KR101157878B1 - 검사용 치구의 유지보수방법 및 기판검사장치 - Google Patents

Abstract

(과제)
본 발명은, 검사용 치구의 접촉자 사이의 단락이상을 효율적으로 검출하여, 기판검사에 사용되는 검사용 치구를 유지보수하는 타이밍을 정확하게 검출함으로써, 검사용 치구의 유지보수를 실시할 수 있는 검사용 치구의 유지보수방법 및 기판검사장치를 제공한다.
(해결수단)
검사점 사이의 각 검사점에 한 쌍의 접촉자를 각각 접촉시켜서 상기 검사점 사이의 저항값을 산출하여 이 검사점 사이가 불량이라고 판정된 경우에, 검사점에 접촉되어 있던 한 쌍의 접촉자를 검사점에 재접촉시키고, 재접촉상태에서의 상기 검사점 사이의 저항값을 다시 산출하고, 산출된 재저항값과 산출저항값을 비교하고, 비교결과에 따라 검사용 치구의 유지보수를 실시하는 것을 특징으로 한다.

Description

검사용 치구의 유지보수방법 및 기판검사장치{THE METHOD FOR MAINTENANCE OF INSPECTION FIXTURE, APPARATUS FOR THE SAME}

본 발명은 검사용 치구(檢査用 治具)의 유지보수방법(maintenance method) 및 기판검사장치(基板檢査裝置)에 관한 것으로서, 더 상세하게는 검사용 치구의 접촉자(接觸子) 사이의 단락이상(短絡異常)을 효율적으로 검출하여, 기판검사에 사용되는 검사용 치구를 유지보수하는 타이밍(timing)을 정확하게 검출함으로써, 검사용 치구의 유지보수를 실시할 수 있는 검사용 치구의 유지보수방법 및 기판검사장치에 관한 것이다.

한편 본 발명은, 프린트 배선기판(print 配線基板)에 한정되지 않고 예를 들면 플렉시블 기판(flexible 基板), 다층배선기판(多層配線基板), 액정 디스플레이(液晶 display)나 플라즈마 디스플레이용(plasma display用)의 전극판(電極板) 및 반도체 패키지용의 패키지 기판(package 基板)이나 필름 캐리어(film carrier) 등 여러 가지의 기판이나 반도체 웨이퍼(半導體 wafer) 등에 형성되는 전기적 배선의 검사에 적용할 수 있고, 본 명세서에서는 이들 여러 가지의 검사기판을 총칭하여 「기판」이라고 한다.

기판 상에 형성되는 배선은, 이 기판에 재치(載置)되는 IC나 반도체 부품 또는 기타의 전자부품에 전기신호를 송수신하기 위하여 이용된다. 이러한 배선은, 최근 전자부품의 미세화(微細化)에 따라 보다 미세하고 또한 복잡하게 형성되어 있음과 아울러, 보다 저저항(低抵抗)으로 형성되어 있다.

이렇게 기판 배선의 미세화가 진행됨에 따라, 그 배선의 양호/불량(양부(良否))을 검사하는 정밀도가 높을 것이 요구되고 있다. 배선의 미세화가 진행되면 진행된 만큼 배선 자체의 저항값이 작은 것으로 되어, 약간의 오차나 정밀도가 나쁨으로써 배선 저항값의 양부(良否)를 정확하게 검사할 수 없다는 문제가 있다.

특히 기판에 형성되는 신호배선은 미세하여 저항값이 작게 형성되기 때문에, 2단자 측정방법에서는 접촉저항값의 영향을 크게 받아 정확한 저항값을 산출할 수 없다는 문제점을 가지고 있었다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 접촉저항값의 영향을 받지 않는 4단자 측정방법(四端子 測定方法)이 사용되고 있다.

이 4단자 측정방법에서는 이 접촉저항값을 무시하고 측정을 할 수 있기 때문에, 검사대상이 되는 배선 사이의 각 검사점에 전력공급용의 단자(접촉자(接觸子))와 검출측정용의 단자를 각각 접촉시켜서 검사를 실시하고 있다.

이렇게 기판에 형성되는 배선의 미세화가 진행되면, 4단자 측정방법을 위한 검사용 치구에 구비되는 복수의 접촉자의 피치(pitch)를 협피치(狹 pitch)로 하여야 한다. 특히 4단자 측정방법을 위한 전력공급용의 접촉자와 검출측정용의 접촉자(한 쌍의 접촉자)의 접촉자 사이가 매우 좁게 형성될 필요가 발생한다.

상기한 바와 같이 한 쌍의 접촉자 사이가 좁은 피치로 형성되도록 하면, 한 쌍의 접촉자 사이에 도전성(導電性)의 이물질(異物質)이 쉽게 부착되어, 이 한 쌍의 접촉자 사이에서 단락되는 상태가 발생하는 문제가 발생하고 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 기판을 검사하기 전에 접촉자 사이의 단락이상 상태를 검출하는 방법이 실시되고 있다. 이러한 단락이상 상태의 검출방법은, 검사용 치구가 기판에 접촉되기 전(검사 전)에 대상이 되는 1개의 접촉자와 나머지 접촉자 상호간이 단락(도통상태(導通狀態)의 유무)되어 있지 않은 것을 모든 접촉자에 대하여 반복하여 실행함으로써 확인된다.

그러나 이러한 접촉자 사이의 단락이상의 검사를 실시하더라도 단락이상을 검사할 수 없는 경우가 있었다. 이것은, 검사용 치구의 접촉자가 그 접촉자의 일방단(一方端)을 검사장치와 전기적으로 접속되는 전극부(電極部)에 압접(壓接)시켜서 접촉자와 전극부의 도통상태를 확보하고 있지만, 검사용 치구가 기판과 압접되어 있지 않은 경우에는, 접촉자와 전극부가 안정하게 도통하도록 접촉되어 있지 않은 경우가 있고, 이러한 경우에는 상기한 바와 같은 단락이상의 검사를 실시하더라도 접촉자 자체의 도통이 확보되어 있지 않기 때문에, 접촉자 사이의 단락이상의 검사를 할 수 없는 결과가 되어 있었다.

본 발명자 등은, 이러한 검사용 치구의 접촉자 사이의 단락이상을 검사하는 검사방법에 관한 공개특허문헌 또는 공개비특허문헌의 존재를 찾아낼 수 없었다.

본 발명은 이러한 실정을 감안하여 이루어진 것으로서, 검사용 치구의 접촉자 사이의 단락이상을 효율적으로 검출하여, 기판검사에 사용되는 검사용 치구를 유지보수 하는 타이밍을 정확하게 파악함으로써, 검사용 치구의 유지보수를 실시할 수 있는 검사용 치구의 유지보수방법 및 기판검사장치를 제공한다.

청구항1에 기재된 발명은, 피검사기판(被檢査基板)과, 상기 피검사기판에 설정되는 검사점 사이의 양호/불량을 검사하는 기판검사장치(基板檢査裝置)를 전기적으로 접속시키고, 상기 검사점에 접촉되는 한 쌍의 접촉자(接觸子)를 구비하여 이루어지는 검사용 치구(檢査用 治具)의 유지보수방법(maintenance method)으로서, 상기 검사점 사이의 각 검사점에 한 쌍의 접촉자를 각각 접촉시켜서 상기 검사점 사이의 저항값을 산출하고, 상기 산출저항값을 기준저항값과 비교하여 상기 검사점 사이의 양호/불량을 판정하고, 상기 불량판정인 경우에, 상기 검사점에 접촉되어 있던 상기 한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉(再接觸)시키고, 상기 재접촉상태에서의 상기 검사점 사이의 저항값을 다시 산출하고, 다시 산출된 재저항값과 상기 산출저항값을 비교하고, 상기 비교결과에 따라 상기 검사용 치구의 유지보수를 실시하는 것을 특징으로 하는 검사용 치구의 유지보수방법을 제공한다.

청구항2에 기재된 발명은, 상기 재저항값과 상기 산출저항값의 비교는, 상기 재저항값과 상기 산출저항값의 차이를 산출하고, 상기 차이를 상기 비교결과로서 사용하는 것을 특징으로 하는 청구항1에 기재된 검사용 치구의 유지보수방법을 제공한다.

청구항3에 기재된 발명은, 상기 차이에 의한 비교결과는, 차이의 크기에 따라 상기 한 쌍의 접촉자의 단락이상(短絡異常)을 판단하는 것을 특징으로 하는 청구항2에 기재된 검사용 치구의 유지보수방법을 제공한다.

청구항4에 기재된 발명은, 상기 한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉시키는 경우에는, 적어도 상기 한 쌍의 접촉자의 한쪽 접촉자가 상기 검사점에 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 청구항1에 기재된 검사용 치구의 유지보수방법을 제공한다.

청구항5에 기재된 발명은, 양호/불량이 검사되는 복수의 검사점 사이가 설정되는 피검사기판의 상기 검사를 실시함과 아울러, 상기 검사점 사이의 검사점에 각각 접촉되는 한 쌍의 접촉자를 구비하는 검사용 치구의 유지보수 정보를 작성하는 기판검사장치로서, 상기 검사점 사이에 전류를 공급하는 전원수단(電源手段)과, 상기 검사점 사이의 전압을 검출하는 검출수단(檢出手段)과, 상기 전원수단의 전류값과 상기 검출수단의 전압값으로부터 상기 검사점 사이의 제1저항값을 산출하는 제1산출수단(第一算出手段)과, 상기 제1저항값과 기준저항값을 비교하여 양호/불량을 판정하는 판정수단(判定手段)과, 상기 판정수단에 의한 판정결과가 불량이라고 판정된 경우에, 상기 검사점에 접촉되어 있던 상기한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉시키는 이동수단(移動手段)과, 상기 이동수단에 의하여 재접촉상태가 된 경우에, 상기 전원수단의 전류값과 상기 검출수단의 전압값으로부터 상기 검사점 사이의 제2저항값을 산출하는 제2산출수단(第二算出手段)과, 상기 제1저항값과 상기 제2저항값을 비교하여 상기 검사용 치구의 유지보수 정보를 작성하는 관리수단(管理手段)을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치를 제공한다.

청구항6에 기재된 발명은, 상기 관리수단은, 상기 제1저항값과 상기 제2저항값의 차이를 산출하고, 이 차이에 기초하여 상기 검사용 치구를 클리닝(cleaning)하는 것을 나타내는 신호 또는 상기 한 쌍의 접촉자의 단락이상을 알리는 통지신호를 발신하는 것을 특징으로 하는 제5항에 기재된 기판검사장치를 제공한다.

청구항7에 기재된 발명은, 상기 관리수단은, 상기 차이의 크기에 따라 상기 한 쌍의 접촉자의 단락이상을 검출하는 것을 특징으로 하는 청구항6에 기재된 기판검사장치를 제공한다.

청구항8에 기재된 발명은, 상기 이동수단은, 상기 한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉시키는 경우에, 적어도 상기 한 쌍의 접촉자의 한쪽 접촉자를 상기 검사점에 접촉되도록 이동시키는 것을 특징으로 하는 청구항5에 기재된 기판검사장치를 제공한다.

청구항9에 기재된 발명은, 양호/불량이 검사되는 복수의 검사점 사이가 설정되는 피검사기판의 상기 검사를 실시함과 아울러, 상기 검사점 사이의 검사점에 각각 접촉되는 한 쌍의 접촉자를 구비하는 검사용 치구의 유지보수 정보를 작성하는 기판검사장치로서, 상기 검사점 사이에 전류를 공급하는 전원수단과, 상기 검사점 사이의 전압을 검출하는 검출수단과, 상기 전원수단의 전류값과 상기 검출수단의 전압값으로부터 상기 검사점 사이의 제1저항값을 산출하는 제1산출수단과, 상기 각 검사점에 각각 대응하는, 상기 전원수단의 상류측과 상기 접촉자를 전기적으로 접속시키는 상류측 전원공급단자(上流側 電源供給端子)와, 상기 각 검사점에 각각 대응하는, 상기 전원수단의 하류측과 상기 접촉자를 전기적으로 접속시키는 하류측 전원공급단자(下流側 電源供給端子)와, 상기 각 검사점에 각각 대응하는, 상기 검출수단의 상류측과 상기 접촉자를 전기적으로 접속시키는 상류측 전압검출단자(上流側 電壓檢出端子)와, 상기 각 검사점에 각각 대응하는, 상기 검출수단의 하류측과 상기 접촉자를 전기적으로 접속시키는 하류측 전압검출단자(下流側 電壓檢出端子)와, 상기 복수의 검사점 사이로부터 검사대상이 되는 검사점 사이를 선출(選出)하기 위하여 검사대상의 검사점 사이에 있어서 일방(一方)의 검사점에 접촉되는 상기 한 쌍의 접촉자에 상기 상류측 전원공급단자와 상기 상류측 전압검출단자를 각각 접속시킴과 아울러, 타방(他方)의 검사점에 접촉되는 상기 한 쌍의 접촉자에 상기 하류측 전원공급단자와 상기 하류측 전압검출단자를 각각 접속시키는 선출수단(選出手段)과, 상기 제1저항값과 기준저항값을 비교하여 양호/불량을 판정하는 판정수단(判定手段)과, 상기 판정수단에 의한 판정결과가 불량이라고 판정된 경우에, 상기 검사점에 접촉되어 있던 상기 한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉시키는 이동수단(移動手段)과, 상기 이동수단에 의하여 재접촉상태가 된 경우에, 상기 전원수단의 전류값과 상기 검출수단의 전압값으로부터 상기 검사점 사이의 제2저항값을 산출하는 제2산출수단과, 상기 제1저항값과 상기 제2저항값을 비교하여 상기 한 쌍의 접촉자 사이의 이상을 검출하는 관리수단(管理手段)을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치를 제공한다.

청구항1 및 청구항5에 기재된 발명에 의하면, 검사대상의 검사점 사이에 불량이 검출된 경우에, 검사점에 접촉되는 한 쌍의 접촉자를 재접촉시켜서 다시 검사점 사이의 재저항값을 산출하여, 불량검출 시의 산출저항값과 다시 산출된 재저항값을 비교하고, 이 비교결과에 따라 검사용 치구의 유지보수를 실시할 수 있기 때문에, 검사점 사이의 불량이 검출될 때의 단계에서 검사용 치구의 접촉자 사이의 단락이상을 검출할 수 있으므로, 양품의 기판을 불량품으로 검출하지 않아 효율적으로 검사용 치구의 유지보수 시기를 파악하여 실시할 수 있다.

청구항2 및 청구항6에 기재된 발명에 의하면, 비교결과가 재저항값과 산출저항값의 차이에 의하여 산출되기 때문에, 더 명확하게 접촉자 사이의 단락이상을 검출할 수 있다.

청구항3 및 청구항7에 기재된 발명에 의하면, 차이의 크기에 따라 한 쌍의 접촉자 사이의 단락이상을 검출할 수 있기 때문에, 용이하게 검사용 치구의 유지보수를 실시할 수 있다.

청구항4 및 청구항8에 기재된 발명에 의하면, 한 쌍의 접촉자를 재접촉시킬 때에 양쪽 접촉자가 검사점에 접촉되어 있지 않더라도 검사용 치구의 유지보수 시기를 파악할 수 있기 때문에, 양쪽 접촉자의 접촉상황을 확인하지 않고 효율적으로 검사용 치구의 유지보수를 실시할 수 있다.

청구항9에 기재된 발명에 의하면, 검사대상의 검사점 사이에 불량이 검출된 경우에, 검사점에 접촉되는 한 쌍의 접촉자를 재접촉시켜서 다시 검사점 사이의 재저항값을 산출하여, 불량검출 시의 산출저항값과 다시 산출된 재저항값을 비교하고, 이 비교결과에 따라 한 쌍의 접촉자 사이의 이상을 검출할 수 있기 때문에, 한 쌍의 접촉자 사이의 이상을 정확하게 파악할 수 있다.

도1은 본 기판검사장치의 개략적인 구성도이다.
도2는 제1저항값, 제2저항값과 이들의 차이에 대한 관계를 나타내는 표이다.
도3은 본 기판검사장치의 동작을 나타내는 개략적인 구성도이다. 기판의 상하면에 각각 검사점(A1)과 검사점(A2)을 설정하고 있다. 또 실제의 검사에서는, 기판의 상면에 설정되는 검사점에 하나의 검사용 치구가 배치되고, 기판의 하면에 설정되는 검사점에 하나의 검사용 치구가 배치된다.
도4는 본 발명에 관한 기판검사방법의 플로우 차트를 나타낸다.

본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 설명한다.

도1은 본 발명에 관한 기판검사장치의 개략적인 구성도이다.

본 발명에 관한 기판검사장치(基板檢査裝置)(1)는, 전원수단(電源手段)(2), 검출수단(檢出手段)(3), 기억수단(記憶手段)(4), 제1산출수단(第一算出手段)(51), 제2산출수단(第二算出手段)(52), 판정수단(判定手段)(61), 이동수단(移動手段)(62), 관리수단(管理手段)(63), 절체수단(切替手段)(7), 전원공급단자(電源供給端子)(8), 전압검출단자(電壓檢出端子)(9), 선출수단(選出手段)(10), 표시수단(表示手段)(11)을 구비하고 있다.

또한 이 기판검사장치(1)는, 기판에 형성되는 복수의 배선(검사점 사이)(Rx) 상에 설정되는 검사점(檢査點)에 압접(壓接)시키기 위하여 콘택트 프로브(contact probe)(접촉자(接觸子))(CP)가 사용되고 있다. 이 접촉자(CP)에 의하여 소정의 검사점에 소정의 전위나 전류를 공급하거나, 소정의 검사점으로부터 전기적 특성(전기신호)을 검출하거나 할 수 있다.

한편 도1에서는 검사대상이 되는 기판이나 프로브(CP)가 접촉되는 검사점은 표시되어 있지 않지만, 이 프로브(CP)가 기판 상에 설정되는 배선의 검사점에 각각 접촉된다. 또한 프로브(CP)가 4개 나타나 있지만, 배선에 설정되는 검사점의 개수나 위치는 한정되는 것이 아니라 배선의 개수나 위치에 따라 설정되고, 배선의 도통검사(導通檢査)가 이루어지는 경우에는, 적어도 하나의 배선에 2개의 프로브(CP)가 접촉되어, 이들 프로브 사이의 저항값이 산출됨으로써 배선의 양호/불량의 판정이 실시된다. 이 도1에 나타나 있는 기판검사장치(1)에는, 4단자 측정법(四端子 測定法)을 사용하여 배선 사이의 저항값을 산출할 수 있도록 전원공급단자(8)와 전압검출단자(9)가 설치되어 있다. 이들 단자를 절체(切替)함으로써 검사점 사이의 4단자 측정을 할 수 있도록 되어 있다.

전원수단(2)은, 검사대상의 배선(배선 상에 설정되는 검사점과 배선 상에 설정되는 검사점의 사이(검사점 사이))에 검사를 하기 위한 전류를 공급한다. 이 전원수단(2)은 예를 들면 가변전압원(可變電壓源)이나 전류 컨트롤러(電流 controller)를 사용할 수 있고, 도통검사를 하기 위하여 소정의 전위를 부여하는 전압을 적절하게 조정하여 전류를 공급한다.

한편 이 전원수단(2)은 검사점 사이에 0～500V 정도 크기의 전압을 공급할 수 있도록 설정된다.

검출수단(3)은, 전원수단(2)이 전류를 공급하는 검사점 사이의 전위차(電位差)(전압)를 검출한다. 이 검출수단(3)은, 예를 들면 전압계(電壓計)를 사용할 수 있지만 특별하게 한정되는 것이 아니라 검사점 사이의 전압을 검출할 수 있으면 상관없다.

또 이 검출수단(3)은 검사점 사이의 전압을 검출할 수 있기 때문에, 전원수단(2)이 인가하는 검사점 사이의 전압을 관리할 수도 있다.

이 도1에서의 기판검사장치(1)의 개략적인 구성에서는, 전원수단(2)이 검사점 사이에 소정의 전위를 공급하였을 경우에 검사점 사이에서의 전기적 특성을 검출하기 위한 전류검출수단(電流檢出手段)(21)이 배치되어 있다. 이 전류검출수단(21)은 검사점 사이의 전기적 특성(전류값)을 검출할 수 있다. 이 전류검출수단(21)은, 전원수단(2)이 소정의 전위를 공급하였을 경우에 검사점 사이의 전류의 크기를 검출하여, 전원수단(2)이 공급하는 전류의 크기를 제어할 수도 있다. 예를 들면 전류검출수단(21)은 전류계(電流計)를 사용할 수 있어, 검사점 사이에 흐르는 전류값을 검출할 수 있다.

기억수단(4)은 기판의 검사를 실시하기 위한 정보가 저장되어 있고, 검사점 사이에 인가되는 전류값의 정보(전류정보), 검출되는 전압의 전압값의 정보(전압정보), 각 검사점의 좌표정보나 검사순서 등이 저장되어 있다. 이 전압정보는 검사점 사이에 측정용의 전류를 공급하였을 경우에 검사점 사이의 전압값이고, 검출수단(3)이 측정하게 된다.

예를 들면 검사대상이 되는 기판의 배선 상에 제1검사점과 제2검사점이 설정되는 경우에, 기억수단(4)에는 제1검사점과 제2검사점의 좌표정보나 배선(제1검사점과 제2검사점의 검사점 사이의 저항값) 등의 정보가 저장된다.

이 기억수단(4)에 기억되는 각 정보는, 미리 설정되는 것에 관해서는 기판의 배선이나 검사점에 관한 정보로서 적절하게 설정된다.

이 기억수단(4)은, 후술하는 제1산출수단(51), 제2산출수단(52)이나 판정수단(61) 등 각 수단에 의하여 발생한 산출결과나 판정결과도 검사점 사이의 정보와 함께 저장한다.

제1산출수단(51)은 기억수단(4)에 기억되는 정보나 수치를 기초로 하여 소정의 처리를 한다. 이 제1산출수단(51)은, 전원수단(2)이 검사점 사이에 전류를 공급하는 전류정보와, 검출수단(3)이 이 검사점 사이로부터 측정하여 얻어지는 전압정보를 기초로 하여 검사점 사이의 저항값인 저항정보를 산출한다. 이 경우에 이 제1산출수단(51)이 하는 구체적인 산출방법은, 전압정보(=V)를 전류정보(=I)로 나눔으로써 저항정보(=R)가 산출된다. 또 명세서에 대한 설명의 편의상, 이 때에 산출되는 저항정보를 제1저항값(R1)이라고 설정한다.

이 제1산출수단(51)에 의하여 산출되는 제1저항정보(제1저항값(R1))는, 산출된 검사점 사이의 정보와 합하여져서 기억수단(4)에 저장된다.

판정수단(61)은 제1저항값(R1)과 기준저항값을 비교하여 검사점 사이의 양호/불량을 판정한다. 더 구체적으로는, 예를 들면 기준저항값을 양품인 기판의 검사점 사이의 저항값으로부터 미리 추출하고, 이 저항값을 기초로 하여 양품으로서 판정할 수 있는 소정 폭의 수치를 설정한다. 그리고 판정수단(61)이, 제1저항값(R1)이 이 소정의 폭 내에 존재하면 「양품」이라고 판정하고, 이 소정의 폭 이외에 존재하면 「불량」이라고 판정하도록 설정할 수 있다. 이 판정수단(61)이 판정하는 결과는 판정결과정보로서 기억수단(4)에 저장된다.

또 이 판정수단(61)이 「불량」이라고 판정하였을 경우에는, 후술하는 이동수단(62)으로 동작을 재촉하는 신호를 송신한다. 이 판정수단(61)이 송신하는 동작신호는, 기판의 검사 중이더라도 검사점 사이를 불량이라고 판정하였을 때에 바로 후술하는 이동수단(62)으로 동작신호를 송신하여도 좋고, 복수의 기판의 검사가 종료된 후에 동일 검사점 사이의 「불량」을 수회 검출하였을 경우에 송신하여도 좋고, 사용자가 적절하게 설정할 수 있다.

이동수단(62)은, 판정수단(61)에 의한 판정결과가 「불량」이라고 판정된 경우에, 검사점에 접촉되는 한 쌍의 접촉자를 다시 접촉시키도록 검사용 치구를 이동시킨다. 이 이동수단(62)이 하는 검사용 치구의 이동은, 검사점에 접촉되어 있던 한 쌍의 접촉자를, 기판에 대하여 평면방향(X축방향 및/또는 y축방향 및/또는 θ회전방향의 조합에 의한 이동)으로 이동시켜도 좋고, 검사점으로부터 이간시켜서 다시 접촉시켜도 좋고(z축방향의 이동), 이들을 조합시켜도 좋다.

이러한 이동수단(62)이 하는 검사용 치구 또는 한 쌍의 접촉자를 이동시키는 이동량은, 사용자가 미리 상기한 바와 같은 이동량을 설정하여 두고, 이동수단(62)이 판정수단(61)으로부터의 동작신호를 수신한 후에 이 이동량만큼 검사용 치구가 이동된다.

이 이동수단(62)에 의한 검사용 치구의 재접촉(再接觸)은, 적어도 한 쌍의 접촉자에 있어서 한쪽의 접촉자가 이 검사점에 접촉될 필요는 있지만, 양쪽의 접촉자가 함께 검사점에 접촉되지 않아도 좋다.

이동수단(62)이 검사용 치구를 소정량 이동시키면, 이동이 완료된 것을 나타내는 신호가 후술하는 제2산출수단(52)으로 송신된다. 이 신호를 제2산출수단(52)이 수신할 때에는, 검사용 치구의 한 쌍의 접촉자가 재접촉상태로 되어 있다.

또 실제의 검사용 치구는, 기판의 상하면에 대응하기 위하여 기판을 협지(挾持)하도록 2개의 검사용 치구가 배치된다(도면에는 나타내지 않는다). 특히 4단자 측정의 실시가 요구되는 신호배선은, 기판의 상면에 설정되는 검사점(A1)으로부터 기판의 하면에 설정되는 검사점(A2)을 연결하는 신호배선(검사점(A1)과 검사점(A2) 사이)인 것이 많다. 이 때문에 이동수단(62)은 상하 어느 쪽인가에 배치되는 검사용 치구를 이동시키게 된다. 또한 이러한 경우에는, 기판에 있어서 일방면(一方面)측의 검사점은 솔더 범프(solder bump)로 형성되어 있고, 타방면(他方面)측의 검사점은 패드(pad)로 형성되어 있는 것이 많다.

제2산출수단(52)은 이동수단(62)에 의한 이동완료의 신호를 받아, 검사점 사이의 저항값인 제2저항값(R2)을 다시 산출한다. 이 제2산출수단(52)은 이동수단(62)으로부터의 신호를 수신하면, 기억수단(4)에 저장되는 전원수단(2)의 전류정보와 검출수단(3)의 전압정보를 기초로 하여 이 제2저항값(R2)을 산출한다.

제2산출수단(52)이 산출하는 제2저항값(R2)은 검사점 사이의 정보와 함께 기억수단(4)에 저장된다. 또 이 제2산출수단(52)이 제2저항값(R2)을 산출하면, 후술하는 관리수단(63)으로 처리동작을 재촉하는 동작신호를 송신한다.

관리수단(63)은 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)을 비교하여 검사용 치구의 유지보수 정보를 작성한다. 이 관리수단(63)은 제2산출수단(52)으로부터의 동작신호를 수신하면, 기억수단(4)에 저장되는 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)을 추출하여 이들의 비교를 실시한다. 이 비교는, 예를 들면 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)이 동일한 값인지 다른 값인지를 검출하기 위하여 그들의 차이를 산출하는 방법을 예시할 수 있다.

도2는 제1저항값, 제2저항값과 이들 차이의 관계를 나타내는 표이다. 이 도2에서는, 한 쌍의 접촉자가 재접촉될 경우에 대한 4개의 케이스를 나타내고 있고, 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)의 차이를 ΔR로서 나타내고 있다.

도2에 있어서, 케이스1과 케이스2는 한 쌍의 접촉자(TCP)에 단락이상(短絡異常)이 없는 경우를 나타내고 있고, 케이스3과 케이스4는 한 쌍의 접촉자(TCP)에 단락이상을 야기시키는 물질(X)이 존재하고 있는 경우를 나타내고 있다. 제1저항값(R1)은 판정수단(61)이 「불량」이라고 판정하였을 경우의 검사점 사이의 저항값이고, 제2저항값(R2)은 제1저항값(R1)을 산출한 후에 한 쌍의 접촉자(TCP)를 재접촉시켰을 경우의 검사점 사이의 저항값이다.

케이스1에서는, 한 쌍의 접촉자(TCP)가 정상인 상태이고, 재접촉상태에서도 한 쌍의 접촉자(TCP)가 검사점(A)에 각각 확실하게 접촉되어 있는 경우이다. 이 경우에는 검사점 사이를 정상인 4단자 측정방법에 의하여 측정하도록 되어 있기 때문에, 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)은 동일한 저항값이 되어, 이들의 차이(ΔR)는 「제로」가 된다.

케이스2에서는, 한 쌍의 접촉자(TCP)가 정상인 상태이고, 재접촉상태에서는 한 쌍의 접촉자 한쪽이 검사점(A)에 접촉되어 있지 않은 경우이다. 이 경우에는 검사점(A)에 비접촉된 접촉자에 의한 측정이 실시되도록 되어 있기 때문에, 산출저항값은 무한대(측정의 레인지 오버(range over))의 상태가 되므로, 제2저항값(R2)이 제1저항값(R1)과 비교하여 매우 큰 값을 구비하고 있어, 이들의 차이(ΔR)는 「∞(매우 크다)」가 된다.

케이스3에서는, 한 쌍의 접촉자(TCP)가 단락이상의 상태(물질(X)에 의하여 단락되어 있는 상태)이고, 재접촉상태에서도 한 쌍의 접촉자(TCP)가 검사점(A)에 각각 확실하게 접촉되어 있는 경우이다. 이 경우에는 한 쌍의 접촉자(TCP)가 검사점(A)에 접촉되어 있지만, 각각의 접촉자가 검사점(A)에 접촉되는 접촉저항값(R01)과 접촉저항값(R02)의 영향을 받아, 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)은 서로 다른 저항값이 되어, 이들의 차이(ΔR)가 「수백～수천mΩ」의 범위에서 구체적인 수치로서 산출된다.

케이스4에서는, 한 쌍의 접촉자(TCP)가 단락이상의 상태(물질(X)에 의하여 단락되어 있는 상태)이고, 재접촉상태에서는 한 쌍의 접촉자 한쪽이 검사점(A)에 접촉되어 있지 않은 경우이다. 이 경우에는 검사점(A)에 비접촉된 접촉자에 의한 측정이 실시되지만, 물질(X)을 통하여 한 쌍의 접촉자(TCP)가 각각 검사점(A)에 접촉되어 있는 유사상태로 됨과 아울러, 한쪽의 접촉자와 검사점(A)의 접촉에 의한 접촉저항값(R03)의 영향을 받게 되어, 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)은 서로 다른 저항값이 됨으로써, 이들의 차이(ΔR)가 「수백～수천mΩ」의 범위에서 구체적인 수치로서 산출된다.

도2와 상기에서 설명한 바와 같이 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)의 차이(ΔR)는, 한 쌍의 접촉자(TCP)에 단락이상이 존재하는 경우에는 수백～수천mΩ 내에서 구체적인 수치로서 검출되고, 한 쌍의 접촉자(TCP)에 단락이상이 존재하지 않는 경우에는 「제로」 또는 「∞」로서 검출된다. 즉 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)의 차이(ΔR)가 상기한 범위에서의 구체적인 수치로서 산출되면, 한 쌍의 접촉자(TCP)의 단락이상을 검출할 수 있다.

또 상기한 케이스1 내지 케이스4에서는, 한 쌍의 접촉자(TCP)가 양쪽 접촉자와도 검사점에 접촉되어 있는가 아닌가를 검사하지 않고 한 쌍의 접촉자(TCP)의 단락이상을 검출할 수 있어, 한 쌍의 접촉자가 각각 검사점(A)에 접촉되어 있는가 아닌가를 확인하는 시간이나 그 공정을 생략할 수 있다.

선출수단(10)은, 기판에 있어서 복수 배선의 검사점으로부터 검사점 사이가 되는 검사대상을 설정하기 위하여 기판 상에 설정되는 검사점을 선출하여 검사점 사이를 특정한다. 이 선출수단(10)이 검사점 사이를 특정함으로써 순차적으로 검사가 이루어지는 검사점 사이가 선출되어, 모든 검사점 사이의 검사가 실행된다. 또 이 선출수단(10)은 2개의 검사점을 검사점 사이로서 선출하여, 모든 배선의 저항값 측정이 완료될 때까지 검사점(검사점 사이)이 계속하여 선출된다.

이 선출수단(10)이 하는 검사대상 배선의 선출방법은, 미리 기억수단(4)에 검사대상이 되는 검사점 사이의 순서가 설정되고, 이 순서에 따라 검사점 사이가 선출되는 방법을 예시할 수 있다. 이 선출방법은 특별하게 한정되는 것이 아니라, 검사대상이 되는 검사점이 순서대로 선출되는 방법이면 특별하게 한정되지 않는다.

이 선출수단(10)이 하는 구체적인 배선의 선출은, 후술하는 절체수단(7)을 사용함으로써 실시된다. 예를 들면 절체수단(7)의 각 스위치 소자(SW)의 ON/OFF 제어를 함으로써 검사대상이 되는 2개의 검사점이 선출되어, 검사점 사이가 설정된다.

본 기판검사장치(1)에서는, 검사대상이 되는 검사점 사이에 정전류(定電流)를 공급할 수 있도록 일방(一方)의 검사점측에 상류측 전원공급단자(上流側 電源供給端子)(81)가 전기적으로 접속되고, 타방(他方)의 검사점측에 하류측 전원공급단자(下流側 電源供給端子)(82)가 전기적으로 접속된다. 또한 검사점 사이의 전압을 측정하기 위하여 일방의 검사점측에 상류측 전압검출단자(上流側 電壓檢出端子)(91)가 전기적으로 접속되고, 타방의 검사점측에 하류측 전압검출단자(下流側 電壓檢出端子)(92)가 전기적으로 접속된다.

예를 들면 기판(T)의 배선에 제1검사점(A1)과 제2검사점(A2)이 설정되어 있고, 이 검사점 사이(Rx)의 저항값을 검사대상으로 하여, 4단자 측정에 의하여 검사하는 경우에는 이하의 같은 검사가 실행된다.

제1검사점(A1)에 2개의 접촉자(CP1/CP2)가 접촉되고, 제2검사점(A2)에도 2개의 접촉자(CP3/CP4)가 접촉된다(도3 참조). 또 이 도3에서는, 접촉자(CP1)와 접촉자(CP2)가 또한 접촉자(CP3)와 접촉자(CP4)가 한 쌍의 접촉자로서 설정되어 있다.

이 경우에 검사점 사이(Rx)의 저항값을 측정하는 경우에는, 예를 들면 제1검사점(A1)에 접촉되는 한쪽의 접촉자(CP2)의 스위치 소자(SW1)가 ON 되어, 전원수단(2)의 상류측과 접속되는 상류측 전원공급단자(81)와 전기적으로 접속된다. 또한 타방의 접촉자(CP1)의 스위치 소자(SW3)가 ON 되어, 검출수단(3)의 상류측과 접속되는 상류측 전압검출단자(91)와 전기적으로 접속된다.

또한 제2검사점(A2)에 접촉되는 한쪽의 접촉자(CP3)의 스위치 소자(SW4)가 ON 되어, 검출수단(3)의 하류측과 접속되는 하류측 전압검출단자(92)와 전기적으로 접속된다. 타방의 접촉자(CP4)의 스위치 소자(SW2)가 ON 되어, 전원수단(2)의 하류측과 접속되는 하류측 전원공급단자(82)와 전기적으로 접속된다.

이렇게 스위치 소자를 ON 또는 OFF 제어함으로써, 제1검사점(A1)과 제2검사점(A2)의 검사점 사이(Rx)에 전류를 공급함과 아울러 이 검사점 사이(Rx)의 전압을 검출할 수 있게 되어, 이들의 전류값(전류정보)과 전압값(전압정보)으로부터 검사점 사이(Rx)의 저항값을 제1산출수단(51)이나 제2산출수단(52)이 산출한다.

또 상기의 설명에 있어서 스위치의 ON/OFF 동작은 특별하게 한정되는 것이 아니라, 상류측과 하류측은 교체할 수 있다.

절체수단(7)은 각 접촉자(CP)에 도통(導通)하도록 접속되는 복수의 스위치 소자(SW)로 구성되어 있다. 이 절체수단(7)은 선출수단(10)으로부터의 동작신호에 의하여 ON/OFF의 동작이 제어된다. 이 때문에 이 절체수단(7)의 스위칭 동작에 의하여 검사대상이 되는 검사점 사이(배선)를 선택할 수 있다.

전원공급단자(8)는, 검사대상간의 전압을 공급하기 위하여 각 배선 상의 검사점과 접촉자(CP)를 통하여 접속된다.

이 전원공급단자(8)는, 전원수단(2)의 상류측(정극측(正極側))과 배선을 접속하는 상류측 전원공급단자(81)와, 전원수단(2)의 하류측(부극측(負極側)) 또는 검출수단(21)와 검사점을 접속하는 하류측 전원공급단자(82)를 구비하고 있다. 도3에 나타나 있는 바와 같이 이 전원공급단자(8)의 상류측 전원공급단자(81) 및 하류측 전원공급단자(82)는, 보호저항(保護抵抗)(R)을 통하여 검사점 사이(Rx)에 접속되어 있다. 이들 상류측 전원공급단자(81)와 하류측 전원공급단자(82)는 각각에 절체수단(7)의 스위치 소자(SW)를 구비하고 있고, 이 절체수단(7)의 스위치 소자(SW)의 ON/OFF 동작에 의하여 접속상태/미접속상태가 설정된다. 이 보호저항(R)은 정전기 방전(electro-static discharge) 보호용의 저항으로서 이용된다.

전압검출단자(9)는, 검사점 사이(Rx)의 전기적 특성을 검출하기 위한 전압을 검출하기 위하여 각 배선의 검사점(A)과 접촉자(CP)를 통하여 접속된다. 이 전압검출단자(9)는, 검출수단(3)의 상류측(정극측)과 배선의 검사점을 접속하는 상류측 전압검출단자(91)와, 검출수단(3)의 하류측(부극측)과 배선의 검사점을 접속하는 하류측 전압검출단자(92)를 구비하여 이루어진다. 도3에 나타나 있는 바와 같이 이 전압검출단자(9)의 상류측 전압검출단자(91) 및 하류측 전압검출단자(92)는, 보호저항(R)을 통하여 배선의 검사점(A)에 접속되어 있다. 이들 상류측 전압검출단자(91)와 하류측 전압검출단자(92)는 전원공급단자(8)와 마찬가지로 각각에 절체수단(7)의 스위치 소자(SW)를 구비하고 있고, 이 절체수단(7)의 스위치 소자(SW)의 ON/OFF 동작에 의하여 접속상태/미접속상태가 설정된다.

전원공급단자(8)와 전압검출단자(9)는, 도1에 나타나 있는 바와 같이 검사점에 도통하도록 접촉되는 1개의 접촉자(CP)에 4개의 단자가 배치됨과 아울러, 각 단자의 ON/OFF 제어를 하는 4개의 스위치 소자(SW)가 구비되어 있다. 또 도1에서는, 상류측 전원공급단자(81)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW1이라고 하고, 상류측 전압검출단자(91)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW3이라고 하고, 하류측 전원공급단자(82)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW2라고 하고, 하류측 전압검출단자(92)의 동작을 제어하는 스위치 소자를 부호 SW4라고 하여 나타내고 있다.

표시수단(11)은 기판이나 검사점 사이의 검사결과를 표시한다. 또한 이 표시수단(11)은, 관리수단(63)이 검사용 치구에 있어서 한 쌍의 접촉자의 단락이상을 검출하였을 경우에 그 취지를 표시하거나, 이 이상을 검출함과 아울러 검사용 치구의 청소 등 유지보수를 재촉하도록 통지하거나 표시하거나 한다. 이 표시수단(11)이 표시하는 검사의 표시방법이나 통지방법은, 예를 들면 검사를 한 기판에 대하여 「양품」, 「불량품」이나 「단락이상」이나 「유지보수」의 표시를 표시하도록 기능시킬 수 있다. 또한 검사대상이 되는 배선마다 「양호」나 「불량」을 표시하도록 기능시켜도 좋다.

이상이 본 발명에 관한 기판검사장치(1)의 구성에 대한 설명이다.

다음에 본 발명에 관한 기판검사장치의 동작에 대하여 설명한다. 도4는 본 발명에 관한 기판검사장치의 동작에 관한 플로우 차트를 나타낸다.

우선 기판검사장치(1)의 기억수단(4)에 검사를 실행하기 위하여 검사대상이 되는 기판의 정보를 입력한다(S1). 이 때에 검사대상이 되는 검사점의 위치정보나, 검사순서가 되는 검사점 사이의 정보나, 기판 상에 설정되는 검사점 사이의 설계정보 등이 입력된다. 검사대상이 되는 기판(T)의 검사점 사이(Rx)에 인가되는 전류의 전류정보나, 기판의 종류 등의 정보도 기억수단(4)에 기억된다. 또한 검사점 사이(Rx)의 양호/불량을 판정하기 위한 기준저항값이 각각의 검사점 사이에 따라 이 기억수단(4)에 저장된다.

다음에 기판검사장치(1)에 상기와 같은 검사를 실시하기 위하여 필요한 정보가 저장되면, 기판검사장치(1)에 검사대상이 되는 기판(T)이 재치(載置)된다(S2). 이 기판(T)이 소정의 위치에 재치되면 소정의 검사위치로 반송된다. 소정의 검사위치로 반송된 기판(T)은, 예를 들면 그 표리면(表裏面)측으로부터 바늘이 많이 부착된 모양의 기판검사용 치구(복수의 접촉자를 구비하는 검사용 치구)가 각 검사점에 한 쌍의 접촉자가 필요에 따라 각각 접촉되어, 이 기판(T)을 협지하도록 배치됨으로써 검사의 실행준비가 이루어진다.

기판(T)에 기판검사용 치구의 접촉자(CP)가 각각의 검사점(A)에 접촉되면, 검사대상인 검사점 사이(Rx)의 저항값을 산출하기 위하여 검사점 사이(Rx)에 전류가 공급되어 전압이 검출된다(S3). 또 이 전류값과 전압값은 기억수단(4)에 저장되어 있다.

검사점 사이에 전류가 공급되어 검사점 사이의 전압이 검출되면, 제1산출수단(51)은 검사점 사이(Rx)의 저항값인 제1저항값(R1)을 산출한다(S4). 또 이 제1저항값(R1)은 기억수단(4)에 저장된다.

제1산출수단(51)이 제1저항값(R1)을 산출하면, 판정수단(61)은 기억수단(4)에 저장되는 기준저항값을 기초로 하여 산출된 제1저항값(R1)으로부터 검사점 사이의 양호/불량을 판정한다(S5).

이 때에 이 판정수단(61)이 검사점 사이(Rx)를 「양호」라고 판정하면, 다음 검사점 사이의 검사로 이행된다. 이 검사순서가 반복됨으로써 기판(T) 상에 형성되는 검사점 사이(Rx)의 검사가 모두 실행된다. 다음의 검사점 사이가 없어지게 되면, 기판에 설정되는 검사점 사이의 모든 검사가 종료되어, 검사대상의 기판이 「양품」으로서 검사가 종료된다(E1).

또 한편 판정수단(61)이 이 검사점 사이(Rx)를 「불량」이라고 판정하면, 이동수단(62)으로 동작신호가 송신된다. 이 이동수단(62)이 동작신호를 수신하면, 이 이동수단(62)에 의하여 검사용 치구가 재접촉상태가 되도록 이동시킬 수 있다(S7). 이 때에 검사용 치구의 한 쌍의 접촉자(TCP)는 다시 검사점(A)에 접촉된다.

이동수단(62)이 검사용 치구를 소정량 이동시키면, 다시 이 한 쌍의 접촉자(검사용 치구)가 검사점(A)에 접촉되어, 다시 검사점 사이(Rx)의 저항값 산출이 실시된다(S8). 이 때에 제1저항값(R1)을 산출하였을 경우와 마찬가지로 검사점 사이(Rx)에 전류가 공급되어, 이 검사점 사이(Rx)의 전압이 검출됨으로써 이 검사점 사이(Rx)의 제2저항값(R2)이 산출된다.

제2저항값(R2)이 산출되면, 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)이 비교된다. 더 구체적으로는 제1저항값(R1)과 제2저항값(R2)의 차이(ΔR)가 산출된다(S9).

이 때에 차이(ΔR)가 「0」 또는 「∞」의 값을 갖는 경우에는, 한 쌍의 접촉자(TCP) 사이에는 단락이상이 존재하지 않고(도2의 케이스1 또는 케이스2의 경우에 해당한다), 검사용 치구에 이상은 없어 검사점 사이(Rx)가 불량인 것으로 된다(E2).

또한 차이(ΔR)가 「0」 또는 「∞」의 값이 아니거나 또는 수백～수천mΩ의 구체적인 수치가 산출된 경우에는, 한 쌍의 접촉자(TCP) 사이에 단락이상이 존재하여, 한 쌍의 접촉자(TCP) 사이에 존재하는 물질(X)을 제거(청소)하기 위한 유지보수를 실시하여야 한다(E3).

또 이들 E1～E3의 공정에 있어서의 결과는, 표시수단(11) 상에 표시함으로써 사용자에게 적절히 검사기판의 양호/불량상태와, 한 쌍의 접촉자의 단락이상 상태의 통지나, 검사용 치구의 유지보수를 통지할 수 있다.

이상이 본 기판검사장치의 기본동작에 대한 설명이다.

1 : 기판검사장치
2 : 전원수단
3 : 검출수단
4 : 기억수단
51 : 제1산출수단
52 : 제2산출수단
61 : 판정수단
62 : 이동수단
63 : 관리수단
A : 검사점
T : 기판
Rx : 검사점 사이

Claims (9)

1. 피검사기판(被檢査基板)과, 상기 피검사기판에 설정되는 검사점 사이의 양호/불량을 검사하는 기판검사장치(基板檢査裝置)를 전기적으로 접속시키고, 상기 검사점에 접촉되는 한 쌍의 접촉자(接觸子)를 구비하여 이루어지는 검사용 치구(檢査用 治具)의 유지보수방법(maintenance method)으로서,
   상기 검사점 사이의 각 검사점에 한 쌍의 접촉자를 각각 접촉시켜서 상기 검사점 사이의 저항값을 산출하고,
   상기 산출저항값을 기준저항값과 비교하여 상기 검사점 사이의 양호/불량을 판정하고,
   상기 불량판정인 경우에, 상기 검사점에 접촉되어 있던 상기 한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉(再接觸)시키고,
   상기 재접촉상태에서의 상기 검사점 사이의 저항값을 다시 산출하고,
   다시 산출된 재저항값과 상기 산출저항값을 비교하고,
   재저항값과 산출저항값의 비교결과에 따라 상기 검사용 치구의 유지보수를 실시하는 것을 특징으로 하는 검사용 치구의 유지보수방법.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 재저항값과 상기 산출저항값의 비교는, 상기 재저항값과 상기 산출저항값의 차이를 산출하고, 상기 차이를 비교결과로서 사용하는 것을 특징으로 하는 검사용 치구의 유지보수방법.
   
3. 제2항에 있어서,
   상기 차이에 의한 비교결과는, 차이의 크기에 따라 상기 한 쌍의 접촉자의 단락이상(短絡異常)을 판단하는 것을 특징으로 하는 검사용 치구의 유지보수방법.
   
4. 제1항에 있어서,
   상기 한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉시키는 경우에는, 적어도 상기 한 쌍의 접촉자의 한쪽 접촉자가 상기 검사점에 접촉되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 치구의 유지보수방법.
   
5. 양호/불량이 검사되는 복수의 검사점 사이가 설정되는 피검사기판의 상기 검사를 실시함과 아울러, 상기 검사점 사이의 검사점에 각각 접촉되는 한 쌍의 접촉자를 구비하는 검사용 치구의 유지보수 정보를 작성하는 기판검사장치로서,
   상기 검사점 사이에 전류를 공급하는 전원수단(電源手段)과,
   상기 검사점 사이의 전압을 검출하는 검출수단(檢出手段)과,
   상기 전원수단의 전류값과 상기 검출수단의 전압값으로부터 상기 검사점 사이의 제1저항값을 산출하는 제1산출수단(第一算出手段)과,
   상기 제1저항값과 기준저항값을 비교하여 양호/불량을 판정하는 판정수단(判定手段)과,
   상기 판정수단에 의한 판정결과가 불량이라고 판정된 경우에, 상기 검사점에 접촉되어 있던 상기 한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉시키는 이동수단(移動手段)과,
   상기 이동수단에 의하여 재접촉상태가 된 경우에, 상기 전원수단의 전류값과 상기 검출수단의 전압값으로부터 상기 검사점 사이의 제2저항값을 산출하는 제2산출수단(第二算出手段)과,
   상기 제1저항값과 상기 제2저항값을 비교하여 상기 검사용 치구의 유지보수 정보를 작성하는 관리수단(管理手段)을
   구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
   
6. 제5항에 있어서,
   상기 관리수단은,
   상기 제1저항값과 상기 제2저항값의 차이를 산출하고,
   이 차이에 기초하여 상기 검사용 치구를 클리닝(cleaning)하는 것을 나타내는 신호 또는 상기 한 쌍의 접촉자의 단락이상을 알리는 통지신호를 발신하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
   
7. 제6항에 있어서,
   상기 관리수단은, 상기 차이의 크기에 따라 상기 한 쌍의 접촉자의 단락이상을 검출하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
   
8. 제5항에 있어서,
   상기 이동수단은, 상기 한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉시키는 경우에, 적어도 상기 한 쌍의 접촉자의 한쪽 접촉자를 상기 검사점에 접촉되도록 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.
   
9. 양호/불량이 검사되는 복수의 검사점 사이가 설정되는 피검사기판의 상기 검사를 실시함과 아울러, 상기 검사점 사이의 검사점에 각각 접촉되는 한 쌍의 접촉자를 구비하는 검사용 치구의 유지보수 정보를 작성하는 기판검사장치로서,
   상기 검사점 사이에 전류를 공급하는 전원수단과,
   상기 검사점 사이의 전압을 검출하는 검출수단과,
   상기 전원수단의 전류값과 상기 검출수단의 전압값으로부터 상기 검사점 사이의 제1저항값을 산출하는 제1산출수단과,
   상기 각 검사점에 각각 대응하는, 상기 전원수단의 상류측과 상기 접촉자를 전기적으로 접속시키는 상류측 전원공급단자(上流側 電源供給端子)와,
   상기 각 검사점에 각각 대응하는, 상기 전원수단의 하류측과 상기 접촉자를 전기적으로 접속시키는 하류측 전원공급단자(下流側 電源供給端子)와,
   상기 각 검사점에 각각 대응하는, 상기 검출수단의 상류측과 상기 접촉자를 전기적으로 접속시키는 상류측 전압검출단자(上流側 電壓檢出端子)와,
   상기 각 검사점에 각각 대응하는, 상기 검출수단의 하류측과 상기 접촉자를 전기적으로 접속시키는 하류측 전압검출단자(下流側 電壓檢出端子)와,
   상기 복수의 검사점 사이로부터 검사대상이 되는 검사점 사이를 선출(選出)하기 위하여 검사대상의 검사점 사이에 있어서 일방(一方)의 검사점에 접촉되는 상기 한 쌍의 접촉자에 상기 상류측 전원공급단자와 상기 상류측 전압검출단자를 각각 접속시킴과 아울러, 타방(他方)의 검사점에 접촉되는 상기 한 쌍의 접촉자에 상기 하류측 전원공급단자와 상기 하류측 전압검출단자를 각각 접속시키는 선출수단(選出手段)과,
   상기 제1저항값과 기준저항값을 비교하여 양호/불량을 판정하는 판정수단(判定手段)과,
   상기 판정수단에 의한 판정결과가 불량이라고 판정된 경우에, 상기 검사점에 접촉되어 있던 상기 한 쌍의 접촉자를 상기 검사점에 재접촉시키는 이동수단(移動手段)과,
   상기 이동수단에 의하여 재접촉상태가 된 경우에, 상기 전원수단의 전류값과 상기 검출수단의 전압값으로부터 상기 검사점 사이의 제2저항값을 산출하는 제2산출수단과,
   상기 제1저항값과 상기 제2저항값을 비교하여 상기 한 쌍의 접촉자 사이의 이상을 검출하는 관리수단(管理手段)을
   구비하는 것을 특징으로 하는 기판검사장치.

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