피검사 기판(100)이 형성되어 있다. 이 도 1에서는, 배선 패턴의 모양(A)이 3개 형성되고, 피검사 기판(100)이 3개 형성되어 있다.

도 1에서 도시되는 피검사 기판은, 시트 부재(101)에 복수의 배선 패턴의 모양(A)이 길이 방향에 따라 배치되어 있다.

또한, 이 도 1에서 도시되는 배선 패턴의 모양은, 기판의 종류에 따라 작성자에 의해 적절히 변경된다.

본 발명의 기판 검사 장치(1)는, 도 2에서 도시되는 바와 같이, 기판 검사용 치구(2), 제어 수단(3), 전환 수단(4), 전력 공급 수단(5), 검출 수단(6)과 판정 수단(7)을 구비하여 이루어진다.

기판 검사용 치구(2)는, 피검사 기판(100)의 표면 및/또는 이면에 맞닿아, 피검사 기판(100)의 배선 패턴상에 설정되는 소정의 검사점과 전기적인 접촉을 얻는다. 이 기판 검사용 치구(2)는, 도 3에서 도시되는 바와 같이, 피검사 기판(100)의 배선 패턴에 접촉하는 접촉자를 갖는 다침상(多針狀) 접촉부(21)를 가지고 이루어진다.

이 다침상 접촉부(21)는, 도 3에서 도시되는 바와 같이, 복수의 소정의 검사점에 접촉하도록, 다침상으로 배치되는 복수의 검사용 프로브(211)를 가지고 이루어진다. 이 검사용 프로브(211)가, 검사점에 직접 접촉하거나, 소정 간격을 가지고 배치되고, 이 소정 간격에 의한 정전용량 결합하거나 함에 의해, 전기적 접촉 상태가 된다. 이 때문에, 검사용 프로브(211)의 일단은, 검사점과 전기적으로 접촉 상태가 되고, 검사용 프로브(211)의 타단은, 기판 검사용 치구(2)가 갖는 전극부(도시 생략)와 전기적으로 접촉한다. 이 전극부는, 후술하는 전력 공급 수단 및/또는 검출 수단과 전기적으로 접속될 수 있다.

이 결과, 피검사 기판(100)의 검사점으로부터 전기적 신호의 수수(授受)를, 이 기판 검사용 치구(2)를 통하여 행할 수 있다.

또한, 이 기판 검사용 치구(2)는, 피검사 기판(100)의 소정의 검사점에, 단락 검사를 위한 전력을 공급하거나, 단락 검사를 위한 전기적 특성을 검출하거나 할 수 있도록, 검사점과 기판 검사 장치(1)를 전기적으로 접속할 수 있는 것이면, 도 3과 같은 형상으로 특정되는 것이 아니다.

본 기판 검사 장치(1)는, 복수의 피검사 기판(100)에 대해, 동시에 복수의 피검사 기판(100)의 단락 검사를 행하기 위해, 동시에 단락 검사를 행하는 피검사 기판(100)의 매수와 동수의 기판 검사용 치구(2)가 준비된다. 예를 들면, 도 1에서 도시되는 바와 같이, 3개의 피검사 기판(100)의 단락 검사를 동시에 처리하기 위해서는, 3개의 피검사 기판(100)에 대한 기판 검사용 치구(2)를 배치한다. 이 도 1에 도시되는 3개의 피검사 기판(100)(100a, 100b, 100c)에 대응하여 검사하기 위해서는, 피검사 기판(100)에 대응하는 기판 검사용 치구(2)를 3개 병렬로 배치한다.

이와 같이, 3개 기판 검사용 치구(2)를 배치함에 의해, 피검사 기판(100)을 3개 동시에 검사 처리할 수 있음과 함께, 3개의 피검사 기판(100)을 연속하여 처리하는 것이 가능해진다.

제어 수단(3)은, 피검사 기판(100)에 마련되는 복수의 배선 패턴으로부터, 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴(W)과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브(P)를 제 1 검사부(S1)로 설정한다. 이 제 1 검사부(S1)로서 설정되는 배선 패턴(W)이, 다른 배선 패턴(W)과 단락하고 있는지의 여부가 검사되게 된다. 이 때문에, 제 1 검사부(S1)로서 설정되는 배선 패턴(W)은, 후술하는 방법에 의해 단락 검사가 실시되고, 불량한 배선 패턴이 아닌 것이 확인되면, 아직 단락 검사가 행하여지지 않은 배선 패턴(W)이 제 1 검사부(S1)로서 순차적으로 설정되어, 모든 배선 패턴(W)이 검사되게 된다.

이 제어 수단(3)이 설정하는 제 1 검사부(S1)는, 복수의 피검사 기판(100)에 대해 각각 설정되고, 복수의 피검사 기판(100)이 동종류의 기판인 경우에는, 제 1 검사부(S1)는 같은 장소의 검사용 프로브(P)(배선 패턴(W))가 설정된다.

이 제어 수단(3)은, 제 1 검사부(S1)가 설정됨과 함께, 제 2 검사부(S2)가 설정된다. 이 제 2 검사부(S2)는, 제 1 검사부(S1)로 설정되는 배선 패턴(W)에 대해, 단락을 갖고 있는지가 검사되는 배선 패턴(W)이다. 이 제 2 검사부(S2)는, 제 1 검사부(S1)로 설정된 배선 패턴(W) 이외의 배선 패턴(W)과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브(P)가 설정된다. 이 제 2 검사부(S2)에 설정되는 검사용 프로브(P)는, 적어도 제 1 검사부(S1)에 설정되는 배선 패턴(W)과 인접하는 배선 패턴(W)이 설정된다. 제 1 검사부(S1)에 설정되는 배선 패턴(W)이 미세하고 복잡한 경우에는, 제 2 검사부(S2)로서 설정되는 배선 패턴(W)을, 제 1 검사부(S1)로서 설정되는 배선 패턴(W) 이외의 배선 패턴(W)에 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브(P) 모두를 설정한다.

이와 같이 설정함에 의해, 제 1 검사부(S1)로서 설정되는 배선 패턴(W)과, 제 2 검사부(S2)로서 설정되는 잔여의 모든 배선 패턴(W)이 대응하게 되어, 보다 확실하게 단락 검사를 실시할 수 있다.

또한, 제 1 검사부(S1)는 순차적으로 배선 패턴(W)이 설정되기 때문에, 제 2 검사부(S2)도 순차적으로 배선 패턴(W)이 설정되게 되고, 또한, 복수의 피검사 기 판(100)이 동종류의 기판인 경우에는 각 피검사 기판의 제 2 검사부(S2)가 같은 장소의 검사용 프로브(P)가 설정된다.

도 4에서는, 3개의 피검사 기판(100)(100a, 100b, 100c)이 도시되고, 지면(紙面)을 향하여 왼손측에 제 1 검사부(S1)가 되는 배선 패턴(W)이 3개 도시되어 있다. 또한, 이 도 4에서는, 피검사 기판(100)의 배선 패턴(W)의 총수가 4개인 경우가 도시되고, 제 2 검사부(S2)가 되는 배선 패턴(W)이, 각 피검사 기판(100)에서 3개 도시됨과 함께 총수 9개가 도시되어 있다.

전환 수단(4)은, 제어 수단(3)에서 설정되는 제 1 검사부(S1)와 제 2 검사부(S2)의 각각의 배선 패턴(W)을, 후술하는 전력 공급 수단(5)과 검출 수단(6)에 접속한다. 이 전환 수단(4)은, 각 피검사 기판(100)의 제 1 검사부(S1)로서 설정된 각 검사용 프로브(P)를 병렬 접속하여, 제 1군(α)으로서 접속하고, 각 피검사 기판(100)의 각 제 2 검사부(S2)로서 설정된 각 검사용 프로브(P)를 병렬 접속하여, 제 2군(β)으로서 접속한다.

이와 같이, 제 1군(α)과 제 2군(β)이 설정됨에 의해, 복수의 피검사 기판(100)의 배선 패턴(W)을 제 1군(α)과 제 2군(β) 2개의 조(組)에 설정하게 된다.

또한, 이 전환 수단(4)은, 각 검사용 프로브(P)와 접속한 스위치 소자를 이용할 수 있고, 이 스위치 소자의 전환에 의해, 전력 공급 수단(5)이나 검출 수단(6)과 접속 가능하게 전환이 행하여진다.

도 4에서는, 제 1군(α)으로서 3개의 배선 패턴(W)이 접속되고, 제 2군(β) 으로서 9개의 배선 패턴(W)이 접속된다.

전력 공급 수단(5)은, 제 1군(α)과 제 2군(β) 사이에 소정 전위차를 생기게 한다. 이 전력 공급 수단(5)에 의해 전위차를 제 1군(α)과 제 2군(β)에 생기게 함에 의해 단락을 발견한다.

전력 공급 수단(5)은, 전류 제어(Current Control) 전원을 이용할 수 있고, 소정의 전류치를 제어함에 의해, 소정 전압을 제 1군(α)에 인가하여, 제 1군(α)과 제 2군(β)에 소정 전위차를 생기게 한다. 이 전력 공급 수단(5)은 제 1군(α)과 제 2군(β)에 소정 전위차를 생기게 할 수 있는 장치라면 특히 한정되지 않는다.

이 전력 공급 수단(5)은, 제 1군(α)과 직렬로 접속됨과 함께, 도 4에서 도시되는 바와 같이 배선 패턴(W) 사이의 폐회로에 있어서 전기적으로 상류측에 배치되게 된다. 도 4에서는, 전력 공급 수단(5)이, 제 1군(α)인 3개의 배선 패턴(W)에 대해, 각각 소정 전압을 인가할 수 있도록 설정되어 있다.

검출 수단(6)은, 전력 공급 수단(5)에 의해 제 1군(α)과 제 2군(β)의 사이에 전위차가 생긴 경우에 있어서의 제 1군(α)과 제 2군(β) 사이의 전기적 특성을 검출한다. 이 검출 수단(6)이, 제 1군(α)과 제 2군(β) 사이에 생기는 전기적 특성을 검출함에 의해, 후술하는 판정 수단(7)에서 피검사 기판(100)의 단락 판정을 행할 수 있다.

이 검출 수단(6)은, 제 1군(α)과 제 2군(β) 사이의 전기적 특성인 전류를 검출하는 전류계를 이용할 수 있지만, 전기적 특성을 검출하는 것이 가능한 장치라 면 특히 한정되는 것이 아니다. 검출 수단(6)은, 제 2군(β)과 직렬로 접속됨과 함께, 도 4에서 도시되는 바와 같이 배선 패턴(W) 사이의 폐회로에 있어서 전기적으로 하류측에 배치되게 된다. 도 4에서는, 검출 수단(6)이, 제 2군(β)인 9개의 배선 패턴(W)에 대해, 각각 배선 패턴(W)으로부터의 전류를 검출할 수 있도록 직렬로 접속되어 있다.

판정 수단(7)은, 검출 수단(6)이 검출하는 전기적 특성에 의거하여, 복수의 피검사 기판(100)의 단락의 유무를 판정한다. 이 판정 수단(7)은, 미리 설정되는 전기적 특성의 설정치와 검출 수단(6)이 검출하는 전기적 특성의 검출치를 비교한다. 예를 들면, 제 1군(α)과 제 2군(β) 사이(각 군을 형성하는 배선 패턴(W) 사이)에서 단락이 존재하고 있는 경우에는, 제 1군(α)과 제 2군(β) 사이에서 전류가 흐르게 된다. 이 때문에, 전기적으로 하류측에 배치되는 검출 수단(6)은 어떠한 전기적 변화를 검출하게 된다. 이 결과, 이 전기적 변화가 검출되면, 제 1군(α)과 제 2군(β)에 단락이 생기고 있는 것이 된다.

이 판정 수단(7)은, 검출 수단(6)이 전류계를 이용하는 경우에는, 이 검출 수단(6)인 전류계가 측정한 전류치를, 판정 수단(7)에 미리 설정되는 소정 임계치와 비교함에 의해, 피검사 기판(100)의 단락의 유무를 판정하도록 설정한다.

이 판정 수단(7)이 단락 있음으로 판정한 경우, 복수의 피검사 기판(100)을 동시에 검사하고 있기 때문에, 어느 기판에서 단락을 일으키고 있는지 특정한다. 이 경우, 단락이 판정 수단(7)에 의해 판정되면, 제 1군(α)을 형성한 제 1 검사부(S1)를 각각 재차 검사한다. 이 결과, 피검사 기판(100)마다 재차 단락 검사되게 되기 때문에, 단락을 갖는 불량의 기판을 발견할 수 있다.

본 기판 검사 장치(1)는, 상기한 설명과 같이, 제어 수단(3)과 전환 수단(4)을 이용함에 의해, 복수의 기판에 대해 동시에 단락 검사를 행할 수 있다. 이 때문에, 복수의 기판에 대해, 그 복수의 검사점과 전기적 접촉을 갖는 검사 장치라면, 하나의 전력 공급 수단(5)과 하나의 검출 수단(6)을 구비하고 있는 것만으로, 제어 수단(3)과 전환 수단(4)을 이용하여, 본 발명의 단락 검사 방법을 이용할 수 있다. 이 결과, 복잡한 기판 검사 장치의 구성을 필요로 하는 일 없이 단락의 검사 시간을 단축할 수 있다.

이상이, 본 발명에 관한 기판 검사 장치(1)의 구성의 설명이다.

다음에, 본 발명에 관한 기판 검사 장치의 동작에 관해 설명한다.

도 5는, 본 발명에 관한 기판 검사 장치의 동작을 도시하는 플로우 차트이고, 도 6은 기판 검사 장치와 피검사 기판의 전기적 접속을 도시하는 한 실시예이다.

우선, 검사를 행하는 기판을 준비한다. 이 경우, 복수의 기판을 준비함과 함께, 같은 배선 패턴의 모양을 갖는 복수의 기판을 검사한다(예를 들면, 도 1 참조).

복수의 기판이 준비되면, 검사하는 기판에 대해, 도 3에서 도시되는 바와 같이 다침상의 기판 검사용 치구(2)를 피검사 기판(100)의 배선 패턴(W)상의 검사점에 접촉시킨다(S1).

이 때, 각 피검사 기판(100)에 대해, 각각 다침상의 기판 검사용 치구(2)를 접촉시켜서, 동시에 검사를 행하도록 한다.

피검사 기판(100)에 대해, 기판 검사용 치구(2)가 준비되면, 우선, 이 기판 검사용 치구(2)를 이용하여, 피검사 기판(100)의 배선 패턴(W)의 도통을 검사한다(S2).

이 때, 도통 검사는, 예를 들면, 각 배선 패턴(W)에도 설정되는 2점 사이의 검사용 프로브(P)를 이용하여 실행된다.

피검사 기판(100)의 도통 검사가 양품이라고 판정되고 종료하면, 단락 검사의 준비가 행하여진다.

우선, 단락 검사를 행하기 위해, 피검사 기판(100)의 배선 패턴(W)과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브(P)를 제 1 검사부(S1)와 제 2 검사부(S2)로 나눈다(S3).

다음에, 각 피검사 기판(100)의 제 1 검사부(S1)끼리를 병렬 접속하여 제 1군(α)을 형성함과 함께, 각 피검사 기판(100)의 제 2 검사부(S2)끼리를 병렬 접속하여 제 2군(β)을 형성한다(S4).

다음에, 제 1군(α)과 제 2군(β) 사이에 소정의 전위차를 생기게 하기 위해, 제 1군(α)이 전력 공급 수단(5)과 직렬 접속된다. 또한, 한편으로, 제 1군(α)과 제 2군(β) 사이의 전기적 특성을 검출하기 위해 검출 수단(6)을 제 2군(β)과 직렬 접속시킨다.

이 때, 전력 공급 수단(5)이 제 1군(α)에 전압을 인가하고, 검출 수단(6)이 전기적 특성을 검출한다(S5).

예를 들면, 도 6에 도시된 바와 같이, 3개의 피검사 기판(100)(100a, 100b, 100c)이 배치되고, 한가운데에 배치된 피검사 기판(100b)이 단락(T)을 갖는 경우를 설명한다.

각 피검사 기판의 3개의 제 1 검사부(S1)에 의해 형성된 제 1군(α)이, 전력 공급 수단(5)에 의해 전압이 인가되면, 피검사 기판(100)이 갖는 단락(T)에 의해 전류가 흐름에 의해, 검출 수단(6)은 전기적 특성의 변화인 전류를 검출한다. 검출 수단(6)이 전기적 특성의 변화인 전류(미리 설정되는 전류 설정치보다도 큰 검출 전류치)를 검출하면, 3개의 피검사 기판(100a, 100b, 100c)중 어느 하나 또는 복수의 기판이 단락 불량을 갖고 있다고 판정된다. 단락 불량이라고 판정되면, 도 6에서 도시되는 전환 수단(4)의 3개의 스위치(SW1, SW2, SW3)를 각각 오프하여, 각각을 단독으로 기동시킨다. 그 결과, 스위치(SW1)와 스위치(SW3)를 기동시켜서도, 검출 수단(6)은 전기적 특성의 변화(전류)를 검출하지 않고, 스위치(SW2)를 시동시킨 때에 검출 수단(6)이 전기적 특성의 변화를 검출하게 된다. 그러면, 피검사 기판(100b)이 단락(T)을 갖고 있는 것이 발견되고, 이 피검사 기판(100b)이 불량 기판이라고 판정할 수 있다(S6).

또한, 도 6에서 도시되는 2개의 기판(100a, 100c)은, 단락 불량을 갖고 있지 않고, 양품이라고 판정된다. 또한, 검출 수단(6)이 전기적 특성을 검출하지 않은 경우에는, 검사 대상이 되는 피검사 기판(100)은 양품이라고 판정되게 된다.

Claims (6)

1. 복수의 배선 패턴을 갖는 피검사 기판이 복수 배치되고, 해당 복수의 피검사 기판의 전기적 특성을 검사하는 기판 검사 장치로서,

   상기 피검사 기판의 배선 패턴상에 설정되는 소정의 검사점과 전기적 접촉을 갖는 검사용 프로브를 복수 가지고 이루어짐과 함께, 상기 복수의 피검사 기판마다에 따라 배치되는 복수의 기판 검사용 치구와,

   복수의 피검사 기판마다, 해당 피검사 기판상의 상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 1 검사부로 설정하고, 상기 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴 이외의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 2 검사부로 설정하는 제어 수단과,

   상기 제어 수단의 설정에 의거하여, 상기 복수의 제 1 검사부를 병렬 접속하여 제 1군으로 설정하고, 상기 복수의 제 2 검사부를 병렬 접속하여 제 2군으로 설정하는 전환 수단과,

   상기 제 1군과 상기 제 2군 사이에 소정 전위차를 생기게 하는 전력 공급 수단과,

   상기 전력 공급 수단에 의해 전위차가 생긴 때의 상기 제 1군과 상기 제 2군 사이의 전기적 특성을 검출하는 검출 수단과,

   상기 검출 수단이 검출하는 전기적 특성에 의거하여, 상기 복수의 피검사 기판의 단락의 유무를 판정하는 판정 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장 치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 제어 수단은,

   상기 제 1 검사부로서 설정된 검사용 프로브 이외의 검사용 프로브를, 순차적으로 제 1 검사부로서 설정하고,

   상기 제 2 검사부는, 상기 제 1 검사부로서 설정되지 않은 배선 패턴의 전기적인 접촉을 갖는 검사용 프로브 모두가 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 전력 공급 수단은, 상기 제 1군과 직렬로 접속되고,

   상기 검출 수단은, 상기 제 2군과 직렬로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
4. 제 1항 또는 제 3항에 있어서,

   상기 검출 수단은 전류계이고, 상기 판정 수단은, 상기 전류계가 측정한 전류치를 소정 투치와 비교함에 의해, 상기 피검사 기판의 단락의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 복수의 피검사 기판은, 같은 종류의 기판이고,

   상기 제어 수단이 설정하는 피검사 기판마다의 제 1 검사부와 제 2 검사부가, 같은 검사점에 있는 검사용 프로브인 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.
6. 복수의 배선 패턴을 갖는 피검사 기판이 복수 배치되고, 해당 복수의 피검사 기판의 전기적 특성을 검사하는 기판 검사 방법으로서,

   상기 피검사 기판의 배선 패턴상에 설정되는 소정의 검사점과 전기적 접촉을 갖는 검사용 프로브를 복수 가지고 이루어짐과 함께, 상기 복수의 피검사 기판마다에 따라 배치되는 복수의 기판 검사용 치구를, 상기 검사점과 상기 검사용 프로브가 전기적으로 접촉하도록 피검사 기판상에 배치하고,

   복수의 피검사 기판마다, 해당 피검사 기판상의 상기 복수의 배선 패턴으로부터 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 1 검사부로 설정하고, 상기 검사 대상이 되는 하나의 배선 패턴 이외의 배선 패턴과 전기적으로 접촉하는 검사용 프로브를 제 2 검사부로 설정하고,

   상기 복수의 제 1 검사부를 병렬 접속하여 제 1군으로 설정하고, 상기 복수의 제 2 검사부를 병렬 접속하여 제 2군으로 설정하고,

   상기 제 1군과 상기 제 2군 사이에 소정 전위차를 생기게 하고,

   상기 전위차가 생긴 때의 상기 제 1군과 상기 제 2군 사이의 전기적 특성을 검출하고,

   상기 전기적 특성을 기초로, 상기 복수의 피검사 기판의 단락의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 방법.

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