TW200809226A - Substrate inspecting apparatus and substrate inspecting method - Google Patents

Description

200809226 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於基板檢查裝置及基板檢查方法，詳而言 之’係關於能對複數個基板並列實施短路檢查，以減少短 • 路之檢查次數並縮短檢查時間之基板檢查裝置及基板檢查 - 方法。 本發明所指之檢查「基板」係包括：印刷配線基板、 軟性配線基板、多層配線基板、液晶顯示器或電漿顯示器 等用的電極板、半導體封裝用之封裝基板、薄膜載帶等等 【先前技術】 以往，爲了對具有複數個配線圖案之基板進行導通檢 查’係在檢查對象之配線的兩端部施加電流或電壓（由電 源供給電力）以測定配線之電阻値，並將既定電阻値設定 成閾値而判定其爲良品或不良品。關於這種基板所具有的 配線圖案之短路檢查，也是對檢查對象之配線施加電流或 電壓（由電源供給電力），並測定該配線和其他配線間之 電阻値，與導通檢查同樣地將既定電阻値設定成閾値而判 定其爲良品或不良品。 在進行導通及短路檢查時，針對一個基板，必須使用 一個檢查用治具、一個電源、一個測定裝置（電流計及/ 或電壓計）。因此，爲了檢查一個基板，必須準備檢查裝 置、電源及測定裝置各一台，爲了同時檢查複數個基板， -4- 200809226 (2) 必須準對對應於基板數目之該等裝置。 例如，在專利文獻1所記載之發明，爲了同時檢查複 數個基板，係將複數個檢查用治具（探針）沿既定方向配 置，俾同時檢查複數個基板。 • 〔專利文獻1〕日本特開平8-2 1 867號公報 【發明內容】 然而，若採用上述方式同時檢查複數個基板時，不僅 必須增多檢查用治具的數量，且同樣地必須增加電源與測 定裝置的數量，如此會造成裝置本身的大型化，且會有成 本增高的問題。 本發明係有鑑於這種情事而構成者，其目的係提供一 種基板檢查裝置及基板檢查方法，不須增加電源與測定裝 置的數量即可對複數個基板並列實施短路檢查，以減少短 路檢查的次數並縮短檢查時間。 請求項1所記載之發明，係提供一種基板檢查裝置， 係將具有複數個配線圖案之被檢查基板配置複數個，以檢 查該複數個被檢查基板之電氣特性之基板檢查裝置，其特 徵在於具備：具有複數個檢查用探針（能與前述被檢查基 板之配線圖案上所設定的既定檢查點形成電氣接觸），且 對應前述複數個被檢查基板分別配置之複數個基板檢查用 治具、對複數個被檢查基板各個，在該被檢查基板上的前 述複數個配線圖案中，將和構成檢查對象之一個配線圖案 形成電氣接觸之檢查用探針設定爲第一檢查部，將和前述 -5- 200809226 (3) 檢查對象之一個配線圖案以外的配線圖案形成電氣接觸之 檢查用探針設定爲第二檢查部之控制手段、根據前述控制 手段的設定，將前述複數個第一檢查部並聯而設定成第一 群，將前述複數個第二檢查部並聯而設定成第二群之切換 • 手段、使前述第一群和前述第二群之間產生既定電位差之 電力供給手段、當藉由前述電力供給手段產生電位差時檢 測前述第一群和前述第二群間的電氣特性之檢測手段、根 據前述檢測手段所檢測的電氣特性來判定前述複數個被檢 查基板是否有短路之判定手段。 請求項2所記載之發明，係在請求項1記載的基板檢 查裝置中，前述控制手段，係將被設定成前述第一檢查部 之檢查用探針以外的檢查用探針，依序設定成第一檢查部 ，將和未設定成前述第一檢查部之配線圖案形成電氣接觸 的檢查用探針全部都設定成第二檢查部。 請求項3所記載之發明，係在請求項1記載的基板檢 查裝置中，前述電力供給手段和前述第一群串聯’前述檢 測手段和前述第二群串聯。 請求項4所記載之發明’係在請求項1或3記載的基 • 板檢查裝置中，前述檢測手段爲電流計，前述判定手段’ • 係將前述電流計所測定之電流値與既定閾値做比較’藉此 判定前述被檢查基板是否有短路。 請求項5所記載之發明’係在請求項1記載的基板檢 查裝置中，前述複數個被檢查基板是相同種類的基板，前 述控制手段所設定之各個被檢查基板之第一檢查部與第二 -6- 200809226 (4) 檢查部，係位於相同檢查點之檢查用探針。 請求項6所記載之發明，係提供一種基板檢查方法， 係將具有複數個配線圖案之被檢查基板配置複數個，以檢 查該複數個被檢查基板之電氣特性之基板檢查方法，其特 徵在於：將具有複數個檢查用探針（能與前述被檢查基板 - 之配線圖案上所設定的既定檢查點形成電氣接觸）且對應 前述複數個被檢查基板分別配置之複數個基板檢查用治具 ，以前述檢查點與前述檢查用探針形成電氣接觸的方式配 置於被檢查基板上；對複數個被檢查基板各個，在該被檢 查基板上的前述複數個配線圖案中，將和構成檢查對象之 一個配線圖案形成電氣接觸之檢查用探針設定爲第一檢查 部，將和前述檢查對象之一個配線圖案以外的配線圖案形 成電氣接觸之檢查用探針設定爲第二檢查部；將前述複數 個第一檢查部並聯而設定成第一群，將前述複數個第二檢 查部並聯而設定成第二群；使前述第一群和前述第二群之 間產生既定電位差；產生前述電位差時，檢測前述第一群 和前述第二群間的電氣特性，根據前述電氣特性來判定前 述複數個被檢查基板是否有短路。 ' 藉由提供這些發明即可解決上述課題。 依據請求項1記載之發明，在複數個被檢查基板分別 將該被檢查基板上的前述複數個配線圖案中’將和構成檢 查對象之一個配線圖案形成電氣接觸之檢查用探針設定爲 第一檢查部，將和前述檢查對象之一個配線圖案以外的配 線圖案形成電氣接觸之檢查用探針設定爲第二檢查部，將 -7- 200809226 (5) 前述複數個第一檢查部並聯而設定成第一群，將前述複數 個第二檢查部並聯而設定成第二群，使前述第一群和前述 第二群之間產生既定電位差，檢測前述第一群和前述第二 群間的電氣特性，根據前述電氣特性來判定前述複數個被 檢查基板是否有短路，藉此，使用一個電力供給手段與一 個檢測手段即可實施複數個基板之短路檢查。因此，能對 複數個基板並列實施短路檢查，可減少短路之檢查次數而 縮短檢查時間。 依據請求項2記載的發明，控制手段，係將被設定成 第一檢查部之檢查用探針以外的檢查用探針，依序設定成 第一檢查部，將和未設定成第一檢查部之配線圖案形成電 氣接觸的檢查用探針全部都設定成第二檢查部，藉此，能 效率良好地檢查所有基板上的配線圖案。 依據請求項3記載的發明，由於電力供給手段和第一 群串聯，檢測手段和第二群串聯，故能容易且確實地發現 短路。 依據請求項4記載的發明，檢測手段爲電流計，判定 手段係將電流計所測定之電流値與既定閾値做比較，藉此 判定被檢查基板是否有短路，如此能容易且確實地發現短 路。 依據請求項5記載的發明，複數個被檢查基板是相同 種類的基板，控制手段所設定之各個被檢查基板之第一檢 查部與第二檢查部，係位於相同檢查點之檢查用探針，藉 此’對於具有相同配線圖案之基板，能容易且迅速地進行 -8- 200809226 ⑹ 短路檢查。 依據請求項6記載的發明，將具有複數個檢查用探針 (能與前述被檢查基板之配線圖案上所設定的既定檢查點 形成電氣接觸）且對應前述複數個被檢查基板分別配置之 複數個基板檢查用治具，以前述檢查點與前述檢查用探針 形成電氣接觸的方式配置於被檢查基板上，在複數個被檢 查基板分別將該被檢查基板上的前述複數個配線圖案中， 將和構成檢查對象之一個配線圖案形成電氣接觸之檢查用 探針設定爲第一檢查部，將和前述檢查對象之一個配線圖

檢查部，將前述複數個第一檢查部並聯而設定成第一群， 將前述複數個第二檢查部並聯而設定成第二群，使前述第 一群和前述第二群之間產生既定電位差，檢測前述第一群 和前述第二群間的電氣特性，根據前述電氣特性來判定前 述複數個被檢查基板是否有短路；藉此，使用一個電力供 給手段與一個檢測手段即可實施複數個基板之短路檢查。 因此，能對複數個基板並列實施短路檢查，可減少短路之 檢查次數而縮短檢查時間。 【實施方式】 第1圖係顯示本發明之基板檢查裝置所檢查的對象之 被檢查基板之一實施形態之俯視圖。第2圖係顯示本發明 的基板檢查裝置之槪略構成圖。第3圖係顯不本發明的基 板檢查用裝置之基板檢查用治具的一實施形態之外觀立體 -9 - 200809226 (7) 圖。第4圖係顯示本發明的基板檢查裝置與被檢查基板形 成電氣連接之槪略圖。第4圖雖是針對被檢查基板具有4 根配線圖案的情形做說明，但並不限於此。 本發明之基板檢查裝置，可同時對複數個基板實施短 路檢查，因此能縮短檢查時間。藉由使用一個電力供給手 - 段與一個檢測手段，經濟上可降低成本，又使用具有單一 電力供給手段與單一檢測手段之基板檢查裝置，即可同時 (並列）處理複數個被檢查基板之短路檢查，因此能提昇 檢查的處理能力。 本基板檢查裝置1，可同時對複數個被檢查基板100 進行短路檢查之處理。該基板檢查裝置1所檢查之被檢查 基板1 00，除上述例示之基板以外，也能處理複數種的基 板。 當使用同一種基板時，本基板檢查裝置1能效率良好 地進行短路檢查，因此本說明書中係針對使用同一種基板 的情形做說明。 即使是使用不同種的基板時，只要在各個被檢查基板 上，掌握控制手段所設定之檢查用探針的場所來作爲後述 之第一群（第一檢查部）和第二群（第二檢查部），即可 將短路檢查的時間縮短。 第1圖所示之一實施形態之被檢查基板，係在帶狀的 片構件1 0 1上形成複數個配線圖案A，藉此構成複數個被 檢查基板1 ο 〇。在第1圖中，形成有3個配線圖案A而構 成3個被檢查基板100。 -10- 200809226 (8) 第1圖所示之被檢查基板，係在片構件1 0 1上，將複 數個配線圖案A沿長方向配置。 第1圖所示之配線圖案的模樣，能按照基板種類來做 適當地改變。 本發明之基板檢查裝置1，如第2圖所示係具備：基 板檢查用治具2、控制手段3、切換手段4、電力供給手 段5、檢測手段6、判定手段7。 基板檢查用治具2，可抵接於被檢查基板1 〇 〇之表面 及/或背面，以和被檢查基板1 00的配線圖案上所設定之 既定檢查點形成電氣接觸。該基板檢查用治具2，如第3 圖所示具有多針狀接觸部2 1，該多針狀接觸部2 1具備能 和被檢查基板1 〇〇的配線圖案接觸之接觸子。 該多針狀接觸部2 1，如第3圖所示，係具有呈多針 狀配置之複數個檢查用探針2 1 1，以和複數個既定檢查點 形成接觸。該檢查用探針2 1 1，係如檢查點直接接觸，或 隔著既定間隔而與檢查點形成靜電容耦合，藉此形成電氣 接觸狀態。因此，檢查用探針2 1 1之一端係和檢查點形成 電氣接觸狀態，檢查用探針2 1 1之另一端係和基板檢查用 治具2所具有的電極部（未圖示）形成電氣接觸。該電極 部，能和後述之電力供給手段及/或檢測手段形成電氣連 接。 結果，來自被檢查基板1 00之檢查點之電氣訊號之授 受，可經由該基板檢查用治具2來進行。 該基板檢查用治具2，只要能使被檢查基板100之既 -11 - 200809226 (9) 定檢查點與基板檢查裝置1形成電氣連接，而對該檢查點 供給短路檢查用的電力、或檢測出短路檢查用的電氣特性 即可，並不限於第3圖所示的形狀。 本基板檢查裝置1 ’爲了同時對複數個被檢查基板 100進行短路檢查，係準備與進行短路檢查之被檢查基板 1 〇〇的數量相同之基板檢查用治具2。例如，爲了對如第 1圖所示之3個被檢查基板1 00同時進行短路檢查，係配 置3個基板檢查用治具2。爲了對第1圖所示之3個被檢 查基板100 ( l〇〇a、100b、100c )進行檢查，係將對應於 被檢查基板1 〇 0之基板檢查用治具2並列配置3個。 如此般，藉由配置3個基板檢查用治具2，能同時檢 查3個被檢查基板100，且能連續處理3個被檢查基板 100° 控制手段3，係在被檢查基板1 00之複數個配線圖案 中，將和構成檢查對象之一個配線圖案W形成電氣接觸 之檢查用探針P設定成第一檢查部S 1。設定爲第一檢查 部S1之配線圖案W，須檢查其和其他配線圖案W間是否 產生短路。因此，當設定爲第一檢查部S1之配線圖案W 經由後述方法實施短路檢查，並確認其不屬於不良配線圖 案後，將尙未進行短路檢查之配線圖案W依序設定爲第 一檢查部S 1，藉此對所有的配線圖案W進行檢查。 該控制手段3所設定之第一檢查部s 1，係對複數個 被檢查基板100分別設定，當複數個被檢查基板1〇〇屬同 種類的基板時，係將相同場所的檢查用探針P (配線圖案 -12- 200809226 (10) w)設定爲第一檢查部s 1。 該控制手段3，係設定第一檢查部S1並設定第二檢 查部S2。該第二檢查部S2之配線圖案W，須檢查其和第 一檢查部S 1所設定之配線圖案W間是否產生短路。將和 第一檢查部S1所設定之配線圖案W以外的配線圖案W 形成電氣接觸之檢查用探針P設定爲第二檢查部S2。該 第二檢查部S 2所設定之檢查用探針P，至少對應於與第 一檢查部S 1所設定之配線圖案W鄰接之配線圖案W。當 第一檢查部S 1所設定之配線圖案W微細且複雜時，將和 第一檢查部s1所設定之配線圖案W以外的配線圖案W 形成電氣接觸之檢查用探針p全部都設定成，對應於第二 檢查部S2之配線圖案W。 藉由進行這種設定，使第一檢查部S1所設定之配線 圖案w與第二檢查部S2所設定之全部剩下的配線圖案W 相對應，即可更確實地實施短路檢查。 由於依序將配線圖案w設定爲第一檢查部S 1，故也 能依序將配線圖案w設定爲第二檢查部S 2，又當複數個 被檢查基板1 〇 〇爲相同種類的基板時，係將相同場所的檢 ’ 查用探針P設定爲各被檢查基板之第二檢查部S2。 第4圖係顯示3個被檢查基板l〇〇(l〇〇a、100b、 100c)，在紙面左側係具有3個構成第一檢查部S1之配 線圖案W。在第4圖，被檢查基板1 〇〇之配線圖案W的 總數有4個，因此構成第二檢查部S 2之配線圖案W，在 各被檢查基板1 〇 〇分別具有3個而總數合計爲9個。 -13- 200809226 (11) 切換手段4，係將控制手段3所設定之第一檢查部s 1 與第二檢查部S2各自的配線圖案W，連接至後述之電力 供給手段5與檢測手段6。該切換手段4，係將各被檢查 基板1〇〇之構成第一檢查部S1之各檢查用探針p並聯成 第一群α，並將各被檢查基板1〇〇之構成第二檢查部S2 之各檢查用探針Ρ並聯成第二群0。 如此般設定第一群α與第二群/3，能將複數個被檢查 基板1 〇〇之配線圖案W分成第一群α與第二群$這二組 〇 此外，該切換手段4，能使用與各檢查用探針P連接 之開關元件，藉由切換該開關元件，能與電力供給手段5 或檢測手段6形成連接。 在第4圖，係連接3個配線圖案W作爲第一群α， 並連接9個配線圖案W作爲第二群/3。 電力供給手段5，係用來在第一群α與第二群α之間 產生既定電位差。利用該電力供給手段5使第一群α與第 一群々之間產生既定電位差，藉此來發現是否有短路。 電力供給手段5，能使用電流控制（Current Control )電源來控制成既定的電流値，藉此將既定電壓施加於第 一群α而使第一群α與第二群^之間產生既定電位差。該 電力供給手段5，只要是能使第一群α與第二群θ之間產 生既定電位差之裝置即可，並沒有特別的限定。 該電力供給手段5，係和第一群α串聯，而如第4圖 所示’在配線圖案W間的閉迴路內配置於電氣上游側。 -14- 200809226 (12) 在第4圖’電力供給手段5係對第一群^之3個配線圖案 W分別施加既定的電壓。 檢測手段6，在電力供給手段5使第一群α與第二群 /3之間產生電位差時，係檢測第一群α與第二群Θ間之電 氣特性。經由該檢測手段6檢測出第一群α與第二群0間 之電氣特性，能藉由後述之判定手段7來進行被檢查基板 1〇〇之短路判定。 該檢測手段6，雖是使用檢測第一群^與第二群石間 之電氣特性（電流）之電流計，但只要是能檢測電氣特性 之裝置即可，並沒有特別的限定。檢測手段6，係和第二 群万串聯，且如第4圖所示在配線圖案w間的閉迴路內 配置於電氣下游側。在第4圖中，檢測手段6係和第二群 泠之9根配線圖案W串聯，以檢測出來自各個配線圖案 W之電流。 判定手段7，係根據檢測手段6所檢測出的電氣特性 ，來判定複數個被檢查基板1 00是否有短路存在。該判定 手段7，係將予先設定之電氣特性的設定値與檢測手段6 所檢測出之電氣特性的檢測値加以比較。例如，當第一群 α與第二群/3間（各群之配線圖案W間）有短路存在時 ，第一群α與第二群yS間會有電流流過。因此，配置於電 氣下游側之檢測手段6會檢測出某些電氣特性改變。結果 ，當檢測出電氣特性改變時，代表在第一群α與第二群冷 間發生短路。 當檢測手段6使用電流計時，判定手段7係將檢測手 -15- 200809226 (13) 段6 (電流計）測定之電流値與判定手段7中預先設定之 既定閾値做比較，藉此判定被檢查基板1 〇〇是否發生短路 〇 當判定手段7判定爲發生短路時，由於是同時檢查複 數個被檢查基板1 〇〇，必須確定是那個基板發生短路。這 時，當判定手段7判定有短路發生時，係對形成第一群α 之第一檢查部S 1個別進行再度檢查。結果，由於對每個 被檢查基板1 〇 〇再度進行短路檢查，故能找出發生短路之 不良基板。 本基板檢查裝置1，如上述說明般，可使用控制手段 3與切換手段4來對複數個基板1同時進行短路檢查。因 此，對複數個基板，使用能與其複數個檢查點形成電氣接 觸之檢查裝置，且只要具備一個電力供給手段5與一個檢 測手段6，使用控制手段3與切換手段4即可進行本發明 之短路檢查方法。結果，不須採用複雜的基板檢查裝置構 造，且能將短路之檢查時間縮短。 以上係說明本發明的基板檢查裝置1之構造。 接著說明本發明之基板檢查裝置之動作。 第5圖係顯示本發明的基板檢查裝置之動作之流程圖 ，第6圖係顯示基板檢查裝置和被檢查基板進行電氣連接 之一實施例。 首先，準備被檢查基板。這時，係準備複數個基板， 以檢查具有相同配線圖案之複數個基板（例如參照第1圖 -16- 200809226 (14) 準備好複數個基板後，對被檢查之基板，如第3圖所 示，使多針狀的基板檢查用治具2接觸被檢查基板1 00之 配線圖案W上的檢查點（S 1 )。 這時，對各被檢查基板1 〇〇，分別讓多針狀的基板檢 查用治具2接觸，以同時進行檢查。 • 在對被檢查基板1 〇〇準備基板檢查用治具2後，首先 ，使用該基板檢查用治具2，對被檢查基板1 00之配線圖 案進行導通檢查（S2)。 這時之導通檢查，係使用設定於各配線圖案W的2 點間之檢查用探針P來進行。 當被檢查基板1 00在導通檢查被判定爲良品時，接著 準備進行短路檢查。 爲了進行短路檢查，將用來和被檢查基板1 00之配線 圖案W形成電氣接觸之檢查用探針p分成第一檢查部si 與第二檢查部S2 ( S3 )。 接著，將各被檢查基板100之第一檢查部S1彼此並 聯而形成第一群α，並將各被檢查基板1 〇〇之第二檢查部 S2彼此並聯而形成第二群(S4)。 然後，爲了使第一群α與第二群yS之間產生既定電位 差，將第一群α和電力供給手段5串聯。另一方面，爲了 檢測第一群α與第二群Θ間之電氣特性，將檢測手段6與 第二群/5串聯。 這時，電力供給手段5將電壓施加於第一群α，檢測 手段6檢測出電氣特性（s 5 )。 -17- 200809226 (15) 例如，如第6圖所示，配置有3個被檢查基板100 ( 100a、100b、100c) ’針對配置於中央之被檢查基板 1 0 0 b產生短路T的情形做說明。 在3個被檢查基板之各第一檢查部si所形成之第一 群α ’當施加來自電力供給手段5之電壓時，由於在被檢 • 查基板1 0 0存在短路而造成電流流通，檢測手段6可檢測 出電氣特性改變。當檢測手段6檢測出電氣特性改變之電 流（比預先設定之電流設定値更大之檢測電流値）時，係 判定3個被檢查基板i〇〇a、100b、iooc中任一個或複數 個基板發生短路不良。當判定爲短路不良時，將第6圖所 示之切換手段4的3個開關SW1、SW2、SW3分別斷開（ OFF) ’再個別單獨起動。結果，在起動開關SW1、SW3 時檢測手段6無法檢測出電氣特性改變（電流），但在起 動開關S W 2時檢測手段6檢測到電氣特性改變。如此般 ，發現是被檢查基板1 〇 〇b存在短路T，可判定該被檢查 基板100B爲不良基板。 此外’第6圖所示之2個基板100a、100c，由於未 發生短路不良’可判定爲良品。又當檢測手段6未檢測出 電氣特性改變時’係判定構成檢查對象之被檢查基板丨00 都是良品。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明之基板檢查裝置所檢查的對象之 被檢查基板之一^實施形態之俯視圖。 -18- 200809226 (16) 第2圖係顯示本發明的基板檢查裝置之槪略構成圖。 第3圖係顯示本發明的基板檢查用裝置之基板檢查用 治具的一實施形態之外觀立體圖。 第4圖係顯示本發明的基板檢查裝置與被檢查基板形 成電氣連接之槪略圖。 第5圖係顯示本發明的基板檢查裝置之動作之流程圖 〇 弟6圖係顯不基板檢查裝置和被檢查基板進行電氣連 接之一實施例。 【主要元件符號說明】 1 :基板檢查裝置 2 :基板檢查用治具 3 :控制手段 4 :切換手段 5 :電力供給手段 6 :檢測手段 7 :判定手段 -19-

Claims (1)

1. 200809226 (1) 十、申請專利範圍 1 · 一種基板檢查裝置，係將具有複數個配線圖案之 檢查基板配置複數個，以檢查該複數個被檢查基板之電 特性之基板檢查裝置，其特徵在於： 係具備： 具有複數個檢查用探針（能與前述被檢查基板之配 圖案上所設定的既定檢查點形成電氣接觸），且對應前 複數個被檢查基板分別配置之複數個基板檢查用治具、 對複數個被檢查基板各個，在該被檢查基板上的前 複數個配線圖案中，將和構成檢查對象之一個配線圖案 成電氣接觸之檢查用探針設定爲第一檢查部，將和前述 查對象之一個配線圖案以外的配線圖案形成電氣接觸之 查用探針設定爲第二檢查部之控制手段、 根據前述控制手段的設定，將前述複數個第一檢查 並聯而設定成第一群，將前述複數個第二檢查部並聯而 定成第二群之切換手段、 使前述第一群和前述第二群之間產生既定電位差之 力供給手段、 當藉由前述電力供給手段產生電位差時檢測前述第 群和前述第二群間的電氣特性之檢測手段、 根據前述檢測手段所檢測的電氣特性來判定前述複 個被檢查基板是否有短路之判定手段。 2 .如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置’其中， 述控制手段， 被 氣 線 述 述 形 檢 檢 部 設 電 數 前 -20- 200809226 (2) 係將被設定成前述第一檢查部之檢查用探針以外的檢 查用探針，依序設定成第一檢查部； 將和未設定成前述第一檢查部之配線圖案形成電氣接 觸的檢查用探針，全部都設定成第二檢查部。 3 .如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置，其中，前 . 述電力供給手段和前述第一群串聯，前述檢測手段和前述 第二群串聯。 4.如申請專利範圍第1或3項之基板檢查裝置，其中 ，前述檢測手段爲電流計； 前述判定手段，係將前述電流計所測定之電流値與既 定閾値做比較，藉此判定前述被檢查基板是否有短路。 5 ·如申請專利範圍第1項之基板檢查裝置，其中，前 述複數個被檢查基板是相同種類的基板； 前述控制手段所設定之各個被檢查基板之第一檢查部 與第二檢查部，係位於相同檢查點之檢查用探針。 6. —種基板檢查方法，係將具有複數個配線圖案之被 檢查基板配置複數個，以檢查該複數個被檢查基板之電氣 特性之基板檢查方法，其特徵在於： 將具有複數個檢查用探針（能與前述被檢查基板之配 線圖案上所設定的既定檢查點形成電氣接觸）且對應前述 複數個被檢查基板分別配置之複數個基板檢查用治具，以 目丨J述檢查點與則述檢查用探針形成電氣接觸的方式配置於 被檢查基板上； 對複數個被檢查基板各個，在該被檢查基板上的前述 -21 - 200809226 (3) 複數個配線圖案中，將和構成檢查對象之一個配線圖案形 成電氣接觸之檢查用探針設定爲第一檢查部，將和前述檢 查對象之一個配線圖案以外的配線圖案形成電氣接觸之檢 查用探針設定爲第二檢查部； 將前述複數個第一檢查部並聯而設定成第一群’將前 述複數個第二檢查部並聯而設定成第二群； 使前述第一群和前述第二群之間產生既定電位差； 產生前述電位差時’檢測前述第一群和前述第二群間 的電氣特性； 根據前述電氣特性來判定前述複數個被檢查基板是否 有短路。 -22-