JP2020165923A

JP2020165923A - 検査装置、及び検査方法

Info

Publication number: JP2020165923A
Application number: JP2019069110A
Authority: JP
Inventors: 高橋　正; Tadashi Takahashi; 正高橋
Original assignee: Nidec Read Corp
Current assignee: Nidec Advance Technology Corp
Priority date: 2019-03-29
Filing date: 2019-03-29
Publication date: 2020-10-08
Also published as: CN111751623A

Abstract

【課題】スイッチの数を減少させることが容易な検査装置、及び検査方法を提供する。【解決手段】電源部４２に接続される、正供給スイッチＦｐと負供給スイッチＳｐとからなる複数の供給スイッチ対４４と、検出部４３に接続される、正検出スイッチＳｐと負検出スイッチＳｍとからなる複数の検出スイッチ対４５と、正供給スイッチＦｐ及び負供給スイッチを介してＦｍを介して電源部１２に接続される供給プローブＰと、正検出スイッチＳｐと負検出スイッチＳｍを介して検出部４３に接続される検出プローブＰと、検査処理部５とを備え、検査処理部５は、正供給スイッチＦｐ１、負供給スイッチＦｍ３、正検出スイッチＳｐ２、及び負検出スイッチＳｍ４をオンしつつ、検出部４３により検出される検出電圧Ｖに基づきタブ端子１０４の検査を行う検査装置。【選択図】図６

Description

本発明は、四端子法を用いて検査対象物を検査する検査装置、及び検査方法に関する。

従来より、高精度の抵抗測定法として、電流供給用の接触子とは別に、電圧検出用の接触子を設け、計四つの接触子を用いて抵抗測定を行う、いわゆる四端子法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。

特開２０１１−８９８５８号公報

ところで、特許文献１に記載の基板検査装置では、四端子法用の接触子ＣＰ１〜ＣＰ４における１本の接触子に対して、それぞれ、四つのスイッチ素子ＳＷ１〜ＳＷ４が接続されている（特許文献１の図１，図３）。

特許文献１の図１，図３には、スイッチ素子ＳＷ１は接触子ＣＰを電源手段２の正極に接続し、スイッチ素子ＳＷ２は接触子ＣＰを電源手段２の負極（回路グラウンド）に接続し、スイッチ素子ＳＷ３は接触子ＣＰを検出手段の一方の極に接続し、スイッチ素子ＳＷ４は接触子ＣＰを検出手段の他方の極に接続することが記載されている。

基板検査装置の検査対象である基板は、パッド等の検査点の配置が様々であり、その検査点間の配線の引き回しも様々である。このような、様々な基板の検査を行うためには、各接触子ＣＰを、電源正極、電源負極、検査手段の正極、及び検査手段の負極に、自由に接続できる必要がある。

そこで、従来、四端子法の検査装置では、特許文献１に示すように、各接触子に対して、四つのスイッチ素子が接続されている。一方、コスト削減の観点から、スイッチ素子の数を減らしたいという、ニーズがある。

本発明の目的は、スイッチの数を減少させることが容易な検査装置、及び検査方法を提供することである。

本発明の一例に係る検査装置は、電流を供給する電源部と、電圧を検出する検出部と、前記電源部の正極に接続される正供給スイッチと前記電源部の負極に接続される負供給スイッチとからなる複数の供給スイッチ対と、前記検出部の正極に接続される正検出スイッチと前記検出部の負極に接続される負検出スイッチとからなる複数の検出スイッチ対と、前記複数の供給スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正供給スイッチを介して前記電源部の正極に接続されると共に前記負供給スイッチを介して前記電源部の負極に接続され、かつ前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチとは接続されない供給プローブと、前記複数の検出スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正検出スイッチを介して前記検出部の正極に接続されると共に前記負検出スイッチを介して前記検出部の負極に接続され、かつ前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチとは接続されない検出プローブと、前記正供給スイッチ、前記負供給スイッチ、前記正検出スイッチ、及び前記負検出スイッチのオン、オフを制御することにより検査対象物の検査を行う検査処理部とを備え、前記検査処理部は、前記各供給スイッチ対の二つのスイッチを両方オンともさせることはなく、前記各検出スイッチ対の二つのスイッチを両方オンともさせることはなく、（ａ１）前記複数の供給プローブの中から、一つを第一供給プローブとして選択し、他の一つを第二供給プローブとして選択し、前記複数の検出プローブの中から、一つを第一検出プローブとして選択し、他の一つを第二検出プローブとして選択し、（ｂ１）前記第一供給プローブに対応する前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二供給プローブに対応する前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち他方をオン、前記第一検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち他方をオンしつつ、前記検出部により検出される検出電圧に基づき前記検査対象物の検査を行う。

また、本発明の一例に係る検査方法は、電流を供給する電源部と、電圧を検出する検出部と、前記電源部の正極に接続される正供給スイッチと前記電源部の負極に接続される負供給スイッチとからなる複数の供給スイッチ対と、前記検出部の正極に接続される正検出スイッチと前記検出部の負極に接続される負検出スイッチとからなる複数の検出スイッチ対と、前記複数の供給スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正供給スイッチを介して前記電源部の正極に接続されると共に前記負供給スイッチを介して前記電源部の負極に接続される供給プローブと、前記複数の検出スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正検出スイッチを介して前記検出部の正極に接続されると共に前記負検出スイッチを介して前記検出部の負極に接続される検出プローブとを備えた検査装置を用いた検査方法であって、前記供給プローブは、前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチとは接続されず、前記検出プローブは、前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチとは接続されず、前記各供給スイッチ対の二つのスイッチを両方ともオンさせることはなく、前記各検出スイッチ対の二つのスイッチを両方ともオンさせることはなく、（ａ１）前記複数の供給プローブの中から、一つを第一供給プローブとして選択し、他の一つを第二供給プローブとして選択し、前記複数の検出プローブの中から、一つを第一検出プローブとして選択し、他の一つを第二検出プローブとして選択し、（ｂ１）前記第一供給プローブに対応する前記供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二供給プローブに対応する前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち他方をオン、前記第一検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち他方をオンしつつ、前記検出部により検出される検出電圧に基づき検査対象物の検査を行う。

なお、検査処理部は、各供給スイッチ対の二つのスイッチ（正供給スイッチ、負供給スイッチ）を両方ともオンさせることはなく、各検出スイッチ対の二つのスイッチ（正検出スイッチ、負検出スイッチ）を両方ともオンさせることはない。すなわち、検査処理部は、供給スイッチ対の正供給スイッチをオンさせるときは、その供給スイッチ対の負供給スイッチをオフさせ、供給スイッチ対の負供給スイッチをオンさせるときは、その供給スイッチ対の正供給スイッチをオフさせる。同様に、検査処理部は、検出スイッチ対の正検出スイッチをオンさせるときは、その検出スイッチ対の負検出スイッチをオフさせ、検出スイッチ対の負検出スイッチをオンさせるときは、その検出スイッチ対の正検出スイッチをオフさせる。

本件特許請求の範囲及び明細書では、記載を簡潔にするため、供給スイッチ対の一方のスイッチをオンする旨記載したときは、その供給スイッチ対の他方のスイッチをオフすることを意味し、他方のスイッチをオフする旨の記載を省略する。同様に、検出スイッチ対の一方のスイッチをオンする旨記載したときは、その検出スイッチ対の他方のスイッチをオフすることを意味し、他方のスイッチをオフする旨の記載を省略する。

このような構成の検査装置、及び検査方法は、スイッチの数を減少させることが容易である。

本発明の一実施形態に係る検査方法を用いる検査装置の構成を概略的に示す概念図である。図１に示すタブ端子の上面を拡大して示した拡大図である。図１に示す検査装置の電気的構成を概略的に示すブロック図である。本発明の一実施形態に係る検査方法に基づく検査装置の動作の一例を示すフローチャートである。本発明の一実施形態に係る検査方法に基づく検査装置の動作の一例を示すフローチャートである。図１に示す検査装置の動作を説明するための説明図である。図１に示す検査装置の動作を説明するための説明図である。図１に示す検査装置の動作を説明するための説明図である。図１に示す検査装置の動作を説明するための説明図である。図３に示す検査装置の変形例を示すブロック図である。図１０に示す検査装置の動作の一例を示すフローチャートである。図１に示す検査装置の変形例を示すブロック図である。図１２に示す検査装置の電気的構成を概略的に示すブロック図である。図１３に示す検査装置の動作の一例を示すフローチャートである。図１３に示す検査装置の動作の一例を示すフローチャートである。図１３に示す検査装置の動作を説明するための説明図である。

以下、本発明に係る実施形態を図面に基づいて説明する。なお、各図において同一の符号を付した構成は、同一の構成であることを示し、その説明を省略する。図１に示す検査装置１は、リチウムイオン二次電池のタブ端子を検査する装置である。電池のタブ端子は、面状に拡がる導電部材の検査対象物の一例に相当している。

なお、検査対象物は、面状に拡がる導電部材であればよく、必ずしも電池のタブ端子に限らない。また、検査対象物は、後述するように、例えば、プリント配線基板、ガラスエポキシ基板、フレキシブル基板、セラミック多層配線基板、液晶ディスプレイやＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ等のディスプレイ用の電極板、タッチパネル用等の透明導電板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリア、半導体ウェハや半導体チップやCSP(Chip size package)等の半導体基板等々、種々の基板であってもよい。

図１に示すリチウムイオン二次電池１００は、複数の正極板１０１と、複数の負極板１１１とが、図略のセパレータを間に挟んで交互に積層されて、構成されている。正極板１０１は、例えばアルミ箔等の金属箔からなる正極集電体１０２の表面に、図略の正極活物質が塗布されて構成されている。負極板１１１は、例えばアルミ箔等の金属箔からなる負極集電体１１２の表面に、図略の負極活物質が塗布されて構成されている。

リチウムイオン二次電池１００の一端側に、各正極集電体１０２の一部がそれぞれリード部１０３として引き出され、各負極集電体１１２の一部がそれぞれリード部１１３として引き出されている。各リード部１０３はリチウムイオン二次電池１００の一端側における片側に寄せて引き出され、各リード部１１３はリード部１０３とは反対側に片寄らせて引き出されている。これにより、リード部１０３とリード部１１３とが重ならないようにされている。

各リード部１０３は積層、密着され、帯状の網がけで示す溶着領域１０５で互いに溶着されて、正極のタブ端子１０４（検査対象物）とされている。各リード部１１３は積層、密着され、帯状の網がけで示す溶着領域１１５で互いに溶着されて、負極のタブ端子１１４（検査対象物）とされている。溶着領域１０５，１１５の溶着方法としては、種々の溶着方法が適用可能であるが、例えば超音波溶着が用いられている。図１では、各リード部１０３，１１３が溶着される前の状態を示している。

図１に示す検査装置１は、検出機構４と、検査処理部５と、検査対象のリチウムイオン二次電池１００を検出機構４の間の所定位置に保持する図略の電池保持部とを備えている。検出機構４は、検出治具３を備えている。検出機構４は、図略の駆動機構によって、検出治具３を、互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚの三軸方向に移動可能にされ、さらに検出治具３を、Ｚ軸を中心に回動可能にされている。

検出機構４は、図略の電池保持部に固定されたリチウムイオン二次電池１００の上方に位置する。検出機構４は、リチウムイオン二次電池１００のタブ端子１０４，１１４に順次プローブＰを接触させるための検出治具３が取り付けられている。なお、検出治具３は、タブ端子１０４，１１４を一括して二つのタブ端子１０４，１１４に同時にプローブＰを接触可能であってもよい。

検出治具３は、それぞれ、複数のプローブＰの先端をタブ端子１０４，１１４の溶着領域１０５，１１５へ向けて保持する支持部材３１と、ベースプレート３２１とを備えている。ベースプレート３２１には、各プローブＰの後端部と接触して導通する図略の電極が設けられている。検出機構４は、ベースプレート３２１の各電極と後述の接続回路４１とを介して各プローブＰの後端部を、検査処理部５と電気的に接続したり、その接続を切り替えたりする。

プローブＰは、全体として略棒状の形状を有している。支持部材３１には、プローブＰを支持する複数の貫通孔が形成されている。支持部材３１は、溶着領域１０５，１１５と対応する形状、大きさを有している。支持部材３１は、溶着領域１０５内、又は溶着領域１１５内の略全領域に対して、略均等な分布で複数のプローブＰを接触させるように、プローブＰを支持する。複数のプローブＰは、例えば格子の交点位置に対応するように配設されている。

図２を参照して、複数のリード部１０３を超音波溶着する際に用いるホーンとアンビルには、ローレットが形成されている。その結果、超音波溶着後のタブ端子１０４の表面には、ローレットの跡が付き、格子の目状に凹没した複数の凹没部１０４ａが形成される。プローブＰは、凹没部１０４ａの底部に１本ずつ、接触するように配置されている。

図２では、プローブＰを一列分だけ記載しているが、このようなプローブＰの列が複数列配置されて、格子の目状の各凹没部１０４ａに、プローブＰが一つずつ接触するようにされている。

図３に示す検査装置１は、例えば、プローブＰ１〜Ｐ８、接続回路４１、電源部４２、検出部４３、及び検査処理部５を備えている。図３では、一列分のプローブＰのみ記載し、他の列のプロ−ブＰ及び接続回路４１については記載を省略している。以下、タブ端子１０４の検査について説明し、タブ端子１１４の検査はタブ端子１０４の検査と同様であるのでその説明を省略する。

電源部４２は、例えば定電流電源回路である。電源部４２は、検査処理部５からの制御信号に応じて電流Ｉを出力する。検出部４３は、いわゆる電圧計であり、例えば分圧抵抗及びアナログデジタルコンバータ等から構成されている。検出部４３は、検出した電圧Ｖを示す信号を、検査処理部５へ送信する。

プローブＰ１〜Ｐ８は、図２に示すタブ端子１０４の格子の目状の凹没部１０４ａの並びに沿う直線上に接触するように、一列に配置されている。なお、実質的に直線上に配置とは、検出治具３の加工精度や製造バラツキによる直線からのズレを許容して直線とみなす趣旨である。

接続回路４１は、複数の供給スイッチ対４４と、複数の検出スイッチ対４５とを備える。図３に示す例では、供給スイッチ対４４はプローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７（供給プローブ）に接続され、検出スイッチ対４５はプローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８（検出プローブ）に接続されている。

供給スイッチ対４４に接続されたプローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７は供給プローブの一例に相当し、検出スイッチ対４５に接続されたプローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８は検出プローブの一例に相当している。供給プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７と検出プローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８とは、交互に配列されている。

プローブＰ１に接続された供給スイッチ対４４は、正供給スイッチＦｐ１と、負供給スイッチＦｍ１とから構成されている。正供給スイッチＦｐ１の一端はプローブＰ１に接続され、正供給スイッチＦｐ１の他端は電源部４２の正極に接続されている。負供給スイッチＦｍ１の一端はプローブＰ１に接続され、負供給スイッチＦｍ１の他端は電源部４２の負極に接続されている。

他の供給プローブＰ３，Ｐ５，Ｐ７に接続された供給スイッチ対４４は、それぞれ、プローブＰ２に接続された供給スイッチ対４４と同様、正供給スイッチＦｐ３，Ｆｐ５，Ｆｐ７と、負供給スイッチＦｍ３，Ｆｍ５，Ｆｍ７とから構成されている。

プローブＰ１に接続された検出スイッチ対４５は、正検出スイッチＳｐ２と、負検出スイッチＳｍ２とから構成されている。正検出スイッチＳｐ２の一端はプローブＰ２に接続され、正検出スイッチＳｐ２の他端は検出部４３の正極に接続されている。負検出スイッチＳｍ２の一端はプローブＰ２に接続され、負検出スイッチＳｍ２の他端は検出部４３の負極に接続されている。

他の検出プローブＰ４，Ｐ６，Ｐ８に接続された検出スイッチ対４５は、それぞれ、プローブＰ２に接続された検出スイッチ対４５と同様、正検出スイッチＳｐ４，Ｓｐ６，Ｓｐ８と、負検出スイッチＳｍ４，Ｓｍ６，Ｓｍ８とから構成されている。

正供給スイッチＦｐ１，Ｆｐ３，Ｆｐ５，Ｆｐ７、負供給スイッチＦｍ１，Ｆｍ３，Ｆｍ５，Ｆｍ７、正検出スイッチＳｐ２，Ｓｐ４，Ｓｐ６，Ｓｐ８、及び負検出スイッチＳｍ２，Ｓｍ４，Ｓｍ６，Ｓｍ８は、例えば半導体スイッチング素子、リレースイッチ等のスイッチング素子であり、検査処理部５からの制御信号に応じてオン、オフする。

以下、正供給スイッチＦｐ１，Ｆｐ３，Ｆｐ５，Ｆｐ７及び後述の正供給スイッチＦｐ１１，Ｆｐ１３，Ｆｐ１５を総称して正供給スイッチＦｐと称し、負供給スイッチＦｍ１，Ｆｍ３，Ｆｍ５，Ｆｍ７及び後述の負供給スイッチＦｍ１１，Ｆｍ１３，Ｆｍ１５を総称して負供給スイッチＦｍと称し、正検出スイッチＳｐ２，Ｓｐ４，Ｓｐ６，Ｓｐ８及び後述の正検出スイッチＳｐ１２，Ｓｐ１４を総称して正検出スイッチＳｐと称し、負検出スイッチＳｍ２，Ｓｍ４，Ｓｍ６，Ｓｍ８及び後述の負検出スイッチＳｍ１２，Ｓｍ１４を総称して負検出スイッチＳｍと称する。

検査処理部５は、例えば所定の演算処理を実行するＣＰＵ（Central Processing Unit）、データを一時的に記憶するＲＡＭ（Random Access Memory）、所定の制御プログラム等を記憶する記憶装置、及びこれらの周辺回路等を備えて構成された、いわゆるマイクロコンピュータである。そして、検査処理部５は、例えば上述の制御プログラムを実行することによって、検査対象物の検査を実行する。

検査処理部５は、供給スイッチ対４４の正供給スイッチＦｐをオンさせるときは、その供給スイッチ対４４の負供給スイッチＦｍをオフさせ、供給スイッチ対４４の負供給スイッチＦｍをオンさせるときは、その供給スイッチ対４４の正供給スイッチＦｐをオフさせる。同様に、検査処理部５は、検出スイッチ対４５の正検出スイッチＳｐをオンさせるときは、その検出スイッチ対４５の負検出スイッチＳｍをオフさせ、検出スイッチ対４５の負検出スイッチＳｍをオンさせるときは、その検出スイッチ対４５の正検出スイッチＳｐをオフさせる。

以下、供給スイッチ対４４の一方のスイッチをオンする旨記載する際に、その供給スイッチ対４４の他方のスイッチをオフする旨の記載を省略する。また、検出スイッチ対４５の一方のスイッチをオンする旨記載する際に、その検出スイッチ対４５の他方のスイッチをオフする旨の記載を省略する。

検査処理部５は、複数の供給プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７の中から、一つを第一供給プローブとして選択し、他の一つを第二供給プローブとして選択し、複数の検出プローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８の中から、一つを第一検出プローブとして選択し、他の一つを第二検出プローブとして選択する（ａ１）。

また、検査処理部５は、第一供給プローブに対応する正供給スイッチＦｐ及び負供給スイッチＦｍの各スイッチのうち一方をオン、第二供給プローブに対応する正供給スイッチＦｐ及び負供給スイッチＦｍの各スイッチのうち他方をオン、第一検出プローブに対応する正検出スイッチＳｐ及び負検出スイッチＳｍの各スイッチのうち一方をオン、第二検出プローブに対応する正検出スイッチＳｐ及び負検出スイッチＳｍの各スイッチのうち他方をオンしつつ、検出部４３により検出される検出電圧Ｖに基づき検査対象物の検査を行う（ｂ１）。

以下、上述のように構成された検査装置１の動作について、図４、図５を参照しつつ説明する。以下のフローチャートにおいて、同一の処理には同一のステップ番号を付してその説明を省略する。

まず、検査処理部５は、第一供給プローブ、第一検出プローブ、第二供給プローブ、及び第二検出プローブが、この順に並ぶように、供給プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ７の中から、先頭位置のプローブＰ１を第一供給プローブとして選択し、プローブＰ３を第二供給プローブとして選択し（ステップＳ１：（ａ１））、検出プローブＰ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８の中から、プローブＰ２を第一検出プローブとして選択し、プローブＰ４を第二検出プローブとして選択する（ステップＳ２：（ａ１））。

次に、検査処理部５は、第一供給プローブに対応する正供給スイッチＦｐ及び負供給スイッチＦｍのうち一方をオンし、第二供給プローブに対応する正供給スイッチＦｐ及び負供給スイッチＦｍのうち他方をオンする（ステップＳ３：（ｂ１））。

例えば第一供給プローブとしてプローブＰ１、第二供給プローブとしてプローブＰ３が選択されているとき、検査処理部５は、プローブＰ１の正供給スイッチＦｐ１及び負供給スイッチＦｍ１のうち一方、例えば正供給スイッチＦｐ１をオンし、プローブＰ３の正供給スイッチＦｐ３及び負供給スイッチＦｍ３のうち正供給スイッチＦｐとは異なる方の負供給スイッチＦｍ３をオンする。

そうすると、図６に示すように、電源部４２の正極がプローブＰ１に接続され、電源部４２の負極がプローブＰ３に接続される結果、プローブＰ１とプローブＰ３との間でタブ端子１０４に電流Ｉが流れる。

次に、検査処理部５は、第一検出プローブに対応する正検出スイッチＳｐ及び負検出スイッチＳｍのうち一方をオンし、第二検出プローブに対応する正検出スイッチＳｐ及び負検出スイッチＳｍのうち他方をオンする（ステップＳ４：（ｂ１））。

例えば第一検出プローブとしてプローブＰ２、第二検出プローブとしてプローブＰ４が選択されているとき、検査処理部５は、プローブＰ２の正検出スイッチＳｐ２及び負検出スイッチＳｍ２のうち一方、例えば正検出スイッチＳｐ２をオンし、プローブＰ４の正検出スイッチＳｐ４及び負検出スイッチＳｍ４のうち正検出スイッチＳｐとは異なる方の負検出スイッチＳｍ４をオンする。

そうすると、図６に示すように、検出部４３の正極がプローブＰ２に接続され、検出部４３の負極がプローブＰ４に接続される結果、プローブＰ２とプローブＰ４との間でタブ端子１０４に生じた電圧が検出電圧Ｖ１として検出される。このとき、プローブＰ３とプローブＰ４との間には電流Ｉが流れていないから、検出電圧Ｖ１は、プローブＰ２とプローブＰ３との間の領域におけるタブ端子１０４の抵抗Ｒ１に電流Ｉが流れることにより生じた電圧である。

次に、検査処理部５は、上述のようにして検出部４３により検出される検出電圧Ｖ１に基づき検査対象物を検査する（ステップＳ５：（ｂ１））。例えば、検査処理部５は、Ｖ１／Ｉを計算することによって抵抗Ｒ１の抵抗値を算出し、この抵抗値が予め設定された基準値の範囲内か否かを判定することによって、タブ端子１０４におけるプローブＰ２とプローブＰ３との間の領域を検査することができる。なお、電流Ｉが固定値であれば、Ｖ１／Ｉを計算することなく、検出電圧Ｖを予め設定された基準値の範囲内か否かを判定してもよい。

また、検出電圧Ｖ又はＶ１／Ｉが基準値の範囲内に入っていれば、プローブＰ１とプローブＰ２の間に電流Ｉが流れ、かつプローブＰ４がプローブＰ３と導通していたことを意味するから、プローブＰ１，Ｐ２間、及びプローブＰ３，Ｐ４間についても、タブ端子１０４の導通を検査できる。

次に、検査処理部５は、第一供給プローブ、第二供給プローブ、第一検出プローブ、及び第二検出プローブに対して、それぞれステップＳ３，Ｓ４とは逆側のスイッチをオンする（ステップＳ１１：（ｂ１））。

例えばステップＳ３，Ｓ４において、プローブＰ１（第一供給プローブ）の正供給スイッチＦｐ１、プローブＰ３（第二供給プローブ）の負供給スイッチＦｍ３、プローブＰ２（第一検出プローブ）の正検出スイッチＳｐ２、及びプローブＰ４（第二検出プローブ）の負検出スイッチＳｍ４がオンしている場合、検査処理部５は、プローブＰ１（第一供給プローブ）の負供給スイッチＦｍ１、プローブＰ３（第二供給プローブ）の正供給スイッチＦｐ３、プローブＰ２（第一検出プローブ）の負検出スイッチＳｍ２、及びプローブＰ４（第二検出プローブ）の正検出スイッチＳｐ４をオンする。

そうすると、図７に示すように、電源部４２の負極がプローブＰ１に接続され、電源部４２の正極がプローブＰ３に接続される結果、プローブＰ１とプローブＰ３との間でタブ端子１０４に、図６とは逆方向に電流Ｉが流れ、図６とは逆方向に電流Ｉが流れたときに抵抗Ｒ１に生じた電圧が、検出部４３によって検出電圧Ｖ２として検出される。

次に、検査処理部５は、上述のようにして検出部４３により検出される検出電圧Ｖ２に基づき検査対象物を検査する（ステップＳ１２：（ｂ１））。すなわち、検出電圧Ｖ１と、検出電圧Ｖ２とは、電流Ｉの方向を逆方向にして得られた電圧である。このように、電流方向が互いに逆方向の、検出電圧Ｖ１と、検出電圧Ｖ２とによれば、オフセット電圧をキャンセルすることができるので、抵抗Ｒ１で生じる電圧の測定精度をより向上することが可能となる。

例えば、検出電圧Ｖ１と、検出電圧Ｖ２とのうち一方は、抵抗Ｒ１で生じた電圧に対してオフセット電圧が加算され、他方はオフセット電圧が減算されている。従って、検出電圧Ｖ１と、検出電圧Ｖ２との平均値を算出することにより、オフセット電圧がキャンセルされる。このように、オフセット電圧をキャンセルした電圧を用いて、ステップＳ５と同様の判定を行うことによって、検査精度をより向上させることができる。なお、ステップＳ５では検査を実行することなく検出電圧Ｖ１の取得のみを行い、検査はステップＳ１２で実行するようにしてもよい。

次に、検査処理部５は、すべてのプローブＰ１〜Ｐ８を供給プローブＰ又は検出プローブＰとして選択し終えたか否かを確認する（ステップＳ１３）。検査処理部５は、すべてのプローブＰ１〜Ｐ８を選択済の場合（ステップＳ１３でＹＥＳ）処理を終了し、まだ選択していないプローブＰがある場合（ステップＳ１３でＮＯ）、ステップＳ１４へ処理を移行する。

ステップＳ１４において、検査処理部５は、第一供給プローブ、第一検出プローブ、第二供給プローブ、及び第二検出プローブの先頭が第一供給プローブか否か、すなわち第一供給プローブ、第一検出プローブ、第二供給プローブ、及び第二検出プローブがこの順に並んでいるか否かを確認する（ステップＳ１４）。先頭が第一供給プローブであった場合（ステップＳ１４でＹＥＳ）、ステップＳ１５へ処理を移行し、先頭が第一供給プローブでなかった場合、すなわち第一検出プローブ、第一供給プローブ、第二検出プローブ、及び第二供給プローブがこの順に並んでいる場合（ステップＳ１４でＮＯ）、ステップＳ１６へ処理を移行する。

今、例えば第一供給プローブ、第一検出プローブ、第二供給プローブ、及び第二検出プローブがこの順に並んでいるので、ステップＳ１５へ移行する。

ステップＳ１５において、検査処理部５は、第一供給プローブの供給スイッチ対４４をオフし、第一検出プローブ及び第二検出プローブをそのまま新たな第一検出プローブ及び第二検出プローブとし、第二供給プローブを新たな第一供給プローブとし、第二検出プローブの、新たな第一供給プローブとは反対側に隣接する供給プローブを新たな第二供給プローブとし（ステップＳ１５：（ｃ１））、再びステップＳ３〜Ｓ１３を繰り返す。

例えばプローブＰ１が第一供給プローブ、プローブＰ３が第二供給プローブ、プローブＰ２が第一検出プローブ、プローブＰ４が第二検出プローブであった場合、プローブＰ１の供給スイッチ対４４（正供給スイッチＦｐ１，負供給スイッチＦｍ１）をオフし、プローブＰ２，Ｐ４をそのまま第一，第二検出プローブとしたまま、プローブＰ３を新たな第一供給プローブとし、第二検出プローブであるプローブＰ４の、新たな第一供給プローブであるプローブＰ３とは反対側に隣接する供給プローブＰ５を新たな第二供給プローブとする（ステップＳ１５：（ｃ１））。

ステップＳ３において、検査処理部５は、上述と同様、第一供給プローブに対応する正供給スイッチＦｐ及び負供給スイッチＦｍのうち一方をオンし、第二供給プローブに対応する正供給スイッチＦｐ及び負供給スイッチＦｍのうち他方をオンする（ステップＳ３：（ｂ１））。

今、例えば第一供給プローブとしてプローブＰ３、第二供給プローブとしてプローブＰ５が選択されているから、検査処理部５は、プローブＰ３の正供給スイッチＦｐ３及び負供給スイッチＦｍ３のうち一方、例えば正供給スイッチＦｐ３をオンし、プローブＰ５の正供給スイッチＦｐ５及び負供給スイッチＦｍ５のうち正供給スイッチＦｐとは異なる方の負供給スイッチＦｍ５をオンする。

そうすると、図８に示すように、電源部４２の正極がプローブＰ３に接続され、電源部４２の負極がプローブＰ５に接続される結果、プローブＰ３とプローブＰ５との間でタブ端子１０４に電流Ｉが流れる。

今、例えば第一検出プローブとしてプローブＰ２、第二検出プローブとしてプローブＰ４が選択されているから、例えば図８に示すように、検出部４３の正極がプローブＰ２に接続され、検出部４３の負極がプローブＰ４に接続される結果、プローブＰ２とプローブＰ４との間でタブ端子１０４に生じた電圧が検出電圧Ｖ１として検出される。このとき、プローブＰ２とプローブＰ３との間には電流Ｉが流れていないから、検出電圧Ｖ１は、プローブＰ３とプローブＰ４との間の領域におけるタブ端子１０４の抵抗Ｒ２に電流Ｉが流れることにより生じた電圧である。

以下、ステップＳ５〜Ｓ１２が実行され、上述と同様に、タブ端子１０４におけるプローブＰ３とプローブＰ４との間の領域の抵抗Ｒ２が検査される。

ステップＳ１３において、まだ選択されていないプローブＰがある場合（ステップＳ１３でＮＯ）、検査処理部５は、ステップＳ１４へ処理を移行する。

今、例えば、第一検出プローブとしてプローブＰ２、第一供給プローブとしてプローブＰ３、第二検出プローブとしてプローブＰ４、第二供給プローブとしてプローブＰ５が選択されているから、第一検出プローブ、第一供給プローブ、第二検出プローブ、及び第二供給プローブがこの順に配置されている。

そうすると、先頭は第一供給プローブではなく第一検出プローブだから（ステップＳ１４でＮＯ）、検査処理部５は、ステップＳ１６へ処理を移行する。

ステップＳ１６では、検査処理部５は、第一検出プローブの検出スイッチ対４５をオフし、第一供給プローブ及び第二供給プローブをそのまま新たな第一供給プローブ及び第二供給プローブとし、第二検出プローブを新たな第一検出プローブとし、第二供給プローブの、新たな第一検出プローブとは反対側に隣接する検出プローブを新たな第二検出プローブとし（ステップＳ１６：（ｃ１））、再びステップＳ３〜Ｓ１３を繰り返す。

例えばプローブＰ２が第一検出プローブ、プローブＰ３が第一供給プローブ、プローブＰ４が第二検出プローブ、プローブＰ５が第二供給プローブであった場合、プローブＰ２の検出スイッチ対４５（正検出スイッチＳｐ２，負検出スイッチＳｍ２）をオフし、プローブＰ３，Ｐ５をそのまま第一，第二供給プローブとしたまま、プローブＰ４を新たな第一検出プローブとし、第二供給プローブであるプローブＰ５の、新たな第一検出プローブであるプローブＰ４とは反対側に隣接する検出プローブＰ６を新たな第二検出プローブとする（ステップＳ１６：（ｃ１））。

そうすると、図９に示すように、電源部４２の正極がプローブＰ３に接続され、電源部４２の負極がプローブＰ５に接続される結果、プローブＰ３とプローブＰ５との間でタブ端子１０４に電流Ｉが流れる。

次に、今、例えば第一検出プローブとしてプローブＰ４、第二検出プローブとしてプローブＰ６が選択されているから、検査処理部５は、プローブＰ４に対応する正検出スイッチＳｐ４及び負検出スイッチＳｍ４のうち一方、例えば正検出スイッチＳｐ４をオンし、プローブＰ６に対応する正検出スイッチＳｐ６及び負検出スイッチＳｍ６のうち正検出スイッチＳｐとは異なる負検出スイッチＳｍ６をオンする（ステップＳ４：（ｂ１））。

これにより、例えば図９に示すように、検出部４３の正極がプローブＰ４に接続され、検出部４３の負極がプローブＰ６に接続される結果、プローブＰ４とプローブＰ６との間でタブ端子１０４に生じた電圧が検出電圧Ｖ１として検出される。このとき、プローブＰ５とプローブＰ６との間には電流Ｉが流れていないから、検出電圧Ｖ１は、プローブＰ４とプローブＰ５との間の領域におけるタブ端子１０４の抵抗Ｒ３に電流Ｉが流れることにより生じた電圧である。

以下、ステップＳ５〜Ｓ１２が実行され、上述と同様に、タブ端子１０４におけるプローブＰ４とプローブＰ５との間の領域の抵抗Ｒ３が検査される。以上の処理を、すべてのプローブＰ１〜Ｐ８が選択済となるまで（ステップＳ１３でＹＥＳ）繰り返すことによって、タブ端子１０４の抵抗Ｒ１〜Ｒ５を検査することができる。

以上、ステップＳ１〜Ｓ１６の処理によれば、一つのプローブＰに対して、スイッチを二つ設けた検査装置１によって、電流供給用の供給プローブと、電圧検出用の検出プローブとを別にした四端子法による検査を行うことができるので、一つの接触子に対して四つのスイッチを設ける場合と比べてスイッチの数を減少させることが容易となる。

なお、複数のプローブＰは、必ずしも直線的に一列に配列されている必要はなく、検査対象物は面状に拡がる導電性の部材に限らない。検査対象物は、上述の基板等であってもよく、例えば図１０に示すように、パッド等の複数の検査点２０１〜２０４が形成された基板２００であってもよい。図１０に示す例では、検査点２０１，２０２間は配線Ｗ１で接続され、検査点２０２，２０３間は配線Ｗ３で接続され、検査点２０３，２０４間は配線Ｗ５で接続されている。配線Ｗ１は抵抗Ｒ１、配線Ｗ３は抵抗Ｒ３、配線Ｗ５は抵抗Ｒ５に相当している。

そして、供給スイッチ対４４に対応する供給プローブＰと検出スイッチ対４５に対応する検出プローブＰとを近接配置して対にする。これにより、プローブＰ１，Ｐ２のプローブ対、プローブＰ３，Ｐ４のプローブ対、プローブＰ５，Ｐ６のプローブ対、プローブＰ７，Ｐ８のプローブ対を構成する。

このようにして構成されたプローブ対毎に、各検査点２０１〜２０４に接触させる。図１０に示す例においても、上述のステップＳ１〜Ｓ１３によって、配線Ｗ１の抵抗Ｒ１を検査することができる。この場合、検査処理部５は、ステップＳ１４〜Ｓ１６の代わりに、図１１に示すステップＳ２１，Ｓ２２を実行する点で異なる。

図１１でまだ選択していないプローブＰがある場合（ステップＳ１３でＮＯ）、検査処理部５は、ステップＳ２１へ処理を移行する。

ステップＳ２１において、検査処理部５は、第一供給プローブの供給スイッチ対４４と第一検出プローブの検出スイッチ対４５とをオフする（ステップＳ２１）。

次に、検査処理部５は、第二供給プローブを新たな第一供給プローブとし、第一及び第二供給プローブとは異なる供給プローブを新たな第二供給プローブとし、第二検出プローブを新たな第一検出プローブとし、第一及び第二検出プローブとは異なる検出プローブを新たな第二検出プローブとして（ステップＳ２２：（ｃ１））再びステップＳ３〜Ｓ１３を繰り返す。

例えばプローブＰ１が第一供給プローブ、プローブＰ３が第二供給プローブ、プローブＰ２が第一検出プローブ、プローブＰ４が第二検出プローブの場合、検査処理部５は、プローブＰ１の供給スイッチ対４４（正供給スイッチＦｐ１，負供給スイッチＦｍ１）とプローブＰ２の検出スイッチ対４５（正検出スイッチＳｐ２，負検出スイッチＳｍ２）とをオフする（ステップＳ２１）。

次に、検査処理部５は、第二供給プローブであるプローブＰ３を新たな第一供給プローブとし、第一及び第二供給プローブＰ１，Ｐ３とは異なる供給プローブＰ５を新たな第二供給プローブとし、第二検出プローブであるプローブＰ４を新たな第一検出プローブとし、第一及び第二検出プローブＰ２，Ｐ４とは異なる検出プローブＰ６を新たな第二検出プローブとする（ステップＳ２２）。

以下、ステップＳ３〜Ｓ２２を繰り返すことによって、図１０に示す配線Ｗ３，Ｗ５の抵抗Ｒ３，Ｒ５を検査することができる。

なお、図１０に示す例において、検査対象物をタブ端子１０４等の、面状に拡がる導電部材としてもよい。また、検査対象物をタブ端子１０４とし、一ヶ所の凹没部１０４ａに対して、供給プローブＰと検出プローブＰとのプローブ対を接触させることが好ましい。

なお、ステップＳ１４〜Ｓ１６，Ｓ２１，Ｓ２２を実行しなくてもよい。また、ステップＳ１１，Ｓ１２を実行しなくてもよい。

なお、図１２に示す検査装置１ａのように、検出治具３Ｄをさらに備え、タブ端子１０４，１１４の厚み方向に電流を流して四端子法による検査を行ってもよい。

図１２に示す検査装置１ａは、検出機構４及び検出治具３と同様に構成された検出機構４Ｄ及び検出治具３Ｄをさらに備える。検出機構４Ｄ及び検出治具３Ｄは、タブ端子１０４，１１４の下方に配設されている。そして、検出治具３と検出治具３Ｄとでタブ端子１０４，１１４を挟み込むように、タブ端子１０４，１１４の上面に検出治具３のプローブＰを接触させ、タブ端子１０４，１１４の下面に検出治具３ＤのプローブＰを接触させるようになっている。

図１３に示すように、検査装置１ａは、検出治具３に設けられたプローブＰ１〜Ｐ５に加えて、検出治具３Ｄに設けられたプローブＰ１１〜Ｐ１５を備える。プローブＰ１とプローブＰ１１とが対向配置され、プローブＰ２とプローブＰ１２とが対向配置され、以下、プローブＰ３〜Ｐ５とプローブＰ１３〜Ｐ１５とがそれぞれ対向配置されている。

プローブＰ１１，Ｐ１３，Ｐ１５には供給スイッチ対４４が接続され、プローブＰ１２，Ｐ１４には検出スイッチ対４５が接続されている。

プローブＰ１１の供給スイッチ対４４には正供給スイッチＦｐ１１と負供給スイッチＦｍ１１とが含まれている。同様に、プローブＰ１３，Ｐ１５の供給スイッチ対４４には正供給スイッチＦｐ１３，Ｆｐ１５と負供給スイッチＦｍ１３，Ｆｍ１５とが含まれている。

プローブＰ１２の検出スイッチ対４５には正検出スイッチＳｐ１２と負検出スイッチＳｍ１２とが含まれている。同様に、プローブＰ１４の検出スイッチ対４５には正検出スイッチＳｐ１４と負検出スイッチＳｍ１４とが含まれている。

検査装置１ａは、さらに、正供給スイッチＦｐの接続先を電源部４２の正極と検出部４３の正極との間で切り換える入替スイッチＳＷ１と、負供給スイッチＦｍの接続先を電源部４２の負極と検出部４３の負極との間で切り換える入替スイッチＳＷ２と、正検出スイッチＳｐの接続先を検出部４３の正極と電源部４２の正極との間で切り換える入替スイッチＳＷ３と、負検出スイッチＳｍの接続先を検出部４３の負極と電源部４２の負極との間で切り換える入替スイッチＳＷ４とを備えている。

また、検査装置１ａは、検査処理部５の代わりに検査処理部５ａを備える。

以下、上述のように構成された検査装置１ａの動作について、図１３〜図１６を参照しつつ説明する。

まず、検査処理部５ａは、タブ端子１０４の一方の面に接触する供給プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５のうち、まだ第一供給プローブとして選択されていないプローブＰを第一供給プローブとして選択し、タブ端子１０４の他方の面に接触する供給プローブＰ１１，Ｐ１３，Ｐ１５のうち第一供給プローブに対向する供給プローブＰを第二供給プローブとして選択する（ステップＳ１ａ：（ａ１））。

次に、検査処理部５ａは、タブ端子１０４の一方の面に接触する検出プローブＰ２，Ｐ４のうち、まだ第一検出プローブとして選択されていないプローブＰの中から、第一供給プローブと隣接する検出プローブＰを第一検出プローブとして選択し、タブ端子１０４の他方の面に接触する検出プローブＰ１２，Ｐ１４の中から、第一検出プローブに対向する検出プローブＰを第二検出プローブとして選択する（ステップＳ２ａ：（ａ１））。

なお、検査処理部５ａは、必ずしもまだ第一検出プローブとして選択されていないプローブＰの中から第一検出プローブを選択する例に限られず、第一検出プローブについては、すでに第一検出プローブとして選択されたことのあるプローブＰを再び選択してもよい。

次に、上述と同様にステップＳ３，Ｓ４（ｂ１）が実行される。例えば第一供給プローブとしてプローブＰ１、第二供給プローブとしてプローブＰ１１が選択されているとき、検査処理部５ａは、プローブＰ１の正供給スイッチＦｐ１及び負供給スイッチＦｍ１のうち一方、例えば正供給スイッチＦｐ１をオンし、プローブＰ１１の正供給スイッチＦｐ１１及び負供給スイッチＦｍ１１のうち正供給スイッチＦｐとは異なる方の負供給スイッチＦｍ１１をオンする。

そうすると、図１３に示すように、電源部４２の正極が入替スイッチＳＷ１を介してプローブＰ１に接続され、電源部４２の負極が入替スイッチＳＷ２を介してプローブＰ１１に接続される結果、プローブＰ１とプローブＰ１１との間でタブ端子１０４を厚み方向に貫通するように電流Ｉが流れる。

また、例えば第一検出プローブとしてプローブＰ２、第二検出プローブとしてプローブＰ１２が選択されているとき、検査処理部５ａは、プローブＰ２の正検出スイッチＳｐ２及び負検出スイッチＳｍ２のうち一方、例えば正検出スイッチＳｐ２をオンし、プローブＰ１２の正検出スイッチＳｐ１２及び負検出スイッチＳｍ１２のうち正検出スイッチＳｐとは異なる方の負検出スイッチＳｍ１２をオンする。

そうすると、図１３に示すように、検出部４３の正極が入替スイッチＳＷ３を介してプローブＰ２に接続され、検出部４３の負極が入替スイッチＳＷ４を介してプローブＰ１２に接続される結果、プローブＰ２とプローブＰ１２との間でタブ端子１０４の厚み方向に生じた電圧が検出電圧Ｖ１として検出される。

タブ端子１０４の等価回路は、図１３に示すような抵抗ネットワークで表される。検出電圧Ｖ１は、タブ端子１０４の抵抗ネットワークに対し、プローブＰ１，Ｐ１１の接触位置で電流Ｉが流れることにより生じた電圧である。

以下、上述と同様、ステップＳ５〜Ｓ１２（ｂ１）が実行される。その結果、プローブＰ１，Ｐ１１の接触位置において、タブ端子１０４が検査される。

次に、検査処理部５ａは、タブ端子１０４の一方の面に接触する供給プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５のすべてを第一供給プローブとして選択し終えたか否かを確認する（ステップＳ１３ａ）。検査処理部５ａは、すべてのプローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５のうちまだ選択していないプローブＰがある場合（ステップＳ１３ａでＮＯ）、再びステップＳ１ａ〜Ｓ１３ａを繰り返す。

これにより、順次、プローブＰ３，Ｐ１３の接触位置、及びプローブＰ５，Ｐ１５の接触位置においてもタブ端子１０４が検査される。すなわち、ステップＳ１ａ〜Ｓ１３ａの処理によれば、すべての供給プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５及び供給プローブＰ１１，Ｐ１３，Ｐ１５の接触位置において、タブ端子１０４を厚み方向の電気特性によって検査することができる。

一方、タブ端子１０４の一方の面に接触するすべてのプローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５を第一供給プローブとして選択済の場合（ステップＳ１３ａでＹＥＳ）、検査処理部５ａは、ステップＳ３１へ移行する。

ステップＳ３１において、検査処理部５ａは、電源部４２と検出部４３の接続は後述するステップＳ３２による入れ替え済か否かを確認する（ステップＳ３１）。入れ替え済であった場合（ステップＳ３１でＹＥＳ）、処理を終了する。

一方、入れ替え済でなかった場合（ステップＳ３１でＮＯ）、検査処理部５ａは、図１６に示すように、入替スイッチＳＷ１〜ＳＷ４によって、電源部４２と検出部４３の接続を入れ替える（ステップＳ３２：（ｄ１））。

次に、検査処理部５ａは、第一、第二供給プローブ、及び第一、第二検出プローブの選択を初期化し、ステップＳ１ａへ処理を移行する（ステップＳ３３：（ｄ１））。

これにより、プローブＰ１〜Ｐ５，Ｐ１１〜Ｐ１５のいずれもが、まだ第一、第二供給プローブ、及び第一、第二検出プローブとして選択されていないものとして初期化され、電源部４２と検出部４３の接続を入れ替えた状態のまま、再びステップＳ１ａ〜Ｓ１３ａが繰り返される。

図１６を参照して、ステップＳ１ａでは、検査処理部５ａは、タブ端子１０４の一方の面に接触する供給プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５のうち、例えばまだ第一供給プローブとして選択されていないプローブＰ３を第一供給プローブとして選択し、タブ端子１０４の他方の面に接触する供給プローブＰ１１，Ｐ１３，Ｐ１５のうち第一供給プローブに対向する供給プローブＰ１３を第二供給プローブとして選択する（ステップＳ１ａ：（ａ１））。

ステップＳ２ａでは、検査処理部５ａは、タブ端子１０４の一方の面に接触する検出プローブＰ２，Ｐ４のうち、例えばまだ第一検出プローブとして選択されていないプローブＰ２を第一検出プローブとして選択し、タブ端子１０４の他方の面に接触する検出プローブＰ１２，Ｐ１４の中から、第一検出プローブに対向する検出プローブＰ１２を第二検出プローブとして選択する（ステップＳ２ａ：（ａ１））。

ステップＳ３では、検査処理部５ａは、例えば、第一供給プローブとして選択されたプローブＰ３の正供給スイッチＦｐ３をオンし、第二供給プローブとして選択されたプローブＰ１３の負供給スイッチＦｍ１３をオンする（ステップＳ３：（ｂ１））。

そうすると、入替スイッチＳＷ１〜ＳＷ４によって、電源部４２と検出部４３の接続を入れ替えられているので、プローブＰ３は検出部４３の正極に接続され、プローブＰ１３は検出部４３の負極に接続される。その結果、第一供給プローブ（プローブＰ３）と第二供給プローブ（プローブＰ１３）との間の電圧Ｖが、検出部４３によって検出される。

ステップＳ４では、検査処理部５ａは、例えば、第一検出プローブとして選択されたプローブＰ２の正検出スイッチＳｐ２をオンし、第二供給プローブとして選択されたプローブＰ１２の負検出スイッチＳｍ１２をオンする（ステップＳ４：（ｂ１））。

そうすると、入替スイッチＳＷ１〜ＳＷ４によって、電源部４２と検出部４３の接続を入れ替えられているので、プローブＰ２は電源部４２の正極に接続され、プローブＰ１２は電源部４２の負極に接続される。その結果、第一検出プローブ（プローブＰ２）と第二検出プローブ（プローブＰ１２）との間に、電源部４２から電流Ｉが流される。

以下、上述と同様、ステップＳ５〜Ｓ１２（ｂ１）が実行される。その結果、プローブＰ２，Ｐ１２の接触位置において、タブ端子１０４が検査される。さらに、ステップＳ１３ａが実行され、再びステップＳ１ａ〜Ｓ１３ａが繰り返されることによって、上述と同様、すべての検出プローブＰ２，Ｐ４及び検出プローブＰ１２，Ｐ１４の接触位置において、タブ端子１０４を厚み方向の電気特性によって検査することができる。

以上、ステップＳ１ａ〜Ｓ３３の処理によれば、ステップＳ１ａ〜Ｓ１３ａの処理によって検査された、供給プローブＰ１，Ｐ３，Ｐ５及び供給プローブＰ１１，Ｐ１３，Ｐ１５の接触位置に加えて、検出プローブＰ２，Ｐ４及び検出プローブＰ１２，Ｐ１４の接触位置においてもタブ端子１０４を厚み方向の電気特性に基づき検査することができるので、検査の分解能を向上させ、よりきめ細かくタブ端子１０４を厚み方向の電気特性に基づき検査することができる。

なお、ステップＳ３１〜Ｓ３３を実行せず、ステップＳ１３ａでＹＥＳのとき、処理を終了してもよい。また、ステップＳ１１，Ｓ１２を実行せず、ステップＳ５からステップＳ１３ａへ処理を移行してもよい。また、ステップＳ１１，Ｓ１２，Ｓ３１〜Ｓ３３を実行せず、ステップＳ５からステップＳ１３ａへ処理を移行し、ステップＳ１３ａでＹＥＳのとき、処理を終了してもよい。

すなわち、本発明の一例に係る検査装置は、電流を供給する電源部と、電圧を検出する検出部と、前記電源部の正極に接続される正供給スイッチと前記電源部の負極に接続される負供給スイッチとからなる複数の供給スイッチ対と、前記検出部の正極に接続される正検出スイッチと前記検出部の負極に接続される負検出スイッチとからなる複数の検出スイッチ対と、前記複数の供給スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正供給スイッチを介して前記電源部の正極に接続されると共に前記負供給スイッチを介して前記電源部の負極に接続され、かつ前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチとは接続されない供給プローブと、前記複数の検出スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正検出スイッチを介して前記検出部の正極に接続されると共に前記負検出スイッチを介して前記検出部の負極に接続され、かつ前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチとは接続されない検出プローブと、前記正供給スイッチ、前記負供給スイッチ、前記正検出スイッチ、及び前記負検出スイッチのオン、オフを制御することにより検査対象物の検査を行う検査処理部とを備え、前記検査処理部は、前記各供給スイッチ対の二つのスイッチを両方オンともさせることはなく、前記各検出スイッチ対の二つのスイッチを両方オンともさせることはなく、（ａ１）前記複数の供給プローブの中から、一つを第一供給プローブとして選択し、他の一つを第二供給プローブとして選択し、前記複数の検出プローブの中から、一つを第一検出プローブとして選択し、他の一つを第二検出プローブとして選択し、（ｂ１）前記第一供給プローブに対応する前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二供給プローブに対応する前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち他方をオン、前記第一検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち他方をオンしつつ、前記検出部により検出される検出電圧に基づき前記検査対象物の検査を行う。

これらの構成によれば、供給プローブに対して正供給スイッチと負供給スイッチとからなる供給スイッチ対が設けられ、かつ供給プローブには正検出スイッチ及び負検出スイッチは接続されないので、供給プローブに対して設けられるスイッチは二つである。また、検出プローブに対して正検出スイッチと負検出スイッチとからなる検出スイッチ対が設けられ、かつ検出プローブには正供給スイッチ及び負供給スイッチは接続されないので、検出プローブに対して設けられるスイッチは二つである。すなわち、電流供給用の供給プローブと、電圧検出用の検出プローブとを設けて四端子法による検査を可能にしつつ、各プローブに対して接続されるスイッチは二つでよいので、各接触子に対して四つのスイッチ素子が接続される検査装置よりも、スイッチの数を減少させることが容易である。

また、前記検査処理部は、前記（ｂ１）において、さらに、前記第一供給プローブ、前記第二供給プローブ、前記第一検出プローブ、及び前記第二検出プローブに対して、それぞれ前記（ｂ１）とは逆側のスイッチをオンにしつつ、前記検出部により検出される検出電圧に基づき検査を行うことが好ましい。

この構成によれば、プローブから検査対象物に供給される電流の向きを逆向きにして得られた検出電圧を、さらに用いて検査を行うことができるので、検査精度を向上することが容易である。

また、前記検査処理部は、（ｃ１）前記（ｂ１）の後、前記第一供給プローブ、前記第二供給プローブ、前記第一検出プローブ、及び前記第二検出プローブの各プローブを新たに選択し、前記新たに選択された前記各プローブを用いて、前記（ｂ１）を新たに実行することが好ましい。

この構成によれば、検査に用いるプローブを変更しながら、すなわち検査箇所を移動させながら、順次検査を行うことができるので、複数の検査箇所を検査することができる。

また、前記検査対象物は、面状に拡がる導電性の部材であり、前記各供給プローブと、前記各検出プローブとは、実質的に直線上に配置されて前記検査対象物の面に接触され、前記（ａ１）において、前記第一供給プローブ、前記第一検出プローブ、前記第二供給プローブ、及び前記第二検出プローブの各プローブは、この順に配置され、前記検査処理部は、前記（ｃ１）において、前記（ａ１）における前記第一検出プローブ及び前記第二検出プローブをそのまま新たな第一検出プローブ及び第二検出プローブとし、前記（ａ１）における前記第二供給プローブを新たな第一供給プローブとし、前記（ａ１）における前記第二検出プローブの、前記新たな第一供給プローブとは反対側に隣接する供給プローブを新たな第二供給プローブとして前記（ｂ１）を新たに実行することが好ましい。

この構成によれば、面状に拡がる導電性の部材における複数の領域について、領域毎に四端子法による検査を行うことができる。

また、前記検査対象物は、面状に拡がる導電性の部材であり、前記各供給プローブと、前記各検出プローブとは、実質的に直線上に配置されて前記検査対象物の面に接触され、前記（ａ１）において、前記第一検出プローブ、前記第一供給プローブ、前記第二検出プローブ、及び前記第二供給プローブの各プローブは、この順に配置され、前記検査処理部は、前記（ｃ１）において、前記（ａ１）における前記第一供給プローブ及び前記第二供給プローブをそのまま新たな第一供給プローブ及び第二供給プローブとし、前記（ａ１）における前記第二検出プローブを新たな第一検出プローブとし、前記（ａ１）における前記第二供給プローブの、前記新たな第一検出プローブとは反対側に隣接する検出プローブを新たな第二検出プローブとして前記（ｂ１）を新たに実行することが好ましい。

また、前記検査処理部は、前記（ｃ１）において、前記（ａ１）における前記第二供給プローブを新たな前記第一供給プローブとし、前記（ａ１）における前記第一及び第二供給プローブとは異なる前記供給プローブを新たな前記第二供給プローブとし、前記（ａ１）における前記第二検出プローブを新たな前記第一検出プローブとし、前記（ａ１）における前記第一及び第二検出プローブとは異なる前記検出プローブを新たな前記第二検出プローブとして前記（ｂ１）を新たに実行することが好ましい。

この構成によれば、面状に拡がる導電性の検査対象物の直線上に各プローブを配置する場合と比べて、検査対象物の自由度が増大し、各プローブを柔軟に配置することが容易となる。

また、前記検査対象物は、面状に拡がる導電性の部材であり、前記検査対象物の一方の面には、前記複数の供給プローブのうち一部の前記各供給プローブと、前記複数の検出プローブのうち一部の前記各検出プローブとが、実質的に直線上に交互に配置されて接触され、前記検査対象物の他方の面には、前記一方の面に接触された前記各供給プローブと前記各検出プローブとにそれぞれ対向配置されて、前記複数の供給プローブのうち前記一部とは別の前記各供給プローブと前記複数の検出プローブのうち前記一部とは別の前記各検出プローブとが接触され、前記検査処理部は、前記（ａ１）において、前記第一供給プローブを、前記一方の面に接触する前記複数の供給プローブの中から選択し、前記第二供給プローブとして、前記他方の面に接触する前記複数の供給プローブのうち前記第一供給プローブと対向する供給プローブを選択し、前記第一検出プローブを、前記一方の面に接触する前記複数の検出プローブのうち前記第一供給プローブと隣接する検出プローブの中から選択し、前記第二検出プローブとして、前記他方の面に接触する前記複数の検出プローブのうち前記第一検出プローブと対向する検出プローブを選択することが好ましい。

この構成によれば、検査対象物を、その厚み方向の電気特性に基づき検査することができる。

また、前記正供給スイッチに対して前記電源部の正極の代わりに前記検出部の正極を接続し、前記負供給スイッチに対して前記電源部の負極の代わりに前記検出部の負極を接続し、前記正検出スイッチに対して前記検出部の正極の代わりに前記電源部の正極を接続し、前記負検出スイッチに対して前記検出部の負極の代わりに前記電源部の負極を接続することによって、前記電源部及び前記検出部の接続を入れ替える入替スイッチをさらに備え、前記検査処理部は、前記（ａ１）、（ｂ１）の後、さらに、（ｄ１）前記入替スイッチによって前記接続を入れ替えさせた状態で、前記（ａ１）、（ｂ１）を新たに実行することが好ましい。

この構成によれば、検査対象物を、供給プローブの接触位置に加えて、検出プローブの接触位置でもその厚み方向の電気特性に基づき検査することができるので、よりきめ細かく検査を行うことができ、検査の分解能を向上させることが可能となる。

また、前記検査対象物の表面には、格子の目状に凹没した複数の凹没部が形成され、前記各プローブは、前記各凹没部に一つずつ接触されることが好ましい。

この構成によれば、一つの凹没部にプローブを一つ接触させるように、プローブを配置すればよいので、プローブの位置決めが容易である。

また、前記検査対象物の表面には、格子の目状に凹没した複数の凹没部が形成され、前記第一供給プローブと前記第一検出プローブとは、前記複数の凹没部のうち一つに接触され、前記第二供給プローブと前記第二検出プローブとは、前記一つの凹没部とは別の凹没部に接触されるようにしてもよい。

この構成によれば、一つの凹没部と、別の凹没部との間で四端子法による検査を行うことが容易となる。

また、前記検査対象物は電池のタブ端子であってもよい。

電池のタブ端子は、面状に拡がる導電性の部材であり、検査対象物として好適である。

１，１ａ検査装置
３，３Ｄ検出治具
４，４Ｄ検出機構
５，５ａ検査処理部
３１支持部材
４１接続回路
４２電源部
４３検出部
４４供給スイッチ対
４５検出スイッチ対
１００リチウムイオン二次電池
１０１正極板
１０２正極集電体
１０３，１１３リード部
１０４，１１４タブ端子（検査対象物）
１０４ａ凹没部
１０５，１１５溶着領域
１１１負極板
１１２負極集電体
２００基板（検査対象物）
２０１〜２０４検査点
３２１ベースプレート
Ｆｍ，Ｆｍ１，Ｆｍ３，Ｆｍ５，Ｆｍ７，Ｆｍ１１，Ｆｍ１３，Ｆｍ１５負供給スイッチ
Ｆｐ，Ｆｐ１，Ｆｐ３，Ｆｐ５，Ｆｐ７，Ｆｐ１１，Ｆｐ１３，Ｆｐ１５正供給スイッチ
Ｉ電流
Ｐプローブ
Ｐ１，Ｐ３，Ｐ５，Ｐ１１，Ｐ１３，Ｐ１５プローブ（供給プローブ）
Ｐ２，Ｐ４，Ｐ６，Ｐ８，Ｐ１２，Ｐ１４プローブ（検出プローブ）
Ｒ１〜Ｒ５抵抗
Ｓｍ，Ｓｍ２，Ｓｍ４，Ｓｍ６，Ｓｍ８，Ｓｍ１２，Ｓｍ１４負検出スイッチ
Ｓｐ，Ｓｐ２，Ｓｐ４，Ｓｐ６，Ｓｐ８，Ｓｐ１２，Ｓｐ１４正検出スイッチ
ＳＷ１〜ＳＷ４入替スイッチ
Ｖ，Ｖ１，Ｖ２検出電圧
Ｗ１，Ｗ３，Ｗ５配線

Claims

電流を供給する電源部と、
電圧を検出する検出部と、
前記電源部の正極に接続される正供給スイッチと前記電源部の負極に接続される負供給スイッチとからなる複数の供給スイッチ対と、
前記検出部の正極に接続される正検出スイッチと前記検出部の負極に接続される負検出スイッチとからなる複数の検出スイッチ対と、
前記複数の供給スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正供給スイッチを介して前記電源部の正極に接続されると共に前記負供給スイッチを介して前記電源部の負極に接続され、かつ前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチとは接続されない供給プローブと、
前記複数の検出スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正検出スイッチを介して前記検出部の正極に接続されると共に前記負検出スイッチを介して前記検出部の負極に接続され、かつ前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチとは接続されない検出プローブと、
前記正供給スイッチ、前記負供給スイッチ、前記正検出スイッチ、及び前記負検出スイッチのオン、オフを制御することにより検査対象物の検査を行う検査処理部とを備え、
前記検査処理部は、
前記各供給スイッチ対の二つのスイッチを両方オンともさせることはなく、
前記各検出スイッチ対の二つのスイッチを両方オンともさせることはなく、
（ａ１）前記複数の供給プローブの中から、一つを第一供給プローブとして選択し、他の一つを第二供給プローブとして選択し、前記複数の検出プローブの中から、一つを第一検出プローブとして選択し、他の一つを第二検出プローブとして選択し、
（ｂ１）前記第一供給プローブに対応する前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二供給プローブに対応する前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち他方をオン、前記第一検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち他方をオンしつつ、前記検出部により検出される検出電圧に基づき前記検査対象物の検査を行う検査装置。
前記検査処理部は、
前記（ｂ１）において、さらに、前記第一供給プローブ、前記第二供給プローブ、前記第一検出プローブ、及び前記第二検出プローブに対して、それぞれ前記（ｂ１）とは逆側のスイッチをオンにしつつ、前記検出部により検出される検出電圧に基づき検査を行う請求項１に記載の検査装置。
前記検査処理部は、
（ｃ１）前記（ｂ１）の後、前記第一供給プローブ、前記第二供給プローブ、前記第一検出プローブ、及び前記第二検出プローブの各プローブを新たに選択し、前記新たに選択された前記各プローブを用いて、前記（ｂ１）を新たに実行する請求項１又は２に記載の検査装置。
前記検査対象物は、面状に拡がる導電性の部材であり、
前記各供給プローブと、前記各検出プローブとは、実質的に直線上に配置されて前記検査対象物の面に接触され、
前記（ａ１）において、前記第一供給プローブ、前記第一検出プローブ、前記第二供給プローブ、及び前記第二検出プローブの各プローブは、この順に配置され、
前記検査処理部は、
前記（ｃ１）において、前記（ａ１）における前記第一検出プローブ及び前記第二検出プローブをそのまま新たな第一検出プローブ及び第二検出プローブとし、前記（ａ１）における前記第二供給プローブを新たな第一供給プローブとし、前記（ａ１）における前記第二検出プローブの、前記新たな第一供給プローブとは反対側に隣接する供給プローブを新たな第二供給プローブとして前記（ｂ１）を新たに実行する請求項３に記載の検査装置。
前記検査対象物は、面状に拡がる導電性の部材であり、
前記各供給プローブと、前記各検出プローブとは、実質的に直線上に配置されて前記検査対象物の面に接触され、
前記（ａ１）において、前記第一検出プローブ、前記第一供給プローブ、前記第二検出プローブ、及び前記第二供給プローブの各プローブは、この順に配置され、
前記検査処理部は、
前記（ｃ１）において、前記（ａ１）における前記第一供給プローブ及び前記第二供給プローブをそのまま新たな第一供給プローブ及び第二供給プローブとし、前記（ａ１）における前記第二検出プローブを新たな第一検出プローブとし、前記（ａ１）における前記第二供給プローブの、前記新たな第一検出プローブとは反対側に隣接する検出プローブを新たな第二検出プローブとして前記（ｂ１）を新たに実行する請求項３に記載の検査装置。
前記検査処理部は、
前記（ｃ１）において、前記（ａ１）における前記第二供給プローブを新たな前記第一供給プローブとし、前記（ａ１）における前記第一及び第二供給プローブとは異なる前記供給プローブを新たな前記第二供給プローブとし、前記（ａ１）における前記第二検出プローブを新たな前記第一検出プローブとし、前記（ａ１）における前記第一及び第二検出プローブとは異なる前記検出プローブを新たな前記第二検出プローブとして前記（ｂ１）を新たに実行する請求項３に記載の検査装置。
前記検査対象物は、面状に拡がる導電性の部材であり、
前記検査対象物の一方の面には、前記複数の供給プローブのうち一部の前記各供給プローブと、前記複数の検出プローブのうち一部の前記各検出プローブとが、実質的に直線上に交互に配置されて接触され、
前記検査対象物の他方の面には、前記一方の面に接触された前記各供給プローブと前記各検出プローブとにそれぞれ対向配置されて、前記複数の供給プローブのうち前記一部とは別の前記各供給プローブと前記複数の検出プローブのうち前記一部とは別の前記各検出プローブとが接触され、
前記検査処理部は、前記（ａ１）において、
前記第一供給プローブを、前記一方の面に接触する前記複数の供給プローブの中から選択し、
前記第二供給プローブとして、前記他方の面に接触する前記複数の供給プローブのうち前記第一供給プローブと対向する供給プローブを選択し、
前記第一検出プローブを、前記一方の面に接触する前記複数の検出プローブのうち前記第一供給プローブと隣接する検出プローブの中から選択し、
前記第二検出プローブとして、前記他方の面に接触する前記複数の検出プローブのうち前記第一検出プローブと対向する検出プローブを選択する請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査装置。
前記正供給スイッチに対して前記電源部の正極の代わりに前記検出部の正極を接続し、前記負供給スイッチに対して前記電源部の負極の代わりに前記検出部の負極を接続し、前記正検出スイッチに対して前記検出部の正極の代わりに前記電源部の正極を接続し、前記負検出スイッチに対して前記検出部の負極の代わりに前記電源部の負極を接続することによって、前記電源部及び前記検出部の接続を入れ替える入替スイッチをさらに備え、
前記検査処理部は、前記（ａ１）、（ｂ１）の後、さらに、
（ｄ１）前記入替スイッチによって前記接続を入れ替えさせた状態で、前記（ａ１）、（ｂ１）を新たに実行する請求項７に記載の検査装置。
前記検査対象物の表面には、格子の目状に凹没した複数の凹没部が形成され、
前記各プローブは、前記各凹没部に一つずつ接触される請求項４〜８のいずれか１項に記載の検査装置。
前記検査対象物の表面には、格子の目状に凹没した複数の凹没部が形成され、
前記第一供給プローブと前記第一検出プローブとは、前記複数の凹没部のうち一つに接触され、前記第二供給プローブと前記第二検出プローブとは、前記一つの凹没部とは別の凹没部に接触される請求項９に記載の検査装置。
前記検査対象物は電池のタブ端子である請求項１〜１０のいずれか１項に記載の検査装置。
電流を供給する電源部と、電圧を検出する検出部と、前記電源部の正極に接続される正供給スイッチと前記電源部の負極に接続される負供給スイッチとからなる複数の供給スイッチ対と、前記検出部の正極に接続される正検出スイッチと前記検出部の負極に接続される負検出スイッチとからなる複数の検出スイッチ対と、前記複数の供給スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正供給スイッチを介して前記電源部の正極に接続されると共に前記負供給スイッチを介して前記電源部の負極に接続される供給プローブと、前記複数の検出スイッチ対のそれぞれに対して設けられ、前記正検出スイッチを介して前記検出部の正極に接続されると共に前記負検出スイッチを介して前記検出部の負極に接続される検出プローブとを備えた検査装置を用いた検査方法であって、
前記供給プローブは、前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチとは接続されず、
前記検出プローブは、前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチとは接続されず、
前記各供給スイッチ対の二つのスイッチを両方ともオンさせることはなく、
前記各検出スイッチ対の二つのスイッチを両方ともオンさせることはなく、
（ａ１）前記複数の供給プローブの中から、一つを第一供給プローブとして選択し、他の一つを第二供給プローブとして選択し、前記複数の検出プローブの中から、一つを第一検出プローブとして選択し、他の一つを第二検出プローブとして選択し、
（ｂ１）前記第一供給プローブに対応する前記供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二供給プローブに対応する前記正供給スイッチ及び前記負供給スイッチの各スイッチのうち他方をオン、前記第一検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち一方をオン、前記第二検出プローブに対応する前記正検出スイッチ及び前記負検出スイッチの各スイッチのうち他方をオンしつつ、前記検出部により検出される検出電圧に基づき検査対象物の検査を行う検査方法。