JP6137536B2 - 基板検査装置、及び基板検査方法 - Google Patents
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Description
V=iR+V0
V’= −iR+V0
となる。ここで、1回目の測定(図9)と2回目の測定(図10)で熱起電力V0の大きさが変化していないとみなせば、1回目の測定結果Vと2回目の測定結果V’の差を取ることにより、熱起電力V0の影響をキャンセルできる。即ち、
V−V’=2iR
となる。従って、
R=(V−V’)/2i
により、回路パターン12の電気抵抗Rを精度良く求めることができる。なお、以下の説明では、以上のようにして熱起電力V0の影響をキャンセルする方法を、単に「従来の検査方法」と呼ぶ場合がある。
V1=i1R1+V0
V2=i2R2+V0
V1−V0=i1R1
これにより、制御部27は、第1回路パターン41に生じていた電圧降下の大きさ(i1R1)を、正確に取得できる。
V2−V0=i2R2
これにより、制御部27は、第2回路パターン42に生じていた電圧降下の大きさ(i2R2)を、正確に取得できる。
11 回路基板
17 電流供給部
19 電圧測定部
26 信号切換部(電圧測定ループ形成部)
27 制御部(電圧測定ループ形成部)
41,42 回路パターン
Claims (4)
- 回路基板に形成された回路パターンを検査する基板検査装置であって、
測定対象の回路パターンを複数経由させて電圧測定ループを形成する電圧測定ループ形成部と、
前記電圧測定ループに配置された電圧測定部と、
前記測定対象の回路パターンに電流を供給することが可能な電流供給部と、
制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記測定対象の回路パターンに電流を供給しない状態で、前記電圧測定部によって前記電圧測定ループの電圧を測定する補正電圧測定工程と、
前記測定対象の回路パターンに電流を供給した状態で、前記電圧測定部によって電圧を測定する回路パターン測定工程と、
前記回路パターン測定工程において測定された電圧を、前記補正電圧測定工程において測定された電圧によって補正する補正工程と、
を少なくとも実行し、
前記制御部は、前記回路パターン測定工程及び前記補正工程を、前記測定対象の複数の回路パターンのそれぞれについて実行することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1に記載の基板検査装置であって、
前記電圧測定ループ形成部は、測定対象の回路パターンを3つ以上経由させて前記電圧測定ループを形成することを特徴とする基板検査装置。 - 請求項1又は2に記載の基板検査装置であって、
前記電圧測定ループには、前記回路基板の両面を導通する回路パターンが偶数含まれていることを特徴とする基板検査装置。 - 回路基板に形成された回路パターンを検査する基板検査方法であって、
測定対象の回路パターンを複数経由させて電圧測定ループを形成する電圧測定ループ形成工程と、
前記測定対象の回路パターンに電流を供給しない状態で、前記電圧測定ループに配置された電圧測定部によって前記電圧測定ループの電圧を測定する補正電圧測定工程と、
前記測定対象の回路パターンに電流を供給した状態で、前記電圧測定部によって電圧を測定する回路パターン測定工程と、
前記回路パターン測定工程において測定された電圧を、前記補正電圧測定工程において測定された電圧によって補正する補正工程と、
を含み、
前記回路パターン測定工程及び前記補正工程は、前記測定対象の複数の回路パターンのそれぞれについて実行されることを特徴とする基板検査方法。
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