JP6829371B2 - 抵抗測定装置及び抵抗測定方法 - Google Patents
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Description
Rb=V1/Ic ・・・(1)
Rc=V2/Ic ・・・(2)
Rd=V1/Ic ・・・(3)
Re=V2/Ic ・・・(4)
Ra=V1/Ic ・・・(5)
Rf=V2/Ic ・・・(6)
Ra=V1/Ic ・・・(7)
Rc=V2/Ic ・・・(8)
4U,4L 測定治具
20 制御部
21 導電部選択部
22 抵抗算出部
31 スキャナ部
110 基板固定装置
112 筐体
121,122 測定部
AM 電流検出部
B 中間基板(被測定基板)
BS,BS1 基板面
BS2 接触面
CS 電流供給部
I 電流
Ic 電流値
IP 内層パターン(面状導体)
MP 金属板(面状導体)
PA,PB 導電部
PA1〜PF1 導電部
Pr プローブ
RA〜RF 接続部
Ra〜Rf,Rx,Ry 抵抗値
V1,V2 電圧
VM1 電圧検出部(第一電圧検出部)
VM2 電圧検出部(第二電圧検出部)
WB 多層基板(被測定基板)
WB1,WB2 基板
A,X,Y 導電経路
Claims (6)
- 面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定装置であって、
前記三つ以上の導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に前記面状導体を介して電流を流す電流供給部と、
前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出部と、
前記電流供給部によって流された電流と前記第一電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出部と、
前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一導電部とは異なる第一条件と、新たな第三導電部から前記新たな第一導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により前記新たな第一導電部と新たな第二導電部との間に流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たすように、前記新たな第二導電部及び前記新たな第三導電部を選択する導電部選択部とを備え、
前記電流供給部は、さらに、前記新たな第一導電部と前記新たな第二導電部との間に電流を流し、
前記第一電圧検出部は、さらに、前記新たな第三導電部と前記新たな第一導電部との間の電圧を検出し、
前記抵抗算出部は、さらに、前記電流供給部によって流された電流と前記第一電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記新たな第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出し、
前記導電部選択部は、前記第一及び第二条件を満たす前記導電部が存在しない場合、前記第一条件を満たし、かつ前記第二条件を満たさない導電部を前記新たな第二及び第三導電部として選択する抵抗測定装置。 - 面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定装置であって、
前記三つ以上の導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に前記面状導体を介して電流を流す電流供給部と、
前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出部と、
前記電流供給部によって流された電流と前記第一電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出部と、
前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第四導電部と前記第二導電部との間の電圧を検出する第二電圧検出部とを備え、
前記抵抗算出部は、さらに、前記電流供給部によって流された電流と前記第二電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記第二導電部と対になる接続部の抵抗値を算出し、
前記抵抗測定装置は、前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一及び第二導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一及び第二導電部とは異なる第一条件と、新たな第三導電部から前記新たな第一導電部に至る最短の導電経路及び新たな第四導電部から前記新たな第二導電部に至る最短の導電経路が、前記電流供給部により前記新たな第一導電部と新たな第二導電部との間に流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たすように、前記新たな第三導電部及び前記新たな第四導電部を選択する導電部選択部をさらに備え、
前記電流供給部は、さらに、前記新たな第一導電部と前記新たな第二導電部との間に前記面状導体を介して電流を流し、
前記第一電圧検出部は、さらに、前記新たな第三導電部と前記新たな第一導電部との間の電圧を検出し、
前記第二電圧検出部は、さらに、前記新たな第四導電部と前記新たな第二導電部との間の電圧を検出し、
前記抵抗算出部は、さらに、前記電流供給部によって流された電流と前記第一及び第二電圧検出部によって検出された電圧とに基づいて、前記新たな第一導電部と対になる接続部の抵抗値と前記新たな第二導電部と対になる接続部の抵抗値とを算出し、
前記導電部選択部は、前記第一及び第二条件を満たす前記導電部が二つ以上存在しない場合、前記第一条件を満たし、かつ前記第二条件を満たさない導電部を前記新たな第三及び第四導電部のうち少なくとも一つとして選択する抵抗測定装置。 - 前記第四導電部は、前記第三導電部と同一の前記導電部である請求項2記載の抵抗測定装置。
- 面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定方法であって、
前記各導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に電流を流す電流供給工程と、
前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出工程と、
前記電流供給工程によって流された電流と前記第一電圧検出工程によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出工程と、
前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一導電部とは異なる第一条件と、新たな第三導電部から前記新たな第一導電部に至る最短の導電経路が前記新たな第一導電部と新たな第二導電部との間に流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たすように、前記新たな第二導電部及び前記新たな第三導電部を選択する導電部選択工程とを含み、
(1)前記新たな第一導電部と前記新たな第二導電部との間に電流を流し、
(2)前記新たな第三導電部と前記新たな第一導電部との間の電圧を検出し、
前記(1)によって流された電流と前記(2)によって検出された電圧とに基づいて、前記新たな第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出し、
前記導電部選択工程において、前記第一及び第二条件を満たす前記導電部が存在しない場合、前記第一条件を満たし、かつ前記第二条件を満たさない導電部を前記新たな第二及び第三導電部として選択する抵抗測定方法。 - 面状に拡がる導電性の面状導体と、前記面状導体と対向する基板面と、前記基板面に設けられた導電部とその導電部を前記面状導体に電気的に接続する接続部との対とを有すると共に当該対を三つ以上備える被測定基板の前記接続部の抵抗を測定するための抵抗測定方法であって、
前記各導電部のうちの一つである第一導電部と前記第一導電部とは異なる導電部である第二導電部との間に電流を流す電流供給工程と、
前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第三導電部と前記第一導電部との間の電圧を検出する第一電圧検出工程と、
前記電流供給工程によって流された電流と前記第一電圧検出工程によって検出された電圧とに基づいて、前記第一導電部と対になる接続部の抵抗値を算出する抵抗算出工程と、
前記各導電部のうちの前記第一及び第二導電部とは異なる導電部である第四導電部と前記第二導電部との間の電圧を検出する第二電圧検出工程とを含み、
(1)前記電流供給工程によって流された電流と前記第二電圧検出工程によって検出された電圧とに基づいて、前記第二導電部と対になる接続部の抵抗値を算出し、
(2)前記各導電部のうち、前記抵抗値が算出された接続部とは別の接続部と対になる導電部を新たな第一及び第二導電部として選択し、前記各導電部のうち前記新たな第一及び第二導電部とは異なる第一条件と、新たな第三導電部から前記新たな第一導電部に至る最短の導電経路及び新たな第四導電部から前記新たな第二導電部に至る最短の導電経路が前記新たな第一導電部と新たな第二導電部との間に流される電流の前記面状導体を流れる電流経路と重ならない第二条件とを満たすように、前記新たな第三導電部及び前記新たな第四導電部を選択する導電部選択工程をさらに含み、
(3)前記新たな第一導電部と前記新たな第二導電部との間に前記面状導体を介して電流を流し、
(4)前記新たな第三導電部と前記新たな第一導電部との間の電圧を検出し、
(5)前記新たな第四導電部と前記新たな第二導電部との間の電圧を検出し、
(6)前記(3)によって流された電流と前記(4)及び(5)によって検出された電圧とに基づいて、前記新たな第一導電部と対になる接続部の抵抗値と前記新たな第二導電部と対になる接続部の抵抗値とを算出し、
前記(2)の導電部選択工程において、前記第一及び第二条件を満たす前記導電部が二つ以上存在しない場合、前記第一条件を満たし、かつ前記第二条件を満たさない導電部を前記新たな第三及び第四導電部のうち少なくとも一つとして選択する抵抗測定方法。 - 前記第四導電部は、前記第三導電部と同一の前記導電部である請求項5記載の抵抗測定方法。
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