JP6375661B2 - 抵抗測定装置、基板検査装置、検査方法、及び検査用治具のメンテナンス方法 - Google Patents
抵抗測定装置、基板検査装置、検査方法、及び検査用治具のメンテナンス方法 Download PDFInfo
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Description
Vd1=Vp−Vo ・・・(3)
Vd2=Vo−Vm ・・・(4)
Vd=|Vd1−Vd2| ・・・(5)
2 定電流源
3 電流計
4 電圧計
5 制御部
11,21,31,41 プローブ針
12,22,32,42 接続電極
13,23,33,43 ケーブル
51 第1電圧取得部
52 第2電圧取得部
53 第3電圧取得部
54 判定部
55 抵抗算出部
56 基板検査部
A1,A2,B1,B2,C1,C2 スイッチ
Im 第2電流
Ip 第1電流
M 導体パターン(導体)
M1 一方端部
M2 他方端部
P1 第1点
P2 第2点
P3 第3点
Pc1 電流プローブ(第1電流プローブ)
Pc2 電流プローブ(第2電流プローブ)
Pr1 第1プローブ
Pr2 第2プローブ
Pv1 電圧プローブ(第1電圧プローブ)
Pv2 電圧プローブ(第2電圧プローブ)
Rx 抵抗値
Vd 差分値
Vd1 第1差分値
Vd2 第2差分値
Vm 第2電圧
Vo 第3電圧
Vp 第1電圧
Vth 判定閾値
Claims (8)
- 導体の抵抗値を測定するための抵抗測定装置であって、
前記導体に接触させるための第1及び第2プローブと、
前記第1及び第2プローブによって、前記導体に所定の第1電流を流したときに前記導体に生じる第1電圧を取得する第1電圧取得部と、
前記第1及び第2プローブによって、前記導体に前記第1電流とは逆方向の第2電流を流したときに前記導体に生じる第2電圧を取得する第2電圧取得部と、
前記第1及び第2プローブにより前記導体に電流を流さない状態で、前記導体に生じる第3電圧を前記第1及び第2プローブにより取得する第3電圧取得部と、
前記第1、第2、及び第3電圧に基づいて前記第1及び第2プローブに関する良否を判定する判定部とを備え、
前記第1電流と前記第2電流とは、電流値の絶対値が互いに等しく、
前記判定部は、前記第1電圧と前記第3電圧との差である第1差分値と、前記第2電圧と前記第3電圧との差である第2差分値との差が予め設定された判定閾値を超えたとき、前記第1及び第2プローブに関する不良があると判定する抵抗測定装置。 - 導体の抵抗値を測定するための抵抗測定装置であって、
前記導体に接触させるための第1及び第2プローブと、
前記第1及び第2プローブによって、前記導体に所定の第1電流を流したときに前記導体に生じる第1電圧を取得する第1電圧取得部と、
前記第1及び第2プローブによって、前記導体に前記第1電流とは逆方向の第2電流を流したときに前記導体に生じる第2電圧を取得する第2電圧取得部と、
前記第1及び第2プローブにより前記導体に電流を流さない状態で、前記導体に生じる第3電圧を前記第1及び第2プローブにより取得する第3電圧取得部と、
前記第1、第2、及び第3電圧に基づいて前記第1及び第2プローブに関する良否を判定する判定部とを備え、
前記判定部は、電流と電圧とをパラメータとする二次元平面上で、前記第1電流及び前記第1電圧によって示される第1点と、前記第2電流及び前記第2電圧によって示される第2点と、電流値ゼロ及び前記第3電圧によって示される第3点とが略直線上に配置されないとき、前記第1及び第2プローブに関する不良があると判定する抵抗測定装置。 - 前記第1プローブは、
前記導体に電流を流すための第1電流プローブと、
前記電流により前記導体に生じた電圧を検出するための第1電圧プローブとを含み、
前記第2プローブは、
前記導体に電流を流すための第2電流プローブと、
前記電流により前記導体に生じた電圧を検出するための第2電圧プローブとを含み、
前記第1電圧取得部は、前記第1及び第2電流プローブ間に、前記第1電流を流したときに前記第1及び第2電圧プローブにより測定される前記第1電圧を取得し、
前記第2電圧取得部は、前記第1及び第2電流プローブ間に、前記第1電流とは逆方向の第2電流を流したときに前記第1及び第2電圧プローブにより測定される前記第2電圧を取得し、
前記第3電圧取得部は、前記第1及び第2電流プローブ間に電流を流さない状態で、前記第1及び第2電圧プローブにより測定される前記第3電圧を取得する請求項1又は2記載の抵抗測定装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の抵抗測定装置と、
基板に形成された配線パターンを前記導体として前記第1及び第2プローブにより測定された電圧に基づき、前記基板の検査を行う基板検査部とを備えた基板検査装置。 - 導体に接触されるための第1及び第2プローブに関する不良を検査するための検査方法であって、
前記導体に前記第1及び第2プローブを接触させ、前記導体に所定の第1電流を流したときに前記第1及び第2プローブにより測定される第1電圧を取得する第1電圧取得工程と、
前記第1及び第2プローブによって、前記導体に前記第1電流とは逆方向の第2電流を流したときに前記第1及び第2プローブにより測定される第2電圧を取得する第2電圧取得工程と、
前記第1及び第2プローブにより前記導体に電流を流さない状態で、前記第1及び第2プローブにより測定される第3電圧を取得する第3電圧取得工程と、
前記第1、第2、及び第3電圧に基づいて前記第1及び第2電圧プローブに関する良否を判定する判定工程とを含み、
前記第1電流と前記第2電流とは、電流値の絶対値が互いに等しく、
前記判定工程は、前記第1電圧と前記第3電圧との差である第1差分値と、前記第2電圧と前記第3電圧との差である第2差分値との差が予め設定された判定閾値を超えたとき、前記第1及び第2プローブに関する不良があると判定する検査方法。 - 導体に接触されるための第1及び第2プローブに関する不良を検査するための検査方法であって、
前記導体に前記第1及び第2プローブを接触させ、前記導体に所定の第1電流を流したときに前記第1及び第2プローブにより測定される第1電圧を取得する第1電圧取得工程と、
前記第1及び第2プローブによって、前記導体に前記第1電流とは逆方向の第2電流を流したときに前記第1及び第2プローブにより測定される第2電圧を取得する第2電圧取得工程と、
前記第1及び第2プローブにより前記導体に電流を流さない状態で、前記第1及び第2プローブにより測定される第3電圧を取得する第3電圧取得工程と、
前記第1、第2、及び第3電圧に基づいて前記第1及び第2電圧プローブに関する良否を判定する判定工程とを含み、
前記判定工程は、電流と電圧とをパラメータとする二次元平面上で、前記第1電流及び前記第1電圧によって示される第1点と、前記第2電流及び前記第2電圧によって示される第2点と、電流値ゼロ及び前記第3電圧によって示される第3点とが略直線上に配置されないとき、前記第1及び第2プローブに関する不良があると判定する検査方法。 - 導体に接触されるための第1及び第2プローブを含む検査用治具のメンテナンス方法であって、
前記導体に前記第1及び第2プローブを接触させ、前記導体に所定の第1電流を流したときに前記第1及び第2プローブにより測定される第1電圧を取得する第1電圧取得工程と、
前記第1及び第2プローブによって、前記導体に前記第1電流とは逆方向の第2電流を流したときに前記第1及び第2プローブにより測定される第2電圧を取得する第2電圧取得工程と、
前記第1及び第2プローブにより前記導体に電流を流さない状態で、前記第1及び第2プローブにより測定される第3電圧を取得する第3電圧取得工程と、
前記第1、第2、及び第3電圧に基づいて、前記検査用治具のクリーニングの要否を判定する判定工程とを含み、
前記第1電流と前記第2電流とは、電流値の絶対値が互いに等しく、
前記判定工程は、前記第1電圧と前記第3電圧との差である第1差分値と、前記第2電圧と前記第3電圧との差である第2差分値との差が予め設定された判定閾値を超えたとき、前記検査用治具をクリーニングする必要があると判定する検査用治具のメンテナンス方法。 - 導体に接触されるための第1及び第2プローブを含む検査用治具のメンテナンス方法であって、
前記導体に前記第1及び第2プローブを接触させ、前記導体に所定の第1電流を流したときに前記第1及び第2プローブにより測定される第1電圧を取得する第1電圧取得工程と、
前記第1及び第2プローブによって、前記導体に前記第1電流とは逆方向の第2電流を流したときに前記第1及び第2プローブにより測定される第2電圧を取得する第2電圧取得工程と、
前記第1及び第2プローブにより前記導体に電流を流さない状態で、前記第1及び第2プローブにより測定される第3電圧を取得する第3電圧取得工程と、
前記第1、第2、及び第3電圧に基づいて前記検査用治具のクリーニングの要否を判定する判定工程とを含み、
前記判定工程は、電流と電圧とをパラメータとする二次元平面上で、前記第1電流及び前記第1電圧によって示される第1点と、前記第2電流及び前記第2電圧によって示される第2点と、電流値ゼロ及び前記第3電圧によって示される第3点とが略直線上に配置されないとき、前記検査用治具をクリーニングする必要があると判定する検査用治具のメンテナンス方法。
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