JP4833766B2 - 測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、測定対象体についての電気的パラメータを測定可能に構成された測定装置に関するものである。

プリント基板上に形成された配線パターンの良否を検査する検査回路として、特許３３３２１２０号公報に開示された検査回路が知られている。この検査回路は、電圧／電流印加回路、電流測定回路、切り換え回路等を備えて、例えば、プリント基板上に形成された配線パターンに対する２端子法による導通・非導通の検査を実行可能に構成されている。また、この検査回路では、プリント基板上に形成された配線パターンに複数のプローブの先端部を接触させた状態において、電流を出力するプローブおよび電流を入力するプローブを切り替えることにより、検査対象としての１つまたは複数の配線パターンを任意に選択することが可能となっている。

一方、測定対象体に対する測定を４端子法で実行する装置として、特開２００６−３８７９１号公報に開示されたプローバ装置が知られている。このプローバ装置は、４端子測定用の４本のプローバ針を有するプローブ部を複数備えて構成されている。このプローバ装置では、例えば、半導体ウェハ上の複数の素子に各プローブ部をそれぞれ対応させて各素子の電極に各プローブ部のプローバ針を同時に接触させた状態において、測定素子選択信号によって各プローブ部のうちの１つが選択されて、そのプローブ部に対応する素子に対して測定が実行される。このため、このプローバ装置では、測定素子選択信号の出力を制御することで、測定対象の素子を順次切り替えて測定することが可能となっている。
特許３３３２１２０号公報（第３−４頁、第１図） 特開２００６−３８７９１号公報（第７−１０頁、第２図）

ところが、上記の検査回路および上記のプローバ装置には、以下の問題点がある。すなわち上記の検査回路では、プリント基板上に形成された配線パターンに対して２端子法による検査を実行している。しかしながら、２端子法による抵抗値測定においては、一般的に、電流出力用の導線と電圧（電流）測定用の導線とが共用されるため、その導線の抵抗に起因して高精度の抵抗値測定が困難である。したがって、２端子法による測定（検査）を行う上記の検査回路では、例えば、回路基板に実装された素子の抵抗値を高精度に測定するのは困難である。これに対して、上記したプローバ装置では、導線の抵抗の影響を低減可能な４端子法による測定を行うため、素子の抵抗値等を高精度に測定することが可能となっている。しかしながら、このプローバ装置では、一度に測定可能な素子が１つに限定されている。このため、このプローバ装置では、例えば、素子に対する単なる導通・非導通の検査のように、高精度の測定値までは要求されない測定であって、測定効率の向上のために複数の素子に対して同時に行うのが好ましいときであっても、各素子に対して個別に測定を行う必要がある。したがって、このプローバ装置には、この種の測定を効率的に行うのが困難であるという問題点が存在する。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、高精度な測定および高効率な測定の双方を行い得る測定装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、接触端子を介して測定対象体の被接触部に出力される測定用信号を生成する電源部と、前記測定用信号の出力によって前記被接触部に生じる電圧を前記接触端子を介して入力して検出する電圧検出部と、前記電源部における一対の出力端子にそれぞれ接続されて前記測定用信号が供給される一対の第１導電体と、前記電圧検出部における一対の入力端子にそれぞれ接続可能な一対の第２導電体と、前記接触端子と前記各導電体との接続を切り替える第１切り替え部と、前記各導電体と前記電圧検出部の前記各入力端子との接続を切り替える第２切り替え部と、前記両切り替え部を制御する制御部と、前記測定対象体についての電気的パラメータを前記電圧に基づいて測定する測定部とを備えた測定装置であって、前記制御部は、前記両切り替え部を制御することにより、２つの前記接触端子を対にした接触端子対が１つの前記測定対象体における一対の前記被接触部にそれぞれ接触している状態において当該各接触端子対の各々における一方の前記各接触端子と前記一対の第１導電体とをそれぞれ接続させかつ当該各々における他方の前記各接触端子と前記一対の第２導電体とをそれぞれ接続させると共に前記電圧検出部の前記一対の入力端子と当該一対の第２導電体とをそれぞれ接続させる第１接続処理、および前記接触端子対が複数の前記測定対象体における前記各被接触部にそれぞれ接触している状態において前記各接触端子対のうちの２つを除く当該各接触端子対の各々における一方の前記各接触端子と前記一対の第２導電体のいずれかとをそれぞれ接続させることによって当該各測定対象体を直列接続させかつ当該直列接続された各測定対象体の両端に位置する各被接触部にそれぞれ接触している前記２つの接触端子対の各々におけるいずれか一方の前記各接触端子と前記一対の第１導電体とをそれぞれ接続させると共に前記電圧検出部の前記一対の入力端子と当該一対の第１導電体とをそれぞれ接続させる第２接続処理を実行可能に構成され、前記測定部は、前記第１接続処理後において前記１つの測定対象体についての前記電気的パラメータを４端子法によって測定すると共に、前記第２接続処理後において前記直列接続された複数の測定対象体についての前記電気的パラメータを２端子法によって測定する。

また、請求項２記載の測定装置は、請求項１記載の測定装置において、前記接触端子および前記測定対象体が互いに接離する方向に沿って当該接触端子および当該測定対象体の少なくとも一方を移動させる移動機構を備え、前記測定部は、前記移動機構による移動によって前記接触端子が接触された前記測定対象体についての前記電気的パラメータを測定する。

請求項１記載の測定装置によれば、制御部が第１接続処理および第２接続処理を実行し、測定部が第１接続処理後において１つの測定対象体についての電気的パラメータを４端子法によって測定すると共に、第２接続処理後において直列接続された複数の測定対象体についての電気的パラメータを２端子法によって測定することにより、例えば、測定対象体についての電気的パラメータを高精度で測定する必要があるときには制御部に対して第１接続処理を実行させると共に、測定部に対してその電気的パラメータを４端子法によって測定させることができる。また、例えば、測定対象体に対する単なる導通・非導通による良否検査のように、高精度の測定値までは要求されない測定を行う際には、複数の測定対象体を直列接続することによってこれらの測定対象体の電気的パラメータを一括して一度に測定することができる。このため、数多くの測定対象体の電気的パラメータを測定する際に、各測定対象体についての電気的パラメータを１つずつ測定する方法と比較して、全ての測定対象体についての電気的パラメータの測定を短時間で行うことができる。したがって、この測定装置によれば、高精度な測定および高効率な測定の双方を測定の目的に応じて任意に選択して行うことができる。

また、請求項２記載の測定装置によれば、接触端子および測定対象体が互いに接離する方向に沿って接触端子および測定対象体の少なくとも一方を移動させる移動機構を備えたことにより、移動機構を用いて複数の接触端子を複数の測定対象体に同時に接触させることができる。このため、その状態を維持したままで各接触端子と各導電体との接続を切り替えることで各測定対象体に対する電気的パラメータの測定を連続して行うことができる。

以下、本発明に係る測定装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。

図１に示す測定装置１は、本発明に係る測定装置の一例であって、例えば、回路基板１００における複数の素子１０１（本発明における測定対象体の一例：同図では２つの素子１０１ａ，１０１ｂのみを図示している）の抵抗Ｒ（本発明における電気的パラメータの一例）を４端子法および２端子法の２種類の測定方法で測定可能に構成されている。具体的には、測定装置１は、プローブユニット２、移動機構３および本体部４を備えて構成されている。

プローブユニット２は、図１に示すように、複数のプローブ２１（同図では４本のプローブ２１ａ〜２１ｄのみを図示している）を備えて、各プローブ２１が所定の配列パターンで本体部に配設（植設）されて構成されている。この場合、各プローブ２１は、プローブユニット２を回路基板１００に近接させたときに、素子１０１の端部２０１（本発明における被接触部）にプローブ２１の先端部が接触するようにその配設パターンが規定されている。また、プローブ２１は、円筒状の接触端子３１ａと、接触端子３１ａに対して絶縁された状態で接触端子３１ａ内に配設された接触端子３１ｂ（以下、接触端子３１ａ，３１ｂを区別しないときには「接触端子３１」ともいう）とを備えて、２つの接触端子３１を対にした状態（本発明における「接触端子対」にした状態）で両接触端子３１を端部２０１に接触させることが可能に構成されている。移動機構３は、後述する制御部１６の制御に従い、図示しない載置台に載置された回路基板１００の各素子１０１とプローブユニット２の各プローブ２１とが互いに接離する方向に沿ってプローブユニット２を移動させることにより、各素子１０１における各端部２０１とプローブ２１（接触端子３１）の先端部とを接触および離反させる。

本体部４は、図１に示すように、電源部１１、電圧検出部１２、４本の導線１３ａ〜１３ｄ（以下、区別しないときには「導線１３」ともいう）、第１切り替え部１４、第２切り替え部１５および制御部１６を備えて構成されている。電源部１１は、測定用の電流Ｉｍ（本発明における測定用信号の一例）を生成可能に構成されている。この場合、電源部１１によって生成された電流Ｉｍは、導線１３ａ，１３ｂおよびプローブユニット２のプローブ２１を介して供給されて、回路基板１００における素子１０１の端部２０１，２０１（本発明における被接触部）間を流れる。

電圧検出部１２は、例えばＡ／Ｄ変換回路（図示せず）を備えて構成され、電流Ｉｍの出力によって回路基板１００における素子１０１の端部２０１，２０１間に生じる電圧Ｖを入力して検出すると共に、その電圧Ｖを示す電圧データＤｖを生成する。導線１３ａ，１３ｂは、本発明における第１導電体に相当し、電源部１１における一対の出力端子１１ａ，１１ｂにそれぞれ接続されて、電源部１１によって生成された電流Ｉｍを素子１０１に供給する。導線１３ｃ，１３ｄは、本発明における第２導電体に相当し、第２切り替え部１５によって電圧検出部１２における一対の入力端子１２ａ，１２ｂに接続される。

第１切り替え部１４は、制御部１６の制御に従い、プローブユニット２における各プローブ２１の各接触端子３１と各導線１３との接続を切り替える。第２切り替え部１５は、制御部１６の制御に従い、各導線１３と電圧検出部１２の各入力端子１２ａ，１２ｂとの接続を切り替える。この場合、第１切り替え部１４および第２切り替え部１５としては、リレー、フォトモスおよびアナログスイッチ等の各種の接続手段を用いることができる。

制御部１６は、第１接続処理および第２接続処理を実行する。具体的には、制御部１６は、第１接続処理において、第１切り替え部１４を制御することにより、図１に示すように、各素子１０１の中から選択された１つの素子１０１の端部２０１，２０１にそれぞれ接触している一対のプローブ２１，２１の各々における一方の接触端子３１（例えば、接触端子３１ａ）と各導線１３ａ，１３ｂとをそれぞれ接続させると共に、その一対のプローブ２１，２１の各々における他方の各接触端子３１（例えば、接触端子３１ｂ）と各導線１３ｃ，１３ｄとをそれぞれ接続させる。また、制御部１６は、第１接続処理において、第２切り替え部１５を制御することにより、同図に示すように、電圧検出部１２の各入力端子１２ａ，１２ｂと導線１３ｃ，１３ｄとを接続させる。

また、制御部１６は、第２接続処理において、第１切り替え部１４を制御することにより、図３に示すように、回路基板１００の各素子１０１の中から選択された複数の素子１０１（例えば、同図に示す２つの素子１０１ｃ，１０１ｄ）における各端部２０１，２０１・・にそれぞれ接触しているプローブ２１，２１・・（例えば、同図に示すプローブ２１ｅ〜２１ｈ）のうちの２つのプローブ２１，２１（例えば、プローブ２１ｅ，２１ｈ）を除く他のプローブ２１，２１・・（この例では、プローブ２１ｆ，２１ｇ）の各々における一方の各接触端子３１（例えば、接触端子３１ｂ）と導線１３ｃ（本発明における「一対の第２導電体のいずれか」に相当する）とをそれぞれ接続させることによって各素子１０１を直列接続させる。また、制御部１６は、直列接続させた各素子１０１の両端に位置する素子１０１（この例では、素子１０１ｃ，１０１ｄ）の各端部２０１，２０１にそれぞれ接触している上記の２つのプローブ２１，２１（この例では、プローブ２１ｅ，２１ｈ）の各々におけるいずれか一方の接触端子３１（例えば、接触端子３１ａ）と各導線１３ａ，１３ｂとをそれぞれ接続させる。さらに、制御部１６は、第２接続処理において、第２切り替え部１５を制御することにより、同図に示すように、電圧検出部１２の各入力端子１２ａ，１２ｂと導線１３ａ，１３ｂとを接続させる。

また、制御部１６は、移動機構３によるプローブユニット２の移動を制御する。さらに、制御部１６は、本発明における測定部として機能し、電圧検出部１２から出力された電圧データＤｖに基づいて回路基板１００における素子１０１の抵抗Ｒを算出（測定）する。

次に、測定装置１を用いて回路基板１００における素子１０１の抵抗Ｒを測定する方法および素子１０１の導通・非導通を検査する方法について、図面を参照して説明する。

まず、図外の操作部を操作して、測定を開始させる。この際に、制御部１６が、移動機構３を制御してプローブユニット２を例えば下向き（プローブ２１と回路基板１００の素子１０１とが互いに近接する方向）に移動させる。この際に、図１に示すように、プローブユニット２における各プローブ２１の各接触端子３１ａ，３１ｂが回路基板１００における各素子１０１の端部２０１，２０１にそれぞれ接触する。また、電源部１１が測定用の電流Ｉｍを生成する。

ここで、この測定装置１では、４端子法および２端子法の２種類の測定方法による測定が可能となっている。この場合、例えば、回路基板１００における各素子１０１の抵抗Ｒを測定する際には、操作部を操作して、測定方法として「４端子法」を選択する。これに応じて、制御部１６は、第１接続処理を実行する。この第１接続処理では、制御部１６は、予め規定された測定順序に従い、回路基板１００における各素子１０１の中から、１つの素子１０１（例えば、図１に示す素子１０１ａ）を選択する。

次いで、制御部１６は、第１切り替え部１４を制御することにより、図１に示すように、素子１０１ａの端部２０１，２０１にそれぞれ接触しているプローブ２１ａ，２１ｂの各々における一方の接触端子３１（この例では、接触端子３１ａ）と各導線１３ａ，１３ｂとをそれぞれ接続させると共に、プローブ２１ａ，２１ｂの各々における他方の接触端子３１（この例では、接触端子３１ｂ）と各導線１３ｃ，１３ｄとをそれぞれ接続させる。また、制御部１６は、第２切り替え部１５を制御することにより、電圧検出部１２の各入力端子１２ａ，１２ｂと導線１３ｃ，１３ｄとをそれぞれ接続させる。

この際に、図１に破線で示すように、電源部１１によって生成された電流Ｉｍが導線１３ａ，１３ｂによって供給されて、プローブ２１ａ，２１ｂの接触端子３１ａ，３１ａを介して素子１０１ａの端部２０１，２０１に出力される。また、電圧検出部１２が、電流Ｉｍの出力によって素子１０１ａの端部２０１，２０１間に生じる電圧Ｖをプローブ２１ａ，２１ｂの接触端子３１ｂ，３１ｂおよび導線１３ｃ，１３ｄを介して入力して検出すると共に、その電圧Ｖを示す電圧データＤｖを生成する。続いて、制御部１６は、電流Ｉｍの電流値、および電圧データＤｖで示される電圧Ｖに基づいて素子１０１ａの抵抗Ｒを算出（測定）すると共に、算出した抵抗Ｒを示す抵抗データＤｒを生成して図外の記憶部に記憶させる。

次に、制御部１６は、上記した測定順序に従い、次の素子１０１（例えば、図２に示す素子１０１ｂ）を選択する。次いで、制御部１６は、上記と同様にして第１切り替え部１４を制御することにより、同図に示すように、素子１０１ｂの端部２０１，２０１にそれぞれ接触しているプローブ２１ｃ，２１ｄの各々における各接触端子３１ａ，３１ａと導線１３ａ，１３ｂとをそれぞれ接続させると共に、プローブ２１ｃ，２１ｄの各々における各接触端子３１ｂ，３１ｂと導線１３ｃ，１３ｄとをそれぞれ接続させる。また、制御部１６は、第２切り替え部１５を制御することにより、電圧検出部１２の各入力端子１２ａ，１２ｂと導線１３ｃ，１３ｄとを接続させる。

この際に、図２に破線で示すように、電流Ｉｍが導線１３ａ，１３ｂによって供給されて、プローブ２１ｃ，２１ｄの接触端子３１ａ，３１ａを介して素子１０１ｂの端部２０１，２０１に出力される。また、電圧検出部１２が、電流Ｉｍの出力によって素子１０１ｂの端部２０１，２０１間に生じる電圧Ｖをプローブ２１ｃ，２１ｄの接触端子３１ｂ，３１ｂおよび導線１３ｃ，１３ｄを介して入力して検出すると共に、その電圧Ｖを示す電圧データＤｖを生成する。続いて、制御部１６は、電流Ｉｍの電流値、および電圧データＤｖで示される電圧Ｖに基づいて素子１０１ｂの抵抗Ｒを算出すると共に、抵抗Ｒを示す抵抗データＤｒを生成して記憶部に記憶させる。以下、制御部１６は、上記した動作と同様にして、回路基板１００における全ての素子１０１についての抵抗Ｒを算出してそれらの抵抗データＤｒを記憶部に記憶させる。これにより、回路基板１００の各素子１０１についての抵抗Ｒの測定が終了する。

次に、例えば、図３に示す他の回路基板１００（なお、上記の回路基板１００であってもよい）における各素子１０１に対する良否検査（例えば導通・非導通の検査）を行う際には、操作部を操作して、測定方法として「２端子法」を選択する。これに応じて、制御部１６は、第２接続処理を実行する。この第２接続処理では、制御部１６は、予め規定された測定順序に従い、回路基板１００における各素子１０１の中から、複数の素子１０１（例えば、同図に示す素子１０１ｃ，１０１ｄ）を選択する。

次いで、制御部１６は、第１切り替え部１４を制御することにより、図３に示すように、例えば、素子１０１ｃ，１０１ｄの各端部２０１，２０１・・にそれぞれ接触しているプローブ２１ｅ〜２１ｈのうちの２つのプローブ２１ｅ，２１ｈを除く他のプローブ２１ｆ，２１ｇの各々における一方の各接触端子３１（この例では、接触端子３１ｂ）と導線１３ｃ（導線１３ｄであってもよい）とをそれぞれ接続させることによって素子１０１ｃ，１０１ｄを直列接続させる。また、制御部１６は、第１切り替え部１４を制御することにより、直列接続させた素子１０１ｃ，１０１ｄの両端に位置する端部２０１，２０１（同図における左右両側の端部２０１，２０１）にそれぞれ接触している上記の２つのプローブ２１ｅ，２１ｈの各々におけるいずれか一方の接触端子３１（この例では、接触端子３１ａ）と各導線１３ａ，１３ｂとをそれぞれ接続させる。また、制御部１６は、第２切り替え部１５を制御することにより、電圧検出部１２の各入力端子１２ａ，１２ｂと導線１３ａ，１３ｂとを接続させる。

この際に、図３に破線で示すように、プローブ２１ｆ，２１ｇと導線１３ｃとの接続によって直列接続された素子１０１ｃ，１０１ｄに対して、電流Ｉｍが導線１３ａ，１３ｂおよびプローブ２１ｅ，２１ｈを介して出力される。また、電圧検出部１２が、電流Ｉｍの出力によって素子１０１ｃの端部２０１と素子１０１ｄの端部２０１との間に生じる電圧Ｖをプローブ２１ｅ，２１ｈおよび導線１３ａ，１３ｂを介して入力して検出すると共に、その電圧Ｖを示す電圧データＤｖを生成する。続いて、制御部１６は、電流Ｉｍの電流値、および電圧データＤｖで示される電圧Ｖに基づいて、直列接続された素子１０１ｃ，１０１ｄについての抵抗Ｒを算出すると共に、算出した抵抗Ｒを示す抵抗データＤｒを生成して図外の記憶部に記憶させる。

以下、制御部１６は、上記した動作と同様にして、回路基板１００における全ての素子１０１を少なくとも２つずつ直列接続してその素子１０１，１０１についての抵抗Ｒを測定する処理を順次行う。この場合、この測定装置１では、第２接続処理によって各素子１０１を２つ以上直列接続して、両素子１０１についての抵抗Ｒを一度に測定するため、各素子１０１についての抵抗Ｒを１つずつ測定する方法と比較して、回路基板１００における全ての素子１０１についての抵抗Ｒの測定を短時間で行うことが可能となっている。

次に、制御部１６は、例えば、抵抗データＤｒに基づく抵抗Ｒと所定の基準値とを比較することによってその素子１０１，１０１についての良否を検査する。この場合、制御部１６は、抵抗データＤｒに基づく抵抗Ｒが所定の基準値に対して所定の範囲内のときには、各素子１０１が良品と判別し、所定の範囲よりも小さいときには、各素子１０１のいずれかがショート（導通）しており不良品と判別し、所定の範囲よりも大きいいときには、各素子１０１のいずれかが断線（非導通）しており不良品と判別して、例えば図外の表示部にその検査結果を表示させる。これにより、回路基板１００の各素子１０１についての良否検査が終了する。

このように、この測定装置１によれば、制御部１６が、第１接続処理と第２接続処理とを実行すると共に、第１接続処理後において１つの素子１０１についての抵抗Ｒを４端子法によって測定すると共に、第２接続処理後において複数の素子１０１についての抵抗Ｒを２端子法によって測定することにより、例えば、素子１０１についての抵抗Ｒを高精度で測定する必要があるときには制御部１６に対して第１接続処理を実行させると共に抵抗Ｒを４端子法によって測定させることができる。また、例えば、素子１０１に対する単なる導通・非導通による良否検査のように、高精度の測定値までは要求されない測定を行う際には、複数の素子１０１を直列接続することによってこれらの素子１０１の抵抗Ｒを一括して一度に測定することができる。このため、数多くの素子１０１の抵抗Ｒを測定する際に、各素子１０１についての抵抗Ｒを１つずつ測定する方法と比較して、全ての素子１０１についての抵抗Ｒの測定を短時間で行うことができる。したがって、この測定装置１によれば、高精度な測定および高効率な測定の双方を測定の目的に応じて任意に選択して行うことができる。

また、この測定装置１によれば、プローブ２１と素子１０１とが互いに接離する方向に沿ってプローブユニット２を移動させる移動機構３を備えたことにより、移動機構３を用いて複数のプローブ２１を素子１０１に同時に接触させることができる。このため、その状態を維持したままで各接触端子３１と導線１３との接続を切り替えることで回路基板１００の各素子１０１に対する抵抗Ｒの測定や良否検査を連続して行うことができる。

なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、第２接続処理において２つの素子１０１を直列接続する例について上記したが、図４に示すように、素子１０１ａ〜１０１ｃの各端部２０１，２０１・・にそれぞれ接触しているプローブ２１ａ〜２１ｆのうちの２つのプローブ２１ａ，２１ｆを除く他のプローブ２１ｂ，２１ｃの各々における一方の各接触端子３１（この例では、接触端子３１ｂ）と導線１３ｃ（本発明における「一対の第２導電体のいずれか」に相当する）とを接続し、プローブ２１ａ〜２１ｆのうちの４つのプローブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｆを除くさらに他のプローブ２１ｄ，２１ｅの各々における一方の各接触端子３１（この例では、接触端子３１ｂ）と導線１３ｄ（本発明における「一対の第２導電体のいずれか」に相当する）とを接続させることによって３つの素子１０１ａ〜１０１ｆを直列接続して、これらの素子１０１についての抵抗Ｒを一括して一度に測定する構成を採用することもできる。また、上記した導線１３ａ〜１３ｄに加えて、素子１０１を直列接続するための導線をさらに１または複数備えた構成を採用することもできる。この構成によれば、上記した第２接続処理において４つ以上の素子１０１を直列接続して一括して一度に測定することができる。

さらに、２つの接触端子３１ａ，３１ｂを備えたプローブ２１を用いて、各接触端子３１を介して電流Ｉｍの出力および電圧Ｖの入力を行う例について上記したが、単一の接触端子を備えると共にこの接続端子に一対の接続用導線が取り付けられたプローブを用いることもできる。この場合、この構成においても、上記した各接触端子３１と各導線１３との接続切り替えと同様にして各接続用導線と各導線１３との接続を切り替えることにより、測定装置１と同様の効果を実現することができる。また、２つの接触端子３１ａ，３１ｂを対にした状態で端部２０１に接触可能なプローブ２１をプローブユニット２に配設した例について上記したが、各接触端子３１ａ，３１ｂが別個独立してプローブユニット２に直接配設された構成を採用することもできる。また、各接触端子３１ａ，３１ｂを個別的に移動させて端部２０１に接触させる構成を採用することもできる。

さらに、回路基板１００における素子１０１についての抵抗Ｒを測定する例について上記したが、回路基板１００以外の各種の測定対象体についての抵抗Ｒを測定する場合においても上記と同様の効果を実現することができる。さらに、電気的パラメータとして、抵抗Ｒに限らず、インダクタンス、容量、およびインピーダンスも測定することができるのは勿論である。また、移動機構３がプローブユニット２を移動させる例について上記したが、回路基板１００を移動させることによって回路基板１００とプローブ２１とを接触させる構成を採用することもできる。

測定装置１の構成を示す構成図である。 第１接続処理を実行した状態を示す構成図である。 第２接続処理を実行した状態を示す構成図である。 ３つの素子１０１を直列接続した状態を示す構成図である。

符号の説明

１ 測定装置
２ プローブユニット
３ 移動機構
１１ 電源部
１１ａ，１１ｂ 出力端子
１２ 電圧検出部
１２ａ，１２ｂ 入力端子
１３ａ〜１３ｄ 導線
１４ 第１切り替え部
１５ 第２切り替え部
１６ 制御部
２１ａ〜２１ｈ プローブ
３１ａ，３１ｂ 接触端子
１０１ａ〜１０１ｄ 素子
２０１ 端部
Ｉｍ 電流
Ｒ 抵抗
Ｖ 電圧

Claims (2)

1. 接触端子を介して測定対象体の被接触部に出力される測定用信号を生成する電源部と、前記測定用信号の出力によって前記被接触部に生じる電圧を前記接触端子を介して入力して検出する電圧検出部と、前記電源部における一対の出力端子にそれぞれ接続されて前記測定用信号が供給される一対の第１導電体と、前記電圧検出部における一対の入力端子にそれぞれ接続可能な一対の第２導電体と、前記接触端子と前記各導電体との接続を切り替える第１切り替え部と、前記各導電体と前記電圧検出部の前記各入力端子との接続を切り替える第２切り替え部と、前記両切り替え部を制御する制御部と、前記測定対象体についての電気的パラメータを前記電圧に基づいて測定する測定部とを備えた測定装置であって、
   前記制御部は、前記両切り替え部を制御することにより、２つの前記接触端子を対にした接触端子対が１つの前記測定対象体における一対の前記被接触部にそれぞれ接触している状態において当該各接触端子対の各々における一方の前記各接触端子と前記一対の第１導電体とをそれぞれ接続させかつ当該各々における他方の前記各接触端子と前記一対の第２導電体とをそれぞれ接続させると共に前記電圧検出部の前記一対の入力端子と当該一対の第２導電体とをそれぞれ接続させる第１接続処理、および前記接触端子対が複数の前記測定対象体における前記各被接触部にそれぞれ接触している状態において前記各接触端子対のうちの２つを除く当該各接触端子対の各々における一方の前記各接触端子と前記一対の第２導電体のいずれかとをそれぞれ接続させることによって当該各測定対象体を直列接続させかつ当該直列接続された各測定対象体の両端に位置する各被接触部にそれぞれ接触している前記２つの接触端子対の各々におけるいずれか一方の前記各接触端子と前記一対の第１導電体とをそれぞれ接続させると共に前記電圧検出部の前記一対の入力端子と当該一対の第１導電体とをそれぞれ接続させる第２接続処理を実行可能に構成され、
   前記測定部は、前記第１接続処理後において前記１つの測定対象体についての前記電気的パラメータを４端子法によって測定すると共に、前記第２接続処理後において前記直列接続された複数の測定対象体についての前記電気的パラメータを２端子法によって測定する測定装置。
2. 前記接触端子および前記測定対象体が互いに接離する方向に沿って当該接触端子および当該測定対象体の少なくとも一方を移動させる移動機構を備え、前記測定部は、前記移動機構による移動によって前記接触端子が接触された前記測定対象体についての前記電気的パラメータを測定する請求項１記載の測定装置。

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