JP6592885B2 - 基板検査方法及び基板検査装置 - Google Patents
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Description
なお、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、タッチパネルの電極板及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板や半導体ウェハなどに形成される電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の検査基板を総称して「基板」という。
特に、基板に形成される信号配線は、微細で抵抗値が小さく形成されるため、二端子測定方法では接触抵抗値の影響を大きく受けて、正確な抵抗値を算出することができない問題点を有していた。このような問題点を解決するために、接触抵抗値の影響を受けない四端子測定方法が用いられている。
本願の例示的な第2発明は、前記制御手段は、前記導通接触状態を判断した後、測定対象の前記各配線に設定される前記二つの検査点のうち、一方に対して前記選出された上流側電力端子に対応する接触子と他方に対して前記選出された下流側電力端子に対応する接触子との間に前記電源手段から前記電力を供給させ、前記一方に対して前記選出された上流側検出端子に対応する接触子と他方に対して前記選出された下流側検出端子に対応する接触子との間について前記検出手段により電圧値を検出させ、該電圧値に基づいて、前記上流側電力端子及び前記下流側電力端子に対応する接触子の導通接触状態を判断することが好ましい。
本願の例示的な第3発明は、前記制御手段は、前記直列回路に前記電源手段から電力を供給させる際に、上流側から電力を供給した後に、下流側から前記電力を供給して、前記導通接触状態を判断することが好ましい。
本願の例示的な第4発明は、複数の配線が形成される基板の該配線パターンの導通検査を行うとともに、該導通検査を行う際に該各配線上に予め設定される二つの検査点の、夫々に一対の接触子を導通接触させて、該検査点間を測定するための測定用の電力を供給するための上流側電力供給端子と下流側電力供給端子と、該検査点間の測定を行うための上流側検出端子と下流側検出端子を用いて該検査点間の四端子測定を実施する基板検方法であって、前記上流側検出端子に対応する接触子と前記下流側検出端子に対応する接触子とを前記各配線を介して、前記上流側電力端子と前記下流側電力端子とに対応する接触子は含まずに直列接続し、前記直列接続された直列回路における、一端となる接触子と他端となる接触子との間に電力を供給して、該直列接続された接触子間の電気的測定を行い、前記電力と前記電気的測定結果から、前記直列接続された接触子間の電気的特性を算出し、算出された前記電気的特性を基に、前記直列接続された接触子と前記検査点との導通接触状態を判定することが好ましい。
第2発明によれば、上流側電力端子及び下流側電力端子に対応する接触子の導通接触状態を判断できる。
第3発明によれば、上流側及び下流側から電力を供給して、接触子と検査点との導通接触状態を判断することになるので、酸化膜等の影響を除去して、精度良く判断することができる。また、検出端子に接続される接触子が導通接触する検査点の酸化膜除去の工程を一度に行うことができる。
図1は、本発明にかかる基板検査装置の概略構成図である。
本発明にかかる基板検査装置1は、電源手段2、検出手段3、接続端子4、制御手段5、記憶手段51、選出手段52、算出手段53、判定手段54、電流検出手段6、切替手段7、電力端子8、検出端子9と、表示手段10を有している。
なお、図1では、検査対象となる基板やプローブCPが当接する検査点は表示されていないが、このプローブCPが基板上に設定される配線の検査点に対して、夫々接触されることになる。また、プローブCPが四本示されているが、配線に設定される検査点の数や位置は限定されるものではなく、配線の数や位置に応じて設定され、配線の導通検査が行われる場合には、配線上に予め設定される二つの検査点に夫々二本のプローブCPが導通接触するよう配置されている。なお、検査点に導通接触する接触子CP間の抵抗値が算出されることで、配線の良/不良の判定が実施されることになる。本発明は、図1で示される如く、四端子測定法を用いて配線間の抵抗値を算出することができるように、電力端子8と検出端子9が設けられている。これらの端子を切り替えることにより、検査点間の四端子測定を可能にしている。
以上が本発明に係る基板検査装置1の構成の説明である。
以上が、本基板検査装置の基本動作の説明である。
2・・・・電源手段
3・・・・検出手段
4・・・・接続端子
5・・・・制御手段
51・・・記憶手段
52・・・選出手段
53・・・算出手段
54・・・判定手段
7・・・・切替手段
81・・・上流側電力供給端子
82・・・下流側電力供給端子
91・・・上流側検出端子
92・・・下流側検出端子
CB・・・基板
P・・・・検査点
Claims (4)
- 複数の配線が形成される基板の該配線パターンの導通検査を行うとともに、該導通検査を行う際に該各配線上に予め設定される二つの検査点の、夫々に一対の接触子を導通接触させて、該検査点間にて四端子測定を実施する基板検査装置であって、
前記検査点間に電力を供給する電源手段と、
前記複数の接触子毎に対応する、前記電源手段の上流側と接続される上流側電力端子と、
前記複数の接触子毎に対応する、前記電源手段の下流側と接続される下流側電力端子と、
前記検査点間の電圧を検出する検出手段と、
前記複数の接触子毎に対応する、前記検出手段の上流側と接続される上流側検出端子と、
前記複数の接触子毎に対応する、前記検出手段の下流側と接続される下流側検出端子と、
前記複数の接触子毎に対応するとともに、該複数の接触子を接続する接続端子と、
前記各配線に設定される前記二つの検査点のうち、一方に対して前記上流側電力端子と前記上流側検出端子とを選出し、他方に対して前記下流側電力端子と前記下流側検出端子とを選出する選出手段と、
前記電源手段、前記検出手段と前記選出手段を夫々動作させて、前記四端子測定を実施するための測定処理を促す制御手段とを備えており、
前記制御手段は、
前記複数の配線に対して前記選出手段により選出される、複数の前記上流側検出端子に対応する接触子と複数の前記下流側検出端子に対応する接触子とを、前記接続端子と前記各配線とを介して、前記上流側電力端子と前記下流側電力端子とに対応する接触子は含まずに直列接続させ、
前記直列接続された直列回路における、一端となる接触子と他端となる接触子との間に、前記一端となる接触子と前記他端となる接触子とを用いて前記電源手段から電力を供給させ、前記一端となる接触子と前記他端となる接触子との間について前記一端となる接触子と前記他端となる接触子とを用いて前記検出手段により電圧値を検出させ、該電圧値を基に該直列接続された接触子と該検査点の導通接触状態を判断することを特徴とする基板検査装置。 - 前記制御手段は、前記導通接触状態を判断した後、
測定対象の前記各配線に設定される前記二つの検査点のうち、一方に対して前記選出された上流側電力端子に対応する接触子と他方に対して前記選出された下流側電力端子に対応する接触子との間に前記電源手段から前記電力を供給させ、前記一方に対して前記選出された上流側検出端子に対応する接触子と他方に対して前記選出された下流側検出端子に対応する接触子との間について前記検出手段により電圧値を検出させ、該電圧値に基づいて、前記上流側電力端子及び前記下流側電力端子に対応する接触子の導通接触状態を判断する請求項1に記載の基板検査装置。 - 前記制御手段は、前記直列回路に前記電源手段から電力を供給させる際に、上流側から電力を供給した後に、下流側から前記電力を供給して、前記導通接触状態を判断することを特徴とする請求項1又は2に記載の基板検査装置。
- 複数の配線が形成される基板の該配線パターンの導通検査を行うとともに、該導通検査を行う際に該各配線上に予め設定される二つの検査点の、夫々に一対の接触子を導通接触させて、該検査点間を測定するための測定用の電力を供給するための上流側電力端子と下流側電力端子と、該検査点間の測定を行うための上流側検出端子と下流側検出端子を用いて該検査点間の四端子測定を実施する基板検査方法であって、
前記複数の配線に接触される複数の前記上流側検出端子に対応する接触子と前記複数の配線に接触される複数の前記下流側検出端子に対応する接触子とを前記各配線を介して、前記上流側電力端子と前記下流側電力端子とに対応する接触子は含まずに直列接続し、
前記直列接続された直列回路における、一端となる接触子と他端となる接触子との間に、前記一端となる接触子と前記他端となる接触子とを用いて電力を供給して、前記一端となる接触子と前記他端となる接触子との間について前記一端となる接触子と前記他端となる接触子とを用いて電気的測定を行い、
前記電力と前記電気的測定結果から、前記直列接続された接触子間の電気的特性を算出し、
算出された前記電気的特性を基に、前記直列接続された接触子と前記検査点との導通接触状態を判定することを特徴とする基板検査方法。
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