JP4257164B2 - 基板検査装置及び基板検査方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板検査装置1の構成の一例を説明するための図である。図1に示す基板検査装置1は、多針状検査用接触子2、マルチプレクサ3、電流検出部4、電流生成部5、電圧測定部6、導通検出部7、交流信号発生回路8、磁界印加部9、XY位置決め機構10、マーカ11、及び制御部12を備える。図1に示す基板101は、検査対象となる基板で、図7、図8、図9、図10に示す基板101と同様の構成にされている。
次に、本発明の第2の実施の形態による基板検査装置について説明する。本発明の第2の実施の形態による基板検査装置は、図1に示す基板検査装置1と同様の構成にされており、第1の実施の形態による基板検査装置とは、第1、第2の配線パターン群間の短絡不良があるパッケージ基板WCを検出するための動作が異なる。その他は第1の実施の形態による基板検査装置と同様であるので、以下本実施の形態の特徴的な点について説明する。
2 多針状検査用接触子
3 マルチプレクサ
4 電流検出部
5 電流生成部
6 電圧測定部
7 導通検出部
8 交流信号発生回路
9 磁界印加部
10 XY位置決め機構
11 マーカ
12 制御部(判定部)
21,22,23,24 接触子
101 基板
102 短絡用配線パターン
102a 短絡用配線パターン(第1の短絡用配線パターン)
102b 短絡用配線パターン(第2の短絡用配線パターン)
103,103a,103b 配線パターン
104,104a,104b パッド
106 磁性体コア
107 コイル
108 磁界印加部
109,110 接触子
121〜128、141〜148 配線パターン
132〜137,152〜157 パッド(検査点)
WC パッケージ基板(ワーク片)
Claims (8)
- 基板の一方の表面に形成された第1の短絡用配線パターンに接続された複数の配線パターンからなる第1の配線パターン群と、前記基板の他方の表面に形成された第2の短絡用配線パターンに接続されると共に、前記第1の配線パターン群とは絶縁されるべく形成された複数の配線パターンからなる第2の配線パターン群とを有する基板を検査する基板検査装置であって、
前記基板上に複数の検査領域を設定し、当該検査領域毎に、前記第1の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点と前記第2の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点との間の抵抗値を測定する抵抗測定部と、
前記抵抗測定部によって測定された抵抗値に基づいて、前記複数の検査領域のうち前記第1の配線パターン群と前記第2の配線パターン群との間に短絡が生じている検査領域を検出する判定部と、
コイルが巻き付けられ、前記第1の短絡用配線パターンを覆うように前記基板と対向配置される磁性体コアからなる磁界印加部と、
交流電流を前記磁界印加部へ出力して磁束を発生させる交流信号発生回路と、
前記磁界印加部からの磁束の変化に応じて誘導され、前記配線パターンに流れる誘導電流を測定する電流検出部と、
前記判定部によって第1、第2の配線パターン群間の短絡不良はないと判断されたとき、前記交流信号発生回路によって交流電流を前記磁界印加部へ出力させ、前記磁界印加部によって前記磁束を発生させ、前記電流検出部によって検出された誘導電流が所定の基準電流値範囲の範囲内であれば前記基板は良品であると判定する一方、当該誘導電流が基準電流値範囲の範囲内でなければ前記基板は不良品であると判定する制御部と
を備えたことを特徴とする基板検査装置。 - 前記判定部は、前記抵抗測定部によって測定された抵抗値のうち、最も小さい抵抗値が測定された前記検査領域を、前記短絡が生じている検査領域として検出することを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記判定部は、前記抵抗測定部によって測定された前記検査領域毎の抵抗値を、前記基板上における前記検査領域の配置順に並べて低抵抗側のピークとなる抵抗値が測定された前記検査領域を、前記短絡が生じている検査領域として検出することを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記判定部は、前記抵抗測定部によって測定された前記検査領域毎の抵抗値のうち、所定の基準値よりも小さい抵抗値が測定された前記検査領域を、前記短絡が生じている検査領域として検出することを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記抵抗測定部は、
前記配線パターン上の検査点に接触させるための第1、第2の電流供給用接触子及び第1、第2の電圧測定用接触子と、
前記第1、第2の電流供給用接触子間に所定レベルの測定用電流を流す電流生成部と、
前記第1、第2の電圧測定用接触子間の電圧を測定する電圧測定部とを備え、
前記基板上の複数の検査領域において、当該検査領域毎に、前記第1の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点に接触した前記第1の電流供給用接触子と前記第2の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点に接触した前記第2の電流供給用接触子との間に前記電流生成部によって前記測定用電流を流すと共に、前記第1の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点に接触した前記第1の電圧測定用接触子と前記第2の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点に接触した前記第2の電圧測定用接触子との間に生じた電圧を、前記電圧測定部によって測定し、その電圧測定値と前記測定用電流とから、当該検査領域毎の抵抗値を測定するものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の基板検査装置。 - 前記抵抗測定部によって前記抵抗値が測定される場合に、
前記第1の電流供給用接触子が接触している検査点と、前記第1の電圧測定用接触子が接触している検査点とは異なる検査点であると共に、
前記第2の電流供給用接触子が接触している検査点と、前記第2の電圧測定用接触子が接触している検査点とは異なる検査点であることを特徴とする請求項5記載の基板検査装置。 - 前記基板は、複数のワーク片が平面的に連続して一体に形成されたワークとして構成され
るものであり、
前記検査領域は、前記ワーク片と対応して設定されることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の基板検査装置。 - 基板の一方の表面に形成された第1の短絡用配線パターンに接続された複数の配線パターンからなる第1の配線パターン群と、前記基板の他方の表面に形成された第2の短絡用配線パターンに接続されると共に、前記第1の配線パターン群とは絶縁すべく形成された複数の配線パターンからなる第2の配線パターン群とを有する基板を検査する基板検査方法であって、
前記基板上に複数の検査領域を設定し、当該検査領域毎に、前記第1の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点と前記第2の配線パターン群に含まれる配線パターン上の検査点との間の抵抗値を測定する工程と、
前記抵抗測定工程において測定された抵抗値に基づいて、前記複数の検査領域のうち前記第1の配線パターン群と前記第2の配線パターン群との間に短絡が生じている検査領域を検出する判定工程と、
コイルが巻き付けられた磁性体コアからなる磁界印加部を、前記第1の短絡用配線パターンを覆うように前記基板と対向配置する工程と、
交流電流を前記磁界印加部へ出力して磁束を発生させる工程と、
前記判定工程において第1、第2の配線パターン群間の短絡不良はないと判断されたとき、前記交流電流を前記磁界印加部へ出力し、前記磁界印加部によって前記磁束を発生させ、前記磁界印加部からの磁束の変化に応じて誘導され、前記配線パターンに流れる誘導電流を測定する電流検出部によって検出された前記誘導電流が所定の基準電流値範囲の範囲内であれば前記基板は良品であると判定する一方、当該誘導電流が基準電流値範囲の範囲内でなければ前記基板は不良品であると判定する工程と
を含むことを特徴とする基板検査方法。
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