JP2010014603A - 測定装置および測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブ21a〜21fを有するプローブユニット2と、第1導線13a,13b、第2導線14a,14bおよび第3導線15a,15bと各接触端子31a,31bとの接断を行うスキャナユニット16と、スキャナユニット16を制御する制御部17とを備え、制御部17は、スキャナユニット16を制御して各素子101a〜101cの端子111a〜111fに接触しているプローブ21a〜21fのうちの2つ(プローブ21a,21f)を除く各プローブ21b〜21eの各々における各第1接触端子31aと第3導線15a,15bとをそれぞれ接続させることによって各素子101a〜101cを直列接続させる接続処理を実行した後において、各素子101a〜101cについての所定の物理量を測定する。
【選択図】図1
Description
前記測定部は、前記接続処理が実行された後において、前記各第2導電体を介して前記各電圧検出部にそれぞれ接続されている前記各第2接触端子が接触している前記各測定対象体についての前記所定の物理量を測定する。
2,302a,302b プローブユニット
12a〜12c 電圧検出部
13a,13b 第1導線
14a〜14f 第2導線
15a,15b 第3導線
16 スキャナユニット
17 制御部
21a〜21f プローブ
31a 第1接触端子
31b 第2接触端子
100,200 回路基板
101a〜101c 素子
111a〜111f 端子
201 配線パターン
202 ビア
301 測定装置
Im 電流
R 抵抗値
Vm 電圧
Claims (5)
- 測定対象体の被接触部に測定用電流を出力するための第1接触端子および当該測定用電流の出力によって当該被接触部に生じる電圧を入力するための第2接触端子を対にした接触端子対を複数有する端子部と、前記測定用電流を供給する第1導電体と、前記電圧を検出する複数の電圧検出部と、当該各電圧検出部にそれぞれ接続された第2導電体と、前記各接触端子と前記各導電体との接断を行う接断部と、前記接断部を制御する制御部と、前記電圧の値に基づいて前記測定対象体についての所定の物理量を測定する測定部とを備えた測定装置であって、
前記測定用電流を通電させるための1つ以上の第3導電体を備え、
前記制御部は、前記接断部を制御することにより、複数の前記測定対象体における前記各被接触部に前記接触端子対がそれぞれ接触している状態において、当該各接触端子対のうちの所定の2つを除く当該各接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記第3導電体とをそれぞれ接続させることによって複数の前記測定対象体を直列接続させると共に、当該直列接続されている各測定対象体の両端に位置する前記各被接触部にそれぞれ接触している前記除いた2つの接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記各第1導電体とをそれぞれ接続させ、かつ前記複数の測定対象体の前記各被接触部に接触している前記接触端子対の各々における前記各第2接触端子と前記各第2導電体とを当該各測定対象体および前記各電圧検出部が一対一で対応するようにそれぞれ接続させる接続処理を実行し、
前記測定部は、前記接続処理が実行された後において、前記各第2導電体を介して前記各電圧検出部にそれぞれ接続されている前記各第2接触端子が接触している前記各測定対象体についての前記所定の物理量を測定する測定装置。 - 前記端子部は、回路基板の内部に形成された内部配線によって接続されると共に当該回路基板の一面側および他面側にそれぞれ形成された前記被接触部としての各配線パターンに前記各接触端子対がそれぞれ接触可能に構成され、
前記制御部は、前記接続処理において、前記測定対象体としての前記内部配線および前記各配線パターンが直列接続されるように前記接断部を制御する請求項1記載の測定装置。 - 前記回路基板の前記一面側に形成された前記配線パターンに接触させる前記各接触端子対と前記接断部との間の配線が束ねられると共に、前記回路基板の他面側に形成された前記配線パターンに接触させる各接触端子対と前記接断部との間の配線が束ねられている請求項2記載の測定装置。
- 第1接触端子および第2接触端子を対にした接触端子対を複数有する端子部における当該第1接触端子と測定用電流を供給する第1導電体との接断を行って当該第1接触端子を介して測定対象体の被接触部に測定用電流を出力し、複数の電圧検出部にそれぞれ接続された第2導電体と前記各接触端子との接断を行って当該測定用電流の出力によって前記被接触部に生じる電圧を検出し、当該検出した電圧の値に基づく前記測定対象体についての所定の物理量を測定する測定方法であって、
複数の前記測定対象体における前記各被接触部に前記接触端子対をそれぞれ接触させ、その状態における当該各接触端子対のうちの所定の2つを除く当該各接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記測定用電流を通電させるための第3導電体とをそれぞれ接続させることによって複数の前記測定対象体を直列接続させると共に、当該直列接続させた各測定対象体の両端に位置する前記各被接触部にそれぞれ接触している前記除いた2つの接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記各第1導電体とをそれぞれ接続させ、かつ前記複数の測定対象体の前記各被接触部に接触している前記接触端子対の各々における前記各第2接触端子と前記各第2導電体とを当該各測定対象体および前記各電圧検出部が一対一で対応するようにそれぞれ接続させる接続処理を実行し、
前記接続処理を実行した後において、前記各第2導電体を介して前記各電圧検出部にそれぞれ接続されている前記各第2接触端子が接触している前記各測定対象体についての前記所定の物理量を測定する測定方法。 - 回路基板の内部に形成された内部配線によって接続されると共に当該回路基板の一面側および他面側にそれぞれ形成された前記被接触部としての各配線パターンに前記各接触端子対を接続させて、前記測定対象体としての前記内部配線および前記各配線パターンについての前記物理量を測定する際に、
前記接続処理において、前記内部配線および前記各配線パターンが直列接続されるように前記各第1接触端子と前記第3導電体とを接続する請求項4記載の測定方法。
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