JP2012237622A - 測定装置及び測定方法 - Google Patents
測定装置及び測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012237622A JP2012237622A JP2011106102A JP2011106102A JP2012237622A JP 2012237622 A JP2012237622 A JP 2012237622A JP 2011106102 A JP2011106102 A JP 2011106102A JP 2011106102 A JP2011106102 A JP 2011106102A JP 2012237622 A JP2012237622 A JP 2012237622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- contact
- measurement unit
- connection
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 299
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 76
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 9
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
【解決手段】 測定対象となる第一測定部、第二測定部と第三測定部が三角結線にて形成される測定対象部の抵抗値を算出するための測定装置であって、二つの結線用接点と残り一つの結線用接点との間に電力を供給して算出される抵抗値を、夫々の場合に応じて算出し、その結果から、各測定部の抵抗値を算出することを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
配線が微細化されると、配線自体の抵抗値が小さいものとなり、僅かな誤差や精度の悪さにより、配線の抵抗値を正確に測定できない問題がある。
このような測定部の抵抗値を実際に測定して算出することにより、測定部の良否判断を行うことになる。
この測定対象部T1では、第一測定点a、第二測定点bと第三測定点cに夫々接触子P1乃至接触子P3を導通接触させて、3つの測定部の測定を実施する。このような場合、測定対象となる測定部にのみ測定電圧を印加するようにして測定が実施されることになる。具体的には、図7(b)で示される如く、測定対象に測定部Bを選択する場合には、測定点aに導通接触する接触子P1と測定点cに導通接触する接触子P3を等電位とするようにアンプAMP(所謂、アクティブガード)を接続する。この図7(b)で示される回路を構成することにより、測定部Bにのみ測定電圧が印加され、測定部Bの抵抗値を算出することになる。なお、アンプを用いて、アクティブガード機能を奏する方法については、例えば、特許文献1に開示されている。
請求項2記載の発明は、前記測定装置は、算出された前記第一測定部乃至第三測定部の抵抗値を基に、該第一測定部乃至第三測定部の良否判定を行う判定する機能を有することを特徴とする請求項1記載の測定装置を提供する。
請求項3記載の発明は、測定対象となる第一測定部、第二測定部と第三測定部が三角結線に形成される測定対象部を測定し、前記測定結果から夫々の測定対象部の良否結果を判定する測定方法であって、前記第一測定部と前記第二測定部の間の第一結線用接点と該第二測定部と前記第三測定部の間の第二結線用接点とを一方側とし、前記第三測定部と前記第一測定部の間の第三結線用接点を他方側として、前記一方側と前記他方側の間に所定電力を供給して電流値を測定し、前記第二測定部と前記第三測定部の間の第二結線用接点と該第三測定部と前記第一測定部の間の第三結線用接点とを一方側とし、前記第一測定部と前記第二測定部の間の第一結線用接点を他方側として、前記一方側と前記他方側の間に所定電力を供給して電流値を測定し、前記第三測定部と前記第一測定部の間の第三結線用接点と該第一測定部と前記第二測定部の間の第二結線用接点とを一方側とし、前記第二測定部と前記第三測定部の間の第二結線用接点を他方側として、前記一方側と前記他方側の間に所定電力を供給して電流値を測定し、各前記所定電力値と測定電流を基に、前記第一測定部乃至前記第三測定部の抵抗を算出することを特徴とする測定方法を提供する。
請求項4記載の発明は、前記算出された第一測定部乃至前記第三測定部の抵抗値を基に、該第一測定部乃至第三測定部の夫々の良否判定を行うことを特徴とする請求項3に記載の測定方法を提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を悉く解決する。
請求項2と4の記載の発明によれば、デルタ回路のような配線の測定対象部を測定する場合であっても、高周波の電圧源を用いて、短時間で且つ精度良く測定し、良否の判定を行うことができる測定方法及び測定装置を提供することができる。
図1は、本発明の測定装置1を示す概略構成図である。
本発明の測定装置1は、電力供給手段2、電圧検出手段3、電流検出手段4、制御手段5、算出手段6、切替手段7とスイッチ素子SWを有している。なお、図1では、本発明の特徴の説明の都合、測定対象となる対象部上に設けられる測定点と導通接触するための接触子(図中の符号P1,P2,P3)が三本示されているが、この接触子Pの本数は測定対象により適宜変更されることになる。また、スイッチ素子SW(図1では、6個のスイッチ素子SW1・・・SW6)も接触子Pの数に応じて適宜変更されることになる。
図1の実施形態では、電力供給手段2として交流電源を用いている。
この電流検出手段4は、電流計を採用することができるが、特に限定されるものではない。
一方、制御手段5が算出手段6の動作を制御する場合には、制御手段5に格納される数値情報や測定情報並びに演算方法を利用して、所定の演算方法に沿って演算が実施されるよう促す信号や各情報が送信されることになる。
制御手段5が切替手段7の動作を制御する場合には、詳細は後述するが、切替手段7が有する複数のスイッチ素子のON/OFF制御動作を促す信号を、各スイッチ素子に送信することになる。なお、本発明にかかる測定方法に関する制御手段5の具体的な動作は、後ほど説明する。
(数1)
V=Z・I
この切替手段7は、複数のスイッチ素子SWを備えており、各スイッチ素子SWのON/OFF動作を制御することにより、上記の接触子と各手段との接続を可能にする。この切替手段7は、制御手段5からの動作信号により、切替手段7の動作が制御され、その動作制御を受けた切替手段7が具体的に夫々のスイッチ素子SWを制御することになる。
図2は、制御手段5の動作を説明するための概略構成図である。なお、図2では、測定対象部T1の各測定部(測定部A乃至測定部C)を測定するために、各測定点(測定点a乃至測定点c)に夫々接触子(接触子P1乃至接触子P3)を接触させている。なお、後述するスイッチ素子SW1乃至スイッチ素子SW6は全てOFF状態で示されている。
なお、図3で示される第一接続状態では、上流側として接触子P1と接触子P3が選択され、下流側として接触子P2が選択されている。この第一接続状態での算出抵抗値には、測定部Bと測定部Cの抵抗成分が含まれていることになる。
また同時に、制御手段5は、電力供給手段2の他方端子と電圧検出手段3の他方端子と電流検出手段4の他方端子とを、第二測定点bに導通接触する接触子P2へ電気的に接続するための制御信号(スイッチ素子SW6がONする信号)を切替手段7へ発信するよう促すことになる。
なお、この第二接続状態は、例えば、図4で示されるような接続状態であり、この第二接続状態では、接触子P2と接触子P3が上流側として選択され、接触子P1が下流側として選択されている。この第二接続状態では、測定部Aと測定部Bの抵抗成分が、算出抵抗値に含まれて算出されることになる。
また同時に、制御手段5は、電力供給手段2の他方端子と電圧検出手段3の他方端子と電流検出手段4の他方端子とを、第一測定点aに導通接触する接触子P1へ電気的に接続するための制御信号(スイッチ素子SW4がONする信号)を切替手段7へ発信するよう促すことになる。
なお、この第二接続状態は先の第一接続状態から変移するため、制御手段5が、スイッチ素子SW2とスイッチ素子SW5は、状態を変移させないよう制御信号を送信し、スイッチ素子SW1とスイッチ素子SW6が夫々OFFとなる制御信号を送信することもできる。
なお、この第三接続状態は、例えば、図5で示されるような接続状態であり、この第三接続状態では、接触子P1と接触子P2が上流側として選択され、接触子P3が下流側として選択されている。この第三接続状態では、測定部Aと測定部Cの抵抗成分が、算出抵抗値に含まれて算出されることになる。
また同時に、制御手段5は、電力供給手段2の他方端子と電圧検出手段3の他方端子と電流検出手段4の他方端子とを、第三測定点cに導通接触する接触子P3へ電気的に接続するための制御信号(スイッチ素子SW5がONする信号)を切替手段7へ発信するよう促すことになる。
なお、この第三接続状態は先の第二接続状態から変移するため、制御手段5が、スイッチ素子SW2とスイッチ素子SW4が夫々OFFとなる制御信号を送信し、スイッチ素子SW3とスイッチ素子SW6には状態を変移させないよう制御信号を送信することもできる。
まず、算出手段6は、第一接続状態乃至第三接続状態における各接続状態での抵抗値を算出する。この場合、算出手段6の動作は、数1を利用して、第一接続状態での第一抵抗値情報を算出する。この第一抵抗値情報は、測定部Bと測定部Cの抵抗成分を含む抵抗値情報であり、測定部Bと測定部Cが並列接続した状態の影響を受けている。
算出手段6は、数1を利用して、第二接続状態や第三接続状態での第二抵抗値情報と第三抵抗値情報が算出される。このとき、第二抵抗値情報は、測定部Aと測定部Bの抵抗成分を含む抵抗値情報であり、測定部Aと測定部Bが並列接続した状態の影響を受けている。第三抵抗値情報は、測定部Aと測定部Cの抵抗成分を含む抵抗値情報であり、測定部Aと測定部Cが並列接続した状態の影響を受けている。
この算出手段6が行う具体的な動作は、上記の如き三つの条件式(第一抵抗値情報乃至第三抵抗値情報)となる抵抗値情報から三つの変数(測定部A、測定部Bと測定部C)を求めることができれば特に限定されないが、例えば、三つの条件式を和算して、各条件式に戻して、各変数を算出する方法を例示することができる。
制御手段6は、算出手段6から第一測定部Aの抵抗値の情報、第二測定部Bの抵抗値の情報と第三測定部Cの抵抗値の情報を得るため、予め記憶している各測定部の基準抵抗値と比較して、各測定部の良否判定を行う。この場合、制御手段6は、基準抵抗値を所定の幅に設定しておき、算出された測定部の抵抗値がこの基準抵抗値内に存在するか否かで判定することができる。
以上が本発明の測定装置の構成の説明である。
本測定装置では、まず、測定対象となる複数の配線が形成される基板(デルタ回路を有する基盤)が測定を行うための載置台(図示せず)に載置される。基板が載置台に載置されると、この基板の複数の配線の抵抗値を夫々測定するために設定される測定点に導通接触する複数の接触子を備える治具を、所定の位置にて基板と接触するよう位置決めする。
基板に対して治具が位置決めされて、所定の測定点に所定の接触子が導通接触すると、測定が実施されることになる。
上記の如く、基板を測定するための準備がなされ、測定が開始されることになる。なお、基板に形成されるデルタ回路部以外の信号配線などは、配線の両端に接触子が導通接触されており、これらの接触子により電圧が印加されるとともに、これらの接触子に流れる電流を測定することにより、この配線の抵抗値を算出し、配線の良否を判定することになる。
デルタ回路部である測定対象部T1には、第一測定部A、第二測定部Bと第三測定部Cが設けられており、第一測定部Aと第二測定部Bの結線接点となる第一測定点a、第二測定部Bと第三測定部Cの結線接点となる第二測定点bと第三測定部Cと第一測定部Aの結線接点となる第三測定点cを有している(図6(b)参照)。この場合、図2で示される状態に準備されていることになる。
以上が本発明の測定方法の説明である。
2・・・・電力供給手段
3・・・・電圧検出手段
4・・・・電流検出手段
5・・・・制御手段
6・・・・算出手段
7・・・・切替手段
A・・・・第一測定部
a・・・・第一測定点
B・・・・第二測定部
b・・・・第二測定点
C・・・・第三測定部
c・・・・第三測定点
P・・・・接触子
SW・・・スイッチ素子
T1・・・測定対象部
Claims (4)
- 測定対象となる第一測定部、第二測定部と第三測定部が三角結線にて形成される測定対象部の抵抗値を算出するための測定装置であって、
前記測定対象部へ測定のための電力を供給するとともに、一方端子と他方端子を有する電力供給手段と、
前記測定対象部の電流を検出するとともに、一方端子と他方端子を有する電流検出手段と、
前記電力供給手段が印加する電力値と、前記電流検出手段が検出する電流値を基に、抵抗値を算出する算出手段と、
前記電力供給手段の両端子と前記電流検出手段の両端子とを、前記第一測定部と前記第二測定部の間の第一結線用接点と、該第二測定部と前記第三測定部の間の第二結線用接点と、前記第三測定部と該第一測定部の間の第三結線用接点に夫々導通接触させる接触子とを電気的に接続する切替手段と、
前記電力供給手段、前記電流検出手段、前記算出手段と、前記切替手段を夫々制御する制御手段を有してなり、
前記制御手段は、
前記切替手段が、前記第一結線用接点に導通接触する接触子と第二結線用接点に導通接触する接触子と、前記電力供給手段の一方端子と前記電流検出手段の一方端子とを導通接続させ、かつ、前記第三結線用接点に導通接触する接触子と、前記電力供給手段の他方端子と前記電流検出手段の他方端子とを導通接続させるよう促し、
前記電力供給手段が所定電力を供給するように促し、
前記電流検出手段が電流を検出するよう促し、
前記算出手段が、前記所定電力値と前記電流値を基に第一接続状態を算出するよう促し、
前記第一接続状態が算出された後に、前記切替手段が、前記第二結線用接点に導通接触する接触子と第三結線用接点に導通接触する接触子と、前記電力供給手段の一方端子と前記電流検出手段の一方端子とを導通接続させ、かつ、前記第一結線用接点に導通接触する接触子と、前記電力供給手段の他方端子と前記電流検出手段の他方端子とを導通接続させるよう促し、
前記電力供給手段が所定電力を供給するように促し、
前記電流検出手段が電流を検出するよう促し、
前記算出手段が、前記所定電力値と前記電流値を基に第二接続状態を算出するよう促し、
前記第二接続状態が算出された後に、前記切替手段が、前記第三結線用接点に導通接触する接触子と第一結線用接点に導通接触する接触子と、前記電力供給手段の一方端子と前記電流検出手段の一方端子とを導通接続させ、かつ、前記第三結線用接点に導通接触する接触子と、前記電力供給手段の他方端子と前記電流検出手段の他方端子とを導通接続させるよう促し、
前記電力供給手段が所定電力を供給するように促し、
前記電流検出手段が電流を検出するよう促し、
前記算出手段が、前記所定電力値と前記電流値を基に第三接続状態を算出するよう促し、
前記第三接続状態が算出された後に、前記算出手段が、前記第一接続状態乃至第三接続状態を基に、前記第一測定部乃至第三測定部の抵抗値を算出するよう促すことを特徴とする測定装置。 - 前記測定装置は、算出された前記第一測定部乃至第三測定部の抵抗値を基に、該第一測定部乃至第三測定部の良否判定を行う判定する機能を有することを特徴とする請求項1記載の測定装置。
- 測定対象となる第一測定部、第二測定部と第三測定部が三角結線に形成される測定対象部を測定し、前記測定結果から夫々の測定対象部の良否結果を判定する測定方法であって、
前記第一測定部と前記第二測定部の間の第一結線用接点と該第二測定部と前記第三測定部の間の第二結線用接点とを一方側とし、前記第三測定部と前記第一測定部の間の第三結線用接点を他方側として、前記一方側と前記他方側の間に所定電力を供給して電流値を測定し、
前記第二測定部と前記第三測定部の間の第二結線用接点と該第三測定部と前記第一測定部の間の第三結線用接点とを一方側とし、前記第一測定部と前記第二測定部の間の第一結線用接点を他方側として、前記一方側と前記他方側の間に所定電力を供給して電流値を測定し、
前記第三測定部と前記第一測定部の間の第三結線用接点と該第一測定部と前記第二測定部の間の第二結線用接点とを一方側とし、前記第二測定部と前記第三測定部の間の第二結線用接点を他方側として、前記一方側と前記他方側の間に所定電力を供給して電流値を測定し、
各前記所定電力値と測定電流を基に、前記第一測定部乃至前記第三測定部の抵抗を算出することを特徴とする測定方法。 - 前記算出された第一測定部乃至前記第三測定部の抵抗値を基に、該第一測定部乃至第三測定部の夫々の良否判定を行うことを特徴とする請求項3に記載の測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011106102A JP2012237622A (ja) | 2011-05-11 | 2011-05-11 | 測定装置及び測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011106102A JP2012237622A (ja) | 2011-05-11 | 2011-05-11 | 測定装置及び測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012237622A true JP2012237622A (ja) | 2012-12-06 |
Family
ID=47460639
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011106102A Pending JP2012237622A (ja) | 2011-05-11 | 2011-05-11 | 測定装置及び測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012237622A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111886506A (zh) * | 2018-03-20 | 2020-11-03 | 赫姆霍兹-森德拉姆德雷斯顿-罗森多夫研究中心 | 用于持续确定薄膜的电阻张量的所有分量的方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01156681A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-20 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査方法 |
JPH0455939A (ja) * | 1990-06-26 | 1992-02-24 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置の検査プログラム作成時における測定ピンのピン番号設定方法 |
WO2004046737A1 (en) * | 2002-11-15 | 2004-06-03 | Wintec Co. Ltd. | High speed measuring system of resistance |
-
2011
- 2011-05-11 JP JP2011106102A patent/JP2012237622A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01156681A (ja) * | 1987-12-15 | 1989-06-20 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査方法 |
JPH0455939A (ja) * | 1990-06-26 | 1992-02-24 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置の検査プログラム作成時における測定ピンのピン番号設定方法 |
WO2004046737A1 (en) * | 2002-11-15 | 2004-06-03 | Wintec Co. Ltd. | High speed measuring system of resistance |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111886506A (zh) * | 2018-03-20 | 2020-11-03 | 赫姆霍兹-森德拉姆德雷斯顿-罗森多夫研究中心 | 用于持续确定薄膜的电阻张量的所有分量的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6592885B2 (ja) | 基板検査方法及び基板検査装置 | |
KR102050123B1 (ko) | 절연 검사 방법 및 절연 검사 장치 | |
JP4369949B2 (ja) | 絶縁検査装置及び絶縁検査方法 | |
JP5428748B2 (ja) | 検査用治具のメンテナンス方法及び基板検査装置 | |
JP2007333598A (ja) | 基板検査装置 | |
JP4925042B2 (ja) | 絶縁検査装置 | |
CN110023768B (zh) | 电阻测量装置和电阻测量方法 | |
JP5420277B2 (ja) | 回路基板検査装置および回路基板検査方法 | |
JP6885612B2 (ja) | 抵抗測定装置及び抵抗測定方法 | |
JP2012237622A (ja) | 測定装置及び測定方法 | |
JP6221281B2 (ja) | 絶縁検査方法及び絶縁検査装置 | |
JP6255833B2 (ja) | 基板検査方法及び基板検査装置 | |
JP4999143B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP4911598B2 (ja) | 絶縁検査装置及び絶縁検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140409 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141224 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20150209 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150219 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20150209 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150804 |