JP2010014603A - 測定装置および測定方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】効率的な測定を実現しつつ装置価格を低減し得る測定装置を提供する。
【解決手段】プローブ21a〜21fを有するプローブユニット2と、第1導線13a,13b、第2導線14a,14bおよび第3導線15a,15bと各接触端子31a,31bとの接断を行うスキャナユニット16と、スキャナユニット16を制御する制御部17とを備え、制御部17は、スキャナユニット16を制御して各素子101a〜101cの端子111a〜111fに接触しているプローブ21a〜21fのうちの2つ(プローブ21a,21f)を除く各プローブ21b〜21eの各々における各第1接触端子31aと第3導線15a,15bとをそれぞれ接続させることによって各素子101a〜101cを直列接続させる接続処理を実行した後において、各素子101a〜101cについての所定の物理量を測定する。
【選択図】図1

Description

本発明は、測定対象体についての所定の物理量を測定可能な測定装置および測定方法に関するものである。
この種の測定装置として、特開2008−8773号公報に開示された基板検査装置が知られている。この基板検査装置は、制御部、第一・第二電流供給部、第一・第二電圧計測部、第一・第二切替部、および第一・第二接触部等を備えて構成されている。つまり、この基板検査装置では、電流供給部、電圧計測部および切替部等を有する2つ(2組)の検査手段が備えられており、基板の表面側の端子に対する導通検査(抵抗測定)と基板の裏面側の端子に対する導通検査とを2つの検査手段によって並行して行うことで、検査の効率化が図られている。
特開2008−8773号公報(第5−12頁、第2図)
ところが、上記の基板検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、この基板検査装置では、基板の表面側の端子に対する導通検査と基板の裏面側の端子に対する導通検査とを2つの検査手段によって並行して行うことで、検査の効率化を図っている。このため、この基板検査装置では、検査手段を構成する電流供給部、電圧計測部および切替部等が2つずつ必要な結果、装置価格の低減が困難であるという問題点が存在する。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、効率的な測定を実現しつつ装置価格を低減し得る測定装置および測定方法を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載の測定装置は、測定対象体の被接触部に測定用電流を出力するための第1接触端子および当該測定用電流の出力によって当該被接触部に生じる電圧を入力するための第2接触端子を対にした接触端子対を複数有する端子部と、前記測定用電流を供給する第1導電体と、前記電圧を検出する複数の電圧検出部と、当該各電圧検出部にそれぞれ接続された第2導電体と、前記各接触端子と前記各導電体との接断を行う接断部と、前記接断部を制御する制御部と、前記電圧の値に基づいて前記測定対象体についての所定の物理量を測定する測定部とを備えた測定装置であって、前記測定用電流を通電させるための1つ以上の第3導電体を備え、前記制御部は、前記接断部を制御することにより、複数の前記測定対象体における前記各被接触部に前記接触端子対がそれぞれ接触している状態において、当該各接触端子対のうちの所定の2つを除く当該各接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記第3導電体とをそれぞれ接続させることによって複数の前記測定対象体を直列接続させると共に、当該直列接続されている各測定対象体の両端に位置する前記各被接触部にそれぞれ接触している前記除いた2つの接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記各第1導電体とをそれぞれ接続させ、かつ前記複数の測定対象体の前記各被接触部に接触している前記接触端子対の各々における前記各第2接触端子と前記各第2導電体とを当該各測定対象体および前記各電圧検出部が一対一で対応するようにそれぞれ接続させる接続処理を実行し、
前記測定部は、前記接続処理が実行された後において、前記各第2導電体を介して前記各電圧検出部にそれぞれ接続されている前記各第2接触端子が接触している前記各測定対象体についての前記所定の物理量を測定する。
また、請求項2記載の測定装置は、請求項1記載の測定装置において、前記端子部は、回路基板の内部に形成された内部配線によって接続されると共に当該回路基板の一面側および他面側にそれぞれ形成された前記被接触部としての各配線パターンに前記各接触端子対がそれぞれ接触可能に構成され、前記制御部は、前記接続処理において、前記測定対象体としての前記内部配線および前記各配線パターンが直列接続されるように前記接断部を制御する。
また、請求項3記載の測定装置は、請求項2記載の測定装置において、前記回路基板の前記一面側に形成された前記配線パターンに接触させる前記各接触端子対と前記接断部との間の配線が束ねられると共に、前記回路基板の他面側に形成された前記配線パターンに接触させる各接触端子対と前記接断部との間の配線が束ねられて構成されている。
また、請求項4記載の測定方法は、第1接触端子および第2接触端子を対にした接触端子対を複数有する端子部における当該第1接触端子と測定用電流を供給する第1導電体との接断を行って当該第1接触端子を介して測定対象体の被接触部に測定用電流を出力し、複数の電圧検出部にそれぞれ接続された第2導電体と前記各接触端子との接断を行って当該測定用電流の出力によって前記被接触部に生じる電圧を検出し、当該検出した電圧の値に基づく前記測定対象体についての所定の物理量を測定する測定方法であって、複数の前記測定対象体における前記各被接触部に前記接触端子対をそれぞれ接触させ、その状態における当該各接触端子対のうちの所定の2つを除く当該各接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記測定用電流を通電させるための第3導電体とをそれぞれ接続させることによって複数の前記測定対象体を直列接続させると共に、当該直列接続させた各測定対象体の両端に位置する前記各被接触部にそれぞれ接触している前記除いた2つの接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記各第1導電体とをそれぞれ接続させ、かつ前記複数の測定対象体の前記各被接触部に接触している前記接触端子対の各々における前記各第2接触端子と前記各第2導電体とを当該各測定対象体および前記各電圧検出部が一対一で対応するようにそれぞれ接続させる接続処理を実行し、前記接続処理を実行した後において、前記各第2導電体を介して前記各電圧検出部にそれぞれ接続されている前記各第2接触端子が接触している前記各測定対象体についての前記所定の物理量を測定する。
また、請求項5記載の測定方法は、請求項4記載の測定方法において、回路基板の内部に形成された内部配線によって接続されると共に当該回路基板の一面側および他面側にそれぞれ形成された前記被接触部としての各配線パターンに前記各接触端子対を接続させて、前記測定対象体としての前記内部配線および前記各配線パターンについての前記物理量を測定する際に、前記接続処理において、前記内部配線および前記各配線パターンが直列接続されるように前記各第1接触端子と前記第3導電体とを接続する。
請求項1記載の測定装置および請求項4記載の測定方法では、複数の測定対象体の各被接触部にそれぞれ接触している複数の接触端子対のうちの所定の2つを除く各接触端子対の各々における各第1接触端子と各第3導電体とをそれぞれ接続させることによって各測定対象体を直列接続させる接続処理を実行し、接続処理を実行した後において各測定対象体についての物理量を測定する。このため、この測定装置および測定方法によれば、測定用電流を生成する1つの電源部および1つの接断部を用いて複数の測定対象体についての物理量を一度に(または連続して)測定することができる結果、電流供給部や切替部等を2つずつ必要とする従来の基板検査装置と比較して、電源部や接断部の数が少ない分、測定装置を簡易に構成することができる。したがって、この測定装置および測定方法によれば、効率的な測定や検査を実現しつつ装置価格を十分に低減することができる。
また、請求項2記載の測定装置および請求項5記載の測定方法では、内部配線によって接続された回路基板の一面側および他面側の各配線パターンに各接触端子対を接続させて内部配線および各配線パターンについての物理量を測定する際に、内部配線および各配線パターンが直列接続されるように各第1接触端子と第3導電体とを接続する。したがって、この測定装置および測定方法によれば、この種の回路基板における複数の内部配線および複数の配線パターンについての物理量を、1つの測定用電流生成部(電源部)および1つの接断部を用いて一度に(または連続して)測定することができる結果、この種の回路基板に対する効率的な測定や検査を実現しつつ装置価格を十分に低減することができる。
また、請求項3記載の測定装置では、回路基板の一面側に形成された配線パターンに接触させる各接触端子対と接断部との間の配線が束ねられると共に、回路基板の他面側に形成された配線パターンに接触させる各接触端子対と接断部との間の配線が束ねられている。このため、この測定装置によれば、各接触端子対と接断部との間の配線がループを構成したときに生じるノイズの影響を少なく抑えることができる結果、測定対象体についての物理量をより正確に測定することができる。
以下、本発明に係る測定装置および測定方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
最初に、測定装置1の構成について、図面を参照して説明する。
図1に示す測定装置1は、本発明に係る測定装置の一例であって、例えば、回路基板100の一面側に配設された複数の配線パターンや複数の素子101(いずれも本発明における測定対象体の一例であって、同図では3つの素子101a〜101cを図示している)の抵抗値R(本発明における物理量の一例)を本発明に係る測定方法に従って4端子法で測定すると共に、測定した抵抗値Rに基づいて配線パターンや各素子101の良否を検査可能に構成されている。具体的には、測定装置1は、プローブユニット2および本体部3を備えて構成されている。
プローブユニット2は、本発明における端子部に相当し、図1に示すように、図外の支持部に配設(植設)された複数のプローブ21(本発明における接触端子対に相当し、同図では6本のプローブ21a〜21fのみを図示している)を備えて構成されている。この場合、各プローブ21は、図外の移動機構によってプローブユニット2が回路基板100に近接させられたときに、回路基板100における各素子101の端子(本発明における被接触部であって、同図に示す端子111a〜111f(以下、区別しないときには「端子111」ともいう))に先端部が接触するようにその配設パターンが規定されている。また、プローブ21は、後述する電流Im(本発明における測定用電流の一例)を端子111に出力するための第1接触端子31aと、電流Imの出力によって端子111に生じる電圧Vmを入力するための第2接触端子31b(以下、第1接触端子31aおよび第2接触端子31bを区別しないときには「接触端子31」ともいう)とを備えて構成されている。また、プローブ21は、第1接触端子31aおよび第2接触端子31bを互いに絶縁して対にした状態で、接触端子31の先端部を端子111に接触させることが可能に構成されている。
本体部3は、図1に示すように、電源部11、複数(一例として、同図では3つ)の電圧検出部12a,12b,12c(以下、区別しないときには「電圧検出部12」ともいう)、電流Imを供給するための一対の第1導線13a,13b(本発明における第1導電体であって、以下区別しないときには「第1導線13」ともいう)、各電圧検出部12に一対ずつ接続された第2導線14a〜14f(本発明における第2導電体であって、以下区別しないときには「第2導線14」ともいう)、電流Imを通電させるための一対の第3導線15a,15b(本発明における第3導電体であって、以下区別しないときには「第3導線15」ともいう)、スキャナユニット16および制御部17を備えて構成されている。電源部11は、測定用の電流Im(一例として、定電流)を生成可能に構成されている。この場合、電源部11によって生成された電流Imは、第1導線13a,13b、プローブユニット2におけるプローブ21の第1接触端子31a、および第3導線15a,15bを介して回路基板100における素子101の端子111に出力される。
電圧検出部12は、電流Imの出力によって素子101の端子111,111間に生じる電圧Vmを、プローブユニット2におけるプローブ21の第2接触端子31bおよび第2導線14を介して入力して検出する。スキャナユニット16は、本発明における接断部の一例であって、複数のスイッチを備えて構成され、制御部17の制御に従い、各プローブ21の各接触端子31と各導線13,14,15との接断(接続および切断)を行う。制御部17は、スキャナユニット16を制御することにより、各プローブ21の各接触端子31と各導線13,14,15とを所定の接続パターンで接続させる接続処理を実行する。また、制御部17は、本発明における測定部として機能し、接続処理を実行した後において、電源部11によって生成される電流Imの値と、各電圧検出部12によって検出された電圧Vmの値とに基づき、第2導線14を介して各電圧検出部12に接続されている第2接触端子31bが接触している複数(一例として、同図では3つ)の素子101の抵抗値Rを一度に(または連続して)測定する。また、制御部17は、測定した抵抗値Rに基づいて素子101の良否を検査する。
この場合、この測定装置1では、電流供給部や切替部等を2つずつ必要とする従来の基板検査装置とは異なり、1つの電源部11および1つのスキャナユニット16を用いて複数の素子101の抵抗値Rを一度に測定することが可能となっている。このため、この測定装置1では、電源部11やスキャナユニット16の数が少ない分、装置構成が簡易となっている。
次に、測定装置1を用いて、回路基板100における各素子101の抵抗値Rを測定する方法(本発明に係る測定方法)、および各素子101の良否を検査する方法について、図面を参照して説明する。
この測定装置1では、測定(検査)開始の指示操作がされたときに、制御部17が、図外の移動機構を制御してプローブユニット2を回路基板100に近接させる。この際に、図1に示すように、プローブユニット2の各プローブ21における各接触端子31の先端部が回路基板100における各素子101の端子111,111にそれぞれ接触する。また、電源部11が測定用の電流Imを生成する。
次いで、制御部17は、回路基板100における各素子101の抵抗値Rを測定する。この場合、制御部17は、まず、スキャナユニット16を制御することにより、プローブユニット2における各プローブ21の各接触端子31と各導線13,14,15とを所定の接続パターンで接続させる接続処理を実行する。この接続処理では、制御部17は、各プローブ21のうちの所定の2つ(本例では、プローブ21a,21f)を除く各プローブ21(プローブ21b〜21e)の各々における第1接触端子31aと第3導線15とをそれぞれ接続させることにより、各素子101a〜101cを直列接続させる。
この場合、スキャナユニット16は、素子101aにおける一方(同図における右側)の端子111bに接触しているプローブ21bの第1接触端子31aと第3導線15aとを接続すると共に、素子101bにおける一方(同図における左側)の端子111cに接触しているプローブ21cの第1接触端子31aと第3導線15aとを接続する。また、スキャナユニット16は、素子101bにおける他方(同図における右側)の端子111dに接触しているプローブ21dの第1接触端子31aと第3導線15bとを接続すると共に、素子101cの一方(同図における左側)の端子111eに接触しているプローブ21eにおける第1接触端子31aと第3導線15bとを接続する。これにより、各素子101a〜101cが各第1接触端子31aおよび第3導線15a,15bを介して直列接続される。
続いて、制御部17は、スキャナユニット16を制御して、直列接続された各素子101a〜101cの両端に位置する端子111a,111fにそれぞれ接触している上記の2つのプローブ21a,21fの各々における第1接触端子31aと第1導線13a,13bとをそれぞれ接続させる。これにより、図1に破線で示すように、電源部11によって生成された電流Imが、各第1接触端子31aおよび第3導線15a,15bを介して直列接続された各素子101a〜101cに出力される(流れる)。
次いで、制御部17は、スキャナユニット16を制御して、素子101aの各端子111a,111bに接触しているプローブ21a,21bの各々における第2接触端子31bを電圧検出部12aに接続されている第2導線14a,14bにそれぞれ接続させ、素子101bの各端子111c,111dに接触しているプローブ21c,21dの各々における第2接触端子31bを電圧検出部12bに接続されている第2導線14c,14dにそれぞれ接続させ、素子101cの各端子111e,111fに接触しているプローブ21e,21fの各々における第2接触端子31bを電圧検出部12cに接続されている第2導線14e,14fにそれぞれ接続させる。つまり、制御部17は、スキャナユニット16を制御して、各素子101の各端子111に接触している各プローブ21の各々における各第2接触端子31bと第2導線14とを、各素子101および電圧検出部12が一対一で対応するようにそれぞれ接続させる。
続いて、電圧検出部12aが、電流Imの出力によって素子101aの端子111a,111b間に生じた電圧Vmを入力して検出し、電圧検出部12bが、電流Imの出力によって素子101bの端子111c,111d間に生じた電圧Vmを入力して検出する。また、電圧検出部12cが、電流Imの出力によって素子101cの端子111e,111f間に生じた電圧Vmを入力して検出する。次いで、制御部17は、電源部11によって生成される電流Imの値と、各電圧検出部12a〜12cによって検出された電圧Vmの値とに基づいて各素子101a〜101cの抵抗値Rを測定(算出)すると共に、測定した各抵抗値Rを図外の記録部に記録する。
次に、制御部17は、例えば、上下限値で規定される基準範囲と抵抗値Rとを比較することによって各素子101の良否を検査する。この場合、制御部17は、一例として、抵抗値Rが基準範囲内のときには、その素子101を良品と判別し、抵抗値Rが基準値範囲外のときには、その素子101を不良品と判別する。以上により、回路基板100の各素子101についての良否検査が終了する。
このように、この測定装置1および測定方法では、複数の素子101の各端子111にそれぞれ接触している複数のプローブ21のうちの所定の2つを除く各プローブ21の各々における各第1接触端子31aと各第3導線15とをそれぞれ接続させることによって各素子101を直列接続させる接続処理を実行すると共に、接続処理を実行した後において各素子101についての抵抗値Rを測定する。このため、1つの電源部11および1つのスキャナユニット16を用いて複数の素子101についての抵抗値Rを一度に(または連続して)測定することができる結果、電流供給部や切替部等を2つずつ必要とする従来の基板検査装置と比較して、電源部11やスキャナユニット16の数が少ない分、測定装置1を簡易に構成することができる。したがって、この測定装置1および測定方法によれば、効率的な測定や検査を実現しつつ装置価格を十分に低減することができる。
なお、本発明は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、回路基板100の一面に配設された複数の配線パターンや複数の素子101に対する検査を実行する測定装置1を例に挙げて説明したが、図2に示すように、両面に複数の配線パターン201が配設されると共に、各配線パターン201がビア202(本発明における内部配線)によって接続された回路基板200における各配線パターン201や各ビア202の抵抗値Rを本発明に係る測定方法に従って測定すると共に、その抵抗値Rに基づくこれらの良否検査を行う測定装置301に適用することもできる。なお、以下の説明において、上記した測定装置1と同じ構成要素については同一の符号付して、重複する説明を省略する。
この測定装置301は、図2に示すように、2つのプローブユニット302a,302b(本発明における端子部)、および本体部3を備えて構成されている。この場合、プローブユニット302aは、図外の移動機構によって回路基板200に近接させられたときに、回路基板200の一面(同図における上面)側の各配線パターン201に先端部が接触するように、その配設パターンが規定された複数のプローブ21(同図では2本のプローブ21a,21cのみを図示している)を備えて構成されている。また、プローブユニット302bは、回路基板200に近接させられたときに、回路基板200の他面(同図における下面)側の各配線パターン201に先端部が接触するように、その配設パターンが規定された複数のプローブ21(同図では2本のプローブ21b,21dのみを図示している)を備えて構成されている。つまり、この測定装置301では、回路基板200の両面に配設された被接触部としての配線パターン201に各プローブ21が接触可能にプローブユニット302a,302bが構成されている。また、この測定装置301では、プローブユニット302aの各プローブ21とスキャナユニット16との間の配線が束ねると共に、プローブユニット302bの各プローブ21とスキャナユニット16との間の配線が束ねられている。
この測定装置301では、測定開始の指示操作がされたときに、制御部17が、図外の移動機構を制御してプローブユニット302a,302bを回路基板200に近接させて、図2に示すように、各プローブ21における各接触端子31の先端部を回路基板200における各配線パターン201にそれぞれ接触させる。続いて、制御部17は、スキャナユニット16を制御することにより(上記した接続処理を実行することにより)、同図に示すように、測定対象体としての各ビア202を、プローブ21b,21dの各第1接触端子31aおよび第3導線15aを介して直列接続させる。
次いで、制御部17は、図2に示すように、スキャナユニット16を制御して、直列接続された各ビア202の両端に位置する配線パターン201にそれぞれ接触している2つのプローブ21a,21cの各々における第1接触端子31aと第1導線13a,13bとをそれぞれ接続させる。これにより、同図に破線で示すように、第1導線13a,13bによって供給された電流Imが、各第1接触端子31aおよび第3導線15aを介して直列接続された各ビア202に出力される(流れる)。
続いて、制御部17は、スキャナユニット16を制御して、各ビア202に接続されている各配線パターン201にそれぞれ接触している各プローブ21の各々における第2接触端子31bを第2導線14にそれぞれ接続させる。次いで、各電圧検出部12(この例では、電圧検出部12a,12b:図2参照)が、電流Imの出力によって各ビア202に生じた電圧Vmを入力して検出し、制御部17が、電流Imの値と検出された電圧Vmの値とに基づいて各ビア202の抵抗値Rを一度に(または連続して)測定して図外の記録部に記録する。次に、制御部17は、例えば、上下限値で規定される基準範囲と抵抗値Rとを比較することによって各ビア202の良否を検査する。
このように、この測定装置301および測定方法においても、1つのスキャナユニット16を用いて直列接続した各ビア202に1つの電源部11によって生成された電流Imを流した状態で各ビア202や各配線パターン201の抵抗値Rを一度に(または連続して)測定することができる。このため、電流供給部や切替部等を2つずつ必要とする従来の基板検査装置と比較して、電源部11やスキャナユニット16の数が少ない分、測定装置301を簡易に構成することができる。したがって、この測定装置301においても、効率的な測定や検査を実現しつつ装置価格を十分に低減することができる。また、この測定装置301では、プローブユニット302aの各プローブ21とスキャナユニット16との間の配線が束ねられると共に、プローブユニット302bの各プローブ21とスキャナユニット16との間の配線が束ねられている。このため、この測定装置301によれば、各プローブ21とスキャナユニット16との間の配線がループを構成したときに生じるノイズの影響を少なく抑えることができる結果、抵抗値Rをより正確に測定することができる。
また、素子101やビア202の抵抗値Rに基づいて、素子101やビア202の良否を検査する例について上記したが、検査を行わずに抵抗値Rの測定のみを行う測定装置に適用することもできる。また、物理量としての抵抗値Rを測定する例について上記したが、本発明における物理量には、抵抗値Rに限らず、インダクタンス、容量、およびインピーダンス等が含まれ、これらの物理量を測定する測定装置に適用することができるのは勿論である。また、複数のプローブ21を有するプローブユニット2やプローブユニット302a,302bを移動させて、各プローブ21を一度に被接触部としての端子111や配線パターン201に接触させる構成例について上記したが、複数のプローブ21を個別的に移動させて被接触部に接触および離反させるフライングプローブタイプの測定装置に適用することもできる。さらに、一対の第3導線15を備えた例について上記したが、第3導線15の数はこれに限定されず、測定対象体の数に応じて変更することができる。具体的には、プローブ21を接触させる測定対象体の数がN個としたときには、第3導線15の数を(N−1)本以上の任意の数に規定する。また、3つの電圧検出部12a〜12cを備えた例について上記したが、電圧検出部12の数はこれに限定されず、2つ以上の任意の数に規定することができる。
測定装置1の構成を示す構成図である。 測定装置301の構成を示す構成図である。
符号の説明
1,301 測定装置
2,302a,302b プローブユニット
12a〜12c 電圧検出部
13a,13b 第1導線
14a〜14f 第2導線
15a,15b 第3導線
16 スキャナユニット
17 制御部
21a〜21f プローブ
31a 第1接触端子
31b 第2接触端子
100,200 回路基板
101a〜101c 素子
111a〜111f 端子
201 配線パターン
202 ビア
301 測定装置
Im 電流
R 抵抗値
Vm 電圧

Claims (5)

  1. 測定対象体の被接触部に測定用電流を出力するための第1接触端子および当該測定用電流の出力によって当該被接触部に生じる電圧を入力するための第2接触端子を対にした接触端子対を複数有する端子部と、前記測定用電流を供給する第1導電体と、前記電圧を検出する複数の電圧検出部と、当該各電圧検出部にそれぞれ接続された第2導電体と、前記各接触端子と前記各導電体との接断を行う接断部と、前記接断部を制御する制御部と、前記電圧の値に基づいて前記測定対象体についての所定の物理量を測定する測定部とを備えた測定装置であって、
    前記測定用電流を通電させるための1つ以上の第3導電体を備え、
    前記制御部は、前記接断部を制御することにより、複数の前記測定対象体における前記各被接触部に前記接触端子対がそれぞれ接触している状態において、当該各接触端子対のうちの所定の2つを除く当該各接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記第3導電体とをそれぞれ接続させることによって複数の前記測定対象体を直列接続させると共に、当該直列接続されている各測定対象体の両端に位置する前記各被接触部にそれぞれ接触している前記除いた2つの接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記各第1導電体とをそれぞれ接続させ、かつ前記複数の測定対象体の前記各被接触部に接触している前記接触端子対の各々における前記各第2接触端子と前記各第2導電体とを当該各測定対象体および前記各電圧検出部が一対一で対応するようにそれぞれ接続させる接続処理を実行し、
    前記測定部は、前記接続処理が実行された後において、前記各第2導電体を介して前記各電圧検出部にそれぞれ接続されている前記各第2接触端子が接触している前記各測定対象体についての前記所定の物理量を測定する測定装置。
  2. 前記端子部は、回路基板の内部に形成された内部配線によって接続されると共に当該回路基板の一面側および他面側にそれぞれ形成された前記被接触部としての各配線パターンに前記各接触端子対がそれぞれ接触可能に構成され、
    前記制御部は、前記接続処理において、前記測定対象体としての前記内部配線および前記各配線パターンが直列接続されるように前記接断部を制御する請求項1記載の測定装置。
  3. 前記回路基板の前記一面側に形成された前記配線パターンに接触させる前記各接触端子対と前記接断部との間の配線が束ねられると共に、前記回路基板の他面側に形成された前記配線パターンに接触させる各接触端子対と前記接断部との間の配線が束ねられている請求項2記載の測定装置。
  4. 第1接触端子および第2接触端子を対にした接触端子対を複数有する端子部における当該第1接触端子と測定用電流を供給する第1導電体との接断を行って当該第1接触端子を介して測定対象体の被接触部に測定用電流を出力し、複数の電圧検出部にそれぞれ接続された第2導電体と前記各接触端子との接断を行って当該測定用電流の出力によって前記被接触部に生じる電圧を検出し、当該検出した電圧の値に基づく前記測定対象体についての所定の物理量を測定する測定方法であって、
    複数の前記測定対象体における前記各被接触部に前記接触端子対をそれぞれ接触させ、その状態における当該各接触端子対のうちの所定の2つを除く当該各接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記測定用電流を通電させるための第3導電体とをそれぞれ接続させることによって複数の前記測定対象体を直列接続させると共に、当該直列接続させた各測定対象体の両端に位置する前記各被接触部にそれぞれ接触している前記除いた2つの接触端子対の各々における前記各第1接触端子と前記各第1導電体とをそれぞれ接続させ、かつ前記複数の測定対象体の前記各被接触部に接触している前記接触端子対の各々における前記各第2接触端子と前記各第2導電体とを当該各測定対象体および前記各電圧検出部が一対一で対応するようにそれぞれ接続させる接続処理を実行し、
    前記接続処理を実行した後において、前記各第2導電体を介して前記各電圧検出部にそれぞれ接続されている前記各第2接触端子が接触している前記各測定対象体についての前記所定の物理量を測定する測定方法。
  5. 回路基板の内部に形成された内部配線によって接続されると共に当該回路基板の一面側および他面側にそれぞれ形成された前記被接触部としての各配線パターンに前記各接触端子対を接続させて、前記測定対象体としての前記内部配線および前記各配線パターンについての前記物理量を測定する際に、
    前記接続処理において、前記内部配線および前記各配線パターンが直列接続されるように前記各第1接触端子と前記第3導電体とを接続する請求項4記載の測定方法。
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