JP5057949B2

JP5057949B2 - 回路基板検査方法および回路基板検査装置

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Publication number: JP5057949B2
Application number: JP2007314830A
Authority: JP
Inventors: 和浩伴
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2007-12-05
Filing date: 2007-12-05
Publication date: 2012-10-24
Anticipated expiration: 2027-12-05
Also published as: JP2009139182A

Description

本発明は、複数のプローブを備えたプローブユニットを用いて回路基板の検査を行う回路基板検査方法および回路基板検査装置に関するものである。

この種の回路基板検査装置として、本願出願人は、特開２００３−５７２８５号公報に開示された回路基板検査装置を既に開発している。この回路基板検査装置は、パッケージ基板の裏面に形成された一のランドと、スルーホールを介して一のランドに接続された回路基板の表面側の他のランドとの間の抵抗値を四端子法に従って測定する回路基板検査装置であって、絶縁された２つの接触子が一のランドに接触可能に構成された一のプローブと、回路基板の表面を覆って他のランドに導通可能な導電性ゴムマットと、導電性ゴムマットに対して絶縁した状態で貫通して他のランドに接触する他のプローブとを備えている。この回路基板検査装置では、導電性ゴムマットと一のプローブの１つの接触子との間に定電流源から所定電流を供給しつつ、導電性ゴムマットを貫通して他のランドに接触させられた他のプローブの１つの接触子と一のランドに接触させられた一のプローブの他の１つの接触子との間の電圧を電圧計で測定し、測定電圧と所定電流の電流値とに基づいて抵抗値を測定する。この回路基板検査装置によれば、回路基板の表面に形成された他のランドに対して導電性ゴムマットおよび他のプローブを介して定電流源および電圧計を接続できるため、ファインピッチの基板などに対しても、四端子法による抵抗値の測定を高精度でしかも低コストで実行することができる。
特開２００３−５７２８５号公報（第１，５，６頁、第１図）

ところが、上記の回路基板検査装置には、以下の解決すべき課題が存在している。すなわち、この回路基板検査装置では、定電流源に接続される導電性ゴムマット、および電圧計に接続される一方のプローブが回路基板の表面側に配設され、定電流源および電圧計に接続される他方のプローブが回路基板の裏面側に配設されている。このため、電圧計についての電圧検出経路は、電圧計、回路基板の表面側に位置するプローブ、回路基板の表面側に形成されたランド、このランドと回路基板の裏面に形成されたランドとを接続するスルーホール、回路基板の裏面に形成されたランド、および回路基板の裏面側に位置するプローブを経由して電圧計に戻るという回路基板を貫く面積の広い経路となっている。また、定電流源についての電流供給経路も、定電流源、回路基板の表面側に位置する導電性ゴムマット、回路基板の表面側に形成されたランド、このランドと回路基板の裏面に形成されたランドとを接続するスルーホール、回路基板の裏面に形成されたランド、および回路基板の裏面側に位置するプローブを経由して定電流源に戻るという回路基板を貫く面積の広い経路となっている。これにより、この回路基板検査装置では、特に電圧検出経路が広い経路に形成されているため、定電流源からの定電流が交流定電流のときには、この定電流が電流供給経路に流れることに起因して、誘導起電力が電圧検出経路に大きなレベルで発生し易い。また、外部から装置内に進入するノイズ（外部ノイズ）も電圧検出経路内を多く通過し易いため、このノイズに起因した誘導起電力も電圧検出経路に発生し易い。したがって、この回路基板検査装置には、このような種々の誘導起電力が電圧検出経路に発生して、スルーホールの両端間に発生する電圧に重畳するため、スルーホールの両端間に発生する電圧を電圧計で正確に測定するのが困難な結果、スルーホールの抵抗値を正確に測定するのが困難で、このため、スルーホールの検査精度のさらなる向上が困難であるという課題が存在している。

また、定電流源からの定電流が直流定電流のときには、定電流の印加開始から所定の期間（定電流の立ち上がり期間）において誘導起電力が電圧検出経路に大きなレベルで発生するため、定電流の印加開始直後においては交流定電流のときと同様にしてスルーホールの両端間に発生する電圧を電圧計で正確に測定できず、これによってスルーホールの抵抗値を正確に測定できない結果、スルーホールの検査を高精度で行えないという課題が存在している。この場合、直流定電流の印加開始から所定の期間を経過した後に電圧測定を行うことにより、誘導起電力の影響のない電圧測定が可能であるが、測定開始までの時間が長くなるため、測定、ひいては検査の高速化が図れないという課題が新たに生じる。

本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、検査精度を向上させ得る回路基板検査方法を提供することを主目的とする。また、この回路基板検査方法を実行し得る回路基板検査装置を提供することを他の主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の回路基板検査方法は、複数のプローブを備えた第１のプローブユニットを回路基板の一方の面側に配設すると共に、複数のプローブを備えた第２のプローブユニットを前記回路基板の他方の面側に配設して、前記一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記第１のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブをそれぞれ接触させると共に、前記他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記第２のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブをそれぞれ接触させ、前記第２のプローブユニットの前記複数のプローブにおける前記各接触ポイントに接触されている前記２本のプローブのうちの一方同士を短絡させ、前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの検査対象とする内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの一方、および当該複数の内部導体のうちの当該検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される当該一方の面側の前記配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの一方をそれぞれ電圧検出プローブとし、前記第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの他方、および前記検査対象の内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの他方をそれぞれ電流供給プローブとして使用し、前記電流供給プローブとしての前記２本のプローブから前記検査対象の内部導体に測定電流を供給し、前記電圧検出プローブとしての前記２本のプローブを使用して前記第１の接触ポイントおよび前記第２の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定し、前記測定電流および前記ポイント間電圧に基づいて前記検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定すると共に当該抵抗に基づいて当該内部導体の検査を行う。ここで、本明細書における内部導体とは、回路基板の内部に形成されるビアおよび内層パターン、並びにこれらの組み合わせで構成される導体をいう。

また、請求項２記載の回路基板検査方法は、複数のプローブを備えた第１のプローブユニットを回路基板の一方の面側に配設すると共に、複数のプローブを備えた第２のプローブユニットを前記回路基板の他方の面側に配設して、前記一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記第１のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブをそれぞれ接触させると共に、前記他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記第２のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブをそれぞれ接触させ、前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの検査対象とする内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブ、および前記複数の内部導体のうちの前記検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブをそれぞれ電圧検出プローブとし、前記第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブ、および前記複数の内部導体のうちの前記検査対象の内部導体を除く他の１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブをそれぞれ電流供給プローブとし、前記検査対象の内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第４の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブと、前記１つの内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第５の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブとを短絡させ、前記第４の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブと、前記他の１つの内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第６の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブとを短絡させ、前記電流供給プローブとしての前記２本の第２プローブから、前記検査対象の内部導体、前記第４の接触ポイントに接触している前記第２プローブ、および当該第２プローブと短絡された前記第６の接触ポイントに接触している前記第２プローブを含む経路に測定電流を供給し、前記電圧検出プローブとしての前記２本の第１プローブを使用して前記第１の接触ポイントおよび前記第２の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定し、前記測定電流および前記ポイント間電圧に基づいて前記検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定すると共に当該抵抗に基づいて当該内部導体の検査を行う。

また、請求項３記載の回路基板検査装置は、複数のプローブを備えると共に、回路基板の一方の面側に配設されて当該一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブを同時に接触可能に構成された第１のプローブユニットと、複数のプローブを備えると共に、回路基板の他方の面側に配設されて当該他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブを同時に接触可能に構成され、かつ当該複数のプローブにおける当該各接触ポイントに接触されている当該２本のプローブのうちの一方同士を短絡させる短絡配線を有する第２のプローブユニットと、測定電流を出力する電流供給部と、電圧測定部と、前記一方の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの一方と当該複数の接触ポイントのうちの他の任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの一方とを選択して前記電圧測定部に電気的に接続させる第１切替部と、前記一方の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの他方と前記他の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの他方とを選択して前記電流測定部に電気的に接続させる第２切替部と、処理部とを備え、当該処理部は、前記第１および第２のプローブユニットを移動させて前記複数のプローブを対応する前記各接触ポイントに接触させ、その状態において、前記第１切替部を制御して、前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの検査対象とする内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの一方、および前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの当該検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの一方をそれぞれ電圧検出プローブとして前記電圧測定部に接続させると共に、前記第２切替部を制御して、当該第１の接触ポイントに接触している当該２本のプローブのうちの他方、および当該検査対象の内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの他方をそれぞれ電流供給プローブとして前記電流供給部に接続させ、かつ当該電流供給部を制御して当該検査対象の内部導体に前記電流供給プローブを介して前記測定電流を供給させると共に、当該電圧測定部を制御して当該第１の接触ポイントおよび当該第２の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定させ、当該測定電流および当該ポイント間電圧に基づいて当該検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定して当該抵抗に基づいて当該内部導体の検査を行う。

また、請求項４記載の回路基板検査装置は、複数のプローブを備えると共に、回路基板の一方の面側に配設されて当該一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブを同時に接触可能に構成された第１のプローブユニットと、複数のプローブを備えると共に、回路基板の他方の面側に配設されて当該他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブを同時に接触可能に構成され、かつ当該プローブを介して当該各接触ポイントのうちの任意の二対の接触ポイント同士を短絡させる短絡部を有する第２のプローブユニットと、測定電流を出力する電流供給部と、電圧測定部と、前記一方の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの第１プローブと当該複数の接触ポイントのうちの他の任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの第１プローブとを選択して前記電圧測定部に電気的に接続させる第１切替部と、前記一方の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの第２プローブと当該複数の接触ポイントのうちの他の任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの第２プローブとを選択して前記電流測定部に電気的に接続させる第２切替部と、処理部とを備え、当該処理部は、前記第１および第２のプローブユニットを移動させて前記複数のプローブを対応する前記各接触ポイントに接触させ、その状態において、前記第１切替部を制御して、前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの検査対象とする内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブ、および前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの当該検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブをそれぞれ電圧検出プローブとして前記電圧測定部に接続させると共に、前記第２切替部を制御して、当該第１の接触ポイントに接触している当該２本のプローブのうちの第２プローブ、および当該検査対象の内部導体のうちの前記検査対象の内部導体を除く他の１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブをそれぞれ電流供給プローブとして前記電流供給部に接続させ、かつ前記短絡部に対して、当該検査対象の内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第４の接触ポイントと、前記１つの内部導体の他端側と接続される当該他方の面側の前記配線パターン上に規定された第５の接触ポイントとを当該第４の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブおよび当該第５の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブを介して短絡させると共に、当該第４の接触ポイントと前記他の１つの内部導体の他端側と接続される当該他方の面側の前記配線パターン上に規定された第６の接触ポイントとを当該第４の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブおよび当該第６の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブを介して短絡させ、かつ当該電流供給部を制御して当該検査対象の内部導体に前記電流供給プローブを介して前記測定電流を供給させると共に、当該電圧測定部を制御して当該第１の接触ポイントおよび当該第２の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定させ、当該測定電流および当該ポイント間電圧に基づいて当該検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定して当該抵抗に基づいて当該内部導体の検査を行う。

請求項１記載の回路基板検査方法および請求項３記載の回路基板検査装置では、第２のプローブユニットの接触ポイントに接触されている２本のプローブのうちの一方同士を短絡させ、検査対象とする内部導体の一端側と接続される回路基板の一方の面側の配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している第１のプローブユニットの２本のプローブのうちの一方、および検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される回路基板の一方の面側の配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している第１のプローブユニットの２本のプローブのうちの一方をそれぞれ電圧検出プローブとして使用し、第１の接触ポイントに接触している２本のプローブのうちの他方、および検査対象の内部導体の他端側と接続される回路基板の他方の面側の配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している第２のプローブユニットの２本のプローブのうちの他方をそれぞれ電流供給プローブとして使用し、電流供給プローブとしての２本のプローブから検査対象の内部導体に測定電流を供給し、電圧検出プローブとしての２本のプローブが接続された２つの接触ポイント間に発生するポイント間電圧を検査対象である内部導体の両端間に発生する電圧として測定し、測定電流およびポイント間電圧に基づいて検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定すると共にこの抵抗に基づいて内部導体の検査を行う。

したがって、この回路基板検査方法およびこの回路基板検査装置によれば、回路基板の他方の面側に位置する短い経路を一部に含むものの、電圧検出経路の殆どを回路基板の一方の面側で構成することができるため、電圧検出経路の開口面積（電圧検出経路のループ面積）を大幅に小さく形成できる。これにより、電流経路に発生する磁界および外部ノイズが電圧検出経路のループ内を通過する各々の通過量を大幅に低減することができ、電流経路に測定電流が流れることに起因して電圧検出経路に発生する誘導起電力を大幅に弱めることができるため、内部導体の両端に発生するポイント間電圧を高精度で測定することができる。したがって、この回路基板検査方法およびこの回路基板検査装置によれば、測定電流とポイント間電圧とに基づいて内部導体の抵抗を高精度で測定することができるため、この抵抗に基づいて行う検査対象としての内部導体の検査精度を十分に向上させることができる。また、この回路基板検査方法およびこの回路基板検査装置によれば、測定電流が直流定電流のときでも、所定の期間の経過を待たずに測定電流の供給（印加）開始直後から、測定した抵抗に基づく検査対象に対する検査を実施することができるため、検査の高速化を図ることができる。

また、請求項２記載の回路基板検査方法および請求項４記載の回路基板検査装置では、検査対象とする内部導体の一端側と接続される回路基板の一方の面側の配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している第１のプローブユニットの２本のプローブのうちの第１プローブ、および検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される一方の面側の配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している第１のプローブユニットの２本のプローブのうちの第１プローブをそれぞれ電圧検出プローブとし、第１の接触ポイントに接触している２本のプローブのうちの第２プローブ、および検査対象の内部導体を除く他の１つの内部導体の一端側と接続される一方の面側の配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している第１のプローブユニットの２本のプローブのうちの第２プローブをそれぞれ電流供給プローブとし、検査対象の内部導体の他端側と接続される回路基板の他方の面側の配線パターン上に規定された第４の接触ポイントに接触している第２のプローブユニットの２本のプローブのうちの第１プローブと、１つの内部導体の他端側と接続される他方の面側の配線パターン上に規定された第５の接触ポイントに接触している第２のプローブユニットの２本のプローブのうちの第１プローブとを短絡させ、第４の接触ポイントに接触している２本のプローブのうちの第２プローブと、他の１つの内部導体の他端側と接続される他方の面側の配線パターン上に規定された第６の接触ポイントに接触している第２のプローブユニットの２本のプローブのうちの第２プローブとを短絡させ、電流供給プローブとしての２本の第２プローブから、検査対象の内部導体、第４の接触ポイントに接触している第２プローブ、およびこの第２プローブと短絡された第６の接触ポイントに接触している第２プローブを含む経路に測定電流を供給し、電圧検出プローブとしての２本の第１プローブを使用して第１の接触ポイントおよび第２の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定し、測定電流およびポイント間電圧に基づいて検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定すると共にこの抵抗に基づいて当該内部導体の検査を行う。

したがって、この回路基板検査方法およびこの回路基板検査装置によれば、回路基板の他方の面側に位置する短い経路を一部に含むものの、電圧検出経路の殆どを回路基板の一方の面側で構成することができ、これによって電圧検出経路の開口面積（電圧検出経路のループ面積）を大幅に小さく形成することができる結果、電流経路に発生する磁界および外部ノイズが電圧検出経路のループ内を通過する各々の通過量を大幅に低減することができる。さらに、測定電流が流れる電流経路も電圧検出経路と同様にして、回路基板の一方の面側でその殆どを形成することができる。このため、この電流経路のうちの回路基板の一方の面側に形成された回路基板に電流を供給する経路、およびこの経路のリターン路となる経路が、回路基板の両側に配設される構成と比較して互いの距離が近接しており、かつこの２つの経路に流れる測定電流の向きが逆向きになる結果、２つの経路に発生する磁束が互いに打ち消し合うように作用して、測定電流が流れる電流経路全体に発生する磁束の量を大幅に低減することができ、この電流経路に磁束が発生することに起因して電圧検出経路に発生する誘導起電力をさらに弱めることができる。したがって、この回路基板検査方法およびこの回路基板検査装置によれば、検査対象の内部導体に発生するポイント間電圧をさらに高精度で測定することができる結果、検査対象の内部導体の抵抗を一層高精度で測定することができ、これにより、この抵抗に基づいて行う検査対象の検査精度をさらに向上させることができる。また、この回路基板検査方法およびこの回路基板検査装置によれば、測定電流が直流定電流のときでも、所定の期間の経過を待たずに測定電流の供給（印加）開始直後から、測定した抵抗に基づく検査対象に対する検査を実施することができるため、検査の高速化を図ることができる。

以下、添付図面を参照して、本発明に係る回路基板検査方法およびこの回路基板検査方法を実施する回路基板検査装置の最良の形態について説明する。

回路基板検査装置１は、図１に示すように、一対のプローブユニット２，３、電圧測定部４、電流供給部５、第１切替部６、第２切替部７、処理部８、記憶部９および出力部１０を備え、複数の配線パターン（一例として、配線パターン２１，２２，２３，３１，３２、内層配線パターンＢ）および複数のビア（一例としてビアＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４，Ｃ５，Ｃ６，Ｃ７）が形成された回路基板１１における検査対象としての複数の内部導体（本例では、一例として、ビアＣ１，Ｃ２，Ｃ３およびこれらを接続する内層配線パターンＢを含む内部導体Ａ１、ビアＣ４，Ｃ５，Ｃ６およびこれらを接続する内層配線パターンＢを含む内部導体Ａ２、並びにビアＣ７，Ｃ５，Ｃ６およびこれらを接続する内層配線パターンＢを含む内部導体Ａ３。以下、特に区別しないときには「内部導体Ａ」ともいう）に対する検査を実行可能に構成されている。なお、本例では、内層配線パターンＢが形成される内層が２層の回路基板１１を例に挙げているが、回路基板検査装置１は、内層のない回路基板や、内層が１層または３層以上の回路基板に対しても検査を実行可能である。

また、回路基板１１の各配線パターン２１〜２３，３１，３２には後述のプローブを接触させるための接触ポイントが所定位置に予め規定されている。具体的には、回路基板１１の一方の面（同図中の上面）には、配線パターン２１〜２３が形成されて、このうちの内部導体Ａ１の一端側と接続された配線パターン２１には、内部導体Ａ１を検査する際に使用される接触ポイントＴＰ１が規定されている。また、内部導体Ａ２の一端側と接続された配線パターン２２には、内部導体Ａ２を検査する際に使用される接触ポイントＴＰ２が規定され、内部導体Ａ３の一端側と接続された配線パターン２３には内部導体Ａ３を検査する際に使用される接触ポイントＴＰ３が規定されている。一方、回路基板１１の他方の面（同図中の下面）には、配線パターン３１，３２が形成されて、このうちの内部導体Ａ１の他端側と接触された配線パターン３１には、内部導体Ａ１を検査する際に使用される接触ポイントＴＰ１１が規定されている。また、内部導体Ａ２，Ａ３の各他端側と接続された配線パターン３２には、内部導体Ａ２，Ａ３を検査する際に使用される接触ポイントＴＰ１２が規定されている。なお、以下において、各接触ポイントＴＰ１，ＴＰ２，ＴＰ３，ＴＰ１１，ＴＰ１２を特に区別しないときには、「接触ポイントＴＰ」ともいう。

プローブユニット２は、本発明における第１のプローブユニットに相当し、複数（本例では一例として６本）のプローブ２ａ〜２ｆを備え、検査位置に載置された回路基板１１の一方の面側（図１中の上側）において、検査位置（図１の位置）での回路基板１１の載置および検査位置からの回路基板１１の取り出しを可能とする待避位置（図示せず）と、接触位置（図１に示す位置）との間を不図示の移動機構によって移動可能に構成されている。また、プローブユニット２は、接触位置に移動した状態では、回路基板１１の一方の面側に規定された複数の接触ポイントＴＰ１〜ＴＰ３に、各プローブ２ａ〜２ｆのうちの対応する２本のプローブがそれぞれ接触するように構成されている。本例では、プローブユニット２は、接触ポイントＴＰ１に一対のプローブ２ａ，２ｂが接触し、接触ポイントＴＰ２に一対のプローブ２ｃ，２ｄが接触し、接触ポイントＴＰ３に一対のプローブ２ｅ，２ｆが接触するように構成されている。

プローブユニット３は、本発明における第２のプローブユニットに相当し、複数（本例では一例として４本）のプローブ３ａ〜３ｄを備え、検査位置に載置された回路基板１１の他方の面側（図１中の下側）において、検査位置（図１の位置）での回路基板１１の載置および検査位置からの回路基板１１の取り出しを可能とする待避位置（図示せず）と、接触位置（図１に示す位置）との間を前述の移動機構によって移動可能に構成されている。また、プローブユニット３は、接触位置に移動した状態では、回路基板１１の他方の面側に規定された複数の接触ポイントＴＰ１１，ＴＰ１２に、各プローブ３ａ〜３ｄのうちの対応する２本のプローブがそれぞれ接触するように構成されている。本例では、プローブユニット３は、接触ポイントＴＰ１１に一対のプローブ３ａ，３ｂが接触し、接触ポイントＴＰ１２に一対のプローブ３ｃ，３ｄが接触するように構成されている。また、プローブユニット３は、接触ポイントＴＰ１１に接続させられる２本のプローブ３ａ，３ｂのうちの一方（プローブ３ａ）と、接触ポイントＴＰ１２に接続させられる２本のプローブ３ｃ，３ｄのうちの一方（プローブ３ｃ）同士とを短絡する短絡配線４１を備えている。なお、プローブユニット３が、プローブ３ａ，３ｂやプローブ３ｃ，３ｄのような共通の接触ポイントに接触する一対のプローブを３組以上備えているときには、すべての組に含まれる２本のプローブのうちの１本が短絡配線４１を介して互いに短絡（接続）される。

電圧測定部４は、処理部８によって制御されて、第１切替部６から出力された電圧Ｖ１を一対の入力端子を介して入力してその電圧値Ｖｘ１を測定して出力する。電流供給部５は、処理部８によって制御されて、一対の出力端子（図示せず）から測定電流Ｉ１（一例として直流定電流（電流値Ｉｘ１））を出力して第２切替部７に供給する。

第１切替部６は、複数の切替スイッチが組み合わされてスキャナとして構成されている。また、第１切替部６は、接触ポイントＴＰ１に接触させられる２本のプローブ２ａ，２ｂのうちの一方（第１プローブであるプローブ２ａ）とケーブル１２を介して接続されている。また、第１切替部６は、接触ポイントＴＰ２に接触させられるプローブ２ｃ，２ｄのうちの一方（第１プローブであるプローブ２ｃ）とも他のケーブル１２を介して接続されると共に、接触ポイントＴＰ３に接触させられるプローブ２ｅ，２ｆのうちの一方（第１プローブであるプローブ２ｅ）とも他のケーブル１２を介して接続されている。また、第１切替部６は、処理部８によって制御されて、各プローブ２ａ，２ｃ，２ｅのうちの任意の２本のプローブをそれぞれ電圧検出プローブとして、対応するケーブル１２を介して電圧測定部４の一対の入力端子に接続する。

第２切替部７は、複数の切替スイッチが組み合わされてスキャナとして構成されている。また、第２切替部７は、接触ポイントＴＰ１に接触させられる２本のプローブ２ａ，２ｂのうちの他方（第２プローブであるプローブ２ｂ）とケーブル１３を介して接続されている。また、第２切替部７は、接触ポイントＴＰ２に接触させられるプローブ２ｃ，２ｄのうちの他方（第２プローブであるプローブ２ｄ）とも他のケーブル１３を介して接続されると共に、接触ポイントＴＰ３に接触させられるプローブ２ｅ，２ｆのうちの他方（第２プローブであるプローブ２ｆ）とも他のケーブル１３を介して接続されている。さらに、第２切替部７は、回路基板１１の他方の面側に規定された接触ポイントＴＰ１１に接触させられるプローブ３ａ，３ｂのうちの他方（プローブ３ｂ）ともケーブル１４を介して接続されると共に、他の接触ポイントＴＰ１２に接触させられるプローブ３ｃ，３ｄのうちの他方（プローブ３ｄ）とも他のケーブル１４を介して接続されている。また、第２切替部７は、処理部８によって制御されて、各プローブ２ｂ，２ｄ，２ｆのうちの任意の１本と、各プローブ３ｂ，３ｄのうちの任意の１本とをそれぞれ電流供給プローブとして、対応するケーブル１３，１４を介して電流供給部５の一対の出力端子に接続する。

処理部８は、ＣＰＵを備えて構成されて、記憶部９に予め記憶されている動作プログラムに従って作動することにより、検査位置に載置された回路基板１１に対する回路基板検査処理を実行すると共に、プローブユニット２，３を移動させる移動機構、電圧測定部４、電流供給部５および各切替部６，７に対する制御を実行する。記憶部９は、ＲＯＭおよびＲＡＭで構成されて、処理部８のための動作プログラム、回路基板１１に形成されて検査対象とする内部導体Ａについての情報、検査対象とする内部導体Ａを検査する際にそれらの各抵抗値を四端子法で測定するために使用される検査対象毎のプローブのリスト、そのプローブの用途（電流供給プローブおよび電圧検出プローブのいずれかに使用するか）、および検査対象とする内部導体Ａについての良否判別のための基準値（基準抵抗値Ｒｒｅｆ）が予め記憶されている。また、記憶部９には、測定電流Ｉ１の電流値Ｉｘ１が記憶されている。出力部１０は、一例として表示装置で構成されて、処理部８から出力された検査処理の結果を表示する。

次に、回路基板検査装置１の動作について、図１，２を参照して説明する。なお、予め検査位置に回路基板１１が載置されているものとする。

この状態において、回路基板検査装置１の電源が投入されたときには、この回路基板検査装置１では、処理部８が、動作プログラムに従って作動して、回路基板検査処理を開始する。この回路基板検査処理では、処理部８は、まず、移動機構を制御して、各プローブユニット２，３を待避位置から接触位置に移動させる（ステップ５１）。これにより、プローブユニット２では、一対のプローブ２ａ，２ｂが接触ポイントＴＰ１に接触し、一対のプローブ２ｃ，２ｄが接触ポイントＴＰ２に接触し、一対のプローブ２ｅ，２ｆが接触ポイントＴＰ３に接触した状態となる。また、プローブユニット３では、一対のプローブ３ａ，３ｂが接触ポイントＴＰ１１に接触し、一対のプローブ３ｃ，３ｄが接触ポイントＴＰ１２に接触した状態となる。

次いで、処理部８は、この状態において各切替部６，７を制御して、検査対象とする最初の内部導体Ａに対して、電圧測定部４および電流供給部５を接続する（ステップ５２）。この場合、処理部８は、最初の内部導体Ａのうちの１つを記憶部９から読み出すと共に、この内部導体Ａを検査する際に使用するプローブ、およびそのプローブの用途についての情報を記憶部９から読み出す。また、処理部８は、この読み出した情報に基づいて各切替部６，７の切替状態を制御することにより、プローブ２ａ，２ｃ，２ｅのうちの電圧測定プローブとなる２本をそれぞれのケーブル１２および第１切替部６を介して電圧測定部４の各入力端子に接続し、かつプローブ２ｂ，２ｄ，２ｆのうちの電流供給プローブとなる１本を対応するケーブル１３および第２切替部７を介して電流供給部５の一方の出力端子に接続すると共に、プローブ３ｂ，３ｄのうちの他の電流供給プローブとなる１本を対応するケーブル１４および第２切替部７を介して電流供給部５の他方の出力端子に接続する。

一例として、処理部８が、最初の検査対象として内部導体Ａ１（ビアＣ１，Ｃ２，Ｃ３を含む内部導体Ａ）を記憶部９から読み出したときには、この検査対象を検査する際に使用するプローブ、およびそのプローブの用途についての情報を記憶部９からさらに読み出す。この場合、処理部８は、使用するプローブの情報として、内部導体Ａ１の一端側と接続されている配線パターン２１上に規定された接触ポイントＴＰ１（本発明における第１の接触ポイント）に接触している２本のプローブ２ａ，２ｂのうちの一方（本例ではプローブ２ａ）、回路基板１１に形成された複数の内部導体Ａのうちの検査対象を除く他の内部導体Ａにおける一端側と接続されている配線パターン２２上に規定された接触ポイントＴＰ２（本発明における第２の接触ポイント）に接触している２本のプローブ２ｃ，２ｄのうちの一方（本例ではプローブ２ｃ）、接触ポイントＴＰ１に接触している２本のプローブ２ａ，２ｂのうちの他方（本例ではプローブ２ｂ）、および検査対象である内部導体Ａ１の他端側（回路基板１１の他方の面側）と接続されている配線パターン３１上に規定された接触ポイントＴＰ１１（本発明における第３の接触ポイント）に接触している２本のプローブ３ａ，３ｂのうちの他方（本例ではプローブ３ｂ）についての情報を読み出す。

また、処理部８は、プローブの用途の情報として、２本のプローブ２ａ，２ｃを電圧検出プローブとすること、および２本のプローブ２ｂ，３ｂを電流供給プローブとすることについての情報を読み出す。また、処理部８は、読み出した使用するプローブおよびその用途についての情報に基づき、第１切替部６を制御して、プローブ２ａ，２ｃをケーブル１２および第１切替部６を介して電圧測定部４に接続し、第２切替部７を制御して、プローブ２ｂ，３ｂをケーブル１３，１４および第２切替部７を介して電流供給部５にそれぞれ接続する。

続いて、処理部８は、内部導体Ａ１についての抵抗値Ｒの測定処理を実行する（ステップ５３）。この測定処理では、処理部８は、まず、電流供給部５を制御して測定電流Ｉ１の出力を開始させると共に、電圧測定部４を制御して電圧Ｖ１の測定を開始させる。これにより、電流供給部５から出力された測定電流Ｉ１は、第２切替部７、１本のケーブル１３、プローブ２ｂ、配線パターン２１、内部導体Ａ１、配線パターン３１、接触ポイントＴＰ１１に接触しているプローブ３ｂ、１本のケーブル１４および第２切替部７を経由して電流供給部５に戻る電流経路を流れる。また、この測定電流Ｉ１が内部導体Ａ１を流れることに起因して内部導体Ａ１の各端部間に電圧Ｖ１が発生し、この電圧Ｖ１は、内部導体Ａ１の一端側と接続されている配線パターン２１上に規定された接触ポイントＴＰ１と、配線パターン３１、短絡配線４１で互いに短絡された一対のプローブ３ａ，３ｃ、配線パターン３２および内部導体Ａ２を介して内部導体Ａ１の他端側と接続された配線パターン２２上の接触ポイントＴＰ２との間にも本発明におけるポイント間電圧として発生する。電圧測定部４は、この電圧Ｖ１を、第１切替部６を介して一方の入力端子に接続される１本のケーブル１２（プローブ２ａに対応するケーブル１２）およびプローブ２ａと、第１切替部６を介して他方の入力端子に接続される１本のケーブル１２（プローブ２ｃに対応するケーブル１２）およびプローブ２ｃとを介して入力する。

この際に、測定電流Ｉ１が上記の電流経路、すなわち回路基板１１の一方の面側に配設された１本のケーブル１３、検査対象としての内部導体Ａ１、および回路基板１１の他方の面側に配設された１本のケーブル１４で形成される回路基板１１の一方の面側から他方の面側に貫通する大きなループの電流経路を流れることに起因して、この電流経路に磁界が発生する。しかしながら、回路基板検査装置１の電圧検出経路は、上記したように、回路基板１１の他方の面側に位置する経路（２本のプローブ３ａ，３ｃおよび短絡配線４１から成る短い経路（ケーブル１２，１３，１４などの各プローブユニット２，３と各切替部６，７とを接続する長いケーブルを含まない経路））を一部に含むものの、その殆どが回路基板１１の一方の面側に配設された２本のケーブル１２で構成されるため、回路基板１１の各面にそれぞれ配置されたケーブル（ケーブル１２，１３，１４などの各プローブユニット２，３と各切替部６，７とを接続するケーブル）を含む構成と比較して、２本のケーブル１２が接近して配置される結果、その開口面積（電圧検出経路のループ面積）が大幅に小さく形成されている。このため、電流経路に発生する磁界や外部ノイズなどの電圧検出経路のループ内を通過する量が大幅に低減される。したがって、この回路基板検査装置１では、電流経路に測定電流Ｉ１が流れることなどに起因して電圧検出経路に発生する誘導起電力が大幅に弱められるため、電圧測定部４に入力される電圧Ｖ１の波形は、この誘導起電力の影響の極めて少ない波形となる。

次いで、電圧測定部４は、測定電流Ｉ１の供給（印加）開始直後から、入力した電圧Ｖ１の電圧値Ｖｘ１を測定して処理部８に出力する。続いて、処理部８は、入力した電圧値Ｖｘ１を記憶部９に記憶させると共に、記憶部９から読み出した電流値Ｉｘ１で電圧値Ｖｘ１を除算することにより、四端子法で内部導体Ａ１の抵抗値Ｒを算出して、記憶部９に記憶させる。これにより、抵抗値Ｒの測定処理が完了する。

次いで、処理部８は、検査処理を実行する（ステップ５４）。この検査処理では、処理部８は、前述した測定処理で算出した内部導体Ａ１の抵抗値Ｒと、この内部導体Ａ１の基準抵抗値Ｒｒｅｆとを読み出すと共に、両者を比較して、抵抗値Ｒが基準抵抗値Ｒｒｅｆ以下のときには、内部導体Ａ１は正常であると判別し、抵抗値Ｒが基準抵抗値Ｒｒｅｆを超えるときには異常であると判別する。また、処理部８は、この検査結果を検査対象（内部導体Ａ１）の情報（識別情報）に対応させて記憶部９に記憶させる。これにより、１つの検査対象（内部導体Ａ１）に対する検査処理が完了する。

その後、処理部８は、記憶部９に記憶されている検査対象のなかに、未検査の検査対象（内部導体Ａ）があるか否かを判別しつつ（ステップ５５）、上記ステップ５２〜５４を繰り返し実行して、検査対象に指定されているすべての内部導体Ａについての検査を実行する。なお、ステップ５２において、検査対象を内部導体Ａ２としたときには、他の内部導体Ａとして、内部導体Ａ１、および内部導体Ａ３が存在するが、内部導体Ａ３は内部導体Ａ２と一部が重複するため、内部導体Ａ１を他の内部導体Ａとして電圧検出経路の一部として使用する。

次いで、すべての内部導体についての検査が完了した後、処理部８は、すべての内部導体についての検査結果を記憶部９から読み出して、出力部１０に出力して表示させ（ステップ５６）、最後に、移動機構を作動させて、各プローブユニット２，３を接触位置から待避位置に移動させる（ステップ５７）。これにより、回路基板検査処理が完了する。

このように、この回路基板検査方法およびこの回路基板検査方法を実施する回路基板検査装置１では、回路基板１１の内部導体Ａ１〜Ａ３を検査対象とするときには、プローブユニット３の接触ポイントＴＰ１１に接触されている２本のプローブ３ａ，３ｂのうちの一方（プローブ３ａ）と、接触ポイントＴＰ１２に接触されている２本のプローブ３ｃ，３ｄのうちの一方（プローブ３ｃ）とを短絡させ、検査対象とする内部導体の一端側と接続される回路基板１１の一方の面側の配線パターン上に規定された接触ポイントＴＰに接触しているプローブユニット２の２本のプローブのうちの一方、および複数の内部導体Ａ１〜Ａ３のうちの検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される回路基板１１の一方の面側の配線パターン上に規定された接触ポイントＴＰに接触しているプローブユニット２の２本のプローブのうちの一方をそれぞれ電圧検出プローブとして使用して、電圧検出プローブとしての２本のプローブが接続された２つの接触ポイントＴＰ間に発生する電圧Ｖ１（ポイント間電圧）を検査対象である内部導体の両端間に発生する電圧として測定し、測定電流Ｉ１および電圧Ｖ１に基づいて検査対象の内部導体の抵抗（抵抗値）Ｒを四端子法で測定すると共に抵抗（抵抗値）Ｒに基づいて内部導体Ａの検査を行う。

したがって、この回路基板検査方法およびこの回路基板検査装置１によれば、回路基板の他方の面側に位置する経路（プローブユニット３の２本のプローブ３および短絡配線４１から成る短い経路）を一部に含むものの、その殆どが回路基板１１の一方の面側に配設された２本のケーブル１２で電圧検出経路を構成することができ、この２本のケーブル１２は接近して配置することができるため、電圧検出経路の開口面積（電圧検出経路のループ面積）を大幅に小さく形成できる。これにより、電流経路に発生する磁界および外部ノイズが電圧検出経路のループ内を通過する各々の通過量を大幅に低減することができ、電流経路に測定電流Ｉ１が流れることに起因して電圧検出経路に発生する誘導起電力を大幅に弱めることができるため、内部導体の両端に発生する電圧Ｖ１の電圧値Ｖｘ１を高精度で測定することができる。したがって、この回路基板検査方法およびこの回路基板検査装置１によれば、処理部８が測定電流Ｉ１の電流値Ｉｘ１と電圧値Ｖｘ１とに基づいて内部導体の抵抗値Ｒを高精度で測定することができるため、抵抗値Ｒに基づいて行う検査対象の検査精度を十分に向上させることができる。

また、回路基板検査方法およびこの回路基板検査装置１によれば、測定電流Ｉ１が直流定電流のときでも、所定の期間の経過を待たずに測定電流Ｉ１の供給（印加）開始直後から、抵抗値Ｒに基づく検査対象に対する検査を実施することができるため、検査の高速化を図ることができる。

なお、本発明は、上記した発明の実施の形態に限定されず、適宜変更が可能である。例えば、上記の回路基板検査装置１では、電圧検出経路を構成する２本のケーブル１２を回路基板１１の一方の面側に配置することにより、電流経路に発生する磁界や外部ノイズが電圧検出経路内を通過する量を大幅に低減させているが、さらに電流経路を構成するすべてのケーブルも電圧検出経路を構成する２本のケーブル１２と同様にして、回路基板１１の一方の面側に配置する構成を採用することもできる。以下、この構成を採用した回路基板検査装置１Ａについて説明する。なお、回路基板検査装置１と同一の構成については同一の符号を付して重複する説明を省略する。

回路基板検査装置１Ａは、図３に示すように、一対のプローブユニット４１，４２、電圧測定部４、電流供給部５、第１切替部６、第２切替部４３、処理部４４、記憶部９および出力部１０を備え、複数の配線パターン（一例として一方の面側に配線パターン２１〜２４、他方の面側に配線パターン３１〜３４）および複数の内部導体Ａ１〜Ａ４）が形成された回路基板１１Ａにおける内部導体Ａ１〜Ａ４に対する検査を実行可能に構成されている。なお、同図では、ビアや内層配線パターンで構成される内部導体Ａを模式的に表している。また、内部導体Ａ１の一端側と接続される配線パターン２１には接触ポイントＴＰ１が規定され、内部導体Ａ１の他端側と接続される配線パターン３１には接触ポイントＴＰ１１が規定されている。また、内部導体Ａ２の一端側と接続される配線パターン２２には接触ポイントＴＰ２が規定され、内部導体Ａ２の他端側と接続される配線パターン３２には接触ポイントＴＰ１２が規定されている。また、内部導体Ａ３の一端側と接続される配線パターン２３には接触ポイントＴＰ３が規定され、内部導体Ａ３の他端側と接続される配線パターン３３には接触ポイントＴＰ１３が規定されている。また、内部導体Ａ４の一端側と接続される配線パターン２４には接触ポイントＴＰ４が規定され、内部導体Ａ４の他端側と接続される配線パターン３４には接触ポイントＴＰ１４が規定されている。

プローブユニット４１は、本発明における第１のプローブユニットに相当し、図３に示すように、複数（本例では一例として８本）のプローブ２ａ〜２ｈを備え、回路基板検査装置１のプローブユニット２と同様にして、不図示の移動機構によって移動可能に構成されている。また、プローブユニット４１は、接触位置に移動した状態では、回路基板１１Ａに形成された配線パターン２１〜２４上に規定された複数の接触ポイントＴＰ１〜ＴＰ４に、各プローブ２ａ〜２ｈのうちの対応する２本のプローブがそれぞれ接触するように構成されている。本例では、プローブユニット４１は、接触ポイントＴＰ１に一対のプローブ２ａ，２ｂが接触し、接触ポイントＴＰ２に一対のプローブ２ｃ，２ｄが接触し、接触ポイントＴＰ３に一対のプローブ２ｅ，２ｆが接触し、接触ポイントＴＰ４に一対のプローブ２ｇ，２ｈが接触するように構成されている。

プローブユニット４２は、本発明における第２のプローブユニットに相当し、図３に示すように、複数（本例では一例として８本）のプローブ３ａ〜３ｈを備え、回路基板検査装置１のプローブユニット３と同様にして、前述の移動機構によって移動可能に構成されている。また、プローブユニット４２は、接触位置に移動した状態では、回路基板１１Ａの配線パターン３１〜３４上にそれぞれ規定された接触ポイントＴＰ１１〜ＴＰ１４に、各プローブ３ａ〜３ｈのうちの対応する２本のプローブがそれぞれ接触するように構成されている。本例では、プローブユニット４２は、接触ポイントＴＰ１１に一対のプローブ３ａ，３ｂが接触し、接触ポイントＴＰ１２に一対のプローブ３ｃ，３ｄが接触し、接触ポイントＴＰ１３に一対のプローブ３ｅ，３ｆが接触し、接触ポイントＴＰ１４に一対のプローブ３ｇ，３ｈが接触するように構成されている。

また、プローブユニット４２は、本発明における短絡部ＳＨを構成する第１短絡配線４１ａ、第２短絡配線４１ｂおよび複数（プローブ３ａ〜３ｈと同数）のスイッチＳＷａ〜ＳＷｈ（以下、特に区別しないときには「スイッチＳＷ」ともいう）を備え、処理部４４の制御下で各スイッチＳＷをオン状態またはオフ状態とすることにより、プローブ３ａ，３ｃ，３ｅ，３ｇのうちの任意の２本を選択的に第１短絡配線４１ａに接続させて互いに短絡させ、またプローブ３ｂ，３ｄ，３ｆ，３ｈのうちの任意の２本を選択的に第２短絡配線４１ｂに接続させて互いに短絡させる。この構成により、プローブユニット４２は、プローブ３ａ〜３ｈを介して各接触ポイントＴＰ１１〜ＴＰ１４のうちの任意の二対の接触ポイントＴＰ同士を短絡させる。例えば、短絡部ＳＨは、スイッチＳＷａ，ＳＷｃがオン状態に移行することにより、第１短絡配線４１ａを介して一対の接触ポイントＴＰ１１，ＴＰ１２同士を短絡させ、またスイッチＳＷｄ，ＳＷｆがオン状態に移行することにより、第２短絡配線４１ｂを介して他の一対の接触ポイントＴＰ１２，ＴＰ１３同士を短絡させる。

第１切替部６は、スキャナとして構成されて、接触ポイントＴＰ１に接触させられる２本のプローブ２ａ，２ｂのうちの一方（プローブ２ａ）、接触ポイントＴＰ２に接触させられる２本のプローブ２ｃ，２ｄのうちの一方（プローブ２ｃ）、接触ポイントＴＰ３に接触させられる２本のプローブ２ｅ，２ｆのうちの一方（プローブ２ｅ）、および接触ポイントＴＰ４に接触させられる２本のプローブ２ｇ，２ｈのうちの一方（プローブ２ｇ）に対して、各プローブ２ａ，２ｃ，２ｅ，２ｇ（本発明における第１プローブ）に対応する個別のケーブル１２を介して接続されている。また、第１切替部６は、処理部８によって制御されて、各プローブ２ａ，２ｃ，２ｅ，２ｇのうちの任意の２本のプローブをそれぞれ電圧検出プローブとして、対応するケーブル１２を介して電圧測定部４の一対の入力端子に接続する。

第２切替部４３は、スキャナとして構成されて、接触ポイントＴＰ１に接触させられる２本のプローブ２ａ，２ｂのうちの他方（プローブ２ｂ）、接触ポイントＴＰ２に接触させられる２本のプローブ２ｃ，２ｄのうちの他方（プローブ２ｄ）、接触ポイントＴＰ３に接触させられる２本のプローブ２ｅ，２ｆのうちの他方（プローブ２ｆ）、および接触ポイントＴＰ４に接触させられる２本のプローブ２ｇ，２ｈのうちの他方（プローブ２ｈ）に対して、各プローブ２ｂ，２ｄ，２ｆ，２ｈ（本発明における第２プローブ）に対応する個別のケーブル１３を介して接続されている。また、第２切替部４３は、処理部８によって制御されて、各プローブ２ｂ，２ｄ，２ｆ，２ｈのうちの任意の２本のプローブをそれぞれ電流供給プローブとして、対応するケーブル１３を介して電流供給部５の一対の出力端子に接続する。

処理部４４は、ＣＰＵを備えて構成されて、記憶部９に予め記憶されている動作プログラムに従って作動することにより、検査位置に載置された回路基板１１に対する回路基板検査処理を実行すると共に、プローブユニット４１，４２を移動させる移動機構、プローブユニット４２内の短絡部ＳＨ、電圧測定部４、電流供給部５および各切替部６，４３に対する制御を実行する。記憶部９には、回路基板検査装置１の構成と同様の情報の他に、検査対象毎に短絡させられる二対の接触ポイントＴＰの情報（具体的には、プローブ３ａ〜３ｈのうちの短絡される２組のプローブの情報）が予め記憶されている。

次に、回路基板検査装置１Ａの動作について、図２，３を参照して説明する。なお、予め検査位置に回路基板１１Ａが載置されているものとする。

この状態において、回路基板検査装置１Ａの電源が投入されたときには、この回路基板検査装置１Ａでは、処理部４４が、動作プログラムに従って作動して、回路基板検査処理を開始する。この回路基板検査処理では、処理部４４は、まず、移動機構を制御して、各プローブユニット４１，４２を待避位置から接触位置に移動させる（ステップ５１）。これにより、プローブユニット４１では、図３に示すように、一対のプローブ２ａ，２ｂが接触ポイントＴＰ１に接触し、一対のプローブ２ｃ，２ｄが接触ポイントＴＰ２に接触し、一対のプローブ２ｅ，２ｆが接触ポイントＴＰ３に接触し、一対のプローブ２ｇ，２ｈが接触ポイントＴＰ４に接触した状態となる。また、プローブユニット３では、一対のプローブ３ａ，３ｂが接触ポイントＴＰ１１に接触し、一対のプローブ３ｃ，３ｄが接触ポイントＴＰ１２に接触し、一対のプローブ３ｅ，３ｆが接触ポイントＴＰ１３に接触し、一対のプローブ３ｇ，３ｈが接触ポイントＴＰ１４に接触した状態となる。

次いで、処理部４４は、この状態において各切替部６，４３を制御して、検査対象とする最初の内部導体Ａに対して、電圧測定部４および電流供給部５を接続する（ステップ５２）。この場合、処理部４４は、最初の内部導体のうちの１つを検査対象として記憶部９から読み出すと共に、この内部導体を検査する際に使用するプローブ、およびそのプローブの用途についての情報を記憶部９から読み出す。また、処理部４４は、この読み出した情報に基づいて各切替部６，４３の切替状態を制御することにより、プローブ２ａ，２ｃ，２ｅ，２ｇのうちの電圧測定プローブとなる２本をそれぞれのケーブル１２および第１切替部６を介して電圧測定部４の各入力端子に接続し、かつプローブ２ｂ，２ｄ，２ｆ，２ｈのうちの電流供給プローブとなる２本をそれぞれのケーブル１３および第２切替部４３を介して電流供給部５の各出力端子に接続する。また、処理部４４は、接触ポイントＴＰ１１〜ＴＰ１４のうちの読み出した検査対象の検査に際して短絡させられる二対の接触ポイントＴＰの情報（プローブ３ａ〜３ｈのうちの短絡される２組のプローブの情報）を読み出すと共に、この読み出した情報に基づいてプローブユニット４２内の短絡部ＳＨを制御することにより、短絡される２組のプローブに接続されている各スイッチＳＷのみをオン状態に移行させて、各組のプローブ同士を短絡させる。これにより、各組のプローブが接触している接触ポイント対がそれぞれ短絡される。

一例として、処理部４４が、最初の検査対象として内部導体Ａ２を記憶部９から読み出したときには、この内部導体Ａ２を検査する際に使用するプローブ、およびそのプローブの用途についての情報を記憶部９からさらに読み出す。この場合、処理部４４は、使用するプローブの情報として、配線パターン２２上に規定された接触ポイントＴＰ２（本発明における第１の接触ポイント）に接触している２本のプローブ２ｃ，２ｄのうちの一方（第１プローブとしてのプローブ２ｃ）、複数の内部導体Ａのうちの検査対象（内部導体Ａ２）を除く１つの内部導体（本例では内部導体Ａ１）における一端側と接続されている配線パターン２１上に規定された接触ポイントＴＰ１（本発明における第２の接触ポイント）に接触している２本のプローブ２ａ，２ｂのうちの一方（第１プローブとしてのプローブ２ａ）、接触ポイントＴＰ２に接触している２本のプローブ２ｃ，２ｄのうちの他方（第２プローブとしてのプローブ２ｄ）、および複数の内部導体Ａのうちの検査対象（内部導体Ａ２）を除く他の１つ（内部導体Ａ２，Ａ１を除く１つ）の内部導体（本例では内部導体Ａ３）における一端側と接続されている配線パターン２３上に規定された接触ポイントＴＰ３（本発明における第３の接触ポイント）に接触している２本のプローブ２ｅ，２ｆのうちの他方（第２プローブとしてのプローブ２ｆ）についての情報を読み出す。

また、処理部４４は、これらのプローブ２ａ，２ｃ，２ｄ，２ｆの用途の情報として、２本のプローブ２ａ，２ｃを電圧検出プローブとすること、および２本のプローブ２ｄ，２ｆを電流供給プローブとすることについての情報を読み出す。また、処理部４４は、読み出した使用するプローブおよびその用途についての情報に基づき、第１切替部６を制御して、プローブ２ａ，２ｃをそれぞれのケーブル１２および第１切替部６を介して電圧測定部４の各入力端子に接続し、第２切替部４３を制御して、プローブ２ｄ，２ｆをそれぞれのケーブル１３および第２切替部４３を介して電流供給部５の各出力端子に接続する。

また、処理部４４は、内部導体Ａ２を検査対象とするときに互いに短絡させる回路基板１１Ａの他方の面側の二対の接触ポイントＴＰの情報として、内部導体Ａ２の他端側と接続される配線パターン３２上に規定された接触ポイントＴＰ１２（本発明における第４の接触ポイント）と、複数の内部導体のうちの検査対象（内部導体Ａ２）を除く１つの内部導体Ａ１の他端側と接続される配線パターン３１上に規定された接触ポイントＴＰ１１（本発明における第５の接触ポイント）とが互いに短絡される接触ポイントの一対であり、この一対の接触ポイントＴＰ同士を短絡させるために使用される第１プローブの組がプローブ３ａ，３ｃであるとの情報、および接触ポイントＴＰ１２と、複数の内部導体のうちの検査対象（内部導体Ａ２）を除く他の１つ（内部導体Ａ２，Ａ１を除く１つ）の内部導体Ａ３の他端側と接続される配線パターン３３上に規定された接触ポイントＴＰ１３（本発明における第６の接触ポイント）とが互いに短絡される接触ポイントの残りの一対であり、この一対の接触ポイント同士を短絡させるために使用される第２プローブの組がプローブ３ｄ，３ｆであるとの情報を読み出す。

また、処理部４４は、この読み出した各プローブ３ａ，３ｃ，３ｄ，３ｆの情報に基づいてプローブユニット４２内の短絡部ＳＨを制御することにより、各プローブ３ａ，３ｃ，３ｄ，３ｆに接続されている各スイッチＳＷａ，ＳＷｃ，ＳＷｄ，ＳＷｆのみをオン状態に移行させる。これにより、各プローブ３ａ，３ｃが、対応するスイッチＳＷａ，ＳＷｃおよび第１短絡配線４１ａを介して短絡され、この結果として一対の接触ポイントＴＰ１１，ＴＰ１２が短絡される。また、各プローブ３ｄ，３ｆが、対応するスイッチＳＷｄ，ＳＷｆおよび第２短絡配線４１ｂを介して短絡され、この結果として一対の接触ポイントＴＰ１２，ＴＰ１３が短絡される。

続いて、処理部４４は、内部導体Ａ２についての抵抗値Ｒの測定処理を実行する（ステップ５３）。この測定処理では、処理部４４は、まず、電流供給部５を制御して測定電流Ｉ１の出力を開始させると共に、電圧測定部４を制御して電圧Ｖ１の測定を開始させる。これにより、電流供給部５から出力された測定電流Ｉ１は、第２切替部４３、プローブ２ｄが接続されているケーブル１３、電流供給プローブとしてのプローブ２ｄ、配線パターン２２、内部導体Ａ２、配線パターン３２、スイッチＳＷｄ，ＳＷｆを介して第２短絡配線４１ｂで短絡された各プローブ３ｄ，３ｆ、配線パターン３３、内部導体Ａ３、配線パターン２３、電流供給プローブとしてのプローブ２ｆ、プローブ２ｆが接続されているケーブル１３および第２切替部４３を経由して電流供給部５に戻る電流経路を流れる。また、この測定電流Ｉ１が内部導体Ａ２を流れることに起因して内部導体Ａ２の各端部間に電圧Ｖ１が発生する。電圧測定部４は、第１切替部６、プローブ２ａが接続されているケーブル１２、電圧検出プローブとしてのプローブ２ａ、配線パターン２１、内部導体Ａ１、配線パターン３１、スイッチＳＷａ，ＳＷｃを介して第１短絡配線４１ａで短絡された各プローブ３ａ，３ｃ、配線パターン３２、内部導体Ａ２、配線パターン２２、電圧検出プローブとしてのプローブ２ｃ、プローブ２ｃが接続されているケーブル１２および第１切替部６を経由して電圧測定部４に戻る電圧検出経路を介して、この電圧Ｖ１を両接触ポイントＴＰ１，ＴＰ２に発生するポイント間電圧として測定する。この場合、電圧測定部４の電圧検出経路と電流供給部５の電流経路の重複部分は、配線パターン３２、内部導体Ａ２および配線パターン２２部分のみであるため、電圧測定部４は、上記の電圧Ｖ１を四端子法によって正確に測定する。

この際に、回路基板検査装置１Ａでは、上記した回路基板検査装置１と同様にして、回路基板１１Ａの他方の面側に位置する経路（プローブユニット３の２本のプローブ３ａ，３ｃおよび第１短絡配線４１ａから成る短い経路）を一部に含むものの、その殆どが回路基板１１Ａの一方の面側に配設された２本のケーブル１２で電圧検出経路が構成されている。したがって、この回路基板検査装置１Ａでも、電圧検出経路の開口面積（電圧検出経路のループ面積）が大幅に小さく形成されるため、電流経路に発生する磁界についての電圧検出経路のループ内の通過量や外部ノイズの通過量が大幅に低減されている。

さらに、回路基板検査装置１Ａでは、測定電流Ｉ１が流れる電流経路についても上記した電圧検出経路と同様にして、回路基板１１Ａの他方の面側に位置する経路（プローブユニット３の２本のプローブ３ｄ，３ｆおよび第２短絡配線４１ｂから成る短い経路）を一部に含むものの、その殆どが回路基板１１Ａの一方の面側にのみ配設された２本のケーブル１３で電流経路が構成されている。このため、電流経路を構成する２本のケーブル１３が、回路基板１１Ａの両側に配設される構成と比較して互いの距離が近接しており、かつこの２本のケーブル１３のうちの一方が他方に流れる測定電流Ｉ１のリターン路となって両ケーブル１３に流れる測定電流Ｉ１の向きが逆向きになる結果、両ケーブル１３に発生する磁束が互いに打ち消し合うように作用して、測定電流Ｉ１が流れることに起因して電流経路全体に発生する磁束の量が大幅に低減されて、この電流経路に磁束が発生することに起因して電圧検出経路に発生する誘導起電力が大幅に弱められている。したがって、電圧測定部４に入力される電圧Ｖ１の波形は、測定電流Ｉ１が流れることに起因する誘導起電力の影響や外部ノイズの影響の極めて少ない波形となっている。

電圧測定部４は、測定電流Ｉ１の供給（印加）開始直後から、入力した電圧Ｖ１の電圧値Ｖｘ１を測定して処理部４４に出力する。続いて、処理部４４は、入力した電圧値Ｖｘ１を記憶部９に記憶させると共に、記憶部９から読み出した電流値Ｉｘ１で電圧値Ｖｘ１を除算することにより、四端子法で内部導体Ａ２の抵抗値Ｒを算出して、記憶部９に記憶させる。これにより、抵抗値Ｒの測定処理が完了する。

次いで、処理部４４は、検査処理を実行する（ステップ５４）。この検査処理では、処理部４４は、前述した測定処理で算出した内部導体Ａ２の抵抗値Ｒと、この内部導体Ａ２の基準抵抗値Ｒｒｅｆとを読み出すと共に、両者を比較して、抵抗値Ｒが基準抵抗値Ｒｒｅｆ以下のときには、内部導体Ａ２は正常であると判別し、抵抗値Ｒが基準抵抗値Ｒｒｅｆを超えるときには異常であると判別する。また、処理部４４は、この検査結果を検査対象（内部導体Ａ２）の情報（識別情報）に対応させて記憶部９に記憶させる。これにより、１つの検査対象（内部導体Ａ２）に対する検査処理が完了する。

その後、処理部４４は、記憶部９に記憶されている検査対象のなかに、未検査の検査対象（内部導体Ａ）があるか否かを判別しつつ（ステップ５５）、上記ステップ５２〜５４を繰り返し実行して、検査対象となっているすべての内部導体Ａについての検査を実行する。次いで、すべての内部導体Ａについての検査が完了した後、処理部４４は、すべての内部導体Ａについての検査結果を記憶部９から読み出して、出力部１０に表示させ（ステップ５６）、最後に、移動機構を作動させて、各プローブユニット２，３を接触位置から待避位置に移動させる（ステップ５７）。これにより、回路基板検査処理が完了する。

この回路基板検査装置１Ａでも、回路基板検査装置１と同様にして、回路基板１１Ａの他方の面側に位置する経路（プローブユニット３の２本のプローブ３ａ，３ｃおよび第１短絡配線４１ａから成る短い経路）を一部に含むものの、その殆どが回路基板１１Ａの一方の面側に配設された２本のケーブル１２で電圧検出経路を構成することができ、これによって電圧検出経路の開口面積（電圧検出経路のループ面積）を大幅に小さく形成することができる結果、電流経路に発生する磁界および外部ノイズが電圧検出経路のループ内を通過する各々の通過量を大幅に低減することができる。さらに、回路基板検査装置１Ａでは、測定電流Ｉ１が流れる電流経路が上記のように回路基板１１Ａの片面側（本例では一方の面側）にのみ形成されているため、電流経路を構成する２本のケーブル１３が、回路基板１１Ａの両側に配設される構成と比較して互いの距離が近接しており、かつこの２本のケーブル１３のうちの一方が他方に流れる測定電流Ｉ１のリターン路となって両ケーブルに流れる測定電流Ｉ１の向きが逆向きになる結果、２本のケーブル１３に発生する磁束が互いに打ち消し合うように作用して、測定電流Ｉ１が流れる電流経路全体に発生する磁束の量を大幅に低減することができ、この電流経路に磁束が発生することに起因して電圧検出経路に発生する誘導起電力をさらに弱めることができる。したがって、この回路基板検査装置１Ａによれば、電圧測定部４が検査対象である内部導体に発生する電圧Ｖ１の電圧値Ｖｘ１をさらに高精度で測定することができる結果、検査対象の内部導体の抵抗値Ｒを一層高精度で測定することができ、これにより、抵抗値Ｒに基づいて行う検査対象の検査精度をさらに向上させることができる。

また、上記の回路基板検査装置１Ａでは、回路基板１１Ａの他方の面側に規定された各接触ポイントＴＰ１１〜ＴＰ１４に、プローブ３ａ，３ｂ、プローブ３ｃ，３ｄ、プローブ３ｅ，３ｆ、プローブ３ｇ，３ｈが２本ずつ接触するようにプローブユニット４２を構成しているが、簡易的な四端子法による測定を行う場合には、例えばプローブユニット４２から各プローブ３ｂ，３ｄ，３ｆ，３ｈ、スイッチＳＷｂ，ＳＷｄ，ＳＷｆ，ＳＷｈ、および第２短絡配線４１ｂを省いて、各プローブ３ａ，３ｃ，３ｅ，３ｇ、スイッチＳＷａ，ＳＷｃ，ＳＷｅ，ＳＷｇ、および第１短絡配線４１ａを電流経路および電圧検出経路で共有する構成とすることもできる。この構成によれば、プローブユニット４２を大幅に簡略化することができる。

また、上述した各実施の形態では、電圧測定部４用の第１切替部６と、電流供給部５用の第２切替部７（４３）とを分離した構成を採用したが、第１切替部６および第２切替部７（４３）をまとめて１つの切替部として構成することもできる。また、上記した発明の実施の形態では、回路基板１１，１１Ａとして多層基板を例に挙げて、その一方の面に形成された配線パターンと他方の面に形成された配線パターンとを接続する複数のビアを含む内部導体を検査対象としているが、両面基板のように一方の面に形成された配線パターンと他方の面に形成された配線パターンとが１つのスルーホールで接続される基板については、この１つのスルーホールを検体対象の内部導体として本願発明を適用できるのは勿論である。また、電流供給部５が測定電流Ｉ１として直流定電流を供給する例について説明したが、交流定電流を供給する構成に対しても、本願発明を適用できるのは勿論である。

回路基板検査装置１の構成図である。回路基板検査装置１，１Ａの動作を説明するためのフローチャートである。回路基板検査装置１Ａの構成図である。

符号の説明

１，１Ａ回路基板検査装置
２，３プローブユニット
２ａ〜２ｈ，３ａ〜３ｈプローブ
４１ａ第１短絡配線
４１ｂ第２短絡配線
４電圧測定部
５電流供給部
６第１切替部
７，４３第２切替部
８，４４処理部
１１，１１Ａ回路基板

Claims

複数のプローブを備えた第１のプローブユニットを回路基板の一方の面側に配設すると共に、複数のプローブを備えた第２のプローブユニットを前記回路基板の他方の面側に配設して、前記一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記第１のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブをそれぞれ接触させると共に、前記他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記第２のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブをそれぞれ接触させ、
前記第２のプローブユニットの前記複数のプローブにおける前記各接触ポイントに接触されている前記２本のプローブのうちの一方同士を短絡させ、
前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの検査対象とする内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの一方、および当該複数の内部導体のうちの当該検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される当該一方の面側の前記配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの一方をそれぞれ電圧検出プローブとし、
前記第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの他方、および前記検査対象の内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの他方をそれぞれ電流供給プローブとして使用し、
前記電流供給プローブとしての前記２本のプローブから前記検査対象の内部導体に測定電流を供給し、
前記電圧検出プローブとしての前記２本のプローブを使用して前記第１の接触ポイントおよび前記第２の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定し、
前記測定電流および前記ポイント間電圧に基づいて前記検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定すると共に当該抵抗に基づいて当該内部導体の検査を行う回路基板検査方法。
複数のプローブを備えた第１のプローブユニットを回路基板の一方の面側に配設すると共に、複数のプローブを備えた第２のプローブユニットを前記回路基板の他方の面側に配設して、前記一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記第１のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブをそれぞれ接触させると共に、前記他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記第２のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブをそれぞれ接触させ、
前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの検査対象とする内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブ、および前記複数の内部導体のうちの前記検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブをそれぞれ電圧検出プローブとし、
前記第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブ、および前記複数の内部導体のうちの前記検査対象の内部導体を除く他の１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブをそれぞれ電流供給プローブとし、
前記検査対象の内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第４の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブと、前記１つの内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第５の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブとを短絡させ、
前記第４の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブと、前記他の１つの内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第６の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブとを短絡させ、
前記電流供給プローブとしての前記２本の第２プローブから、前記検査対象の内部導体、前記第４の接触ポイントに接触している前記第２プローブ、および当該第２プローブと短絡された前記第６の接触ポイントに接触している前記第２プローブを含む経路に測定電流を供給し、
前記電圧検出プローブとしての前記２本の第１プローブを使用して前記第１の接触ポイントおよび前記第２の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定し、
前記測定電流および前記ポイント間電圧に基づいて前記検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定すると共に当該抵抗に基づいて当該内部導体の検査を行う回路基板検査方法。
複数のプローブを備えると共に、回路基板の一方の面側に配設されて当該一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブを同時に接触可能に構成された第１のプローブユニットと、
複数のプローブを備えると共に、回路基板の他方の面側に配設されて当該他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブを同時に接触可能に構成され、かつ当該複数のプローブにおける当該各接触ポイントに接触されている当該２本のプローブのうちの一方同士を短絡させる短絡配線を有する第２のプローブユニットと、
測定電流を出力する電流供給部と、
電圧測定部と、
前記一方の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの一方と当該複数の接触ポイントのうちの他の任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの一方とを選択して前記電圧測定部に電気的に接続させる第１切替部と、
前記一方の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの他方と前記他の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの他方とを選択して前記電流測定部に電気的に接続させる第２切替部と、
処理部とを備え、
当該処理部は、前記第１および第２のプローブユニットを移動させて前記複数のプローブを対応する前記各接触ポイントに接触させ、その状態において、前記第１切替部を制御して、前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの検査対象とする内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの一方、および前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの当該検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの一方をそれぞれ電圧検出プローブとして前記電圧測定部に接続させると共に、前記第２切替部を制御して、当該第１の接触ポイントに接触している当該２本のプローブのうちの他方、および当該検査対象の内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの他方をそれぞれ電流供給プローブとして前記電流供給部に接続させ、かつ当該電流供給部を制御して当該検査対象の内部導体に前記電流供給プローブを介して前記測定電流を供給させると共に、当該電圧測定部を制御して当該第１の接触ポイントおよび当該第２の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定させ、当該測定電流および当該ポイント間電圧に基づいて当該検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定して当該抵抗に基づいて当該内部導体の検査を行う回路基板検査装置。
複数のプローブを備えると共に、回路基板の一方の面側に配設されて当該一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブを同時に接触可能に構成された第１のプローブユニットと、
複数のプローブを備えると共に、回路基板の他方の面側に配設されて当該他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する２本のプローブを同時に接触可能に構成され、かつ当該プローブを介して当該各接触ポイントのうちの任意の二対の接触ポイント同士を短絡させる短絡部を有する第２のプローブユニットと、
測定電流を出力する電流供給部と、
電圧測定部と、
前記一方の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの第１プローブと当該複数の接触ポイントのうちの他の任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの第１プローブとを選択して前記電圧測定部に電気的に接続させる第１切替部と、
前記一方の面側に規定された前記複数の接触ポイントのうちの任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの第２プローブと当該複数の接触ポイントのうちの他の任意の１つの接触ポイントに接続された前記２本のプローブのうちの第２プローブとを選択して前記電流測定部に電気的に接続させる第２切替部と、
処理部とを備え、
当該処理部は、前記第１および第２のプローブユニットを移動させて前記複数のプローブを対応する前記各接触ポイントに接触させ、その状態において、前記第１切替部を制御して、前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの検査対象とする内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第１の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブ、および前記回路基板に形成された複数の内部導体のうちの当該検査対象の内部導体を除く１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第２の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブをそれぞれ電圧検出プローブとして前記電圧測定部に接続させると共に、前記第２切替部を制御して、当該第１の接触ポイントに接触している当該２本のプローブのうちの第２プローブ、および当該検査対象の内部導体のうちの前記検査対象の内部導体を除く他の１つの内部導体の一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第３の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブをそれぞれ電流供給プローブとして前記電流供給部に接続させ、かつ前記短絡部に対して、当該検査対象の内部導体の他端側と接続される前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第４の接触ポイントと、前記１つの内部導体の他端側と接続される当該他方の面側の前記配線パターン上に規定された第５の接触ポイントとを当該第４の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブおよび当該第５の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第１プローブを介して短絡させると共に、当該第４の接触ポイントと前記他の１つの内部導体の他端側と接続される当該他方の面側の前記配線パターン上に規定された第６の接触ポイントとを当該第４の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブおよび当該第６の接触ポイントに接触している前記２本のプローブのうちの第２プローブを介して短絡させ、かつ当該電流供給部を制御して当該検査対象の内部導体に前記電流供給プローブを介して前記測定電流を供給させると共に、当該電圧測定部を制御して当該第１の接触ポイントおよび当該第２の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定させ、当該測定電流および当該ポイント間電圧に基づいて当該検査対象の内部導体の抵抗を四端子法で測定して当該抵抗に基づいて当該内部導体の検査を行う回路基板検査装置。