JP2017053744A

JP2017053744A - 測定装置および検査装置

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Publication number: JP2017053744A
Application number: JP2015178268A
Authority: JP
Inventors: 和浩伴; Kazuhiro Ban
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2015-09-10
Filing date: 2015-09-10
Publication date: 2017-03-16
Anticipated expiration: 2035-09-10
Also published as: JP6563282B2

Abstract

【課題】測定電流の供給経路が１系統の構成でもこの電流による誘導起電力の影響を低減する。【解決手段】極Ｈｃ，Ｌｃから測定電流を出力する電流源２ａおよび極Ｈｐ，Ｌｐ間の電圧を測定する電圧計２ｂを有する抵抗測定部２と、回路基板５の一方の面側にあってプローブ１２ａ，・・・およびスキャナボード１３を有するプローブユニット３と、回路基板５の他方の面側にあってプローブ２２ａ，・・・およびスキャナボード２３を有するプローブユニット４とを備え、各極Ｈｃ〜Ｌｐとユニット３のボード１３とはラインＬ１〜Ｌ４を介して直接接続され、ユニット３にはラインＬ１〜Ｌ４を介して各極Ｈｃ〜Ｌｐと一対一で接続されたコンタクトＣＮＴ１１〜ＣＮＴ１４が設けられ、プローブユニット４にはコンタクトＣＮＴ１１〜ＣＮＴ１４と接触してボード２３をユニット３を経由して各極Ｈｃ〜Ｌｐと接続するコンタクトＣＮＴ２１〜ＣＮＴ２４が設けられている。【選択図】図１

Description

本発明は、回路基板の一方の面および他方の面の各面側にこの回路基板に対してそれぞれ接離自在に配設された一対のプローブユニットと、この一対のプローブユニットにおける回路基板に対向する対向面に設けられた複数のプローブのうちから選択された一対のプローブを介してこの一対のプローブと接触している回路基板における測定対象（回路基板のスルーホールや実装部品など）に測定電流を供給すると共にこの一対のプローブ間に発生する電圧を測定する測定装置および検査装置に関するものである。

この種の測定装置として、出願人は、下記の特許文献１に開示された抵抗測定装置を既に提案している。この抵抗測定装置は、２つの抵抗測定部（直流定電流源および電圧計を備えて構成された測定部）が設けられた計測ボードと、この計測ボードに接続されたスキャナボードをそれぞれ収納している上部のスキャナラックおよび下部のスキャナラックとを備え、回路基板における測定対象（例えば、回路基板に穿設されたスルーホールや、回路基板に実装された抵抗素子などの被測定体）の抵抗値を測定する。

具体的には、この抵抗測定装置では、回路基板の装着部位の上側に上部のスキャナラックが配置されると共に、この装着部位の下側に下部のスキャナラックが配置されている。また、上部のスキャナラック内に収納されたスキャナボードには、複数の測定対象の一方の端子部側に接触する複数のプローブが設けられ、下部のスキャナラック内に収納されたスキャナボードには、複数の測定対象の他方の端子部側に接触する複数のプローブが設けられている。これにより、上部のスキャナラック内に収納されたスキャナボードと下部のスキャナラック内に収納されたスキャナボードとが対となって、回路基板における複数の測定対象体から選択された２つの測定対象（互いに隣接する測定対象）の抵抗値測定を実行する。

また、抵抗測定装置では、抵抗値測定に際して、この隣接する２つの測定対象のうちの一方の測定対象に対しては、計測ボード内の２つの抵抗測定部のうちの一方の抵抗測定部から、例えば下部のスキャナラック内のスキャナボード側から上部のスキャナラック内のスキャナボード側に向かう向きで直流の定電流（測定電流）を流し、２つの測定対象のうちの他方の測定対象に対しては、計測ボード内の２つの抵抗測定部のうちの他方の抵抗測定部から、例えば上部のスキャナラック内のスキャナボード側から下部のスキャナラック内のスキャナボード側に向かう向きで直流の定電流（上記の測定電流の電流値と同じ電流値の他の測定電流）を流す。つまり、この抵抗測定装置は、測定電流の供給系統を２系統有して、上記の一方の測定対象およびこの測定対象に接続されている配線（つまり、一方の測定対象についての電流ループ）に流れる電流の流れ方向と、上記の他方の測定対象およびこの測定対象に接続されている配線（つまり、他方の測定対象についての電流ループ）に流れる電流の流れ方向とが逆方向になり、かつ互いの電流値が同じになるように、この２つの測定対象に対して２つの供給系統から測定電流をそれぞれ供給する。

これにより、この抵抗測定装置では、一方の測定対象への測定電流の通電によりこの測定電流の流れる電流ループに生じる誘導起電力を、他方の測定対象への測定電流の通電によりこの測定電流の流れる他の電流ループに生じる他の誘導起電力で打ち消す（キャンセルする）ことが可能となることから、この誘導起電力の影響を受けることなく、素早くより正確に各測定対象の抵抗値を測定し、かつこの抵抗値に基づいて素早くより正確に２つの測定対象を検査し得るようになっている。

特開２０１３−２５７２５９号公報（第６−１０頁、第１−２図）

ところで、上記の特許文献１に開示されている抵抗測定装置では、上記したように、測定電流の供給系統を２系統有して、回路基板における２つの測定対象に対して、同一の電流値の測定電流を同時に逆向きで流すことで各測定電流の通電によって生じる誘導起電力を打ち消しているが、この抵抗測定装置には、測定電流の供給系統を２系統有し、これに合わせて電圧の検出系統も２系統有する構成のため、装置コストが上昇するという課題が存在している。このため、本願出願人は、装置コストの低減を図ることを目的として、図４に示す構成の測定装置５１、つまり、上記した抵抗測定装置が有する２系統の電流の供給経路および２系統の電圧の検出経路についての構成のうちの１系統分（電流の供給経路および電圧の検出経路がそれぞれ１系統）の構成を備えた測定装置５１を開発している。

この測定装置５１は、同図に示すように、１つの抵抗測定部５２、上部および下部のプローブユニット（複数のスキャナボード１３，２３およびこのスキャナボード１３，２３を収納するスキャナラック６１，７１を有するユニット）５３，５４、およびこのプローブユニット５３，５４間に規定された測定位置に配置される回路基板５に対して各プローブユニット５３，５４を接離動させる不図示の移動機構を備え、回路基板５に存在する測定対象８１（回路基板５に穿設されたスルーホール８１ａや、回路基板５に実装された抵抗素子８１ｂ）の抵抗値を４端子法によって測定する抵抗測定装置として構成されている。

具体的には、抵抗測定部５２は、一例として、直流定電流源５２ａ、電圧計５２ｂおよび不図示の処理部を備え、処理部が、直流定電流源５２ａから測定対象に供給されている定電流（測定電流）の電流値と、電圧計５２ｂで測定された定電流の供給時における測定対象の両端間電圧とに基づいて測定対象の抵抗値を測定することが可能に構成されている。直流定電流源５２ａは、生成した測定電流を、高電位極Ｈｃに接続された第１電流供給ラインＬ１と低電位極Ｌｃに接続された第２電流供給ラインＬ２との間に出力する。電圧計５２ｂは、高電位極Ｈｐに接続された第１電圧検出ラインＬ３と低電位極Ｌｐに接続された第２電圧検出ラインＬ４との間に生じている電圧を測定する。

また、この測定装置５１では、２つのプローブユニット５３，５４を備える構成のため、各電流供給ラインＬ１，Ｌ２は電流分岐ラインＬ１ａ，Ｌ１ｂと電流分岐ラインＬ２ａ，Ｌ２ｂとにそれぞれ分岐されて、電流分岐ラインＬ１ａおよび電流分岐ラインＬ２ａの組がプローブユニット５３に接続され、電流分岐ラインＬ１ｂおよび電流分岐ラインＬ２ｂの組がプローブユニット５４に接続されている。同様にして、各電圧検出ラインＬ３，Ｌ４も電圧分岐ラインＬ３ａ，Ｌ３ｂと電圧分岐ラインＬ４ａ，Ｌ４ｂとにそれぞれ分岐されて、電圧分岐ラインＬ３ａおよび電圧分岐ラインＬ４ａの組がプローブユニット５３に接続され、電圧分岐ラインＬ３ｂおよび電圧分岐ラインＬ４ｂの組がプローブユニット５４に接続されている。

上部のプローブユニット５３は、回路基板５に対向する対向面（同図中の下面）に複数のプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・・（以下、特に区別しないときにはプローブ１２ともいう）が立設されたスキャナラック６１内に複数のスキャナボード１３（同図中では１つのスキャナボード１３のみを図示している）が収納されて構成されている。各スキャナボード１３は、複数のプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・のうちの対応する複数のプローブ（同数のプローブ）と電気的に接続されている。この例では、図中のプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、図示されているスキャナボード１３に対応する複数のプローブに含まれている。

スキャナボード１３は、対応する複数のプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・と同数の切替スイッチ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，・・・を有している。また、各切替スイッチ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，・・・は、抵抗測定部５２の処理部によって個別に接断状態（接続状態および切断状態）が制御される４つのスイッチ回路１４ａ_１，１４ａ_２，１４ａ_３，１４ａ_４、スイッチ回路１４ｂ_１，１４ｂ_２，１４ｂ_３，１４ｂ_４、スイッチ回路１４ｃ_１，１４ｃ_２，１４ｃ_３，１４ｃ_４、スイッチ回路１４ｄ_１，１４ｄ_２，１４ｄ_３，１４ｄ_４、・・・をそれぞれ有している。

また、各スイッチ回路１４ａ_１，１４ｂ_１，１４ｃ_１，１４ｄ_１は、対応するプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと対応する内部配線Ｌ１１（スキャナラック６１に配設されたコネクタＣＮを介して電流分岐ラインＬ１ａと接続された配線）とを接断（接続および切断）する機能を有し、各スイッチ回路１４ａ_２，１４ｂ_２，１４ｃ_２，１４ｄ_２は、対応するプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと対応する内部配線Ｌ１２（コネクタＣＮを介して電流分岐ラインＬ２ａと接続された配線）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路１４ａ_３，１４ｂ_３，１４ｃ_３，１４ｄ_３は、対応するプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと対応する内部配線Ｌ１３（コネクタＣＮを介して電圧分岐ラインＬ３ａと接続された配線）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路１４ａ_４，１４ｂ_４，１４ｃ_４，１４ｄ_４は、対応するプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと対応する内部配線Ｌ１４（コネクタＣＮを介して電圧分岐ラインＬ４ａと接続された配線）とを接断する機能を有している。以上の構成により、スキャナボード１３は、対応する複数のプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・のうちの任意のプローブを抵抗測定部５２の一対の出力端子（高電位極Ｈｃ，低電位極Ｌｃ）および一対の検出端子（高電位極Ｈｐ，低電位極Ｌｐ）のうちの任意の１つの端子に接続する機能を有している。

下部のプローブユニット５４は、回路基板５との対向面（同図中の上面）に複数のプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，・・・・（以下、特に区別しないときにはプローブ２２ともいう）が立設されたスキャナラック７１内に複数のスキャナボード２３（同図中では１つのスキャナボード２３のみを図示している）が収納されて構成されている。各スキャナボード２３は、複数のプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，・・・のうちの対応する複数のプローブ（同数のプローブ）と電気的に接続されている。この例では、図中のプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄは、図示されているスキャナボード２３に対応する複数のプローブに含まれている。

スキャナボード２３は、対応する複数のプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，・・・と同数の切替スイッチ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ，・・・を有している。また、各切替スイッチ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ，・・・は、抵抗測定部５２の処理部によって個別に接断状態が制御される４つのスイッチ回路２４ａ_１，２４ａ_２，２４ａ_３，２４ａ_４、スイッチ回路２４ｂ_１，２４ｂ_２，２４ｂ_３，２４ｂ_４、スイッチ回路２４ｃ_１，２４ｃ_２，２４ｃ_３，２４ｃ_４、スイッチ回路２４ｄ_１，２４ｄ_２，２４ｄ_３，２４ｄ_４、・・・をそれぞれ有している。

また、各スイッチ回路２４ａ_１，２４ｂ_１，２４ｃ_１，２４ｄ_１は、対応するプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと対応する内部配線Ｌ２１（スキャナラック７１に配設されたコネクタＣＮを介して電流分岐ラインＬ１ｂと接続された配線）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路２４ａ_２，２４ｂ_２，２４ｃ_２，２４ｄ_２は、対応するプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと対応する内部配線Ｌ２２（コネクタＣＮを介して電流分岐ラインＬ２ｂと接続された配線）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路２４ａ_３，２４ｂ_３，２４ｃ_３，２４ｄ_３は、対応するプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと対応する内部配線Ｌ２３（コネクタＣＮを介して電圧分岐ラインＬ３ｂと接続された配線）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路２４ａ_４，２４ｂ_４，２４ｃ_４，２４ｄ_４は、対応するプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと対応する内部配線Ｌ２４（コネクタＣＮを介して電圧分岐ラインＬ４ｂと接続された配線）とを接断する機能を有している。以上の構成により、スキャナボード２３は、対応する複数のプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，・・・のうちの任意のプローブを抵抗測定部５２の一対の出力端子（高電位極Ｈｃ，低電位極Ｌｃ）および一対の検出端子（高電位極Ｈｐ，低電位極Ｌｐ）のうちの任意の１つの端子に接続する機能を有している。

この測定装置５１では、回路基板５に存在する測定対象８１の抵抗値を測定する際には、各プローブユニット５３，５４は不図示の移動機構によって回路基板５側に移動（接近）させられて、それぞれのプローブ１２，２２は、対応するテストポイントＴＰと接触する状態（プロービング状態）に移行する。

この場合、スルーホール８１ａについては、その一端側は回路基板５におけるプローブユニット５３との対向面に形成されたランド（テストポイントＴＰ１）に接続され、その他端側は回路基板５におけるプローブユニット５４との対向面に形成されたランド（テストポイントＴＰ２）に接続されている。したがって、テストポイントＴＰ１には、プローブユニット５３側の複数のプローブ１２のうちの２つのプローブ１２が接触し、テストポイントＴＰ２には、プローブユニット５４側の複数のプローブ２２のうちの２つのプローブ２２が接触する。一例として、この例では、図５に示すように、テストポイントＴＰ１には、２つのプローブ１２ａ，１２ｂが接触し、テストポイントＴＰ２には、２つのプローブ２２ａ，２２ｂが接触するものとする。

また、テストポイントＴＰ１に接触しているプローブ１２ａ，１２ｂに対して配設された切替スイッチ１４ａ，１４ｂが処理部によって制御されることにより、一例として、切替スイッチ１４ａの各スイッチ回路のうちのスイッチ回路１４ａ_１のみが切断状態（非接続状態）から接続状態に移行してプローブ１２ａを内部配線Ｌ１１に接続することで電流分岐ラインＬ１ａに接続し、切替スイッチ１４ｂの各スイッチ回路のうちのスイッチ回路１４ｂ_３のみが切断状態から接続状態に移行してプローブ１２ｂを内部配線Ｌ１３に接続することで電圧分岐ラインＬ３ａに接続する。また、テストポイントＴＰ２に接触しているプローブ２２ａ，２２ｂに対して配設された切替スイッチ２４ａ，２４ｂが処理部によって制御されることにより、切替スイッチ２４ａの各スイッチ回路のうちのスイッチ回路２４ａ_２のみが切断状態から接続状態に移行してプローブ２２ａを内部配線Ｌ２２に接続することで電流分岐ラインＬ２ｂに接続し、切替スイッチ２４ｂの各スイッチ回路のうちのスイッチ回路２４ｂ_４のみが切断状態から接続状態に移行してプローブ２２ｂを内部配線Ｌ２４に接続することで電圧分岐ラインＬ４ｂに接続する。

これにより、直流定電流源５２ａから高電位極Ｈｃおよび低電位極Ｌｃ間に出力される測定電流は、高電位極Ｈｃから、第１電流供給ラインＬ１、電流分岐ラインＬ１ａ、プローブユニット５３内の内部配線Ｌ１１、切替スイッチ１４ａのスイッチ回路１４ａ_１、プローブ１２ａ、テストポイントＴＰ１、スルーホール８１ａ、テストポイントＴＰ２、プローブユニット５４側のプローブ２２ａ、プローブユニット５４内の切替スイッチ２４ａのスイッチ回路２４ａ_２、内部配線Ｌ２２、電流分岐ラインＬ２ｂ、および第２電流供給ラインＬ２を経由して低電位極Ｌｃに至る電流経路（図４，５の破線で示すループの面積の広い電流経路ＣＣ）に流れる。

また、電圧計５２ｂは、測定電流が流れることによってスルーホール８１ａの両端間（各テストポイントＴＰ１，ＴＰ２間）に発生する電圧（両端間電圧）を、高電位極Ｈｐから、第１電圧検出ラインＬ３、電圧分岐ラインＬ３ａ、プローブユニット５３内の内部配線Ｌ１３、および切替スイッチ１４ａのスイッチ回路１４ａ_３を経由してプローブ１２ｂに至る高電位側の電圧検出経路（上記の電流経路ＣＣのほぼ半分の経路に沿って配置される電圧検出経路）と、低電位極Ｌｐから、第２電圧検出ラインＬ４、電圧分岐ラインＬ４ｂ、プローブユニット５４内の内部配線Ｌ２４、および切替スイッチ２４ｂのスイッチ回路２４ｂ_４を経由してプローブ２２ｂに至る低電位側の電圧検出経路（上記の電流経路ＣＣの残りのほぼ半分の経路に沿って配置される電圧検出経路）とを介して測定する。また、処理部が、直流定電流源５２ａから出力されている測定電流の電流値と、電圧計５２ｂで測定された両端間電圧の電圧値とに基づいて、テストポイントＴＰ１，ＴＰ２間の抵抗値（この例ではスルーホール８１ａについての抵抗値）を算出（測定）する。

しかしながら、この測定装置５１では、このようにして回路基板５におけるプローブユニット５３との対向面に形成されたランド（テストポイントＴＰ１）と、回路基板５におけるプローブユニット５４との対向面に形成されたランド（テストポイントＴＰ２）との間に位置する測定対象８１（この例ではスルーホール８１ａ）の抵抗値を算出する際に、上記したような面積の広い電流経路ＣＣ（各プローブユニット５３，５４に接続される２つの電流分岐ラインＬ１ａ，Ｌ２ｂを含んで構成される電流経路）に測定電流が流れ、かつこの電流経路ＣＣに沿って電圧検出経路（各プローブユニット５３，５４に接続される２つの電圧分岐ラインＬ３ａ，Ｌ４ｂを含んで構成される電圧検出経路）が配置される構成（電圧検出経路の面積も広くなる構成）である。このため、この測定装置５１には、測定電流の供給の開始時や停止時に発生する磁気誘導が電圧検出経路側に影響を与えて、電圧計５２ｂの測定、ひいては抵抗測定に誤差が生じるという改善すべき課題が生じる。また、この測定装置５１には、上記したように電圧検出経路の面積が広い構成に起因して外部からの誘導性ノイズの影響を受けやすいことからも、電圧計５２ｂの測定、ひいては抵抗測定に誤差が生じるという改善すべき課題が生じる。

なお、この測定装置５１において、回路基板５におけるプローブユニット５３，５４との各対向面のうちの１つの対向面上に実装された測定対象８１（例えば、図４に示すようにプローブユニット５４との対向面に実装されて、その両端がこの対向面上に形成された各テストポイントＴＰ３，ＴＰ４に接続されている抵抗素子８１ｂ）を測定する際には、図６に示すように、プローブユニット５４側に設けられている複数のプローブのうちの４つのプローブ（同図では一例として、プローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ）を対応するテストポイントＴＰ３，ＴＰ４に接触させる構成となる。なお、プローブユニット５３側に設けられている複数のプローブも、対応する不図示のテストポイントに接触させられる。

この場合、図示はしないが、測定電流が流れる電流経路はプローブユニット５３，５４のうちの１つのプローブユニット（この例ではプローブユニット５４）に接続される電流分岐ライン（この例では、電流分岐ラインＬ１ｂ，Ｌ２ｂ）だけで構成され、かつ電圧検出経路もこの１つのプローブユニット（プローブユニット５４）に接続される電圧分岐ライン（この例では、電圧分岐ラインＬ３ｂ，Ｌ４ｂ）だけで構成されるようになるため、電流経路のループの面積は上記のスルーホール８１ａを測定対象８１とする場合と比べて狭くなり、かつ電圧検出経路のループの面積も狭くなることから、測定装置５１でも、電圧計５２ｂでの電圧測定、ひいては抵抗素子８１ｂの抵抗測定が、上記の磁気誘導や誘導性ノイズの影響が低減された状態で実行可能となっている。

また、この測定装置５１は、プローブユニット５３，５４間に規定された測定位置に対して未測定の回路基板５を搬入する不図示の搬入機構と、測定位置に位置する既測定の回路基板５を測定位置から搬出する不図示の搬出機構とを備え、この搬入機構および搬出機構は測定位置の近傍に配設されるが、抵抗測定部５２が各プローブユニット５３，５４のうちの一方の側（図４ではプローブユニット５３側）に配置されている場合に、この測定装置５１では、抵抗測定部５２と各プローブユニット５３，５４とを接続する分岐ラインの２つの組（第１の組は、電流分岐ラインＬ１ａ，Ｌ２ａおよび電圧分岐ラインＬ３ａ，Ｌ４ａの組で、第２の組は、電流分岐ラインＬ１ｂ，Ｌ２ｂおよび電圧分岐ラインＬ３ｂ，Ｌ４ｂの組）のうちの一方の組（図４では第２の組）がプローブユニット５３，５４間に掛け渡される構成が必須となる。このため、この測定装置５１には、この分岐ラインの一方の組（つまり、配線ケーブル）が、搬入機構および搬出機構のうちの少なくとも一方の機構の設置（つまり、回路基板５の搬送）の障害となるという改善すべき他の課題も存在している。この課題は、この分岐ラインの一方の組（配線ケーブル）を、この一方の機構との干渉を避けるようにして迂回して配線する方法を採用することで解消することも可能であるが、この迂回によって上記の電流経路ＣＣおよび電圧検出経路の各面積が一層広くなり、上記した磁気誘導や外部からの誘導性ノイズの影響を一層受けやすくなることから、この方法の採用は難しい。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、測定電流の供給経路を１系統しか有していない構成においても、各プローブユニット間への配線ケーブルの掛け渡しを不要にしつつ、測定電流の通電に起因して生じる誘導起電力の影響や誘導性ノイズの影響を常に低減し得る測定装置および検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、一対の出力端子から測定電流を出力する電流出力部および一対の検出端子間の電圧を測定する電圧測定部を有する抵抗測定部と、測定位置に配置された回路基板の一方の面に対向してかつ当該回路基板に対して接離動可能に配設されて、当該一方の面に形成された複数のテストポイントにプロービング可能な複数のプローブが当該一方の面に対向する第１対向面に設けられると共に当該複数のプローブのうちの任意のプローブを前記一対の出力端子および前記一対の検出端子のうちの任意の１つの端子に接続するための第１スキャナ部を有する第１プローブユニットと、前記測定位置に配置された前記回路基板の他方の面に対向してかつ当該回路基板に対して接離動可能に配置されて、当該他方の面に形成された複数のテストポイントにプロービング可能な複数のプローブが当該他方の面に対向する第２対向面に設けられると共に当該複数のプローブのうちの任意のプローブを前記一対の出力端子および前記一対の検出端子のうちの任意の１つの端子に接続するための第２スキャナ部を有する第２プローブユニットとを備えている測定装置であって、前記抵抗測定部および前記第１プローブユニットは、前記一対の出力端子および前記一対の検出端子と、前記第１スキャナ部とを電気的に接続するための複数の配線ケーブルを介して直接接続され、前記第１対向面における前記第２対向面と直接向かい合う部位に配設されると共に前記第１プローブユニット内の内部配線および前記配線ケーブルを介して前記一対の出力端子および前記一対の検出端子と一対一で接続された複数の第１コンタクトと、前記第２対向面における前記第１対向面と直接向かい合う部位に前記第１コンタクトに対向して配設されて、前記第２プローブユニット内の内部配線を介して前記第２スキャナ部に接続された複数の第２コンタクトとを有し、前記第１プローブユニットおよび前記第２プローブユニットの前記プローブが前記テストポイントにプロービングされるプロービング状態のときに、前記各第１コンタクトおよび前記各第２コンタクトが互いに電気的に接触する接触状態に移行し、前記プロービング状態が解除されたときに、当該各第１コンタクトおよび当該各第２コンタクトが互いに離間して非接触状態に移行する。

また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の測定装置を備えると共に、前記抵抗測定部に配設されて、前記測定電流の電流値および前記電圧測定部によって測定された前記一対の検出端子間の前記電圧の電圧値に基づいて当該一対の検出端子間に接続された測定対象の抵抗値を測定すると共に当該測定した抵抗値に基づいて当該測定対象を検査する処理部を備えている。

請求項１記載の測定装置および請求項２記載の検査装置によれば、各プローブユニット間への配線ケーブルの掛け渡しを不要にしつつ、抵抗測定部から各プローブユニットの各プローブに至る経路（電流経路や電圧検出経路となる経路）のうちの主たる部分を占める抵抗測定部と第１プローブユニットとを接続する複数の配線ケーブルでの電流経路についてのループの面積および電圧検出経路についてのループの面積を小さいものとすることができるため、測定電流の供給経路を１系統しか有していない構成（つまり、１つの電流出力部しか有していない構成）においても、測定電流の供給（通電）に起因して電流経路に生じる誘導起電力の電圧検出経路への影響や、誘導性ノイズの電圧検出経路への影響を確実に低減しつつ、測定対象に生じる電圧の電圧値および測定対象の抵抗値を高い精度で測定することができる。また、この検査装置によれば、この高い精度で測定された抵抗値に基づいて、測定対象を高い精度で検査することができる。

測定装置１の構成図である。回路基板５に形成されたスルーホール８１ａの抵抗値を測定している状態での測定装置１の構成図（一部の構成要素を省略した構成図）である。回路基板５に実装された抵抗素子８１ｂの抵抗値を測定している状態での測定装置１の構成図（一部の構成要素を省略した構成図）である。測定装置５１の構成図である。回路基板５に形成されたスルーホール８１ａの抵抗値を測定している状態での測定装置５１の構成図（一部の構成要素を省略した構成図）である。回路基板５に実装された抵抗素子８１ｂの抵抗値を測定している状態での測定装置５１の構成図（一部の構成要素を省略した構成図）である。

以下、測定装置および検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、この測定装置１の構成について説明する。この測定装置１は、図１に示すように、一例として、１つの抵抗測定部２、２つのプローブユニット３，４、およびこのプローブユニット３，４間に規定された測定位置に配置される回路基板５に対して各プローブユニット３，４を接離動させる不図示の移動機構を備え、回路基板５に存在する測定対象８１（回路基板５に穿設されたスルーホール８１ａや、回路基板５に実装された抵抗素子８１ｂ）の抵抗値を４端子法によって測定する抵抗測定装置として構成されている。

具体的には、抵抗測定部２は、図１に示すように、一例として、電流源２ａ、電圧計２ｂおよび処理部２ｃを備えている。電流源（電流出力部）２ａは、一例として定電流源（直流定電流源または交流定電流源。本例では一例として直流定電流源）で構成されて、直流定電流（電流値は既知）である測定電流を生成して、一対の出力端子（高電位極Ｈｃおよび低電位極Ｌｃ）間から出力する。この場合、高電位極Ｈｃには配線ケーブルとしての第１電流供給ラインＬ１が接続され、その低電位極Ｌｃには配線ケーブルとしての第２電流供給ラインＬ２が接続されているため、測定電流は、両電流供給ラインＬ１，Ｌ２間に出力される。抵抗測定部２は、各プローブユニット３，４のうちのいずれか一方と配線ケーブルを介して直接接続されるが、本例では一例として、抵抗測定部２は、各電流供給ラインＬ１，Ｌ２および後述する各電圧検出ラインＬ３，Ｌ４を介して第１プローブユニットとしてのプローブユニット３と直接接続されている。

電圧計（電圧測定部）２ｂは、一対の検出端子（高電位極Ｈｐおよび低電位極Ｌｐ）間に生じている電圧を測定する。この場合、高電位極Ｈｐには配線ケーブルとしての第１電圧検出ラインＬ３が接続され、その低電位極Ｌｐには配線ケーブルとしての第２電圧検出ラインＬ４が接続されているため、電圧計２ｂは、両電圧検出ラインＬ３，Ｌ４間に生じている電圧を測定する。

処理部２ｃは、例えばコンピュータで構成されて、電流源２ａから出力されている測定電流の電流値および電圧計２ｂで測定された電圧の電圧値に基づいて、測定対象８１の抵抗値を測定する抵抗測定処理を実行する。また、処理部２ｃは、不図示の制御用ケーブルを介して各プローブユニット３，４と接続されて、各プローブユニット３，４内にそれぞれ配設された後述するスキャナボードに対する制御処理を実行する。

プローブユニット３は、図１に示すように、上記の測定位置に配置される回路基板５の一方の面側に、この一方の面に対向した状態で、かつ移動機構によってこの回路基板５と直交する方向に沿って移動可能（つまり、回路基板５に対して接離動可能）に配設されている。また、プローブユニット３は、回路基板５の一方の面との対向面（同図中の下面。以下、第１対向面ともいう）１１ａに複数のプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・が立設されたスキャナラック１１、スキャナラック１１内に配設された内部配線Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４、スキャナラック１１に配設されたコネクタＣＮ１，ＣＮ２，ＣＮ３，ＣＮ４、スキャナラック１１に配設された第１コンタクトとしてのコンタクト（接触端子）ＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４、およびこのスキャナラック１１に収納された複数のスキャナボード１３（各スキャナボード１３は同一の構成を有しており、図１中では、そのうちの１つのスキャナボード１３のみが図示されている）を備えている。

また、プローブユニット３では、内部配線Ｌ１１が第１内部電流供給ラインとしてコネクタＣＮ１を介して第１電流供給ラインＬ１に直接接続され、内部配線Ｌ１２が第２内部電流供給ラインとしてコネクタＣＮ２を介して第２電流供給ラインＬ２に直接接続され、内部配線Ｌ１３が第１内部電圧検出ラインとしてコネクタＣＮ３を介して第１電圧検出ラインＬ３に直接接続され、また内部配線Ｌ１４が第２内部電圧検出ラインとしてコネクタＣＮ４を介して第２電圧検出ラインＬ４に直接接続されている。

各コンタクトＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４は、図１に示すように、第１対向面１１ａにおけるプローブユニット４の後述する第２対向面２１ａと直接向かい合う部位に配設されている。また、コンタクトＣＮＴ１１は内部配線Ｌ１１を介してコネクタＣＮ１に接続され、コンタクトＣＮＴ１２は内部配線Ｌ１２を介してコネクタＣＮ２に接続され、コンタクトＣＮＴ１３は内部配線Ｌ１３を介してコネクタＣＮ３に接続され、コンタクトＣＮＴ１４は内部配線Ｌ１４を介してコネクタＣＮ４に接続されている。この構成により、各ＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４は、第１プローブユニット３内の内部配線Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４および各ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４を介して、一対の出力端子（高電位極Ｈｃ，低電位極Ｌｃ）および一対の検出端子（高電位極Ｈｐ，低電位極Ｌｐ）と一対一で接続されている。

プローブユニット３内の各スキャナボード１３は、複数のプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・のうちの対応する複数のプローブ（同数のプローブ）と電気的に接続されている。この例では、図中のプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄは、図示されているスキャナボード１３に対応する複数のプローブに含まれている。以下、プローブユニット３内の各スキャナボード１３の構成について、図示されているスキャナボード１３を例に挙げて説明する。

スキャナボード１３は、対応する複数のプローブと同数の切替スイッチ１４を有している。具体的には、スキャナボード１３は、図１に示すように、プローブ１２ａに対応する切替スイッチ１４ａ、プローブ１２ｂに対応する切替スイッチ１４ｂ、プローブ１２ｃに対応する切替スイッチ１４ｃ、プローブ１２ｄに対応する切替スイッチ１４ｄ、・・・（特に区別しないときには切替スイッチ１４ともいう）を有している。また、各切替スイッチ１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，・・・は、抵抗測定部２の処理部２ｃによって個別に接断状態が制御される４つのスイッチ回路１４ａ_１，１４ａ_２，１４ａ_３，１４ａ_４、スイッチ回路１４ｂ_１，１４ｂ_２，１４ｂ_３，１４ｂ_４、スイッチ回路１４ｃ_１，１４ｃ_２，１４ｃ_３，１４ｃ_４、スイッチ回路１４ｄ_１，１４ｄ_２，１４ｄ_３，１４ｄ_４をそれぞれ有している。

また、本例では、図１に示すように、各スイッチ回路１４ａ_１，１４ｂ_１，１４ｃ_１，１４ｄ_１は、対応するプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと対応する内部配線Ｌ１１（すなわち、第１電流供給ラインＬ１）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路１４ａ_２，１４ｂ_２，１４ｃ_２，１４ｄ_２は、対応するプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと対応する内部配線Ｌ１２（すなわち、第２電流供給ラインＬ２）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路１４ａ_３，１４ｂ_３，１４ｃ_３，１４ｄ_３は、対応するプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと対応する内部配線Ｌ１３（すなわち、第１電圧検出ラインＬ３）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路１４ａ_４，１４ｂ_４，１４ｃ_４，１４ｄ_４は、対応するプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄと対応する内部配線Ｌ１４（すなわち、第２電圧検出ラインＬ４）とを接断する機能を有している。以上の構成により、スキャナボード１３は、対応する複数のプローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・のうちの任意のプローブを一対の出力端子（高電位極Ｈｃ，低電位極Ｌｃ）および一対の検出端子（高電位極Ｈｐ，低電位極Ｌｐ）のうちの任意の１つの端子に接続する第１スキャナ部として機能する。

プローブユニット４（第２プローブユニット）は、図１に示すように、上記の測定位置に配置される回路基板５の他方の面側に、この他方の面に対向した状態で、かつ移動機構によってこの回路基板５と直交する方向に沿って移動可能（つまり、回路基板５に対して接離動可能）に配設されている。また、プローブユニット４は、回路基板５の他方の面との対向面（同図中の上面。以下、第２対向面ともいう）２１ａに複数のプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，・・・が立設されたスキャナラック２１、スキャナラック２１内に配設された内部配線Ｌ２１，Ｌ２２，Ｌ２３，Ｌ２４、スキャナラック２１に配設された第２コンタクトとしてのコンタクトＣＮＴ２１，ＣＮＴ２２，ＣＮＴ２３，ＣＮＴ２４、およびこのスキャナラック２１に収納された複数のスキャナボード２３（各スキャナボード２３は同一の構成を有しており、図１中では、そのうちの１つのスキャナボード２３が図示されている）を備えている。

また、プローブユニット４では、内部配線Ｌ２１がコンタクトＣＮＴ２１に接続され、内部配線Ｌ２２がコンタクトＣＮＴ２２に接続され、内部配線Ｌ２３がコンタクトＣＮＴ２３に接続され、内部配線Ｌ２４がコンタクトＣＮＴ２４に接続されている。

各コンタクトＣＮＴ２１，ＣＮＴ２２，ＣＮＴ２３，ＣＮＴ２４は、図１に示すように、第２対向面２１ａにおけるプローブユニット３の第１対向面１１ａと直接向かい合う部位に、各コンタクトＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４のうちの対応するコンタクトに対向して配設されている。具体的には、コンタクトＣＮＴ２１は対応するコンタクトＣＮＴ１１と、コンタクトＣＮＴ２２は対応するコンタクトＣＮＴ１２と、コンタクトＣＮＴ２３は対応するコンタクトＣＮＴ１３と、コンタクトＣＮＴ２４は対応するコンタクトＣＮＴ１４と、それぞれ対向して配設されている。

この構成により、後述するように、各プローブユニット３，４が移動機構によって回路基板５に対して接近させられて、プローブユニット３の各プローブ（プローブ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，・・・）とプローブユニット４の各プローブ（プローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，・・・）とが、回路基板５の対応するテストポイントＴＰと接触する状態（プロービング状態）に移行した際には、各コンタクトＣＮＴ２１，ＣＮＴ２２，ＣＮＴ２３，ＣＮＴ２４も、対応する各コンタクトＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４と電気的に接触していない非接触状態から、対応する各コンタクトＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４と電気的に接触する接触状態に移行する。

これにより、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２１が、コンタクトＣＮＴ２１、コンタクトＣＮＴ１１、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１１、および第１電流供給ラインＬ１を介して高電位極Ｈｃに接続される。また、内部配線Ｌ２２が、コンタクトＣＮＴ２２、コンタクトＣＮＴ１２、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１２、および第２電流供給ラインＬ２を介して低電位極Ｌｃに接続される。また、内部配線Ｌ２３が、コンタクトＣＮＴ２３、コンタクトＣＮＴ１３、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１３、および第１電圧検出ラインＬ３を介して高電位極Ｈｐに接続される。また、内部配線Ｌ２４が、コンタクトＣＮＴ２４、コンタクトＣＮＴ１４、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１４、および第２電圧検出ラインＬ４を介して低電位極Ｌｐに接続される。つまり、プローブユニット４は、プローブユニット３を経由して抵抗測定部２の高電位極Ｈｃ，低電位極Ｌｃ，高電位極Ｈｐ，低電位極Ｌｐに接続される。

なお、各プローブユニット３，４が回路基板５から離反してプロービング状態が解除されたときには、各コンタクトＣＮＴ２１，ＣＮＴ２２，ＣＮＴ２３，ＣＮＴ２４も、対応する各コンタクトＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４から離間して非接触状態に移行する。

プローブユニット４内の各スキャナボード２３は、複数のプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，・・・のうちの対応する複数のプローブ（同数のプローブ）と電気的に接続されている。この例では、図中のプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄは、図示されているスキャナボード２３に対応する複数のプローブに含まれている。以下、プローブユニット４内の各スキャナボード２３の構成について、図示されているスキャナボード２３を例に挙げて説明する。

スキャナボード２３は、対応する複数のプローブと同数の切替スイッチ２４を有している。具体的には、スキャナボード２３は、図１に示すように、プローブ２２ａに対応する切替スイッチ２４ａ、プローブ２２ｂに対応する切替スイッチ２４ｂ、プローブ２２ｃに対応する切替スイッチ２４ｃ、プローブ２２ｄに対応する切替スイッチ２４ｄ、・・・（特に区別しないときには切替スイッチ２４ともいう）を有している。また、各切替スイッチ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ，・・・は、抵抗測定部２の処理部２ｃによって個別に接断状態が制御される４つのスイッチ回路２４ａ_１，２４ａ_２，２４ａ_３，２４ａ_４、スイッチ回路２４ｂ_１，２４ｂ_２，２４ｂ_３，２４ｂ_４、スイッチ回路２４ｃ_１，２４ｃ_２，２４ｃ_３，２４ｃ_４、スイッチ回路２４ｄ_１，２４ｄ_２，２４ｄ_３，２４ｄ_４をそれぞれ有している。

また、本例では、図１に示すように、各スイッチ回路２４ａ_１，２４ｂ_１，２４ｃ_１，２４ｄ_１は、対応するプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと対応する内部配線Ｌ２１（すなわち、第１電流供給ラインＬ１）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路２４ａ_２，２４ｂ_２，２４ｃ_２，２４ｄ_２は、対応するプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと対応する内部配線Ｌ２２（すなわち、第２電流供給ラインＬ２）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路２４ａ_３，２４ｂ_３，２４ｃ_３，２４ｄ_３は、対応するプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと対応する内部配線Ｌ２３（すなわち、第１電圧検出ラインＬ３）とを接断する機能を有し、各スイッチ回路２４ａ_４，２４ｂ_４，２４ｃ_４，２４ｄ_４は、対応するプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄと対応する内部配線Ｌ２４（すなわち、第２電圧検出ラインＬ４）とを接断する機能を有している。以上の構成により、スキャナボード２３は、各コンタクトＣＮＴ２１，ＣＮＴ２２，ＣＮＴ２３，ＣＮＴ２４が対応する各コンタクトＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４と電気的に接触している状態のときに、対応する複数のプローブ２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄ，・・・のうちの任意のプローブを一対の出力端子（高電位極Ｈｃ，低電位極Ｌｃ）および一対の検出端子（高電位極Ｈｐ，低電位極Ｌｐ）のうちの任意の１つの端子に接続する第２スキャナ部として機能する。

次に、この測定装置１の動作について説明する。最初に、回路基板５に存在する測定対象８１としてのスルーホール８１ａの抵抗値を測定する動作について説明する。

測定装置１では、まず、各プローブユニット３，４が不図示の移動機構によって回路基板５側に移動（接近）させられることにより、各プローブユニット３，４に設けられている複数のプローブ１２，２２が、対応するテストポイントＴＰと接触する状態（プロービング状態）に移行する。

この場合、スルーホール８１ａについては、その一端側は回路基板５におけるプローブユニット３との対向面に形成されたランド（テストポイントＴＰ１）に接続され、その他端側は回路基板５におけるプローブユニット４との対向面に形成されたランド（テストポイントＴＰ２）に接続されている。したがって、図２に示すように、テストポイントＴＰ１には、プローブユニット３側の複数のプローブ１２のうちの２つのプローブ１２が接触し、テストポイントＴＰ２には、プローブユニット４側の複数のプローブ２２のうちの２つのプローブ２２が接触する。一例としてこの例では、同図に示すように、テストポイントＴＰ１には、２つのプローブ１２ａ，１２ｂが接触し、テストポイントＴＰ２には、２つのプローブ２２ａ，２２ｂが接触するものとする。

また、各コンタクトＣＮＴ２１，ＣＮＴ２２，ＣＮＴ２３，ＣＮＴ２４は、非接触状態から、対応する各コンタクトＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４と一対一で電気的に接触する接触状態に移行する。

また、抵抗測定部２の処理部２ｃは、プローブユニット３，４内の各スキャナボード１３，２３に対する制御処理を実行して、スキャナボード１３については、一例として、すべての切替スイッチ１４のうちのプローブ１２ａに対応する切替スイッチ１４ａに関してはスイッチ回路１４ａ_１のみが接続状態となり、プローブ１２ｂに対応する切替スイッチ１４ｂに関してはスイッチ回路１４ｂ_３のみが接続状態となり、この切替スイッチ１４ａ，１４ｂ以外の切替スイッチ１４（この図示されているスキャナボード１３以外の不図示のスキャナボード１３の切替スイッチ１４も含む）に関してはすべてのスイッチ回路が切断状態となる状態に移行させる。これにより、プローブ１２ａが、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１１および第１電流供給ラインＬ１を介して電流源２ａの高電位極Ｈｃに接続され、プローブ１２ｂが、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１３および第１電圧検出ラインＬ３を介して電圧計２ｂの高電位極Ｈｐに接続される。

また、処理部２ｃは、この制御処理により、スキャナボード２３については、一例として、すべての切替スイッチ２４のうちのプローブ２２ａに対応する切替スイッチ２４ａに関してはスイッチ回路２４ａ_２のみが接続状態となり、プローブ２２ｂに対応する切替スイッチ２４ｂに関してはスイッチ回路２４ｂ_４のみが接続状態となり、この切替スイッチ２４ａ，２４ｂ以外の切替スイッチ２４（この図示されているスキャナボード２３以外の不図示のスキャナボード２３の切替スイッチ２４も含む）に関してはすべてのスイッチ回路が切断状態となる状態に移行させる。これにより、プローブ２２ａが、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２２、コンタクトＣＮＴ２２、コンタクトＣＮＴ１２、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１２、および第２電流供給ラインＬ２を介して電流源２ａの低電位極Ｌｃに接続され、プローブ２２ｂが、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２４、コンタクトＣＮＴ２４、コンタクトＣＮＴ１４、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１４、および第２電圧検出ラインＬ４を介して電圧計２ｂの低電位極Ｌｐに接続される。

この状態において測定装置１の抵抗測定部２では、電流源２ａが、高電位極Ｈｃに接続された第１電流供給ラインＬ１と低電位極Ｌｃに接続された第２電流供給ラインＬ２との間に測定電流を出力する。この測定電流は、高電位極Ｈｃから、第１電流供給ラインＬ１、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１１、プローブユニット３内のスキャナボード１３に配設された切替スイッチ１４ａのスイッチ回路１４ａ_１、プローブユニット３側のプローブ１２ａ、テストポイントＴＰ１、スルーホール８１ａ、テストポイントＴＰ２、プローブユニット４側のプローブ２２ａ、プローブユニット４内のスキャナボード２３に配設された切替スイッチ２４ａのスイッチ回路２４ａ_２、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２２、コンタクトＣＮＴ２２、コンタクトＣＮＴ１２、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１２、および第２電流供給ラインＬ２を経由して低電位極Ｌｃに至る電流経路ＣＣ１（図２において破線で示す経路）に流れる。

また、抵抗測定部２では、電圧計２ｂが、測定電流がスルーホール８１ａを流れることによってその両端間（この例では、テストポイントＴＰ１，ＴＰ２間）に発生する両端間電圧を、高電位極Ｈｐに接続された第１電圧検出ラインＬ３から、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１３、およびプローブユニット３内のスキャナボード１３に配設された切替スイッチ１４ｂのスイッチ回路１４ｂ_３を経由してテストポイントＴＰ１と接触するプローブユニット３側のプローブ１２ｂに至る高電位側の電圧検出経路と、低電位極Ｌｐに接続された第２電圧検出ラインＬ４から、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１４、コンタクトＣＮＴ１４、コンタクトＣＮＴ２４、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２４、およびプローブユニット４内のスキャナボード２３に配設された切替スイッチ２４ｂのスイッチ回路２４ｂ_４を経由してテストポイントＴＰ２と接触するプローブユニット４側のプローブ２２ｂに至る低電位側の電圧検出経路とで検出して、この両端間電圧の電圧値を測定する。また、電圧計２ｂは、測定した両端間電圧の電圧値を処理部２ｃに出力する。

抵抗測定部２では、処理部２ｃが、電流源２ａから供給されている測定電流の電流値と、電圧計２ｂによって測定された両端間電圧の電圧値とに基づいて抵抗測定処理を実行して、スルーホール８１ａの抵抗値を算出（測定）する。これにより、スルーホール８１ａの抵抗値の測定が完了する。

この場合、測定装置１の電流経路ＣＣ１には、図２に示すように、プローブユニット３，４間において、内部配線Ｌ１１から、切替スイッチ１４ａ、プローブ１２ａ、スルーホール８１ａ、プローブ２２ａ、切替スイッチ２４ａ、内部配線Ｌ２２、コンタクトＣＮＴ２２、およびコンタクトＣＮＴ１２を経由して内部配線Ｌ１２に至るループ状の電流経路が形成される。しかしながら、このループ状の電流経路を構成する経路長は、抵抗測定部２とプローブユニット３とを接続する各電流供給ラインＬ１，Ｌ２および各電圧検出ラインＬ３，Ｌ４の経路長と比較して一般的に極めて短いものである。このため、この電流経路のループの面積は小さいものとなっている。また、抵抗測定部２とプローブユニット３とを接続する各電流供給ラインＬ１，Ｌ２および各電圧検出ラインＬ３，Ｌ４は、上記したように抵抗測定部２からプローブユニット３，４の各プローブ１２，２２に至る経路のうちの主たる部分を占めると共に、一般的に束ねられた状態で配線されることから、各電流供給ラインＬ１，Ｌ２で形成される電流経路のループの面積も小さいものとなっている。したがって、この測定装置１の電流経路ＣＣ１は、そのループの面積が全体として小さいものとなっている。

また、測定装置１では、上記した高電位側の電圧検出経路と低電位側の電圧検出経路とで形成される電圧計２ｂについての電圧検出経路についても、上記した電流経路ＣＣ１と同じ理由により、そのループの面積が全体として小さいものとなっている。

したがって、この測定装置１では、上記したように測定電流の供給経路を１系統しか有していない構成（つまり、１つの電流源２ａしか有していない構成）においても、測定電流の供給（通電）に起因して電流経路ＣＣ１に生じる誘導起電力の電圧検出経路への影響や、誘導性ノイズの電圧検出経路への影響を確実に低減しつつ、スルーホール８１ａの両端間電圧の電圧値およびスルーホール８１ａの抵抗値を高い精度で測定することが可能になっている。

次いで、回路基板５に存在する測定対象８１としての抵抗素子８１ｂの抵抗値を測定する動作について説明する。なお、この一例として、抵抗素子８１ｂは、図１，３に示すように、回路基板５の他方の面上に実装されているものとする。

測定装置１では、まず、各プローブユニット３，４が不図示の移動機構によって回路基板５側に移動（接近）させられることにより、図３に示すように、各プローブユニット３，４に設けられている複数のプローブ１２，２２が、対応するテストポイントＴＰと接触する状態（プロービング状態）に移行する。なお、図３では、動作の理解を容易にするため、プローブユニット４に設けられている複数のプローブ２２と、対応するテストポイントＴＰとの接触状態のみを図示している。また、各コンタクトＣＮＴ２１，ＣＮＴ２２，ＣＮＴ２３，ＣＮＴ２４は、対応する各コンタクトＣＮＴ１１，ＣＮＴ１２，ＣＮＴ１３，ＣＮＴ１４と一対一で電気的に接触する状態に移行する。

この場合、抵抗素子８１ｂについては、その一端側は回路基板５におけるプローブユニット４との対向面（他方の面）に形成されたランド（テストポイントＴＰ３）に接続され、その他端側も回路基板５におけるプローブユニット４との対向面（他方の面）に形成されたランド（テストポイントＴＰ４）に接続されている。したがって、図３に示すように、テストポイントＴＰ３には、プローブユニット４側の複数のプローブ２２のうちの２つのプローブ１２が接触し、テストポイントＴＰ４には、プローブユニット４側の複数のプローブ２２のうちの他の２つのプローブ２２が接触する。一例としてこの例では、同図に示すように、テストポイントＴＰ３には、２つのプローブ２２ａ，２２ｂが接触し、テストポイントＴＰ４には、２つのプローブ２２ｃ，２２ｄが接触するものとする。

また、抵抗測定部２の処理部２ｃは、プローブユニット３，４内の各スキャナボード１３，２３に対する制御処理を実行して、スキャナボード１３については、すべての切替スイッチ１４に関して、そのスイッチ回路が切断状態となる状態に移行させる。

また、処理部２ｃは、この制御処理により、スキャナボード２３については、一例として、すべての切替スイッチ２４のうちのプローブ２２ａに対応する切替スイッチ２４ａに関してはスイッチ回路２４ａ_１のみが接続状態となり、プローブ２２ｂに対応する切替スイッチ２４ｂに関してはスイッチ回路２４ｂ_３のみが接続状態となり、プローブ２２ｃに対応する切替スイッチ２４ｃに関してはスイッチ回路２４ｃ_４のみが接続状態となり、プローブ２２ｄに対応する切替スイッチ２４ｄに関してはスイッチ回路２４ｄ_２のみが接続状態となり、かつこの切替スイッチ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ以外の切替スイッチ２４（この図示されているスキャナボード２３以外の不図示のスキャナボード２３の切替スイッチ２４も含む）に関してはすべてのスイッチ回路が切断状態となる状態に移行させる。

これにより、プローブ２２ａが、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２１、コンタクトＣＮＴ２１、コンタクトＣＮＴ１１、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１１および第１電流供給ラインＬ１を介して電流源２ａの高電位極Ｈｃに接続され、プローブ２２ｂが、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２３、コンタクトＣＮＴ２３、コンタクトＣＮＴ１３、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１３および第１電圧検出ラインＬ３を介して電圧計２ｂの高電位極Ｈｐに接続され、プローブ２２ｃが、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２４、コンタクトＣＮＴ２４、コンタクトＣＮＴ１４、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１４および第２電圧検出ラインＬ４を介して電圧計２ｂの低電位極Ｌｐに接続され、プローブ２２ｄが、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２２、コンタクトＣＮＴ２２、コンタクトＣＮＴ１２、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１２および第２電流供給ラインＬ２を介して電流源２ａの低電位極Ｌｃに接続される。

この状態において測定装置１の抵抗測定部２では、電流源２ａが、高電位極Ｈｃに接続された第１電流供給ラインＬ１と低電位極Ｌｃに接続された第２電流供給ラインＬ２との間に測定電流を出力する。この測定電流は、高電位極Ｈｃから、第１電流供給ラインＬ１、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１１、コンタクトＣＮＴ１１、コンタクトＣＮＴ２１、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２１、プローブユニット４内のスキャナボード２３に配設された切替スイッチ２４ａのスイッチ回路２４ａ_１、プローブ２２ａ、テストポイントＴＰ３、抵抗素子８１ｂ、テストポイントＴＰ４、プローブ２２ｄ、スキャナボード２３に配設された切替スイッチ２４ｄのスイッチ回路２４ｄ_２、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２２、コンタクトＣＮＴ２２、コンタクトＣＮＴ１２、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１２、および第２電流供給ラインＬ２を経由して低電位極Ｌｃに至る電流経路ＣＣ２（図３において破線で示す経路）に流れる。

また、抵抗測定部２では、電圧計２ｂが、測定電流が抵抗素子８１ｂを流れることによってその両端間（この例では、テストポイントＴＰ３，ＴＰ４間）に発生する両端間電圧を、高電位極Ｈｐに接続された第１電圧検出ラインＬ３から、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１３、コンタクトＣＮＴ１３、コンタクトＣＮＴ２３、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２３、プローブユニット４内のスキャナボード２３に配設された切替スイッチ２４ｂのスイッチ回路２４ｂ_３を経由してテストポイントＴＰ３と接触するプローブユニット４側のプローブ２２ｂに至る高電位側の電圧検出経路と、低電位極Ｌｐに接続された第２電圧検出ラインＬ４から、プローブユニット３内の内部配線Ｌ１４、コンタクトＣＮＴ１４、コンタクトＣＮＴ２４、プローブユニット４内の内部配線Ｌ２４、およびプローブユニット４内のスキャナボード２３に配設された切替スイッチ２４ｃのスイッチ回路２４ｃ_４を経由してテストポイントＴＰ４と接触するプローブユニット４側のプローブ２２ｃに至る低電位側の電圧検出経路とで検出して、この両端間電圧の電圧値を測定する。また、電圧計２ｂは、測定した両端間電圧の電圧値を処理部２ｃに出力する。

抵抗測定部２では、処理部２ｃが、電流源２ａから供給されている測定電流の電流値と、電圧計２ｂによって測定された両端間電圧の電圧値とに基づいて抵抗測定処理を実行して、抵抗素子８１ｂの抵抗値を算出（測定）する。これにより、抵抗素子８１ｂの抵抗値の測定が完了する。

この場合、測定装置１の電流経路ＣＣ２には、図３に示すように、プローブユニット３，４間において形成されるループ状の電流経路は存在しない。また、上記したスルーホール８１ａの抵抗値の測定のときと同様に、各電流供給ラインＬ１，Ｌ２で形成される電流経路のループの面積も小さいものとなっている。したがって、この測定装置１の電流経路ＣＣ２は、そのループの面積が全体として極めて小さいものとなっている。

また、測定装置１では、上記した高電位側の電圧検出経路と低電位側の電圧検出経路とで形成される電圧計２ｂについての電圧検出経路についても、上記した電流経路ＣＣ２と同じ理由により、そのループの面積が全体として小さいものとなっている。

したがって、この測定装置１では、上記したように測定電流の供給経路を１系統しか有していない構成（つまり、１つの電流源２ａしか有していない構成）においても、測定電流の供給（通電）に起因して電流経路ＣＣ１に生じる誘導起電力の電圧検出経路への影響や、誘導性ノイズの電圧検出経路への影響を確実に低減しつつ、抵抗素子８１ｂの両端間電圧の電圧値および抵抗素子８１ｂの抵抗値を高い精度で測定することが可能になっている。

なお、詳細な説明は省略するが、この測定装置１では、抵抗素子８１ｂが回路基板５の一方の面上に実装されているときにも、回路基板５の一方の面上に形成されて抵抗素子８１ｂの一方の端子が接続されるテストポイントに接触させられるプローブユニット３側の１つ目のプローブ１２と、抵抗素子８１ｂの他方の端子が接続されるテストポイントに接触させられるプローブユニット３側の２つ目のプローブ１２とを含む電流経路で測定電流が供給される。また、電圧計２ｂの高電位極Ｈｐから抵抗素子８１ｂの一方の端子が接続されるテストポイントに接触させられるプローブユニット３側の３つ目のプローブ１２に至る高電位側の電圧検出経路と、電圧計２ｂの低電位極Ｌｐから抵抗素子８１ｂの他方の端子が接続されるテストポイントに接触させられるプローブユニット３側の４つ目のプローブ１２に至る低電位側の電圧検出経路とで、抵抗素子８１ｂの両端間電圧の電圧値が測定される。したがって、この場合においても、この測定装置１では、上記したように測定電流の供給経路を１系統しか有していない構成（つまり、１つの電流源２ａしか有していない構成）においても、測定電流の供給（通電）に起因して電流経路に生じる誘導起電力の電圧検出経路への影響や、誘導性ノイズの電圧検出経路への影響を確実に低減しつつ、抵抗素子８１ｂの両端間電圧の電圧値および抵抗素子８１ｂの抵抗値を高い精度で測定することが可能になっている。

このように、この測定装置１では、抵抗測定部２およびプローブユニット３は、各電流供給ラインＬ１，Ｌ２および各電圧検出ラインＬ３，Ｌ４（複数の配線ケーブル）を介して直接接続され、プローブユニット３側の対向面１１ａにはコンタクトＣＮＴ１１〜ＣＮＴ１４が配設され、プローブユニット４側の対向面２１ａにはコンタクトＣＮＴ２１〜ＣＮＴ２４が配設され、プローブユニット３，４が回路基板５に接近して双方のプローブ１２，２２が回路基板５の一方の面および他方の面に形成されたテストポイントＴＰにプロービングされるプロービング状態に移行したときに、プローブユニット３側のコンタクトＣＮＴ１１〜ＣＮＴ１４およびプローブユニット４側のコンタクトＣＮＴ２１〜ＣＮＴ２４が互いに離間する非接触状態から、互いに電気的に接触する接触状態に移行して、プローブユニット４側の内部配線Ｌ２１，Ｌ２２，Ｌ２３，Ｌ２４を、プローブユニット３側の内部配線Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４（各電流供給ラインＬ１，Ｌ２および各電圧検出ラインＬ３，Ｌ４に一対一で接続されている内部配線）に接続する。

したがって、この測定装置１によれば、抵抗測定部２からプローブユニット３，４の各プローブ１２，２２に至る経路（電流経路や電圧検出経路となる経路）のうちの主たる部分を占める各電流供給ラインＬ１，Ｌ２および各電圧検出ラインＬ３，Ｌ４での電流経路についてのループの面積および電圧検出経路についてのループの面積を小さいものとすることができるため、測定電流の供給経路を１系統しか有していない構成（つまり、１つの電流源２ａしか有していない構成）においても、測定電流の供給（通電）に起因して電流経路ＣＣ１，ＣＣ２に生じる誘導起電力の電圧検出経路への影響や、誘導性ノイズの電圧検出経路への影響を確実に低減しつつ、測定対象８１の両端間電圧の電圧値および測定対象８１の抵抗値を高い精度で測定することができる。また、この測定装置１によれば、プローブユニット４は、プローブユニット４側のコンタクトＣＮＴ２１〜ＣＮＴ２４、プローブユニット３側のコンタクトＣＮＴ１１〜ＣＮＴ１４、プローブユニット３側の内部配線Ｌ１１，Ｌ１２，Ｌ１３，Ｌ１４、および各ラインＬ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４を経由して抵抗測定部２と接続される構成のため、上記した測定装置５１とは異なり、抵抗測定部２とプローブユニット４とを直接接続する配線ケーブル（つまり、各プローブユニット３，４間に掛け渡される配線ケーブル）を不要にできる結果、各プローブユニット３，４間の測定位置への回路基板５の搬入や測定位置からの回路基板５の搬出に対して配線ケーブルが障害となるという事態の発生を回避することができる。

なお、上記の測定装置１の構成に加えて、抵抗測定部２の処理部２ｃが、抵抗測定処理で測定した測定対象８１の抵抗値に基づいて、検査対象でもある測定対象８１を検査する検査処理を実行する構成とすることもできる。この構成においては、測定装置１は、回路基板５に配設された測定対象８１を検査する（つまり、回路基板５を検査する）回路基板検査装置である検査装置として機能する。この場合、処理部２ｃは、検査処理では、例えば、抵抗測定処理で測定した測定対象８１の抵抗値と、予め規定されたこの測定対象８１の抵抗値についての判定範囲（例えば、測定対象８１が正常であるときに取り得る抵抗値の範囲）とを比較して、測定した抵抗値が判定範囲に含まれているときには良品であり、含まれていないときには不良品であると判別することで、測定対象８１を検査する。

また、上記の測定装置１では、電流源２ａを定電流源で構成しているが、非定電流源で構成することもできる。この場合には、処理部２ｃからの要求に応じて、または定期的に、出力している測定電流の電流値を処理部２ｃに出力し得るように電流源２ａを構成する。この構成においても、処理部２ｃは、電圧計２ｂで測定された電圧値を取得するタイミングに合わせて、電流源２ａから測定電流の電流値を取得することで、測定対象８１の抵抗値を測定することが可能となる。

１測定装置
２抵抗測定部
２ａ電流源
２ｂ電圧計
３，４プローブユニット
５回路基板
１１ａ対向面
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄプローブ
１３，２３スキャナボード
２１ａ対向面
２２，２２ａ，２２ｂ，２２ｃ，２２ｄプローブ
ＣＮＴ１１〜ＣＮＴ１４，ＣＮＴ２１〜ＣＮＴ２４コンタクト
Ｈｃ，Ｈｐ高電位極
Ｌ１，Ｌ２電流供給ライン
Ｌ３，Ｌ４電圧検出ライン
Ｌｃ，Ｌｐ低電位極
ＴＰ，ＴＰ１，ＴＰ２，ＴＰ３，ＴＰ４テストポイント

Claims

一対の出力端子から測定電流を出力する電流出力部および一対の検出端子間の電圧を測定する電圧測定部を有する抵抗測定部と、
測定位置に配置された回路基板の一方の面に対向してかつ当該回路基板に対して接離動可能に配設されて、当該一方の面に形成された複数のテストポイントにプロービング可能な複数のプローブが当該一方の面に対向する第１対向面に設けられると共に当該複数のプローブのうちの任意のプローブを前記一対の出力端子および前記一対の検出端子のうちの任意の１つの端子に接続するための第１スキャナ部を有する第１プローブユニットと、
前記測定位置に配置された前記回路基板の他方の面に対向してかつ当該回路基板に対して接離動可能に配置されて、当該他方の面に形成された複数のテストポイントにプロービング可能な複数のプローブが当該他方の面に対向する第２対向面に設けられると共に当該複数のプローブのうちの任意のプローブを前記一対の出力端子および前記一対の検出端子のうちの任意の１つの端子に接続するための第２スキャナ部を有する第２プローブユニットとを備えている測定装置であって、
前記抵抗測定部および前記第１プローブユニットは、前記一対の出力端子および前記一対の検出端子と、前記第１スキャナ部とを電気的に接続するための複数の配線ケーブルを介して直接接続され、
前記第１対向面における前記第２対向面と直接向かい合う部位に配設されると共に前記第１プローブユニット内の内部配線および前記配線ケーブルを介して前記一対の出力端子および前記一対の検出端子と一対一で接続された複数の第１コンタクトと、
前記第２対向面における前記第１対向面と直接向かい合う部位に前記第１コンタクトに対向して配設されて、前記第２プローブユニット内の内部配線を介して前記第２スキャナ部に接続された複数の第２コンタクトとを有し、
前記第１プローブユニットおよび前記第２プローブユニットの前記プローブが前記テストポイントにプロービングされるプロービング状態のときに、前記各第１コンタクトおよび前記各第２コンタクトが互いに電気的に接触する接触状態に移行し、前記プロービング状態が解除されたときに、当該各第１コンタクトおよび当該各第２コンタクトが互いに離間して非接触状態に移行する測定装置。
請求項１記載の測定装置を備えると共に、前記抵抗測定部に配設されて、前記測定電流の電流値および前記電圧測定部によって測定された前記一対の検出端子間の前記電圧の電圧値に基づいて当該一対の検出端子間に接続された測定対象の抵抗値を測定すると共に当該測定した抵抗値に基づいて当該測定対象を検査する処理部を備えている検査装置。