JP5437183B2 - 測定装置および基板検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、４つのプローブを備えて二端子法および四端子法に従って測定対象体についての電気的パラメータを測定可能に構成された測定装置、並びにその測定装置を備えて検査対象基板を電気的に検査可能に構成された基板検査装置に関するものである。

この種の測定装置を備えた基板検査装置として、出願人は、特開２００８−２８１４０８号公報に回路基板検査装置を開示している。出願人が開示している回路基板検査装置では、一対の電流供給端子および一対の電圧検出端子の４つの端子（プローブ）を備え、二端子法による抵抗測定処理、および四端子法による抵抗測定処理等を実行可能に構成されている。

具体的には、二端子法によって両電圧検出端子間の端子間抵抗を測定する際には、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子を配線パターンの一端部にプロービングすると共に、他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子を配線パターンの他端部にプロービングする。次いで、一対の電圧検出端子を介して定電流源から配線パターンに定電流を供給すると共に、配線パターンの両端間に生じている電圧の電圧値を両電圧検出端子を介して測定する。続いて、測定した電圧値と、定電流源から供給した定電流の電流値とに基づき、両電圧検出端子間の端子間抵抗を演算する。これにより、二端子法による端子間抵抗の測定が完了する。

一方、四端子法によって配線パターンの抵抗値を測定する際には、一方の電流供給端子および一方の電圧検出端子を配線パターンの一端部にプロービングすると共に、他方の電流供給端子および他方の電圧検出端子を配線パターンの他端部にプロービングした状態において、両電流供給端子を介して定電流源から配線パターンに定電流を供給すると共に、配線パターンの両端間に生じている電圧の電圧値を両電圧検出端子を介して測定する。次いで、測定した電圧値と、定電流源から供給した定電流の電流値とに基づき、配線パターンの両端間の抵抗値を演算する。これにより、四端子法による抵抗値の測定が完了する。この後、測定結果に基づき、検査対象の回路基板の良否が検査される

特開２００８−２８１４０８号公報（第５−１６頁、第１−３図）

ところが、出願人が開示している回路基板検査装置には、以下の改善すべき課題が存在する。すなわち、出願人が開示している回路基板検査装置では、二端子法による端子間抵抗の測定に際して、一対の電圧検出端子を利用して定電流の供給および電圧値の測定を実行する構成が採用されている。この場合、両電圧検出端子を利用した二端子法による端子間抵抗の測定時には、プロービングした両電圧検出端子のうちのいずれか一方、または双方に接触不良が生じているときに、端子間抵抗を正確に測定するのが困難となる。

このため、出願人が開示している回路基板検査装置等の測定装置（二端子法による電気的パラメータの測定が可能な測定装置）においては、測定処理の実行に先立って、利用する一対の端子（プローブ）に接触不良が生じているか否かをチェックするコンタクトチェックを実行し、接触不良が生じているときには、両端子（両プローブ）を再度プロービングさせる処理が必須となっている。したがって、電気的パラメータの測定処理が完了するまでに長時間を要するため、この点を改善するのが好ましい。

本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、電気的パラメータを短時間で正確に測定し得る測定装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の測定装置は、第１プローブ、第２プローブ、第３プローブおよび第４プローブと、前記第１プローブおよび前記第３プローブを短絡させる第１のスイッチ回路と、前記第２プローブおよび前記第４プローブを短絡させる第２のスイッチ回路と、前記第１プローブおよび前記第３プローブが測定対象体における一対の測定点の一方にプロービングされる共に前記第２プローブおよび前記第４プローブが前記一対の測定点の他方にプロービングされた状態において、当該両測定点間に測定電圧を印加すると共に当該両測定点間の電圧を測定し、当該両測定点間を流れる電流および測定した電圧に基づいて前記測定対象体についての電気的パラメータを測定する測定処理を実行する測定部とを備え、前記測定部は、前記電気的パラメータを四端子法に従って測定する際には、前記第１のスイッチ回路および前記第２のスイッチ回路の双方が切断された状態において前記測定処理を実行して、前記第１プローブ、前記第２プローブ、前記第３プローブおよび前記第４プローブを利用して当該電気的パラメータを測定し、前記電気的パラメータを二端子法に従って測定する際には、前記第１のスイッチ回路および前記第２のスイッチ回路の双方が接続された状態において前記測定処理を実行して、前記第１プローブおよび前記第３プローブの少なくとも一方と、前記第２プローブおよび前記第４プローブの少なくとも一方とを利用して当該電気的パラメータを測定する。

なお、「測定点にプロービングされた状態」は、「プロービングによって任意の測定点に対してプローブが正常に接触させられた状態」だけでなく、「任意の測定点に対してプローブを接触させるべくプロービングしたものの、測定点とプローブとの間に接触不良が生じている状態」がこれに含まれる。

請求項２記載の測定装置は、請求項１記載の測定装置において、前記測定部は、前記測定電圧を生成する測定電圧生成部と、前記両測定点間の電圧を測定する電圧測定部と、前記両測定点間を流れる電流を測定する電流測定部とを備えて構成され、前記測定電圧生成部および前記電流測定部は、前記第１プローブおよび前記第２プローブ間に直列接続され、前記電圧測定部は、前記第３プローブおよび前記第４プローブ間に接続されている。

請求項３記載の基板検査装置は、請求項１または２記載の測定装置と、検査対象基板における一対の検査ポイントを前記両測定点として前記測定部が測定した前記電気的パラメータに基づいて当該両検査ポイント間の良否を検査する検査部とを備えている。

請求項１記載の測定装置によれば、測定部が、電気的パラメータを四端子法に従って測定する際には、第１および第２のスイッチ回路の双方が切断された状態において測定処理を実行して、第１プローブ、第２プローブ、第３プローブおよび第４プローブを利用して電気的パラメータを測定し、電気的パラメータを二端子法に従って測定する際には、第１および第２のスイッチ回路の双方が接続された状態において測定処理を実行して、第１プローブおよび第３プローブの少なくとも一方と、第２プローブおよび第４プローブの少なくとも一方とを利用して電気的パラメータを測定することにより、二端子法による電気的パラメータの測定に際して、第１プローブおよび第３プローブのいずれか一方や、第２プローブおよび第４プローブのいずれか一方に接触不良が生じていたとしても、接触不良が生じていない他方のプローブを介して両測定点間に対する測定電圧の印加、および両測定点間に生じる電圧値の測定を実行することができるため、コンタクトチェックや、再プロービングが不要となる分だけ、電気的パラメータの測定に要する時間を短縮して短時間でしかも正確に測定することができる。

また、請求項２記載の測定装置によれば、第１プローブおよび第２プローブ間に直列接続された測定電圧生成部および電流測定部と、第３プローブおよび第４プローブ間に接続された電圧測定部とを備えて測定部を構成したことにより、上記の測定対象体における両測定点間の電気的パラメータを確実かつ短時間で測定することができる。

また、請求項３記載の基板検査装置によれば、上記のいずれかの測定装置と、検査対象基板における一対の検査ポイントを両測定点として測定部が測定した電気的パラメータに基づいて両検査ポイント間の良否を検査する検査部とを備えたことにより、二端子法に従って測定した電気的パラメータに基づいて一対の検査ポイント間の絶縁状態や断線（導通）状態を検査する際に、各プローブについてのコンタクトチェックや、再プロービングが不要な分だけ、一連の検査処理に要する時間を短縮して短時間で検査することができる。

測定装置１の構成を示す構成図である。 回路基板検査装置１Ａの構成を示す構成図である。

以下、測定装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

図１に示す測定装置１は、測定対象体１００についての電気的パラメータ（一例として、抵抗値）を測定可能に構成された装置であって、測定部２、表示部３、短絡スイッチ４，５、第１プローブ１１、第２プローブ１２、第３プローブ１３および第４プローブ１４を備えている。この場合、第１プローブ１１および第３プローブ１３は、相互に電気的に絶縁された状態で、図示しないプローブ駆動部における一対の移動アームのうちの一方に固定されている。また、第２プローブ１２および第４プローブ１４は、相互に電気的に絶縁された状態で、一対の移動アームのうちの他方に固定されている（図示せず）。

この場合、第１プローブ１１は、配線Ｗ１を介して測定電圧生成部２１の出力端子に接続され、第２プローブ１２は、配線Ｗ２を介して電流測定部２２における一対の入力端子のうちの一方に接続され、第３プローブ１３は、配線Ｗ３を介して電圧測定部２３における一対の入力端子のうちの一方に接続され、第４プローブ１４は、配線Ｗ４を介して電圧測定部２３における一対の入力端子のうちの他方に接続されている。

一方、測定部２は、測定電圧生成部２１、電流測定部２２、電圧測定部２３および処理部２４を備え、各プローブ１１〜１４を利用して、二端子法による抵抗値の測定処理、および四端子法による抵抗値の測定処理を実行可能に構成されている。測定電圧生成部２１は、処理部２４からの制御信号Ｓ３に従い、予め規定された電圧値の測定電圧Ｖ１を生成して出力端子と基準電位Ｇとの間に出力する。この場合、本例では、上記したように、測定電圧生成部２１の出力端子は、第１プローブ１１に対して常時接続されると共に、後述するようにして、短絡スイッチ４によって第１プローブ１１および第３プローブ１３の双方に対しても接続される。

電流測定部２２は、処理部２４からの制御信号Ｓ４に従い、一対の入力端子の間を流れる電流Ｉの電流値を測定すると共に、測定した電流値を示す電流データＤｉを処理部２４に出力する。この場合、本例では、上記したように、電流測定部２２における一方の入力端子は、第２プローブ１２に対して常時接続されると共に、後述するようにして、短絡スイッチ５によって第２プローブ１２および第４プローブ１４の双方に対しても接続される。また、電流測定部２２における一方の入力端子は基準電位Ｇに接続されている。

電圧測定部２３は、処理部２４からの制御信号Ｓ５に従い、一対の入力端子の間に生じる電圧Ｖ２の電圧値を測定すると共に、その電圧値を示す電圧データＤｖを処理部２４に出力する。この場合、本例では、上記したように、電圧測定部２３における一方の入力端子が第３プローブ１３に対して常時接続されると共に、後述するようにして、短絡スイッチ４によって第３プローブ１３および第１プローブ１１の双方に対して接続され、かつ、上記したように、他方の入力端子が第４プローブ１４に対して常時接続されると共に、後述するようにして、短絡スイッチ５によって第４プローブ１４および第２プローブ１２の双方に対して接続される。

このような構成より、この測定装置１の測定部２では、測定電圧生成部２１および電流測定部２２が、第１プローブ１１および第２プローブ１２間に基準電位Ｇを介して直列接続されると共に、電圧測定部２３が、第３プローブ１３および第４プローブ１４間に接続された状態となっている。

処理部２４は、図示しないプローブ駆動部を制御して各プローブ１１〜１４を任意の測定点（一例として、接続端子１０１，１０２）に対してプロービングさせる。また、処理部２４は、短絡スイッチ４に対して制御信号Ｓ１を出力することによって第１プローブ１１および第３プローブ１３（配線Ｗ１，Ｗ３）間を短絡（接続）または開放（切断）させると共に、短絡スイッチ５に対して制御信号Ｓ２を出力することによって第２プローブ１２および第４プローブ１４（配線Ｗ２，Ｗ４）間を短絡（接続）または開放（切断）させる。

さらに、処理部２４は、測定電圧生成部２１に対して制御信号Ｓ３を出力することによって測定電圧Ｖ１を出力させると共に、電流測定部２２に対して制御信号Ｓ４を出力することによって電流Ｉの電流値を測定させ、かつ、電圧測定部２３に対して制御信号Ｓ５を出力することによって電圧Ｖ２の電圧値を測定させる。また、処理部２４は、電流測定部２２からの電流データＤｉ、および電圧測定部２３からの電圧データＤｖに基づき、測定対象体１００の抵抗値を測定すると共に、その測定結果を表示部３に表示させる。

短絡スイッチ４は、「第１のスイッチ回路」の一例であって、処理部２４からの制御信号Ｓ１に従い、第１プローブ１１および第３プローブ１３（配線Ｗ１，Ｗ３）間を短絡（接続）または開放（切断）する。この構成により、第１プローブ１１および第３プローブ１３は、短絡スイッチ４が開放状態に移行したときには、互いに非接続状態となり、短絡スイッチ４が短絡状態に移行したときには、互いに短絡された状態となる。

短絡スイッチ５は、「第２のスイッチ回路」の一例であって、処理部２４からの制御信号Ｓ２に従い、第２プローブ１２および第４プローブ１４（配線Ｗ２，Ｗ４）間を短絡（接続）または開放（切断）する。この構成により、第２プローブ１２および第４プローブ１４は、短絡スイッチ５が開放状態に移行したときには、互いに非接続状態となり、短絡スイッチ５が短絡状態に移行したときには、互いに短絡された状態となる。なお、本例では、処理部２４からの制御信号Ｓ１，Ｓ２に従って短絡スイッチ４，５が短絡状態または開放状態に切り替わる構成を採用しているが、「第１のスイッチ回路」や「第２のスイッチ回路」の構成はこれに限定されず、手動操作によって短絡状態または開放状態に切り替える構成を採用することもできる。

この測定装置１では、前述したように、二端子法および四端子法のいずれかに従って測定対象体１００の抵抗値を測定することができるように構成されている。具体的には、四端子法による抵抗値の測定に際しては、処理部２４が、図示しないプローブ駆動部を制御して各プローブ１１〜１４を各測定点に対してプロービングさせる。この際に、プローブ駆動部は、図１に示すように、第１プローブ１１および第３プローブ１３を測定対象体１００の接続端子１０１（一方の測定点）にプロービングすると共に、第２プローブ１２および第４プローブ１４を測定対象体１００の接続端子１０２（他方の測定点）にプロービングする。

次いで、処理部２４は、短絡スイッチ４に対して制御信号Ｓ１を出力することによって第１プローブ１１および第３プローブ１３（配線Ｗ１，Ｗ３）間を開放（切断）させると共に、短絡スイッチ５に対して制御信号Ｓ２を出力することによって第２プローブ１２および第４プローブ１４（配線Ｗ２，Ｗ４）間を開放（切断）させる。なお、プローブ駆動部による各プローブ１１〜１４のプロービングの後に短絡スイッチ４，５を開放状態に制御する例を説明したが、短絡スイッチ４，５を開放状態に制御した後にプローブ駆動部による各プローブ１１〜１４のプロービングを実行してもよい。

続いて、処理部２４は、測定電圧生成部２１に対して制御信号Ｓ３を出力することによって測定電圧Ｖ１を生成させて、第１プローブ１１（配線Ｗ１）と基準電位Ｇとの間に印加させる（測定電圧Ｖ１の出力：「両測定点間に測定電圧を印加する」との処理）。この際には、測定電圧Ｖ１の印加により、第１プローブ１１、接続端子１０１、測定対象体１００、接続端子１０２、第２プローブ１２および電流測定部２２を経由して基準電位Ｇに至る経路に電流Ｉが流れると共に、この電流Ｉが測定対象体１００における接続端子１０１，１０２間を流れることに起因して、この測定対象体１００の両端間（接続端子１０１，１０２間）に電圧が発生する。

次いで、処理部２４は、電流測定部２２に対して制御信号Ｓ４を出力することにより、上記の電流Ｉの電流値を測定させる。これに応じて、電流測定部２２が測定結果に基づいて電流データＤｉを生成して処理部２４に出力する。また、処理部２４は、電圧測定部２３に制御信号Ｓ５を出力することにより、第３プローブ１３および第４プローブ１４間（すなわち、第３プローブ１３がプロービングされている接続端子１０１と、第４プローブ１４がプロービングされている接続端子１０２との間）の電圧Ｖ２の電圧値を測定させる（「両測定点間の電圧を測定し」との処理）。これに応じて、電圧測定部２３が測定結果に基づいて電圧データＤｖを生成して処理部２４に出力する。

続いて、処理部２４は、電流測定部２２から出力された電流データＤｉおよび電圧測定部２３から出力された電圧データＤｖに基づき、第１プローブ１１および第３プローブ１３と、第２プローブ１２および第４プローブ１４との間（接続端子１０１と接続端子１０２との間）の抵抗値を演算する。これにより、四端子法による測定対象体１００の抵抗値の測定が完了する。この後、処理部２４は、演算結果（抵抗値）を表示部３に表示させる。

一方、二端子法によって測定対象体１００の抵抗値を測定する際には、処理部２４は、図示しないプローブ駆動部を制御して各プローブ１１〜１４を各測定点に対してプロービングさせる。この際に、プローブ駆動部は、図１に示すように、第１プローブ１１および第３プローブ１３を測定対象体１００の接続端子１０１にプロービングすると共に、第２プローブ１２および第４プローブ１４を測定対象体１００の接続端子１０２にプロービングする。この場合、この種の測定装置では、接続端子１０１に対してプロービングした第１プローブ１１および第３プローブ１３の双方に接触不良が生じたり、接続端子１０２に対してプロービングした第２プローブ１２および第４プローブ１４の双方に接触不良が生じることは極めて稀であり、両プローブ１１，１３のいずれかまたは双方が接続端子１０１に対して正常に接触させられると共に、両プローブ１２，１４のいずれかまたは双方が接続端子１０２に対して正常に接触させられた状態となる。

次いで、処理部２４は、短絡スイッチ４に対して制御信号Ｓ１を出力することによって第１プローブ１１および第３プローブ１３（配線Ｗ１，Ｗ３）間を短絡（接続）させると共に、短絡スイッチ５に対して制御信号Ｓ２を出力することによって第２プローブ１２および第４プローブ１４（配線Ｗ２，Ｗ４）間を短絡（接続）させる。なお、短絡スイッチ４，５を短絡状態に制御した後にプローブ駆動部による各プローブ１１〜１４のプロービングを実行してもよい。

続いて、処理部２４は、測定電圧生成部２１に対して制御信号Ｓ３を出力することによって測定電圧Ｖ１を生成させて、第１プローブ１１（配線Ｗ１）と基準電位Ｇとの間に印加させる（測定電圧Ｖ１の出力：「両測定点間に測定電圧を印加する」との処理）。この際に、この測定装置１では、例えば、第１プローブ１１に接触不良が生じていたとしても、第１プローブ１１および第３プローブ１３（配線Ｗ１，Ｗ３）が短絡スイッチ４によって短絡されているため、第１プローブ１１が配線Ｗ１、短絡スイッチ４、配線Ｗ３および第３プローブ１３を介して接続端子１０１に接続された状態となっている。つまり、測定電圧生成部２１が第３プローブ１３を介して接続端子１０１に接続された状態になっている。同様にして、例えば、第２プローブ１２に接触不良が生じていたとしても、第２プローブ１２および第４プローブ１４（配線Ｗ２，Ｗ４）が短絡スイッチ５によって短絡されているため、第２プローブ１２が配線Ｗ２、短絡スイッチ５、配線Ｗ４および第４プローブ１４を介して接続端子１０２に接続された状態となっている。つまり、電流測定部２２が第４プローブ１４を介して接続端子１０２に接続された状態になっている。

したがって、第１プローブ１１（配線Ｗ１）と基準電位Ｇとの間に対する測定電圧Ｖ１の印加により、第１プローブ１１（および／または第３プローブ１３）、接続端子１０１、測定対象体１００、接続端子１０２、第２プローブ１２（および／または第４プローブ１４）および電流測定部２２を経由して基準電位Ｇに至る経路に電流Ｉが流れると共に、この電流Ｉが測定対象体１００における接続端子１０１，１０２間を流れることに起因して、この測定対象体１００の両端間（接続端子１０１，１０２間）に電圧が発生する。

次いで、処理部２４は、電流測定部２２に対して制御信号Ｓ４を出力することにより、上記の電流Ｉの電流値を測定させる。これに応じて、電流測定部２２が測定結果に基づいて電流データＤｉを生成して処理部２４に出力する。また、処理部２４は、電圧測定部２３に制御信号Ｓ５を出力することにより、第３プローブ１３および第４プローブ１４間（すなわち、第３プローブ１３がプロービングされている接続端子１０１と、第４プローブ１４がプロービングされている接続端子１０２との間）の電圧Ｖ２の電圧値を測定させる（「両測定点間の電圧を測定し」との処理）。

この際に、この測定装置１では、例えば、第３プローブ１３に接触不良が生じていたとしても、第１プローブ１１および第３プローブ１３（配線Ｗ１，Ｗ３）が短絡スイッチ４によって短絡されているため、第３プローブ１３が配線Ｗ３、短絡スイッチ４、配線Ｗ１および第１プローブ１１を介して接続端子１０１に接続された状態となっている。つまり、電圧測定部２３が第１プローブ１１を介して接続端子１０１に接続された状態になっている。同様にして、例えば、第４プローブ１４に接触不良が生じていたとしても、第２プローブ１２および第４プローブ１４（配線Ｗ２，Ｗ４）が短絡スイッチ５によって短絡されているため、第４プローブ１４が配線Ｗ４、短絡スイッチ５、配線Ｗ２および第２プローブ１２を介して接続端子１０２に接続された状態となっている。つまり、電圧測定部２３が第２プローブ１２を介して接続端子１０１に接続された状態になっている。

したがって、第１プローブ１１および第３プローブ１３のいずれか一方に接触不良が生じていたり、第２プローブ１２および第４プローブ１４のいずれか一方に接触不良が生じていたりしても、上記の電圧Ｖ２が正確に測定される。これにより、電圧測定部２３が、測定結果に基づいて電圧データＤｖを生成して処理部２４に出力する。続いて、処理部２４は、電流測定部２２から出力された電流データＤｉおよび電圧測定部２３から出力された電圧データＤｖに基づき、第１プローブ１１および第３プローブ１３と、第２プローブ１２および第４プローブ１４との間（接続端子１０１と接続端子１０２との間）の抵抗値を演算する。これにより、二端子法による測定対象体１００の抵抗値の測定が完了する。この後、処理部２４は、演算結果（抵抗値）を表示部３に表示させる。

このように、この測定装置１によれば、測定部２が、四端子法に従って測定する際には、短絡スイッチ４，５の双方が切断された状態において測定処理を実行して、第１プローブ１１、第２プローブ１２、第３プローブ１３および第４プローブ１４を利用して電気的パラメータを測定し、二端子法に従って測定する際には、短絡スイッチ４，５の双方が接続された状態において測定処理を実行して、第１プローブ１１および第３プローブ１３の少なくとも一方と、第２プローブ１２および第４プローブ１４の少なくとも一方とを利用して電気的パラメータを測定することにより、二端子法による電気的パラメータ（この例では、抵抗値）の測定に際して、第１プローブ１１および第３プローブ１３のいずれか一方や、第２プローブ１２および第４プローブ１４のいずれか一方に接触不良が生じていたとしても、接触不良が生じていない他方のプローブを介して両測定点間（この例では、接続端子１０１，１０２間）に対する測定電圧の印加、および両測定点間に生じる電圧値の測定を実行することができるため、コンタクトチェックや、再プロービングが不要となる分だけ、電気的パラメータの測定に要する時間を短縮して短時間でしかも正確に測定することができる。

また、この測定装置１によれば、第１プローブ１１および第２プローブ１２間に直列接続された測定電圧生成部２１および電流測定部２２と、第３プローブ１３および第４プローブ１４間に接続された電圧測定部２３とを備えて測定部２を構成したことにより、上記の測定対象体１００における接続端子１０１，１０２間の抵抗値（電気的パラメータ）を確実かつ短時間で測定することができる。

なお、測定対象体１００の両端間（接続端子１０１，１０２間）の抵抗値を測定する測定装置１を例に挙げて説明したが、抵抗値以外の各種電気的パラメータを二端子法および四端子法に従って測定する測定装置（一例として、一対の配線パターン間の絶縁抵抗値を測定する絶縁抵抗測定装置）においても、本発明の構成を適用することにより、上記の測定装置１と同様の効果を奏することができる。また、図２に示す回路基板検査装置１Ａのように、一例として、上記の測定装置１と、検査部３０とを備えて、測定装置１（測定部２における処理部２４）の測定結果に基づいて検査対象基板２００の良否を検査する構成を採用することもできる。測定装置１の構成については、上記の測定装置１と同様のため、同一の機能を有する構成要素については同一の符号を付して重複した説明を省略する。

この回路基板検査装置１Ａは、「基板検査装置」に相当し、一例として、検査対象基板２００に形成された複数の配線パターン２０１，２０２・・についての絶縁状態（隣接する他の配線パターンとの間の絶縁状態）を検査可能に構成されている。このように、測定装置１と、検査対象基板２００における一対の検査ポイント（この例では、配線パターン２０１，２０２）を測定点として測定部２によって測定された電気的パラメータとしての抵抗（具体的には絶縁抵抗）に基づいて両検査ポイント間の絶縁の良否を検査する検査部３０とを備えた回路基板検査装置１Ａによれば、二端子法に従って測定した測定値に基づいて配線パターン２０１，２０２・・の絶縁状態等を検査する際に、各プローブ１１〜１４についてのコンタクトチェックや、再プロービングが不要な分だけ、一連の検査処理に要する時間を短縮して短時間でしかも正確に検査することができる。なお、配線パターンの両端部に各プローブ１１〜１４をプロービングして断線（導通）状態を検査する回路基板検査装置においても、上記の回路基板検査装置１Ａと同様の構成を採用することにより、二端子法に従って測定した測定値（抵抗値）に基づいて配線パターンの断線（導通）状態等を検査する際に、各プローブ１１〜１４についてのコンタクトチェックや、再プロービングが不要な分だけ、一連の検査処理に要する時間を短縮して短時間で検査することができる。

また、測定電圧生成部２１および電流測定部２２を備えた測定部２を有する測定装置１、およびその測定装置１を備えた回路基板検査装置１Ａを例に挙げて説明したが、測定電圧生成部２１および電流測定部２２に代えて、電流値が既知の電流を出力する定電流源を備えた構成を採用することもできる（図示せず）。このような構成を採用することにより、測定部を簡易に構成することができるだけでなく、電流測定部２２による電流Ｉの電流値の測定処理が不要となる分だけ、電気的パラメータの測定処理に要する時間を一層短縮して短時間で正確に測定することができる。

１ 測定装置
１Ａ 回路基板検査装置
２ 測定部
４，５ 短絡スイッチ
１１ 第１プローブ
１２ 第２プローブ
１３ 第３プローブ
１４ 第４プローブ
２１ 測定電圧生成部
２２ 電流測定部
２３ 電圧測定部
２４ 処理部
３０ 検査部
１００ 測定対象体
１０１，１０２ 接続端子
２００ 検査対象基板
２０１，２０２ 配線パターン
Ｄｉ 電流データ
Ｄｖ 電圧データ
Ｇ 基準電位
Ｉ 電流
Ｓ１〜Ｓ５ 制御信号
Ｖ１ 測定電圧
Ｖ２ 電圧

Claims (3)

1. 第１プローブ、第２プローブ、第３プローブおよび第４プローブと、
   前記第１プローブおよび前記第３プローブを短絡させる第１のスイッチ回路と、
   前記第２プローブおよび前記第４プローブを短絡させる第２のスイッチ回路と、
   前記第１プローブおよび前記第３プローブが測定対象体における一対の測定点の一方にプロービングされる共に前記第２プローブおよび前記第４プローブが前記一対の測定点の他方にプロービングされた状態において、当該両測定点間に測定電圧を印加すると共に当該両測定点間の電圧を測定し、当該両測定点間を流れる電流および測定した電圧に基づいて前記測定対象体についての電気的パラメータを測定する測定処理を実行する測定部とを備え、
   前記測定部は、前記電気的パラメータを四端子法に従って測定する際には、前記第１のスイッチ回路および前記第２のスイッチ回路の双方が切断された状態において前記測定処理を実行して、前記第１プローブ、前記第２プローブ、前記第３プローブおよび前記第４プローブを利用して当該電気的パラメータを測定し、前記電気的パラメータを二端子法に従って測定する際には、前記第１のスイッチ回路および前記第２のスイッチ回路の双方が接続された状態において前記測定処理を実行して、前記第１プローブおよび前記第３プローブの少なくとも一方と、前記第２プローブおよび前記第４プローブの少なくとも一方とを利用して当該電気的パラメータを測定する測定装置。
2. 前記測定部は、前記測定電圧を生成する測定電圧生成部と、前記両測定点間の電圧を測定する電圧測定部と、前記両測定点間を流れる電流を測定する電流測定部とを備えて構成され、
   前記測定電圧生成部および前記電流測定部は、前記第１プローブおよび前記第２プローブ間に直列接続され、
   前記電圧測定部は、前記第３プローブおよび前記第４プローブ間に接続されている請求項１記載の測定装置。
3. 請求項１または２記載の測定装置と、
   検査対象基板における一対の検査ポイントを前記両測定点として前記測定部が測定した前記電気的パラメータに基づいて当該両検査ポイント間の良否を検査する検査部とを備えている基板検査装置。

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