JP5507430B2 - 回路基板検査装置 - Google Patents

回路基板検査装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5507430B2
JP5507430B2 JP2010269901A JP2010269901A JP5507430B2 JP 5507430 B2 JP5507430 B2 JP 5507430B2 JP 2010269901 A JP2010269901 A JP 2010269901A JP 2010269901 A JP2010269901 A JP 2010269901A JP 5507430 B2 JP5507430 B2 JP 5507430B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
unit
probe
probes
contact
circuit board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010269901A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2012117991A (ja
Inventor
和浩 伴
Original Assignee
日置電機株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日置電機株式会社 filed Critical 日置電機株式会社
Priority to JP2010269901A priority Critical patent/JP5507430B2/ja
Publication of JP2012117991A publication Critical patent/JP2012117991A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5507430B2 publication Critical patent/JP5507430B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、複数のプローブを備えた一対のプローブユニットを回路基板の両側から回路基板に接触させて検査を行う回路基板検査装置に関するものである。
この種の回路基板検査装置として、本願出願人は、下記特許文献1に開示された回路基板検査装置を既に提案している。この回路基板検査装置は、回路基板の一方の面側に配設された第1のプローブユニットと、回路基板の他方の面側に配設された第2のプローブユニットと、測定電流供給部と、電圧測定部と、第1のプローブユニットの複数のプローブのうちの任意の1本のプローブと第2のプローブユニットの複数のプローブのうちの任意の1本のプローブとを選択して測定電流供給部に電気的に接続すると共に、第1のプローブユニットの複数のプローブのうちの他の任意の1本のプローブと第2のプローブユニットの複数のプローブのうちの他の任意の1本のプローブとを選択して電圧測定部に電気的に接続する切替部と、相殺電流供給部と、切替部および相殺電流供給部の制御を実行する処理部を備えている。
この回路基板検査装置では、回路基板に形成されたビアのように、回路基板の一方の面から他方の面に亘って貫通するものを検査対象とするときには、検査対象のビアの一端側と接続される回路基板の一方の面側の配線パターン上に規定された第1の接触ポイントに接触している2本のプローブのうちの一方、および検査対象のビアの他端側と接続される回路基板の他方の面側の配線パターン上に規定された第2の接触ポイントに接触している2本のプローブのうちの一方をそれぞれ電流供給プローブとして使用して検査対象に測定電流を供給し、かつ第1の接触ポイントに接触している2本のプローブのうちの他方および第2の接触ポイントに接触している2本のプローブのうちの他方をそれぞれ電圧検出プローブとして使用して第1の接触ポイントおよび第2の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定する際に、回路基板の一方の面側の複数の接触ポイントのうちの第3の接触ポイントに接触している2本のプローブのうちの一方および回路基板の他方の面側の複数の接触ポイントのうちの第4の接触ポイントに接触している2本のプローブのうちの一方をそれぞれ相殺電流供給プローブとして使用して、相殺電流供給プローブおよび検査対象とするビア以外のビアを含む相殺電流経路に相殺電流を供給することにより、電流供給プローブおよび検査対象とするビアを含む測定電流経路に測定電流が流れることに起因して検査対象とするビアおよび電圧検出プローブを含む電圧検出経路に発生する誘導起電力を相殺する相殺起電力を発生させる。
したがって、この回路基板検査装置によれば、回路基板を貫通して構成される測定電流経路と同様にして、相殺電流経路を回路基板を貫通して形成することができ、これによって各経路を接近させることができるため、検査対象のビアを含む測定電流経路に測定電流が流れることに起因して検査対象を含む電圧検出経路に発生する誘導起電力を、相殺電流経路を流れる相殺電流に起因して発生する誘導起電力で確実に相殺することができる。これにより、この回路基板検査装置によれば、検査対象のビアに発生するポイント間電圧の電圧値を高精度で測定できる結果、測定電流の電流値とポイント間電圧の電圧値とに基づいて検査対象のビアの抵抗値を高精度で測定することができるため、抵抗値に基づいて行う検査対象の検査精度を十分に向上させることができる。
特開2009−2893号公報(第8−9頁、第1図)
ところが、上記の回路基板検査装置には、以下の解決すべき課題が存在している。すなわち、この回路基板検査装置では、回路基板に形成されたビアを利用して相殺電流経路を構成している。このため、この回路基板検査装置では、上記したように測定電流経路に相対電流経路を近接させることが可能となっているが、この回路基板検査装置には、回路基板の種類毎に、または同種の回路基板においても検査対象とするビア毎に、相殺電流経路の一部として利用するビアを予め個別に設定しておく必要があり、この個別設定の作業に手間がかかるという解決すべき課題が存在している。
本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、電圧検出経路に発生する誘導起電力を相殺電流に起因して発生する誘導起電力で相殺しつつ、相殺電流経路の一部として利用するビアの個別設定を不要とする回路基板検査装置を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載の回路基板検査装置は、複数のプローブを備えると共に、回路基板の一方の面側に配設されて当該一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する2本のプローブを同時に接触可能に構成された第1のプローブユニットと、複数のプローブを備えると共に、回路基板の他方の面側に配設されて当該他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する2本のプローブを同時に接触可能に構成された第2のプローブユニットと、測定電流を出力する測定電流供給部と、電圧測定部と、前記第1のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの任意の1本のプローブと前記第2のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの任意の1本のプローブとを選択して前記測定電流供給部に電気的に接続すると共に、当該第1のプローブユニットの当該複数のプローブのうちの他の任意の1本のプローブと当該第2のプローブユニットの当該複数のプローブのうちの他の任意の1本のプローブとを選択して前記電圧測定部に電気的に接続する切替部と、処理部とを備え、当該処理部は、前記第1および第2のプローブユニットを移動させて前記複数のプローブを対応する前記各接触ポイントに接触させ、その状態において前記切替部を制御して、前記回路基板に形成されている複数のビアのうちの検査対象とするビアの一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第1の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの一方、および当該ビアの他端側と接続されている前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第2の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの一方をそれぞれ電流供給プローブとして前記測定電流供給部に接続させると共に、当該第1の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの他方および当該第2の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの他方をそれぞれ電圧検出プローブとして前記電圧測定部に接続させ、かつ当該測定電流供給部を制御して当該検査対象とする当該ビアに前記電流供給プローブを介して前記測定電流を供給させると共に、当該電圧測定部を制御して当該第1の接触ポイントおよび第2の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定させ、当該測定電流および当該ポイント間電圧に基づいて前記検査対象とする前記ビアの抵抗を四端子法で測定して当該抵抗に基づいて当該ビアの検査を行う回路基板検査装置であって、前記第1および第2のプローブユニットにそれぞれ配設されて、当該第1および第2のプローブユニットの前記複数のプローブが対応する前記各接触ポイントに接触したときに、互いに直接接触する一対の接触端子と、前記一対の接触端子に接続されて相殺電流を出力する相殺電流供給部とを備え、前記処理部は、前記相殺電流供給部を制御して、前記一対の接触端子を含む相殺電流経路に前記相殺電流を供給させて、前記電流供給プローブおよび当該検査対象とする当該ビアを含む測定電流経路に前記測定電流が流れることに起因して当該検査対象とする当該ビアおよび前記電圧検出プローブを含む電圧検出経路に発生する誘導起電力を相殺する相殺起電力を発生させる。
請求項1記載の回路基板検査装置では、第1のプローブユニットに配設された接触端子、および第2のプローブユニットに配設された接触端子を直接接触させて相殺電流経路を形成し、この相殺電流経路に相殺電流を供給する。したがって、この回路基板検査装置によれば、回路基板の種類が変わったとしても、また同種の回路基板において検査対象とするビアを変えたとしても、常に一対の接触端子を利用して相殺電流経路を形成することができるため、回路基板の種類毎に、または同種の回路基板においても検査対象とするビア毎に、相殺電流経路の一部として利用するビアを個別に設定するという手間のかかる設定作業(個別設定の作業)を不要にすることができる。また、この回路基板検査装置によれば、相殺電流経路に相殺電流を供給することにより、検査対象のビアを含む測定電流経路に測定電流が流れることに起因してビアを含む電圧検出経路に発生する誘導起電力を、相殺電流経路を流れる相殺電流に起因して発生する誘導起電力で確実に相殺することができる。これにより、この回路基板検査装置によれば、電圧測定部が、各接触ポイント間に発生するポイント間電圧(検査対象のビアに発生する電圧)を高精度で測定できる結果、処理部が測定電流の電流値とポイント間電圧の電圧値とに基づいて検査対象のビアの抵抗値を高精度で測定することができるため、抵抗値に基づいて行うビアの検査精度を十分に向上させることができる。
回路基板検査装置1の待避状態(プローブユニット2,3が待避位置に位置している状態)での構成図である。 回路基板検査装置1の接触状態(プローブユニット2,3が接触位置に位置している状態)での構成図である。
以下、添付図面を参照して、回路基板検査装置の実施の形態について説明する。
回路基板検査装置1は、図1に示すように、一対のプローブユニット2,3、測定電流供給部4、相殺電流供給部5、電圧測定部6、切替部7、処理部8、記憶部9および出力部10を備え、回路基板11に形成されている複数の導体部(一例として配線パターン21,22,23,24およびビア31,32)のうちの検査対象となっているビア31,32に対する検査を実行可能に構成されている。なお、各ビア31,32は、図1では、回路基板11が単層回路基板であって、この回路基板に形成された単一のビアで構成される状態を示しているが、検査対象のビアには、図示はしないが、回路基板11が多層回路基板である場合に、各層に形成された単一のビアが互いに接続されて構成されるものも含まれるものとする。
また、回路基板11の各配線パターン21〜24には後述のプローブを接触させるための接触ポイントTP1〜TP4が予め規定されている。具体的には、回路基板11の一方の面(同図中の上面)には配線パターン21,22が形成されて、このうちのビア31の一端側と接続された配線パターン21には、ビア31を検査する際に使用される接触ポイントTP1が規定されている。また、ビア32の一端側と接続された配線パターン22には、ビア32を検査する際に使用される接触ポイントTP2が規定されている。
一方、回路基板11の他方の面(同図中の下面)には、配線パターン23,24が形成されて、このうちのビア31の他端側と接続された配線パターン23には、ビア31を検査する際に使用される接触ポイントTP3が規定されている。また、ビア32の他端側と接続された配線パターン24には、ビア32を検査する際に使用される接触ポイントTP4が規定されている。なお、以下において、接触ポイントTP1〜TP4を特に区別しないときには、「接触ポイントTP」ともいう。
プローブユニット2は、第1のプローブユニットであって、導電性材料(例えば金属材料)で形成された複数(本例では一例として4本)のプローブ2a,2b,2c,2d、および1本の導電性材料(例えば金属材料)で形成された接触端子2eを備え、検査位置に載置された回路基板11の一方の面側(図1中の上側)において、検査位置(図1,2に示すように、各プローブユニット2,3の中間の位置)への回路基板11の載置および検査位置からの回路基板11の取り出しを可能とする待避位置(図1に示す位置)と、接触位置(図2に示す位置)との間を不図示の移動機構によって移動可能に構成されている。また、プローブユニット2は、接触位置に移動した状態では、回路基板11に規定されたポイントTP1,TP2に各プローブ2a〜2dのうちの対応する2本のプローブがそれぞれ同時に接触するように構成されている。本例では、プローブユニット2は、接触ポイントTP1に一対のプローブ2a,2bが同時に接触し、接触ポイントTP2に一対のプローブ2c,2dが同時に接触するように構成されている。
プローブユニット3は、第2のプローブユニットであって、導電性材料(例えば金属材料)で形成された複数(本例では一例として4本)のプローブ3a,3b,3c,3d、および1本の導電性材料(例えば金属材料)で形成された接触端子3eを備え、検査位置に載置された回路基板11の他方の面側(図1中の下側)において、検査位置への回路基板11の載置および検査位置からの回路基板11の取り出しを可能とする待避位置(図1に示す位置)と、接触位置(図2に示す位置)との間を不図示の移動機構によって移動可能に構成されている。また、プローブユニット3は、接触位置に移動した状態では、回路基板11に規定された接触ポイントTP3,TP4に各プローブ3a〜3dのうちの対応する2本のプローブがそれぞれ同時に接触するように構成されている。本例では、プローブユニット3は、接触ポイントTP3に一対のプローブ3a,3bが同時に接触し、接触ポイントTP4に一対のプローブ3c,3dが同時に接触するように構成されている。
また、プローブユニット2,3に配設された一対の接触端子2e,3eは、互いに対向する位置に配設されて、図2に示すように、両プローブユニット2,3が接触位置に位置しているときにのみ、回路基板11の近傍において互いの先端部同士が直接接触するように構成されている。
測定電流供給部4は、処理部8によって制御されて、一対の出力端子(図示せず)から測定電流I1(一例として直流定電流(電流値Ix1))を出力して切替部7に供給する。
相殺電流供給部5は、処理部8によって制御されて、一対の出力端子(図示せず)から相殺電流I2(一例として直流定電流(電流値Ix2))を出力する。また、相殺電流供給部5の一対の出力端子は、一対のケーブル12(プローブユニット2の外部から内部に導入されて接触端子2eに至るケーブル、およびプローブユニット3の外部から内部に導入されて接触端子3eに至るケーブル)を介して接触端子2e,3eに接続されている。この構成により、相殺電流供給部5は、両プローブユニット2,3が接触位置に位置しているときに(接触端子2e,3eが接触しているときに)処理部8によって制御されて、一対の出力端子(図示せず)のうちの一方の出力端子から、プローブユニット3の外部から内部に導入されて接触端子3eに至るケーブル12、接触端子3e、接触端子2e、およびプローブユニット2の外部から内部に導入されて接触端子2eに至るケーブル12を経由して他方の出力端子に至る相殺電流経路に相殺電流I2(一例として直流定電流(電流値Ix2))を出力することで、プローブユニット2に配設された接触端子2eおよびプローブユニット3に配設された接触端子3e間に相殺電流I2を供給する。また、電流値Ix2は、電流値Ix1と同じ値に予め設定されている。
電圧測定部6は、処理部8によって制御されて、切替部7から出力された電圧V1を一対の入力端子を介して入力してその電圧値Vx1を測定して出力する。
切替部7は、複数の切替スイッチが組み合わされてスキャナとして構成されている。また、切替部7は、各プローブユニット2,3のすべてのプローブ2a〜2d,3a〜3dと、個別のケーブル13(プローブユニット2の外部から内部に導入されて各プローブ2a〜2dに至るケーブル、およびプローブユニット3の外部から内部に導入されて各プローブ3a〜3dに至るケーブル)を介して接続されると共に、測定電流供給部4および電圧測定部6とも個別のケーブル(図示せず)を介して接続されている。
また、切替部7は、処理部8によって制御されて、プローブユニット2の各プローブ2a〜2dのうちの任意の1本のプローブと、プローブユニット3の各プローブ3a〜3dのうちの任意の1本のプローブとを選択して、これら2本のプローブを測定電流供給プローブとして測定電流供給部4の一対の出力端子にケーブル13を介して接続する。また、切替部7は、処理部8によって制御されて、プローブユニット2の各プローブ2a〜2dのうちの他の任意の1本(測定電流供給部4に接続されるプローブを除いた他のプローブのうちの1本)のプローブと、プローブユニット3の各プローブ3a〜3dのうちの他の任意の1本(測定電流供給部4に接続されるプローブを除いた他のプローブのうちの1本)のプローブとを選択して、これら2本のプローブを電圧検出プローブとして電圧測定部6の一対の入力端子にケーブル13を介して接続する。
処理部8は、CPUを備えて構成されて、記憶部9に予め記憶されている動作プログラムに従って作動することにより、検査位置に載置された回路基板11に対する回路基板検査処理を実行すると共に、プローブユニット2,3を移動させる移動機構、測定電流供給部4、相殺電流供給部5、電圧測定部6および切替部7に対する制御を実行する。記憶部9は、ROMおよびRAMで構成されて、処理部8のための動作プログラム、回路基板11に形成されている配線パターン21〜24およびビア31,32についての情報、検査対象を検査する際にその抵抗値を四端子法で測定するために使用される検査対象毎のプローブのリスト、そのプローブの用途(測定電流供給プローブおよび電圧検出プローブのいずれかに使用するか)、並びに検査対象とするビアについての良否判別のための基準値(基準抵抗値Rref)が予め記憶されている。また、記憶部9には、測定電流I1および相殺電流I2の各電流値Ix1,Ix2(=Ix1)が記憶されている。出力部10は、一例として表示装置で構成されて、処理部8から出力された検査処理の結果を表示する。
次に、回路基板検査装置1の動作について、図1,2を参照して説明する。なお、予め検査位置に回路基板11が載置されているものとする。
この状態において、この回路基板検査装置1では、処理部8が、動作プログラムに従って作動して、回路基板検査処理を開始する。この回路基板検査処理では、処理部8は、まず、移動機構を制御して、各プローブユニット2,3を図1に示す待避位置から回路基板11に向けて移動させることにより、図2に示す接触位置に移動させる。これにより、プローブユニット2では、一対のプローブ2a,2bが接触ポイントTP1に接触し、一対のプローブ2c,2dが接触ポイントTP2に接触した状態となる。また、プローブユニット3では、一対のプローブ3a,3bが接触ポイントTP3に接触し、一対のプローブ3c,3dが接触ポイントTP4に接触した状態となる。また、各プローブユニット2,3の接触端子2e,3eは、互いに接触した状態となる。
次いで、処理部8は、この状態において切替部7を制御して、最初の検査対象とするビアのうちの1つに対して、測定電流供給部4および電圧測定部6を接続する。この場合、処理部8は、検査対象とするビアのうちの1つを記憶部9から読み出すと共に、この1つの検査対象を検査する際に使用するプローブ、およびそのプローブの用途についての情報を記憶部9から読み出す。また、処理部8は、この読み出した情報に基づいて切替部7の切替状態を制御することにより、測定電流供給プローブとなる一対のプローブをケーブル13を介して測定電流供給部4の各出力端子に接続すると共に、電圧検出プローブとなる一対のプローブをケーブル13を介して電圧測定部6に接続する。
一例として、処理部8が、最初の検査対象としてビア31を記憶部9から読み出したときには、この検査対象を検査する際に使用するプローブ、およびそのプローブの用途についての情報を記憶部9からさらに読み出す。この場合、処理部8は、使用するプローブの情報として、ビア31の一端側に接続されている配線パターン21に規定された接触ポイントTP1(第1の接触ポイント)に接触している2本のプローブ2a,2b、およびビア31の他端側に接続されている配線パターン23に規定された接触ポイントTP3(第2の接触ポイント)に接触している2本のプローブ3a,3bについての情報を読み出す。
また、処理部8は、プローブの用途の情報として、2本のプローブ2a,2bのうちの一方(本例ではプローブ2a)および2本のプローブ3a,3bのうちの一方(本例ではプローブ3a)を測定電流供給プローブとすること、および2本のプローブ2a,2bのうちの他方(本例ではプローブ2b)および2本のプローブ3a,3bのうちの他方(本例ではプローブ3b)を電圧検出プローブとすることについての情報を読み出す。また、処理部8は、読み出した使用するプローブおよびその用途についての情報に基づき、切替部7を制御して、測定電流供給プローブとするプローブ2a,3aを測定電流供給部4に接続すると共に、電圧検出プローブとするプローブ2b,3bを電圧測定部6に接続する。
続いて、処理部8は、検査対象であるビア31についての抵抗値Rの測定処理を実行する。この測定処理では、処理部8は、まず、測定電流供給部4および相殺電流供給部5を制御して測定電流I1および相殺電流I2の出力を同時に開始させると共に、電圧測定部6を制御して電圧V1の測定を開始させる。
一例として、処理部8は、測定電流供給部4に対しては、切替部7を介して測定電流経路(一のケーブル13(プローブユニット2側のケーブル13)、この一のケーブル13に接続されたプローブ2a、配線パターン21、ビア31、配線パターン23、プローブ3a、およびこのプローブ3aに接続された他のケーブル13(プローブユニット3側のケーブル13)を経由する電流経路)に、プローブユニット2からプローブユニット3の向きで測定電流I1を供給させる。これにより、この測定電流I1がビア31を流れることに起因して、配線パターン21,23に規定された各接触ポイントTP1,TP3間に電圧(ポイント間電圧)V1が発生する。このため、処理部8は、電圧測定部6に対して、プローブ2bに接続されたプローブユニット2側の1本のケーブル13および切替部7、並びにプローブ3bに接続されたプローブユニット3側の1本のケーブル13および切替部7を介してこの電圧V1の電圧値Vx1を測定させる。また、処理部8は、相殺電流供給部5に対しては、測定電流I1とは逆向きとなるように、本例ではプローブユニット3からプローブユニット2側に向けて流れるように、相殺電流I2を上記した相殺電流経路に出力させる。
この状態では、測定電流I1が測定電流経路を流れることに起因して、切替部7、プローブ2bに接続されている1本のケーブル13、プローブ2b、配線パターン21、ビア31、配線パターン23、プローブ3b、およびプローブ3bに接続されている1本の他のケーブル13を経由して切替部7に至る電圧検出経路に誘導起電力が測定電流I1の供給(印加)開始から所定の期間において大きなレベルで発生する。しかしながら、この回路基板検査装置1では、プローブユニット2の外部から内部に導入されてプローブ(2aまたは2c)に至るケーブル13、およびプローブユニット3の外部から内部に導入されてプローブ(3aまたは3c)に至るケーブル13を含んで構成される測定電流経路、すなわち回路基板11を貫通して構成される測定電流経路と同様にして、プローブユニット2の外部から内部に導入されて接触端子2eに至るケーブル12、およびプローブユニット3の外部から内部に導入されて接触端子3eに至るケーブル12を含む相殺電流経路、すなわち回路基板11を含む平面を回路基板11の近傍において貫通する相殺電流経路に対して、測定電流経路に流れる測定電流I1とは逆向きに、測定電流I1と同じ電流値の相殺電流I2を供給している。
したがって、測定電流I1の供給に起因して電圧検出経路に発生する誘導起電力(第1誘導起電力)と、相殺電流I2の供給に起因して電圧検出経路に発生する誘導起電力(第2誘導起電力)とは大きさがほぼ同じで逆向きになることから、電圧検出経路に発生する誘導起電力(第2誘導起電力)が誘導起電力(第1誘導起電力)を打ち消すように作用して、測定電流経路に測定電流I1が流れることに起因して電圧検出経路に発生する誘導起電力が大幅に弱められる。これにより、電圧測定部6に入力される電圧V1の波形は、測定電流I1が流れることに起因する誘導起電力の影響の極めて少ない波形となる。
次いで、処理部8は、電圧測定部6において測定された電圧値Vx1を入力して、記憶部9から読み出した電流値Ix1(=Ix2)で除算することにより、ビア31の抵抗値Rを算出して、記憶部9に記憶させる。これにより、検査対象であるビア31についての四端子法による抵抗値Rの測定処理が完了する。
続いて、処理部8は、前述した測定処理で算出したビア31の抵抗値Rと、このビア31の基準抵抗値Rrefとを読み出すと共に両者を比較して、抵抗値Rが基準抵抗値Rref以下のときには、ビア31は正常であると判別し、抵抗値Rが基準抵抗値Rrefを超えるときには異常であると判別する。また、処理部8は、この検査結果を検査対象(ビア31)の情報(識別情報)に対応させて記憶部9に記憶させる。これにより、1つの検査対象に対する検査処理が完了する。
その後、処理部8は、記憶部9に記憶されている検査対象のなかに、未検査の検査対象(ビア)があるか否かを判別しつつ、ビア31に対して実行した上記の各処理を繰り返し実行して、検査対象となっているすべてのビア(本例では、残りのビア32)についての検査を実行する。
次いで、すべてのビア(本例では、ビア31,32)についての検査が完了した後、処理部8は、すべてのビアについての検査結果を記憶部9から読み出して、出力部10に表示させ、最後に、移動機構を作動させて、各プローブユニット2,3を接触位置から待避位置に移動させる。これにより、回路基板検査処理が完了する。
このように、この回路基板検査装置1では、プローブユニット2に配設された接触端子2e、およびプローブユニット3に配設されて接触端子2eと直接接触する接触端子3eを利用して相殺電流経路を形成し、この相殺電流経路に相殺電流I2を供給する。したがって、この回路基板検査装置1によれば、回路基板の種類が変わったとしても、また同種の回路基板において検査対象とするビアを変えたとしても、常に接触端子2e,3eを利用して相殺電流経路を形成することができるため、回路基板の種類毎に、または同種の回路基板においても検査対象とするビア毎に、相殺電流経路の一部として利用するビアを個別に設定するという手間のかかる設定作業(個別設定の作業)を不要にすることができる。また、この回路基板検査装置1によれば、相殺電流経路に相殺電流I2を供給することにより、検査対象のビアを含む測定電流経路に測定電流I1が流れることに起因してビアを含む電圧検出経路に発生する誘導起電力を、相殺電流経路を流れる相殺電流I2に起因して発生する誘導起電力で確実に相殺することができる。これにより、この回路基板検査装置1によれば、電圧測定部6が、検査対象のビアに発生する電圧V1の電圧値Vx1を高精度で測定できる結果、処理部8が測定電流I1の電流値Ix1と電圧値Vx1とに基づいて検査対象のビア31,32の抵抗値Rを高精度で測定することができるため、抵抗値Rに基づいて行うビア31,32の検査精度を十分に向上させることができる。
なお、上記の回路基板検査装置1では、測定電流I1をプローブユニット2側からプローブユニット3側に流し、相殺電流I2を逆にプローブユニット3側からプローブユニット2側に流す構成を採用しているが、測定電流I1をプローブユニット3側からプローブユニット2側に流し、相殺電流I2をプローブユニット2側からプローブユニット3側に流す構成を採用することもできる。
また、ビア31と共にビア31の各端部に接続されている配線パターン21,23、およびビア32と共にビア32の各端部に接続されている配線パターン22,24をビアを含めた検査対象としてもよいのは勿論である。
1 回路基板検査装置
2,3 プローブユニット
2a〜2d,3a〜3d プローブ
4 測定電流供給部
5 相殺電流供給部
6 電圧測定部
7 切替部
8 処理部
11 回路基板
21〜24 配線パターン
31,32 ビア
I1 測定電流
I2 相殺電流
TP1〜TP4 接触ポイント
V1 電圧

Claims (1)

  1. 複数のプローブを備えると共に、回路基板の一方の面側に配設されて当該一方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する2本のプローブを同時に接触可能に構成された第1のプローブユニットと、
    複数のプローブを備えると共に、回路基板の他方の面側に配設されて当該他方の面に形成された複数の配線パターン上に規定された各接触ポイントに前記複数のプローブのうちの対応する2本のプローブを同時に接触可能に構成された第2のプローブユニットと、
    測定電流を出力する測定電流供給部と、
    電圧測定部と、
    前記第1のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの任意の1本のプローブと前記第2のプローブユニットの前記複数のプローブのうちの任意の1本のプローブとを選択して前記測定電流供給部に電気的に接続すると共に、当該第1のプローブユニットの当該複数のプローブのうちの他の任意の1本のプローブと当該第2のプローブユニットの当該複数のプローブのうちの他の任意の1本のプローブとを選択して前記電圧測定部に電気的に接続する切替部と、
    処理部とを備え、
    当該処理部は、前記第1および第2のプローブユニットを移動させて前記複数のプローブを対応する前記各接触ポイントに接触させ、その状態において前記切替部を制御して、前記回路基板に形成されている複数のビアのうちの検査対象とするビアの一端側と接続される前記一方の面側の前記配線パターン上に規定された第1の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの一方、および当該ビアの他端側と接続されている前記他方の面側の前記配線パターン上に規定された第2の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの一方をそれぞれ電流供給プローブとして前記測定電流供給部に接続させると共に、当該第1の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの他方および当該第2の接触ポイントに接触している前記2本のプローブのうちの他方をそれぞれ電圧検出プローブとして前記電圧測定部に接続させ、かつ当該測定電流供給部を制御して当該検査対象とする当該ビアに前記電流供給プローブを介して前記測定電流を供給させると共に、当該電圧測定部を制御して当該第1の接触ポイントおよび第2の接触ポイント間に発生するポイント間電圧を測定させ、当該測定電流および当該ポイント間電圧に基づいて前記検査対象とする前記ビアの抵抗を四端子法で測定して当該抵抗に基づいて当該ビアの検査を行う回路基板検査装置であって、
    前記第1および第2のプローブユニットにそれぞれ配設されて、当該第1および第2のプローブユニットの前記複数のプローブが対応する前記各接触ポイントに接触したときに、互いに直接接触する一対の接触端子と、
    前記一対の接触端子に接続されて相殺電流を出力する相殺電流供給部とを備え、
    前記処理部は、前記相殺電流供給部を制御して、前記一対の接触端子を含む相殺電流経路に前記相殺電流を供給させて、前記電流供給プローブおよび当該検査対象とする当該ビアを含む測定電流経路に前記測定電流が流れることに起因して当該検査対象とする当該ビアおよび前記電圧検出プローブを含む電圧検出経路に発生する誘導起電力を相殺する相殺起電力を発生させる回路基板検査装置。
JP2010269901A 2010-12-03 2010-12-03 回路基板検査装置 Active JP5507430B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010269901A JP5507430B2 (ja) 2010-12-03 2010-12-03 回路基板検査装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010269901A JP5507430B2 (ja) 2010-12-03 2010-12-03 回路基板検査装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012117991A JP2012117991A (ja) 2012-06-21
JP5507430B2 true JP5507430B2 (ja) 2014-05-28

Family

ID=46500979

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010269901A Active JP5507430B2 (ja) 2010-12-03 2010-12-03 回路基板検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5507430B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6116419B2 (ja) * 2013-07-17 2017-04-19 日置電機株式会社 データ生成装置および基板検査システム
JP6829371B2 (ja) 2016-12-01 2021-02-10 日本電産リード株式会社 抵抗測定装置及び抵抗測定方法
CN109997046A (zh) * 2016-12-01 2019-07-09 日本电产理德股份有限公司 电阻测量装置及电阻测量方法
WO2019181458A1 (ja) 2018-03-23 2019-09-26 日本電産リード株式会社 抵抗測定装置、及び、抵抗測定治具
KR20210060542A (ko) 2018-09-14 2021-05-26 니혼덴산리드가부시키가이샤 검사 지시 정보 생성 장치, 기판 검사 시스템, 검사 지시 정보 생성 방법 및 검사 지시 정보 생성 프로그램
TW202024652A (zh) * 2018-11-09 2020-07-01 日商日本電產理德股份有限公司 檢查指示資訊產生裝置、基板檢查系統、檢查指示資訊產生方法以及檢查指示資訊產生程式

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012117991A (ja) 2012-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5507430B2 (ja) 回路基板検査装置
JP4949947B2 (ja) 回路基板検査方法および回路基板検査装置
JP2008046060A (ja) 測定装置
JP4949946B2 (ja) 回路基板検査方法および回路基板検査装置
JP5260163B2 (ja) 測定装置および測定方法
JP5507363B2 (ja) 回路基板検査装置および回路基板検査方法
JP5420277B2 (ja) 回路基板検査装置および回路基板検査方法
JP2010014508A (ja) 測定装置および測定方法
JP5057949B2 (ja) 回路基板検査方法および回路基板検査装置
KR20150131007A (ko) 절연 검사 방법 및 절연 검사 장치
JP2019007880A (ja) 基板検査装置および基板検査方法
JP2014020815A (ja) 基板検査装置および基板検査方法
JP5425709B2 (ja) 絶縁検査装置および絶縁検査方法
JP5188822B2 (ja) 基板検査装置
JP6618826B2 (ja) 回路基板検査装置
KR20140146535A (ko) 기판검사장치
JP2009288115A (ja) 検査装置および検査方法
JP2010066050A (ja) 絶縁検査装置および絶縁検査方法
JP2008039498A (ja) 抵抗測定装置およびそれを備える基板検査装置ならびに抵抗測定方法およびそれを備える基板検査方法
JP5420303B2 (ja) 回路基板検査装置および回路基板検査方法
JP4999143B2 (ja) 基板検査装置
JP6918659B2 (ja) 回路基板検査装置
JP2019012003A (ja) 基板検査装置および基板検査方法
JP5215026B2 (ja) 絶縁検査装置および絶縁検査方法
JP5474658B2 (ja) 絶縁検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131029

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140226

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140318

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140319

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5507430

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250