JP2006030131A - 抵抗測定方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 電源10に接続される一対のプローブP1,P2を被測定物Xに接触させて測定電流を印加し、これに伴って被測定物Xに発生する電圧を測定して抵抗値を求めるに先だって、所定の条件下でプローブの接触個所に存在する不純物を破壊する不純物破壊モードを実行する抵抗測定方法において、電源10内に高電圧を出力し得る電圧源として動作する第1電源Voと、高電流を出力し得る電流源として動作する第2電源Ioとを含み、上記不純物による抵抗値に応じて高電圧もしくは高電流を印加する。
【選択図】 図1
Description
10 電源
20 電圧計
30 電流計
40 制御手段
50 操作部
60 スイッチ手段
Vo 電圧源
Io 電流源
D1,D2 高耐圧ダイオード
SW1,SW2 電源スイッチ
P1,P2 プローブ
X 被測定物
Claims (8)
- 電源に接続される一対のプローブを被測定物に接触させて所定の測定電流を印加し、これに伴って上記被測定物に発生する電圧を測定して上記被測定物の抵抗値を求めるに先だって、所定の条件下で上記プローブの接触個所に存在する不純物を破壊する不純物破壊モードを実行する抵抗測定方法において、
上記電源として、高電圧を出力し得る電圧源として動作する第1電源と、高電流を出力し得る電流源として動作する第2電源とを含み、上記不純物破壊モード時に上記不純物の抵抗値に応じて上記第1電源および/または上記第2電源を用いることを特徴とする抵抗測定方法。 - 上記不純物が高抵抗を示す場合には上記第1電源より高電圧を印加し、上記不純物が低抵抗を示す場合には上記第2電源より高電流を印加する請求項1に記載の抵抗測定方法。
- 上記同一の不純物に対して、上記第1電源による高電圧印加と上記第2電源による高電流印加とを所定の順序で交代的に行う請求項1または2に記載の抵抗測定方法。
- 上記同一の不純物に対して、上記第1電源による高電圧印加と上記第2電源による高電流印加とを同時に行う請求項1に記載の抵抗測定方法。
- 電源から供給される所定の測定電流を被測定物に印加する一対のプローブと、上記測定電流の印加時に上記被測定物に発生する電圧を測定する電圧測定手段と、上記測定電流と上記電圧測定手段の測定電圧とから上記被測定物の抵抗値を算出する制御手段とを備えている抵抗測定装置において、
上記電源として、高電圧を出力し得る電圧源として動作する第1電源と、高電流を出力し得る電流源として動作する第2電源とを含み、上記プローブの接触個所に存在する不純物を破壊するため、その不純物の抵抗値に応じて上記第1電源および/または上記第2電源が選択可能であることを特徴とする抵抗測定装置。 - 上記第1電源と上記第2電源とがそれぞれダイオードおよび電源スイッチを直列に含んだ状態で並列に接続されており、上記各電源スイッチをオンオフすることにより、上記第1電源と上記第2電源のいずれか一方もしくは同時に両方の電源が選択可能である請求項5に記載の抵抗測定装置。
- 上記制御手段は上記不純物の抵抗値が所定の閾値より高い場合には上記第1電源を選択し、所定の閾値より低い場合には上記第2電源を選択する請求項5または6に記載の抵抗測定装置。
- 上記電源に接続される上記一対のプローブを電流プローブとして、上記電圧測定手段に接続される一対の電圧プローブをさらに備えて四端子法により上記被測定物の抵抗値を測定する場合において、上記不純物の破壊時に上記各電圧プローブを上記電圧測定手段から切り離し、一方の電流−電圧プローブ対と他方の電流−電圧プローブ対をそれぞれ上記電源に接続するスイッチ手段を備えている請求項5ないし7のいずれか1項に記載の抵抗測定装置。
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